JP2000280221A

JP2000280221A - 積層セラミック体およびその製造方法

Info

Publication number: JP2000280221A
Application number: JP8836699A
Authority: JP
Inventors: Noboru Mitsunaga; 昇光永; Makoto Kamitamari; 誠上玉利
Original assignee: Sumitomo Metal SMI Electronics Device Inc
Current assignee: Sumitomo Metal SMI Electronics Device Inc
Priority date: 1999-03-30
Filing date: 1999-03-30
Publication date: 2000-10-10

Abstract

(57)【要約】【課題】微小空間のつぶれを防止する積層セラミック
体およびその製造方法を提供する。【解決手段】内層に相当するグリーンシート２１に形
成した穴部３１に形状保持部材４０を挿入して穴部３１
の内壁に形状保持部材４０を密着させ、形状保持部材４
０を挿入したグリーンシート２１と、表面層に相当する
グリーンシート２２および２３とを積層して一体化する
ことにより、圧着時に穴部３１の形状を保持し、穴部３
１の内壁が変形するのを防止することができる。そし
て、一体化したグリーンシート積層体から形状保持部材
４０を抜取ることにより、グリーンシート積層体の内層
につぶれのない微小空間を形成することができる。その
後、このグリーンシート積層体を焼成することにより、
内層につぶれのない放電空間を有するアルミナ製オゾナ
イザーセルが得られる。これにより、圧力損失が生じる
ことはなく、投入電力に対するオゾン発生効率を高める
ことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、積層セラミック体
およびその製造方法に関し、特に内層に微小空間を有す
る積層セラミック体の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、半導体装置の製造プロセスに
おける重要な工程の一つとして、熱気相化学成長法（Ｃ
ＶＤ）により層間絶縁膜を堆積させる工程が知られてい
る。上記の工程において、モノシラン系が材料として用
いられており、特にステップガバレッジ性に優れるテト
ラエトキシシラン−オゾン系（ＴＥＯＳ−Ｏ₃）を材料
とするＣＶＤ技術が有望である。上記のオゾンとして
は、高濃度でかつ高純度なものが望まれている。

【０００３】オゾン発生装置（オゾナイザー）として
は、金属板にガラス等の誘電体をコーティングした、い
わゆるホーロー材を用いてこのホーロー材を対向させて
セルを構成し、そのセルの間にガス通路を形成するとと
もに、このガス通路に酸素、空気などの原料気体を流し
て電圧を印加することにより放電現象を生じさせてオゾ
ンを発生させるようにしたものが実用化されている。上
記のオゾナイザーは、複数個のセルを段積みにし、所定
の性能が発揮できるように設計されているのが一般的で
ある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】このようなホーロー材
を用いたオゾナイザーにおいては、セル単体は厚みが例
えば３５ｍｍ程度であるため、所定量の放電を行なわせ
るための装置が大型化することが避けられず、また投入
電力に対するオゾン発生効率がよくないという問題があ
った。

【０００５】そこで、板状体からなる電極と、セラミッ
クスなどからなる板状の誘電体とが積層され、内層に放
電空間が形成されてなる積層セラミック製のオゾナイザ
ーが検討されている。このような積層セラミック製のオ
ゾナイザーにおいては、放電空間に電圧を印加すること
により放電現象を生じさせてオゾンを発生させるように
している。そして、積層セラミック体は厚みが例えば８
ｍｍ程度であり、装置を小型化することが可能である。

【０００６】しかしながら、上記の積層セラミック製の
オゾナイザーにおいては、投入電力に対するオゾン発生
効率を向上させるため、放電空間の厚み方向の隙間を例
えば０．１５ｍｍよりも小さくすると、放電空間の内壁
が変形する、いわゆるつぶれが発生するという問題があ
った。このつぶれは、積層セラミック体を製造すると
き、所定の形状に加工した複数枚のセラミックグリーン
シートを積層し、熱圧着して一体化する工程において生
じる。すなわち、積層セラミック体の内層に形成される
微小空間は圧着時の圧力によりつぶれるのである。

【０００７】積層セラミック製のオゾナイザーにおいて
は、放電空間がつぶれると、オゾン発生量を増大させる
ために放電空間内に流す原料気体の流量を増大させたと
き、圧力損失が生じ、投入電力に対するオゾン発生効率
が低下するという問題がある。

