JP2000299521A - 波長のフィルタリング用の単一方向の自動整合した後方反射光学系 - Google Patents

波長のフィルタリング用の単一方向の自動整合した後方反射光学系

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Abstract

(57)【要約】 【課題】その構成要素の性質、特に、その構成要素と関
係する二面体の角度値に関して、十分な許容度を可能に
する、自動整合した後方反射型光学系を提供すること。 【解決手段】 本発明は、主コリメートビームを発生さ
せるコリメーション光学素子104の焦点面内に1つの
内面を有する少なくとも1つの導波管と、平行な線を有
する回折格子101であって、上記線がコリメートした
ビーム内で、格子の線に対して垂直な拡散面に対して平
行な方向に向けて主ビーム105の異なる波長を拡散さ
せる回折格子と、拡散面に対して垂直な長手方向面内で
自動整合させる反射器系とを備える、波長のフィルタリ
ング用の単一方向の自動整合した後方反射光学系111
に関するものである。反射器は、球状レンズ110と、
単一方向の自動整合した反射器系111とから成ってお
り、該方向は格子の拡散面に対して平行である。後者の
反射器系は、特に、その端縁が格子の拡散面に対して垂
直である反射器二面体とすることができる。本発明は、
モノクロメータ及びかかる光学系を内蔵するレーザにも
関するものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、自動整合した後方
反射型光学系の波長をフィルタリングすることに関す
る。
【0002】
【従来の技術】光学的構成要素が取り付けられた装置の
品質は、その光学構成要素を整合させることによって決
まることが一般の常識である。このため、何らかの自動
整合装置、すなわち、光束の性質が幾つかの構成要素の
1つの方向又は位置によって殆ど影響を受けない何らか
の組立体が必要とされている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】永年に亙って公知の自
動整合した後方反射系の内、例示目的のため、次のもの
を掲げることができる。すなわち、図1に図示したコー
ナキューブであり、このキューブにより、反射型の直交
三面体3への入射ビーム1、1´は、キューブの対角線
5に対する入射角度、及び入射点4の位置に関係なく、
平行な出力ビーム2、2´を発生させるものである。
【0004】また、光学軸線9に対して多少なりとも垂
直な、その内にミラー10が配置される焦点面内に光学
軸線9を有する収斂型光学系8から成る、いわゆる「猫
の眼」組立体も周知である。ミラー10に収斂するコリ
メートした入射ビーム11、11´は、上記ミラーにて
反射され、その後、光学系8に拡がり、この光学系8
は、同様にコリメートされ且つビーム11、11´に対
して平行な出力ビーム12、12´を発生させる。かか
る猫の眼は、図2に示してある。
【0005】上述したこれら光学系の双方は、それぞ
れ、1、1´、11、11´で示した入力ビームにおけ
る出力ビーム2、2´、12、12´の方向を自動的に
2方向に向けて、すなわち、入力ビームの方向に対して
平行な全ての面内にて整合させる。特定の光学系におい
て、単一方向への自動整合を実現しなければならない。
次に、図1の三面体に代えて直交二面体又は円筒状の猫
の眼を使用する、すなわち、図2の場合の球状の光学系
8に代えてレンズ又は円筒状の光学系を使用しなければ
ならない。この二面体は、その母線に対して垂直な面内
にてその端縁及び筒形レンズに対して垂直な面内での自
動整合を保証する。平行な面内において、これら光学系
の双方はミラーのように挙動する。
【0006】我々は、また、波長のフィルタリングを行
う光学系も知っており、この光学系の最も従来型式のも
のは、図3に図示するように、入力スロット15と出力
スロット16との間に配置され且つ入射角度iにて広ス
ペクトルの光束17を受け取る拡散系14から成るもの
である。出力光束18は、拡がり、その拡がり方向は、
波長に依存し、出力スロット16により選択されたビー
ム19のみが光学系によって伝送(transmit)
される。また、2段階のスペクトルフィルタリングを行
うことも可能である一方、2つの格子14、14´の間
に配置された中間のスロット15´は、不要な線の伝送
を制限することに寄与する。
【0007】入射ビームの中央光線と格子により拡散さ
れたビームの中央光線とを含む、格子の線に対して垂直
な面は、従来から「拡散面」と称されている。ビームの
各々について、我々は、中央光線に対して垂直な面を
「直交面」と称し、中央光線を含む拡散面に対して垂直
な面を「長手方向面」と称する。
【0008】図4に図示した従来技術の装置において、
