JP2000312104A - Dielectric resonance component - Google Patents

Dielectric resonance component

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JP2000312104A
JP2000312104A JP11120869A JP12086999A JP2000312104A JP 2000312104 A JP2000312104 A JP 2000312104A JP 11120869 A JP11120869 A JP 11120869A JP 12086999 A JP12086999 A JP 12086999A JP 2000312104 A JP2000312104 A JP 2000312104A
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JP
Japan
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outer conductor
capacitance
trimming
conductor film
dielectric
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Kazuya Hashimoto
一也 橋本
Kazuki Shimizu
一希 清水
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Kyocera Corp
Original Assignee
Kyocera Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a dielectric resonance component whose resonance frequency can be adjusted stepwise over a wide range, in a short time. SOLUTION: This dielectric resonance component is formed by placing an internal line conductor 2 between layers of a laminate 1 consisting of laminating a plurality of dielectric ceramic layers 1a, 1b, placing an outer conductor film 3 onto at least both major sides of the laminate 1, and connecting one end of the inner line conductor 2 to the outer conductor films 3. Then a capacitance adjustment electrode 4 connected to the outer conductor film 3 is placed on one major side of the laminate 1 by using a narrow trimming connection section 5.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、誘電体積層型スト
リップライン共振器及び誘電体積層型ストリップライン
フィルタに用いられる誘電体共振部品に関するものであ
り、具体的には、迅速な共振特性を調整可能な誘電体共
振部品である。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a dielectric laminated stripline resonator and a dielectric resonant component used in the dielectric laminated stripline filter, and more particularly, to a method for quickly adjusting resonance characteristics. A possible dielectric resonant component.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、マイクロ波を利用した携帯電話な
どの機器は、小型で高機能性をもつなどの理由で誘電体
積層型ストリップライン共振器及びフィルタか多用され
ている。本発明では、これらの共振器及びフィルタを誘
電体共振部品と言う。 例えば、誘電体積層型ストリッ
プライン共振器は、複数の誘電体層を積層して成る積層
体と、積層体内部に形成された帯状の内部線路導体と、
前記積層体の少なくとも両主面に形成された外導体膜と
から構成され、内部線路導体の一端は、外部導体膜に接
続されていた。具体的には、内部線路導体の一端は、積
層体の端面を介して、また、ビアホール導体を介して外
導体膜に接続されており、この一端側を短絡端となり、
他端は開放端となる。尚、内部線路導体の開放端は、外
導体膜が形成されていない積層体の端面に導出し、外部
端子電極などが形成される。
2. Description of the Related Art Conventionally, a device such as a cellular phone using microwaves is frequently used as a dielectric laminated strip line resonator or a filter because of its small size and high functionality. In the present invention, these resonators and filters are referred to as dielectric resonator components. For example, a dielectric laminated strip line resonator has a laminate formed by laminating a plurality of dielectric layers, a band-shaped internal line conductor formed inside the laminate,
And an outer conductor film formed on at least both main surfaces of the laminate, and one end of the inner line conductor is connected to the outer conductor film. Specifically, one end of the internal line conductor is connected to the outer conductor film via the end face of the laminated body and also via the via-hole conductor, and one end side is a short-circuit end,
The other end is an open end. Note that the open end of the internal line conductor is led out to the end face of the laminated body where the outer conductor film is not formed, and external terminal electrodes and the like are formed.

【0003】上述のビアホール導体を介して外導体膜に
接続されてなる誘電体積層型ストリップライン共振器は
次のような方法で製造される。
The laminated dielectric strip line resonator connected to the outer conductor film via the via hole conductor described above is manufactured by the following method.

【0004】まず、低温で焼成可能な誘電体セラミック
グリーンシートを用意する。そして、誘電体セラミック
グリーンシートの所定位置に短絡導体のビアホール導体
となる貫通穴を形成し、銅などの導電性ペーストで貫通
穴を充填する。また、所定誘電体グリーンシート上に、
内部線路導体となる帯状の導体膜を上述の導電性ペース
トの印刷によって形成する。その後、所定誘電体グリー
ンシートの両主面各々に所定枚数の誘電体グリーンシー
トを積層一体化し、誘電体層と内部線路導体とを一括的
に焼成処理を施す。その後、焼成された積層体の開放端
面を除いて積層体の外面に外導体膜及び内部線路導体の
開放端と接続する端面電極を導電性ペーストの焼き付け
により形成する。尚、外導体膜は、少なくとも積層体の
両主面に形成すればよく、また、内部線路導体の短絡端
側と外導体膜との接続をビアホール導体を用いない場合
には、積層体の開放端面と対向する短絡端側に位置する
端面を用いて端面導体膜(短絡導体膜)で接続しても構
わない。
First, a dielectric ceramic green sheet that can be fired at a low temperature is prepared. Then, a through-hole serving as a via-hole conductor of a short-circuit conductor is formed at a predetermined position on the dielectric ceramic green sheet, and the through-hole is filled with a conductive paste such as copper. In addition, on a predetermined dielectric green sheet,
A strip-shaped conductor film serving as an internal line conductor is formed by printing the above-mentioned conductive paste. Thereafter, a predetermined number of dielectric green sheets are laminated and integrated on each of both main surfaces of the predetermined dielectric green sheet, and the dielectric layer and the internal line conductor are subjected to a firing process at a time. Thereafter, end electrodes connected to the open ends of the outer conductor film and the internal line conductor are formed on the outer surface of the laminate except for the open end surfaces of the fired laminate by baking a conductive paste. Note that the outer conductor film may be formed on at least both main surfaces of the laminate, and when the connection between the short-circuit end of the internal line conductor and the outer conductor film is not performed using the via-hole conductor, the laminate is opened. The end face located on the short-circuit end side opposite to the end face may be used for connection with an end face conductor film (short-circuit conductor film).

【0005】このようにして形成されたストリップライ
ン共振器には、所定配線回路基板に実装した後に、その
特性を調整する工程が不可欠となる。
[0005] In the strip line resonator thus formed, a step of adjusting its characteristics after mounting on a predetermined wiring circuit board is indispensable.

【0006】これは、誘電体セラミッククおよび導体材
料の材料定数のばらつきや上述の製造工程での焼成時の
条件等のばつらき、内部線路導体となる導電性ペースト
の印刷ずれや導体のにじみ、ビアホール導体などの短絡
導体の形成位置のずれなどに起因して、共振周波数を設
計値どおりにすることが非常に困難となる。
[0006] This is because variations in the material constants of the dielectric ceramic and the conductor material, variations in conditions during firing in the above-described manufacturing process, and the like, misprinting of the conductive paste serving as the internal line conductor, bleeding of the conductor, It is very difficult to set the resonance frequency to the design value due to a shift in the formation position of the short-circuit conductor such as a via-hole conductor.

【0007】従来の周波数調整方法は、例えば、特開平
5−29818号に記載されているように、内部線路導
体の開放端側または内部線路導体の短絡端側と対向する
外導体の一部を、レーザー照射やサンドブラスト法など
のトリミング処理により、所定形状に、また、輪郭状に
除去する。
A conventional frequency adjusting method is, for example, as described in JP-A-5-29818, in which a part of an outer conductor facing an open end of an internal line conductor or a short-circuit end of an internal line conductor is removed. Then, by a trimming process such as laser irradiation or a sandblasting method, the film is removed into a predetermined shape and a contour shape.

【0008】いま、内部線路導体の開放端側に位置する
外導体膜にトリミング処理を施した場合、共振回路の並
列容量成分が除去面積や輪郭状形状に比例して減少し、
その結果、共振器の共振周波数が高周波側にシフトす
る。
If the outer conductor film located on the open end side of the inner line conductor is trimmed, the parallel capacitance component of the resonance circuit decreases in proportion to the removal area and the contour shape.
As a result, the resonance frequency of the resonator shifts to the high frequency side.