【０００８】本発明は、このような問題を解決するため
になされたものであり、微小空間のつぶれを防止する積
層セラミック体およびその製造方法を提供することを目
的とする。本発明の他の目的は、微小空間の開口部の変
形を防止する積層セラミック体の製造方法を提供するこ
とにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１記載の
積層セラミック体によると、内層に形成される微小空間
の端部の隙間をＡとし、微小空間の中央部の隙間をＢと
し、微小空間のつぶれ率をＲとしたとき、Ｒ（％）＝（Ａ−Ｂ）／Ａ×１００であり、Ｒは２０％以下である。したがって、本発明の
積層セラミック体をオゾナイザーに適用し、上記の微小
空間を放電空間に用いた場合、オゾン発生量を増大させ
るために放電空間内に流す原料気体の流量を増大させた
とき、圧力損失が生じることはなく、投入電力に対する
オゾン発生効率を高めることができる。

【００１０】本発明の請求項２記載の積層セラミック体
の製造方法によると、複数枚のセラミックグリーンシー
トを所定の形状に加工して積層セラミック体の内層に相
当するセラミックグリーンシートに微小空間に相当する
穴部を形成し、この穴部に形状保持部材を挿入して穴部
の内壁に形状保持部材を密着させ、形状保持部材を挿入
したセラミックグリーンシートと積層セラミック体の表
面層に相当するセラミックグリーンシートとを積層して
一体化し、一体化したグリーンシート積層体から形状保
持部材を抜取り、形状保持部材を抜取ったグリーンシー
ト積層体を焼成する。

【００１１】本発明による積層セラミック体の製造方法
においては、セラミック原料粉末に必要に応じて焼結助
剤や着色剤を少量加えた粉体に、バインダ、分散剤、可
塑剤、有機溶媒等を添加して湿式混合を行い、スラリー
を調製する。次に、このスラリーを用いてドクターブレ
ード法等により複数枚のセラミックグリーンシートを作
製する。その後、積層セラミック体の内層に相当するセ
ラミックグリーンシートに微小空間に相当する穴部を打
ち抜き型やパンチングマシーン等を用いて形成し、必要
によりセラミックグリーンシートに電極用の導体ペース
トを印刷する。そして、上記の穴部に形状保持部材を挿
入して穴部の内壁に形状保持部材を密着させ、形状保持
部材を挿入したセラミックグリーンシートと積層セラミ
ック体の表面層に相当するセラミックグリーンシートと
を積層して一体化し、一体化したグリーンシート積層体
から形状保持部材を抜取ることにより、グリーンシート
積層体を形成することができる。

【００１２】セラミックグリーンシートは、セラミック
スの原料粉末、有機溶媒、可塑剤およびバインダ等から
構成される。セラミックスの原料粉末は、アルミナ、窒
化アルミ、ムライト、窒化ケイ素、炭化ケイ素、低温焼
成のガラスセラミックス等あらゆるセラミックスを用い
ることができる。有機溶媒としては、例えばトルエン、
キシレン、アルコール類等が挙げられ、可塑剤として
は、例えばジブチルフタレート、ジオキシルフタレート
等が挙げられ、バインダとしては、例えばアクリル樹
脂、ブチラール樹脂等が挙げられる。これらの混合割合
は、セラミックスの原料粉末１００重量部に対し、有機
溶媒が２０〜８０重量部、可塑剤が１〜５重量部、バイ
ンダが５〜２０重量部が好ましい。

【００１３】形状保持部材としては、セラミックグリー
ンシートに形成した穴部の内壁に密着する程度に成形精
度が高く、複数枚のセラミックグリーンシートを積層し
て一体化するときの圧力に耐える程度に硬度が高く、一
体化したグリーンシート積層体から抜取ることが可能な
程度に表面の摩擦係数が小さいことが好ましい。

【００１４】セラミックグリーンシートに形成した穴部
に形状保持部材を挿入して穴部の内壁に形状保持部材を
密着させ、形状保持部材を挿入したセラミックグリーン
シートと積層セラミック体の表面層に相当するセラミッ
クグリーンシートとを積層して一体化することにより、
圧着時に穴部の形状を保持し、穴部の内壁が変形するの
を防止することができる。そして、一体化したグリーン
シート積層体から形状保持部材を抜取ることにより、グ
リーンシート積層体の内層につぶれのない微小空間を形
成することができる。その後、上記のグリーンシート積
層体を焼成することにより、内層につぶれのない微小空
間を有する積層セラミック体を得ることができる。

