JP2000338506A - Liquid crystal display device and its production - Google Patents

Liquid crystal display device and its production

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JP2000338506A
JP2000338506A JP11153271A JP15327199A JP2000338506A JP 2000338506 A JP2000338506 A JP 2000338506A JP 11153271 A JP11153271 A JP 11153271A JP 15327199 A JP15327199 A JP 15327199A JP 2000338506 A JP2000338506 A JP 2000338506A
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JP
Japan
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shielding film
color filter
substrate
light
liquid crystal
Prior art date
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Pending
Application number
JP11153271A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kazunori Inoue
和式 井上
Munehito Kumagai
宗人 熊谷
Akira Tsumura
顯 津村
Keisuke Nakaguchi
佳祐 中口
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Advanced Display Inc
Original Assignee
Advanced Display Inc
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent bright spot defects due to leaking of light caused by chips or defects in a color filter layer and to secure enough adhesion strength between a sealing member and a color filter substrate. SOLUTION: The light-shielding film of a color filter substrate 2A is constituted of a resin light-shielding film 8 surrounding each color filter layer 7 and a frame-like metal light-shielding film 9 arranged on the periphery of the resin light-shielding film 8 and in contact with the outer edge of the film 8, and then a sealing member 12 for joining the substrates is formed on the metal light-shielding film 9. Since the resin light-shielding film 8 is formed by the exposure on the back face using the metal light-shielding film 9 and the color filter layer 7 as a mask, even when chips or defects are produced due to a defective pattern of the color filter layer 7, these defects are filled with the resin light-shielding film 8 and bright spot defects due to leaking of light can be prevented. Moreover, since the metal light-shielding film 9 has high adhesion strength with the sealing member 12, a sufficient lamination strength of the substrates can be obtd., and the obtd. liquid crystal display device has high display quality and high reliability.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は液晶表示装置に関
し、特に、カラーフィルタ基板の着色フィルタ層のカケ
または欠損に起因する光抜けによる輝点欠陥を防止し、
且つ十分な基板貼り合わせ強度を確保できる表示品質及
び信頼性の高い液晶表示装置及びその製造方法に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display device, and more particularly to a liquid crystal display device which prevents a bright spot defect caused by light leakage due to chipping or loss of a color filter layer of a color filter substrate.
Also, the present invention relates to a liquid crystal display device with high display quality and high reliability, which can secure sufficient substrate bonding strength, and a method for manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】図6は、従来の液晶表示装置の一例を示
す断面図である。図において、100Bは従来の液晶表
示装置であり、アレイ基板1Bとカラーフィルタ基板2
Bより構成されている。アレイ基板1Bの構成要素は以
下の通りである。1は例えばガラス基板等の透明絶縁性
基板であり、透明絶縁性基板1上にはスイッチング素子
である複数の薄膜トランジスタ3とこれに接続された複
数の画素電極4が形成されている。また、5は窒化シリ
コンや透明性絶縁樹脂からなる保護膜、6はポリイミド
からなる配向膜である。次に、カラーフィルタ基板2B
の構成要素について説明する。2は例えばガラス基板等
の透明絶縁性基板、7はアレイ基板1Aの画素電極4に
対応するように配置された着色フィルタ層であり、赤、
緑及び青の着色フィルタ層7R、7G、7Bが一定間隔
をおいて周期的に配置されている。9はCr等の金属か
らなる金属遮光膜、10はITO等の透明導電膜からな
る透明電極、11はポリイミドからなる配向膜である。
また、12はアレイ基板1B及びカラーフィルタ基板2
B間の外縁部に設けられ、両基板を貼り合わせるエポキ
シ樹脂からなるシール部材であり、少なくとも一方の透
明絶縁性基板の所定の非表示領域に印刷により形成され
ている。さらに、13はアレイ基板1B、カラーフィル
タ基板2B及びシール部材12によって形成される空間
に配置された液晶層である。図6に示す従来の液晶表示
装置では、シール部材12は、カラーフィルタ基板2B
上の外周部に額縁状に形成された金属遮光膜9と、対向
するアレイ基板1B上に形成されたの保護膜5を介して
それぞれの基板と接着されることにより、十分な接着強
度が確保されていた。
2. Description of the Related Art FIG. 6 is a sectional view showing an example of a conventional liquid crystal display device. In the figure, reference numeral 100B denotes a conventional liquid crystal display device, which includes an array substrate 1B and a color filter substrate 2B.
B. The components of the array substrate 1B are as follows. Reference numeral 1 denotes a transparent insulating substrate such as a glass substrate, on which a plurality of thin film transistors 3 serving as switching elements and a plurality of pixel electrodes 4 connected thereto are formed. Reference numeral 5 denotes a protective film made of silicon nitride or a transparent insulating resin, and reference numeral 6 denotes an alignment film made of polyimide. Next, the color filter substrate 2B
Will be described. Reference numeral 2 denotes a transparent insulating substrate such as a glass substrate, and 7 denotes a colored filter layer arranged so as to correspond to the pixel electrode 4 of the array substrate 1A.
Green and blue coloring filter layers 7R, 7G, 7B are periodically arranged at regular intervals. 9 is a metal light-shielding film made of a metal such as Cr, 10 is a transparent electrode made of a transparent conductive film such as ITO, and 11 is an alignment film made of polyimide.
Reference numeral 12 denotes an array substrate 1B and a color filter substrate 2.
A seal member provided at an outer edge portion between B and made of an epoxy resin for bonding both substrates, and is formed by printing on a predetermined non-display area of at least one transparent insulating substrate. Reference numeral 13 denotes a liquid crystal layer arranged in a space formed by the array substrate 1B, the color filter substrate 2B, and the seal member 12. In the conventional liquid crystal display device shown in FIG.
Sufficient bonding strength is ensured by being bonded to the respective substrates via the metal light-shielding film 9 formed in a frame shape on the upper outer peripheral portion and the protective film 5 formed on the opposing array substrate 1B. It had been.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ように構成された従来の液晶表示装置において、例えば
図7に示すように、カラーフィルタ基板2Bの着色フィ
ルタ層7にカケや欠損が発生した場合、その部分が光抜
けによる輝点欠陥となり、表示品質の低下や歩留まり低
下の大きな要因となっていた。図7において、15は緑
の着色フィルタ層7Gに発生したカケを示している。こ
のような問題点を解決する方法として、例えば特開平1
−293306号公報では、カラーフィルタ基板に赤、
緑、青の着色フィルタ層を順次形成した後に黒色レジス
トを塗布し、表示領域内の着色フィルタ層をマスクとし
て裏面露光し樹脂遮光膜を形成する方法が提案されてい
る。この方法によれば、着色フィルタ層にカケまたは欠
損があっても、その部分が黒色レジストからなる樹脂遮
光膜で埋められるため、光抜けによる輝点欠陥を自己修
復的に回避することが可能となり、表示品質や歩留まり
の低下を防止することができる。しかしながら、この構
造では、樹脂遮光膜上にシール部材を形成することにな
り、一般にエポキシ樹脂からなるシール部材と樹脂遮光
膜の接着強度は小さいため、カラーフィルタ基板とアレ
イ基板の貼り合わせ強度が低下するという問題が発生し
ていた。
However, in the conventional liquid crystal display device configured as described above, for example, as shown in FIG. 7, when a chip or a defect occurs in the color filter layer 7 of the color filter substrate 2B. However, such a portion becomes a bright spot defect due to light leakage, which has been a major factor in lowering the display quality and lowering the yield. In FIG. 7, reference numeral 15 denotes a chip generated on the green colored filter layer 7G. As a method for solving such a problem, for example, Japanese Unexamined Patent Publication No.
Japanese Patent No. -293306 discloses that a color filter substrate has red,
A method has been proposed in which a green resist and a blue resist layer are sequentially formed, a black resist is applied, and the back surface is exposed using the colored filter layer in the display area as a mask to form a resin light-shielding film. According to this method, even if there is a chip or a defect in the colored filter layer, the portion is filled with the resin light-shielding film made of a black resist, so that a bright spot defect due to light leakage can be avoided in a self-healing manner. In addition, it is possible to prevent the display quality and the yield from lowering. However, in this structure, the sealing member is formed on the resin light-shielding film, and the bonding strength between the seal member made of epoxy resin and the resin light-shielding film is generally small, so that the bonding strength between the color filter substrate and the array substrate is reduced. Had a problem.

