JP2000298872A - 光ヘッド及びその製造方法 - Google Patents
光ヘッド及びその製造方法Info
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- JP2000298872A JP2000298872A JP11103000A JP10300099A JP2000298872A JP 2000298872 A JP2000298872 A JP 2000298872A JP 11103000 A JP11103000 A JP 11103000A JP 10300099 A JP10300099 A JP 10300099A JP 2000298872 A JP2000298872 A JP 2000298872A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 スペース効率のよいファイバプローブを使用
した光ヘッドを得ること、及びプローブ先端とそのホル
ダとが高精度に組み合わされ、量産に適した光ヘッドの
製造方法を得ること。 【解決手段】 ファイバプローブ２１の先端部はホルダ
２５に対して傾斜して突入した状態で固定され、先端の
微小開口２２はホルダ底面２５ａと略同じ面内に位置し
ている。この光ヘッドはホルダの底面とファイバの先端
とをエッチング液に浸漬させて同時にエッチング加工
し、さらに、ファイバの先端部分のみを選択的にエッチ
ングすることで作製される。
した光ヘッドを得ること、及びプローブ先端とそのホル
ダとが高精度に組み合わされ、量産に適した光ヘッドの
製造方法を得ること。 【解決手段】 ファイバプローブ２１の先端部はホルダ
２５に対して傾斜して突入した状態で固定され、先端の
微小開口２２はホルダ底面２５ａと略同じ面内に位置し
ている。この光ヘッドはホルダの底面とファイバの先端
とをエッチング液に浸漬させて同時にエッチング加工
し、さらに、ファイバの先端部分のみを選択的にエッチ
ングすることで作製される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ヘッド、特に、
高密度光メモリや高分解能顕微鏡の分野で用いられる光
ヘッド及びその製造方法に関する。
高密度光メモリや高分解能顕微鏡の分野で用いられる光
ヘッド及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術と課題】近年、光学的に情報を記録／再生
する光メモリの分野においては、コンピュータの高速化
やマルチメディアの発達に伴い、より高密度に情報を記
録／再生できる、即ち、記録密度の著しく向上した光記
録装置及びそれに用いられる光ヘッドが望まれ、近接場
光記録技術が提案されている。近接場光による記録及び
読み取りを行う光ヘッドについては、光ファイバや微小
開口を有するプローブ、あるいはSolid Immersion Le
ns（固浸レンズ）を用いることが検討されている。この
種の近接場光ヘッドは記録媒体に対して数１０〜数１０
０ｎｍまで近接させ、集光した光を微小開口から近接場
光として発生させ、記録／読取りを行う。
する光メモリの分野においては、コンピュータの高速化
やマルチメディアの発達に伴い、より高密度に情報を記
録／再生できる、即ち、記録密度の著しく向上した光記
録装置及びそれに用いられる光ヘッドが望まれ、近接場
光記録技術が提案されている。近接場光による記録及び
読み取りを行う光ヘッドについては、光ファイバや微小
開口を有するプローブ、あるいはSolid Immersion Le
ns（固浸レンズ）を用いることが検討されている。この
種の近接場光ヘッドは記録媒体に対して数１０〜数１０
０ｎｍまで近接させ、集光した光を微小開口から近接場
光として発生させ、記録／読取りを行う。
【０００３】即ち、通常、図５（Ａ）に示すように、フ
ァイバプローブ１はコア２とクラッド３からなり、周囲
