JP2000289165A - Heat-resistant bonding sheet - Google Patents

Heat-resistant bonding sheet

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JP2000289165A
JP2000289165A JP11100962A JP10096299A JP2000289165A JP 2000289165 A JP2000289165 A JP 2000289165A JP 11100962 A JP11100962 A JP 11100962A JP 10096299 A JP10096299 A JP 10096299A JP 2000289165 A JP2000289165 A JP 2000289165A
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JP
Japan
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heat
embedded image
bonding sheet
resistant
base film
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Application number
JP11100962A
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Japanese (ja)
Inventor
Kosuke Kataoka
片岡孝介
Hiroyuki Furuya
古谷浩行
Naoki Hase
長谷直樹
Hiroyuki Tsuji
辻宏之
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kanegafuchi Chemical Industry Co Ltd
Original Assignee
Kanegafuchi Chemical Industry Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a heat-resistant bonding sheet which shows sufficient mechanical strength and at the same time, outstanding solder heat resistance, adhesion, dimensional stability and low dielectric characteristics. SOLUTION: The base film of the heat-resistant bonding sheet having a thermoplastic polyimide layer formed on at least one of the faces of a heat- resistant base film is treated by plasma discharge in a mixed gas composed mainly of an inert gas. Consequently, the heat-resistant bonding sheet having superb adhesion and solder heat resistance is realized, and can be used especially for a flexible copper-plated laminated sheet.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ベースフィルムの
少なくとも片面に熱可塑性ポリイミド層を有するボンデ
ィングシートおよびその製造方法に関し、さらに詳しく
は、耐熱性、接着性、寸法特性に優れる耐熱性ボンディ
ングシートに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a bonding sheet having a thermoplastic polyimide layer on at least one surface of a base film and a method for producing the same, and more particularly, to a heat-resistant bonding sheet having excellent heat resistance, adhesiveness and dimensional characteristics. .

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、電子機器の高性能化、高機能化、
小型化が急速に進んでおり、電子機器に用いられる電子
部品の小型化、軽量化の要請が高まっている。これに伴
い、電子部品の素材についても、耐熱性、機械的強度、
電気特性等の諸物性がさらに求められ、半導体素子パッ
ケージ方法やそれらを実装する配線板にも、より高密
度、高機能、かつ高性能なものが求められるようになっ
てきた。フレキシブルプリント配線板(以下FPCと呼
ぶ)に関しては、細線加工、多層形成等が行われるよう
になり、FPCに直接部品を搭載する部品実装用FP
C、両面に回路を形成した両面FPC、複数のFPCを
積層して層間を配線でつないだ多層FPCなどが出現し
てきた。
2. Description of the Related Art In recent years, higher performance and higher functionality of electronic devices have been developed.
The miniaturization is rapidly progressing, and there is an increasing demand for miniaturization and weight reduction of electronic components used in electronic devices. Along with this, the heat resistance, mechanical strength,
Various physical properties such as electrical characteristics are further required, and a higher density, higher function, and higher performance are also required for a semiconductor element packaging method and a wiring board for mounting the same. With regard to flexible printed wiring boards (hereinafter referred to as FPC), fine wire processing, multilayer formation, etc. are performed, and component mounting FPs in which components are mounted directly on the FPC.
C, a double-sided FPC in which a circuit is formed on both sides, a multilayer FPC in which a plurality of FPCs are stacked, and the layers are connected by wiring have appeared.

【0003】一般にFPCは柔軟で薄いベースフィルム
上に回路パターンを形成し、その表面カバー層を施した
構成をしており、上述のようなFPCを得るためにはそ
の材料として用いられる絶縁接着剤や絶縁有機フィルム
の高性能化が必要となっている。具体的には、高い耐熱
性、機械強度を有し、加工性、接着性、低吸湿性、電気
特性、寸法安定性に優れることである。
Generally, an FPC has a structure in which a circuit pattern is formed on a flexible and thin base film, and a surface cover layer is provided. In order to obtain the above-mentioned FPC, an insulating adhesive used as a material thereof is used. And the performance of insulating organic films must be improved. Specifically, it has high heat resistance and mechanical strength, and is excellent in workability, adhesiveness, low hygroscopicity, electrical characteristics, and dimensional stability.

【0004】現在のところFPCの絶縁有機フィルムに
は、諸特性に優れるポリイミド樹脂かなるフィルムが広
く用いられている。絶縁接着剤には、低温加工性や作業
性に優れるエポキシ樹脂やアクリル樹脂が用いられてい
る。しかし、これらの接着剤は、特に耐熱性において充
分でないことが分かっている。詳しくは150℃以上の
温度に長時間さらされると、これら接着剤の劣化が起こ
り、種々特性に影響を与える。更にこれらの接着剤を用
いる場合、ベースフィルム上に接着剤を塗布、乾燥した
後、導体層(一般に銅箔が用いられている)と張り合わ
されるが、充分な接着を実現するために長時間の熱処理
を行わなければならない等の問題を抱えている。
At present, a film made of a polyimide resin having excellent characteristics is widely used as an insulating organic film for FPC. An epoxy resin or an acrylic resin that is excellent in low-temperature workability and workability is used as the insulating adhesive. However, it has been found that these adhesives are not particularly satisfactory in heat resistance. More specifically, when exposed to a temperature of 150 ° C. or more for a long time, these adhesives are deteriorated, which affects various characteristics. Furthermore, when using these adhesives, the adhesive is applied on a base film, dried, and then adhered to a conductor layer (generally, copper foil is used). Have to be heat-treated.

