JP2000298098A - 化学発光式ガス分析計 - Google Patents
化学発光式ガス分析計Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 簡単な反応槽の構造で、試料ガスとＯ3の混
合状態及び反応率を低下させず、かつ発光領域を狭く維
持し、安定性の高い発光反応を行なう。 【解決手段】 細管３０の一端側に試料入口３２を介し
て試料ガスを、他端側にオゾン入口３４を介してＯ3を
含む空気をそれぞれ導く。試料ガスとＯ3を含む空気を
細管３０の中央部に導き、細孔３６から混合させながら
検出窓２８側に噴出する。試料ガス中のＮＯとＯ3の反
応により発生した化学発光を検出窓２８を介して光電変
換素子により検出する。
合状態及び反応率を低下させず、かつ発光領域を狭く維
持し、安定性の高い発光反応を行なう。 【解決手段】 細管３０の一端側に試料入口３２を介し
て試料ガスを、他端側にオゾン入口３４を介してＯ3を
含む空気をそれぞれ導く。試料ガスとＯ3を含む空気を
細管３０の中央部に導き、細孔３６から混合させながら
検出窓２８側に噴出する。試料ガス中のＮＯとＯ3の反
応により発生した化学発光を検出窓２８を介して光電変
換素子により検出する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、試料ガスと、試料
ガス中の被測定成分と反応して化学発光を生じさせる化
学種を含む反応ガスとを反応槽に導入し、発生した化学
発光を検出素子により検出してその強度により被測定成
分の濃度を定量する化学発光式ガス分析計に関するもの
である。化学発光式ガス分析計は化学反応に起因する発
光量を測定するものであり、蛍光発光や紫外線発光など
の直接発光を検出するもののほかに、発熱反応による赤
外線輻射を検出するものなどがある。
ガス中の被測定成分と反応して化学発光を生じさせる化
学種を含む反応ガスとを反応槽に導入し、発生した化学
発光を検出素子により検出してその強度により被測定成
分の濃度を定量する化学発光式ガス分析計に関するもの
である。化学発光式ガス分析計は化学反応に起因する発
光量を測定するものであり、蛍光発光や紫外線発光など
の直接発光を検出するもののほかに、発熱反応による赤
外線輻射を検出するものなどがある。
【０００２】
【従来の技術】化学発光式ガス分析計の代表的な例とし
て化学発光式窒素酸化物計について説明する。化学発光
式窒素酸化物計は、反応ガスとしてオゾン（Ｏ3）を用
い、反応槽内で一酸化窒素（ＮＯ）とＯ3とを撹拌混合
して酸化反応を生じさせ、ＮＯが二酸化窒素（ＮＯ2）
に酸化する過程で生じる光の強度を測定するものであ
る。化学発光式窒素酸化物計は、例えば大気中の窒素酸
化物濃度を常時監視測定したり、煙道排ガス中の窒素酸
化物を測定したりするのに用いられる。
て化学発光式窒素酸化物計について説明する。化学発光
式窒素酸化物計は、反応ガスとしてオゾン（Ｏ3）を用
い、反応槽内で一酸化窒素（ＮＯ）とＯ3とを撹拌混合
して酸化反応を生じさせ、ＮＯが二酸化窒素（ＮＯ2）
に酸化する過程で生じる光の強度を測定するものであ
る。化学発光式窒素酸化物計は、例えば大気中の窒素酸
化物濃度を常時監視測定したり、煙道排ガス中の窒素酸
化物を測定したりするのに用いられる。
【０００３】従来の化学発光式窒素酸化物計では、反応
槽は、試料ガスを導入するノズルと、測定成分であるＮ
Ｏと反応して化学発光を生じさせる化学種としてＯ3を
含む反応ガスを導入するためのノズルをそれぞれ備え、
反応槽中でＮＯとＯ3が反応してＮＯ2になるときに発生
する光の強度を検出する光検出器を備えている。その検
出される光の強度が反応槽に導入された試料ガス中のＮ
Ｏの量に比例するので、その発光量を測定することによ
ってＮＯ濃度を知ることができる。ＮＯの検出感度を向