を不透明膜４で覆ったものが使用され、先端の微小開口
５を記録媒体９の表面に対して数１０ｎｍのギャップＧ
に維持する必要がある。従って、先端が平坦なプローブ
１にあっては、ホルダ（スライダ）８（図７参照）に傾
いて取り付けられると、図５（Ｂ）に示すように、エッ
ジ部６が記録媒体９に衝突してしまい、微小開口５と記
録媒体９とのギャップＧを所定値まで近づけることがで
きない。
ァイバプローブ１はコア２とクラッド３からなり、周囲
を不透明膜４で覆ったものが使用され、先端の微小開口
５を記録媒体９の表面に対して数１０ｎｍのギャップＧ
に維持する必要がある。従って、先端が平坦なプローブ
１にあっては、ホルダ（スライダ）８（図７参照）に傾
いて取り付けられると、図５（Ｂ）に示すように、エッ
ジ部６が記録媒体９に衝突してしまい、微小開口５と記
録媒体９とのギャップＧを所定値まで近づけることがで
きない。
【０００４】例えば、外径が１２５μｍの一般的な光フ
ァイバを使用した場合に、微小開口５を記録媒体９に対
して約３０ｎｍまで近づけようとすると、角度θの許容
値は約０．０３°となる。この傾きは拡大鏡を使用しな
がらの微妙な調整を必要とし、煩雑なものであった。ま
た、プローブ１の先端を記録媒体９の表面に強制的に押
しつけて角度θを調整し、所定のギャップＧを確保する
方法も提案されている。
ァイバを使用した場合に、微小開口５を記録媒体９に対
して約３０ｎｍまで近づけようとすると、角度θの許容
値は約０．０３°となる。この傾きは拡大鏡を使用しな
がらの微妙な調整を必要とし、煩雑なものであった。ま
た、プローブ１の先端を記録媒体９の表面に強制的に押
しつけて角度θを調整し、所定のギャップＧを確保する
方法も提案されている。
【０００５】また、図６（Ａ）に示すように、先端が先
鋭化されたペンシル型のファイバプローブ１’にあって
は、図６（Ｂ）に示すように、若干傾いて設置されても
ギャップＧは確保可能である。しかし、先端の微小開口
５をホルダの底面に対して所定の位置関係で正確に取り
付けることは非常に困難であった。また、先端が先鋭化
されているが故に前記ファイバプローブ１のように先端
を記録媒体９に押しつけて傾きを是正する方法を採用す
ることはできない。
鋭化されたペンシル型のファイバプローブ１’にあって
は、図６（Ｂ）に示すように、若干傾いて設置されても
ギャップＧは確保可能である。しかし、先端の微小開口
５をホルダの底面に対して所定の位置関係で正確に取り
付けることは非常に困難であった。また、先端が先鋭化
されているが故に前記ファイバプローブ１のように先端
を記録媒体９に押しつけて傾きを是正する方法を採用す
ることはできない。
【０００６】一方、ファイバプローブ１（１’）はホル
ダ８に位置調整を考慮して垂直方向に取り付けられるの
が通常である。しかし、垂直方向の取り付けではファイ
バプローブ１（１’）がホルダ８の上面に突き出てしま
い、ファイバは比較的自由に曲げられるといっても、曲
げ角度には限界があり、ファイバ１（１’）の取り回し
に大きなスペースを必要としていた。
ダ８に位置調整を考慮して垂直方向に取り付けられるの
が通常である。しかし、垂直方向の取り付けではファイ
バプローブ１（１’）がホルダ８の上面に突き出てしま
い、ファイバは比較的自由に曲げられるといっても、曲
げ角度には限界があり、ファイバ１（１’）の取り回し
に大きなスペースを必要としていた。
【０００７】そこで、本発明の目的は、スペース効率の
よいファイバプローブを使用した光ヘッドを提供するこ
とにある。さらに、本発明の他の目的は、ホルダ底面と
プローブの先端微小開口を煩雑な調整を必要とせずに、
所定の位置関係に正確に合わせた状態とすることがで
き、かつ、量産に適した光ヘッドの製造方法を提供する
ことにある。
よいファイバプローブを使用した光ヘッドを提供するこ
とにある。さらに、本発明の他の目的は、ホルダ底面と
プローブの先端微小開口を煩雑な調整を必要とせずに、
所定の位置関係に正確に合わせた状態とすることがで