【0005】特にFPCの用途拡大に伴い、耐熱性に関
する課題を解決することが急務となっている。この問題
解決のために、接着剤層を有しない2層FPCや溶融流
動性に優れるポリイミド樹脂を用いたFPC等が提案さ
れている。上記の接着剤層を有しない2層FPCに関し
ては、絶縁フィルム上に直接導体層を形成する方法と導
体層に直接絶縁層を形成する方法が一般的である。絶縁
層に直接導体層を形成する方法では、蒸着法やスパッタ
リング法で導体の薄層を形成した後、メッキ法で導体の
厚層を形成する方法が用いられているが、薄層形成時に
ピンホールが発生しやすくまた絶縁層と導体層の充分な
接着力を得ることが難しい等の問題を抱えている。
[0005] In particular, with the expanding use of FPCs, there is an urgent need to solve the problem of heat resistance. In order to solve this problem, a two-layer FPC having no adhesive layer and an FPC using a polyimide resin having excellent melt fluidity have been proposed. Regarding the two-layer FPC having no adhesive layer, a method in which a conductor layer is formed directly on an insulating film and a method in which an insulating layer is formed directly on a conductor layer are common. In the method of forming a conductor layer directly on an insulating layer, a method is used in which a thin layer of a conductor is formed by vapor deposition or sputtering, and then a thick layer of the conductor is formed by plating. There are problems that holes are easily generated and it is difficult to obtain a sufficient adhesive force between the insulating layer and the conductor layer.

【0006】一方、導体層に直接絶縁層を形成する方法
では、ポリイミド共重合体もしくはポリアミド酸共重合
体の溶液を導体層に流延塗布、乾燥し絶縁層を形成する
方法を用いているが、種々溶剤による導体層の腐食が起
こりやすい。また両面版を作製する際には2枚の片面板
を作製した後で、これら片面板を張りあわすという煩雑
な工程が必要となる等の問題を抱えている。
On the other hand, in a method of forming an insulating layer directly on a conductor layer, a method of casting and drying a solution of a polyimide copolymer or a polyamic acid copolymer on the conductor layer and drying the same is used. In addition, the conductor layer is likely to be corroded by various solvents. Further, when a double-sided plate is manufactured, there is a problem that a complicated process is required such that two single-sided plates are manufactured and then these single-sided plates are adhered to each other.

【0007】また、溶融流動性に優れるポリイミド樹脂
を用いたFPCに関しては、特開平2-138789号、特開平
5-179224号や特開平5-112768号で提案されている耐熱性
樹脂からなるベースフィルムの少なくとも片面に熱可塑
性ポリイミド層を有するボンディングシートを用いる
が、優れた接着性、半田耐熱性、寸法安定性等を実現す
ることが困難であった。
Further, FPC using a polyimide resin having excellent melt fluidity is disclosed in JP-A-2-138789,
A bonding sheet having a thermoplastic polyimide layer on at least one side of a base film made of a heat-resistant resin proposed in 5-179224 or JP-A-5-112768 is used, but excellent adhesiveness, solder heat resistance, and dimensional stability are used. It was difficult to realize the properties and the like.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】上記のごとく耐熱性に
優れるFPCにはどのような形態を取るにしろ問題点が
あるが、生産性や特性面を考慮した場合、耐熱性樹脂か
らなるベースフィルムに熱可塑性ポリイミドを積層した
ボンディングシートが最有利であると考えられる。そこ
で、このケースに関する上記の如き問題、すなわち接着
性、半田耐熱性、寸法特性、さらには低吸水率、低誘電
特性に優れるFPCに用いられる耐熱性ボンディングシ
ートを提供することを目的に鋭意研究を重ねた結果、本
発明に至ったのである。
As described above, the FPC having excellent heat resistance has problems in any form, but in consideration of productivity and characteristics, a base film made of a heat-resistant resin is required. It is considered that a bonding sheet obtained by laminating a thermoplastic polyimide on the substrate is most advantageous. Therefore, the above-mentioned problems relating to this case, that is, adhesiveness, solder heat resistance, dimensional characteristics, further low water absorption, low heat absorption, to provide a heat-resistant bonding sheet used for FPC excellent in low dielectric properties. As a result, the present invention has been achieved.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明に係る耐熱性ボン
ディングシートおよびその製造方法の要旨とするところ
は、耐熱性樹脂からなるベースフィルムの少なくとも片
面に熱可塑性ポリイミド層を有するボンディングシート
において、ベースフィルムが不活性ガスを主とする混合
気体中でのプラズマ放電処理を施されていることを特徴
とすることにある。
SUMMARY OF THE INVENTION A heat-resistant bonding sheet and a method of manufacturing the same according to the present invention are characterized in that a base film made of a heat-resistant resin has a thermoplastic polyimide layer on at least one surface. The film is characterized by being subjected to a plasma discharge treatment in a mixed gas mainly composed of an inert gas.

