JP2000347021A - Color filter and its manufacture - Google Patents

Color filter and its manufacture

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JP2000347021A
JP2000347021A JP11159202A JP15920299A JP2000347021A JP 2000347021 A JP2000347021 A JP 2000347021A JP 11159202 A JP11159202 A JP 11159202A JP 15920299 A JP15920299 A JP 15920299A JP 2000347021 A JP2000347021 A JP 2000347021A
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protective layer
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a color filter equipped with column-shaped projecting parts for setting thickness of a liquid crystal layer and capable of manufacturing a color liquid crystal display device with excellent display quality and a method for manufacturing the color filter. SOLUTION: The color filter 1 is provided with a transparent protective layer 6 formed with a thermosetting resin so as at least to coat a colored layer 5 and column-shaped projecting parts 7 formed with a photosetting resin on plural specified locations on a substrate 2 so as to protrude from the transparent protective layer 6. This sort of color filter 1 is manufactured by forming the colored layer 5 consisting of plural colors with a specified pattern on the substrate 2, subsequently by forming the transparent protective layer 6 by prebaking the thermosetting resin layer formed on the substrate 2 so as at least to coat the colored layer 5, subsequently by forming the column-shaped projecting parts 7 on plural specified locations of the substrate by exposing and developing the photosetting resin layer formed on the substrate so as to coat the transparent protective layer 6, via a photomask provided with openings corresponding to the pattern to form the column-shaped projecting parts and subsequently by postbaking them.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はカラーフィルタおよ
びその製造方法に係り、特に表示品質に優れたカラー液
晶表示装置の製造が可能なカラーフィルタとその製造方
法に関する。
The present invention relates to a color filter and a method of manufacturing the same, and more particularly, to a color filter capable of manufacturing a color liquid crystal display device having excellent display quality and a method of manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、フラットディスプレイとして、カ
ラーの液晶表示装置が注目されている。カラー液晶表示
装置の一例として、ブラックマトリックス、複数の色
(通常、赤(R)、緑(G)、青(B)の3原色)から
なる着色層、透明導電層(共通電極)および配向層を備
えたカラーフィルタと、薄膜トランジスタ(TFT素
子)、画素電極および配向層を備えたTFTアレイ基板
とを所定の間隙をもたせて向かい合わせ、この間隙部に
液晶材料を注入して液晶層としたものがある。このよう
なカラー液晶表示装置では、間隙部が液晶層の厚みその
ものであり、カラー液晶表示装置に要求される高速応答
性、高コントラスト比、広視野角等の良好な表示性能を
可能とするためには、液晶層の厚み、すなわち、カラー
フィルタとTFTアレイ基板の間隙距離を厳密に一定に
保持する必要がある。
2. Description of the Related Art In recent years, color liquid crystal display devices have attracted attention as flat displays. As an example of the color liquid crystal display device, a black matrix, a colored layer composed of a plurality of colors (usually three primary colors of red (R), green (G), and blue (B)), a transparent conductive layer (common electrode), and an alignment layer And a TFT array substrate provided with a thin film transistor (TFT element), a pixel electrode and an alignment layer with a predetermined gap therebetween, and injecting a liquid crystal material into the gap to form a liquid crystal layer. There is. In such a color liquid crystal display device, the gap portion is the thickness of the liquid crystal layer itself, and enables good display performance such as high-speed response, high contrast ratio, and wide viewing angle required for the color liquid crystal display device. It is necessary to keep the thickness of the liquid crystal layer, that is, the gap distance between the color filter and the TFT array substrate strictly constant.

【0003】従来、カラー液晶表示装置における液晶層
の厚みを決定する方法として、カラーフィルタとTFT
アレイ基板とを貼り合わせる時に、ガラスビーズやプラ
スチックビーズをスペーサーとして使用する方法があ
る。すなわち、カラーフィルタとTFTアレイ基板とを
貼り合わせる前に、所定の直径で粒径の揃ったガラスビ
ーズやプラスチックビーズをスペーサーとしてカラーフ
ィルタおよびTFTアレイのいずれか一方に散在させ、
その後、両基板の貼り合わせを行い、ガラスビーズやプ
ラスチックビーズの直径をもって両基板の間隙部の大き
さ、つまり、液晶層の厚みが決定される。
Conventionally, as a method of determining the thickness of a liquid crystal layer in a color liquid crystal display device, a color filter and a TFT are used.
There is a method in which glass beads or plastic beads are used as spacers when bonding to an array substrate. That is, before bonding the color filter and the TFT array substrate, glass beads or plastic beads having a predetermined diameter and uniform particle size are scattered on one of the color filter and the TFT array as a spacer,
Thereafter, the two substrates are bonded to each other, and the size of the gap between the two substrates, that is, the thickness of the liquid crystal layer is determined based on the diameter of the glass beads or the plastic beads.

【0004】しかし、上述のようなカラーフィルタとT
FTアレイ基板との間隙部を形成する方法では、カラー
液晶表示装置の動作の上で次のような問題点が生じる。
However, the above-described color filter and T
The method of forming the gap with the FT array substrate has the following problems in the operation of the color liquid crystal display device.

