JP2000325899A

JP2000325899A - 液処理方法

Info

Publication number: JP2000325899A
Application number: JP11139493A
Authority: JP
Inventors: Susumu Nishiwaki; 進西脇
Original assignee: Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd; Kansai Nippon Electric Co Ltd
Current assignee: Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd; Kansai Nippon Electric Co Ltd
Priority date: 1999-05-20
Filing date: 1999-05-20
Publication date: 2000-11-28
Anticipated expiration: 2019-05-20
Also published as: JP3541932B2

Abstract

(57)【要約】【課題】音叉型水晶振動子用金属キャップのような、
内径寸法に比較して長さ寸法が大きく液処理が困難な微
小隙間を有する被液処理物の内奥部まで、容易かつ確実
に低コストで液処理する方法を提供する。【解決手段】金属キャップ１を沸騰したアルコール液
１３に浸漬して、その蒸気１３ａを金属キャップ１のエ
アポケット１６内に充満させ、アルコール液１３を沸点
よりも低い温度にすることによって、金属キャップ１の
エアポケット１６内の蒸気１３ａを凝結させて、内圧低
下を利用して金属キャップ１の内奥部までアルコール液
１３を浸入させ、次いで所定の酸洗い液やめっき処理液
等に浸漬することにより、前記アルコール液１３の濡れ
を利用して、金属キャップ１の内奥部まで酸洗い液やめ
っき液を浸入させて処理する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、微小隙間を有する
被液処理物の液処理方法に関し、より詳細には、水晶振
動子用金属キャップや感温ペレット型温度ヒューズ用金
属ケースのような、開口部の寸法に比較して長さ寸法が
大きい被液処理物の酸洗いやめっき等の液処理方法に関
する。

【０００２】

【従来の技術】従来、電子部品における金属部材は防錆
やはんだ付け性等のために、めっきが施されることが多
い。例えば、音叉型水晶振動子Ｂ用の金属キャップ４１
は、図８に示すように、円筒形状を有しその内外表面に
防錆および圧入封止のためのはんだめっき層４２を形成
したものである。そして、この金属キャッップ４１の開
口部に、気密端子４３を圧入して封止する。この気密端
子４３は、円筒形状の金属外環４４にガラス４５を介し
て２本のリード４６，４６を気密かつ絶縁して封着した
もので、そのリード４６，４６に、音叉型水晶振動片４
７の両面に形成した電極４７ａ，４７ｂをはんだ付け固
着してある。ここで、前記金属キャップ４１は、洋白と
称されるＣｕ−Ｎｉ−Ｚｎ合金からなり、その内外表面
に形成されたはんだめっき層４２は、厚さが０．２〜１
０μｍ程度である。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところが、前記金属キ
ャップ４１は、最近の電子部品の小型化の趨勢に伴っ
て、ますます小型化されており、例えばその内径寸法が
０．８〜３ｍｍであるのに対して、長さ寸法が４〜９ｍ
ｍであり、長さ寸法対内径寸法比は２〜５にもなり、内
奥部まではんだめっき層４２を形成することがますます
困難になっている。

【０００４】すなわち、一般に、この金属キャップ４１
のような寸法の小さな部品をめっきする場合は、回転バ
レル（図示省略）に数万個〜数十万個を一度に投入し、
まず、酸洗い液に浸漬して、金属キャップ４１の内外表
面に付着している汚れ，油等を除去した後、はんだめっ
き液に浸漬して攪拌しながらめっきしているが、酸洗い
液および／またははんだめっき液が、金属キャップ４１
の内奥部まで浸入しにくく、酸洗いおよび／またははん
だめっきが不十分になりやすい。

【０００５】もし、酸洗いおよび／またははんだめっき
が不十分であると、金属キャップ４１の内奥部に錆が発
生しやすくなり、万一錆が剥落して水晶振動片４７に付
着すると、水晶振動片４７の固有の振動数が変動してし
まい、基準周波数発生用の水晶振動子としての機能が損
なわれる。