【0010】そして、かかるボンディングシートにおい
て、前記熱可塑性ポリイミド樹脂層が一般式(化11)
[0010] In the bonding sheet, the thermoplastic polyimide resin layer has a general formula (Formula 11)

【0011】[0011]

【化11】 (式中、kは1以上の整数、m,nはm+nが1以上と
なるそれぞれ0以上の整数である。A,Bは4価の有機
基、X,Yは2価の有機基を示す。)で表される。
Embedded image (In the formula, k is an integer of 1 or more, m and n are each an integer of 0 or more, where m + n is 1 or more. A and B are tetravalent organic groups, and X and Y are divalent organic groups. )).

【0012】さらに、前記一般式(化11)中のA,Bが
下式(化12)〜(化20)
Further, A and B in the above general formula (Formula 11) are represented by the following formulas (Formula 12) to (Formula 20)

【0013】[0013]

【化12】 Embedded image

【0014】[0014]

【化13】 Embedded image

【0015】[0015]

【化14】 Embedded image

【0016】[0016]

【化15】 Embedded image

【0017】[0017]

【化16】 Embedded image

【0018】[0018]

【化17】 Embedded image

【0019】[0019]

【化18】 Embedded image

【0020】[0020]

【化19】 Embedded image

【0021】[0021]

【化20】 に示す4価の有機基の群から選択される少なくとも2種
であることにある。さらに、前記一般式(化1)中のX,
Yが、下式(化21)〜(化39)
Embedded image And at least two kinds selected from the group of tetravalent organic groups shown in (1). Further, in the general formula (Chemical Formula 1), X,
Y is represented by the following formulas

【0022】[0022]

【化21】 Embedded image

【0023】[0023]

【化22】 Embedded image

【0024】[0024]

【化23】 Embedded image

【0025】[0025]

【化24】 Embedded image

【0026】[0026]

【化25】 Embedded image

【0027】[0027]

【化26】 Embedded image

【0028】[0028]

【化27】 Embedded image

【0029】[0029]

【化28】 Embedded image

【0030】[0030]

【化29】 Embedded image

【0031】[0031]

【化30】 Embedded image

【0032】[0032]

【化31】 Embedded image

【0033】[0033]

【化32】 Embedded image

【0034】[0034]

【化33】 Embedded image

【0035】[0035]

【化34】 Embedded image

【0036】[0036]

【化35】 Embedded image

【0037】[0037]

【化36】 Embedded image

【0038】[0038]

【化37】 Embedded image

【0039】[0039]

【化38】 Embedded image

【0040】[0040]

【化39】 に示す2価の有機基の群から選択される少なくとも1種
であることにある。
Embedded image At least one selected from the group of divalent organic groups shown in the above.

【0041】さらに、前記耐熱性樹脂からなるベースフ
ィルムが、非熱可塑性ポリイミドフィルムまたはガラス
転移温度が350℃以上の熱可塑性ポリイミドフィルム
であることにある。
Further, the base film made of the heat-resistant resin is a non-thermoplastic polyimide film or a thermoplastic polyimide film having a glass transition temperature of 350 ° C. or more.

【0042】[0042]

【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態につ
いて説明する。最初に、本発明において熱可塑ポリイミ
ド層として用いられるポリアミド酸共重合体溶液の調製
方法について説明する。
Embodiments of the present invention will be described below. First, a method for preparing a polyamic acid copolymer solution used as a thermoplastic polyimide layer in the present invention will be described.

【0043】ポリアミド酸共重合体は、酸二無水物とジ
アミンとを有機溶媒中で反応させることにより得られる
が、本発明においては、まず、アルゴン、窒素などの不
活性ガス雰囲気中において、一般式(化40)
The polyamic acid copolymer can be obtained by reacting an acid dianhydride with a diamine in an organic solvent. In the present invention, first, a general reaction is carried out in an atmosphere of an inert gas such as argon or nitrogen. Formula (Formula 40)

【0044】[0044]

【化40】 (式中、Cは4価の有機基を示す。)で表される少なくと
も一種の酸二無水物を有機溶媒中に溶解、又は拡散させ
る。この溶液に一般式(化41)
Embedded image (In the formula, C represents a tetravalent organic group.) At least one acid dianhydride is dissolved or diffused in an organic solvent. The solution has the general formula (Formula 41)

【0045】[0045]