直交二面体23は、拡散面に対して平行な端縁23´を
有している。この配置の結果、この拡散面内にてミラー
状の挙動を呈し、また、長手方向面内にて自動的に整合
した挙動を呈する。
【0009】波長を調節可能なレーザの外部キャビティ
を具体化し又はある波長を選択するため、例えば、波長
をフィルタリングするために波長をフィルタリングする
自動整合した後方反射型光学系を使用することができ
る。この光学系は、図4の後者の適用例にて極く概略図
的に図示されている。格子20は、第一の単モード光学
導波管21からレンズ22を通じて出力光束を受け取
る。格子20は、その光束を直交二面体23に回折し、
その二面体の端縁23´は、格子の拡散面に対して平行
であり、この二面体がこの光束を戻す。格子20は、戻
り路にて、この光束を再度、その波長に依存する方向に
回折する。このため、第二の導波管24の位置に対応す
る波長の光束のみがこの導波管24内にて接続される。
これらの導波管は、特に、光ファイバとすることができ
る。
【0010】導波管装置の性能は、大部分、直交二面体
の精度に依存することが分かった。本発明の目的は、そ
の構成要素の性質、特に、その構成要素と関係する二面
体の角度の値に関して、十分な許容度を可能にする、自
動整合した後方反射型光学系を実現することである。
【0011】本発明の目的は、公知の自動整合した光学
系の有利な点を保持する一方にて、上記問題点を解決す
る装置であって、反射器が拡散面の方向に向けてミラー
のように挙動し、また、長手方向面の方向に自動整合し
た挙動を呈する装置を提供することである。
【0012】本発明の別の目的は、中間スロットの位置
の調節が容易とされた、2段階の波長選択的組立体の実
現を可能にすることである。
【0013】この目的のため、本発明は、波長のフィル
タリング用の単一方向の自動整合した後方反射光学系で
あって、主コリメートビームを発生させるコリメーショ
ン光学素子の焦点面内に1つの内面を有する少なくとも
1つの導波管と、平行な線を有する回折格子であって、
上記線が、コリメートしたビーム内にて格子の線に対し
て垂直な拡散面に対し平行な方向に向けて主ビームの異
なる波長を拡散させる回折格子と、拡散面に対し垂直な
長手方向面内にて自動整合させる反射器系とを備える光
学系に関するものである。
【0014】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、反射器
は、球状レンズと、単一方向の自動整合した反射器系と
から成っており、該方向が格子の拡散面に対して平行で
ある。
【0015】異なる実施の形態の各々は、次のような特
定の有利な点を呈する。該装置は、入力光束を伝送し且
つ出力光束を集める単一のファイバを備えること;該装
置は、一方が入力光束を伝送し、他方が出力光束を集め
る少なくとも2本のファイバを備えること;一方向の自
動整合した反射器系は、その端縁が格子の拡散面に対し
て垂直で且つレンズの焦点面内に配置された反射器二面
体であること;反射器二面体は二重の全内反射プリズム
であること;反射器二面体は約90°の角度を形成する
こと;反射器二面体の双方のミラーの少なくとも一方が
横方向に縮小した寸法を有すること;自動整合した反射
器系は、互いに独立的な支持体の上に支持された2つの
垂直なミラーから成ること;ミラーの各々は制限された
寸法であること;導波管モードの寸法はより幅が広いこ
と;平行な出力を有する偏光ミラーがコリメーション光
学素子と格子との間に挿入され、レンズの中心がこのス
プリッタの出力ビームの間における空間の中間に配置さ
れること;水平方向端縁二面体は光を格子の外側を4回
通過させ、光は格子を2回通過した後、自動整合した後
方反射器に達する。
【0016】本発明はモノクロメータにも関するもので
ある。第一の実施の形態において、導波管は受動型であ
り、モノクロメータの入力スロット及び出力スロットを
形成する。
【0017】第二の実施の形態において、第一の受動型
導波管はモノクロメータの入力スロットを形成し、第二
の受動型導波管はその出力スロットを形成する。
【0018】本発明は、かかる自動整合した反射器装置
を内蔵するレーザにも関するものである。かかる場合、
導波管は、その端部と単一方向に自動整合した反射器系
との間にて波長調節可能な外部キャビティレーザの境を
設定する。
【0019】
【発明の実施の形態】本発明は、添付図面を参照しつつ
以下により詳細に説明する。
【0020】本発明の波長フィルタリング用の自動整合
した後方反射光学系は、格子101を備えている。単モ
ード導波管103は、その中心104´が主ビーム10
5内にある光学系104によりコリメートされた光束を
その端部102にて伝送する。面回折格子101は、ビ
ーム105に対し多少なりとも平行な垂直面の境を設定
