JP2000502189A - 導電性被膜の厚さ決定方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 この発明は、導電性基材（２）上に被着されている導電性の保護被膜（１）の厚さ（ｄ_r）を決定するための渦電流試験原理による方法および装置に関する。被膜（１）の導電率と基材（２）の導電率とは互いに異なっている。高周波電流の流される励磁コイル（３）が保護被膜（１）に近づけられ、特にこれと機械的に接触せしめられて保護被膜（１）とその下にある基材（２）中に渦電流が発生される。試験コイル（９）のインピーダンスに関係する１つの量が決定され、例えば既知の参照値との比較により、保護被膜（１）の膜厚（ｄ_r）の決定のための基礎として用いられる。高周波電流の周波数（ｆ）は、０．７と１．５との間の導電率の比において被膜（１）の厚さ（ｄ_r）の一義的決定が行われるように選ばれる。

Description

【発明の詳細な説明】 導電性被膜の厚さ決定方法及び装置 この発明は、タービン設備の構造部品の、導電率ｋ₂を持った基材上に被着さ れ、しかも導電率ｋ₂とは異なる導電率ｋ₁を持った導電性保護被膜の厚さを決定 する方法及び装置に関する。 ＶＧＢ発電所技術(VGB-Kraftwerkstechinik)７０（１９９０）、第９号、６４ ５頁乃至６５１頁に掲載されたＧ．ディベリウス(Diberius)、Ｈ．Ｊ．クリヘル （Krichel）及びＵ．ライマン(Reiman)の論文「高温保護被膜に対する腐食効果 の非破壊試験（Non-distructive Testing of Corrosion Effect on High-temper ature Protective Coatings）」には、ガスタービンの羽根の腐食保護被膜の膜 厚を決定するための幾つかの方法が記載されている。この記載された方法の１つ に、保護被膜と基材の導電率の差を利用する、いわゆる「渦電流測定方法」があ る。この方法では可撓性の支持体の上に、例えば印刷配線として設けられた平ら な渦巻き状の銅製プローブを介してガスタービンの羽根に渦電流が誘起される。 このためにプローブには高周波の交流電流が印加され、プローブのインピーダン スが記録される。交流電流の周波数が固定されている場合、膜厚、膜の材質及び 基材の材質に関係してインピーダンスの特徴値が現れる。前記の論文においては 基材、不錆鋼ＩＮ７３８ＬＣの上に被着された白金・アルミニウム合金からなる 保護被膜に対する膜厚がインピーダンスに関係して検討されている。２００ｋＨ ｚ並びに５００ｋＨｚの周波数において１ｍｍまでの膜厚のインピーダンスが測 定された。この論文は、もっとも、その値に関する記述或いは導電率の比の記述 も、また決定されるべき、未知の膜厚を持つガスタービンの羽根についての測定 の精度及び再現性についての記述も含んでいない。 ドイツ国特許出願公開第３３３５０８０号明細書には、原子炉燃料要素のジル コニウム合金管の内面におけるジルコニウム被膜の厚さを決定するための方法が 記載されている。この決定方法は、ジルコニウム被膜に生じた高周波の渦流電界 によって検出コイルのインピーダンスの変化を評価する渦電流試験原理に依拠し ている。高周波渦流電界の周波数は、励磁コイルのいわゆるリフトオフに起因す るインピーダンス変化と膜厚に基づくインピーダンス変化とは明らかに区別でき るように選択されている。このために適した周波数は６ＭＨｚから２０ＭＨｚま での範囲にある。ジルコニウム膜の厚さは数１０μｍから約１００μｍにまでな り、ジルコニウム膜の比抵抗は約４０＊１０^-8Ω／ｍ並びに母材金属、ジルコニ ウム合金の比抵抗は約７４＊１０^-8Ω／ｍにある。それ故、ジルコニウム膜の導 電率は母材金属の導電率の約２倍の大きさである。