【化41】 (式中、Xは2価の有機基を示す。)で表される少なくと
も一種のジアミンを、固体の状態または有機溶媒溶液の
状態で添加する。さらに、前記の一般式(化11)で表
される1種又は2種以上の酸二無水物の混合物を固体の
状態または有機溶媒溶液の状態で添加し、ポリイミドの
前駆体であるポリアミド酸溶液を得る。また、この反応
において、上記添加手順とは逆に、まずジアミンの溶液
を調製し、この溶液中に固体状の酸二無水物または酸二
無水物の有機溶媒溶液を添加してもよい。このときの反
応温度は−10℃〜0℃が好ましい。反応時間は30分
間〜3時間である。かかる反応により熱可塑性ポリイミ
ドの前駆体であるポリアミド酸溶液の接着剤が調製され
る。
Embedded image (In the formula, X represents a divalent organic group.) At least one kind of diamine is added in a solid state or an organic solvent solution state. Furthermore, a mixture of one or more acid dianhydrides represented by the above general formula (Chemical Formula 11) is added in a solid state or an organic solvent solution, and a polyamic acid solution as a polyimide precursor is added. Get. In this reaction, contrary to the above addition procedure, a diamine solution may be prepared first, and a solid acid dianhydride or an organic solvent solution of acid dianhydride may be added to the solution. The reaction temperature at this time is preferably from -10C to 0C. The reaction time is 30 minutes to 3 hours. By this reaction, an adhesive of a polyamic acid solution which is a precursor of the thermoplastic polyimide is prepared.

【0046】ポリアミド酸の合成反応に使用される有機
溶媒としては、例えばジメチルスルホキシド、ジエチル
スルホキシド等のスルホキシド系溶媒、N,N-ジメチルホ
ルムアミド、N,N-ジエチルホルムアミド等のホルムアミ
ド系溶媒、N,N-ジメチルアセトアミド、N,N-ジエチルア
セトアミド等のアセトアミド系溶媒を挙げることができ
る。これらを1種類のみで用いることも、2種あるいは
3種以上からなる混合溶媒も用いることもできる。ま
た、これらの極性溶媒とポリアミド酸の非溶媒とからな
る混合溶媒も用いることもできる。ポリアミド酸の非溶
媒としては、アセトン、メタノール、エタノール、イソ
プロパノール、ベンゼン、メチルセロソルブ等を挙げる
ことができる。
Examples of the organic solvent used in the synthesis reaction of the polyamic acid include sulfoxide solvents such as dimethyl sulfoxide and diethyl sulfoxide, formamide solvents such as N, N-dimethylformamide and N, N-diethylformamide, and N, N-dimethylformamide. Acetamide solvents such as N-dimethylacetamide and N, N-diethylacetamide can be mentioned. These may be used alone or in combination of two or more. Further, a mixed solvent composed of these polar solvents and a non-solvent of polyamic acid can also be used. Examples of the non-solvent for the polyamic acid include acetone, methanol, ethanol, isopropanol, benzene, and methyl cellosolve.

【0047】係るポリアミド酸共重合体及びポリイミド
共重合体の分子量は特に規制されるものではないが、耐
熱性接着剤としての強度を維持するためには、数平均分
子量が5万以上、さらには8万以上、特には10万以上
が好ましい。接着剤であるポリアミド酸共重合体(溶
液)の分子量はGPC(ゲル浸透クロマトグラフィー)に
より測定が可能である。
The molecular weight of the polyamic acid copolymer and the polyimide copolymer is not particularly limited, but in order to maintain the strength as a heat-resistant adhesive, the number average molecular weight is 50,000 or more, and It is preferably at least 80,000, particularly preferably at least 100,000. The molecular weight of the polyamic acid copolymer (solution) as an adhesive can be measured by GPC (gel permeation chromatography).

【0048】次に、この前駆体であるポリアミド酸溶液
からポリイミドを得るためには、熱的又は化学的に脱水
閉環(イミド化)する方法を用いればよい。具体的には
熱的に脱水閉環(イミド化)する方法では、上記ポリア
ミド酸の溶液を耐熱性樹脂からなるベースフィルム上に
塗布して膜状とし、有機溶媒を蒸発させ乾燥することに
より自己支持体の膜を得る。さらに有機溶媒の蒸発は1
50℃以下の温度で約5分間〜90分間行うのが好まし
い。次に、これを加熱乾燥してイミド化する。イミド化
させる際の加熱温度は150℃〜350℃の範囲が好ま
しい。特に最終の熱処理は300℃以上が好ましい。さ
らに好ましくは300〜350℃が好ましい。加熱時間
は厚みや最高温度によって異なるが、一般には最高温度
に達してから10秒〜10分の範囲が好ましい。
Next, in order to obtain a polyimide from the polyamic acid solution as a precursor, a method of thermally or chemically dehydrating a ring-closing (imidization) method may be used. Specifically, in the method of thermally dehydrating ring closure (imidization), a solution of the above polyamic acid is coated on a base film made of a heat-resistant resin to form a film, and the organic solvent is evaporated and dried to be self-supported. Get a body membrane. Furthermore, the evaporation of the organic solvent is 1
It is preferable to carry out at a temperature of 50 ° C. or less for about 5 minutes to 90 minutes. Next, it is heated and dried to imidize it. The heating temperature at the time of imidization is preferably in the range of 150 ° C to 350 ° C. Particularly, the final heat treatment is preferably performed at 300 ° C. or higher. More preferably, the temperature is 300 to 350 ° C. The heating time varies depending on the thickness and the maximum temperature, but is generally preferably in the range of 10 seconds to 10 minutes after the maximum temperature is reached.