する等距離の平行線106を保持しており、格子101
の拡散面と称される。
【0021】主入射ビーム105は、拡散面内で格子1
01により回折され、その方向が波長に依存する回折し
たビーム108を発生させる。これらのビームは、単一
方向の自動整合した反射系により反射され、この場合、
この反射系は、好ましくは90°の二重の全反射プリズ
ムの形態をした反射器二面体111であり、その端縁1
11´は格子の拡散面に対し垂直であり、中心110´
がレンズ110の焦点面内にある状態にて配置されてい
る。
【0022】第一の実施の形態において、単モード導波
管103は、光学系の出力光束を集める。
【0023】第二の実施の形態において、第二の導波管
112は、出力光束を集める。本発明の装置において、
二面体111は、拡散面に対して垂直な端縁111´を
有している。このため、該二面体は、長手方向にミラー
状に挙動するが、二面体は光学装置110と関係してお
り、その結果、実際には、長手方向面内で猫の眼の性質
を有し、従って、必要とされる自動整合を実現する装置
となる。拡散面内において、レンズ110/二面体11
1の組み合せ体は、レンズ110の中心110´及び二
面体111の端縁111´により境が設定された軸線に
対し平行な法線を有する、実際上、ミラーと同等のもの
を形成する。二面体の自動整合方向は、キューブコーナ
の自動整合方向と反対であり、その双方の効果は互いに
打ち消し合い、このことは、二面体の端縁に対して垂直
な方向は何ら自動整合を行うことなくミラーに対し同等
の挙動を呈することを意味する。
【0024】従来技術の状態に関して、本発明の二面体
の角度に必要とされる精度は低くてよい。
【0025】実際上、自動整合が十分であるためには、
反射したビームの位相前面が入射コードλ/4以上だけ
重なり合うことを必要とする。
【0026】従来技術による二面体を具体化し、幅が数
mmのコリメートしたビームにより作動させることによ
り、二面体の直交精度、すなわち90°頂点におけるそ
の角度値は、約10-4ラジアン(すなわち円弧の5セコ
ンド)でなければならない。本発明の装置において、ビ
ームは二面体に向けて収斂し、入射波の像がこの二面体
に形成される。この像の寸法は、典型的に、数十分の1
ミクロンである。すなわち、上記の実施の形態の場合よ
りも2桁小さい。
【0027】自動整合時、同一の精度を実現するため、
二面体の角度に要求される条件は、2桁程度、緩和する
ことができ、このため、本発明によれば、従来技術の1
-4ラジアンではなくて、10-2ラジアンの頂点角度
(すなわち0.5°)の精度を有する二面体で十分であ
る。
【0028】更に、従来の装置の特定の光束の損失が回
避される。従来の装置を具体化するときに光束の損失を
回避するため、導波管21、24から出るコリメートし
たビームは、二面体23の上で互いに重なり合わなけれ
ばならない。このことは、二面体23とレンズ22との
間の光学的距離が上記レンズ22とファイバ21、24
の端部の間の格子における釣合ったビームの非結晶距離
に等しいこと、すなわち、格子におけるビームの釣合っ
た歪像の焦点距離に等しいことを要求する。実際的な空
間条件の理由のため、このことは常に可能であるとは限
らない。本発明は、一方にて、レンズ104と二面体と
の間の距離に関係なく、また一方にて、二面体の角度を
最大にしつつ、ファイバ103、112の端部間の距離
に関係なく、ビームが重なり合うことを可能にする。
【0029】このように、図5に図示したモノクロメー
タを具体化することができる。一方、出力導波管112
は、その波長がこの出力導波管112の横断方向位置、
格子101の性質及びその方向に依存する入力導波管1
03により放出された光束の一部を集める。かかる場
合、幾何学的寸法の小さい二面体111を使用すること
により、この二面体111に対する導波管103の端部
102の像を制限し、これにより、二重モノクロメータ
(二段式モノクロメータ)の中間スロットの通常の機能
を発揮することを可能にする。このように、格子により
拡散される光を抑制しつつスペクトルの選択性が向上す
る。
【0030】また、二面体111は、図5Aに図示する
ように、互いに垂直な2つのミラー150、151で形
成することもできる。
【0031】これらのミラー150、151の各々は、
小型であり且つプリズム152、153により実現され
るようにすると好都合である。このように、これらミラ
ー150、151の位置を互いに独立的に調節し、これ
により、このようにして行われたフィルタリングの帯域
幅の限界を独立的に制御することが可能となる。この二
面体により反射された入射ビームは、参照番号154、
155で示してある。
【0032】出力導波管112は、入力導波管103に