原子力工学の分野で適用され る前述の渦電流試験法でもってジルコニウム膜厚の決定を約５μｍ精度の偏差で もって実施可能であるべきである。 この発明の課題は、導電率ｋ₁を持ち、導電率ｋ₂を持つ基材上に被着され、し かもこれらの導電率が互いに異なっている、タービン設備の構造部品の導電性保 護被膜の膜厚を決定するための方法であって、これらの導電率がほぼ同じであっ ても膜厚をより確実に決定することのできるものを提供することにある。この発 明のもう１つの課題はかかる方法を実施するための装置を提供することにある。 この方法に関する課題は、高周波電流の流れる励磁コイルが被膜に近づけられ て被膜およびその下にある基材に交流渦電流を発生させ、その際高周波電流の周 波数が、試験コイルのインピーダンスに関係し渦電流試験原理に従って被膜の厚 さの決定の基礎となる量が決定されるように選ばれ、かつその周波数が０．７と １．５との間の導電率の比において渦電流試験原理により保護被膜の厚さの一義 的な決定が行われるように選ばれることによって解決される。 この場合、例えばミュンヘン所在のＲ．オルデンブルク(Oldenbourg)出版社に より１９９３年に出版されたＤ．ヘルマン(Hermann)氏の著書「膜厚測定(Schich tdickenmessung)」３．６章、１２１乃至１５９頁或いはエーニンゲン所在のエ クスパート出版社により１９９３年に出版されたＳ．スチーブ(Steeb)氏の著書 イルは試験コイルと一緒にすることも或いは２つの異なるコイルを使用すること もできる。上記に挙げた２つの著書からは、また渦電流試験法においてインピー ダンスに属する量の何れが、例えば励磁コイルのインピーダンスが直接或いはそ の位相角、試験コイルの誘導電圧並びに２つの互いに逆接続された試験コイルの 差信号が使用できるかを読み取ることができる。コイルは平板形のコイルとして 或いは軸に沿って巻回されたコイルとして使用することができる。後者は特に、 比較的強い磁界を作るために、そしてその小さい断面により屈曲した表面を走査 するために適している。試験コイルおよび励磁コイルは互いに入れ子に巻回され 、また互いに距離を隔てた変圧器コイルとして配置されることもできる。コイル の構造および配置並びに渦流試験法の一般的な実施に関しては全面的に上記の両 著書が参照される。 渦電流が被膜およびその下の基材に侵入する深さは最大として予期される被膜 の膜厚の範囲にある。渦電流の侵入深度が最大として予期される被膜の厚さの範 囲にある高周波電流の周波数によって被膜の影響は特に明白に現れるので、この 方法は導電率が僅かにしか異ならない場合でさえ高い精度をもって膜厚の決定を 保証する。この選択は導電率を考慮して行われる。この場合、被膜の厚さより小 さい侵入深度をもたらす周波数においては、インピーダンスに関係する量の値は 殆ど主として被膜の導電率によって影響されるということが考慮される。以下に おいては簡単にするために量として直接インピーダンス自体を挙げるが、その場 合その他の可能な量もインピーダンスに代わって選ぶことができることは自明で ある。発生された渦電流の侵入深度が被膜の厚さより明らかに大きいように周波 数が選ばれているときには、基材の導電率がインピーダンスに与える影響は、完 全には支配的でないとしても増大する。特に被膜の導電率と基材の導電率とが互 いに僅かにしか異ならない場合においては、インピーダンスと被膜の厚さとの関 係は測定の誤差精度の枠内において上記の両事例では事情によっては殆ど検知す ることはできない。被膜の厚さ範囲の侵入深度を持つ渦電流を生じさせる周波数 の場合においては、これに対して、測定信号、例えばインピーダンスと実際の膜 厚との、場合によっては起こり得る測定誤差とは明らかに区別することのできる 特徴的な関係が与えられている。試みの結果、驚くべきことに、これによって得 られた測定信号は、従来既知の固定周波数を使用した場合よりも約１０００の係 数だけ高いことが示されている。