上させる手段として発光強度を強くする方法があり、そ
のためには、反応槽内の圧力を減圧にしたり、発光によ
る光を集光するなどの方法が用いられている。
槽は、試料ガスを導入するノズルと、測定成分であるＮ
Ｏと反応して化学発光を生じさせる化学種としてＯ3を
含む反応ガスを導入するためのノズルをそれぞれ備え、
反応槽中でＮＯとＯ3が反応してＮＯ2になるときに発生
する光の強度を検出する光検出器を備えている。その検
出される光の強度が反応槽に導入された試料ガス中のＮ
Ｏの量に比例するので、その発光量を測定することによ
ってＮＯ濃度を知ることができる。ＮＯの検出感度を向
上させる手段として発光強度を強くする方法があり、そ
のためには、反応槽内の圧力を減圧にしたり、発光によ
る光を集光するなどの方法が用いられている。
【０００４】図１（Ａ）は、従来例の反応槽内を表す概
略構成図である。反応槽２には検出器窓４が設けられ、
反応槽２にはＯ3を供給するノズル６が接続されてい
る。８は反応槽２の排気口である。ノズル６の内部に、
試料ガスを供給するノズル１０が配置されている。ノズ
ル１０の反応槽２側の先端は封止され、その先端側に複
数の穴が形成されており、その穴からノズル６内に試料
ガスを噴出させる。ノズル１０から噴出される試料ガス
は、ノズル６により送られたＯ3とともに反応槽２内に
送られ、その際発生した化学発光が検出窓４を介して検
出される。検出後、試料ガス及び未反応のＯ3は排気口
８から排出される（従来技術１）。
略構成図である。反応槽２には検出器窓４が設けられ、
反応槽２にはＯ3を供給するノズル６が接続されてい
る。８は反応槽２の排気口である。ノズル６の内部に、
試料ガスを供給するノズル１０が配置されている。ノズ
ル１０の反応槽２側の先端は封止され、その先端側に複
数の穴が形成されており、その穴からノズル６内に試料
ガスを噴出させる。ノズル１０から噴出される試料ガス
は、ノズル６により送られたＯ3とともに反応槽２内に
送られ、その際発生した化学発光が検出窓４を介して検
出される。検出後、試料ガス及び未反応のＯ3は排気口
８から排出される（従来技術１）。
【０００５】図１（Ｂ）は、他の従来例を表す概略構成
図である。円筒状の反応槽１２の底面に検出器窓１４が
設けられている。反応槽１２の側面には、試料ガスを供
給するノズル１６と、Ｏ3を供給するノズル１８がそれ
ぞれ対向する位置に接続されている。ノズル１６，１８
は、試料ガスとＯ3が反応槽１２内で回転しながら混合
される方向にそれぞれ配置されている。ＮＯとＯ3の反
応により反応槽１２内で発生した化学発光は検出窓４を
介して検出される。試料ガス及び未反応のＯ3は反応槽
１２の上面側から排出される（従来技術２）。
図である。円筒状の反応槽１２の底面に検出器窓１４が
設けられている。反応槽１２の側面には、試料ガスを供
給するノズル１６と、Ｏ3を供給するノズル１８がそれ
ぞれ対向する位置に接続されている。ノズル１６，１８
は、試料ガスとＯ3が反応槽１２内で回転しながら混合
される方向にそれぞれ配置されている。ＮＯとＯ3の反
応により反応槽１２内で発生した化学発光は検出窓４を
介して検出される。試料ガス及び未反応のＯ3は反応槽
１２の上面側から排出される（従来技術２）。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図１（Ａ），
（Ｂ）に示される従来の反応槽では、反応槽内の圧力を
減圧にすると、試料ガスとＯ3との混合状態が悪化する
とともに発光する領域が広くなり、効率良く光を集光す
るために反応槽の構造が複雑になってしまう。さらに、
反応率の低下が生じやすくなるため、反応時間を長くす
る必要があり、その結果、応答速度が低下したり、温度
変化などの外乱要因の影響を受けやすくなるという問題
があった。
（Ｂ）に示される従来の反応槽では、反応槽内の圧力を