【０００６】このため、回転バレルの形状や攪拌棒の本
数・形状等に様々な工夫が行われているが、未だ満足で
きるものは得られていない。そこで、酸洗いやめっき処
理の時間を長くして、金属キャップ４１の内奥部まで酸
洗いやめっきをするようにしているが、時間をかける割
には目立った効果が得られていないのが、現状である。
また、回転バレル全体を減圧処理装置内に収納し、真空
ポンプで装置内を減圧して、減圧下で酸洗いやめっき処
理を行うことも提案されている。このような方法によれ
ば、金属キャップ４１の内奥部まで酸洗いやめっきを施
すことは可能になるが、高湿度の空気を吸引するので精
密な真空ポンプを使用できず、減圧レベルも低くポンプ
の寿命も短かった。さらに、真空ポンプや減圧処理装置
等の設備費が著しく高くなるのみならず、金属キャップ
４１を入れた回転バレルを減圧処理装置内に収納した後
に、密閉し減圧したり、液処理の終了後に、常圧に戻し
て開蓋し金属キャップ４１を取り出したりしなければな
らず、時間当たりの金属キャップ４１の処理数が著しく
少なくなり、それに起因してめっき費用の高騰を招き、
金属キャップ４１やこの金属キャップ４１を用いる水晶
振動子の価格上昇が避けられないという問題点がある。

【０００７】このような問題は、上記の音叉型水晶振動
子用金属キャップ４１のみならず、図９に示す円板形状
の水晶振動片５７を縦に保持する水晶振動子Ｃ用の偏平
筒状の金属キャップ５１や、図１０に示す感温ペレット
型温度ヒューズＤ用の円筒形状の金属ケース６１等にお
いても同様である。

【０００８】そこで、本発明は、上記の各種水晶振動子
用金属キャップや感温ペレット型温度ヒューズ用金属ケ
ースのような、微小隙間を有する被液処理物の内奥部ま
で、低コストで液処理できる液処理方法を提供すること
を目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明の液処理方法は、
微小隙間を有する被液処理物を液処理するに際して、被
液処理物を沸騰した前処理液に浸漬し微小隙間に前処理
液を浸入させる工程と、所定の処理液に浸漬して液処理
を施す工程とを有することを特徴とする液処理方法であ
る。

【００１０】

【作用】上記の方法によれば、沸騰した前処理液の蒸気
が被液処理物の微小隙間に容易に浸入して、微小隙間の
内奥部まで前液処理で濡らすことができ、続いて所定の
処理液に浸漬することにより、処理液が前記濡れを利用
して容易に被液処理物の内奥部まで浸入して、被液処理
物の内奥部まで所定の処理液による液処理を低コストで
実現することができる。

【００１１】

【発明の実施の形態】本発明の請求項１記載の発明は、
微小隙間を有する被液処理物を液処理するに際して、被
液処理物を沸騰した前処理液に浸漬し微小隙間に前処理
液を浸入させる工程と、所定の処理液に浸漬して液処理
を施す工程とを有することを特徴とする液処理方法であ
る。沸騰した前処理液の蒸気は、被液処理物の微小隙間
の内奥部まで容易に浸入して濡らし、この濡れを利用し
て前処理液が被液処理物の微小隙間の内奥部まで容易に
濡れて浸入し、続いて所定の処理液に浸漬することによ
り、前記前処理液による濡れを利用して処理液が被液処
理物の微小隙間の内奥部まで容易に濡れて浸入し、結
局、被液処理物の微小隙間の内奥部まで容易かつ確実に
低コストで液処理できるのである。

【００１２】本発明の請求項２記載の発明は、微小隙間
を有する被液処理物を液処理するに際して、被液処理物
を沸騰した前処理液に浸積し微小隙間内に蒸気を満たす
工程と、前処理液の温度を沸点よりも低下させることに
より微小隙間内の蒸気を凝結させその内圧低下により前
処理液を微小隙間に浸入させる工程と、所定の処理液に
浸積して液処理を施す工程とを有することを特徴とする
液処理方法である。沸騰した前処理液の蒸気は、被液処
理物の微小隙間に容易に浸入して濡らし、前処理液の温
度を沸点よりも低下させることにより、蒸気が凝結して
被液処理物の微小隙間の内圧低下を利用して微小隙間内
に前処理液を浸入させ、次いで所定の処理液に浸積する
と、処理液は前記前処理液の濡れを利用して被液処理物
の微小隙間に容易に浸入して、所定の液処理が行われ
る。