【0009】また、内部線路導体の短絡端側に位置する
外導体膜にトリミング処理を施した場合、外導体膜に流
れる電流の経路が変わるが、外導体膜に流れる電流は、
内部線路導体に対して流れる電流と逆方向である。この
ため、短絡端側の外導体膜をトリミングし、外導体膜に
流れる内部線路導体と逆方向の電流を小さくすることに
より、共振器の共振周波数が低周波側に下げていた。
Further, when trimming is performed on the outer conductor film located on the short-circuit end side of the inner line conductor, the path of the current flowing through the outer conductor film changes.
The direction is opposite to the current flowing through the internal line conductor. For this reason, the resonance frequency of the resonator has been reduced to a lower frequency side by trimming the outer conductor film on the short-circuit end side and reducing the current flowing in the outer conductor film in the direction opposite to that of the inner line conductor.

【0010】また、特開平5−29818には、内部線
路導体の開放端側または短絡端側に対向する外導体膜領
域に、所定幅の複数のスロットを形成することが記載さ
れている。そして、前記スロット間に容量素子を接続
し、容量値の変化で共振器の共振周波数を変化させてい
た。
Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-29818 describes that a plurality of slots having a predetermined width are formed in an outer conductor film region facing an open end or a short end of an internal line conductor. Then, a capacitance element is connected between the slots, and the resonance frequency of the resonator is changed by changing the capacitance value.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】上述の外導体膜の除去
方法では、前記外導体膜に所定共振周波数になるように
所定面積除去したり、輪郭状に除去する必要があり、ま
た、除去する面積や除去形状に応じて、トリミング除去
量を調整する必要があり、トリミング工程が非常に複雑
となっていた。例えば、初期共振周波数から所定共振周
波数に調整するにあたり、その周波数の差が大きい場合
には、相当広い面積でトリミング処理を行なう必要があ
った。
In the above-described method of removing the outer conductor film, it is necessary to remove the outer conductor film by a predetermined area so as to have a predetermined resonance frequency or to remove the outer conductor film in a contour shape. It is necessary to adjust the trimming removal amount according to the area and the removal shape, so that the trimming process is very complicated. For example, in adjusting the resonance frequency from the initial resonance frequency to the predetermined resonance frequency, when the difference between the frequencies is large, it is necessary to perform the trimming process on a considerably large area.

【0012】また、スロットを形成しあくてはならない
方法では、比較的広い面積のトリミングを行なう必要が
あり、さらに共振器のほかに容量素子が必要となり、コ
ストアップ、小型化、低背化が困難となってしまう。
In the method in which a slot must not be formed, it is necessary to trim a relatively large area, and furthermore, a capacitor element is required in addition to the resonator, which leads to an increase in cost, size, and height. It will be difficult.

【0013】本発明は、上述の問題を鑑みて案出された
ものであり、その目的は、共振周波数を短時間で広範囲
かつ段階的に調整することができる誘電体共振部品を提
供するものである。
The present invention has been devised in view of the above problems, and has as its object to provide a dielectric resonance component capable of adjusting a resonance frequency in a wide range and stepwise in a short time. is there.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】本発明は、複数の誘電体
セラミック層を積層して成る積層体の層間に内部線路導
体を配置し、前記積層体の少なくとも両主面に外導体膜
を配置し、前記内部線路導体の一端を前記外導体膜に接
続して成る誘電体共振部品において、前記積層体の一方
主面に、幅の狭いトリミング接続部によって前記外導体
膜と接続する容量調整用電極を複数配置されていること
を特徴とする誘電体共振部品である。
According to the present invention, an internal line conductor is arranged between layers of a laminate comprising a plurality of dielectric ceramic layers, and an outer conductor film is arranged on at least both main surfaces of the laminate. In the dielectric resonance component formed by connecting one end of the internal line conductor to the outer conductor film, a capacitance adjusting portion connected to the outer conductor film by a narrow trimming connection portion on one main surface of the laminate. A dielectric resonance component comprising a plurality of electrodes.

【0015】また、前記積層体内の前記容量調整用電極
と内部線路導体との間に、容量調整用電極部とビアホー
ル導体を介して接続し、且つ内部線路導体と誘電体層を
介して対向する高容量形成用電極を配置した誘電体共振
部品である。
Further, between the capacitance adjusting electrode and the internal line conductor in the laminated body, the capacitance adjusting electrode portion and the via-hole conductor are connected, and the internal line conductor is opposed to the internal line conductor via a dielectric layer. This is a dielectric resonance component on which high-capacity forming electrodes are arranged.

【0016】さらに、前記容量調整用電極部は、トリミ
ング接続部を介して複数接続されている。
Further, a plurality of the capacitance adjusting electrode portions are connected via a trimming connection portion.

【0017】[0017]

【作用】第1の発明では、外導体膜とトリミング接続部
によって接続されている複数の容量調整用電極を備えて
いる。そして、誘電体共振部品の初期共振周波数に応じ
て、外導体膜に接続された複数の容量調整用電極のう
ち、所定数の容量調整用電極を外導体膜から切り離す。
これにより、内部線路導体と外導体膜間の容量成分が減
少して、共振周波数を高い周波数側にシフト調整するこ
とができる。
According to the first aspect of the present invention, there are provided a plurality of capacitance adjusting electrodes connected to the outer conductor film by the trimming connection. Then, according to the initial resonance frequency of the dielectric resonance component, a predetermined number of capacitance adjusting electrodes out of the plurality of capacitance adjusting electrodes connected to the outer conductor film are separated from the outer conductor film.
As a result, the capacitance component between the inner line conductor and the outer conductor film decreases, and the resonance frequency can be shifted to a higher frequency.

【0018】この切り離し処理においては、外導体膜と
容量調整用電極とを接続する幅の狭いトリミング接続部
を切り離すことにより行なう。
This disconnection process is performed by disconnecting a narrow trimming connecting portion connecting the outer conductor film and the capacitance adjusting electrode.

【0019】即ち、幅の狭い接続導体膜を横断するよう
に短い距離のトリミング処理によって、外導体膜と同一
電位の容量調整用電極を、外導体膜から切り離すことが
できる。これは従来に比較して共振周波数の広い調整処
理を、非常に短いトリミングで達成できる。
That is, the capacitance adjusting electrode having the same potential as that of the outer conductor film can be separated from the outer conductor film by trimming a short distance so as to traverse the narrow connection conductor film. This makes it possible to perform a process of adjusting the resonance frequency wider than in the past with very short trimming.

【0020】第2の発明では、前記容量調整用電極と内
部線路導体との間に、容量調整用電極部と接続し、かつ
内部線路導体と誘電体層を介して対向する高容量形成用
電極を配置している。即ち、高容量形成用電極はトリミ
ング接続部、容量調整用電極部を介して、外導体膜と接
続している。そして、この高容量形成用電極と内部線路
導体との間に発生する容量成分は、従来の第1の発明に
おける容量調整用電極と内部線路導体との間の容量成分
に比較して大容量となる。
According to a second aspect of the present invention, a high-capacity forming electrode is connected between the capacitance-adjusting electrode and the internal line conductor, and is connected to the capacitance-adjusting electrode portion and faces the internal line conductor via a dielectric layer. Has been arranged. That is, the high capacitance forming electrode is connected to the outer conductor film via the trimming connection portion and the capacitance adjusting electrode portion. The capacitance component generated between the high capacitance forming electrode and the internal line conductor is larger than the capacitance component between the capacitance adjusting electrode and the internal line conductor in the first conventional invention. Become.

【0021】従って、高容量形成用電極と接続する容量
調整用電極を外導体膜から切り離すことにより、第1の
発明に比較して大きな容量成分の変化が可能となり、そ
の結果、共振周波数の幅広い周波数調整が可能となる。
Therefore, by separating the capacitance adjusting electrode connected to the high capacitance forming electrode from the outer conductor film, it is possible to change the capacitance component larger than in the first invention, and as a result, the resonance frequency can be broadened. Frequency adjustment becomes possible.

【0022】しかも、この調整に必要なトリミング量
は、第1の発明と同様に、トリミング接続部を横断する
トリミングによって達成されるため、非常に短いトリミ
ングでで大きな共振周波数の変化を達成することができ
る。
Further, since the amount of trimming necessary for this adjustment is achieved by trimming across the trimming connection as in the first invention, it is possible to achieve a large change in resonance frequency with very short trimming. Can be.