【0005】まず、ガラスビーズやプラスチックビーズ
をスペーサーとして用いる場合、基板面上に散在させる
密度が適正で、かつ、基板面上に均一に分散されていな
ければ、カラー液晶表示装置の全面に亘って大きさが均
一な間隙部は形成されない。一般に、スペーサーの散在
量(密度)を増した場合、間隙部の厚みのばらつき偏差
は少なくなるが、散在量(密度)が多くなると表示画素
部上に存在するスペーサーの数も増し、表示画素部では
このスペーサーが液晶材料の異物となる。そして、スペ
ーサーの存在によって、配向膜で規制された液晶分子の
配向に乱れが生じたり、スペーサー周辺の液晶だけは電
圧のON、OFFによる配向制御が不能になる等の支障
がみられ、コントラスト比等の表示性能が低下するとい
う問題があった。
First, in the case where glass beads or plastic beads are used as spacers, if the density dispersed on the substrate surface is appropriate and the particles are not evenly dispersed on the substrate surface, the entire color liquid crystal display device is covered. A gap having a uniform size is not formed. In general, when the scattered amount (density) of the spacers is increased, the deviation in the thickness of the gap decreases, but as the scattered amount (density) increases, the number of spacers present on the display pixel portion also increases, and the display pixel portion increases. In this case, the spacer becomes a foreign matter of the liquid crystal material. The presence of the spacer causes disturbances in the alignment of the liquid crystal molecules regulated by the alignment film, and in the liquid crystal around the spacer, it becomes impossible to control the alignment by turning ON / OFF the voltage. However, there has been a problem that the display performance such as the above is deteriorated.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】このような問題を解消
するために、間隙(液晶層の厚み)を決定するための柱
状凸部を備えたカラーフィルタが提案されている(特開
平4−318816号等)。このカラーフィルタは、着
色層を形成し、この着色層を覆うように光硬化性樹脂を
用いて透明保護層を形成した後に、感光性樹脂を用いて
フォトリソグラフィー工程によりブラックマトリックス
上の所定箇所に柱状凸部を形成するものである。この柱
状凸部は、スペーサーとして機能するので、従来のビー
ズ状のスペーサーの散布が不要となり、また、柱状凸部
が画素表示部に存在しないため液晶分子の配向に乱れを
生じさせても表示性能に悪影響が及ばないことになる。
In order to solve such a problem, a color filter having a columnar convex portion for determining a gap (the thickness of a liquid crystal layer) has been proposed (JP-A-4-318816). No.). This color filter forms a colored layer, and after forming a transparent protective layer using a photocurable resin so as to cover the colored layer, a photolithography process using a photosensitive resin is performed at a predetermined position on a black matrix. This forms a columnar convex portion. Since the columnar projections function as spacers, the conventional bead-shaped spacers are not required to be dispersed, and the display performance can be improved even if the columnar projections are not present in the pixel display unit, causing the alignment of the liquid crystal molecules to be disturbed. Will not be adversely affected.

【0007】上記の光硬化性樹脂を用いた透明保護層の
形成では、光硬化性樹脂を塗布した後、全面露光、ある
いは、面付けに対応したパターン露光を行い、現像後に
加熱処理が行われる。この加熱処理は、その後の柱状凸
部形成のフォトリソグラフィー工程における現像によっ
て、透明保護層の表面が粗くなり機能が低下するのを防
止するためである。
In the formation of the transparent protective layer using the above-mentioned photocurable resin, after applying the photocurable resin, the whole surface or the pattern exposure corresponding to the imposition is performed, and heat treatment is performed after development. . This heat treatment is performed to prevent the surface of the transparent protective layer from being roughened by the development in the photolithography step of forming the columnar protrusions, thereby preventing the function from being deteriorated.

【0008】しかし、透明保護層の形成において、上記
のように光硬化性樹脂の露光・現像工程に加えて、加熱
処理工程が必要であり、柱状凸部形成時に同時に透明保
護層の現像・加熱処理を行っても露光工程が必要なた
め、工程が煩雑であるという問題がある。また、製造工
程中に、透明保護層形成のための露光装置と、柱状凸部
形成のための露光装置とが必要であるため、製造ライン
が長くなり、スループット向上にも限界があった。
However, the formation of the transparent protective layer requires a heat treatment step in addition to the exposure and development steps of the photocurable resin as described above. There is a problem that the process is complicated because an exposure step is required even if the processing is performed. Further, during the manufacturing process, an exposure apparatus for forming the transparent protective layer and an exposure apparatus for forming the columnar projections are required, so that the production line becomes longer, and there is a limit to the improvement in throughput.

【0009】本発明は、上記のような事情に鑑みてなさ
れたものであり、液晶層の厚み設定用としての柱状凸部
を備え、表示品質に優れたカラー液晶表示装置の製造を
可能とするカラーフィルタと、このカラーフィルタの製
造方法を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above-mentioned circumstances, and has a columnar convex portion for setting the thickness of a liquid crystal layer, and makes it possible to manufacture a color liquid crystal display device having excellent display quality. An object of the present invention is to provide a color filter and a method for manufacturing the color filter.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明のカラーフィルタは、基板と、該基板
上に所定のパターンで形成された複数色からなる着色層
と、少なくとも前記着色層を覆うように形成された透明
保護層と、前記基板上の複数の所定部位に形成され前記
透明保護層よりも突出した柱状凸部とを備え、前記透明
保護層は熱硬化性樹脂を用いて形成されたものであり、
前記柱状凸部は感光性樹脂を用いて形成されたものであ
るような構成とした。
In order to achieve the above object, a color filter according to the present invention comprises a substrate, a colored layer of a plurality of colors formed in a predetermined pattern on the substrate, and at least A transparent protective layer formed so as to cover the coloring layer, and a column-shaped convex portion formed at a plurality of predetermined portions on the substrate and projecting from the transparent protective layer, wherein the transparent protective layer is made of a thermosetting resin. Is formed using
The columnar projections were formed using a photosensitive resin.

【0011】本発明のカラーフィルタの製造方法は、基
板上に所定のパターンで複数色からなる着色層を形成し
た後、少なくとも前記着色層を覆うように前記基板上に
熱硬化性樹脂層を形成し、該熱硬化性樹脂層にプリベー
クを施して透明保護層を形成し、その後、該透明保護層
を覆うように前記基板上に感光性樹脂層を形成し、柱状
凸部の形成パターンに相当する開口部を備えたフォトマ
スクを介して前記感光性樹脂層を露光、現像して、前記
基板上の複数の所定部位に柱状凸部を形成し、その後、
ポストベークを施すような構成とした。
In the method of manufacturing a color filter according to the present invention, after a colored layer having a plurality of colors is formed on a substrate in a predetermined pattern, a thermosetting resin layer is formed on the substrate so as to cover at least the colored layer. Then, a pre-baking is performed on the thermosetting resin layer to form a transparent protective layer, and thereafter, a photosensitive resin layer is formed on the substrate so as to cover the transparent protective layer, which corresponds to a formation pattern of columnar convex portions. Exposure and development of the photosensitive resin layer through a photomask having an opening to be formed, to form a columnar convex portion at a plurality of predetermined portions on the substrate,
The configuration was such that post baking was performed.