【0004】この問題を解決する方法が、例えば特開平
10―170930号公報に開示されている。これによ
ると、シール部材を樹脂遮光膜よりも液晶表示装置の外
周側へずらし、遮光性のあるシール部材の内周側だけに
樹脂遮光膜が存在し、その外周部でTFTアレイ基板と
カラーフィルタ基板を直接接着させる技術が開示されて
いる。しかしながら、このような構造では、カラーフィ
ルタ基板とシール部材の接着強度が未だ十分ではなく、
また、近年の液晶表示装置においては、パネルサイズに
比してTFT−LCD本体のサイズ小型化が進んでいる
ことや生産性の向上のために、必要最小限のガラスサイ
ズで効率良くパネルの多面取りを行う必要があること等
から、パネルの表示領域外側の余裕度は少なく、いわゆ
る狭額緑化になる傾向にあるため、シール部材を外周方
向にずらして形成し、貼り合わせ強度を確保するという
方法は好ましくない。
A method for solving this problem is disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 10-170930. According to this, the seal member is shifted to the outer peripheral side of the liquid crystal display device from the resin light-shielding film, and the resin light-shielding film is present only on the inner peripheral side of the light-shielding seal member. A technique for directly bonding substrates is disclosed. However, with such a structure, the adhesive strength between the color filter substrate and the sealing member is not yet sufficient,
Further, in recent liquid crystal display devices, the size of the TFT-LCD body is becoming smaller than the panel size, and in order to improve the productivity, the number of panels can be efficiently increased with a minimum glass size. Due to the necessity of chamfering and the like, the margin outside the display area of the panel is small, and it tends to be a so-called narrow greenery. Therefore, the sealing member is formed shifted in the outer peripheral direction to secure the bonding strength. The method is not preferred.

【0005】本発明は、上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、カラーフィルタ基板の着色フィ
ルタ層のカケや欠損に起因する光抜けによる輝点欠陥を
防止すると共に、シール部材とカラーフィルタ基板の十
分な接着強度を確保することが可能な表示品質及び信頼
性の高い液晶表示装置及びその製造方法を提供すること
を目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and it is intended to prevent a bright spot defect due to light leakage due to chipping or chipping of a color filter layer of a color filter substrate and to provide a sealing member. It is an object of the present invention to provide a liquid crystal display device with high display quality and high reliability, which can ensure a sufficient adhesive strength between the color filter substrate and a color filter substrate, and a method for manufacturing the same.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明に係わる液晶表示
装置は、透明絶縁性基板上に複数の薄膜トランジスタと
これに接続された複数の画素電極が形成されたアレイ基
板と、別の透明絶縁性基板上に各画素電極に対応する複
数の着色フィルタ層と、各着色フィルタ層を取り囲む樹
脂遮光膜と、この樹脂遮光膜の外周にその外縁に接する
ように配置された額縁状の金属遮光膜が形成され、アレ
イ基板と対向配置されるカラーフィルタ基板と、アレイ
基板及びカラーフィルタ基板間の外縁部に設けられ、両
基板を貼り合わせるシール部材と、アレイ基板、カラー
フィルタ基板及びシール部材によって形成される空間に
配置された液晶層を備え、シール部材は、少なくともそ
の一部が金属遮光膜を介してカラーフィルタ基板と接着
しているものである。また、シール部材は、カラーフィ
ルタ基板との接着面全面において、金属遮光膜を介して
カラーフィルタ基板と接着しているものである。
According to the present invention, there is provided a liquid crystal display device comprising: an array substrate in which a plurality of thin film transistors and a plurality of pixel electrodes connected thereto are formed on a transparent insulating substrate; A plurality of colored filter layers corresponding to each pixel electrode on the substrate, a resin light-shielding film surrounding each colored filter layer, and a frame-shaped metal light-shielding film arranged on the outer periphery of the resin light-shielding film so as to be in contact with its outer edge. A color filter substrate formed and arranged to face the array substrate, a seal member provided at an outer edge between the array substrate and the color filter substrate, and bonding both substrates, and an array substrate, a color filter substrate, and a seal member A liquid crystal layer disposed in a space, and at least a part of the seal member is adhered to the color filter substrate via a metal light shielding film. . Further, the seal member is bonded to the color filter substrate via a metal light shielding film on the entire surface of the bonding surface with the color filter substrate.

【0007】また、カラーフィルタ基板は、着色フィル
タ層及び樹脂遮光膜を完全に覆う透明導電膜を有するも
のである。また、カラーフィルタ基板は、着色フィルタ
層及び樹脂遮光膜を覆う平坦化膜を有するものである。
また、カラーフィルタ基板は、金属遮光膜と同じ材料で
形成された位置合わせ用マークを有するものである。さ
らに、金属遮光膜として、Cr、Mo、Cr/CrO
x、Mo/Mo Oxのいずれかを用いたものである。
The color filter substrate has a transparent conductive film that completely covers the color filter layer and the resin light-shielding film. The color filter substrate has a flattening film that covers the color filter layer and the resin light-shielding film.
The color filter substrate has a positioning mark formed of the same material as the metal light shielding film. Furthermore, Cr, Mo, Cr / CrO are used as metal light shielding films.
x, Mo / Mo Ox.