【0049】化学的に脱水閉環(イミド化)する方法で
は、上記ポリアミド酸溶液に化学量論以上の脱水剤と触
媒の第3級アミンとを加え、熱的に脱水する場合と同様
の方法で処理すると、熱的に脱水する場合よりも短時間
で所望のポリイミド膜が得られる。
In the method of chemically dehydrating and ring-closing (imidizing), a dehydrating agent having a stoichiometric amount or more and a tertiary amine as a catalyst are added to the above polyamic acid solution, and thermal dehydration is performed in the same manner. Upon treatment, a desired polyimide film can be obtained in a shorter time than when thermally dehydrating.

【0050】また、触媒として使用される第3級アミン
としては、ピリジン、α-ピコリン、β-ピコリン、γ-
ピコリン、トリメチルアミン、トリエチルアミン、イソ
キノリンなどが好ましい。
The tertiary amine used as a catalyst includes pyridine, α-picoline, β-picoline and γ-picoline.
Picoline, trimethylamine, triethylamine, isoquinoline and the like are preferred.

【0051】次に、このようにして得られたボンディン
グシートの片側または両側に銅箔を重ねて熱圧着するこ
とにより、銅張積層板が得られる。
Next, a copper foil is laminated on one or both sides of the bonding sheet thus obtained and thermocompression-bonded to obtain a copper-clad laminate.

【0052】なお、本発明でいうベースフィルムはFPC
等のベースフィルムとして使用可能なものであればいか
なるフィルムを用いてもよいが、特には耐熱性に優れた
特性を有するポリイミドフィルムが好ましく用いられ
る。具体的には、ベースフィルムとして用いるポリイミ
ドフィルムは、例えば、「アピカル(登録商標;鐘淵化
学工業株式会社製)のような接着性を有しないポリイミ
ドフィルムを用いることができるが、その他いかなる構
造のポリイミドフィルムであってもよい。
The base film referred to in the present invention is FPC
Any film may be used as long as it can be used as a base film, but a polyimide film having excellent heat resistance is particularly preferably used. Specifically, as the polyimide film used as the base film, for example, a polyimide film having no adhesive property such as “Apical (registered trademark; manufactured by Kaneka Chemical Co., Ltd.)” can be used. It may be a polyimide film.

【0053】続いてプラズマ放電処理について説明す
る。
Next, the plasma discharge processing will be described.

【0054】プラズマ処理のガス種類、ガス圧、処理密
度は特に限定されないが、ガス圧に関しては、1330
0〜1330000Paの範囲の圧力下で行うことが好
ましい。プラズマガスを形成するのに用いられ得るガス
は、例えば、ヘリウム、アルゴン、クリプトン、キセノ
ン、ネオン、ラドン、窒素等の不活性ガス、また酸素、
空気、一酸化炭素、二酸化炭素、四塩化炭素、クロロホ
ルム、水素、アンモニア、カーボンテトラフルオライ
ド、トリクロロフルオロエタン、トリフルオロメタン等
である。また、公知のフッ化ガス、上記ガスの混合ガス
でも良い。好ましい混合ガスの組み合わせは、アルゴン
/酸素、アルゴン/アンモニア、アルゴン/ヘリウム/
酸素、アルゴン/二酸化炭素、アルゴン/窒素/二酸化
炭素、アルゴン/ヘリウム/窒素、アルゴン/ヘリウム
/窒素/二酸化炭素、アルゴン/ヘリウム、アルゴン/
ヘリウム/アセトン、ヘリウム/アセトン、ヘリウム/
空気、アルゴン/ヘリウム/シランである。処理密度
は、100〜10000w・min/m2の範囲が好ま
しい。更に好ましくは、300〜7000w・min/
2の範囲が好ましい。上記範囲を大きく逸脱すると所
望の効果が得られない。
The gas type, gas pressure, and processing density of the plasma processing are not particularly limited.
It is preferable to carry out under a pressure in the range of 0 to 1330000 Pa. Gases that can be used to form the plasma gas include, for example, inert gases such as helium, argon, krypton, xenon, neon, radon, nitrogen, and oxygen,
Examples include air, carbon monoxide, carbon dioxide, carbon tetrachloride, chloroform, hydrogen, ammonia, carbon tetrafluoride, trichlorofluoroethane, and trifluoromethane. Further, a known fluorinated gas or a mixed gas of the above gases may be used. Preferred combinations of gas mixtures are argon / oxygen, argon / ammonia, argon / helium /
Oxygen, argon / carbon dioxide, argon / nitrogen / carbon dioxide, argon / helium / nitrogen, argon / helium / nitrogen / carbon dioxide, argon / helium, argon /
Helium / acetone, helium / acetone, helium /
Air, argon / helium / silane. The processing density is preferably in the range of 100 to 10000 w · min / m 2 . More preferably, 300 to 7000 w · min /
A range of m 2 is preferred. If the value is out of the above range, desired effects cannot be obtained.