【0012】このような本発明では、熱硬化性樹脂層に
プリベークを施して形成した透明保護層は、柱状凸部形
成時の現像液に対して安定で表面が粗くなることはな
く、カラーフィルタ表面を平坦化するとともに、着色層
に含有される成分の液晶層への溶出を防止し、また、透
明保護層形成においてフォトリソグラフィー工程は不要
となり、一方、柱状凸部は液晶層の厚み設定用スペーサ
として必要な高さをもつとともに高精度の高さ設定が可
能である。
According to the present invention, the transparent protective layer formed by prebaking the thermosetting resin layer is stable with respect to the developing solution at the time of forming the columnar projections, and the surface does not become rough. In addition to flattening the surface, it prevents the components contained in the colored layer from being eluted into the liquid crystal layer, and eliminates the need for a photolithography step in the formation of the transparent protective layer. It has the necessary height as a spacer and can be set with high precision.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】以下、本発明の最良の実施形態に
ついて図面を参照して説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0014】カラーフィルタ 図1は本発明のカラーフィルタの実施形態の一例を示す
部分平面図であり、図2はA−A線における縦断面図で
ある。図1および図2において、本発明のカラーフィル
タ1は、基板2と、この基板2上に形成されたブラック
マトリックス3および着色層5を備え、ブラックマトリ
ックス3および着色層5を覆うように透明保護層6が形
成されており、さらに、ブラックマトリックス3の所定
の複数の箇所(図1では5箇所)には柱状凸部7が上記
の透明保護層6上に形成されている。
[0014] Color Filter Figure 1 is a partial plan view showing an example of an embodiment of a color filter of the present invention, FIG. 2 is a longitudinal sectional view along the line A-A. 1 and 2, a color filter 1 of the present invention includes a substrate 2, a black matrix 3 and a coloring layer 5 formed on the substrate 2, and a transparent protective film covering the black matrix 3 and the coloring layer 5. A layer 6 is formed. Further, columnar convex portions 7 are formed on the transparent protective layer 6 at a plurality of predetermined locations (five locations in FIG. 1) of the black matrix 3.

【0015】上記のカラーフィルタ1を構成する基板2
としては、石英ガラス、パイレックスガラス、合成石英
板等の可撓性のない透明なリジット材、あるいは透明樹
脂フィルム、光学用樹脂板等の可撓性を有する透明なフ
レキシブル材を用いることができる。この中で特にコー
ニング社製7059ガラスは、熱膨脹率の小さい素材で
あり寸法安定性および高温加熱処理における作業性に優
れ、また、ガラス中にアルカリ成分を含まない無アルカ
リガラスであるため、アクティブマトリックス方式によ
るカラー液晶表示装置用のカラーフィルタに適してい
る。
Substrate 2 constituting color filter 1 described above
For example, a transparent rigid material having no flexibility such as quartz glass, Pyrex glass, or a synthetic quartz plate, or a transparent flexible material having flexibility such as a transparent resin film or an optical resin plate can be used. Of these, Corning 7059 glass is a material having a low coefficient of thermal expansion, excellent dimensional stability and workability in high-temperature heat treatment, and is an alkali-free glass containing no alkali component in the glass. It is suitable for a color filter for a color liquid crystal display device according to the method.

【0016】また、カラーフィルタ1を構成するブラッ
クマトリックス3は、着色層5からなる表示画素部の間
および着色層5の形成領域の外側に設けられている。こ
のようなブラックマトリックス3は、スパッタリング
法、真空蒸着法等により厚み1000〜2000Å程度
のクロム等の金属薄膜を形成し、この薄膜をパターニン
グして形成したもの、カーボン微粒子等の遮光性粒子を
含有させたポリイミド樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹
脂等の樹脂層を形成し、この樹脂層をパターニングして
形成したもの、カーボン微粒子、金属酸化物等の遮光性
粒子を含有させた感光性樹脂層を形成し、この感光性樹
脂層をパターニングして形成したもの等、いずれであっ
てもよい。
The black matrix 3 constituting the color filter 1 is provided between the display pixel portions including the colored layers 5 and outside the region where the colored layers 5 are formed. Such a black matrix 3 is formed by forming a metal thin film of chromium or the like having a thickness of about 1000 to 2000 ° by a sputtering method, a vacuum evaporation method, or the like, and patterning the thin film, and containing light-shielding particles such as carbon fine particles. Forming a resin layer of polyimide resin, acrylic resin, epoxy resin, etc., and forming a photosensitive resin layer containing light-shielding particles such as carbon fine particles, metal oxides, etc. The photosensitive resin layer may be formed by patterning the photosensitive resin layer.

【0017】着色層5は、赤色パターン5R、緑色パタ
ーン5Gおよび青色パターン5Bが所望のパターン形状
で配列されており、所望の着色材を含有した感光性樹脂
を使用した顔料分散法により形成することができ、さら
に、印刷法、電着法、転写法等の公知の方法により形成
することができる。また、着色層5を、例えば、赤色パ
ターン5Rが最も薄く、緑色パターン5G、青色パター
ン5Bの順に厚くすることにより、着色層5の各色ごと
に最適な液晶層厚みを設定するようにしてもよい。
The coloring layer 5 has a red pattern 5R, a green pattern 5G and a blue pattern 5B arranged in a desired pattern shape, and is formed by a pigment dispersion method using a photosensitive resin containing a desired coloring material. And a known method such as a printing method, an electrodeposition method, and a transfer method. In addition, for example, by making the colored pattern 5 thinnest in the red pattern 5R and thickening in the order of the green pattern 5G and the blue pattern 5B, an optimal liquid crystal layer thickness may be set for each color of the colored layer 5. .