【0023】第3の発明では、複数の容量調整用電極が
トリミング接続部を介して直列的に接続されている。そ
して、一方の端部の容量調整用電極がトリミング接続部
を介して外導体に接続されている。即ち、外導体膜と容
量調整用電極とを接続するトリミング接続部をトリミン
グ処理すれば、トリミング接続部以降に直列接続する全
ての容量調整用電極が外導体膜から切り離されることに
なり、大きな共振周波数の調整が可能となる。
In the third invention, a plurality of capacitance adjusting electrodes are connected in series via a trimming connection. The capacitance adjusting electrode at one end is connected to the outer conductor via a trimming connection. In other words, if the trimming connection that connects the outer conductor film and the capacitance adjustment electrode is trimmed, all the capacitance adjustment electrodes that are connected in series after the trimming connection are separated from the outer conductor film, and large resonance occurs. The frequency can be adjusted.

【0024】また、接続しあう容量調整用電極間のトリ
ミング接続部をトリミング処理すれば、複数の容量調整
用電極のうち外導体膜から横断するようにトリミング処
理すれば、一部の容量調整用電極を外導体膜と接続した
状態で残存させ、また、その他の容量調整用電極を外導
体膜とから切り離されることになり、上述に比較して共
振周波数の調整量が小さくなる。
Further, if the trimming connection portion between the connected capacitance adjusting electrodes is trimmed, if a portion of the plurality of capacitance adjusting electrodes is trimmed across the outer conductor film, a part of the capacitance adjusting electrodes may be trimmed. The electrode is left in a state of being connected to the outer conductor film, and the other capacitance adjusting electrodes are separated from the outer conductor film, so that the adjustment amount of the resonance frequency is smaller than that described above.

【0025】即ち、上述の構造の誘電体共振部品の構造
によれば、共振周波数を短時問で広範囲かつ段階的に調
整することができる誘電体共振部品となる。
That is, according to the structure of the dielectric resonance component having the above-described structure, the dielectric resonance component can adjust the resonance frequency in a short time in a wide range and stepwise.

【0026】[0026]

【発明の実施の形態】以下、本発明の誘電体共振部品を
図面に基づいて詳説する。尚、本発明の誘電体共振部品
を、誘電体共振部品である誘電体積層型ストリップライ
ン共振器を用いて説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a dielectric resonance component of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The dielectric resonance component of the present invention will be described using a dielectric laminated stripline resonator that is a dielectric resonance component.

【0027】図1は本発明の誘電体積層型ストリップラ
イン共振器の平面図であり、図2は図1中A−A線断面
図であり、図3はその分解斜視図であり、図4は周波数
調整方法を説明する部分平面図である。
FIG. 1 is a plan view of a dielectric laminated strip line resonator of the present invention, FIG. 2 is a sectional view taken along line AA in FIG. 1, FIG. 3 is an exploded perspective view thereof, and FIG. FIG. 4 is a partial plan view for explaining a frequency adjustment method.

【0028】図1〜図3において、1は誘電体層1a、
1bからなる積層体であり、2は、内部線路導体、3は
外導体膜、4は容量調整用電極である。
1 to 3, reference numeral 1 denotes a dielectric layer 1a;
1b, a reference numeral 2 denotes an internal line conductor, a reference numeral 3 denotes an outer conductor film, and a reference numeral 4 denotes a capacitance adjusting electrode.

【0029】積層体1は、少なくとも2層の誘電体層1
a、1bを積層して構成されている。例えば、BaO−
TiO2 系、Ca−TiO2 系、MgO一TiO2 系等
の誘電体セラミック材料からなり、低温焼成を可能にす
るためBiVO4 、CuO、Li2 O、B2 3 などの
酸化物が添加されている。この誘電体層1a、1bの厚
みは50〜300μm程度であり、誘電体層1a、1b
との層間には、積層体1の長手方向に帯状に延びる内部
線路導体2が配置されている。また、内部線路導体2の
一端が露出する積層体1の端面(開放端面F)を除い
て、積層体1の外面には実質的に外導体膜3が形成され
ている。
The laminate 1 has at least two dielectric layers 1
a and 1b are laminated. For example, BaO-
TiO 2 system, Ca-TiO 2 system, a dielectric ceramic material of MgO one TiO 2 system or the like, BiVO 4, CuO order to enable low-temperature sintering, Li 2 O, oxides such as B 2 O 3 is added Have been. The thickness of each of the dielectric layers 1a and 1b is about 50 to 300 μm.
An internal line conductor 2 extending like a strip in the longitudinal direction of the laminated body 1 is disposed between the layers. The outer conductor film 3 is substantially formed on the outer surface of the multilayer body 1 except for the end face (open end face F) of the multilayer body 1 where one end of the internal line conductor 2 is exposed.

【0030】内部線路導体2、外導体膜3は、Ag系
(Ag単体またはAg−Pd、Ag一PtなどのAg合
金)やCu系(Cu単体またはCu合金)材料を主成分
とする低抵抗導体材料により構成されている。
The inner line conductor 2 and the outer conductor film 3 are made of a low resistance mainly composed of an Ag-based material (Ag alone or an Ag alloy such as Ag-Pd or Ag-Pt) or a Cu-based material (A simple Cu or Cu alloy). It is made of a conductive material.

【0031】これにより、内部線路導体2の他端は、積
層体1の開放端面Fと対向する端面Gに形成された外導
体膜(短絡導体膜)と短絡し、また、内部線路導体2と
積層体1の両主面側の外導体膜3との間で分布定数的に
容量成分が形成されている。
As a result, the other end of the internal line conductor 2 is short-circuited to the outer conductor film (short-circuit conductor film) formed on the end face G facing the open end face F of the multilayer body 1. A capacitance component is formed between the outer conductor films 3 on both main surfaces of the multilayer body 1 in a distributed constant manner.

【0032】そして、外導体膜3はグランド電位に接続
され、内部線路導体2の開放端側が信号入力部として用
いることにより、分布定数的にLC共振回路が形成さ
れ、全体として1/4波長の誘電体共振器となる。
The outer conductor film 3 is connected to the ground potential, and the open end side of the inner line conductor 2 is used as a signal input portion, thereby forming an LC resonance circuit with a distributed constant. It becomes a dielectric resonator.

【0033】本実施例では、積層体1の一方主面の外導
体膜3が形成されている領域に、外導体膜3と接続する
容量調整用電極4が形成されている。即ち、容量調整用
電極4は、例えば矩形状を成しており、容量調整用電極
4の各辺から外導体膜3との間に夫々トリミング接続部
5によって接続されている。即ち、容量調整用電極4は
その周囲に断続的に形成された4つの概略L字状の絶縁
領域6によって区画されている。しかし、容量調整用電
極4は、トリミング接続部5によって外導体膜3に接続
されており、外導体膜3と同電位で当初動作することに
なる。尚、容量調整用電極4及びトリミング接続部5は
積層体1の主面に形成した外導体膜3と同一材料で、同
一工程で形成される。例えば、容量調整用電極4及びト
リミング接続部5の形状に応じた選択的な被着や導体膜
が絶縁領域6部分に被着させないようにレジスト膜を用
いた印刷・塗布膜の形成、選択的なエッチング処理によ
って形成される。
In this embodiment, a capacitance adjusting electrode 4 connected to the outer conductor film 3 is formed in a region of the one main surface of the laminate 1 where the outer conductor film 3 is formed. That is, the capacitance adjusting electrode 4 has, for example, a rectangular shape and is connected between each side of the capacitance adjusting electrode 4 and the outer conductor film 3 by the trimming connection portion 5. That is, the capacitance adjusting electrode 4 is defined by four substantially L-shaped insulating regions 6 formed intermittently around the electrode 4. However, the capacitance adjusting electrode 4 is connected to the outer conductor film 3 by the trimming connection portion 5, and initially operates at the same potential as the outer conductor film 3. The capacitance adjusting electrode 4 and the trimming connection part 5 are formed of the same material and in the same process as the outer conductor film 3 formed on the main surface of the laminate 1. For example, selective deposition according to the shape of the capacitance adjusting electrode 4 and the trimming connection portion 5 or formation of a printing / coating film using a resist film so that the conductor film is not deposited on the insulating region 6, It is formed by an appropriate etching process.