【0008】また、本発明に係わる液晶表示装置の製造
方法は、透明絶縁性基板表面上の外周部に、Cr等の金
属よりなる額縁状の金属遮光膜を形成する第一の工程
と、この基板表面上に複数色の着色フィルタ層を順次形
成する第二の工程と、この基板表面上にネガ型感光性の
黒色樹脂を塗布後、金属遮光膜、着色フィルタ層及び金
属遮光膜よりも基板外周部に形成された周辺マスクをマ
スクとして基板裏面側より露光し、現像することによ
り、各着色フィルタ層を取り囲み金属遮光膜と外縁が接
する樹脂遮光膜を形成する第三の工程と、この基板表面
上に、着色フィルタ層及び樹脂遮光膜を完全に覆うよう
に透明導電膜を形成する第四の工程と、第一の工程〜第
四の工程によって形成されたカラーフィルタ基板と、別
の工程によって形成されたアレイ基板を、シール部材の
少なくとも一部が金属遮光膜を介してカラーフィルタ基
板と接着するように貼り合わせる第五の工程を含んで製
造するようにしたものである。
The method of manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention comprises a first step of forming a frame-shaped metal light-shielding film made of a metal such as Cr on an outer peripheral portion on the surface of a transparent insulating substrate; A second step of sequentially forming a plurality of colored filter layers on the substrate surface, and after applying a negative photosensitive black resin on the substrate surface, the metal light shielding film, the colored filter layer and the metal light shielding film A third step of forming a resin light-shielding film surrounding each colored filter layer and forming a metal light-shielding film in contact with the outer edge by exposing and developing from the back side of the substrate using the peripheral mask formed on the outer peripheral portion as a mask, and A fourth step of forming a transparent conductive film on the surface so as to completely cover the colored filter layer and the resin light-shielding film; a color filter substrate formed by the first to fourth steps; Formed by The array substrate, in which at least a portion of the sealing member was made to manufacture comprises a fifth step of bonding to adhere the color filter substrate via a metal light-shielding film.

【0009】また、第一の工程において、金属遮光膜を
形成すると同時に、位置合わせ用マークを形成するもの
である。さらに、第四の工程において、透明導電膜とし
て酸化インジウム、酸化錫または酸化亜鉛を単独または
組み合わせてなる材料を用い、スパッタリング法によっ
て成膜すると共に、成膜後、成膜時の基板温度よりも高
い温度で熱処理を行うものである。
In the first step, a positioning mark is formed at the same time as forming the metal light-shielding film. Further, in the fourth step, a film formed by a sputtering method using a material obtained by using indium oxide, tin oxide, or zinc oxide alone or in combination as the transparent conductive film is formed. The heat treatment is performed at a high temperature.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】実施の形態1.以下に、本発明の
実施の形態を図面に基づいて説明する。図1は、本発明
の実施の形態1における液晶表示装置を示す断面図であ
る。図において、100Aは本実施の形態における液晶
表示装置であり、アレイ基板1Aとカラーフィルタ基板
2Aより構成されている。アレイ基板1Aの構成要素は
以下の通りである。1は例えばガラス基板等の透明絶縁
性基板であり、絶縁性透明基板1上には、複数のゲート
配線(図示せず)及びこれと交差する複数のソース配線
(図示せず)がマトリクス状に形成され、ゲート配線と
ソース配線の交差部付近にはスイッチング素子である複
数の薄膜トランジスタ3及びこれに接続された複数の画
素電極4が形成されている。また、5は窒化シリコンや
透明性絶縁樹脂からなる保護膜、6はポリイミドからな
る配向膜である。次に、アレイ基板1Aと対向配置され
るカラーフィルタ基板2Aの構成要素について説明す
る。2は例えばガラス基板等の透明絶縁性基板、7はア
レイ基板1Aの画素電極4に対応するように配置された
複数の着色フィルタ層であり、赤、緑及び青の着色フィ
ルタ層7R、7G、7Bが一定間隔をおいて周期的に配
置されている。8は各着色フィルタ層7R、7G、7B
を取り囲む黒色の樹脂遮光膜、9は樹脂遮光膜8の外周
にその外縁に接するように配置されたCr等よりなる額
縁状の金属遮光膜である。また、10は樹脂遮光膜8及
び着色フィルタ層7を完全に覆うように形成されたIT
O等の透明導電膜からなる透明電極、11は透明電極1
0上に形成されたポリイミドからなる配向膜である。ま
た、12はアレイ基板1A及びカラーフィルタ基板2A
間の外縁部に設けられ、両基板を貼り合わせるエポキシ
樹脂からなるシール部材、13はアレイ基板1A、カラ
ーフィルタ基板2A及びシール部材12によって形成さ
れる空間に配置された液晶層である。なお、本実施の形
態では、シール部材12は、カラーフィルタ基板2Aと
の接着面全面において、金属遮光膜9を介してカラーフ
ィルタ基板2Aと接着されているものである。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiment 1 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating a liquid crystal display device according to Embodiment 1 of the present invention. In the figure, reference numeral 100A denotes a liquid crystal display device according to the present embodiment, which comprises an array substrate 1A and a color filter substrate 2A. The components of the array substrate 1A are as follows. Reference numeral 1 denotes a transparent insulating substrate such as a glass substrate. On the insulating transparent substrate 1, a plurality of gate wirings (not shown) and a plurality of source wirings (not shown) crossing the gate wirings are arranged in a matrix. A plurality of thin film transistors 3 as switching elements and a plurality of pixel electrodes 4 connected to the thin film transistors 3 are formed near the intersection of the gate wiring and the source wiring. Reference numeral 5 denotes a protective film made of silicon nitride or a transparent insulating resin, and reference numeral 6 denotes an alignment film made of polyimide. Next, the components of the color filter substrate 2A that is arranged to face the array substrate 1A will be described. Reference numeral 2 denotes a transparent insulating substrate such as a glass substrate, and 7 denotes a plurality of colored filter layers arranged so as to correspond to the pixel electrodes 4 of the array substrate 1A, and red, green and blue colored filter layers 7R, 7G, 7B are periodically arranged at regular intervals. Reference numeral 8 denotes each colored filter layer 7R, 7G, 7B
Is a frame-shaped metal light-shielding film made of Cr or the like which is arranged on the outer periphery of the resin light-shielding film 8 so as to be in contact with its outer edge. Reference numeral 10 denotes an IT formed so as to completely cover the resin light-shielding film 8 and the color filter layer 7.
A transparent electrode made of a transparent conductive film such as O;
This is an alignment film made of polyimide and formed on the substrate. Reference numeral 12 denotes an array substrate 1A and a color filter substrate 2A.
A seal member, which is provided at an outer edge between the two and is made of an epoxy resin for bonding the two substrates, is a liquid crystal layer arranged in a space formed by the array substrate 1A, the color filter substrate 2A and the seal member 12. In this embodiment, the sealing member 12 is bonded to the color filter substrate 2A via the metal light-shielding film 9 on the entire surface of the bonding surface with the color filter substrate 2A.