【0018】透明保護層6はカラーフィルタ1の表面を
平坦化するとともに、着色層5に含有される成分の液晶
層への溶出を防止するために設けられたものである。こ
の透明保護層6は、熱硬化性樹脂を用いて形成されたも
のである。使用する熱硬化性樹脂としては、アクリル系
樹脂、エポキシ系樹脂、ビニルエーテル系樹脂、ポリイ
ミド系樹脂、フェノール樹脂、ポリエステル樹脂、メラ
ミン樹脂、尿素樹脂等を挙げることができる。
The transparent protective layer 6 is provided for flattening the surface of the color filter 1 and for preventing components contained in the colored layer 5 from being eluted into the liquid crystal layer. This transparent protective layer 6 is formed using a thermosetting resin. Examples of the thermosetting resin to be used include an acrylic resin, an epoxy resin, a vinyl ether resin, a polyimide resin, a phenol resin, a polyester resin, a melamine resin, and a urea resin.

【0019】透明保護層6の厚みは、使用される材料の
光透過率、カラーフィルタ1の表面状態等考慮して設定
することができ、例えば、0.1〜2.0μmの範囲で
設定することができる。このような透明保護層6は、カ
ラーフィルタ1をTFTアレイ基板と貼り合わせたとき
に液晶層と接するような着色層5を少なくとも覆うよう
に形成される。
The thickness of the transparent protective layer 6 can be set in consideration of the light transmittance of the material used, the surface condition of the color filter 1, and the like, and is set, for example, in the range of 0.1 to 2.0 μm. be able to. Such a transparent protective layer 6 is formed so as to cover at least the colored layer 5 which is in contact with the liquid crystal layer when the color filter 1 is bonded to the TFT array substrate.

【0020】柱状凸部7は、カラーフィルタ1をTFT
アレイ基板と貼り合わせたときにスペーサーとして作用
するものである。この柱状凸部7は、上記の透明保護層
6よりも2〜10μm程度の範囲で突出するように一定
の高さをもつものであり、突出量はカラー液晶表示装置
の液晶層に要求される厚み等から適宜設定することがで
きる。また、柱状凸部7の太さは、5〜50μm程度の
範囲で適宜設定することができ、柱状凸部7の形成密度
は、液晶層の厚みムラ、開口率、柱状凸部7の形状、材
質等を考慮して適宜設定することができるが、例えば、
着色層5を構成する赤色パターン5R、緑色パターン5
Gおよび青色パターン5Bの1組に1個の割合で必要十
分なスペーサー機能を発現する。このような柱状凸部7
の形状は、図示例では円柱形状となっているが、これに
限定されるものではなく、角柱形状、截頭錐体形状等で
あってもよい。
The columnar projections 7 are formed by connecting the color filter 1 to a TFT.
It functions as a spacer when bonded to an array substrate. The columnar protrusions 7 have a certain height so as to protrude from the transparent protective layer 6 in a range of about 2 to 10 μm, and the protrusion amount is required for a liquid crystal layer of a color liquid crystal display device. It can be set appropriately from the thickness and the like. The thickness of the columnar protrusions 7 can be appropriately set in a range of about 5 to 50 μm. It can be appropriately set in consideration of the material and the like, for example,
Red pattern 5R and green pattern 5 constituting the colored layer 5
A necessary and sufficient spacer function is expressed in one set of the G and blue patterns 5B. Such columnar projections 7
Is a columnar shape in the illustrated example, but is not limited thereto, and may be a prismatic shape, a truncated pyramid shape, or the like.

【0021】柱状凸部7は、感光性樹脂を用いて形成さ
れたものである。感光性樹脂としては、公知のネガ型お
よびポジ型の感光性樹脂のなかから、柱状凸部7として
要求される機械的強度等を考慮して選定することができ
る。
The columnar projections 7 are formed using a photosensitive resin. The photosensitive resin can be selected from known negative-type and positive-type photosensitive resins in consideration of the mechanical strength and the like required for the columnar projections 7.

【0022】上記の透明保護層6と柱状凸部7を備える
本発明のカラーフィルタ1に配向層を設けて配向処理
(ラビング)した後、TFTアレイ基板と貼り合わせた
場合、柱状凸部7がカラーフィルタ1とTFTアレイ基
板との間に間隙を形成し、両基板の間隙精度は極めて高
いものとなる。尚、本発明のカラーフィルタは、ブラッ
クマトリックス3を備えず、非画素部分に相当する位置
に上述の柱状凸部7を形成したもの等であってもよい。
When an alignment layer is provided on the color filter 1 of the present invention having the transparent protective layer 6 and the columnar projections 7 and the alignment processing (rubbing) is performed, and then the TFTs are bonded to a TFT array substrate, the columnar projections 7 A gap is formed between the color filter 1 and the TFT array substrate, and the gap accuracy between the two substrates is extremely high. Note that the color filter of the present invention may not include the black matrix 3 and may have the above-described columnar convex portion 7 formed at a position corresponding to a non-pixel portion.

【0023】カラーフィルタの製造方法 次に、本発明のカラーフィルタ製造方法の実施形態の一
例について、図1および図2に示されたカラーフィルタ
1を例に、図3および図4を参照しながら説明する。
The method of manufacturing a color filter Next, an example embodiment of a color filter manufacturing method of the present invention, an example color filter 1 shown in FIGS. 1 and 2, with reference to FIGS. 3 and 4 explain.