【００１３】本発明の請求項３記載の発明は、前記前処
理液が、水，アルコールおよびアルコール水溶液の群か
ら選択されたいずれか一のものであることを特徴とする
請求項１または２記載の液処理方法である。水，アルコ
ール，アルコール水溶液は、いずれも比較的安価に入手
できるため、製造コストの上昇を抑えられる利点があ
る。特にアルコールまたはアルコール水溶液は、沸点が
低く沸騰のための加熱エネルギが小さくてよいため、加
熱コストを低減できる利点がある。

【００１４】本発明の請求項４記載の発明は、前記微小
隙間を有する被液処理物が、開口部の面積に比較して長
さ寸法が大きな一端が閉じた筒形状を有することを特徴
とする請求項１ないし３記載の液処理方法である。一端
が閉じた筒形状は、液処理が困難な被液処理物の代表的
なものであるが、このようなものでも、本発明によれば
容易に液処理できる。

【００１５】本発明の請求項５記載の発明は、前記微小
隙間を有する被液処理物が、一端が閉じた筒形状を有
し、長さ寸法と内径寸法の比が２以上であることを特徴
とする請求項４記載の液処理方法である。一端が閉じた
長円筒形状を有し、長さ寸法と内径寸法の比が２以上も
ある被液処理物は、液処理が困難な被液処理物の最たる
ものであるが、このようなものでも、本発明方法によれ
ば容易に液処理できる。

【００１６】本発明の請求項６記載の発明は、前記微小
隙間を有する被液処理物が、円筒形状を有する音叉型水
晶振動子用金属キャップであることを特徴とする請求項
５記載の液処理方法である。円筒形状を有する音叉型水
晶振動子用金属キャップは、その内奥部までめっき処理
できない場合、その内奥部が発錆しやすく、もし封止後
にその錆が剥離して水晶振動片に付着すると、水晶片の
振動数が変動するが、本発明ではそのような事態が防止
できる。

【００１７】本発明の請求項７記載の発明は、前記微小
隙間を有する被液処理物が、一端が閉じた偏平筒状を有
する水晶振動子用の金属キャップであることを特徴とす
る請求項５記載の液処理方法である。一端が閉じた偏平
筒状を有する水晶振動子用の金属キャップは、円筒形状
を有する音叉型水晶振動子用の金属キャップよりも開口
部の面積が大きいので、円筒形状を有する音叉型水晶振
動子用の金属キャップ程ではないが、内奥部まで液処理
が困難なものの一つであり、このようなものでも容易に
液処理できる。

【００１８】本発明の請求項８記載の発明は、前記微小
隙間を有する被液処理物が、円筒形状を有する感温ペレ
ット型温度ヒューズ用金属ケースであることを特徴とす
る請求項１ないし３記載の液処理方法である。円筒形状
を有する感温ペレット型温度ヒューズ用金属ケースは、
内面に発錆すると、可動接点との接触抵抗が増大して、
内部抵抗大により発熱が大きくなり、それによって感温
ペレットが誤溶融したり、また、感温ペレットが溶融し
たときに、可動接点の摺動が円滑にできず、信頼性の高
い動作特性が得られなくなる事態が発生するが、そのよ
うな事態を防止できる。

【００１９】

【実施例】本発明の実施例について、以下、図面を参照
して説明する。図１は本発明の被液処理物の一実施例で
ある音叉型水晶振動子用金属キャップ１の断面図を示
す。この金属キャップ１は、洋白（４５〜６５ｗｔ％Ｃ
ｕ−６〜３５ｗｔ％Ｎｉ−１５〜３５ｗｔ％Ｚｎの組成
を有するＣｕ−Ｎｉ−Ｚｎ合金）よりなる一端が閉じた
円筒形状のもので、外径寸法が０．９１〜２．９４ｍ
ｍ、内径寸法が０．８９〜２．６３ｍｍ、長さ寸法が
４．０〜９．０ｍｍで、長さ寸法対内径寸法比は３〜５
である。