【0034】このような誘電体共振器の共振周波数を調
整する(周波数を上げる)場合には、図4に示すよう
に、容量調整用電極4を外導体膜3から電気的に切り離
すべく、容量調整用電極4の各辺に延出するトリミング
接続部5を、切断線xのように切断する。これにより、
内部線路導体2と外導体膜3との対向面積が、容量調整
用電極4の面積分だけ減少し、その結果、共振周波数を
上げることができる。具体的には、トリミング接続部5
を横断するようにレーザー照射やサンドブラスト法など
によりトリミング接続部5を切断除去する。
When the resonance frequency of such a dielectric resonator is adjusted (increased in frequency), the capacitance adjusting electrode 4 is electrically disconnected from the outer conductor film 3 as shown in FIG. The trimming connection portion 5 extending to each side of the adjustment electrode 4 is cut along a cutting line x. This allows
The opposing area between the inner line conductor 2 and the outer conductor film 3 is reduced by the area of the capacitance adjusting electrode 4, and as a result, the resonance frequency can be increased. Specifically, the trimming connection unit 5
The trimming connection portion 5 is cut and removed by laser irradiation, sand blasting, or the like so as to cross the line.

【0035】本実施例では、共振周波数の調整にあた
り、幅の狭いトリミング接続部5を横断するように切断
することにより、非常に広い面積の容量調整用電極4を
外導体膜3から切り離して容量成分を小さくすることが
できる。即ち、非常に短時間のトリミング処理により、
大きな共振周波数の調整が可能となる。
In the present embodiment, when adjusting the resonance frequency, the capacitance adjusting electrode 4 having a very large area is cut off from the outer conductor film 3 by cutting the trimming connection portion 5 across the narrow width so as to cross the outer conductor film 3. The components can be reduced. In other words, by a very short trimming process,
A large resonance frequency can be adjusted.

【0036】また、例えばトリミング処理をレーザー照
射やサンドブラストと行なう際に、そのトリミング開始
点を絶縁領域6内に存在するため、外導体膜3に不要な
除去部を形成することがなく、また、例えばレーザー照
射の状態やサンドブランストの状態が安定してから、切
断するための走査を行なうことができる。
Further, for example, when the trimming process is performed by laser irradiation or sandblasting, the trimming start point is located in the insulating region 6, so that an unnecessary removed portion is not formed in the outer conductor film 3, and For example, the scanning for cutting can be performed after the state of laser irradiation or the state of the sandblast is stabilized.

【0037】また、容量調整用電極4の面積により、共
振周波数の上昇分を予め把握することができ、トリミン
グ接続部5の切断処理により、共振周波数の上昇調整を
おこなっても、所定周波数よりも若干低い場合には、従
来の周波数調整のように、内部線路導体2に対向する外
導体膜3の領域の一部をトリミング処理を行なう微調整
を行なえばよい。
Further, the amount of increase in the resonance frequency can be grasped in advance by the area of the electrode 4 for capacitance adjustment. If it is slightly lower, fine adjustment for trimming a part of the region of the outer conductor film 3 facing the inner line conductor 2 as in the conventional frequency adjustment may be performed.

【0038】図5は、容量調整用電極の他の実施例を示
す外導体膜の部分平面図である。
FIG. 5 is a partial plan view of an outer conductor film showing another embodiment of the capacitance adjusting electrode.

【0039】本実施例では、複数、例えば3つの容量調
整用電極41〜43が形成されている。この容量調整用
電極41〜43は、図では省略しているが、内部線路導
体2の延出方向にそって配置されており、各々誘電体層
1aを介して内部線路導体2と対向している。
In this embodiment, a plurality of, for example, three capacitance adjusting electrodes 41 to 43 are formed. Although not shown in the figure, the capacitance adjusting electrodes 41 to 43 are arranged along the extending direction of the internal line conductor 2 and face the internal line conductor 2 via the dielectric layer 1a. I have.

【0040】また、容量調整用電極41〜43は、各々
同一方向(図では上方向)に延びるトリミング接続部5
1〜53が形成され、このトリミング接続部51〜53
によって外導体膜3と節接続されている。即ち、トリミ
ング接続部51〜53は、図5中の一直線状の切断線X
に全てが交差するように配置されている。
The capacitance adjusting electrodes 41 to 43 are respectively connected to the trimming connection portions 5 extending in the same direction (upward in the drawing).
1 to 53 are formed, and the trimming connection portions 51 to 53 are formed.
Is connected to the outer conductor film 3 by a node. That is, the trimming connection portions 51 to 53 correspond to the straight cutting line X in FIG.
Are arranged so that they all intersect.

【0041】従って、共振器の初期の共振周波数によっ
て、外導体膜3から電気的に分離すべき容量調整用電極
の個数に応じて、例えば、トリミング接続部51の切断
により容量調整用電極41のみを分離するのか、また、
2つのトリミング接続部51と52の切断により2つの
容量調整用電極41、51を分離するのか、さらに、全
てのトリミング接続部51〜53の切断により全ての容
量調整用電極41〜43を分離するのかを選択する。そ
して、選択したトリミング接続部の切断数に応じて、切
断線xにそって、例えばレーザー照射の走査距離を設定
すればよい。
Therefore, depending on the number of capacitance adjusting electrodes to be electrically separated from the outer conductor film 3 according to the initial resonance frequency of the resonator, for example, only the capacitance adjusting electrode 41 is cut by cutting the trimming connection portion 51. To separate
Whether the two capacitance adjustment electrodes 41 and 51 are separated by cutting the two trimming connection portions 51 and 52, or all the capacitance adjustment electrodes 41 to 43 are separated by cutting all the trimming connection portions 51 to 53. Choose Then, for example, the scanning distance of laser irradiation may be set along the cutting line x according to the number of cuts of the selected trimming connection portion.

【0042】以上のように、図5では、例えばレーザー
照射の走査である切断線xを一直線上に設定することが
でき、また、走査距離(トリミング接続部の切断数)に
応じて、広い周波数調整を段階的に行なうことができ
る。
As described above, in FIG. 5, for example, the cutting line x for scanning by laser irradiation can be set on a straight line, and a wide frequency can be set according to the scanning distance (the number of cuts of the trimming connection portion). Adjustments can be made in stages.

【0043】もちろん、このような周波数調整の段階的
な調整を行なったのち、従来のように、外導体膜3の一
部をスキャントリミング処理して、共振周波数の微調整
を行なっても構わない。
Of course, after such a stepwise adjustment of the frequency adjustment, fine adjustment of the resonance frequency may be performed by performing a scan trimming process on a part of the outer conductor film 3 as in the prior art. .

【0044】尚、図5は、複数の容量調整用電極が1列
に配置された構造であるが、2列以上、即ち、容量調整
用電極をマトリックス状に配置しても構わない。
Although FIG. 5 shows a structure in which a plurality of capacitance adjusting electrodes are arranged in one row, two or more rows, that is, the capacitance adjusting electrodes may be arranged in a matrix.

【0045】図5は、各容量調整用電極41〜43が、
単独の容量調整として動作するが、図5に示すように、
各容量調整用電極44〜46をトリミング接続部54〜
54を介して直列的に接続している。
FIG. 5 shows that each of the capacitance adjusting electrodes 41 to 43
It operates as a single capacity adjustment, but as shown in FIG.
Each of the capacitance adjusting electrodes 44 to 46 is connected to a trimming connecting portion 54 to
They are connected in series via 54.

【0046】即ち、容量調整用電極44はトリミング接
続部54を介して容量調整用電極45に接続している。
また、容量調整用電極45はトリミング接続部55を介
して容量調整用電極46に接続している。さらに、容量
調整用電極46はトリミング接続部56を介して外導体
膜3に接続されている。
That is, the capacitance adjusting electrode 44 is connected to the capacitance adjusting electrode 45 via the trimming connection part 54.
The capacitance adjusting electrode 45 is connected to the capacitance adjusting electrode 46 via a trimming connection 55. Further, the capacitance adjusting electrode 46 is connected to the outer conductor film 3 via a trimming connection 56.

【0047】このような構造では、共振器の共振周波数
の調整を、トリミング接続部54〜56の所定1つを切
断することにより、3つの共振周波数の段階的な広い周
波数調整が可能となる。
In such a structure, the resonance frequency of the resonator can be adjusted by cutting a predetermined one of the trimming connection portions 54 to 56, whereby the three resonance frequencies can be adjusted stepwise and broadly.

