JP2000316200A

JP2000316200A - 振動板検査装置

Info

Publication number: JP2000316200A
Application number: JP11124025A
Authority: JP
Inventors: Hiroo Uchiyama; 博夫内山; Keiji Shintani; 啓司新谷
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1999-04-30
Filing date: 1999-04-30
Publication date: 2000-11-14

Abstract

(57)【要約】【課題】エッジの部分が暗くなることによる過誤検出
を低減する。【解決手段】振動板３を載置するための円孔２を有す
るパレット１につや消し用の緑色塗料１３を塗布し、こ
のパレット１上の振動板３に対して赤色光の照明を行う
同軸落射照明装置５と、円孔２の外周部を白色光で照明
するリング照明装置１２と、パレット１上の円孔２に載
置された振動板３を撮影するカラーカメラ１０とからな
るユニットを、パレット1上の振動板３に対向させて振
動板３を照明して、カラーカメラ１０が撮影した振動板
３の画像に基づいて振動板３を検査する。その結果、円
孔２のエッジの部分における光の乱反射が低減され、カ
ラーカメラが撮影した振動板周囲の画像を良好なものに
することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、携帯型電話機や、
ビデオカメラ等に適用されるＥＣＭ（エレクトレット・
コンデンサ・マイクロホン）の振動板を検査するための
振動板検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ＥＣＭの振動板は、片面にニッケル蒸着
を施したＰＥＴ材からなるフィルムを金属リングに取り
付けた構成であり、フィルムに金属リングを押し当てて
打ち抜くことによって製造される。製造された振動板
は、マトリクス状に円孔が配列されたパレットに載置さ
れて検査装置に送られてバリや傷等の不良がないか検査
される。

【０００３】図３は従来の振動板検査装置の構成を示す
説明図であり、１はパレット、２はパレット１面に形成
された円孔、３は円孔２内に載置される検査対象となる
振動板、４は白黒カメラ、５は、ハロゲン電球を光源と
し、円孔２内の振動板３を照明する同軸落射照明装置、
６は、ＬＥＤを光源とし、円孔２内の振動板３の外周部
を照明するリング照明装置を示す。

【０００４】検査の際には、リング照明装置６、同軸落
射照明装置５、白黒カメラ４のユニットをパレット１上
に位置付け、パレット1を走査するようにユニットを移
動させて白黒カメラ４によって振動板３を撮影する。そ
して、撮影した画像に暗部が見い出された振動板３は不
良品と判定されてパレット１から除去される。

【０００５】図４は図３のカメラが撮影したサンプル画
像であって、図４(a)の画像によれば振動板の左側上部
にバリが検出され、図４(b)の画像によれば少なくとも
振動板の表面にはバリが検出されていない。

【０００６】また従来における、照明装置を用いた検査
装置としては、特開平１０−２０６２３７号公報あるい
は特開平１０−１４２１６１号公報に記載された技術が
ある。

【０００７】特開平１０−２０６２３７号公報に記載さ
れた技術は、半導体製品の外観検査装置であり、半導体
製品の一方の側部を斜め方向から赤色成分の光を照射
し、他方の側部を斜めから緑色成分の光を照射し、半導
体製品から反射される反射光を赤色の色相および緑色の
色相の色信号に分割し、これらの色信号の差の絶対値か
ら外観形状に不良が存在するか否かを判別する、という
ものである。

【０００８】特開平１０−１４２１６１号公報に記載さ
れた技術は、ミラー傷検査方法であって、物体をミラー
の面に近接させ、外部より物体とは異なる色，明度の散
乱光をミラー面に入射し、ミラーによる反射光の中で、
ミラー上の傷の反射光を、物体の反射光より区分するこ
とにより、ミラー面上の傷を検査するものである。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
検査装置においては、良品を不良として検出する過誤検
出が多く、その主な原因としては、円孔２のエッジの部
分が暗く映し出され、この部分をバリと判定してしまう
ことにある。例えば、図４(a)の場合には明らかにバリ
の存在が検出されるが、図４(b)の場合には、振動板の
周囲にバリが存在するか否か正確に判断できない。そこ
で、リング照明装置６によって周囲から照明を当ててエ
ッジの暗い部分をなくそうとしているが、不十分であ
る。