【００２０】上記金属キャップ１の内外両面に、図２に
示すように、防錆および圧入封止のために、０．５〜１
０μｍ程度のはんだめっき層２を形成する。図３は、前
記金属キャップ１の内外両面に、酸洗いおよびはんだめ
っき処理を施す前に、前液処理を施すために用いる前液
処理装置の断面図を示す。図３において、１１は前処理
槽で、底部に前処理液加熱用のヒータ１２を配設してあ
り、前処理液の一例としてのイソプロピルアルコール液
１３（以下、単にアルコール液１３と称する）が収容さ
れている。このアルコール液１３の中に、多数の金属キ
ャップ１が収容された回転バレル１４が浸漬されてい
る。１５はアルコール液１３の蒸気の発散減少を防止す
るための開閉自在の蓋である。

【００２１】上記の構成で、ヒータ１２に通電して、ア
ルコール液１３を沸点である８２．４℃以上に加熱して
あり、回転バレル１４を浸漬することにより、内部に収
容された多数の金属キャップ１に前処理を施す。この前
処理時に、アルコール液１３が金属キャップ１の内部に
浸入する。このとき、もし、図４（ａ）に示すように、
アルコール液１３が浸入しないでエアポケット１６を有
する金属キャップ１があっても、アルコール液１３が沸
点以上に加熱されていることにより、その金属キャップ
１のエアポケット１６には、図４（ｂ）に示すように、
アルコール液１３の蒸気１３ａが容易に浸入する。この
ようにして、金属キャップ１のエアポケット１６にアル
コール液１３の蒸気１３ａがどんどん浸入していくと、
その蒸気圧が次第に上昇していき、ついにエアポケット
１６の気圧を上回るようになり、ついには飽和する。こ
の後、ヒータ１２への通電を遮断し加熱を停止して、一
旦前処理液であるアルコール液１３の温度を沸点よりも
低下させる。すると、金属キャップ１のエアポケット１
６に浸入したアルコール液１３の蒸気１３ａが凝結し
て、内部のエアポケット１６内の圧力が低下し、これに
伴って図４（ｃ）に示すように、金属キャップ１の内奥
部にアルコール液１３が浸入して、金属キャップ１の内
面がアルコール液１３で濡れる。

【００２２】次に、この回転バレル１４をアルコール液
１３から引き上げ、直接または水洗後、酸洗い槽（図示
省略）の酸洗い液に浸漬して回転させる。すると、金属
キャップ１の内奥部は既にアルコール液１３または水洗
用の洗浄水により濡れているので、この濡れを利用して
金属キャップ１の内奥部に容易に酸洗い液が浸入して、
酸洗いが実施できるため、金属キャップ１の内外表面に
付着した汚れや油等が除去される。

【００２３】次に、この回転バレル１４を酸洗い液から
引き上げて、水洗槽（図示省略）の洗浄水に浸漬して回
転させる。すると、酸洗い液の濡れを利用して金属キャ
ップ１の内奥部に容易に洗浄水が浸入して、内外両面の
酸洗い液が洗い流されて、清浄化される。

【００２４】次に、この回転バレル１４を洗浄水から引
き上げて、めつき槽（図示省略）のはんだめっき液に浸
漬して回転させる。すると、洗浄水の濡れを利用して金
属キャップ１の内奥部に容易にめっき液が浸入して、内
外両面に容易かつ確実にはんだめっき層が形成できる。
このようにして、金属キャップ１の内外両面には、図２
に示すように、容易かつ低コストで０．５〜１０μｍ程
度のはんだめっき層２が形成できるのである。