従って、この方法は、得られた信号がまた形状 的効果とは明白にも区別することができるので、殆ど任意の形状配置においても 、 特に被膜が屈曲したり粗面化している場合において被膜の膜厚の決定に適してい る。導電率はごく僅かに、例えば約１０％乃至約１５％の範囲で異なることがで きる。 特に、周波数は、侵入深度が最大として予期される膜厚より大きく、特に最大 として予期される膜厚の約４倍までになるように選ばれるのがよい。通常、既に 被膜の製法、例えば浸漬、溶射、電解析出等によってプロセスパラメータにより 最大として予期される膜厚が知られているので、このように予期される膜厚に関 する周波数の選択は容易に可能である。このために、異なる周波数で１回或いは 複数回のテスト測定により、予期される膜厚に適合した、特に好ましい周波数を 選び出すことは必ずしも必要ではない。その上、予期される膜厚に周波数を適合 させることで、ある期間にわたって被膜の剥離が行われる場合に対しても、高い 、一義的に区別できかつ評価可能な測定信号が保証される。これは、特に熱的に 負荷されかつ腐食にさらされるガスタービンの羽根のような構造部品において有 利である。 特に、電流の周波数は１．５ＭＨｚと３．５ＭＨｚとの間、特に２ＭＨｚと３ ＭＨｚとの間にあるのがよい。この周波数範囲は５００μｍ迄の膜厚での膜厚決 定に対して特に利点がある。これは、特に、ガスタービンの羽根の腐食保護被膜 となる、例えばイットリウムを添加したニッケル・クロム・アルミニウム合金を 備えた被膜に対して当てはまる。代表的な膜厚は２００μｍと４００μｍとの間 の範囲にある。 特に、被膜の厚さの決定のための基礎として、励磁コイルが被膜と機械的に接 触し、しかしその場合励磁コイルは被膜に対して電気的に絶縁されている場合に 生じるインピーダンスの値が役立つ。励磁コイルも試験コイルも特に軸に沿って 延びた走査ピンとして構成されているのがよい。これらはそれぞれ約３ｍｍ²の 断面積を持ち、約４ｍｍ互いに離すことができる。場合によってはコイルは平板 形に、例えば可撓性の変形可能な支持体に銅製の印刷導体として被着することが できる。コイルと被膜との間の機械的接触は、コイルを例えば加圧空気により被 膜に押しつけることにより、必要に応じて改善することができる。 高周波電流の周波数の選択は、上述したように、製造プロセス並びに被膜がさ らされる外的条件を参照して決定することができる。テスト周波数によるテスト 測定により被膜の厚さを大まかに決定し、その値からインピーダンスに対する特 に高い測定信号を保証する周波数を求めることも同様に可能である。また異なる テスト周波数で複数のテスト測定を行い、最適法或いは内挿法を使用して、この 方法を実施するために特に適した周波数を求めることもできる。 好適な周波数を決定するためのその他の好ましい方法は、一連の試料を用意し 、その際各試料はそれぞれ基材とそれぞれの厚さを持つ被膜とからなり、かつ試 料は特にその製造および幾何学的形状に関して検討される構造部品に一致するよ うにすることである。試料は、この場合、ガスタービン設備において使用に供せ られる構造部品、特にガスタービンコンプレッサの羽根の部分とすることができ る。この場合、周波数に対して多数の近似値が選び出され、この近似値でもって 、それぞれ場合によっては１０回までの複数回、各試料について渦流試験法が行 われる。これらの近似周波数からこの方法を具体的な構造部品に適用するための 特に適した近似周波数が選び出され、その際この近似周波数は膜厚を求める際に 特に高い分解能および膜厚に関係した特に高い直線性をもたらす。大多数の近似 周波数はそれ自体多数のテスト周波数からの選択により作ることができるが、そ の際にはこのテスト周波数でもって見本試料、特に特別に作られ、幾何学的形状 が簡単で、被膜を備えた試料が利用される。