【0048】例えば、トリミング接続部の切断が、トリ
ミング接続部54の一つの切断である場合(切断線X1
の切断)、外導体膜3から容量調整用電極44のみが分
離される。
For example, when the cutting of the trimming connection portion is one of the trimming connection portions 54 (the cutting line X1
), Only the capacitance adjusting electrode 44 is separated from the outer conductor film 3.

【0049】例えば、トリミング接続部の切断が、トリ
ミング接続部55の一つの切断である場合(切断線X2
の切断)、外導体膜3から2つの容量調整用電極44及
び容量調整用電極45が同時に分離される。
For example, when the cutting of the trimming connection portion is one of the trimming connection portions 55 (the cutting line X2
), The two capacitance adjusting electrodes 44 and 45 are simultaneously separated from the outer conductor film 3.

【0050】例えば、トリミング接続部の切断が、トリ
ミング接続部56の一つの切断である場合(切断線X3
の切断)、外導体膜3から3つの容量調整用電極44〜
46の切断が同時に分離される。
For example, when the cutting of the trimming connection portion is one of the trimming connection portions 56 (the cutting line X3
), Three capacitance adjusting electrodes 44 to
The 46 cuts are separated simultaneously.

【0051】図6に示す構造では、図5に比較して所定
1つのトリミング接続部をトリミング処理により、3つ
の共振周波数の段階的な広い周波数調整が可能となる。
In the structure shown in FIG. 6, by trimming a predetermined one trimming connection portion as compared with FIG. 5, a wide stepwise adjustment of three resonance frequencies becomes possible.

【0052】図7は、3つの容量調整用電極47〜49
が、図5のように容量調整用電極が直列的に接続されて
いる。この実施例では、トリミング接続部57〜59が
切断線x4、x5、x6を結ぶ一直線上に位置するよう
に配置されている。
FIG. 7 shows three capacitance adjusting electrodes 47 to 49.
However, capacitance adjusting electrodes are connected in series as shown in FIG. In this embodiment, the trimming connecting portions 57 to 59 are arranged so as to be located on a straight line connecting the cutting lines x4, x5, x6.

【0053】このような構造では、図6と同様にトリミ
ング接続部57〜59の所定1つを切断することによ
り、3つの共振周波数の段階的な広い周波数調整が可能
となる。しかも、この構造では、各トリミング接続部5
7〜59の切断線x4、x5、x6が一直線上に結ばれ
るため、例えばレーザー照射やサンドブラストなどの走
査制御が比較的に簡単に行なえる。
In such a structure, by trimming a predetermined one of the trimming connecting portions 57 to 59 in the same manner as in FIG. 6, a stepwise wide frequency adjustment of the three resonance frequencies becomes possible. Moreover, in this structure, each trimming connection 5
Since the cutting lines x4, x5 and x6 of 7 to 59 are connected in a straight line, scanning control such as laser irradiation or sandblasting can be relatively easily performed.

【0054】また、例えば、最初の切断を切断線x5に
基づいて、2つの容量調整用電極47、48の2つを外
導体膜3から分離しても、充分な共振周波数の上昇が見
られない場合、そのまま、トリミング走査を続けて、切
断線x6に基づいて、容量調整用電極49も外導体膜3
から分離することができる。
Further, for example, even when the first cutting is performed on the basis of the cutting line x5 and the two capacitance adjusting electrodes 47 and 48 are separated from the outer conductor film 3, a sufficient increase in the resonance frequency is observed. If not, the trimming scan is continued as it is, and the capacitance adjusting electrode 49 is also connected to the outer conductor film 3 based on the cutting line x6.
Can be separated from

【0055】以上のように、本発明では、共振周波数を
短時間のトリミング処理で広範囲かつ段階的に調整する
ことができる誘電体共振部品となる。
As described above, according to the present invention, there is provided a dielectric resonance component capable of adjusting the resonance frequency in a wide range and stepwise by a short trimming process.

【0056】しかも、図6、図7に示すように、容量調
整用電極44〜49をトリミング接続部54〜59を用
いて直列的に接続して配置することにより、一本のトリ
ミング接続部54〜59のトリミング処理により、所定
共振周波数に近似させることができ、共振周波数の調整
に要する時間を非常に短縮化することができる。
Further, as shown in FIGS. 6 and 7, by arranging the capacitance adjusting electrodes 44 to 49 in series by using the trimming connecting portions 54 to 59, one trimming connecting portion 54 is provided. By the trimming processing of ~ 59, the resonance frequency can be approximated to the predetermined resonance frequency, and the time required for adjusting the resonance frequency can be greatly shortened.

【0057】図8、図9は、本発明の別の実施例を示す
ものであり、図8(a)は誘電体積層型ストリップライ
ン共振器の平面図であり、図8 (b)は図8(a)中B
−B線断面図であり、図8(c)は図8(a)中C−C
線断面図であり、図9はその分解斜視図である。
FIGS. 8 and 9 show another embodiment of the present invention. FIG. 8 (a) is a plan view of a dielectric laminated strip line resonator, and FIG. B in 8 (a)
FIG. 8C is a sectional view taken along the line B, and FIG.
FIG. 9 is an exploded perspective view of FIG.

【0058】この実施例の共振器は、内部線路導体2と
外導体膜3(容量調整用電極4)との間に高容量形成用
電極7が配置されており、この高容量形成用電極7と容
量調整用電極4とが、積層体1の厚み方向のビアホール
導体8によって接続されている。
In the resonator of this embodiment, a high-capacity forming electrode 7 is disposed between the internal line conductor 2 and the outer conductor film 3 (capacity adjusting electrode 4). And the capacitance adjusting electrode 4 are connected by a via-hole conductor 8 in the thickness direction of the multilayer body 1.

【0059】積層体1は、少なくとも3層以上の誘電体
層1a1、1a2、1bとから構成されている。そし
て、内部線路導体2は、誘電体層1a2と1bとの層間
に、積層体1の長手方向に延びる帯状の導体膜からなっ
ている。また、高容量形成用電極7は、誘電体層1a1
と1a1との層間に、内部線路導2の開放端より部位
で、内部線路導体2の幅方向に延びて形成されている。
また、外導体膜3は、積層体1の開放端面を除いて外面
に形成されている。さらに、外導体膜3の領域の一部、
即ち、高容量形成用電極7の上部側に、トリミング接続
部5によって、外導体膜3に接続された容量調整用電極
4が形成されている。即ち、図1〜3に示すように容量
調整用電極4の周囲には、容量調整用電極4及びトリミ
ング接続部5の形状を規定する絶縁領域6が形成されて
いる。
The laminate 1 is composed of at least three or more dielectric layers 1a1, 1a2 and 1b. The internal line conductor 2 is formed of a strip-shaped conductor film extending in the longitudinal direction of the multilayer body 1 between the dielectric layers 1a2 and 1b. The high-capacity forming electrode 7 is formed of a dielectric layer 1a1.
1a1 is formed extending from the open end of the internal line conductor 2 in the width direction of the internal line conductor 2.
The outer conductor film 3 is formed on the outer surface of the laminate 1 except for the open end surface. Further, a part of the region of the outer conductor film 3,
That is, on the upper side of the high capacity forming electrode 7, the capacity adjusting electrode 4 connected to the outer conductor film 3 by the trimming connection portion 5 is formed. That is, as shown in FIGS. 1 to 3, an insulating region 6 that defines the shape of the capacitance adjustment electrode 4 and the trimming connection portion 5 is formed around the capacitance adjustment electrode 4.

【0060】このような誘電体積層型ストリップライン
共振器は、少なくとも3枚の低温焼成可能な誘電体誘電
体材料からなるグリーンシートを用い形成される。例え
ば、誘電体層1bとなるグリーンシートの一方主面上に
内部線路導体2となる導体膜をAg系または銅系の導電
性ペーストの印刷、乾燥により形成する。
Such a dielectric laminated strip line resonator is formed using at least three green sheets made of a dielectric dielectric material that can be fired at a low temperature. For example, a conductive film serving as the internal line conductor 2 is formed on one main surface of the green sheet serving as the dielectric layer 1b by printing and drying an Ag-based or copper-based conductive paste.