【0055】以上、本発明に係る耐熱性ボンディングシ
ートの実施の形態について説明したが、本発明はこれに
よって限定されるものではなく、本発明はその趣旨を逸
脱しない範囲で当業者の知識に基づき、種々なる改良、
変更、修正を加えた様態で実施しうるものである。以上
の実施例により本発明をより具体的に説明するが、本発
明はこれらの実施例によって限定されるものでもない。
Although the embodiment of the heat-resistant bonding sheet according to the present invention has been described above, the present invention is not limited to this, and the present invention is based on the knowledge of those skilled in the art without departing from the scope of the present invention. , Various improvements,
The present invention can be implemented in a form in which changes and modifications are made. The present invention will be described more specifically with reference to the above examples, but the present invention is not limited to these examples.

【0056】[0056]

【実施例】(実施例1)系全体を氷水で冷やし、窒素置
換をした2000mlの三口のセパラブルフラスコに3
3.2gの3,3',4,4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸
二無水物(以下、BTDAという。)、287gのジメチル
ホルムアミド(以下、DMFという。)を採り、スターラ
ーを用いて撹拌することにより充分に溶解させた。続い
て、43.1gの2,2'-ビス〔4‐(4‐アミノフェノキ
シ)フェニル〕プロパン(以下、BAPPという。)を20
gのDMFを用いて投入し反応させた。 15分間の撹
拌の後、76.0gの3,3',4,4'‐エチレングリコールジ
ベンゾエートテトラカルボン酸二無水物(以下、TMEGと
いう。)を150gのDMFを用いて投入した。15分間の
撹拌の後、80.0gのBAPPを150gのDMFを用いて投
入し反応させた。 30分間の撹拌の後、さらに4.1
gのTMEGを47.2gのDMFに溶かした溶液をフラスコ内
の溶液の粘度に注意しながら徐々に投入し、その後1時
間撹拌しながら放置した。その後、106gのDMFを投入
し撹拌することでポリアミド酸溶液を得た。
EXAMPLES Example 1 The whole system was cooled with ice water and placed in a 2000 ml three-neck separable flask purged with nitrogen.
Take 3.2 g of 3,3 ', 4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride (hereinafter referred to as BTDA) and 287 g of dimethylformamide (hereinafter referred to as DMF) and stir using a stirrer. To sufficiently dissolve. Subsequently, 43.1 g of 2,2′-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane (hereinafter referred to as BAPP) was added to 20 parts of the mixture.
The reaction was carried out using g of DMF. After stirring for 15 minutes, 76.0 g of 3,3 ', 4,4'-ethylene glycol dibenzoate tetracarboxylic dianhydride (hereinafter referred to as TMEG) was added using 150 g of DMF. After stirring for 15 minutes, 80.0 g of BAPP was charged using 150 g of DMF and reacted. After stirring for 30 minutes, an additional 4.1
A solution prepared by dissolving TMEG in 47.2 g of DMF was gradually added while paying attention to the viscosity of the solution in the flask, and then left for 1 hour with stirring. Thereafter, 106 g of DMF was charged and stirred to obtain a polyamic acid solution.

【0057】次に、このポリアミド酸溶液をプラズマ処
理の施されたベースフィルム12.5NPI(鐘淵化学
社製)の両面上に最終厚みが片面6.5μmになるよう
に塗布し、100℃で6分間加熱した後、150℃、2
00℃、300℃で各6分間加熱し、ボンディングシー
トを得た。プラズマ処理は表1に示す条件で実施した。
得られたボンディングシートの接着層面(片面または両
面)に18μm厚の圧延銅箔を重ね、その上に25μm
厚ポリイミドフィルムを離型フィルムとして配設して、
ダブルベルトプレス機(DBP)にてラミネートし銅張
積層板を得た。ラミネート温度は280℃、圧力70k
gf/cm、ラミネート時間約5分間であった。得られ
た銅張積層板について、JIS C6481に従い、接
着強度(N/cm)、JIS6471に従い、半田耐熱性を
測定した。その結果を表1に示す。半田耐熱性は、 常
態調整(20℃、60%RH、24時間)後に300℃
・1分間浸せき、及び吸湿(40℃、90%RH、96
時間)後に280℃・10秒間浸せきの2条件で試験を
行い、外観上の不具合の発生有無で判定を行った。
Next, this polyamic acid solution was applied on both sides of a plasma-treated base film 12.5NPI (manufactured by Kaneka Chemical Co., Ltd.) so that the final thickness would be 6.5 μm on one side, and at 100 ° C. After heating for 6 minutes,
Heating was performed at 00 ° C. and 300 ° C. for 6 minutes each to obtain a bonding sheet. The plasma treatment was performed under the conditions shown in Table 1.
An 18 μm-thick rolled copper foil is laminated on the adhesive layer surface (one or both surfaces) of the obtained bonding sheet, and 25 μm
Arrange the thick polyimide film as a release film,
Lamination was performed with a double belt press (DBP) to obtain a copper-clad laminate. Laminating temperature 280 ° C, pressure 70k
gf / cm and the lamination time was about 5 minutes. The obtained copper-clad laminate was measured for adhesive strength (N / cm) according to JIS C6481 and solder heat resistance according to JIS6471. Table 1 shows the results. Solder heat resistance is 300 ° C after normal condition adjustment (20 ° C, 60% RH, 24 hours)
・ Immerse for 1 minute and absorb moisture (40 ° C, 90% RH, 96
After a period of time, the test was carried out under two conditions of immersion at 280 ° C. for 10 seconds, and a judgment was made based on whether or not a defect in appearance occurred.