【0024】本発明のカラーフィルタの製造方法では、
まず、基板2上にブラックマトリックス3を形成し、次
いで、基板2上の赤色パターン形成領域に赤色パターン
5R、緑色パターン形成領域に緑色パターン5G、さら
に、青色パターン形成領域に青色パターン5Bを形成し
て着色層5とする(図3(A))。
In the method for manufacturing a color filter according to the present invention,
First, a black matrix 3 is formed on the substrate 2, and then a red pattern 5R is formed in a red pattern forming region, a green pattern 5G is formed in a green pattern forming region, and a blue pattern 5B is formed in a blue pattern forming region on the substrate 2. To form a colored layer 5 (FIG. 3A).

【0025】ブラックマトリックス3の形成は、例え
ば、以下のように行うことができる。まず、スパッタリ
ング法、真空蒸着法等により形成したクロム等の金属薄
膜、カーボン微粒子等の遮光性粒子を含有した樹脂層等
からなる遮光層を基板2上に形成し、この遮光層上に公
知のポジ型あるいはネガ型の感光性レジストを用いて感
光性レジスト層を形成する。次いで、感光性レジスト層
をブラックマトリックス用のフォトマスクを介して露
光、現像し、露出した遮光層をエッチングした後、残存
する感光性レジスト層を除去することによって、ブラッ
クマトリックス3を形成する。
The formation of the black matrix 3 can be performed, for example, as follows. First, a light-shielding layer formed of a metal thin film such as chromium formed by a sputtering method, a vacuum evaporation method, or the like, a resin layer containing light-shielding particles such as carbon fine particles, or the like is formed on the substrate 2, and a known light-shielding layer is formed on the light-shielding layer. A photosensitive resist layer is formed using a positive or negative photosensitive resist. Next, the black matrix 3 is formed by exposing and developing the photosensitive resist layer through a black matrix photomask, etching the exposed light shielding layer, and removing the remaining photosensitive resist layer.

【0026】また、上記の着色層5の形成は、例えば、
以下のように行うことができる。まず、ブラックマトリ
ックス3を覆うように基板2上に赤色着色材を含有した
赤色感光性樹脂層を形成し、所定のフォトマスクを介し
て上記の赤色感光性樹脂層を露光して現像を行うことに
より、基板2上の赤色パターン形成領域に赤色パターン
5Rを形成する。以下、同様に、基板2上の緑色パター
ン形成領域に緑色パターン5Gを形成し、さらに、基板
2上の青色パターン形成領域に青色パターン5Bを形成
する。
The formation of the colored layer 5 is performed, for example, by
It can be performed as follows. First, a red photosensitive resin layer containing a red coloring material is formed on the substrate 2 so as to cover the black matrix 3, and the red photosensitive resin layer is exposed to light through a predetermined photomask and developed. Thereby, a red pattern 5R is formed in the red pattern forming region on the substrate 2. Hereinafter, similarly, a green pattern 5G is formed in a green pattern formation region on the substrate 2, and further, a blue pattern 5B is formed in a blue pattern formation region on the substrate 2.

【0027】次に、ブラックマトリックス3および着色
層5を覆うように透明保護層6を形成する(図3
(B))。この透明保護層6の形成は、上述のようなア
クリル系樹脂、エポキシ系樹脂、ビニルエーテル系樹
脂、ポリイミド系樹脂、フェノール樹脂、ポリエステル
樹脂、メラミン樹脂、尿素樹脂等の熱硬化性樹脂を、粘
度の最適化を行った上で、スピンコータ、ロールコータ
等の公知の手段によりブラックマトリックス3および着
色層5を覆うように塗布し、プリベーク処理を施し硬化
させることにより形成することができる。このように、
透明保護層6の形成にはフォトリソグラフィー工程は不
要であり、かつ、形成された透明保護層6は、後述する
柱状凸部形成のフォトリソグラフィー工程にて用いる現
像液に対して安定で表面が粗くなることはない。したが
って、透明保護層6は、カラーフィルタ表面を平坦化す
るとともに着色層に含有される成分の液晶層への溶出を
防止することができる。
Next, a transparent protective layer 6 is formed so as to cover the black matrix 3 and the colored layer 5.
(B)). The transparent protective layer 6 is formed by applying a thermosetting resin such as an acrylic resin, an epoxy resin, a vinyl ether resin, a polyimide resin, a phenol resin, a polyester resin, a melamine resin, and a urea resin as described above to a resin having a viscosity. After optimization, it can be formed by applying a known method such as a spin coater or a roll coater so as to cover the black matrix 3 and the colored layer 5, applying a pre-baking treatment, and curing. in this way,
The formation of the transparent protective layer 6 does not require a photolithography step, and the formed transparent protective layer 6 is stable and has a rough surface with respect to a developing solution used in a photolithography step of forming columnar projections described later. It will not be. Therefore, the transparent protective layer 6 can flatten the surface of the color filter and prevent the components contained in the colored layer from being eluted into the liquid crystal layer.

【0028】次いで、透明保護層6を覆うようにネガ型
の感光性樹脂層8を形成する(図3(C))。この感光
性樹脂層8の形成は、公知のネガ型の感光性樹脂組成物
を、粘度の最適化を行った上で、スピンコータ、ロール
コータ等の公知の手段により透明保護層6を覆うように
塗布、乾燥して形成することができる。感光性樹脂層8
の厚みは、柱状凸部7に要求される高さに応じて適宜設
定することができる。
Next, a negative photosensitive resin layer 8 is formed so as to cover the transparent protective layer 6 (FIG. 3C). The photosensitive resin layer 8 is formed by optimizing the viscosity of a known negative photosensitive resin composition and then covering the transparent protective layer 6 by a known means such as a spin coater or a roll coater. It can be formed by coating and drying. Photosensitive resin layer 8
Can be appropriately set according to the height required for the columnar projections 7.