【0061】また、誘電体層1a2となるグリーンシー
トの一方主面上で内部線路導体2の開放端側に、高容量
形成用電極7となる導体膜をAg系または銅系の導電性
ペーストの印刷、乾燥により形成する。
On one open side of the internal line conductor 2 on one main surface of the green sheet serving as the dielectric layer 1a2, a conductive film serving as the high-capacity forming electrode 7 is formed of an Ag-based or copper-based conductive paste. It is formed by printing and drying.

【0062】さらに、誘電体層1a2となるグリーンシ
ートの内部線路導体2の開放端側に、グリーンシートの
厚みを貫く貫通穴を形成し、Ag系または銅系の導電性
ペーストの充填、乾燥によりビアホール導体8となる導
体を形成する。
Further, a through-hole is formed through the thickness of the green sheet on the open end side of the internal line conductor 2 of the green sheet serving as the dielectric layer 1a2, and a Ag-based or copper-based conductive paste is filled and dried. A conductor to be the via hole conductor 8 is formed.

【0063】そして、このような3枚のグリーンシート
を積層一体化する。その後、1050°以下の低温で焼
成処理して、内部に内部線路導体2、高容量形成用電極
7、ビアホール導体8を有する積層体を形成する。
Then, such three green sheets are laminated and integrated. Thereafter, a baking process is performed at a low temperature of 1050 ° or less to form a laminate having the internal line conductor 2, the high-capacity forming electrode 7, and the via-hole conductor 8 therein.

【0064】その後、積層体の開放端面を除く外周面
に、外導体膜3をAg系または銅系の材料の焼き付けな
どにより形成する。
Thereafter, the outer conductor film 3 is formed on the outer peripheral surface of the laminated body excluding the open end surface by baking an Ag-based or copper-based material.

【0065】なお、この外導体膜3を形成するにあた
り、積層体1の一方主面に、ビアホール導体8に接続す
る容量調整用電極4及びトリミング接続部5を形成す
る。
In forming the outer conductor film 3, a capacitance adjusting electrode 4 connected to the via-hole conductor 8 and a trimming connection portion 5 are formed on one main surface of the laminate 1.

【0066】従って、初期状態において、高容量形成用
電極7は、ビアホール導体8、容量調整用電極4及びト
リミング接続部5を介して外導体膜3に接続され、実際
にはグランド電位となる。
Therefore, in the initial state, the high-capacity forming electrode 7 is connected to the outer conductor film 3 via the via-hole conductor 8, the capacitance adjusting electrode 4, and the trimming connection portion 5, and is actually at the ground potential.

【0067】この構造の共振器は、内部線路導体2から
みて、外導体膜3までの厚み方向の距離と高容量形成用
電極7とが相違し、高容量形成用電極7との間が非常に
小さくなっている。即ち、内部線路導体2の開放端面か
ら短絡端面までの容量分布のポテンシャルは相違するも
のの、高容量形成用電極7との間で発生する容量成分
は、同一対向面積の外導体膜3との間で発生する容量成
分に比較して充分に大きなものとなる。
The resonator having this structure differs from the internal line conductor 2 in the distance in the thickness direction to the outer conductor film 3 and the high-capacity forming electrode 7, and the gap between the high-capacity forming electrode 7 and the high-capacity forming electrode 7 is extremely low. Has become smaller. That is, although the potential of the capacitance distribution from the open end surface to the short-circuit end surface of the internal line conductor 2 is different, the capacitance component generated between the internal line conductor 2 and the high-capacity forming electrode 7 is different from that of the outer conductor film 3 having the same facing area. Is sufficiently large as compared with the capacitance component generated in the above.

【0068】このような誘電体共振器の共振周波数を調
整する(周波数を上げる)場合には、上述したように、
容量調整用電極4と外導体膜3とを接続するトリミング
接続部5を切断する。これにより、容量調整用電極4は
勿論のこと、この容量調整用電極4と接続するビアホー
ル導体8及び高容量形成用電極7が同時に外導体膜3と
電気的に接続されて、浮遊電極となる。
When adjusting the resonance frequency of such a dielectric resonator (increasing the frequency), as described above,
The trimming connection portion 5 connecting the capacitance adjusting electrode 4 and the outer conductor film 3 is cut. Thus, not only the capacitance adjusting electrode 4 but also the via-hole conductor 8 and the high-capacity forming electrode 7 connected to the capacitance adjusting electrode 4 are electrically connected to the outer conductor film 3 at the same time to become a floating electrode. .

【0069】即ち、初期状態において、高容量形成用電
極7が外導体膜3と接続して大きな容量成分を発生した
ものがなくなり、共振器全体としては開放端側の容量成
分が減少して、その結果、共振周波数を上げることがで
きる。
That is, in the initial state, there is no electrode in which the high-capacity forming electrode 7 is connected to the outer conductor film 3 to generate a large capacitance component, and the capacitance component on the open end side of the entire resonator decreases. As a result, the resonance frequency can be increased.

【0070】本実施例では、上述したのよに、幅の狭い
トリミング接続部5を横断するように切断するだけで、
大容量を発生していた高容量形成用電極7を外導体膜3
から切り離して、容量成分を非常に小さくすることがで
きる。これは、図1〜図7のように、外導体膜3と同一
面に形成していた容量調整用電極4、41〜49との間
に発生していた容量成分の調整に比較して、共振周波数
の調整幅を大きくすることができる。即ち、非常に短時
間のトリミング処理により、非常に大きな共振周波数の
調整が可能となる。
In the present embodiment, as described above, it is only necessary to cut so as to traverse the trimming connection portion 5 having a small width.
The high-capacity forming electrode 7 having generated a large capacity is replaced with the outer conductor film 3.
And the capacitance component can be made very small. This is compared with the adjustment of the capacitance component generated between the capacitance adjustment electrodes 4 and 41 to 49 formed on the same surface as the outer conductor film 3 as shown in FIGS. The adjustment width of the resonance frequency can be increased. That is, a very large resonance frequency can be adjusted by the trimming process in a very short time.

【0071】また、トリミング処理などのレーザー照射
やサンドブラストを行なう際の開始点が絶縁領域6内に
存在するため、トリミング処理が比較的簡単に且つ信頼
性高く行なえることになる。
Further, since the starting point for performing laser irradiation such as trimming or sandblasting is present in the insulating region 6, the trimming can be performed relatively easily and with high reliability.

【0072】図10は、図8、図9に示す高容量形成用
電極7を有する誘電体共振器を、図5の容量調整用電極
41〜43に適用したものである。
FIG. 10 shows a case where the dielectric resonator having the high capacitance forming electrode 7 shown in FIGS. 8 and 9 is applied to the capacitance adjusting electrodes 41 to 43 of FIG.

【0073】すなわち、内部線路導体2は、高容量形成
用電極71〜73で非常に大きな容量成分が発生してい
ることになる。
That is, in the internal line conductor 2, a very large capacitance component is generated at the high capacitance forming electrodes 71 to 73.

【0074】そして、トリミング接続部51、52、5
3を順次形成することにより、大きな容量成分の減少調
整を行なうことができ、共振周波数を大きなステップで
調整することができる。
Then, the trimming connecting portions 51, 52, 5
By sequentially forming 3, a large capacitance component can be reduced and adjusted, and the resonance frequency can be adjusted in large steps.

【0075】例えば、図11で示すように、初期状態の
共振周波数が2.5GHzの誘電体電体共振器におい
て、トリミング処理を施さない場合、トリミング接続部
53を切断して高容量形成用電極73を開放状態にした
場合、さらにトリミング接続部52を切断して、高容量
形成用電極73及び72を開放状態にした場合、さら
に、トリミング接続部51を切断して、高容量形成用電
極73、72及び71を開放にした場合の共振周波数の
変化状況を調べた。
For example, as shown in FIG. 11, in a dielectric electric resonator having an initial resonance frequency of 2.5 GHz, when trimming is not performed, the trimming connection portion 53 is cut to form a high-capacity forming electrode. When the opening 73 is opened, the trimming connection 52 is further cut off, and the electrodes 73 and 72 for high capacity formation are opened, and the trimming connection 51 is further cut off to form the electrode 73 for high capacity formation. , 72 and 71 were opened, the change of the resonance frequency was examined.