【0058】[0058]

【表1】 (実施例2)実施例1と同様にして表2に示す条件でプ
ラズマ処理を施された17HP(鐘淵化学社製)ベース
のボンディングシートを作製した後、DBPを用いて銅
張積層板を作製し特性を評価した。その結果を表2に示
す。
[Table 1] (Example 2) After producing a 17HP (manufactured by Kanebuchi Chemical Co., Ltd.)-Based bonding sheet subjected to plasma treatment under the conditions shown in Table 2 in the same manner as in Example 1, a copper-clad laminate was prepared using DBP. It was fabricated and its characteristics were evaluated. Table 2 shows the results.

【0059】[0059]

【表2】 (実施例3)実施例1と同様にして表3に示す条件でプ
ラズマ処理を施された17HP(鐘淵化学社製)ベース
のボンディングシートを作製した後、DBPを用いて銅
張積層板を作製し特性を評価した。その結果を表3に示
す。
[Table 2] (Example 3) A 17HP (manufactured by Kanebuchi Chemical Co., Ltd.)-Based bonding sheet subjected to plasma treatment under the conditions shown in Table 3 in the same manner as in Example 1 was manufactured, and a copper-clad laminate was formed using DBP. It was fabricated and its characteristics were evaluated. Table 3 shows the results.

【0060】[0060]

【表3】 (実施例4)実施例1と同様にして表4に示す条件でプ
ラズマ処理を施された17HP(鐘淵化学社製)ベース
のボンディングシートを作製した後、DBPを用いて銅
張積層板を作製し特性を評価した。その結果を表4に示
す。
[Table 3] Example 4 A bonding sheet based on 17HP (manufactured by Kanebuchi Chemical Co., Ltd.) subjected to plasma treatment under the conditions shown in Table 4 in the same manner as in Example 1 was prepared, and a copper-clad laminate was formed using DBP. It was fabricated and its characteristics were evaluated. Table 4 shows the results.

【0061】[0061]

【表4】 (比較例1、2)プラズマ処理の施されていないベース
フィルムを用い、実施例1と同様にしてボンディングシ
ートを作製した後、DBPを用いて銅張積層板を作製し
特性を評価した。その結果を表5に示す。
[Table 4] (Comparative Examples 1 and 2) Using a base film not subjected to plasma treatment, a bonding sheet was prepared in the same manner as in Example 1, and a copper-clad laminate was prepared using DBP to evaluate characteristics. Table 5 shows the results.

【0062】[0062]

【表5】 [Table 5]

【0063】[0063]

【発明の効果】以上のように、本発明に係るボンディン
グシートは、特に半田耐熱性、銅箔とのピール強度に優
れ、FPCやリジット‐フレックス基板材料、COL及びLOC
パッケージ、MCM等の新規高密度実装材料用途に好適で
あり、その他用途は特に限定されない。
As described above, the bonding sheet according to the present invention is particularly excellent in solder heat resistance and peel strength with copper foil, and is suitable for FPC and rigid-flex substrate materials, COL and LOC.
It is suitable for use in new high-density packaging materials such as packages and MCMs, and other uses are not particularly limited.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H05K 1/03 670 H05K 1/03 670Z // C08J 5/18 CFG C08J 5/18 CFG C08L 79:08 Fターム(参考) 4F071 AA60 AG16 AH13 BC01 BC02 4F073 AA01 BA31 BB01 CA01 CA62 CA64 CA65 CA67 4F100 AB17 AK01A AK49A AK49B AK49C BA02 BA03 BA04 BA06 BA10B BA10C EH462 EJ422 EJ60A EJ61A EJ862 GB43 JA05A JA05B JA05C JB16B JB16C JJ03A JL04 JL11 YY00B YY00C 4J043 PA04 PA19 QB15 QB26 QB31 RA34 RA35 SA06 SA43 SA44 SA71 TA22 UA121 UA122 UA131 UA132 UA141 UA151 UA152 UA662 UA672 UB011 UB012 UB021 UB022 UB052 UB062 UB121 UB122 UB131 UB132 UB141 UB152 UB162 UB172 UB301 UB302 UB402 VA012 VA022 VA031 VA032 VA041 VA042 VA051 VA052 VA062 ZA05 ZA12 ZB50──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) H05K 1/03 670 H05K 1/03 670Z // C08J 5/18 CFG C08J 5/18 CFG C08L 79:08 F Term (Reference) 4F071 AA60 AG16 AH13 BC01 BC02 4F073 AA01 BA31 BB01 CA01 CA62 CA64 CA65 CA67 4F100 AB17 AK01A AK49A AK49B AK49C BA02 BA03 BA04 BA06 BA10B BA10C EH462 EJ422 EJ60A EJ86A04 J04B05J04B05J04A05 QB15 QB26 QB31 RA34 RA35 SA06 SA43 SA44 SA71 TA22 UA121 UA122 UA131 UA132 UA141 UA151 UA152 UA662 UA672 UB011 UB012 UB021 UB022 UB052 UB062 UB121 VA122 UB132 VA2A 03A1

