JP2000329682A - ラマン分光分析と粒度分布測定を同時に行う分析装置 - Google Patents
ラマン分光分析と粒度分布測定を同時に行う分析装置Info
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims abstract description 33
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 title claims abstract description 15
- 238000001237 Raman spectrum Methods 0.000 claims abstract description 8
- 238000004445 quantitative analysis Methods 0.000 claims description 6
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000004452 microanalysis Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
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- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 同一試料の同一部分に対して、ラマン分光分
析および粒度分布測定を同時に、正確に、かつ迅速に行
うことが可能なラマン分光分析と粒度分布測定を同時に
行う分析装置を提供する。 【解決手段】 レーザー光源2から試料Sに向けてレー
ザー光を照射し、生じたラマン散乱光のラマン・スペク
トルを用いることで試料Sの同定および定量分析を行う
ラマン分光分析器Rと、前記レーザー光照射により生じ
た散乱光および透過光を用いて粒度分布を測定する粒度
分布測定器Pとよりなり、前記レーザー光源2をラマン
分光分析と粒度分布測定に併用した。
析および粒度分布測定を同時に、正確に、かつ迅速に行
うことが可能なラマン分光分析と粒度分布測定を同時に
行う分析装置を提供する。 【解決手段】 レーザー光源2から試料Sに向けてレー
ザー光を照射し、生じたラマン散乱光のラマン・スペク
トルを用いることで試料Sの同定および定量分析を行う
ラマン分光分析器Rと、前記レーザー光照射により生じ
た散乱光および透過光を用いて粒度分布を測定する粒度
分布測定器Pとよりなり、前記レーザー光源2をラマン
分光分析と粒度分布測定に併用した。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ラマン分光分析と
粒度分布測定を同時に行う分析装置に関する。
粒度分布測定を同時に行う分析装置に関する。
【0002】
【従来の技術】試料の同定や定量分析を行うための装置
の1つにラマン分光分析器がある。従来のラマン分光分
析器では、レーザー光(単色光)を試料に照射し、生じ
たラマン散乱光のラマン・スペクトルを用いることで試
料の分析を行っている。
の1つにラマン分光分析器がある。従来のラマン分光分
析器では、レーザー光(単色光)を試料に照射し、生じ
たラマン散乱光のラマン・スペクトルを用いることで試
料の分析を行っている。
【0003】また、試料の粒度分布を測定するには、粒
度分布測定器が用いられている。従来の粒度分布測定器
では、レーザー光(単色光に限るものではない)を試料
に照射し、生じた散乱光および透過光を用いることで試
料の粒度分布測定を行っている。
度分布測定器が用いられている。従来の粒度分布測定器
では、レーザー光(単色光に限るものではない)を試料
に照射し、生じた散乱光および透過光を用いることで試
料の粒度分布測定を行っている。
【0004】そして、ある試料について、物質の同定や
定量分析とともに粒度分布の測定を行う必要がある場合
には、ラマン分光分析器と粒度分布測定器の両方を用
い、試料を一方の装置で測定した後に、他方の装置に搬
送して測定を行うようにしていた。
定量分析とともに粒度分布の測定を行う必要がある場合
には、ラマン分光分析器と粒度分布測定器の両方を用
い、試料を一方の装置で測定した後に、他方の装置に搬
送して測定を行うようにしていた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の構成で
は、試料を搬送することから測定に時間がかかり、ま
た、この時間の経過や試料の搬送によって、試料の性状
が変化する場合があり、迅速で、かつ正確な分析を行う
ことができなかった。
は、試料を搬送することから測定に時間がかかり、ま
た、この時間の経過や試料の搬送によって、試料の性状
が変化する場合があり、迅速で、かつ正確な分析を行う
ことができなかった。
【0006】本発明は上述の事柄に留意してなされたも
ので、その目的は、同一試料の同一部分に対して、ラマ