【0076】図11の特性図から理解できるように、高
容量形成用電極71〜73を全て接続した状態と、高容
量形成用電極71〜73の全てを開放にした場合では、
共振周波数が350MHzの調整可能範囲となり、この
350MHzの内で段階的に周波数が調整できる。
As can be understood from the characteristic diagram of FIG. 11, when the high capacity forming electrodes 71 to 73 are all connected and when the high capacity forming electrodes 71 to 73 are all open,
The resonance frequency becomes an adjustable range of 350 MHz, and the frequency can be adjusted stepwise within this 350 MHz.

【0077】尚、所定周波数がこの段階的な周波数の間
にある場合、所定周波数よりも若干低い周波数になるよ
うに高容量形成用電極71〜73の開放による段階的な
調整を行い、その後、内部線路導体2と対向する外導体
膜3の一部をスキャントリミングを行い、微調整を行な
うことができる。
When the predetermined frequency is between these stepwise frequencies, stepwise adjustment is performed by opening the high capacity forming electrodes 71 to 73 so as to be slightly lower than the predetermined frequency. A part of the outer conductor film 3 facing the inner line conductor 2 can be finely adjusted by scan trimming.

【0078】尚、図11において、高容量形成用電極7
1〜73の開放状態における周波数の変動率が若干相違
するのは、内部線路導体2の開放端寄りから短絡端寄り
にかけて容量成分のポテンシャルが減少するためであ
る。仮に、図11において、高容量形成用電極71〜7
3の開放状態による段階的調整を直線上にするために
は、高容量形成用電極71〜73と内部線路導体2との
対向面積をと面積を相違させればよい。即ち、高容量形
成用電極71の内部線路導体2との対向面積を高容量形
成用電極72の内部線路導体2との対向面積よりも若干
小さくすればよい。
In FIG. 11, the high-capacity forming electrode 7
The reason why the frequency fluctuation rates in the open states 1 to 73 are slightly different is that the potential of the capacitance component decreases from the portion near the open end to the portion near the short-circuit end of the internal line conductor 2. In FIG. 11, assume that high capacity forming electrodes 71 to 7 are used.
In order to make the stepwise adjustment by the open state of 3 linear, the facing area between the high-capacity forming electrodes 71 to 73 and the internal line conductor 2 may be different. That is, the area of the high-capacity forming electrode 71 facing the internal line conductor 2 may be slightly smaller than the area of the high-capacity forming electrode 72 facing the internal line conductor 2.

【0079】図12は、3つの容量調整用電極41〜4
3のうち、2つの容量調整用電極441、42は、ビア
ホール導体81、82を介して高容量形成用電極71、
72が接続されており、1つの容量調整用電極43は、
図5に示すように、誘電体層1a1、1a2を介して内
部線路導体2に対向した誘電体共振器である。
FIG. 12 shows three capacitance adjusting electrodes 41 to 4.
3, two of the capacitance adjusting electrodes 441 and 42 are connected to the high-capacity forming electrodes 71 and via the via-hole conductors 81 and 82, respectively.
72, and one capacitance adjusting electrode 43 is
As shown in FIG. 5, the dielectric resonator faces the internal line conductor 2 via the dielectric layers 1a1 and 1a2.

【0080】即ち、高容量形成用電極71や72を開放
状態とすべく、トリミング接続部51や52をトリミン
グ処理する場合の共振周波数の調整量と、容量調整用電
極43を開放状態とすべく、トリミング接続部53をト
リミング処理する場合の共振周波数の調整量とは相違し
ている。即ち、容量調整用電極43を開放状態とした場
合の調整量が小さくなる。
That is, the amount of resonance frequency adjustment when trimming the trimming connection portions 51 and 52 and the capacitance adjusting electrode 43 are set to the open state so that the high capacity forming electrodes 71 and 72 are set to the open state. This is different from the adjustment amount of the resonance frequency when the trimming connection unit 53 performs the trimming process. That is, the adjustment amount when the capacitance adjustment electrode 43 is in the open state is small.

【0081】従って、高容量形成用電極71や72を開
放状態とするトリミング処理と、容量調整用電極43を
開放状態とするトリミング処理と、さらに、内部線路導
体2と対向する領域の外導体膜3をスキャントリミング
する処理とを任意に組み合わせることにより、初期共振
周波数から所定共振周波数への調整が非常に迅速にかつ
精度で行なうことができる。
Accordingly, a trimming process for opening the high-capacity forming electrodes 71 and 72, a trimming process for opening the capacitance-adjusting electrode 43, and an outer conductor film in a region facing the internal line conductor 2. 3 can be very quickly and accurately adjusted from the initial resonance frequency to the predetermined resonance frequency by arbitrarily combining with the process of scanning trimming.

【0082】仮に、1走査によるレーザー照射による除
去できるライン幅が0.1mmである場合、従来の技術
のように、0.5mm×1.0mmのスロツト面積を形
成する場合、走査距離1.0mmを5走査を行なう必要
がある。そして、1走査で0.1秒かかるとすると、ス
ロツト加工には0.5秒の加工時間を要することにな
る。
If the line width that can be removed by laser irradiation in one scan is 0.1 mm, if a slot area of 0.5 mm × 1.0 mm is formed as in the prior art, the scanning distance is 1.0 mm. Must be scanned 5 times. If one scan requires 0.1 second, the slot processing requires 0.5 second processing time.

【0083】図1に示す誘電体共振器の構造で、絶縁領
域6の外周形状が0.5mm×1.0mmでは、4つの
トリミング接続部5を切断するには、3.0mmの走査
が必要となり、それに要する時間は0.3秒となる。
In the structure of the dielectric resonator shown in FIG. 1, when the outer peripheral shape of the insulating region 6 is 0.5 mm × 1.0 mm, a scan of 3.0 mm is required to cut the four trimming connection portions 5. And the time required for this is 0.3 seconds.

【0084】さらに、1つの容量調整用電極41〜49
が1つのトリミング接続部51〜59のトリミング処理
によって調整される場合には、この幅が狭いトリミング
接続部のみを切断するに要する時間で調整が完了するこ
とになる。例えば、幅が狭いトリミング接続部51〜5
9の幅が0.2mmであれば、トリミング処理にかかる
時間は0.02秒となり、周波数調整の工程時間が激減
させることができる。
Further, one capacitance adjusting electrode 41-49
Is adjusted by the trimming process of one of the trimming connection portions 51 to 59, the adjustment is completed in the time required to cut only the trimming connection portion having a small width. For example, trimming connection portions 51 to 5 having a small width
If the width of 9 is 0.2 mm, the time required for the trimming process is 0.02 seconds, and the frequency adjustment process time can be drastically reduced.

【0085】尚、上述の実施例では誘電体層1a、1
b、1a1、1a2、1bを用いているが、誘電体層1
a及び1b自身が、内部線路導体2と外導体膜3(容量
調整用電極4や高容量形成用電極7)との間の容量成分
によって複数の誘電体層によって形成されていても構わ
ない。
In the above embodiment, the dielectric layers 1a, 1a
b, 1a1, 1a2, and 1b are used.
a and 1b themselves may be formed by a plurality of dielectric layers by a capacitance component between the inner line conductor 2 and the outer conductor film 3 (the capacitance adjusting electrode 4 and the high capacitance forming electrode 7).

【0086】また、上述の実施例では、容量調整用電極
は3つ形成されているが、容量調整用電極や高容量形成
用電極が内部線路導体と対向する面積を小さくし、さら
に3つ以上の容量調整用電極、高容量形成用電極を形成
して、共振周波数調整の段階差を小さくしても構わな
い。
In the above embodiment, three capacitance adjusting electrodes are formed. However, the area of the capacitance adjusting electrode and the high capacitance forming electrode facing the internal line conductor is reduced, and three or more electrodes are formed. The electrode for adjusting the capacitance and the electrode for forming the high capacitance may be formed to reduce the step difference of the resonance frequency adjustment.