【0029】次に、感光性樹脂層8を柱状凸部形成用の
フォトマスクMを介して露光する(図4(A))。使用
するフォトマスクMは、柱状凸部7形成のための所定の
位置に開口部を備えている。次いで、現像液により感光
性樹脂層8の現像が行われる。この現像によって、柱状
凸部形成部位の感光性樹脂層8は溶解されずに柱状凸部
7として残り、本発明のカラーフィルタ1が得られる
(図4(B))。尚、上述の実施形態では、着色層5は
顔料分散法により形成されるが、本発明はこれに限定さ
れるものではない。例えば、印刷法、転写法等を用いる
ことができ、また、基板2上に予め透明導電膜を形成し
て電着法を用いることもできる。
Next, the photosensitive resin layer 8 is exposed through a photomask M for forming columnar projections (FIG. 4A). The photomask M to be used has an opening at a predetermined position for forming the columnar projection 7. Next, the photosensitive resin layer 8 is developed with a developer. As a result of this development, the photosensitive resin layer 8 at the portion where the columnar projections are formed is not dissolved but remains as the columnar projections 7, and the color filter 1 of the present invention is obtained (FIG. 4B). In the above embodiment, the coloring layer 5 is formed by a pigment dispersion method, but the present invention is not limited to this. For example, a printing method, a transfer method, or the like can be used, and a transparent conductive film can be formed on the substrate 2 in advance, and an electrodeposition method can be used.

【0030】[0030]

【実施例】次に、実施例を示して本発明を更に詳細に説
明する。
Next, the present invention will be described in more detail with reference to examples.

【0031】(実施例)カラーフィルタ用の基板とし
て、300mm×400mm、厚さ1.1mmのガラス
基板(コーニング社製7059ガラス)を準備した。こ
の基板を定法にしたがって洗浄した後、基板の片側全面
にスパッタリング法により金属クロムからなる遮光層
(厚さ0.1μm)を成膜した。次いで、この遮光層に
対して、通常のフォトリソグラフィー法によって感光性
レジスト塗布、マスク露光、現像、エッチング、レジス
ト層剥離を行ってブラックマトリックスを形成した。
(Example) As a substrate for a color filter, a glass substrate having a size of 300 mm x 400 mm and a thickness of 1.1 mm (Corning 7059 glass) was prepared. After washing the substrate according to a conventional method, a light-shielding layer (thickness: 0.1 μm) made of metallic chromium was formed on the entire surface of one side of the substrate by a sputtering method. Next, the light-shielding layer was subjected to photosensitive resist coating, mask exposure, development, etching, and resist layer peeling by a normal photolithography method to form a black matrix.

【0032】次に、ブラックマトリックスが形成された
基板全面に、赤色パターン用の感光性着色材料(富士フ
ィルムオーリン(株)製カラーモザイクCR−700
1)をスピンコート法により塗布して赤色感光性樹脂層
を形成し、プレベーク(95℃、5分間)を行った。そ
の後、所定の着色パターン用フォトマスクを用いて赤色
感光性樹脂層をアライメント露光し、現像液(富士フィ
ルムオーリン(株)製カラーモザイク用現像液CDの希
釈液)にて現像を行い、次いで、ポストベーク(200
℃、30分間)を行って、ブラックマトリックスパター
ンに対して所定の位置に赤色パターン(厚み1.5μ
m)を形成した。
Next, a photosensitive coloring material for red pattern (Color Mosaic CR-700 manufactured by Fuji Film Ohrin Co., Ltd.) is applied over the entire surface of the substrate on which the black matrix is formed.
1) was applied by spin coating to form a red photosensitive resin layer, and prebaked (95 ° C., 5 minutes). Thereafter, the red photosensitive resin layer is aligned and exposed using a predetermined colored pattern photomask, and is developed with a developing solution (a diluting solution of a color mosaic developing solution CD manufactured by Fuji Film Olin Co., Ltd.). Post bake (200
At 30 ° C. for 30 minutes) to obtain a red pattern (1.5 μm
m) was formed.

【0033】同様に、緑色パターン用の感光性着色材料
(富士フィルムオーリン(株)製カラーモザイクCG−
7001)を用いて、ブラックマトリックスパターンに
対して所定の位置に緑色パターン(厚み1.5μm)を
形成した。さらに、青色パターン用の感光性着色材料
(富士フィルムオーリン(株)製カラーモザイクCB−
7001)を用いて、ブラックマトリックスパターンに
対して所定の位置に青色パターン(厚み1.5μm)を
形成した。
Similarly, a photosensitive coloring material for a green pattern (Color Mosaic CG-Fuji Film Orin Co., Ltd.)
7001), a green pattern (thickness: 1.5 μm) was formed at a predetermined position with respect to the black matrix pattern. Further, a photosensitive coloring material for a blue pattern (Color Mosaic CB-Fuji Film Olin Co., Ltd.)
7001), a blue pattern (thickness: 1.5 μm) was formed at a predetermined position with respect to the black matrix pattern.

【0034】次に、着色層が形成された基板上に熱硬化
性樹脂材料(JSR(株)製オプトマーSS6699
G)をスピンコート法により塗布して熱硬化性樹脂層を
形成し、この熱硬化性樹脂層に対して、120℃、5分
間のプリベーク処理を施して、厚み1.5μmの透明保
護層を形成した。
Next, a thermosetting resin material (Optomer SS6699 manufactured by JSR Corporation) is formed on the substrate on which the colored layer is formed.
G) is applied by a spin coating method to form a thermosetting resin layer, and the thermosetting resin layer is subjected to a prebaking treatment at 120 ° C. for 5 minutes to form a 1.5 μm-thick transparent protective layer. Formed.

【0035】次に、上記の透明保護層上に、ネガ型の下
記組成の透明感光性樹脂材料をプロピレングリコールモ
ノメチルエーテルアセテートにて粘度調整した塗布液を
スピンコート法により塗布し乾燥して、厚み5.5μm
の透明感光性樹脂層を形成した。
Next, on the above-mentioned transparent protective layer, a negative type transparent photosensitive resin material having the following composition, the viscosity of which was adjusted with propylene glycol monomethyl ether acetate, was applied by spin coating, followed by drying. 5.5 μm
Was formed.