ン分光分析および粒度分布測定を同時に、正確に、かつ
迅速に行うことが可能なラマン分光分析と粒度分布測定
を同時に行う分析装置を提供することである。
ので、その目的は、同一試料の同一部分に対して、ラマ
ン分光分析および粒度分布測定を同時に、正確に、かつ
迅速に行うことが可能なラマン分光分析と粒度分布測定
を同時に行う分析装置を提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のラマン分光分析と粒度分布測定を同時に行
う分析装置は、レーザー光源から試料に向けてレーザー
光を照射し、生じたラマン散乱光のラマン・スペクトル
を用いることで試料の同定および定量分析を行うラマン
分光分析器と、前記レーザー光照射により生じた散乱光
および透過光を用いて粒度分布を測定する粒度分布測定
器とよりなり、前記レーザー光源をラマン分光分析と粒
度分布測定に併用した。
に、本発明のラマン分光分析と粒度分布測定を同時に行
う分析装置は、レーザー光源から試料に向けてレーザー
光を照射し、生じたラマン散乱光のラマン・スペクトル
を用いることで試料の同定および定量分析を行うラマン
分光分析器と、前記レーザー光照射により生じた散乱光
および透過光を用いて粒度分布を測定する粒度分布測定
器とよりなり、前記レーザー光源をラマン分光分析と粒
度分布測定に併用した。
【0008】上記の構成により、同一試料の同一部分に
対して、ラマン分光分析および粒度分布測定を同時に、
正確に、かつ迅速に行うことが可能なラマン分光分析と
粒度分布測定を同時に行う分析装置を提供することがで
きる。
対して、ラマン分光分析および粒度分布測定を同時に、
正確に、かつ迅速に行うことが可能なラマン分光分析と
粒度分布測定を同時に行う分析装置を提供することがで
きる。
【0009】
【発明の実施の形態】以下、本発明のラマン分光分析と
粒度分布測定を同時に行う分析装置の構成を図を用いて
説明する。図1は、本発明の一実施例に係るラマン分光
分析と粒度分布測定を同時に行う分析装置Dの構成を概
略的に示す図である。ラマン分光分析と粒度分布測定を
同時に行う分析装置Dは、試料Sが内部に貯留された試
料セル1と、試料セル1の一側に設けられたラマン分光
分析器Rおよび他側に設けられた粒度分布測定器Pとか
ら構成されている。
粒度分布測定を同時に行う分析装置の構成を図を用いて
説明する。図1は、本発明の一実施例に係るラマン分光
分析と粒度分布測定を同時に行う分析装置Dの構成を概
略的に示す図である。ラマン分光分析と粒度分布測定を
同時に行う分析装置Dは、試料Sが内部に貯留された試
料セル1と、試料セル1の一側に設けられたラマン分光
分析器Rおよび他側に設けられた粒度分布測定器Pとか
ら構成されている。
【0010】前記ラマン分光分析器Rは、レーザー光源
2から試料Sにレーザー光を照射して、生じたラマン散
乱光のラマン・スペクトルを用いることで試料Sの同定
および定量分析を行うものである。以下にその構成を示
す。
2から試料Sにレーザー光を照射して、生じたラマン散
乱光のラマン・スペクトルを用いることで試料Sの同定
および定量分析を行うものである。以下にその構成を示
す。
【0011】前記ラマン分光分析器Rの上流には、レー
ザー光源2が設けられている。このレーザー光源2は、
単色光からなるレーザー光(例えば633nmのHe−
Neレーザー)を照射するものである。このレーザー光
源2から照射されたレーザー光は、レーザー光源2の下
流側に設けられたレンズ3、反射鏡4、ビームスプリッ
タ5、レンズ6を順に経て、試料セル1に至るように構
成されている。
ザー光源2が設けられている。このレーザー光源2は、
単色光からなるレーザー光(例えば633nmのHe−
Neレーザー)を照射するものである。このレーザー光
源2から照射されたレーザー光は、レーザー光源2の下
流側に設けられたレンズ3、反射鏡4、ビームスプリッ
タ5、レンズ6を順に経て、試料セル1に至るように構
成されている。
【0012】前記レンズ6を経たレーザー光は、試料S
の焦点位置Fに照射されるように構成されている。そし
て、前記焦点位置Fに前記レーザー光が照射されること
により、ラマン散乱光とレイリー散乱光とを含む散乱光
が生じ、生じた散乱光の一部が再びレンズ6、ビームス
プリッタ5を経て、ノッチフィルター7を通り、分光器
8に至る。
の焦点位置Fに照射されるように構成されている。そし
て、前記焦点位置Fに前記レーザー光が照射されること
により、ラマン散乱光とレイリー散乱光とを含む散乱光
が生じ、生じた散乱光の一部が再びレンズ6、ビームス
プリッタ5を経て、ノッチフィルター7を通り、分光器
8に至る。
【0013】前記ノッチフィルター7は、横軸および縦
軸にそれぞれ周波数および散乱光強度をとった図1の拡
大図に示すグラフのように、強度の大きいレイリー散乱
光αを除去するためのものである。そのため、ノッチフ