【００１０】本発明は、このような問題点を解決し、エ
ッジの部分が暗くなることによる過誤検出を低減して信
頼性の高い振動板検査装置を提供することを目的とす
る。

【００１１】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
の本発明は、金属リングにフィルム材を取り付けてなる
振動板を載置する円孔を有するパレットと、前記円孔に
対して同軸落射照明を行う第１照明装置と、前記円孔の
外周部を照明する第２照明装置と、前記円孔に載置され
た前記振動板を撮影するカラーカメラとを備え、前記第
１照明装置と前記第２照明装置と前記円孔を同軸に配置
して前記振動板を照明し、前記カラーカメラが撮影した
前記振動板の画像に基づいて振動板を検査する振動板検
査装置であって、前記第１照明装置と前記第２照明装置
とにおける照射光を互いに異なる色とし、さらに前記円
孔につや消し処理を施したことを特徴とする。このよう
な構成により、検査対象となる振動板を載置するパレッ
トにおける円孔の領域につや消しを施したために、円孔
のエッジ付近における光の乱反射が低減される。

【００１２】また本発明は、前記第２照明装置をリング
状の照明部材で構成したことを特徴とする。このような
構成により、検査対象の振動板を囲むように照明するた
め、円孔内において振動板に多少の位置ずれがあっても
振動板の周囲を確実に照明することが可能になる。

【００１３】また本発明は、前記つや消し処理を塗料の
塗布により行い、この塗料の色と前記第１照明装置にお
ける照射光の色が補色関係にあることを特徴とする。こ
のような構成により、振動板周囲におけるバリ検出の識
別性を向上させることができる。

【００１４】また本発明は、前記円孔に塗布した塗料を
緑色とし、前記第1照明装置における照射光を赤色とし
たことを特徴とする。このような構成により、振動板周
囲におけるバリ検出の識別性を向上させることができ
る。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態につい
て、図面を参照しながら詳細に説明する。

【００１６】図１は本発明の一実施形態の装置の構成を
示す説明図であり、１０はカラーカメラ、１１は赤色フ
ィルタ、１２はハロゲン電球を光源とし、かつ白色光を
円孔２の周囲に照射するリング照明装置、１３はパレッ
ト１に塗布するつや消し用の緑色塗料を示す。なお、図
３に示す従来技術における部材と同一の部材については
同一の符号を付して詳細な説明は省略した。

【００１７】本実施形態における振動板検査装置は、図
３に示す従来技術における白黒カメラ４をカラーカメラ
１０とし、同軸落射照明装置５に赤色フィルタ１１を取
り付けて照射光を赤色光とし、ＬＥＤのリング照明装置
６をハロゲン電球のリング照明装置１２とし、さらに、
パレット１に緑色塗料１３を塗布して少なくとも円孔２
のエッジ部分とその周辺のつや消しを施した構成であ
る。

【００１８】そして、検査の際には、リング照明装置１
２、同軸落射照明装置５、カラーカメラ１０のユニット
をパレット１上に位置付け、パレット１を走査するよう
にユニットを移動させてカラーカメラ１０によって振動
板３を撮影する。

【００１９】このとき、リング照明装置１２、同軸落射
照明装置５、円孔２は同軸上に位置し、同軸落射照明装
置５およびリング照明装置１２は振動板３に対して垂直
に光を照射する。ここで、カラーカメラ１０の撮影画像
においては、振動板３には赤色光が照射されているため
に振動板３の画像は赤色になり、バリや傷の部分は周囲
からの照明光の色すなわちリング照明装置１２による白
色となるかあるいは反射光が捕らえられずに黒色となる
かどちらかである。したがって、赤色光を照射し、その
画像を撮影することによって、振動板３のフィルム面に
おけるバリや傷等を検出することができる。