き、かつ、量産に適した光ヘッドの製造方法を提供する
ことにある。
【０００８】
【発明の構成、作用及び効果】以上の目的を達成するた
め、本発明は、ファイバプローブの先端部をホルダに固
定した光ヘッドにおいて、ファイバプローブの先端部を
ホルダに傾斜して突入した状態で固定し、かつ、ファイ
バプローブの先端平坦面をホルダの底面に対して平行に
設定し、あるいはファイバプローブの先端先鋭部をホル
ダの底面と略同じ面内に設定した。
め、本発明は、ファイバプローブの先端部をホルダに固
定した光ヘッドにおいて、ファイバプローブの先端部を
ホルダに傾斜して突入した状態で固定し、かつ、ファイ
バプローブの先端平坦面をホルダの底面に対して平行に
設定し、あるいはファイバプローブの先端先鋭部をホル
ダの底面と略同じ面内に設定した。
【０００９】以上の本発明に係る光ヘッドにおいて、フ
ァイバプローブはホルダに対して傾斜して取り付けられ
ているため、ファイバがホルダの上面から大きく突出す
ることはなく、むしろホルダの上面と同じ高さで引き出
すことができ、ヘッド自体をコンパクトにスペース効率
よく構成することができる。また、ファイバプローブの
先端微小開口はホルダの底面とほぼ一致するように設け
られているため、記録媒体とのギャップを正確に保持す
ることができる。特に、スペース効率の良好性は、ホル
ダに複数本のファイバプローブを取り付けた場合に大き
な効果を発揮する。
ァイバプローブはホルダに対して傾斜して取り付けられ
ているため、ファイバがホルダの上面から大きく突出す
ることはなく、むしろホルダの上面と同じ高さで引き出
すことができ、ヘッド自体をコンパクトにスペース効率
よく構成することができる。また、ファイバプローブの
先端微小開口はホルダの底面とほぼ一致するように設け
られているため、記録媒体とのギャップを正確に保持す
ることができる。特に、スペース効率の良好性は、ホル
ダに複数本のファイバプローブを取り付けた場合に大き
な効果を発揮する。
【００１０】さらに、本発明は、ファイバプローブの先
端部をホルダに固定した光ヘッドの製造方法において、
光ファイバをホルダにその先端がホルダの底面から僅か
に突出した状態に固定する工程と、前記ホルダの底面及
び前記光ファイバの先端をエッチング液に浸漬し、ホル
ダの底面とファイバの先端とを同時にエッチングする工
程とを備えている。さらに、光ファイバの先端部分のみ
を選択的にエッチングする工程を加えてもよい。
端部をホルダに固定した光ヘッドの製造方法において、
光ファイバをホルダにその先端がホルダの底面から僅か
に突出した状態に固定する工程と、前記ホルダの底面及
び前記光ファイバの先端をエッチング液に浸漬し、ホル
ダの底面とファイバの先端とを同時にエッチングする工
程とを備えている。さらに、光ファイバの先端部分のみ
を選択的にエッチングする工程を加えてもよい。
【００１１】本発明に係る製造方法によれば、ホルダの
底面と光ファイバの先端とを同時にエッチング加工する
ため、プローブの先端をホルダの底面に所定の位置関係
に正確に合わせた光ヘッドを量産することができ、ひい
てはプローブの先端と記録媒体とのギャップを所定の値
に維持することができる。しかも、エッチング液の材
料、成分比を調整すること、あるいはエッチング時間を
調整することで、ファイバプローブの先端部に対するエ
ッチング処理の進行度合いを制御し、先端部が所望形状
のファイバプローブを得ることができる。
底面と光ファイバの先端とを同時にエッチング加工する
ため、プローブの先端をホルダの底面に所定の位置関係
に正確に合わせた光ヘッドを量産することができ、ひい
てはプローブの先端と記録媒体とのギャップを所定の値
に維持することができる。しかも、エッチング液の材
料、成分比を調整すること、あるいはエッチング時間を
調整することで、ファイバプローブの先端部に対するエ
ッチング処理の進行度合いを制御し、先端部が所望形状