【００２５】図５は、上記のようにして内外両面にはん
だめっき層２を形成した金属キャップ１の開口部に、気
密端子３を圧入封止した音叉型水晶振動子Ａの断面図を
示す。気密端子３は、円筒形の金属外環４の内部にガラ
ス５を介して、２本のリード６，６を気密に封着したも
のである。前記金属外環４は、金属キャップ１の内径寸
法よりも若干大きい外径寸法を有する、例えば低炭素鋼
やＦｅ−Ｎｉ合金やＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金等よりなるも
のである。前記ガラス５は、ソーダライムガラスやソー
ダバリウムガラスやホウケイ酸ガラス等よりなる。前記
リード６，６は、Ｆｅ−Ｎｉ合金やＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合
金等よりなり、外径寸法が０．１５〜０．３ｍｍのもの
である。前記金属外環４およびリード６，６の表面に
は、圧入封止およびはんだ付けのために、０．５〜１０
μｍ程度のはんだめっき層（図示省略）が形成されてい
る。前述したように、金属キャップ１の内面に０．５〜
１０μｍ程度のはんだめっき層２が形成されていると、
金属外環４の外周面には必ずしもはんだめっき層は必要
ではないが、リード６，６の表面にははんだめっき層が
必要であり、しかもリード６，６のみに部分はんだめっ
きを施すことは困難ないしコスト高になるので、回転バ
レルめっき等により、リード６，６と同時に、金属外環
４にもはんだめっき層を形成しておくことが望ましい。
７は音叉型の水晶振動片で、その両面には電極７ａ，７
ｂが形成されており、これらの電極７ａ，７ｂが気密端
子３のリード６，６に形成されているはんだめっき層を
利用してはんだ付けされて、電気的に接続されると共に
機械的に固着されている。

【００２６】上記のように、リード６，６に水晶振動片
７を接続固着した気密端子３は、内外両面にはんだめっ
き層２を形成した金属キャップ１に圧入されて封止され
る。このような圧入封止は、金属キャップ１の開口端が
徐々に拡開されることによる金属外環４との強い密着
と、金属キャップ１の内面に被着されているはんだめっ
き層２（金属外環４の外周面にもはんだめっき層を形成
している場合はそのはんだめっき層も）が両者間を埋め
ていることと相俟って、十分な気密性が得られる。この
圧入封止時に、金属外環４の外径寸法と金属キャップ１
の内径寸法との関係から、ガラス５は強い圧縮応力を受
けるが、ガラスは圧縮応力には強いので、圧縮応力によ
って破壊されることはない。このように、圧入封止は、
溶融ろう材による封止や低融点ガラスによる封止に比較
して、封止時に加熱を必要としないので、設備的に有利
であるのみならず、加熱によって水晶振動片７が劣化し
て特性変動を生じるといったことがない。しかも、樹脂
封止に比較して、封止時または封止後に発生ガスによっ
て、水晶振動片７が特性変動を生じるといったことがな
い。

【００２７】図６は、本発明の液処理方法を実施する被
液処理物の第２の例である円板形状の水晶振動片を縦に
保持する水晶振動子用の偏平筒形状の金属キャップ２１
の断面図で、図６（ａ）は長手方向の中心線に沿う断面
図であり、図６（ｂ）は短手方向の中心線に沿う断面図
である。このような金属キャップ２１は、図１の音叉型
水晶振動子用金属キャップ１に比較して、開口部の面積
が大きいので、金属キャップ１程には液処理は困難では
ないとはいうものの、やはり液処理は容易ではない。こ
の金属キャップ２１の材質は、封止方法によって異な
り、冷間圧接型のものでは、外面側がコバールまたはコ
バーと称されるＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金よりなり、内面側
が銅よりなる、いわゆる銅クラッドコバールないし銅ク
ラッドコバー製で、抵抗溶接型やはんだ封止型のもので
は鉄製である。そして、長手方向の外径寸法が１０．１
３〜１８．２９ｍｍ、内径寸法が１０．０３〜１８．０
４ｍｍ、短手方向の外径寸法が３．７３〜８．２６ｍ
ｍ、内径寸法が３．５３〜８．０６ｍｍ、高さ寸法が１
２．７〜１９．０５ｍｍ程度のもので、高さ寸法と短手
方向の内径寸法の比は２〜４である。