ィルター7を経て分光器8に至るのはラマン散乱光のみ
となる。
軸にそれぞれ周波数および散乱光強度をとった図1の拡
大図に示すグラフのように、強度の大きいレイリー散乱
光αを除去するためのものである。そのため、ノッチフ
ィルター7を経て分光器8に至るのはラマン散乱光のみ
となる。
【0014】前記分光器8は、光センサー9(例えばチ
ャージカップルドデバイス)を有しており、また、下流
側にはCPU10、表示部11がこの順に接続されてい
る。
ャージカップルドデバイス)を有しており、また、下流
側にはCPU10、表示部11がこの順に接続されてい
る。
【0015】前記表示部11では、例えば、横軸に周波
数、縦軸に散乱光強度がとられたグラフが表示され、得
られたラマン散乱光のラマン・スペクトルを視覚的に認
識することができる。また、このラマン・スペクトルを
用いることで、試料Sの同定および定量分析を行うこと
ができ、また、試料Sの濃度情報を得ることができる。
数、縦軸に散乱光強度がとられたグラフが表示され、得
られたラマン散乱光のラマン・スペクトルを視覚的に認
識することができる。また、このラマン・スペクトルを
用いることで、試料Sの同定および定量分析を行うこと
ができ、また、試料Sの濃度情報を得ることができる。
【0016】一方、前記粒度分布測定器Pは、ラマン分
光分析器Rのレーザー光源2から試料Sに照射されたレ
ーザー光によって生じた散乱光および透過光を用いて、
試料Sの粒度分布を測定するためのものである。以下に
その構成を示す。
光分析器Rのレーザー光源2から試料Sに照射されたレ
ーザー光によって生じた散乱光および透過光を用いて、
試料Sの粒度分布を測定するためのものである。以下に
その構成を示す。
【0017】前記ラマン分光分析器Rのレーザー光源2
からのレーザー光が、試料Sの前記焦点位置Fに照射さ
れて、透過光および散乱光が生じる。この透過光および
散乱光の一部は、試料セル1の下流に設けられた集光レ
ンズ12を経て、フォトダイオードからなる光検出器1
3に至る。
からのレーザー光が、試料Sの前記焦点位置Fに照射さ
れて、透過光および散乱光が生じる。この透過光および
散乱光の一部は、試料セル1の下流に設けられた集光レ
ンズ12を経て、フォトダイオードからなる光検出器1
3に至る。
【0018】光検出器13の下流側には、光検出器13
からの信号を取り込むマルチプレクサ14、マルチプレ
クサ14からの信号が入力され、散乱光強度パターンに
基づいて演算を行って粒度分布を求めるためのCPU1
5、CPU15で求めた粒度分布を表示するための表示
部16が順に接続されている。
からの信号を取り込むマルチプレクサ14、マルチプレ
クサ14からの信号が入力され、散乱光強度パターンに
基づいて演算を行って粒度分布を求めるためのCPU1
5、CPU15で求めた粒度分布を表示するための表示
部16が順に接続されている。
【0019】前記表示部16では、例えば、横軸に粒径
を、縦軸に頻度をとったグラフが表示され、測定して得
られた粒度分布を視覚的に認識することができる。
を、縦軸に頻度をとったグラフが表示され、測定して得
られた粒度分布を視覚的に認識することができる。
【0020】上記の構成からなるラマン分光分析と粒度
分布測定を同時に行う分析装置Dによって、同一試料の
同一位置における同時計測が可能となり、迅速に複数の
手法による分析を実現することができる。
分布測定を同時に行う分析装置Dによって、同一試料の
同一位置における同時計測が可能となり、迅速に複数の
手法による分析を実現することができる。
【0021】上記の構成からなるラマン分光分析と粒度
分布測定を同時に行う分析装置Dにおいて、前記ラマン
分光分析器Rと前記粒度分布測定器Pを適宜に接続し
て、互いの測定結果を反映しあうようにすれば、ラマン
分析による濃度情報を粒度分布演算に反映することで、
粒度分布測定の信頼性を向上させることができ、また、
粒度分布測定の結果をラマン分光分析の微量分析に反映
することで、ラマン分析を用いた微量分析の信頼性を向
上させることができる。もちろん、両者の測定系の異常
判別なども簡単に行うことができる。
分布測定を同時に行う分析装置Dにおいて、前記ラマン
分光分析器Rと前記粒度分布測定器Pを適宜に接続し
て、互いの測定結果を反映しあうようにすれば、ラマン
分析による濃度情報を粒度分布演算に反映することで、
粒度分布測定の信頼性を向上させることができ、また、
粒度分布測定の結果をラマン分光分析の微量分析に反映
することで、ラマン分析を用いた微量分析の信頼性を向
上させることができる。もちろん、両者の測定系の異常
判別なども簡単に行うことができる。
【0022】なお、上記の構成において、試料セル1は
試料Sを貯留するものに限らず、例えば試料Sを内部に
流通させる流通型のものでもよいし、内部に試料Sが流
れる配管の一部に、適宜の光を透過する窓を設けて、上
記流通側の試料セルと同様の機能を有するように構成し