減圧にすると、試料ガスとＯ3との混合状態が悪化する
とともに発光する領域が広くなり、効率良く光を集光す
るために反応槽の構造が複雑になってしまう。さらに、
反応率の低下が生じやすくなるため、反応時間を長くす
る必要があり、その結果、応答速度が低下したり、温度
変化などの外乱要因の影響を受けやすくなるという問題
があった。
【０００７】そこで本発明は、簡単な反応槽の構造で、
試料ガスとＯ3の混合状態及び反応率を低下させず、か
つ発光領域を狭く維持することで、より安定性の高い発
光反応を行なうことができる化学発光式ガス分析計を提
供することを目的とするものである。
試料ガスとＯ3の混合状態及び反応率を低下させず、か
つ発光領域を狭く維持することで、より安定性の高い発
光反応を行なうことができる化学発光式ガス分析計を提
供することを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の化学発光式ガス
分析計は、試料ガスと、試料ガス中の被測定成分と反応
して化学発光を生じさせる化学種を含む反応ガスとを反
応槽に導入し、発生した化学発光を検出素子により検出
してその強度により被測定成分の濃度を定量する化学発
光式濃度計であって、試料ガスと反応ガスとをその両端
から反応槽内に導く１本の細管を備え、その細管には、
反応槽内に配置される位置に穴が形成されており、その
穴から、試料ガスと反応ガスを混合反応させながら検出
素子側に向けて噴出させるものである。
分析計は、試料ガスと、試料ガス中の被測定成分と反応
して化学発光を生じさせる化学種を含む反応ガスとを反
応槽に導入し、発生した化学発光を検出素子により検出
してその強度により被測定成分の濃度を定量する化学発
光式濃度計であって、試料ガスと反応ガスとをその両端
から反応槽内に導く１本の細管を備え、その細管には、
反応槽内に配置される位置に穴が形成されており、その
穴から、試料ガスと反応ガスを混合反応させながら検出
素子側に向けて噴出させるものである。
【０００９】１本の細管の両側から試料ガスと反応ガス
を供給する。そして、試料ガスと反応ガスを、その１本
の細管の反応槽内に配置される位置に形成された穴から
試料ガスと反応ガスを混合反応させながら検出素子側に
向けて噴出させる。その結果、より狭い空間領域で、試
料ガスと反応ガスを混合させることができる。
を供給する。そして、試料ガスと反応ガスを、その１本
の細管の反応槽内に配置される位置に形成された穴から
試料ガスと反応ガスを混合反応させながら検出素子側に
向けて噴出させる。その結果、より狭い空間領域で、試
料ガスと反応ガスを混合させることができる。
【００１０】
【実施例】図２は、本発明を適用した化学発光式窒素酸
化物計の一実施例を表す概略流路図である。図３から図
５はこの実施例の検出器部を表わす構成図であり、図３
は上面図、図４は一部切欠側面断面図、図５は分解斜視
図である。試料ガスを供給する試料ガス入口４２からの
流路は、試料ガス中のほこりなどを除去するフィルタ４
４を介して、水分を除去する除湿器４６に接続されてい
る。除湿器４６からの流路は２つの流路に分岐され、一
方の流路は試料ガス中のＮＯ2をＮＯに変換するＮＯ2／
ＮＯコンバータ４８を介して、他方の流路はコンバータ
４８を介さずに、三方電磁弁５０に接続されている。電
磁弁５０の共通出口は、抵抗管３８を介して、検出器部
２０の反応槽ブロック２２に接続されている。電磁弁５
０の切換えにより、試料ガスは、コンバータ４８を介し
て、又は介さずに、反応槽ブロック２２に送られる。
化物計の一実施例を表す概略流路図である。図３から図
５はこの実施例の検出器部を表わす構成図であり、図３
は上面図、図４は一部切欠側面断面図、図５は分解斜視
図である。試料ガスを供給する試料ガス入口４２からの
流路は、試料ガス中のほこりなどを除去するフィルタ４