【００２０】図２は図１の振動板検査装置によって撮影
した振動板の画像を示すものであり、検査対象となる振
動板は、図４における振動板と同一のものを使用した。

【００２１】図２（ａ）に示す画像においては、振動板
３の縁側の一部に画像の乱れが確認されており、バリの
存在が検出される。図２（ｂ）に示す画像においては、
振動板３の縁側から外部に突出しているバリが検出され
る。このように、従来の検査装置においては検出が難し
い振動板３のエッジ部分のバリが検出できるようにな
る。そして、カラーカメラ１０の画像の輝度信号および
色信号を基に良品か否かを判定し、不良と判定された振
動板３はパレット１上から除かれる。

【００２２】このように本実施形態の検査装置によれ
ば、検査対象となる振動板３を載置するパレット１にお
ける円孔２の領域につや消しを施したために、円孔２の
エッジ付近における光の乱反射が低減され、エッジ付近
の画像を良好なものにすることができ、さらに、リング
照明装置１２の光量を大きくしてエッジ付近を明るくす
ることが可能になる。また、同軸落射光の色を赤色に
し、つや消しの塗料を緑色にしたことにより、両色は補
色の関係にあるため円孔２のエッジ付近における振動板
３周囲の状態の識別性を向上させることができる。

【００２３】

【発明の効果】以上、説明したように構成された本発明
によれば、検査対象となる振動板を載置するパレットに
おける円孔の領域につや消しを施したために、円孔のエ
ッジ付近における光の乱反射が低減され、カラーカメラ
が撮影した振動板周囲の画像を良好なものにすることが
できる。

【００２４】また、第２照明装置をリング状の照明とし
た部材で構成したことにより、検査対象の振動板を囲む
ように照明するため、円孔内において振動板に多少の位
置ずれがあっても振動板の周囲を確実に照明することが
可能になり、振動板の位置ずれの許容範囲が広がる。

【００２５】また、つや消し処理に用いるの塗料の色と
前記第１照明装置における照射光の色が補色関係になる
ように色を設定することにより、振動板周囲におけるバ
リ検出の識別性を向上させることができる。特に、第１
照明装置における照射光の色を赤色に、つや消し処理に
用いるの塗料の色を緑色にすることにより、識別性を向
上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態の装置の構成を示す説明図

【図２】図１の振動板検査装置によって撮影した振動板
の画像を示す説明図

【図３】従来の振動板検査装置の構成を示す説明図

【図４】図３のカメラが撮影したサンプルを示す説明図

【符号の説明】１パレット２円孔３振動板５同軸落射照明装置１０カラーカメラ１１赤色フィルタ１２リング照明装置１３緑色塗料

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】金属リングにフィルム材を取り付けてな
る振動板を載置する円孔を有するパレットと、前記円孔
に対して同軸落射照明を行う第１照明装置と、前記円孔
の外周部を照明する第２照明装置と、前記円孔に載置さ
れた前記振動板を撮影するカラーカメラとを備え、前記
第１照明装置と前記第２照明装置と前記円孔を同軸に配
置して前記振動板を照明し、前記カラーカメラが撮影し
た前記振動板の画像に基づいて振動板を検査する振動板
検査装置であって、前記第1照明装置と前記第２照明装置とにおける照射光
を互いに異なる色とし、さらに前記円孔につや消し処理
を施したことを特徴とする振動板検査装置。
【請求項２】前記第２照明装置をリング状の照明部材
で構成したことを特徴とする請求項1記載の振動板検査
装置。
【請求項３】前記つや消し処理を塗料の塗布により行
い、この塗料の色と前記第1照明装置における照射光の
色が補色関係にあることを特徴とする請求項1記載の振
動板検査装置。
【請求項４】前記円孔に塗布した塗料を緑色とし、前
記第1照明装置における照射光を赤色としたことを特徴
とする請求項３記載の振動板検査装置。