のファイバプローブを得ることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る光ヘッド及び
その製造方法の実施形態について、添付図面を参照して
説明する。
その製造方法の実施形態について、添付図面を参照して
説明する。
【００１３】（光ヘッドの第１実施形態、図１参照） 図１は本発明の第１実施形態である光ヘッドの要部を示
し、ホルダ２５にファイバプローブ２１を取り付け、ホ
ルダ２５をサスペンション２７で保持するようにしたも
のである。光ヘッド自体は記録媒体９の高速回転に伴っ
て発生する空気流に乗って浮上し、記録媒体９の表面と
数１０ｎｍのギャップに保持される。ホルダ２５の浮上
量（ギャップ）は、サスペンション２７の強度によって
調整される。
し、ホルダ２５にファイバプローブ２１を取り付け、ホ
ルダ２５をサスペンション２７で保持するようにしたも
のである。光ヘッド自体は記録媒体９の高速回転に伴っ
て発生する空気流に乗って浮上し、記録媒体９の表面と
数１０ｎｍのギャップに保持される。ホルダ２５の浮上
量（ギャップ）は、サスペンション２７の強度によって
調整される。
【００１４】ファイバプローブ２１は図５に示したファ
イバプローブ１と同じ構成からなり、その先端は平坦面
２１ａとされて微小開口２２が形成されている。このプ
ローブ２１はホルダ２５に対して斜め上部から傾斜して
突入され、先端の平坦面２１ａはホルダ２５の底面２５
ａに対して平行に設定されている。微小開口２２は底面
２５ａと同一平面上に位置していても、あるいは底面２
５ａから若干突出していてもよい。プローブ２１の先端
平坦面２１ａと底面２５ａとの平行度は０．０５°以
内、特に０．０３°以内に収めることが好ましい。
イバプローブ１と同じ構成からなり、その先端は平坦面
２１ａとされて微小開口２２が形成されている。このプ
ローブ２１はホルダ２５に対して斜め上部から傾斜して
突入され、先端の平坦面２１ａはホルダ２５の底面２５
ａに対して平行に設定されている。微小開口２２は底面
２５ａと同一平面上に位置していても、あるいは底面２
５ａから若干突出していてもよい。プローブ２１の先端
平坦面２１ａと底面２５ａとの平行度は０．０５°以
内、特に０．０３°以内に収めることが好ましい。
【００１５】微小開口２２とホルダ２５の底面２５ａと
の位置合わせは、後述するエッチング法によってもよ
く、あるいは予め先端を所定の形状に加工したプローブ
２１をホルダ２５に組み付けてもよい。微小開口２２を
底面２５ａから若干突出させた場合には、微小開口２２
を記録媒体９の表面に強制的に押しつけることで、微小
開口２２と底面２５ａとの位置合わせを行うことができ
る。
の位置合わせは、後述するエッチング法によってもよ
く、あるいは予め先端を所定の形状に加工したプローブ
２１をホルダ２５に組み付けてもよい。微小開口２２を
底面２５ａから若干突出させた場合には、微小開口２２
を記録媒体９の表面に強制的に押しつけることで、微小
開口２２と底面２５ａとの位置合わせを行うことができ
る。
【００１６】本第１実施形態においては、ファイバプロ
ーブ２１の先端部がホルダ２５に対して斜め側方から突
入しており、プローブ２１自体がホルダ２５の上方に大
きく突出することがなく、スペース効率が向上する。な
お、プローブ２１は必ずしもホルダ２５の側面から突出
した状態でなくてもよく、傾斜していればホルダ２５の
上面から突出していてもよい。プローブ２１がホルダ２
５に対して傾斜状態で取り付けられていれば、突出部分
の曲げを大きく取ることができ、スペース効率が改善さ
れることになる。
ーブ２１の先端部がホルダ２５に対して斜め側方から突
入しており、プローブ２１自体がホルダ２５の上方に大
きく突出することがなく、スペース効率が向上する。な
お、プローブ２１は必ずしもホルダ２５の側面から突出
した状態でなくてもよく、傾斜していればホルダ２５の
上面から突出していてもよい。プローブ２１がホルダ２
５に対して傾斜状態で取り付けられていれば、突出部分