【0036】 透明感光性樹脂材料の組成 ・バインダー樹脂 … 150重量部 ベンジルメタクリレート・メタクリル酸共重合体 (モル比73/27) ・モノマー … 80重量部 ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート ・重合開始剤 … 25重量部 チバスペシャリティケミカル(株)製 イルガキュア369Composition of transparent photosensitive resin material Binder resin 150 parts by weight Benzyl methacrylate-methacrylic acid copolymer (molar ratio 73/27) Monomer 80 parts by weight Dipentaerythritol hexaacrylate Polymerization initiator 25 parts by weight Irgacure 369 made by Ciba Specialty Chemical Co., Ltd.

【0037】次いで、超高圧水銀灯を露光光源とするプ
ロキシミティ露光機にて、柱状凸部の形成位置に所定形
状の開口部を設けたフォトマスクを介して400mJ/
cm 2 の露光量で露光を行った。
Next, a projector using an ultra-high pressure mercury lamp as an exposure light source.
Use a roximity exposure machine to form a columnar projection
400 mJ / through a photomask provided with
cm Two Exposure was performed at an exposure amount of

【0038】次に、基板を現像液(水酸化カリウム0.
05重量%水溶液)に60秒間浸漬して現像を行い、洗
浄後、クリーンオーブン中でポストベーク(200℃、
30分間)を行った。これにより、露光された箇所に
は、透明保護層上に高さ5.0μmの透明な円柱形状の
柱状凸部が形成され、図1および図2に示されるような
構造のカラーフィルタ(実施例)を得た。
Next, the substrate is washed with a developing solution (potassium hydroxide 0. 1).
05% by weight aqueous solution) for 60 seconds to develop, after washing, post-baking (200 ° C.,
30 minutes). As a result, a transparent columnar convex portion having a height of 5.0 μm was formed on the transparent protective layer at the exposed portion, and the color filter having the structure shown in FIGS. ) Got.

【0039】(比較例1)まず、実施例と同様にして、
ブラックマトリックスおよび着色層を形成した。次に、
着色層が形成された基板上にネガ型の透明感光性樹脂材
料(JSR(株)製NN550)をスピンコート法によ
り塗布し、プロキシミティ露光機を用いて300mJ/
cm2 の露光量で露光を行った。その後、さらに、20
0℃、30分間の加熱処理を施して、厚み1.5μmの
透明保護層を形成した。
(Comparative Example 1) First, as in the example,
A black matrix and a colored layer were formed. next,
A negative-type transparent photosensitive resin material (NN550 manufactured by JSR Corporation) is applied on the substrate on which the colored layer is formed by spin coating, and 300 mJ / m is applied using a proximity exposure machine.
Exposure was performed at an exposure dose of cm 2 . After that, another 20
A heat treatment was performed at 0 ° C. for 30 minutes to form a transparent protective layer having a thickness of 1.5 μm.

【0040】次いで、この透明保護層上に、実施例と同
様にして柱状凸部を形成し、カラーフィルタ(比較例
1)を得た。
Next, columnar projections were formed on the transparent protective layer in the same manner as in the example, to obtain a color filter (Comparative Example 1).

【0041】(比較例2)透明保護層の形成工程で加熱
処理を施さない他は、比較例1と同様にしてカラーフィ
ルタ(比較例2)を得た。
Comparative Example 2 A color filter (Comparative Example 2) was obtained in the same manner as in Comparative Example 1 except that no heat treatment was performed in the step of forming the transparent protective layer.

【0042】上述の実施例、比較例1、2において作製
した各カラーフィルタの透明保護層上に、スパッタリン
グ法により酸化インジウムスズ(ITO)からなる透明
導電層(厚み0.15μm)を形成し、更に、ポリイミ
ド配向層を設けて配向処理(ラビング)した後、エポキ
シ樹脂系シール剤を用いてTFTアレイ基板と貼り合わ
せ、TN型液晶をカラーフィルタとTFTアレイ基板と
の間の間隙部に封入した。
A transparent conductive layer (0.15 μm thick) made of indium tin oxide (ITO) was formed by a sputtering method on the transparent protective layer of each color filter produced in the above-mentioned Examples and Comparative Examples 1 and 2. Furthermore, after a polyimide alignment layer was provided and subjected to an alignment treatment (rubbing), it was bonded to a TFT array substrate using an epoxy resin sealant, and TN type liquid crystal was sealed in a gap between the color filter and the TFT array substrate. .

【0043】実施例および比較例1のカラーフィルタを
用いて作製した液晶表示装置は、表示面全体に均一な間
隙が保持されており、また、カラーフィルタ表面が平坦
で、かつ、着色層の含有成分が液晶層へ溶出することが
ないので、色ムラ等を生じることなく良好な表示品質が
得られた。
In the liquid crystal display devices manufactured using the color filters of Example and Comparative Example 1, a uniform gap is maintained on the entire display surface, the surface of the color filter is flat, and a color layer is contained. Since the components did not elute into the liquid crystal layer, good display quality was obtained without causing color unevenness or the like.

【0044】一方、比較例2のカラーフィルタを用いて
作製した液晶表示装置は、透明保護層の表面平滑性が悪
く、良好な表示品質が得られなかった。
On the other hand, in the liquid crystal display device manufactured using the color filter of Comparative Example 2, the surface smoothness of the transparent protective layer was poor, and good display quality was not obtained.