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 耐熱性樹脂からなるベースフィルムの少
なくとも片面に熱可塑性ポリイミド層を有するボンディ
ングシートにおいて、ベースフィルムが不活性ガスを主
とする混合気体中でのプラズマ放電処理を施されている
ことを特徴とする耐熱性ボンディングシート。
1. A bonding sheet having a thermoplastic polyimide layer on at least one surface of a base film made of a heat-resistant resin, wherein the base film has been subjected to a plasma discharge treatment in a mixed gas mainly containing an inert gas. A heat-resistant bonding sheet characterized by the following.
【請求項2】 熱可塑性ポリイミド層がその前駆体一般
式(化1) 【化1】 (式中、kは1以上の整数、m,nはm+nが1以上と
なるそれぞれ0以上の整数である。A,Bは4価の有機
基、X,Yは2価の有機基を示す。)で表されるポリイミ
ドからなる請求項1に記載の耐熱性ボンディングシー
ト。
2. A thermoplastic polyimide layer whose precursor is represented by the general formula (1): ## STR1 ## (In the formula, k is an integer of 1 or more, m and n are each an integer of 0 or more, where m + n is 1 or more. A and B are tetravalent organic groups, and X and Y are divalent organic groups. The heat-resistant bonding sheet according to claim 1, comprising a polyimide represented by the following formula:
【請求項3】 前記一般式(化1)中のA,Bが下式(化
2)〜(化10) 【化2】 【化3】 【化4】 【化5】 【化6】 【化7】 【化8】 【化9】 【化10】 に示す4価の有機基の群から選択される少なくとも2種
であることを特徴とする請求項2に記載する耐熱性ボン
ディングシート。
3. A and B in the general formula (Chem. 1) are represented by the following formulas (Chem. 2) to (Chem. 10). Embedded image Embedded image Embedded image Embedded image Embedded image Embedded image Embedded image Embedded image The heat-resistant bonding sheet according to claim 2, wherein the heat-resistant bonding sheet is at least two kinds selected from the group of tetravalent organic groups shown in the following.
【請求項4】 前記耐熱性樹脂からなるベースフィルム
が、非熱可塑性ポリイミドフィルムまたはガラス転移温
度が350℃以上の熱可塑性ポリイミドフィルムである
ことを特徴とする請求項1に記載する耐熱性ボンディン
グシート。
4. The heat-resistant bonding sheet according to claim 1, wherein the heat-resistant resin base film is a non-thermoplastic polyimide film or a thermoplastic polyimide film having a glass transition temperature of 350 ° C. or higher. .
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002089546A1 (en) * 2001-05-01 2002-11-07 Oak-Mitsui, Inc. Substrate adhesion enhancement to film
WO2003072639A1 (en) 2002-02-26 2003-09-04 Toyo Boseki Kabushiki Kaisha Polyamide-imide resin, flexible metal-clad laminate, and flexible printed wiring board
JP2005042091A (en) * 2003-07-04 2005-02-17 Nitto Denko Corp Polyimide resin for electrically insulating material
JP2006176671A (en) * 2004-12-22 2006-07-06 Toyobo Co Ltd Polyimide bezoxazole film, its manufacturing method and metallized film using the same

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002089546A1 (en) * 2001-05-01 2002-11-07 Oak-Mitsui, Inc. Substrate adhesion enhancement to film
WO2003072639A1 (en) 2002-02-26 2003-09-04 Toyo Boseki Kabushiki Kaisha Polyamide-imide resin, flexible metal-clad laminate, and flexible printed wiring board
US7364799B2 (en) 2002-02-26 2008-04-29 Toyo Boseki Kabushiki Kaisha Polyamide-imide resin, flexible metal-clad laminate, and flexible printed wiring board
US7728102B2 (en) 2002-02-26 2010-06-01 Toyo Boseki Kabushiki Kaisha Polyamide-imide resin, flexible metal-clad laminate, and flexible printed wiring board
JP2005042091A (en) * 2003-07-04 2005-02-17 Nitto Denko Corp Polyimide resin for electrically insulating material
JP2006176671A (en) * 2004-12-22 2006-07-06 Toyobo Co Ltd Polyimide bezoxazole film, its manufacturing method and metallized film using the same

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