【００２８】このような金属キャップ２１においても、
その内外両面にめっき層２２を形成する。このめっき層
２２としては、金属キャップ２１の封止方法により異な
り、冷間圧接型や抵抗溶接型のものでは、その内外両面
に０．０１〜２μｍ程度の金めっき層や１〜４μｍ程度
のニッケルめっき層を形成し、はんだ封止型のものでは
４〜１０μｍ程度のＳｎ（錫）めっき層を形成する。こ
のような金属キャップ２１においても、前記金属キャッ
プ１と同様の本発明方法により、その内奥部まで容易か
つ確実に前処理が実施でき、したがって所望のめっき処
理が容易かつ確実に低コストで実施できるものである。
このように、図１に示す金属キャップ１よりも開口部が
大きい図６の金属キャップ２１に対しては、前処理液の
内奥部への浸入がしやすいことに鑑みて、前処理液とし
てはコストの高いアルコール液よりもコストの安いアル
コール水溶液や水を使用する方が有利である。

【００２９】図７は、本発明の液処理方法を実施する被
液処理物の第３の実施例である感温ペレット型温度ヒュ
ーズ用の円筒形状の金属ケース３１の断面図を示す。こ
の金属ケース３１は、全体として円筒形状を呈する銅よ
りなり、その一端側には、絶縁ブッシング（図１０にお
ける符号６９参照）を受け入れおよび位置決めしてかし
め固定するための薄肉部３２と段部３３とを有する。ま
た、他端には、リード線（図１０における符号６２参
照）を挿入してかしめ固定するための小径の孔３４を有
する。この金属ケース３１は、例えば外径寸法が４〜
４．５ｍｍ、内径寸法が３．５〜４．０ｍｍ、長さ寸法
が８〜９ｍｍ程度で、長さ寸法対内径寸法比は２〜３の
ものである。そして、この金属ケース３１の内外両面に
は、一部を円内に拡大して示すように、防錆のためにニ
ッケルめっき層３５を形成し、さらに可動接点（図１０
における符号６７参照）との接触抵抗を低減するため
に、銀めっき層３６を形成する。この金属ケース３１
は、前述の水晶振動子用金属キャップ１，２１に比較し
て、他端に小径の孔３４を有し閉じていないので、全く
閉じている場合よりは液処理が容易であるとはいえ、長
さ寸法対内径寸法比が２〜３にも達するので、やはりめ
つき処理が容易ではない。このような金属ケース３１に
おいても、本発明により前記した金属キャップ１，２１
と同様に、内外両面にニッケルめっき層３５や銀めっき
層３６を、容易かつ確実に低コストで形成することがで
きる。

【００３０】なお、本発明の上記実施例は、特定の構成
の被液処理物について説明したが、本発明は上記実施例
に限定されるものではなく、本発明の精神を逸脱しない
範囲で、各種の変形が可能であることはいうまでもな
い。

【００３１】例えば、上記実施例においては、被液処理
物として、円筒形状の音叉型水晶振動子用金属キャップ
１や偏平筒形状の水晶振動子用金属キャップ２１につい
て説明したが、楕円形状の水晶振動子用金属キャップに
ついても、同様に実施できるものである。

【００３２】また、上記実施例においては、被液処理物
として水晶振動子用金属キャップ１，２１や温度ヒュー
ズ用金属ケース３１について説明したが、それ以外の電
子部品のめっき処理に適用することができる。

【００３３】さらに、上記実施例では、回転バレルを用
いる液処理方法について説明したが、傾斜バレルその他
を用いる液処理方法についても、同様に実施できるもの
である。

【００３４】

【発明の効果】本発明方法は、微小隙間を有する被液処
理物を液処理するに際して、被液処理物を沸騰した前処
理液に浸漬し微小隙間に前処理液を浸入させる工程と、
所定の処理液に浸漬して液処理を施す工程とを有するこ
とを特徴とする液処理方法であるから、前処理液が被液
処理物の内奥部に容易に浸入して濡れるので、次に所定
の酸洗い液やめっき液等の処理液に浸漬した際に、前処
理液の濡れを利用して処理液が被液処理物の微小隙間の
内奥部まで容易かつ確実に浸入して、被液処理物の内奥
部まで容易かつ低コストで液処理を施すことができる液
処理方法が提供できるという特有の作用効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用する被液処理物の第１実施例で
ある円筒形状の音叉型水晶振動子用金属キャップの断面
図