たものでもよい。このように構成すれば、流通状態にあ
る試料も、ラマン分光分析と粒度分布測定を同時に行う
分析装置Dを用いて上記と同様の分析を行うことができ
る。
試料Sを貯留するものに限らず、例えば試料Sを内部に
流通させる流通型のものでもよいし、内部に試料Sが流
れる配管の一部に、適宜の光を透過する窓を設けて、上
記流通側の試料セルと同様の機能を有するように構成し
たものでもよい。このように構成すれば、流通状態にあ
る試料も、ラマン分光分析と粒度分布測定を同時に行う
分析装置Dを用いて上記と同様の分析を行うことができ
る。
【0023】また、上記の構成において、試料Sの焦点
位置Fに対して前記ラマン分光分析器Rからレーザー光
を照射する方向および生じたラマン散乱光を受光する方
向と、前記粒度分布測定器Pが前記透過光および散乱光
の一部を受光する方向とが全て一直線上となるように設
けてもよいが、本発明のラマン分光分析と粒度分布測定
を同時に行う分析装置Dにおける光学的な配置はこれに
限るものではなく、例えば、試料Sの焦点位置Fに対し
て前記ラマン分光分析器Rからレーザー光を照射する方
向と、レーザー光の照射により生じた散乱光を受光する
方向とが直交するように構成してもよい。
位置Fに対して前記ラマン分光分析器Rからレーザー光
を照射する方向および生じたラマン散乱光を受光する方
向と、前記粒度分布測定器Pが前記透過光および散乱光
の一部を受光する方向とが全て一直線上となるように設
けてもよいが、本発明のラマン分光分析と粒度分布測定
を同時に行う分析装置Dにおける光学的な配置はこれに
限るものではなく、例えば、試料Sの焦点位置Fに対し
て前記ラマン分光分析器Rからレーザー光を照射する方
向と、レーザー光の照射により生じた散乱光を受光する
方向とが直交するように構成してもよい。
【0024】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のラマン分
光分析と粒度分布測定を同時に行う分析装置は、レーザ
ー光源から試料に向けてレーザー光を照射し、生じたラ
マン散乱光のラマン・スペクトルを用いることで試料の
同定および定量分析を行うラマン分光分析器と、前記レ
ーザー光照射により生じた散乱光および透過光を用いて
粒度分布を測定する粒度分布測定器とよりなり、前記レ
ーザー光源をラマン分光分析と粒度分布測定に併用する
ことを特徴としたことにより、同一試料の同一部分に対
して、ラマン分光分析および粒度分布測定を同時に、正
確に、かつ迅速に行うことが可能となる。
光分析と粒度分布測定を同時に行う分析装置は、レーザ
ー光源から試料に向けてレーザー光を照射し、生じたラ
マン散乱光のラマン・スペクトルを用いることで試料の
同定および定量分析を行うラマン分光分析器と、前記レ
ーザー光照射により生じた散乱光および透過光を用いて
粒度分布を測定する粒度分布測定器とよりなり、前記レ
ーザー光源をラマン分光分析と粒度分布測定に併用する
ことを特徴としたことにより、同一試料の同一部分に対
して、ラマン分光分析および粒度分布測定を同時に、正
確に、かつ迅速に行うことが可能となる。
【図1】本発明の一実施例に係るラマン分光分析と粒度
分布測定を同時に行う分析装置の構成を概略的に示す図
である。
分布測定を同時に行う分析装置の構成を概略的に示す図
である。
2…レーザー光源、D…ラマン分光分析と粒度分布測定
を同時に行う分析装置、P…粒度分布測定器、R…ラマ
ン分光分析器、S…試料。
を同時に行う分析装置、P…粒度分布測定器、R…ラマ
ン分光分析器、S…試料。
Claims (1)
- 【請求項1】 レーザー光源から試料に向けてレーザー
光を照射し、生じたラマン散乱光のラマン・スペクトル
を用いることで試料の同定および定量分析を行うラマン
分光分析器と、前記レーザー光照射により生じた散乱光
および透過光を用いて粒度分布を測定する粒度分布測定
器とよりなり、前記レーザー光源をラマン分光分析と粒
度分布測定に併用することを特徴とするラマン分光分析
と粒度分布測定を同時に行う分析装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13804999A JP3422725B2 (ja) | 1999-05-19 | 1999-05-19 | ラマン分光分析と粒度分布測定を同時に行う分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13804999A JP3422725B2 (ja) | 1999-05-19 | 1999-05-19 | ラマン分光分析と粒度分布測定を同時に行う分析装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000329682A true JP2000329682A (ja) | 2000-11-30 |
JP3422725B2 JP3422725B2 (ja) | 2003-06-30 |