の曲げを大きく取ることができ、スペース効率が改善さ
れることになる。
【００１７】（光ヘッドの第２実施形態、図２参照）図
２は本発明の第２実施形態である光ヘッドの要部を示
し、ホルダ２５にファイバプローブ３１を取り付け、ホ
ルダ２５をサスペンション２７で保持し、空気浮上方式
で記録媒体９とのギャップを保持するようにした点は前
記第１実施形態と同様である。
２は本発明の第２実施形態である光ヘッドの要部を示
し、ホルダ２５にファイバプローブ３１を取り付け、ホ
ルダ２５をサスペンション２７で保持し、空気浮上方式
で記録媒体９とのギャップを保持するようにした点は前
記第１実施形態と同様である。
【００１８】ファイバプローブ３１は、図６に示したフ
ァイバプローブ１’と同じように、その先端は先鋭化さ
れた微小開口３２が形成されている。このプローブ３１
もホルダ２５に対して斜め上部から傾斜して突入され、
先端の先鋭部（微小開口３２）はホルダ２５の底面２５
ａと同一平面上に設定されている。微小開口３２と底面
２５ａとの高さ方向の差は、５０ｎｍ以内、特に３０ｎ
ｍ以内に収めることが好ましい。差が５０ｎｍより大き
くなると、微小開口３２を記録媒体９に対して近接場領
域にまで近づけることができなくなるおそれがある。
ァイバプローブ１’と同じように、その先端は先鋭化さ
れた微小開口３２が形成されている。このプローブ３１
もホルダ２５に対して斜め上部から傾斜して突入され、
先端の先鋭部（微小開口３２）はホルダ２５の底面２５
ａと同一平面上に設定されている。微小開口３２と底面
２５ａとの高さ方向の差は、５０ｎｍ以内、特に３０ｎ
ｍ以内に収めることが好ましい。差が５０ｎｍより大き
くなると、微小開口３２を記録媒体９に対して近接場領
域にまで近づけることができなくなるおそれがある。
【００１９】微小開口３２とホルダ２５の底面２５ａと
の位置合わせは、後述するエッチング法によってもよ
く、あるいは予め先端を所定の形状に加工したプローブ
３１をホルダ２５に組み付けてもよい。微小開口３２を
底面２５ａから若干突出させた場合には、微小開口３２
を記録媒体９の表面に強制的に押しつけることで、微小
開口３２と底面２５ａとの位置合わせを行うことができ
る。但し、微小開口３２は先鋭化されて脆いので極めて
弱い力で押しつける必要がある。
の位置合わせは、後述するエッチング法によってもよ
く、あるいは予め先端を所定の形状に加工したプローブ
３１をホルダ２５に組み付けてもよい。微小開口３２を
底面２５ａから若干突出させた場合には、微小開口３２
を記録媒体９の表面に強制的に押しつけることで、微小
開口３２と底面２５ａとの位置合わせを行うことができ
る。但し、微小開口３２は先鋭化されて脆いので極めて
弱い力で押しつける必要がある。
【００２０】本第２実施形態の効果は前記第１実施形態
と同様であり、プローブ３１は傾斜していればホルダ２
５の上面から突出していてもよいことは勿論である。
と同様であり、プローブ３１は傾斜していればホルダ２
５の上面から突出していてもよいことは勿論である。
【００２１】（光ヘッドの第３実施形態、図３参照）本
第３実施形態である光ヘッドは、図３に示すように、ホ
ルダ２５に３本のファイバプローブ４１を取り付けて各
プローブ４１の先端をホルダ２５の底面に臨ましめ、マ
ルチビーム方式での記録／再生を可能としたものであ
る。各プローブ４１の先端は第１実施形態の如く平坦面
であっても、第２実施形態の如く先鋭化されていてもよ
い。また、図３ではプローブ４１がそれぞれホルダ２５
の各側面から１本ずつ突出したものを示しているが、一
の側面から複数本突出していてもよい。
第３実施形態である光ヘッドは、図３に示すように、ホ
ルダ２５に３本のファイバプローブ４１を取り付けて各
プローブ４１の先端をホルダ２５の底面に臨ましめ、マ
ルチビーム方式での記録／再生を可能としたものであ
る。各プローブ４１の先端は第１実施形態の如く平坦面