特に適した周波数を、検査される構 造部品にほぼ等価の構造部品について直接、このように漸次選び出すことにより 、被膜と基材との間の僅かな導電率の違いの場合でも膜厚の正確な決定が保証さ れる。 この方法で求められたコイルインピーダンスは、好ましくは、参照値と比較さ れ、その比較から被膜の厚さが決定される。参照値は被膜の厚さが正確にわかっ ている参照被膜に基づいて、例えばその被膜等を切り出すことにより得ることが できる。既知の基材上に被着されている既知の材料からなる被膜に対するインピ ーダンスの幾つかの或いは多数の参照値に基づいて、内挿法によりそれぞれ一義 的に付属する被膜の厚さを持った一群のインピーダンスの参照値を求めることが できる。 特に、この方法は、ガスタービン設備の構造部品、特にガスタービンの羽根或 いはコンプレッサーの羽根における構造部品の保護被膜の厚さの決定に適してい る。これは、特に、構造部品の複合的な幾何学的形状でさえ、場合によっては被 膜の表面の下に孔があったり、被膜の厚さや基材の厚さにばらつきがあったりし ても、せいぜい僅かな影響しかないからである。 保護被膜は、Ｍを鉄、ニッケル及び／又はコバルトの金属の１つ或いはそれら の合金、Ｃｒをクロム、Ａｌをアルミニウム及びＹをイットリウム、ハフニウム 或いは同様の金属とするとき、ＭＣｒＡｌＹ型の合金とすることができる。この 保護被膜はまたレニウム或いはガリウムのような他の元素を含むことができる。 例えばこの合金は重量パーセントで次の成分、即ち、３０％〜３２％Ｃｏ、３０ ％Ｎｉ、２８％〜３０％Ｃｒ、７％〜９％アルミニウム、０．５％Ｙ並びに約０ ．７％シリコンを持っている。 この方法は、基材の導電率と被膜の導電率との比が０．３と３．０との間、特 に０．７と１．０との間にあるとき、２００ｋＨｚ乃至５００ｋＨｚの範囲の不 変周波数を持つ方法に較べて、保護被膜の厚さに対する一義的なかつ正確な結果 を提供する。このような１に近い導電率の比は例えば上記の保護被膜と不錆鋼、 例えばＩＮ７３８ＬＣにおいて存在する。導電率の比はこの場合凡そ０．７９で ある。保護被膜の厚さは新たに被覆されたガスタービンの羽根において約４００ μｍの範囲にある。 この方法を実施するための装置に関する課題は、交流電源に接続されている励 磁コイルと、インピーダンスを決定するための測定ユニットおよび被膜の厚さを 決定するための評価ユニットに接続されている試験コイルとを備えた装置によっ て解決される。評価ユニットにおいては特に求められたインピーダンスと一連の 参照値との比較が行われる。参照値は検討される被膜と同じ組成と、同様に同じ 基材を持つ被膜に対して予め求められており、評価ユニットに記憶されている。 評価ユニットはこの方法の結果を表示する適切な手段、例えば画面、プリンター 、測定記録器或いはプロッターを持っている。評価ユニットにおいて行われた比 較により、検査される被膜の厚さの決定が行われる。 励磁コイル並びに試験コイルは、特に被膜の外形および表面にフレキシブルに 適合できるように形成されるのがよい。これらのコイルは特に互いに分離され、 電気的に結合されるのがよい。各コイルは特に軸に沿って巻回されているのがよ い。この励磁コイルと試験コイルとを含むプローブは特にその面および遮蔽に関 して検査される構造部品に適合されている。このプローブは、これによって生ず る電界が測定の行われる狭い範囲に集中するように形成されている。この装置は 特に共振法に従って作動されるのがよい。この場合、試験コイルが直接基材と接 触している位置から被膜と直接接触する位置に動かされるときに、インピーダン スの虚部と実部が変化することが利用される。被膜の導電率が基材の導電率より も大きいときには、このような位置の変化の際にインピーダンスの実部は大きく なり、虚部が減少する。