【0011】次に、本実施の形態における液晶表示装置
のカラーフィルタ基板2Aの製造方法を図2を用いて説
明する。まず、例えばガラスからなる透明絶縁性基板2
の表面2a上にスパッタリング法により、Cr を100
0Åの厚さで成膜し、レジストを用いたフォトリソグラ
フィ法を用いて、表示領域の外周部に額縁状の金属遮光
膜9を形成する(第一の工程:図2(a))。続いて、
この基板表面2a上に、赤の顔料を分散させたカラーレ
ジストを約1μmの厚さになるように塗布し、露光、現
像、ポストベークを行い、所望の画素形状の赤の着色フ
ィルタ層7Rを形成する。なお、必要に応じ、色純度を
上げる等の目的でポスト露光をさらに行ってもよい。同
様にして、緑と青の着色フィルタ層7G、7Bも順次形
成する。なお、着色フィルタ層7形成用のカラーレジス
トは、ポジ型感光性、ネガ型感光性のどちらでもよい
(第二の工程:図2(b))。次に、基板表面2a上
に、例えばカーボンブラックのような黒色顔料を分散さ
せたネガ型感光性レジスト等の黒色樹脂を塗布後、額縁
状の金属遮光謨9、着色フィルタ層7及び金属遮光膜9
よりもさらに基板外周部に形成されたレジストよりなる
周辺マスク14をマスクとして、基板裏面2b側より露
光し、現像することにより、各着色フィルタ層7を取り
囲み金属遮光膜9と外縁が接する樹脂遮光膜8を形成す
る(第三の工程:図2(c)、(d))。
Next, a method of manufacturing the color filter substrate 2A of the liquid crystal display device according to the present embodiment will be described with reference to FIG. First, a transparent insulating substrate 2 made of, for example, glass
100% Cr on the surface 2a of
A film having a thickness of 0 ° is formed, and a frame-shaped metal light-shielding film 9 is formed on the outer peripheral portion of the display region using a photolithography method using a resist (first step: FIG. 2A). continue,
On the substrate surface 2a, a color resist in which a red pigment is dispersed is applied so as to have a thickness of about 1 μm, exposed, developed, and post-baked to form a red colored filter layer 7R having a desired pixel shape. Form. Note that, if necessary, post-exposure may be further performed for the purpose of increasing color purity. Similarly, green and blue colored filter layers 7G and 7B are sequentially formed. Note that the color resist for forming the colored filter layer 7 may be either positive type photosensitive or negative type photosensitive (second step: FIG. 2B). Next, a black resin such as a negative photosensitive resist in which a black pigment such as carbon black is dispersed is applied on the substrate surface 2a, and then a frame-shaped metal light-shielding rubber 9, a colored filter layer 7, and a metal light-shielding film are formed. 9
Further, by using a peripheral mask 14 made of a resist formed on the outer peripheral portion of the substrate as a mask, exposure and development are performed from the rear surface 2b side of the substrate, thereby surrounding each colored filter layer 7 and forming a resin light-shielding film whose outer edge is in contact with the metal light-shielding film 9. The film 8 is formed (third step: FIGS. 2C and 2D).

【0012】次に、この基板表面2a上に、スパッタリ
ング法によりITOを約1500Åの厚さで成膜し、着
色フィルタ層7及び樹脂遮光膜8を完全に覆うように透
明導電膜よりなる透明電極10を形成する(第四の工
程)。この時、ITOの成膜後、成膜時の基板温度より
も高い温度で熱処理を行う。本実施の形態では、ITO
成膜時の基板温度は180℃〜250℃が好ましく、成
膜後の熱処理温度は200〜270℃、熱処理時間は3
0分〜60分、雰囲気は真空中、不活性ガス中、窒素ガ
ス中、大気中のいずれでもよいが、大気が好ましい。こ
れは、成膜時の基板温度を高くすると、着色フィルタ層
7あるいは樹脂遮光膜8の有機樹脂の熱分解による放出
ガスの影響を受け、ITOの透過率が低下したり、シー
ト抵抗が増大する等の特性の劣化を生じるためである。
したがって、成膜時の基板温度を低く設定し、成膜面か
らの熱分解ガスの発生を抑えることが望ましい。なお、
基板温度を低く設定してスパッタリングをすることによ
りITOの透過率の低下やシート抵抗値の増大を招く
が、成膜後にスパッタリング時の基板温度よりも高い温
度で熱処理を行うことにより、ITOの特性を改善する
ことが可能となる。また、透明電極10のパターニング
は、ITO成膜後にフォトリソグラフィ法とエッチング
を用いて行っても良いが、金属遮光膜9を含む端縁側を
マスクとして成膜を行うマスクスパッタリング法を用い
ることにより低コスト化が図られる。
Next, on the substrate surface 2a, an ITO film having a thickness of about 1500 ° is formed by a sputtering method, and a transparent electrode made of a transparent conductive film is formed so as to completely cover the colored filter layer 7 and the resin light shielding film 8. 10 is formed (fourth step). At this time, after the ITO film is formed, heat treatment is performed at a temperature higher than the substrate temperature at the time of film formation. In the present embodiment, ITO
The substrate temperature during film formation is preferably 180 ° C. to 250 ° C., the heat treatment temperature after film formation is 200 to 270 ° C., and the heat treatment time is 3 hours.
The atmosphere may be any of a vacuum, an inert gas, a nitrogen gas, and the atmosphere for 0 to 60 minutes, but the atmosphere is preferable. This is because when the substrate temperature at the time of film formation is increased, it is affected by outgassing due to thermal decomposition of the organic resin of the colored filter layer 7 or the resin light-shielding film 8, and the transmittance of ITO decreases and the sheet resistance increases. This is because the characteristics such as the above may deteriorate.
Therefore, it is desirable to set the substrate temperature at the time of film formation low and to suppress the generation of pyrolysis gas from the film formation surface. In addition,
Sputtering at a low substrate temperature causes a decrease in ITO transmittance and an increase in sheet resistance. However, by performing a heat treatment at a temperature higher than the substrate temperature at the time of sputtering after film formation, the characteristics of the ITO can be improved. Can be improved. The patterning of the transparent electrode 10 may be performed by photolithography and etching after the ITO film is formed. However, the patterning of the transparent electrode 10 is reduced by using a mask sputtering method in which the film is formed using the edge including the metal light shielding film 9 as a mask. Cost reduction is achieved.