であっても、第２実施形態の如く先鋭化されていてもよ
い。また、図３ではプローブ４１がそれぞれホルダ２５
の各側面から１本ずつ突出したものを示しているが、一
の側面から複数本突出していてもよい。
【００２２】（製造方法の実施形態、図４参照）まず、
図４（Ａ）に示すように、ホルダ２５に形成した貫通孔
２６に光ファイバ５１を貫通させ、固定する。ホルダ２
５の材料としては、よく知られているＡｌ2Ｏ3・ＴｉＣ
（アルチック）あるいはＭｎ−Ｚｎを用いることができ
る。以下に説明する緩衝フッ酸溶液に対する耐久性の面
からは、前者の材料が望ましい。
図４（Ａ）に示すように、ホルダ２５に形成した貫通孔
２６に光ファイバ５１を貫通させ、固定する。ホルダ２
５の材料としては、よく知られているＡｌ2Ｏ3・ＴｉＣ
（アルチック）あるいはＭｎ−Ｚｎを用いることができ
る。以下に説明する緩衝フッ酸溶液に対する耐久性の面
からは、前者の材料が望ましい。
【００２３】次に、図４（Ｂ）に示すように、光ファイ
バ５１とホルダ２５とを一体的に、ホルダ２５の底面２
５ａが液面と一致するように緩衝フッ酸溶液５５に浸漬
する。この場合、ホルダ２５の底面２５ａを液面より若
干高く保持し、表面張力によってエッチング液を底面２
５ａに接触させることが肝要である。本発明者らの実験
では、緩衝フッ酸溶液５５として、ＨＦ：Ｈ2Ｏ：ＮＨ4
Ｆを重量比１：１：２０で混合したものを用いた。ＨＦ
は５５ｗｔ％溶液，ＮＨ4Ｆは４０ｗｔ％溶液を用い
た。
バ５１とホルダ２５とを一体的に、ホルダ２５の底面２
５ａが液面と一致するように緩衝フッ酸溶液５５に浸漬
する。この場合、ホルダ２５の底面２５ａを液面より若
干高く保持し、表面張力によってエッチング液を底面２
５ａに接触させることが肝要である。本発明者らの実験
では、緩衝フッ酸溶液５５として、ＨＦ：Ｈ2Ｏ：ＮＨ4
Ｆを重量比１：１：２０で混合したものを用いた。ＨＦ
は５５ｗｔ％溶液，ＮＨ4Ｆは４０ｗｔ％溶液を用い
た。
【００２４】前記浸漬状態で約１２０〜１５０分間放置
すると、ホルダ２５の底面２５ａと同一面上に平坦面５
１ａを有するプローブが形成された（図４（Ｃ）参
照）。平坦面５１ａが形成された高さでエッチング液の
浸漬がなくなり、エッチングレートが急に遅くなるた
め、底面２５ａと同一面上に平坦面５１ａを有するプロ
ーブを再現性よく形成することができた。液面にＳｉオ
イル等の薄い膜を形成しておくことにより、さらに精度
よくこの位置でエッチングを止めることができる。
すると、ホルダ２５の底面２５ａと同一面上に平坦面５
１ａを有するプローブが形成された（図４（Ｃ）参
照）。平坦面５１ａが形成された高さでエッチング液の
浸漬がなくなり、エッチングレートが急に遅くなるた
め、底面２５ａと同一面上に平坦面５１ａを有するプロ
ーブを再現性よく形成することができた。液面にＳｉオ
イル等の薄い膜を形成しておくことにより、さらに精度
よくこの位置でエッチングを止めることができる。
【００２５】このようにして作製されたホルダ２５の底
面２５ａと平坦面５１ａの位置関係を測定したところ、
底面２５ａから１５ｎｍ奥まったところに平坦面５１ａ
が形成されており、両者の平行度の差は０．０２°であ
った。この平坦面５１ａに微小開口を形成することによ
り、近接場光が十分に発生することが確認された。
面２５ａと平坦面５１ａの位置関係を測定したところ、
底面２５ａから１５ｎｍ奥まったところに平坦面５１ａ
が形成されており、両者の平行度の差は０．０２°であ
った。この平坦面５１ａに微小開口を形成することによ
り、近接場光が十分に発生することが確認された。
【００２６】図４（Ｃ）に示した状態から、さらに１５
０〜２４０分間放置すると、毛細管現象で上昇したエッ
チング液によって光ファイバ先端の先鋭化が進行し、図
４（Ｄ）に示すように、コア部分が先鋭化した突起５２
を有するプローブが得られた。この突起５２と底面２５
ａとの高さの差は２５ｎｍであり、突起５２に微小開口
を形成することにより、近接場光が十分に発生すること