インダクタンスを表す試験コイルが特に損失の少ないコ ンデンサと接続されて共振回路を形成しているときは、このコンデンサは励磁コ イルが被膜と機械的に接触する際にできるだけ大きな信号が得られるように選ば れている。インピーダンスの実部の増加によって共振曲線における最大値が明ら かに減少し、インピーダンスの比較的小さい虚部により最大値はより高い周波数 にずらされる。振動回路をそれに応じて設計することにより被膜の厚さ決定に対 する測定信号の凡その倍増が得られる。 図面の実施例を参照して基材に被着された被膜の膜厚を決定する方法および装 置を詳細に説明する。図は概略的に、尺度は正確でなく示している。 図１はこの方法を実施するための装置並びに基材とその上に被着された被膜を 持つ構造部品を示す。 図２は種々の材料に対する複合面におけるインピーダンスを示す。 図３はガスタービンの羽根の異なる厚さの多数の保護被膜に対する複合面にお けるインピーダンスを示す。 図１は構造部品８の一部分を縦断面で示し、これに対して概略的にかつ尺度に 関係なく構造部品８の被膜１の膜厚を決定するための装置４を示す。被膜１は構 造部品８の基材２の上に被着され、膜厚ｄ_rを持っている。被膜１は導電性材料 、例えばガスタービンコンプレッサーの羽根の腐食保護被膜からなる。基材２も 同様に導電性であり、例えばＩＮ７３８ＬＣのような不錆鋼からなる。装置４は その要部として軸１１に沿ってばね状に巻回された励磁コイル３を備えている。 励磁コイル３は交流電源５に接続されているので、励磁コイル３によって周波数 ｆを持つ高周波交流電流が供給される。励磁コイル３は同様に軸１１に沿って巻 回 された試験コイル９と電気的に結合されている。試験コイル９は、励磁コイル３ もしくは試験コイル９のインピーダンス、或いは誘導電圧或いは位相角のような インピーダンスに関係する量を決定するための測定ユニット６に接続されている 。測定ユニット６は膜厚ｄ_rを決定するための評価ユニット７に接続されている 。測定ユニット６では励磁コイル３のインピーダンスに一義的に関係する測定信 号もしくはインピーダンス自体が受け取られる。このインピーダンスに関係する 量は評価ユニット７においてその中に記憶されている参照値と比較される。この 参照値は、よく知られた厚さの被膜に対して被膜および基材の同一の材料組み合 わせで求められている。参照値は等価的な被膜の厚さに一義的に関係しているの で、この比較により被膜１の膜厚ｄ_rの正確な決定が行われる。被膜１がガスタ ービンの羽根の腐食保護被膜であり、基材２が不錆鋼ＩＮ７３８ＬＣであるよう な材料の組み合わせにおいては、２００μｍと５００μｍと間の予期される膜厚 において励磁コイルには２ＭＨｚと２．５ＭＨｚとの間の周波数範囲で交流電流 の負荷が行われる。この方法を実施する際には高周波交流電流が流れる励磁コイ ル３が被膜１に近づけられ、これと機械的に接触され、かつ測定ユニット６によ りインピーダンスに一義的に関係する相応の測定信号が受け取られ、被膜１の膜 厚ｄ_rを決定するための評価ユニット７においてさらに処理される。励磁コイル ３の高周波交流電流により構造部品８には、被膜１の表面１０から構造部品８の 内部に向かって減少する渦電流が発生される。渦電流の侵入深度ｄは、約５００ μｍ或いはそれ以下の予期される膜厚ｄ_eより僅かに大きめであるのがよい。こ れにより被膜１と基材２との間の境界面における被膜１と基材２の間の導電率の 跳ね上がりの影響が測定ユニット６において受け取られる測定信号に対して特に 重要である。被膜１と基材２との間の導電率（ｋ₁、ｋ₂）の間の跳ね上がりの測 定信号に対する大きな影響により、導電率が僅かにしか違っていなくても被膜１ の厚さｄ_rの一義的な関係および決定が行われる。適用事例、特に被膜１および 基材２の材料の組み合わせ並びに被膜１の予期される厚さに応じて、励磁コイル ３の高周波交流電流に対してそれぞれ相応の周波数ｆを決定することができる。 