【0045】[0045]

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば透
明保護層は熱硬化性樹脂層にプリベークを施して形成さ
れるので、フォトリソグラフィー工程は不要であり、か
つ、形成された透明保護層は柱状凸部形成時の現像液に
対して安定で表面が粗くなることはないので、カラーフ
ィルタ表面を平坦化するとともに着色層に含有される成
分の液晶層への溶出を防止する。また、感光性樹脂層を
露光・現像して形成された複数の柱状凸部は、液晶層の
厚み設定用スペーサとして必要な高さをもつとともに、
その高さを優れた精度で設定することができる。さら
に、上記の透明保護層と柱状凸部の形成では、フォトリ
ソグラフィー工程が柱状凸部形成のための1回となるの
で、製造ラインが短くなり、スループットが向上すると
いう効果が奏される。
As described above in detail, according to the present invention, since the transparent protective layer is formed by pre-baking the thermosetting resin layer, a photolithography step is not required, and the formed transparent protective layer is formed. The protective layer is stable to the developing solution at the time of forming the columnar projections and does not become rough, so that the surface of the color filter is flattened and the components contained in the colored layer are prevented from being eluted into the liquid crystal layer. In addition, the plurality of columnar protrusions formed by exposing and developing the photosensitive resin layer have a height required as a spacer for setting the thickness of the liquid crystal layer,
Its height can be set with excellent accuracy. Further, in the above-described formation of the transparent protective layer and the columnar projections, the photolithography process is performed once for forming the columnar projections, so that the production line is shortened and the effect of improving the throughput is achieved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のカラーフィルタの実施形態の一例を示
す部分平面図である。
FIG. 1 is a partial plan view showing an example of an embodiment of a color filter of the present invention.

【図2】図1に示された本発明のカラーフィルタのA−
A線における縦断面図である。
FIG. 2 is a diagram illustrating a color filter according to the present invention shown in FIG.
It is a longitudinal cross-sectional view in the A line.

【図3】本発明のカラーフィルタの製造方法の一例を説
明するための工程図である。
FIG. 3 is a process diagram illustrating an example of a method for manufacturing a color filter of the present invention.

【図4】本発明のカラーフィルタの製造方法の一例を説
明するための工程図である。
FIG. 4 is a process chart illustrating an example of a method for manufacturing a color filter of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…カラーフィルタ 2…基板 3…ブラックマトリックス 5…着色層 6…透明保護層 7…柱状凸部 8…感光性樹脂層 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Color filter 2 ... Substrate 3 ... Black matrix 5 ... Coloring layer 6 ... Transparent protective layer 7 ... Column-shaped convex part 8 ... Photosensitive resin layer

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基板と、該基板上に所定のパターンで形
成された複数色からなる着色層と、少なくとも前記着色
層を覆うように形成された透明保護層と、前記基板上の
複数の所定部位に形成され前記透明保護層よりも突出し
た柱状凸部とを備え、前記透明保護層は熱硬化性樹脂を
用いて形成されたものであり、前記柱状凸部は感光性樹
脂を用いて形成されたものであることを特徴とするカラ
ーフィルタ。
1. A substrate, a colored layer of a plurality of colors formed in a predetermined pattern on the substrate, a transparent protective layer formed so as to cover at least the colored layer, and a plurality of predetermined layers on the substrate. A column-shaped protrusion formed at a site and protruding from the transparent protection layer, wherein the transparent protection layer is formed using a thermosetting resin, and the column-shaped protrusion is formed using a photosensitive resin. A color filter, characterized in that the color filter is a color filter.
【請求項2】 基板上に所定のパターンで複数色からな
る着色層を形成した後、少なくとも前記着色層を覆うよ
うに前記基板上に熱硬化性樹脂層を形成し、該熱硬化性
樹脂層にプリベークを施して透明保護層を形成し、その
後、該透明保護層を覆うように前記基板上に感光性樹脂
層を形成し、柱状凸部の形成パターンに相当する開口部
を備えたフォトマスクを介して前記感光性樹脂層を露
光、現像して、前記基板上の複数の所定部位に柱状凸部
を形成し、その後、ポストベークを施すことを特徴とす
るカラーフィルタの製造方法。
2. After forming a colored layer having a plurality of colors in a predetermined pattern on a substrate, a thermosetting resin layer is formed on the substrate so as to cover at least the colored layer. To form a transparent protective layer by pre-baking, and then form a photosensitive resin layer on the substrate so as to cover the transparent protective layer, and provide a photomask having an opening corresponding to the formation pattern of the columnar protrusions. Exposing and developing the photosensitive resin layer through the substrate to form columnar projections at a plurality of predetermined portions on the substrate, and thereafter performing post-baking.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003029019A (en) * 2001-07-17 2003-01-29 Dainippon Printing Co Ltd Method for manufacturing color filter
JP2009098608A (en) * 2007-09-27 2009-05-07 Toray Ind Inc Manufacturing method of substrate for liquid crystal display apparatus
JP2009145800A (en) * 2007-12-18 2009-07-02 Toray Ind Inc Method of manufacturing color filter substrate for liquid crystal display
CN107678203A (en) * 2017-11-08 2018-02-09 昆山龙腾光电有限公司 Color membrane substrates and preparation method thereof and liquid crystal display panel

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1999000705A1 (en) * 1997-06-26 1999-01-07 Dainippon Printing Co., Ltd. Methods of forming raised and recessed patterns and use of the patterns in the manufacture of liquid crystal display color filters
JPH1172613A (en) * 1997-07-01 1999-03-16 Toray Ind Inc Color filter and liquid crystal display device

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1999000705A1 (en) * 1997-06-26 1999-01-07 Dainippon Printing Co., Ltd. Methods of forming raised and recessed patterns and use of the patterns in the manufacture of liquid crystal display color filters
JPH1172613A (en) * 1997-07-01 1999-03-16 Toray Ind Inc Color filter and liquid crystal display device

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003029019A (en) * 2001-07-17 2003-01-29 Dainippon Printing Co Ltd Method for manufacturing color filter
JP4703048B2 (en) * 2001-07-17 2011-06-15 大日本印刷株式会社 Manufacturing method of color filter
JP2009098608A (en) * 2007-09-27 2009-05-07 Toray Ind Inc Manufacturing method of substrate for liquid crystal display apparatus
JP2009145800A (en) * 2007-12-18 2009-07-02 Toray Ind Inc Method of manufacturing color filter substrate for liquid crystal display
CN107678203A (en) * 2017-11-08 2018-02-09 昆山龙腾光电有限公司 Color membrane substrates and preparation method thereof and liquid crystal display panel

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