が確認された。
０〜２４０分間放置すると、毛細管現象で上昇したエッ
チング液によって光ファイバ先端の先鋭化が進行し、図
４（Ｄ）に示すように、コア部分が先鋭化した突起５２
を有するプローブが得られた。この突起５２と底面２５
ａとの高さの差は２５ｎｍであり、突起５２に微小開口
を形成することにより、近接場光が十分に発生すること
が確認された。
【００２７】図４（Ｄ）に示した状態から、さらに３６
０〜４８０分間放置すると、毛細管現象で上昇したエッ
チング液及び蒸気化したエッチング液によって光ファイ
バ先端の先鋭化がさらに進行し、図４（Ｅ）に示すよう
に、ペンシル型に先鋭化した突起５３を有するプローブ
が得られた。この突起５３と底面２５ａとの高さの差は
４０ｎｍであり、突起５３に微小開口を形成することに
より、近接場光が十分に発生することが確認された。な
お、突起５３に形成する微小開口は、コア部分を含めて
一旦突起５３全体に遮光膜をコートし、その後コア部先
端のみの遮光膜を除去することで得られる。
０〜４８０分間放置すると、毛細管現象で上昇したエッ
チング液及び蒸気化したエッチング液によって光ファイ
バ先端の先鋭化がさらに進行し、図４（Ｅ）に示すよう
に、ペンシル型に先鋭化した突起５３を有するプローブ
が得られた。この突起５３と底面２５ａとの高さの差は
４０ｎｍであり、突起５３に微小開口を形成することに
より、近接場光が十分に発生することが確認された。な
お、突起５３に形成する微小開口は、コア部分を含めて
一旦突起５３全体に遮光膜をコートし、その後コア部先
端のみの遮光膜を除去することで得られる。
【００２８】前述したエッチング法は、ホルダを切り出
してからではなく、ウエハ状態のままで光ファイバと同
時に加工するものであり、数万個の光ヘッドを精度よく
一度に生産することができる。なお、図４では、光ファ
イバをホルダに垂直方向に取り付けた例を示したが、図
１、図２に示した光ヘッドの如く、光ファイバをホルダ
に傾斜させて取り付けたものであってもよい。特に、図
３に示したマルチビーム方式の光ヘッドの製作に適して
いる。
してからではなく、ウエハ状態のままで光ファイバと同
時に加工するものであり、数万個の光ヘッドを精度よく
一度に生産することができる。なお、図４では、光ファ
イバをホルダに垂直方向に取り付けた例を示したが、図
１、図２に示した光ヘッドの如く、光ファイバをホルダ
に傾斜させて取り付けたものであってもよい。特に、図
３に示したマルチビーム方式の光ヘッドの製作に適して
いる。
【００２９】（他の実施形態）なお、本発明に係る光ヘ
ッド及びその製造方法は前記実施形態に限定するもので
はなく、その要旨の範囲内で種々に変更することができ
る。
ッド及びその製造方法は前記実施形態に限定するもので
はなく、その要旨の範囲内で種々に変更することができ
る。
【００３０】特に、ホルダ自体の形状や構造は任意であ
る。また、エッチング液はホルダや光ファイバの材質に
よって最適な成分を有するものを選択すればよい。
る。また、エッチング液はホルダや光ファイバの材質に
よって最適な成分を有するものを選択すればよい。
【図１】本発明の第１実施形態である光ヘッドの要部を
示す断面図。
示す断面図。
【図２】本発明の第２実施形態である光ヘッドの要部を
示す断面図。
示す断面図。
【図３】本発明の第３実施形態である光ヘッドの要部を
示す斜視図。
示す斜視図。
【図４】本発明に係る製造方法の一実施形態を示す説明
図。
図。
【図５】従来のファイバプローブの第１例を示す断面
図。
図。
【図６】従来のファイバプローブの第２例を示す断面
図。
図。
【図７】従来の光ヘッドの要部を示す断面図。
２１，３１，４１…ファイバプローブ ２１ａ…平坦面 ２２…微小開口 ２５…ホルダ ２５ａ…底面 ３２…先端部 ５１…光ファイバ ５１ａ…平坦面 ５２，５３…突起 ５５…エッチング液
Claims (6)
- 【請求項１】 ファイバプローブの先端部をホルダに固