図２は想像上の面における励磁コイル３のインピーダンスを実部を横座標に沿 っておよび虚部を縦座標に沿って記載している。図示の曲線はＡで示す点におい て始まり、Ｓで示す点まで延びている。点Ａにおいて開放された電流回路に対す るインピーダンス、即ち主として大気中における測定の際のインピーダンスの値 が示されている。点Ｓの値は理想的な短絡された電流回路に相当する。これらの 間にある値は、励磁コイル３が一貫して唯一の材料、特に金属からなる基材と接 触している際に存在するそれぞれのインピーダンスに相当する。それぞれの点に よって不錆鋼ＩＮ７３８ＬＣに対する値および白金・アルミニウム合金の値が際 立たっている。これらの両点は、ＩＮ７３８ＬＣからなる単一成分材料から不錆 鋼上に被着されている白金・アルミニウム合金の被膜を備えた２成分材料への移 行を表すもう１つの線によって結ばれている。被膜の厚さは矢の方向に上昇し、 その際記載された数字は被膜の値をミリメートル単位で表している。１ｍｍを越 えるある膜厚から、白金・アルミニウム合金からなる１成分材料の値に相当する インピーダンスの値が得られる。インピーダンス値は２００ｋＨｚの周波数にお いて測定され、ＶＧＢ発電所技術７０（１９９０）、第９号、６４５頁乃至６５ １頁におけるＧ．ディベリウス、Ｈ．Ｊ．クリヘル及びＵ．ライマン氏の論文「 高温保護被膜に対する腐食効果についての非破壊試験(Non-distructive Testing of Corrosion Effect on High-temperature Protective Coatings）」に示され ている。 図３は、インピーダンスの経過を、同様に複合面において概略的に示す。ここ では、開放された電流回路におけるインピーダンスの値は明らかに第一象限に、 即ち正の虚部および実部にあるように図示が行われている。この値は、３０％〜 ３２％Ｃｏ、３０％Ｎｉ、２８％〜３０％Ｃｒ、７％〜９％Ａｌ、０．５％Ｙ並 びに０．７％Ｓｉ（重量パーセントで示す）からなり、不錆鋼ＩＮ７３８ＬＣに 被着された腐食保護被膜について求められたものである。実線は、励磁コイル３ が被膜１の表面１０に接触している際のインピーダンスの値を表す。記載された 数値はこの方法により求められた被膜の厚さをマイクロメーター（μｍ）で表す 。膜厚は、この場合、３０μｍの最大誤差を含めて決定すことができる。破線は 各膜厚に対して励磁コイル３を被膜１に近づけたときのインピーダンスの値を表 わしている。これらの線でさえ非常に明白に互いに区別されるので、励磁コイル ３が直接被膜１に接触しなくても励磁コイル３と被膜１との距離がわかっていれ ば 求められたインピーダンス値と被膜１の厚さｄ_rとの一義的な関係が可能である 。このことは、基材２と被膜１との間の導電率の比が１．０に近く、特に０．７ ５にあるからそれだけ顕著である。導電率の値が殆ど互いに異ならない場合の膜 厚の決定は、周波数５００ｋＨｚ或いはそれ以下では、測定信号が誤差ノイズに おいて消失するので最早不可能である。 この発明は、導電性被膜の厚さの決定方法において、非破壊渦電流試験法が特 に有効な周波数を選択しながら実施されるという点で優れている。被膜を備えた 構造部品に渦電流を誘導する周波数の選択は、例えば、渦電流の侵入深度が特に 被膜の厚さより僅かに大きくなるように行われる。これにより被膜とその下にあ る基材との間の導電率の跳ね上がりが、渦電流を構造部品に誘起する励磁コイル のインピーダンスに決定的な影響を持つ。予期される膜厚は例えば構造部品の製 造方法から直接推測することができ或いは場合によっては異なる周波数によるテ スト計測により決定できる。特にこの方法は新たに或いは改めて被膜されるガス タービンの羽根、特にガスタービンコンプレッサーの羽根の膜厚をコントロール するために適している。