【００１５】本発明の請求項３記載の積層セラミック体
の製造方法によると、微小空間は厚み方向の隙間が０．
１５ｍｍよりも小さいので、厚み方向の隙間が例えば
０．１ｍｍの微小空間につぶれが発生するのを防止する
ことができる。したがって、本発明によって得られる積
層セラミック体をオゾナイザーに適用し、上記の微小空
間を放電空間に用いた場合、オゾン発生量を増大させる
ために放電空間内に流す原料気体の流量を増大させたと
き、圧力損失が生じることはなく、投入電力に対するオ
ゾン発生効率を高めることができる。微小空間の幅およ
び長さについては可能な範囲で任意に設定することがで
きる。

【００１６】本発明の請求項４記載の積層セラミック体
の製造方法によると、形状保持部材は、金属板と、この
金属板の表面を覆うフッ素系樹脂とを有するので、セラ
ミックグリーンシートに形成した穴部の内壁に密着する
程度に形状保持部材の成形精度が高く、複数枚のセラミ
ックグリーンシートを積層して一体化するときの圧力に
耐える程度に硬度が高く、一体化したグリーンシート積
層体から抜取ることが可能な程度に表面の摩擦係数が小
さい。さらに、上記の形状保持部材は弾性変形が可能で
あるので、微小空間の開口部が積層セラミック体の表面
層に連通している場合においても、グリーンシート積層
体から形状保持部材を容易に抜取ることができる。

【００１７】金属板としては、鉄、クロム、ニッケル、
アルミニウム、チタン等あらゆる金属材料、あるいは上
記金属材料の合金または複合材料からなる金属板を用い
ることができる。また、フッ素系樹脂としては、ポリテ
トラフルオルエチレン（テフロン、フルオン）が好まし
い。

【００１８】本発明の請求項５記載の積層セラミック体
の製造方法によると、穴部を形成する工程において、複
数枚のセラミックグリーンシートを所定の形状に加工す
るとき、微小空間の開口部に相当する部分に切欠きを形
成するので、微小空間の開口部が変形するのを防止する
ことができる。したがって、本発明によって得られる積
層セラミック体をオゾナイザーに適用し、上記の微小空
間を放電空間に用いた場合、オゾン発生量を増大させる
ために放電空間内に流す原料気体の流量を増大させたと
き、圧力損失が生じることはなく、投入電力に対するオ
ゾン発生効率を高めることができる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の複数の実施例を図
面に基づいて説明する。（第１実施例）アルミナ製オゾナイザーの製造方法に本
発明を適用した第１実施例について、図１、図２および
図３を用いて説明する。

【００２０】図３に示すように、積層セラミック体とし
てのアルミナ製オゾナイザーセル１００は、放電電極１
０、誘電体部２０、微小空間としての放電空間３０およ
び図示しない冷却水導入溝等から構成される。

【００２１】放電電極１０は、タングステン、モリブデ
ン等からなり、図示しない電源に放電電極１０が電気的
に接続されて放電電極１０と誘電体部２０との間に電圧
が印加されるようになっている。

【００２２】放電空間３０は、厚み方向の隙間ｔ＝０．
１ｍｍ、幅ｗ＝１０ｍｍに設定されている。なお、図３
においては、説明を容易にするために５個の放電空間３
０を示したが、アルミナ製オゾナイザーセル１００は１
０個の放電空間３０を有している。また、隙間ｔは誇張
されて示されている。

【００２３】放電空間３０は、一端がアルミナ製オゾナ
イザーセル１００の表面部に形成される図示しない一方
の開口部を経由して図示しないガス供給口に連通してお
り、他端がアルミナ製オゾナイザーセル１００の表面部
に形成される図示しない他方の開口部を経由して図示し
ないガス排出口に連通している。したがって、ガス供給
口から原料ガスを供給してガス排出口からガスを排出す
るとともに、冷却水導入溝に冷却水を導入して電源によ
り放電電極１０と誘電体部２０との間に電圧を印加する
と、放電空間３０で放電がなされ、放電空間３０を流れ
る原料ガスがオゾン化されるようになっている。