【0013】さらに、基板表面2a上にポリイミドから
なる配向膜11を形成して、本実施の形態におけるカラ
ーフィルタ基板2Aを得る(図2(e))。その後、カ
ラーフィルタ基板2Aの金属遮光膜9上に印刷法を用い
て、額縁状にエポキシ樹脂からなるシール部材12を形
成し、カラーフィルタ基板2Aと、別の工程によって形
成されたアレイ基板1Aを、シール部材12が金属遮光
膜9を介してカラーフィルタ基板2Aと接着するように
貼り合わせる(第五の工程)。さらに、所定の位置に設
けられた注入口(図示せず)より液晶を注入し、封止材
(図示せず)により封止することにより、本実施の形態
における液晶表示装置100Aが形成される。
Further, an alignment film 11 made of polyimide is formed on the substrate surface 2a to obtain the color filter substrate 2A in the present embodiment (FIG. 2E). Thereafter, a sealing member 12 made of an epoxy resin is formed in a frame shape on the metal light shielding film 9 of the color filter substrate 2A using a printing method, and the color filter substrate 2A and the array substrate 1A formed by another process are formed. Then, the sealing member 12 is bonded to the color filter substrate 2A via the metal light shielding film 9 (fifth step). Further, liquid crystal is injected from an injection port (not shown) provided at a predetermined position and sealed with a sealing material (not shown), whereby liquid crystal display device 100A in the present embodiment is formed. .

【0014】本実施の形態では、カラーフィルタ基板2
Aの遮光膜を、各着色フィルタ層7を取り囲む樹脂遮光
膜8と、この樹脂遮光膜8の外周にその外縁に接するよ
うに配置された額縁状の金属遮光膜9で構成し、基板貼
り合わせ用のシール部材12が金属遮光膜9を介してカ
ラーフィルタ基板2Aと接着するようにした。樹脂遮光
膜8は、既に形成されている金属遮光膜9及び着色フィ
ルタ層7をマスクとした裏面露光により形成されるの
で、着色フィルタ層7に図3(a)及び図3(b)に示
すようなパターン不良によるカケ15や欠損が生じて
も、樹脂遮光膜8によって自己修復的に埋められるた
め、光抜けによる輝点欠陥を防止することができる。さ
らに、金属遮光膜9はシール部材12との接着強度が大
きいため、十分な基板の貼り合わせ強度が確保できると
共に、液晶表示装置100A周縁部からの光漏れを防ぐ
こともできる。
In this embodiment, the color filter substrate 2
The light-shielding film A is composed of a resin light-shielding film 8 surrounding each colored filter layer 7, and a frame-shaped metal light-shielding film 9 arranged on the outer periphery of the resin light-shielding film 8 so as to be in contact with its outer edge. The sealing member 12 is bonded to the color filter substrate 2A via the metal light shielding film 9. Since the resin light-shielding film 8 is formed by back surface exposure using the already formed metal light-shielding film 9 and the colored filter layer 7 as a mask, the colored filter layer 7 is shown in FIGS. 3A and 3B. Even if the chip 15 or loss due to such a pattern defect occurs, the resin light-shielding film 8 buries the chip 15 in a self-healing manner, so that a bright spot defect due to light leakage can be prevented. Furthermore, since the metal light-shielding film 9 has a high adhesive strength to the seal member 12, sufficient bonding strength of the substrate can be ensured, and light leakage from the periphery of the liquid crystal display device 100A can be prevented.

【0015】また、本実施の形態では、ITOからなる
透明電極10を着色フィルタ層7及び樹脂遮光膜8上に
これらを完全に覆うように形成し、且つ透明電極10が
シール部材12と重ならないようにした。これにより、
シール部材12と金属遮光膜9の間に透明電極10が介
在しないため、カラーフィルタ基板2Aとシール部材1
2の接着強度は十分に大きいものとなる。ただし、透明
電極10の外縁を、シール部材12の内周端と外周端の
中間に位置するように形成してもよい。この場合も、シ
ール部材12の少なくとも一部は金属遮光膜9と接着す
るので、接着強度は実用上問題ない。また、透明電極1
0を着色フイルタ層7及び樹脂遮光膜8上にこれらを完
全に覆うように形成することにより、着色フイルタ層7
及び樹脂遮光膜8の成分が液晶層13に溶け込むことを
防止する効果が得られる。
In this embodiment, the transparent electrode 10 made of ITO is formed on the colored filter layer 7 and the resin light-shielding film 8 so as to completely cover them, and the transparent electrode 10 does not overlap with the sealing member 12. I did it. This allows
Since the transparent electrode 10 is not interposed between the sealing member 12 and the metal light shielding film 9, the color filter substrate 2A and the sealing member 1
The adhesive strength of No. 2 is sufficiently large. However, the outer edge of the transparent electrode 10 may be formed so as to be located between the inner peripheral end and the outer peripheral end of the seal member 12. Also in this case, since at least a part of the seal member 12 adheres to the metal light shielding film 9, there is no practical problem in the adhesive strength. Also, the transparent electrode 1
0 is formed on the colored filter layer 7 and the resin light-shielding film 8 so as to completely cover them.
Further, an effect of preventing the components of the resin light-shielding film 8 from dissolving into the liquid crystal layer 13 can be obtained.

【0016】実施の形態2.図4は、本発明の実施の形
態2における液晶表示装置を示す断面図である。図にお
いて、16は着色フィルタ層7及び樹脂遮光膜8上に形
成された平坦化膜である。上記実施の形態1では、着色
フィルタ層7及び樹脂遮光膜8上に直接透明電極10を
形成したが、本実施の形態では、着色フィルタ層7及び
樹脂遮光膜8をアクリル樹脂からなる厚さ1〜3μmの
平坦化膜16で覆い、その上から透明電極10を形成し
たものである。なお、図中、同一、相当部分には同一符
号を付し、説明を省略する。
Embodiment 2 FIG. 4 is a sectional view showing a liquid crystal display device according to Embodiment 2 of the present invention. In the figure, reference numeral 16 denotes a flattening film formed on the color filter layer 7 and the resin light shielding film 8. In the first embodiment, the transparent electrode 10 is formed directly on the color filter layer 7 and the resin light-shielding film 8. However, in the present embodiment, the color filter layer 7 and the resin light-shield film 8 are The transparent electrode 10 is formed by covering with a flattening film 16 of about 3 μm. In the drawings, the same or corresponding parts have the same reference characters allotted, and description thereof will not be repeated.