重ね合わせることができ、この実施の形態は、図5に図
示されている。勿論、これらの導波管は実質的に相違さ
せることができ、例えば、互いに並べて配置してもよ
い。また、各々、波長が選択された光束の一部分をその
位置に関して集めるぺく互いに並べて配置された幾つか
の出力導波管112を使用しつつ、波長のデマルチプレ
クサを具体化することも可能である。
【0033】導波管103が入力及び出力側にて同時に
使用される能動的な導波管であるならば、導波管の背面
と二面体111との間に形成される外部キャビティレー
ザを具体化することが可能である。
【0034】導波管モードの寸法は、例えば、導波管1
03の端部102にてマイクロレンズを呈する一方、よ
り幅が広いことが好都合である。
【0035】コリメーション光学素子104と格子10
1との間に挿入された平行な出力を有する偏光スプリッ
タは、格子101から離れ且つ格子101に戻る間にそ
れぞれ通路の間にて偏光状態を交換することを可能にす
る。このように、格子101により発生される可能性の
ある不良な偏光状態が回避される。次に、レンズ110
の中心110´をこのスプリッタの出力ビームの間の空
間の中間に配置する。
【0036】水平端縁を有する二面体125は、格子1
01の上でビームが4回通ることを実現することを可能
にし、これにより、この格子の外側を2回通過した後、
光は自動整合した後方反射器111に達する。
【0037】この実施の形態は、図6、図7、図8に関
してより特定的に説明する。図6には、例えば、フラン
ス国特許出願第2,754,054号に記載されたよう
な従来技術の装置の1つが示してある。偏光スプリッタ
120は、ビーム105から直交の偏光成分105´、
105´´を有する2つの平行なビームを発生させる。
λ/2ブレード121がビーム105´´の上に配置さ
れ且つビームの偏光方向を回転させる。このため、2つ
のビーム105´、105´´´の偏光方向は格子10
1の線に対して垂直となる。格子101によりこれらの
ビームの双方を拡散させた後、これらビームは二面体1
22により交換される。フランス国特許第2,754,
054号に詳細に記載されたこの装置は、光学的スペク
トル分析器において、格子の外側の回折に起因する損失
が最小とされ、これと同時に、入射ビーム105の偏光
程度に影響されず、高精度の装置を具体化することが可
能な装置を実現することができる。
【0038】本発明によれば、二面体122をレンズ1
10及び二面体111により形成された組立体と置換す
ることが可能である。
【0039】このように、上述したように、レンズ11
0及び二面体111により形成された組立体は二面体1
11の角度が僅かに約90°である場合でも正確に作動
するから、二面体122の角度の制限が解消されると同
時に、上述した装置の全ての有利な点が得られることに
なる。
【0040】当該フランス国特許第2,754,054
号において、格子の外側でビームが4回通過する形態を
伴い、二段階の組立体を形成する「第三の実施の形態」
が記載されている。
【0041】この装置において、ビームの横断寸法に対
して大きい寸法の二面体125は、格子の外側を最初に
通過した後、ビームの方向を変更し、ビームが格子によ
り再度回折され、自動整合した後方反射光学系126
は、これらのビームを互いに交換し且つそのビームを格
子に向けて方向変更し、そのビームの各々が再度2回、
回折されるようにする。
【0042】自動整合した後方反射光学系126は、本
発明に適合すると好都合であり、また、このため、格子
の拡がり面に対して垂直な端縁を有する二面体111が
その焦点面内に配置されたレンズ110から成ってい
る。
【0043】1つの代替的な実施の形態において、面格
子101に代えて凹状格子を使用する一方、該格子自体
が導波管103から発生されたビームをコリメートし、
又は、二面体111上に収斂させ、これにより、光学系
104又は110をそれぞれ抑制することを可能にす
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来技術の二方向に自動整合した装置を形成す
るキューブコーナの図である。
【図2】従来技術の二方向に自動整合した装置を形成す
る猫の眼の図である。
【図3】従来技術のスペクトルフィルタリング装置の図
である。
【図4】リットマン−メトカフ形態の従来技術の単一方
向に自動整合した型スペクトルフィルタリング装置の図
である。
【図5】本発明によるリットマン−メトカフ形態のビー
ムを伴う本発明の第一の形態の図である。5Aは、本発
明を具体化するのに使用可能な反射器の特別な実施の形
態の図である。
【図6】従来技術の格子の外側を2回通過させる拡散装
置の図である。
【図7】従来技術の格子の外側を2回通過させる、本発
明による拡散装置の図である。