【0087】また、上述の実施例では、外導体膜3は、
積層体1の開放端面を除く全ての外面に形成されてい
る。しかし、内部線路導体2の短絡端側に積層体1の両
主面に形成した外導体膜3と導通するビアホール導体を
形成すれば、積層体1の短絡端面側の外導体膜は不要と
なる。さらに、内部線路導体2の幅に比較して積層体1
の幅が大きい場合には、積層体1の2側面の外導体膜は
不要となる。即ち、外導体膜3は、少なくとも積層体の
両主面に形成されていればよい。
In the above embodiment, the outer conductor film 3 is
It is formed on all outer surfaces except the open end surface of the laminate 1. However, if a via-hole conductor is formed on the short-circuit end side of the internal line conductor 2 and the outer conductor film 3 formed on both main surfaces of the laminate 1, the outer conductor film on the short-circuit end face side of the laminate 1 becomes unnecessary. . Furthermore, compared to the width of the internal line conductor 2, the laminate 1
Is large, the outer conductor films on the two side surfaces of the laminate 1 are not required. That is, the outer conductor film 3 only needs to be formed on at least both main surfaces of the laminate.

【0088】さらに、上述の実施例の説明は、誘電体共
振部品では誘電体積層型ストリップライン共振器を用い
て説明したが、内部線路導体を複数形成して、互いに容
量結合または誘導結合させて、誘電体積層型ストリップ
ラインフィルタであっても構わない。この時フィルタ特
性は、実質的にフィルタを構成する共振部の共振周波数
に依存されるため、本発明のような共振周波数の調整構
造が有用となる。
Further, in the above description of the embodiment, the dielectric resonant component is described using the dielectric laminated strip line resonator. However, a plurality of internal line conductors are formed and capacitively or inductively coupled to each other. Alternatively, a dielectric laminated strip line filter may be used. At this time, since the filter characteristics are substantially dependent on the resonance frequency of the resonance unit constituting the filter, the structure for adjusting the resonance frequency as in the present invention is useful.

【0089】[0089]

【発明の効果】以上、本発明によれば、外導体膜の一部
には、容量調整用電極を形成している。この容量調整用
電極は内部線路導体に対向している。または、この容量
調整用電極は、内部線路導体と対向する高容量形成用電
極に接続している。いずれの構造においても、容量調整
用電極と外導体膜とを接続する幅狭いトリミング接続部
が形成されている。
As described above, according to the present invention, a capacitance adjusting electrode is formed on a part of the outer conductor film. This capacitance adjusting electrode faces the internal line conductor. Alternatively, the capacitance adjusting electrode is connected to a high capacitance forming electrode facing the internal line conductor. In each of the structures, a narrow trimming connecting portion for connecting the capacitance adjusting electrode and the outer conductor film is formed.

【0090】従って、共振周波数の調整する際には、幅
狭いトリミング接続部を短い距離で切断するだけで、容
量調整用電極または高容量形成用電極を開放状態とする
ことができ、共振周波数を段階的に調整することができ
る。
Therefore, when adjusting the resonance frequency, the capacitance adjusting electrode or the high-capacity forming electrode can be opened only by cutting the narrow trimming connection portion at a short distance. It can be adjusted step by step.

【0091】従って、トリミング処理を短時間で広範囲
の共振周波数を段階的に調整することが可能な誘電体共
振部品となる。
Accordingly, the dielectric resonance component can adjust the resonance frequency in a wide range stepwise in a short time in the trimming process.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の誘電体共振部品の一例の誘電体積層型
ストリップライン共振器の平面図である。
FIG. 1 is a plan view of a dielectric laminated strip line resonator as an example of a dielectric resonant component of the present invention.

【図2】図1中A−A線断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along line AA in FIG.

【図3】図1に示す誘電体積層型ストリップライン共振
器の分解斜視図である。
FIG. 3 is an exploded perspective view of the dielectric laminated strip line resonator shown in FIG.

【図4】図1に示す誘電体積層型ストリップライン共振
器の容量調整用電極部分の平面図である。
FIG. 4 is a plan view of a capacitance adjusting electrode portion of the dielectric laminated strip line resonator shown in FIG. 1;

【図5】本発明の第2の実施例である容量調整用電極部
分の平面図である。
FIG. 5 is a plan view of a capacitance adjusting electrode portion according to a second embodiment of the present invention.

【図6】本発明の第3の実施例である容量調整用電極部
分の平面図である。
FIG. 6 is a plan view of a capacitance adjusting electrode portion according to a third embodiment of the present invention.

【図7】本発明の第4の実施例である容量調整用電極部
分の平面図である。
FIG. 7 is a plan view of a capacitance adjusting electrode portion according to a fourth embodiment of the present invention.

【図8】本発明の別の誘電体積層型ストリップライン共
振器であり、(a)は平面図であり、(b)は図8
(a)中のB−B線断面図であり、(c)は図8(a)
中のC−C線断面図である。
8 (a) is a plan view and FIG. 8 (b) is another dielectric laminated strip line resonator according to the present invention.
FIG. 8A is a sectional view taken along the line BB in FIG. 8A, and FIG.
It is a CC sectional view taken on the line.

【図9】本発明の別の誘電体積層型ストリップライン共
振器の分解斜視図である。
FIG. 9 is an exploded perspective view of another dielectric laminated strip line resonator of the present invention.

【図10】本発明の別の実施例を示す誘電体積層型スト
リップライン共振器であり、(a)は平面図であり、
(b)は図10(a)中のD−D線断面図である。
FIG. 10 is a dielectric laminated strip line resonator showing another embodiment of the present invention, wherein (a) is a plan view,
FIG. 11B is a sectional view taken along line DD in FIG.

【図11】図10に示す誘電体積層型ストリップライン
共振器の高容量形成用電極の開放状態による共振周波数
の変化を示す特性図である。
11 is a characteristic diagram showing a change in resonance frequency due to an open state of a high-capacity forming electrode of the dielectric laminated strip line resonator shown in FIG.

【図12】本発明のさらに別の実施例を示す誘電体積層
型ストリップライン共振器であり、(a)は平面図であ
り、(b)は図12(a)中のE−E線断面図である。
12A and 12B show a dielectric laminated strip line resonator according to still another embodiment of the present invention, wherein FIG. 12A is a plan view, and FIG. 12B is a cross-sectional view taken along line EE in FIG. FIG.

【符号の説明】 1・・・積層体 2・・・内部線路導体 3・・・外導体膜 4、41〜49・・・容量調整用電極 5、51〜59・・・トリミング接続部 6・・・絶縁領域 7、71〜73・・・高容量形成用電極 8、81〜83・・・ビアホール導体[Description of Signs] 1 ... laminated body 2 ... inner line conductor 3 ... outer conductor film 4, 41 to 49 ... capacitance adjusting electrode 5, 51 to 59 ... trimming connection part 6. ..Insulating regions 7, 71 to 73 ··· High-capacity forming electrodes 8, 81 to 83 ··· Via-hole conductors

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 複数の誘電体セラミック層を積層して成
る積層体の層間に内部線路導体を配置し、前記積層体の
少なくとも両主面に外導体膜を配置し、前記内部線路導
体の一端を前記外導体膜に接続して成る誘電体共振部品
において、 前記積層体の一方主面に、幅の狭いトリミング接続部に
よって前記外導体膜と接続する容量調整用電極を配置し
たことを特徴とする誘電体共振部品。
1. An internal line conductor is disposed between layers of a laminate formed by laminating a plurality of dielectric ceramic layers, an outer conductor film is disposed on at least both main surfaces of the laminate, and one end of the internal line conductor is provided. And a capacitance adjusting electrode connected to the outer conductor film by a narrow trimming connection portion on one main surface of the laminate. Dielectric resonance parts.
【請求項2】 前記積層体内の前記容量調整用電極と内
部線路導体との間に、容量調整用電極部とビアホール導
体を介して接続し、且つ内部線路導体と誘電体層を介し
て対向する高容量形成用電極を配置したことを特徴とす
る請求項1記載の誘電体共振部品。
2. A connection between the capacitance adjusting electrode and an internal line conductor in the laminate via a capacitance adjusting electrode portion and a via hole conductor, and is opposed to the internal line conductor via a dielectric layer. 2. The dielectric resonance component according to claim 1, wherein an electrode for forming a high capacitance is arranged.
【請求項3】 前記容量調整用電極部は、トリミング接
続部を介して複数接続されていることを特徴とする請求
項1記載の誘電体共振部品。
3. The dielectric resonance component according to claim 1, wherein a plurality of said capacitance adjusting electrode portions are connected via a trimming connection portion.
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