定した光ヘッドにおいて、 前記ファイバプローブの先端部が前記ホルダに傾斜して
突入した状態で固定されており、かつ、該ファイバプロ
ーブの先端平坦面がホルダの底面に対して平行に設定さ
れていることを特徴とする光ヘッド。 - 【請求項２】 ファイバプローブの先端部をホルダに固
定した光ヘッドにおいて、 前記ファイバプローブの先端部が前記ホルダに傾斜して
突入した状態で固定されており、かつ、該ファイバプロ
ーブの先端先鋭部がホルダの底面と略同じ面内に設定さ
れていることを特徴とする光ヘッド。 - 【請求項３】 複数本のファイバプローブがホルダに取
り付けられていることを特徴とする請求項１又は請求項
２記載の光ヘッド。 - 【請求項４】 空気浮上方式によって前記ファイバプロ
ーブの先端と記録媒体表面とのギャップが保持されるこ
とを特徴とする請求項１、請求項２又は請求項３記載の
光ヘッド。 - 【請求項５】 ファイバプローブの先端部をホルダに固
定した光ヘッドの製造方法において、 光ファイバをホルダにその先端がホルダの底面から僅か
に突出した状態に固定する工程と、 前記ホルダの底面及び前記光ファイバの先端をエッチン
グ液に浸漬し、ホルダの底面と光ファイバの先端とを同
時にエッチングする工程と、 を備えたことを特徴とする光ヘッドの製造方法。 - 【請求項６】 さらに、前記光ファイバの先端部分のみ
を選択的にエッチングする工程を備えたことを特徴とす
る請求項５記載の光ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11103000A JP2000298872A (ja) | 1999-04-09 | 1999-04-09 | 光ヘッド及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11103000A JP2000298872A (ja) | 1999-04-09 | 1999-04-09 | 光ヘッド及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000298872A true JP2000298872A (ja) | 2000-10-24 |
Family
ID=14342419
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11103000A Pending JP2000298872A (ja) | 1999-04-09 | 1999-04-09 | 光ヘッド及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000298872A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008090954A (ja) * | 2006-10-03 | 2008-04-17 | Seiko Instruments Inc | 近接場光ヘッド、近接場光アシスト磁気記録ヘッド、及び近接場光ヘッドの製造方法 |
-
1999
- 1999-04-09 JP JP11103000A patent/JP2000298872A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008090954A (ja) * | 2006-10-03 | 2008-04-17 | Seiko Instruments Inc | 近接場光ヘッド、近接場光アシスト磁気記録ヘッド、及び近接場光ヘッドの製造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20050615 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050622 |
|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20050701 |