【0017】次に、本実施の形態における液晶表示装置
のカラーフィルタ基板2Aの製造方法を説明する。ただ
し、裏面露光による樹脂遮光膜8の形成(図2(a)〜
図2(d))までの工程については上記実施の形態1と
同様であるので、説明を省略する。樹脂遮光膜8の形成
後、スピンコート法により、アクリル樹脂からなる厚さ
3μmの平坦化膜16を形成する。続いて、ITOをス
パッタリング法により成膜し、厚さ約1500Åの透明
電極10を形成する。さらに、ポリイミドからなる配向
膜11を形成して、本実施の形態におけるカラーフィル
タ基板2Aを得る。
Next, a method of manufacturing the color filter substrate 2A of the liquid crystal display device according to the present embodiment will be described. However, the formation of the resin light-shielding film 8 by backside exposure (FIGS.
Steps up to FIG. 2D are the same as those in the first embodiment, and a description thereof will not be repeated. After the formation of the resin light-shielding film 8, a 3 μm-thick flattening film 16 made of an acrylic resin is formed by spin coating. Subsequently, ITO is deposited by a sputtering method to form a transparent electrode 10 having a thickness of about 1500 °. Further, an alignment film 11 made of polyimide is formed to obtain the color filter substrate 2A in the present embodiment.

【0018】本実施の形態においても、上記実施の形態
1と同様に、シール部材12はカラーフィルタ基板2A
との接着面全面において、金属遮光膜9を介してカラー
フィルタ基板2Aと接着しているため、シール部材12
とカラーフィルタ基板2Aの十分な接着強度が得られ、
且つ、着色フィルタ層7の一部にカケや欠損がある場合
にも、その部分には黒色の樹脂遮光膜8が形成されるた
め、光抜けによる輝点欠陥を防止することができる。さ
らに、本実施の形態では、着色フイルタ層7及び樹脂遮
光膜8上にアクリル樹脂からなる厚さ1〜3μmの平坦
化膜16を形成することにより、樹脂遮光膜8と着色フ
ィルタ層7間の段差を平坦化させることができるので、
ITOからなる透明電極10のカバレッジが改善され、
表示品質と信頼性がさらに向上する。また、平坦化膜1
6を形成することにより配向膜11も平坦化されるた
め、配向不良の発生を抑制することができる。また、ス
パッタリング法による透明電極10形成の際に、着色フ
ィルタ層7が平坦化膜16で保護されているので、スパ
ッタリングのプラズマイオンによる着色フィルタ層7の
色度の変化や透過率の低下等のダメージを防ぐことがで
きる。
In this embodiment, as in the first embodiment, the sealing member 12 is formed of the color filter substrate 2A.
Is bonded to the color filter substrate 2A via the metal light-shielding film 9 on the entire surface of the adhesive
And the color filter substrate 2A have sufficient adhesive strength,
Further, even when there is a chip or a defect in a part of the colored filter layer 7, the black resin light-shielding film 8 is formed in that part, so that a bright spot defect due to light leakage can be prevented. Further, in the present embodiment, a flattening film 16 of 1 to 3 μm in thickness made of an acrylic resin is formed on the colored filter layer 7 and the resin Since the step can be flattened,
The coverage of the transparent electrode 10 made of ITO is improved,
The display quality and reliability are further improved. Also, the planarizing film 1
By forming 6, the alignment film 11 is also flattened, so that the occurrence of poor alignment can be suppressed. In addition, since the colored filter layer 7 is protected by the flattening film 16 when the transparent electrode 10 is formed by the sputtering method, the chromaticity of the colored filter layer 7 due to the plasma ions of the sputtering and the decrease in transmittance are reduced. Damage can be prevented.

【0019】実施の形態3.上記実施の形態1及び2に
おいて、カラーフィルタ基板2A上に金属遮光膜9を形
成する際に、図5(a)及び図5(c)に示すような位
置合わせ用マークを形成することもできる。図5におい
て、17はカラーフィルタ基板2A上に形成された位置
合わせ用マークであり、18はアレイ基板1A上に形成
された位置合わせ用マークである。位置合わせ用マーク
17、18は、その後の工程におけるフォトリソグラフ
ィ用として、またはカラーフィルタ基板2Aとアレイ基
板1Aの貼り合わせ時の位置合わせ用として用いられ
る。なお、図5(c)、(d)は、それぞれ図5
(a)、(b)の丸で囲んだ部分の拡大平面図である。
本実施の形態では、カラーフィルタ基板2A上にCr等
の金属を成膜、パターニングし、金属遮光膜9を形成す
る際に、図5(c)に示すような位置合わせ用マーク1
7を同時に形成する。一方、アレイ基板1A上には、金
属による配線(図示せず)を形成する際に、図5(d)
に示すような位置合わせ用マーク18を同時に形成す
る。これにより、工程を増やすことなく、位置合わせ精
度の高いマークを形成することが可能である。
Embodiment 3 In the first and second embodiments, when forming the metal light-shielding film 9 on the color filter substrate 2A, alignment marks as shown in FIGS. 5A and 5C can be formed. . In FIG. 5, reference numeral 17 denotes a positioning mark formed on the color filter substrate 2A, and reference numeral 18 denotes a positioning mark formed on the array substrate 1A. The alignment marks 17 and 18 are used for photolithography in a subsequent step or for alignment at the time of bonding the color filter substrate 2A and the array substrate 1A. FIGS. 5C and 5D respectively show FIGS.
It is an enlarged plan view of the part circled in (a) and (b).
In this embodiment, when a metal such as Cr is formed and patterned on the color filter substrate 2A to form the metal light-shielding film 9, the alignment mark 1 as shown in FIG.
7 are formed simultaneously. On the other hand, when wiring (not shown) made of metal is formed on the array substrate 1A, the wiring shown in FIG.
Are simultaneously formed as shown in FIG. This makes it possible to form a mark with high alignment accuracy without increasing the number of steps.

【0020】なお、上記実施の形態1〜3においては、
赤、緑及び青の着色フィルタ層7R、7G、7B及び樹
脂遮光膜8を、それぞれ赤、緑、青及び黒の顔料を分散
させたカラーレジストを用いてスピン塗布法により形成
する方法を示したが、各色材をフィルム材上に層状に加
工したものを加熱ロールにより基板にラミネート(転
写)してもよい。この場合、生産性が向上するため、コ
スト低減を図ることができる。また、上記実施の形態1
〜3では、金属遮光膜9としてCrを用いたが、これに
限るものではなく、他の光の反射率の低い金属材料、例
えばMo等を用いることが可能である。またメタル自身
の酸化物を下地として形成したCr/CrOx、Mo/
Mo Ox等も反射率を低くすることができるので好まし
い。また、透明電極10は、ITOに限るものではな
く、酸化インジウム、酸化錫または酸化亜鉛を単独また
は組み合わせてなる材料を用いることができる。いずれ
の場合もスパッタリング法によって成膜すると共に、成
膜後、成膜時の基板温度よりも高い温度で熱処理を行う
ことが望ましい。
In the first to third embodiments,
The method of forming the red, green, and blue colored filter layers 7R, 7G, and 7B and the resin light-shielding film 8 by a spin coating method using a color resist in which red, green, blue, and black pigments are dispersed is shown. However, each color material processed into a layer on a film material may be laminated (transferred) to a substrate by a heating roll. In this case, productivity is improved, and thus cost can be reduced. Embodiment 1
In Nos. 1 to 3, Cr was used as the metal light-shielding film 9. However, the present invention is not limited to this, and other metal materials having low light reflectance, such as Mo, can be used. In addition, Cr / CrOx, Mo /
Mo Ox and the like are also preferable because they can lower the reflectance. Further, the transparent electrode 10 is not limited to ITO, and may be made of a material made of indium oxide, tin oxide, or zinc oxide alone or in combination. In any case, it is desirable to form a film by a sputtering method and to perform a heat treatment after the film formation at a temperature higher than the substrate temperature at the time of film formation.