【図8】従来技術の格子の外側を4回通過させる、本発
明による拡散装置の図である。
【符号の説明】
101 回折格子 102 導波管の端
部 103 単モード導波管/入力導波管 104 光学系/コリメーション光学素子 104´ 光学系の中心 105 主ビーム 105´、105´´、105´´´ ビーム/偏光成
分 106 等距離の平行な線 108 回折ビーム 110 レンズ 110´ レンズの中心 111 後方反射器 111´ 二面体の端縁 112 第二の導波
管/出力導波管 121 λ/2ブレード 122 二面体 125 二面体 126 自動整合手
段/後方反射光学系 150、151 ミラー 152、153 プ
リズム 154、155 入射ビーム

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 主コリメートビームを発生させるコリメ
    ーション光学素子の焦点面内に1つの内面を有する少な
    くとも1つの導波管と、 平行な線を有する回折格子であって、前記線が、コリメ
    ートしたビーム内で、格子の線に対して垂直な拡散面に
    対して平行な方向に向けて主ビームの異なる波長を拡散
    させる回折格子と、 拡散面に対して垂直な長手方向面内で自動整合させる反
    射器系とを備える、波長のフィルタリング用の単一方向
    の自動整合した後方反射光学系において、 反射器が、球状レンズと、単一方向の自動整合した反射
    器系とから成っており、該方向が格子の拡散面に対して
    平行であることを特徴とする、単一方向の自動整合した
    後方反射光学系。
  2. 【請求項2】 請求項1による自動整合した後方反射光
    学系において、一方向の自動整合した反射器系が、その
    端縁が格子の拡散面に対して垂直で且つレンズの焦点面
    内に配置された反射器二面体であることを特徴とする、
    自動整合した後方反射光学系。
  3. 【請求項3】 請求項2による自動整合した後方反射光
    学系において、反射器二面体が二重の全内反射プリズム
    であることを特徴とする、自動整合した後方反射光学
    系。
  4. 【請求項4】 請求項2又は3の何れか1つによる自動
    整合した後方反射光学系において、反射器二面体が約9
    0°の角度を形成することを特徴とする、自動整合した
    後方反射光学系。
  5. 【請求項5】 請求項2乃至4の何れか1つによる自動
    整合した後方反射光学系において、反射器二面体の双方
    のミラーの少なくとも一方が横方向に縮小した寸法を有
    することを特徴とする、自動整合した後方反射光学系。
  6. 【請求項6】 請求項1乃至5の何れか1つによる自動
    整合した後方反射光学系において、導波管モードの寸法
    はより幅が広いことを特徴とする、自動整合した後方反
    射光学系。
  7. 【請求項7】 請求項1乃至6の何れか1つによる自動
    整合した後方反射光学系において、平行な出力を有する
    偏光ミラーがコリメーション光学素子と格子との間に挿
    入され、レンズ(110)の中心(110´)がこのス
    プリッタの出力ビームの間における空間の中間に配置さ
    れることを特徴とする、自動整合した後方反射光学系。
  8. 【請求項8】 請求項1乃至7の何れか1つによる自動
    整合した後方反射光学系において、拡散面に対して平行
    なその端縁を有する追加的な二面体(125)が格子の
    外側を4回通過する一方、光が格子を2回通過した後、
    自動整合した後方反射器に達することを特徴とする、自
    動整合した後方反射光学系。
  9. 【請求項9】 請求項1乃至8の何れか1つによる自動
    整合した後方反射光学系を備えるモノクロメータにおい
    て、導波管が受動型であり、モノクロメータの入力スロ
    ット及び出力スロットを形成することを特徴とする、モ
    ノクロメータ。
  10. 【請求項10】 請求項1乃至8の何れか1つによる自
    動整合した後方反射光学系を備えるモノクロメータにお
    いて、第一の受動型導波管がモノクロメータの入力スロ
    ットを形成し、第二の受動型導波管がその出力スロット
    を形成することを特徴とする、モノクロメータ。
  11. 【請求項11】 請求項1乃至8の何れか1つによる自
    動整合した後方反射光学系を備えるレーザにおいて、導
    波管がその端部と単一方向に自動整合した反射器系との
    間にて前記波長調節可能な外部キャビティレーザの境を
    設定することを特徴とする、レーザ。
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