【図２】本発明により内外両面にはんだめっき層が形
成された金属キャップの断面図

【図３】本発明の液処理方法の実施例方法について説
明するための前液処理装置の断面図

【図４】本発明の液処理方法について説明するための
前液処理時の前処理液中における金属キャップ内の状態
を示し、（ａ）は浸漬直後の状態、（ｂ）は蒸気充満状
態、（ｃ）は前処理液の浸入後の状態の断面図

【図５】本発明の第１実施例の水晶振動子用金属キャッ
プの開口部に気密端子を圧入封止した音叉型水晶振動子
Ａの断面図

【図６】本発明方法を適用する被液処理物の第２実施
例である偏平筒形状の水晶振動子用金属キャップを示
し、（ａ）は長手方向の中心線に沿う断面図、（ｂ）は
短手方向の中心線に沿う断面図

【図７】本発明方法を適用する被液処理物の第３実施
例である感温ペレット型温度ヒューズ用金属ケースの断
面図

【図８】従来の円筒形状の音叉型水晶振動子Ｂの断面
図

【図９】従来の偏平形状の水晶振動子Ｃを示し、
（ａ）は長手方向の中心線に沿う断面図、（ｂ）は短手
方向の中心線に沿う断面図

【図１０】従来の感温ペレット型温度ヒューズＤの断
面図

【符号の説明】

１円筒型水晶振動子用金属キャップ（被液処理物）２はんだめっき層３気密端子４金属外環５ガラス６リード７水晶振動片７ａ，７ｂ電極１１前液処理槽１２ヒータ１３前処理液（アルコール液）１３ａ前処理液の蒸気１４回転バレル１５蓋１６エアポケット２１偏平円筒型水晶振動子用金属キャップ（被液処理
物）２２めっき層（金めつき層，ニッケルめっき層，錫め
っき層）３１温度ヒューズ用金属ケース（被液処理物）３５ニッケルめっき層３６銀めっき層

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】微小隙間を有する被液処理物を液処理する
に際して、被液処理物を沸騰した前処理液に浸漬し微小
隙間に前処理液を浸入させる工程と、所定の処理液に浸
漬して液処理を施す工程とを有することを特徴とする液
処理方法。
【請求項２】微小隙間を有する被液処理物を液処理する
に際して、被液処理物を沸騰した前処理液に浸漬し微小
隙間内に蒸気を満たす工程と、前処理液の温度を沸点よ
りも低下させることにより微小隙間内の蒸気を凝結させ
その内圧低下により前処理液を微小隙間に浸入させる工
程と、所定の処理液に浸漬して液処理を施す工程とを有
することを特徴とする液処理方法。
【請求項３】前記前処理液が、水，アルコールおよびア
ルコール水溶液の群から選択されたいずれか一のもので
あることを特徴とする請求項１および２記載の液処理方
法。
【請求項４】前記微小隙間を有する被液処理物が、開口
部の面積に比較して長さ寸法が大きな一端が閉じた筒形
状を有することを特徴とする請求項１ないし３記載の液
処理方法。
【請求項５】前記微小隙間を有する被液処理物が、一端
が閉じた筒形状を有し、長さ寸法と内径寸法の比が２以
上であることを特徴とする請求項４記載の液処理方法。
【請求項６】前記微小隙間を有する被液処理物が、円筒
形状を有する音叉型水晶振動子用金属キャップであるこ
とを特徴とする請求項５記載の液処理方法。
【請求項７】前記微小隙間を有する被液処理物が、一端
が閉じた偏平筒状を有する水晶振動子用の金属キャップ
であることを特徴とする請求項５記載の液処理方法。
【請求項８】前記微小隙間を有する被液処理物が、円筒
形状を有する感温ペレット型温度ヒューズ用金属ケース
であることを特徴とする請求項１ないし３記載の液処理
方法。