【0021】[0021]

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、カラー
フィルタ基板の遮光膜を、各着色フィルタ層を取り囲む
樹脂遮光膜と、この樹脂遮光膜の外周にその外縁に接す
るように配置された額縁状の金属遮光膜により構成し、
シール部材の少なくとも一部が金属遮光膜を介してカラ
ーフィルタ基板と接着するようにしたので、着色フィル
タ層にカケや欠損がある場合にも樹脂遮光膜によってそ
の部分を埋めることができ、光抜けによる輝点欠陥を防
止することができると共に、シール部材とカラーフィル
タ基板の十分な接着強度を確保することができ、表示品
質及び信頼性の高い液晶表示装置を得ることができる。
As described above, according to the present invention, the light-shielding film of the color filter substrate is disposed so as to be in contact with the outer periphery of the resin light-shielding film surrounding each colored filter layer and the outer edge thereof. Framed metal light-shielding film,
Since at least a part of the seal member is adhered to the color filter substrate via the metal light shielding film, even if there is a chip or a defect in the colored filter layer, the part can be filled with the resin light shielding film, and light leakage can be achieved. In addition to the above, it is possible to prevent a bright spot defect, and to secure a sufficient adhesive strength between the seal member and the color filter substrate, thereby obtaining a liquid crystal display device having high display quality and high reliability.

【0022】また、カラーフィルタ基板は着色フィルタ
層及び樹脂遮光膜を完全に覆う透明導電膜を有するの
で、着色フィルタ層及び樹脂遮光膜の成分が液晶層に溶
け込むことを防止することができる。
Further, since the color filter substrate has a transparent conductive film that completely covers the color filter layer and the resin light-shielding film, it is possible to prevent the components of the color filter layer and the resin light-shielding film from dissolving into the liquid crystal layer.

【0023】また、カラーフィルタ基板は着色フィルタ
層及び樹脂遮光膜を覆う平坦化膜を有するので、着色フ
ィルタ層を保護すると共に、着色フィルタ層と樹脂遮光
膜間の段差が解消され、透明導電膜のカバレッジの改善
や、配向不良の発生を抑制することができる。
Further, since the color filter substrate has a flattening film covering the colored filter layer and the resin light-shielding film, the color filter layer is protected and the step between the colored filter layer and the resin light-shielded film is eliminated. Can be improved and the occurrence of poor alignment can be suppressed.

【0024】さらに、金属遮光膜を形成すると同時に位
置合わせ用マークを形成することにより、工程数を増や
すことなく、位置合わせ精度の高いマークを形成するこ
とが可能である。
Further, by forming the alignment mark at the same time as the formation of the metal light-shielding film, it is possible to form a mark with high alignment accuracy without increasing the number of steps.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の実施の形態1における液晶表示装置
を示す断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating a liquid crystal display device according to Embodiment 1 of the present invention.

【図2】 本発明の実施の形態1における液晶表示装置
を構成するカラーフィルタ基板の製造方法を示す断面図
である。
FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a method for manufacturing a color filter substrate included in the liquid crystal display device according to Embodiment 1 of the present invention.

【図3】 本発明の実施の形態1におけるカラーフィル
タ基板の光抜けによる輝点欠陥の防止効果を説明する平
面図及び断面図である。
FIGS. 3A and 3B are a plan view and a cross-sectional view illustrating an effect of preventing a bright spot defect due to light leakage of a color filter substrate according to the first embodiment of the present invention. FIGS.

【図4】 本発明の実施の形態2における液晶表示装置
を示す断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating a liquid crystal display device according to Embodiment 2 of the present invention.

【図5】 本発明の実施の形態3における液晶表示装置
を構成するアレイ基板及びカラーフィルタ基板を示す平
面図及び部分拡大平面図である。
FIG. 5 is a plan view and a partially enlarged plan view showing an array substrate and a color filter substrate constituting a liquid crystal display device according to a third embodiment of the present invention.

【図6】 従来の液晶表示装置を示す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view showing a conventional liquid crystal display device.

【図7】 従来の液晶表示装置において発生する光抜け
による輝点欠陥を説明する断面図である。
FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating a bright spot defect due to light leakage occurring in a conventional liquid crystal display device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1、2 透明絶縁性基板、1A、1B アレイ基板、2
A、2B カラーフィルタ基板、3 薄膜トランジス
タ、4 画素電極、5 保護膜、6 配向膜、7 着色
フィルタ層、7R 赤の着色フィルタ層、7G 緑の着
色フィルタ層、7B 青の着色フィルタ層、8 樹脂遮
光膜、9 金属遮光膜、10 透明電極、11 配向
膜、12 シール部材、13 液晶層、14 周辺マス
ク、15 着色フィルタ層のカケ、16 平坦化膜、1
7、18 位置合わせ用マーク、100A、100B
液晶表示装置。
1, 2 transparent insulating substrate, 1A, 1B array substrate, 2
A, 2B color filter substrate, 3 thin film transistor, 4 pixel electrodes, 5 protective film, 6 alignment film, 7 colored filter layer, 7R red colored filter layer, 7G green colored filter layer, 7B blue colored filter layer, 8 resin 9 light shielding film, 9 metal light shielding film, 10 transparent electrode, 11 alignment film, 12 sealing member, 13 liquid crystal layer, 14 peripheral mask, 15 chipping of color filter layer, 16 flattening film, 1
7, 18 Positioning mark, 100A, 100B
Liquid crystal display.