Family
ID=15212809
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13804999A Expired - Fee Related JP3422725B2 (ja) | 1999-05-19 | 1999-05-19 | ラマン分光分析と粒度分布測定を同時に行う分析装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3422725B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002243623A (ja) * | 2001-02-19 | 2002-08-28 | Horiba Ltd | 粒径分布測定装置 |
JP2004309143A (ja) * | 2003-04-02 | 2004-11-04 | Hitachi Kyowa Engineering Co Ltd | 炭酸ガスの地中固定におけるガスモニタリング装置およびガスモニタリング方法並びに炭酸ガスの地中固定方法 |
JP2008521006A (ja) * | 2004-11-17 | 2008-06-19 | ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド | ラマン検出に基づくフローサイトメータ |
CN102692371A (zh) * | 2011-03-22 | 2012-09-26 | 索尼公司 | 激光照射装置及微粒测量装置 |
JP2014524581A (ja) * | 2011-08-19 | 2014-09-22 | マルバーン インストゥルメンツ リミテッド | 微粒子のデュアルモード特徴付け |
CN105758770A (zh) * | 2015-11-03 | 2016-07-13 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 一种集成式物质成分及粒度分析系统及其分析方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103630523A (zh) * | 2012-08-21 | 2014-03-12 | 杭州希玛诺光电技术有限公司 | 一种用于水质光学分析仪表的激光诱导光谱生成装置 |
-
1999
- 1999-05-19 JP JP13804999A patent/JP3422725B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002243623A (ja) * | 2001-02-19 | 2002-08-28 | Horiba Ltd | 粒径分布測定装置 |
JP2004309143A (ja) * | 2003-04-02 | 2004-11-04 | Hitachi Kyowa Engineering Co Ltd | 炭酸ガスの地中固定におけるガスモニタリング装置およびガスモニタリング方法並びに炭酸ガスの地中固定方法 |
JP2008521006A (ja) * | 2004-11-17 | 2008-06-19 | ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド | ラマン検出に基づくフローサイトメータ |
JP4731570B2 (ja) * | 2004-11-17 | 2011-07-27 | ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド | ラマン検出に基づくフローサイトメータ |
CN102692371A (zh) * | 2011-03-22 | 2012-09-26 | 索尼公司 | 激光照射装置及微粒测量装置 |
JP2014524581A (ja) * | 2011-08-19 | 2014-09-22 | マルバーン インストゥルメンツ リミテッド | 微粒子のデュアルモード特徴付け |
US9816922B2 (en) | 2011-08-19 | 2017-11-14 | Malvern Instruments Limited | Dual-mode characterization of particulates |
CN105758770A (zh) * | 2015-11-03 | 2016-07-13 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 一种集成式物质成分及粒度分析系统及其分析方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3422725B2 (ja) | 2003-06-30 |
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