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．タービン設備の構造部品の導電率ｋ₁を持つ保護被膜（１）の厚さ（ｄ_r）を 決定するための方法であって、保護被膜（１）は導電率ｋ₂を備えた基材（２） 上に被着され、両導電率ｋ₁、導電率ｋ₂は互いに異なっているにものにおいて、 ａ）励磁コイル（３）に高周波電流が流され、 ｂ）この励磁コイル（３）が保護被膜（１）に近づけられて、少なくともこの保 護被膜（１）内に渦電流を発生させ、 ｃ）試験コイル（９）のインピーダンスに関係する１つの量が、渦電流試験法に より被膜（１）の厚さ（ｄ_r）の決定のための基礎となる量として用いられ、 ｄ）高周波電流の周波数（ｆ）が、渦電流試験原理により０．７と１．５との間 の導電率の比ｋ₂／ｋ₁において厚さ（ｄ_r）の一義的決定が行われるように選ば れる 導電性保護被膜の厚さ決定方法。 ２．周波数（ｆ）が、渦電流の侵入深度（ｄ）が保護被膜（１）の最大として予 期される厚さ（ｄ_e）より大きく、特に最大として予期される厚さ（ｄ_e）の約４ 倍までであるように選ばれることを特徴とする請求項１に記載の方法。 ３．電流の周波数（ｆ）が１．５ＭＨｚと３．５ＭＨｚとの間、特に２ＭＨｚと ３ＭＨｚとの間に選ばれることを特徴とする請求項１又は２に記載の方法。 ４．試験コイル（９）のインピーダンスに関係する量が励磁コイル（３）と被膜 （１）との機械的に接触する際に決定され、その際励磁コイル（３）は被膜（１ ）に対して電気的に絶縁されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか １つに記載の方法。 ５．予め与えられ得るテスト周波数（ｆ_t）でのテスト計測により近似的に最大 として予期される厚さ（ｄ_e）が決定され、その値から周波数（ｆ）が導電率ｋ₂ およびｋ₁を考慮して導き出されることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか １つに記載の方法。 ６．ａ）既知の膜厚の知られた一連の構造部品が試料として用意され、 ｂ）各試料について多数の異なる近似周波数（ｆ_p）でもって試験コイル（９） のインピーダンスに関係する量が決定され、 ｃ）インピーダンスに関係する量において充分に高い分解能と高い直線性を持つ 近似周波数（ｆ_p）が周波数（ｆ）として決定される ことを特徴とする請求項１乃至５いずれか１つにに記載の方法。 ７．近似周波数（ｆ_p）の選択のために被膜（１）で被層された、特に簡単な幾 何学的形状の見本試料が用意され、多数のテスト周波数で試験コイル（９）のイ ンピーダンスに関係する１つの量が決定され、このテスト周波数から最善の分解 能を持つテスト周波数が決定され、近似周波数として使用されることを特徴とす る請求項６に記載の方法。 ８．求められた試験コイル（９）に関係する量が参照値と比較され、その比較か ら保護被膜（１）の膜厚（ｄ_r）が決定されることを特徴とする請求項１乃至７ のいずれか１つに記載の方法。 ９．Ｍを鉄、ニッケル及び／又はコバルトの金属の１つ或いはそれらの１つの合 金、Ｃｒをクロム、Ａｌをアルミニウム及びＹをイットリウム、ハフニウム或い は同様の金属とするとき、ＭＣｒＡｌＹ型の合金からなる保護被膜（１）を備え たガスタービンの羽根に使用される請求項１乃至８のいずれか１つに記載の方法 の使用方法。 １０．交流電源（５）に接続されている励磁コイル（３）と、インピーダンスを 決定するための測定ユニットおよび被膜（１）の厚さ（ｄ_r）を決定するための 評価ユニット（７）と接続されている試験コイル（９）とを備えた請求項１乃至 ８のいずれか１つに記載の方法を実施するための装置。 １１．励磁コイル（３）が被膜（１）と良好な機械的接触を作るためにフレキシ ブルに形成されている請求項１０に記載の装置。