４を介して、水分を除去する除湿器４６に接続されてい
る。除湿器４６からの流路は２つの流路に分岐され、一
方の流路は試料ガス中のＮＯ2をＮＯに変換するＮＯ2／
ＮＯコンバータ４８を介して、他方の流路はコンバータ
４８を介さずに、三方電磁弁５０に接続されている。電
磁弁５０の共通出口は、抵抗管３８を介して、検出器部
２０の反応槽ブロック２２に接続されている。電磁弁５
０の切換えにより、試料ガスは、コンバータ４８を介し
て、又は介さずに、反応槽ブロック２２に送られる。
【００１１】オゾン源として空気を供給する空気入口５
２からの流路は、空気中のほこりなどを除去するフィル
タ５４、水分を除去する除湿器５６、例えば高濃度の硫
黄酸化物や有機溶剤などのオゾン生成を妨害する物質を
取り除く活性炭カラム５８を介して、空気中の酸素から
Ｏ3を生成するオゾン発生器６０に接続されている。オ
ゾン発生器６０からの流路は、抵抗管３９を介して、検
出器部２０の反応槽ブロック２２に接続されている。
２からの流路は、空気中のほこりなどを除去するフィル
タ５４、水分を除去する除湿器５６、例えば高濃度の硫
黄酸化物や有機溶剤などのオゾン生成を妨害する物質を
取り除く活性炭カラム５８を介して、空気中の酸素から
Ｏ3を生成するオゾン発生器６０に接続されている。オ
ゾン発生器６０からの流路は、抵抗管３９を介して、検
出器部２０の反応槽ブロック２２に接続されている。
【００１２】ここで、図３から図５を参照して、検出器
部２０について説明する。検出器部２０は、反応槽ブロ
ック２２と検出器ブロック２４から構成されている。ブ
ロック２２には凹部からなる反応槽２６が形成されてお
り、ブロック２２とブロック２４とを重ね合わせること
により反応槽２６は密閉される。ブロック２４の反応槽
２６に対応する位置に検出窓２８が形成されている。検
出窓２８のブロック２２とは反対側には光電変換素子
（図示は省略）が配置されている。
部２０について説明する。検出器部２０は、反応槽ブロ
ック２２と検出器ブロック２４から構成されている。ブ
ロック２２には凹部からなる反応槽２６が形成されてお
り、ブロック２２とブロック２４とを重ね合わせること
により反応槽２６は密閉される。ブロック２４の反応槽
２６に対応する位置に検出窓２８が形成されている。検
出窓２８のブロック２２とは反対側には光電変換素子
（図示は省略）が配置されている。
【００１３】反応槽２６の内部には細管３０が配置され
ており、細管３０の一端側は試料ガスを供給する試料入
口３２に接続され、他端側はＯ3ガスを供給するオゾン
入口３４に接続されている。反応槽２６内に位置する細
管３０の中央部のブロック２４側の側面に細孔３６が形
成されている。試料入口３２及びオゾン入口３４の内部
には流量を調節する抵抗管３８（図４ではオゾン入口３
４の抵抗管３９の図示は省略）が配置されている。反応
槽２６には、反応槽２６内のガスを排出するために混合
ガス出口４０が接続されている。
ており、細管３０の一端側は試料ガスを供給する試料入
口３２に接続され、他端側はＯ3ガスを供給するオゾン
入口３４に接続されている。反応槽２６内に位置する細
管３０の中央部のブロック２４側の側面に細孔３６が形
成されている。試料入口３２及びオゾン入口３４の内部
には流量を調節する抵抗管３８（図４ではオゾン入口３
４の抵抗管３９の図示は省略）が配置されている。反応
槽２６には、反応槽２６内のガスを排出するために混合
ガス出口４０が接続されている。
【００１４】反応槽ブロック２２からの流路は、Ｏ3を
分解するオゾン分解器６２を介して、吸引ポンプ６４に
接続されている。ポンプ６４の排気側は、窒素酸化物を
吸収するＮＯｘ吸着器６６を介して、排気口６８に導か
れる。また、フィルタ４４、除湿器４６間の流路と、反
応槽ブロック２２、オゾン分解器６２間の流路とを接続
する流路が設けられており、その流路に調圧器７２が設