フロントページの続き (72)発明者 津村 顯 熊本県菊池郡西合志町御代志997番地 株 式会社アドバンスト・ディスプレイ内 (72)発明者 中口 佳祐 熊本県菊池郡西合志町御代志997番地 株 式会社アドバンスト・ディスプレイ内 Fターム(参考) 2H042 AA09 AA15 AA26 2H089 LA48 NA38 NA45 QA12 QA16 2H091 FA02Y FA35Y FB08 FC10 LA12 LA30 Continued on the front page (72) Inventor Akira Tsumura 997 Miyoshi, Nishi-Koshi-cho, Kikuchi-gun, Kumamoto Prefecture Inside Advanced Display Co., Ltd. F term (reference) 2H042 AA09 AA15 AA26 2H089 LA48 NA38 NA45 QA12 QA16 2H091 FA02Y FA35Y FB08 FC10 LA12 LA30

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 透明絶縁性基板上に複数の薄膜トランジ
スタとこれに接続された複数の画素電極が形成されたア
レイ基板、 別の透明絶縁性基板上に上記各画素電極に対応する複数
の着色フィルタ層と、上記各着色フィルタ層を取り囲む
樹脂遮光膜と、この樹脂遮光膜の外周にその外縁に接す
るように配置された額縁状の金属遮光膜が形成され、上
記アレイ基板と対向配置されるカラーフィルタ基板、 上記アレイ基板及び上記カラーフィルタ基板間の外縁部
に設けられ、上記両基板を貼り合わせるシール部材、 上記アレイ基板、上記カラーフィルタ基板及び上記シー
ル部材によって形成される空間に配置された液晶層を備
え、 上記シール部材は、少なくともその一部が上記金属遮光
膜を介して上記カラーフィルタ基板と接着していること
を特徴とする液晶表示装置。
1. An array substrate in which a plurality of thin film transistors and a plurality of pixel electrodes connected thereto are formed on a transparent insulating substrate, and a plurality of colored filters corresponding to the respective pixel electrodes on another transparent insulating substrate. Layer, a resin light-shielding film surrounding each of the colored filter layers, and a frame-shaped metal light-shielding film arranged on the outer periphery of the resin light-shielding film so as to be in contact with the outer edge thereof, and a color arranged to face the array substrate. A liquid crystal disposed in a space formed by the filter substrate, a seal member provided at an outer edge portion between the array substrate and the color filter substrate and bonding the two substrates together, and formed by the array substrate, the color filter substrate and the seal member A layer, and at least a part of the seal member is adhered to the color filter substrate via the metal light shielding film. A liquid crystal display device.
【請求項2】 シール部材は、カラーフィルタ基板との
接着面全面において、金属遮光膜を介して上記カラーフ
ィルタ基板と接着していることを特徴とする請求項1記
載の液晶表示装置。
2. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the seal member is bonded to the color filter substrate via a metal light-shielding film on the entire surface of the bonding surface with the color filter substrate.
【請求項3】 カラーフィルタ基板は、着色フィルタ層
及び樹脂遮光膜を完全に覆う透明導電膜を有することを
特徴とする請求項1または請求項2に記載の液晶表示装
置。
3. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the color filter substrate has a transparent conductive film that completely covers the color filter layer and the resin light-shielding film.
【請求項4】 カラーフィルタ基板は、着色フィルタ層
及び樹脂遮光膜を覆う平坦化膜を有することを特徴とす
る請求項1〜請求項3のいずれか一項に記載の液晶表示
装置。
4. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the color filter substrate has a flattening film covering the color filter layer and the resin light shielding film.
【請求項5】 カラーフィルタ基板は、金属遮光膜と同
じ材料で形成された位置合わせ用マークを有することを
特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか一項に記載の
液晶表示装置。
5. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the color filter substrate has an alignment mark formed of the same material as the metal light shielding film.
【請求項6】 金属遮光膜として、Cr、Mo、Cr/
CrOx、Mo/Mo Oxのいずれかを用いたことを特
徴とする請求項1〜請求項5のいずれか一項に記載の液
晶表示装置。
6. The metal light-shielding film may be made of Cr, Mo, Cr /
The liquid crystal display device according to any one of claims 1 to 5, wherein one of CrOx and Mo / Mo Ox is used.
【請求項7】 透明絶縁性基板表面上の外周部に、Cr
等の金属よりなる額縁状の金属遮光膜を形成する第一の
工程、 上記基板表面上に複数色の着色フィルタ層を順次形成す
る第二の工程、 上記基板表面上にネガ型感光性の黒色樹脂を塗布後、上
記金属遮光膜、上記着色フィルタ層及び上記金属遮光膜
よりも基板外周部に形成された周辺マスクをマスクとし
て上記基板裏面側より露光し、現像することにより、上
記各着色フィルタ層を取り囲み上記金属遮光膜と外縁が
接する樹脂遮光膜を形成する第三の工程、 上記基板表面上に、上記着色フィルタ層及び上記樹脂遮
光膜を完全に覆うように透明導電膜を形成する第四の工
程、 上記第一の工程〜第四の工程によって形成されたカラー
フィルタ基板と、別の工程によって形成されたアレイ基
板を、シール部材の少なくとも一部が上記金属遮光膜を
介して上記カラーフィルタ基板と接着するように貼り合
わせる第五の工程を備えたことを特徴とする液晶表示装
置の製造方法。
7. An outer peripheral portion on the surface of a transparent insulating substrate,
A first step of forming a frame-shaped metal light-shielding film made of a metal such as, a second step of sequentially forming a plurality of colored filter layers on the substrate surface, and a negative photosensitive black on the substrate surface. After the resin is applied, the metal light-shielding film, the colored filter layer and the peripheral mask formed on the outer peripheral portion of the substrate with respect to the metal light-shielding film are used as a mask to expose and develop from the back side of the substrate. A third step of forming a resin light-shielding film surrounding the layer and having the outer edge in contact with the metal light-shielding film; and forming a transparent conductive film on the substrate surface so as to completely cover the colored filter layer and the resin light-shielding film. Fourth step, the color filter substrate formed in the first step to the fourth step and the array substrate formed in another step, at least a part of the sealing member is interposed through the metal light shielding film. And a fifth step of bonding the color filter substrate so as to adhere to the color filter substrate.
【請求項8】 第一の工程において、金属遮光膜を形成
すると同時に、位置合わせ用マークを形成することを特
徴とする請求項7記載の液晶表示装置の製造方法。
8. The method for manufacturing a liquid crystal display device according to claim 7, wherein in the first step, a mark for positioning is formed at the same time as forming the metal light shielding film.
【請求項9】 第四の工程において、透明導電膜として
酸化インジウム、酸化錫または酸化亜鉛を単独または組
み合わせてなる材料を用い、スパッタリング法によって
成膜すると共に、成膜後、成膜時の基板温度よりも高い
温度で熱処理を行うことを特徴とする請求項7または請
求項8に記載の液晶表示装置の製造方法。
9. In a fourth step, a film is formed by a sputtering method using a material made of indium oxide, tin oxide, or zinc oxide alone or in combination as a transparent conductive film. 9. The method for manufacturing a liquid crystal display device according to claim 7, wherein the heat treatment is performed at a temperature higher than the temperature.
JP11153271A 1999-06-01 1999-06-01 Liquid crystal display device and its production Pending JP2000338506A (en)

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