けられている。調圧器７２はポンプ６４による反応槽２
６内の減圧の大きさを調製する。
分解するオゾン分解器６２を介して、吸引ポンプ６４に
接続されている。ポンプ６４の排気側は、窒素酸化物を
吸収するＮＯｘ吸着器６６を介して、排気口６８に導か
れる。また、フィルタ４４、除湿器４６間の流路と、反
応槽ブロック２２、オゾン分解器６２間の流路とを接続
する流路が設けられており、その流路に調圧器７２が設
けられている。調圧器７２はポンプ６４による反応槽２
６内の減圧の大きさを調製する。
【００１５】次に、この実施例の動作を図２から図５を
参照して説明する。ポンプ６４を作動させると、試料ガ
ス入口４２から試料ガスが吸引され、空気入口５２から
空気が吸引される。試料ガス入口４２から吸引された試
料ガスは、フィルタ４４により除塵され、除湿器４６に
より除湿された後、反応槽２６側に吸引される。その試
料ガスは、電磁弁５０の切換えにより、コンバータ４８
を介して、又は介さずに、さらに試料入口３２及び抵抗
管３８を介して、細管３０の一端側に導かれる。コンバ
ータ４８を介した場合、試料ガス中のＮＯ2がＮＯに変
換される。他方、空気入口５２から吸引された空気は、
フィルタ５４により除塵され、除湿器５６により除湿さ
れ、さらに活性炭カラム５８によりオゾン生成妨害物質
が除去された後、オゾン発生器６０に導かれる。オゾン
発生器６０では、空気中の酸素からＯ3が生成される。
オゾン発生器６０からのＯ3を含む空気は、オゾン入口
３４及び抵抗管３９を介して、細管３０の他端側に導か
れる。
参照して説明する。ポンプ６４を作動させると、試料ガ
ス入口４２から試料ガスが吸引され、空気入口５２から
空気が吸引される。試料ガス入口４２から吸引された試
料ガスは、フィルタ４４により除塵され、除湿器４６に
より除湿された後、反応槽２６側に吸引される。その試
料ガスは、電磁弁５０の切換えにより、コンバータ４８
を介して、又は介さずに、さらに試料入口３２及び抵抗
管３８を介して、細管３０の一端側に導かれる。コンバ
ータ４８を介した場合、試料ガス中のＮＯ2がＮＯに変
換される。他方、空気入口５２から吸引された空気は、
フィルタ５４により除塵され、除湿器５６により除湿さ
れ、さらに活性炭カラム５８によりオゾン生成妨害物質
が除去された後、オゾン発生器６０に導かれる。オゾン
発生器６０では、空気中の酸素からＯ3が生成される。
オゾン発生器６０からのＯ3を含む空気は、オゾン入口
３４及び抵抗管３９を介して、細管３０の他端側に導か
れる。
【００１６】細管３０の両端にそれぞれ導かれた試料ガ
スとＯ3を含む空気は、それぞれ細管３０の中央部に導
かれ、混合されながら細孔３６から検出窓２８側に向か
って反応槽２６内に噴出される。試料ガスとＯ3を含む
空気が混合されると、試料ガス中のＮＯがＯ3により酸
化されて化学発光が生じる。その化学発光が検出窓２６
を介して光電変換素子により検出され、その検出強度に
基づいてＮＯ濃度が算出される。この実施例では、細管
３０の一端側から試料ガスを導き、他端側からＯ3を含
む空気を導いて、細管３０の中央部に設けられた細孔３
６から、検出窓２８側に向けて試料ガスとＯ3を含む空
気を噴出するようにしているので、より狭い空間領域
で、試料ガスとＯ3を含む空気を混合させることができ
る。その後、反応槽２６内の試料ガスとＯ3を含む空気
の混合ガスは、出口４０を介してオゾン分解器６２に導
かれてＯ3が分解された後、ポンプ６４に吸引される。
ポンプ６４から排出される混合ガスは、ＮＯｘ吸着器６
６により窒素酸化物が除去された後、排気口６８から排
出される。
スとＯ3を含む空気は、それぞれ細管３０の中央部に導
かれ、混合されながら細孔３６から検出窓２８側に向か
って反応槽２６内に噴出される。試料ガスとＯ3を含む
空気が混合されると、試料ガス中のＮＯがＯ3により酸
化されて化学発光が生じる。その化学発光が検出窓２６
を介して光電変換素子により検出され、その検出強度に
基づいてＮＯ濃度が算出される。この実施例では、細管
３０の一端側から試料ガスを導き、他端側からＯ3を含
む空気を導いて、細管３０の中央部に設けられた細孔３
６から、検出窓２８側に向けて試料ガスとＯ3を含む空
気を噴出するようにしているので、より狭い空間領域
で、試料ガスとＯ3を含む空気を混合させることができ
る。その後、反応槽２６内の試料ガスとＯ3を含む空気
の混合ガスは、出口４０を介してオゾン分解器６２に導
かれてＯ3が分解された後、ポンプ６４に吸引される。
ポンプ６４から排出される混合ガスは、ＮＯｘ吸着器６
６により窒素酸化物が除去された後、排気口６８から排
出される。
【００１７】反応槽２６内部を洗浄する場合は、ブロッ
ク２２と２４を取り外して行なう。反応槽２６内に配置
されている部品は細管３０のみであり、細管３０を取り
外すことにより容易に洗浄を行なうことができる。ま
た、反応槽２６内にガスを噴出する細管は１本の細管３
０のみであり、さらに細管３０の配置の際に細かな位置
調整を要求しないので、保守性が良い。さらに、細孔３
６から、試料ガスとＯ3を含む空気を混合しながら検出
窓２８側に噴出するようにしているので、反応槽２６の
容積を少なくすることができ、小型化が可能である。さ
らに、局所的に反応を完了させることができるので、外
乱要因などの影響を受けにくく、安定性を向上させるこ
とができる。
ク２２と２４を取り外して行なう。反応槽２６内に配置
されている部品は細管３０のみであり、細管３０を取り
外すことにより容易に洗浄を行なうことができる。ま
た、反応槽２６内にガスを噴出する細管は１本の細管３
０のみであり、さらに細管３０の配置の際に細かな位置
調整を要求しないので、保守性が良い。さらに、細孔３
６から、試料ガスとＯ3を含む空気を混合しながら検出
窓２８側に噴出するようにしているので、反応槽２６の
容積を少なくすることができ、小型化が可能である。さ
らに、局所的に反応を完了させることができるので、外
乱要因などの影響を受けにくく、安定性を向上させるこ
とができる。
【００１８】この実施例では、本発明を減圧式の化学発
光式窒素酸化物計に適用しているが本発明はこれに限定
されるものではなく、常圧式のものにも適用できる。ま
た、本発明は化学発光式窒素酸化物計に限定されるもの
ではなく、試料ガスと、試料ガス中の被測定成分と反応
して化学発光を生じさせる化学種を含む反応ガスとを反
応槽に導入し、発生した化学発光を検出素子により検出
してその強度により被測定成分の濃度を定量する化学発
光式ガス分析計であれば適用することができる。
光式窒素酸化物計に適用しているが本発明はこれに限定
されるものではなく、常圧式のものにも適用できる。ま
た、本発明は化学発光式窒素酸化物計に限定されるもの
ではなく、試料ガスと、試料ガス中の被測定成分と反応
して化学発光を生じさせる化学種を含む反応ガスとを反
応槽に導入し、発生した化学発光を検出素子により検出
してその強度により被測定成分の濃度を定量する化学発
光式ガス分析計であれば適用することができる。
【００１９】
【発明の効果】本発明の化学発光式ガス分析計では、試
料ガスと反応ガスとをその両端から反応槽内に導く１本
の細管を備え、その細管には、反応槽内に配置される位
置に穴が形成されており、その穴から、試料ガスと反応
ガスを混合反応させながら検出素子側に向けて噴出させ
るようにしたので、簡単な反応槽の構造で、試料ガスと
反応ガスの混合状態及び反応率を低下させず、かつ発光
領域を狭く維持することができ、より安定性の高い発光
反応を行なうことができる。
料ガスと反応ガスとをその両端から反応槽内に導く１本
の細管を備え、その細管には、反応槽内に配置される位
置に穴が形成されており、その穴から、試料ガスと反応
ガスを混合反応させながら検出素子側に向けて噴出させ
るようにしたので、簡単な反応槽の構造で、試料ガスと
反応ガスの混合状態及び反応率を低下させず、かつ発光
領域を狭く維持することができ、より安定性の高い発光
反応を行なうことができる。
【図１】 （Ａ）は、従来例の反応槽内を表す概略構成
図であり、（Ｂ）は他の従来例を表す概略構成図であ
る。
図であり、（Ｂ）は他の従来例を表す概略構成図であ
る。
【図２】 本発明を適用した化学発光式窒素酸化物計の
一実施例を表す概略流路図である。
一実施例を表す概略流路図である。
【図３】 同実施例の検出器部を表わす上面図である。
【図４】 同検出器部を表わす一部切欠側面断面図であ
る。
る。
【図５】 同検出器部を表わす分解斜視図である。
２０ 検出器部 ２２ 反応槽ブロック ２４ 検出器ブロック ２６ 反応槽 ２８ 検出窓 ３０ 細管 ３２ 試料入口 ３４ オゾン入口 ３６ 細孔 ３８，３９ 抵抗管 ４０ 混合ガス出口 ４２ 試料ガス入口 ４４，５４ フィルタ ４６，５６ 除湿器 ４８ ＮＯ2／ＮＯコンバータ ５０ 三方電磁弁 ５２ 空気入口 ５８ 活性炭カラム ６０ オゾン発生器 ６２ オゾン分解器 ６４ 吸引ポンプ ６６ ＮＯｘ吸着器 ６８ 排気口
Claims (1)
- 【請求項１】 試料ガスと、試料ガス中の被測定成分と
反応して化学発光を生じさせる化学種を含む反応ガスと
を反応槽に導入し、発生した化学発光を検出素子により
検出してその強度により被測定成分の濃度を定量する化
学発光式ガス分析計において、 試料ガスと反応ガスとをその両端から前記反応槽内に導
く１本の細管を備え、 前記細管には、前記反応槽内に配置される位置に穴が形
成されており、その穴から、試料ガスと反応ガスを混合
反応させながら前記検出素子側に向けて噴出させること
を特徴とする化学発光式ガス分析計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11108805A JP2000298098A (ja) | 1999-04-16 | 1999-04-16 | 化学発光式ガス分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11108805A JP2000298098A (ja) | 1999-04-16 | 1999-04-16 | 化学発光式ガス分析計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000298098A true JP2000298098A (ja) | 2000-10-24 |
Family
ID=14493940
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11108805A Pending JP2000298098A (ja) | 1999-04-16 | 1999-04-16 | 化学発光式ガス分析計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000298098A (ja) |
-
1999
- 1999-04-16 JP JP11108805A patent/JP2000298098A/ja active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040803 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040930 |
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| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050308 |