【００２４】次に、アルミナ製オゾナイザーセル１００
の作製方法について述べる。 (1) アルミナ粉末にマグネシア、シリカ、焼成タルク、
炭酸カルシウム等の焼結助剤と、酸化チタン、酸化クロ
ム、酸化モリブデン等の着色剤とを少量加えた粉体に、
ジオキシルフタレート等の可塑剤、アクリル樹脂やブチ
ラール樹脂等のバインダおよびトルエン、キシレン、ア
ルコール類等の溶剤を加え、十分に混練して粘度２００
０〜４００００ｃｐｓのスラリを作製し、ドクターブレ
ード法によって例えば０．１〜０．２ｍｍ厚の複数枚の
アルミナのグリーンシートを形成する。

【００２５】(2) 各グリーンシートを打ち抜き型やパン
チングマシーン等を用いて所望の形状に加工し、さら
に、内層に相当するグリーンシートに放電空間に相当す
る穴部を打ち抜き型やパンチングマシーン等を用いて形
成する。そして、放電電極に相当する箇所のグリーンシ
ートの表面にタングステン粉末、モリブデン粉末等を用
いた導体ぺーストを使用して電極パターンをスクリーン
印刷する。

【００２６】(3) 図１および図２に示すように、内層に
相当するグリーンシート２１の穴部３１に、予め用意し
ておいた形状保持部材４０を挿入し、穴部３１の内壁に
形状保持部材４０を密着させる。形状保持部材４０は、
穴部３１の内壁に対応した板形状をしており、ステンレ
ス鋼板等の金属板と、その表面を覆うテフロン等のフッ
素系樹脂とからなる。形状保持部材４０は成形精度を比
較的高くすることが可能であるので、穴部３１の内壁に
形状保持部材４０を容易に密着させることができる。

【００２７】(4) 図１に示すように、形状保持部材４０
を挿入したグリーンシート２１と、表面層に相当するグ
リーンシート２２および２３とを積層し、このグリーン
シート積層体を例えば１２０℃、２０．０ｋｇ／ｃｍ²
の条件で熱圧着して一体化する。このとき、形状保持部
材４０は硬度が比較的高いので、上記の圧力に耐えるこ
とが可能であり、穴部３１の形状を保持することができ
る。すなわち、穴部３１の内壁が変形するのを防止する
ことができる。図１において、表面層に相当するグリー
ンシート２２および２３は放電電極に相当する電極パタ
ーン１２および１３を有している。

【００２８】(5) 一体化されたグリーンシート積層体か
ら図１および図２に示す形状保持部材４０を抜取る。こ
のとき、形状保持部材４０は、表面をフッ素系樹脂が覆
っているので、表面の摩擦係数が小さく、グリーンシー
ト積層体から形状保持部材４０を容易に抜取ることがで
きる。さらに、形状保持部材４０は弾性変形が可能であ
るので、この弾性変形を利用して穴部３１の開口部から
形状保持部材４０をさらに容易に抜取ることができる。
その後、形状保持部材４０を抜取ったグリーンシート積
層体を窒素−水素混合ガス雰囲気中で１５００〜１６０
０℃で焼成する。これにより、アルミナ製のオゾナイザ
ーセルの内層に放電空間を形成し、導体ペースト中の樹
脂分を分解および消失させ、放電電極を形成して図３に
示すアルミナ製オゾナイザーセル１００が得られる。

【００２９】上記の(1)〜(5)の工程で作製されたアルミ
ナ製オゾナイザーセル１００は、寸法が１８０×１８０
×８ｍｍであり、放電空間３０を１０個有している。ま
た放電空間３０は、厚み方向の隙間ｔ＝０．１ｍｍ、幅
ｗ＝１０ｍｍである。このようなアルミナ製オゾナイザ
ーセル１００のオゾン発生率は３００ｇ／ｍ³であっ
た。一方、放電空間の厚み方向の隙間が０．１５ｍｍ
で、他は第１実施例と同様のアルミナ製オゾナイザーセ
ルのオゾン発生率は２００ｇ／ｍ³であった。

【００３０】次に、アルミナ製オゾナイザーセル１００
の放電空間３０のつぶれ率、ならびに層間の剥れまたは
ふくれの有無を表１に示す。表１において、アルミナ製
オゾナイザーセル１００の検体数ｎ＝６０であり、放電
空間３０のつぶれ率Ｒは以下に示す式により算出され
た。Ｒ（％）＝（Ａ−Ｂ）／Ａ×１００・・・ここに、図４に示すように、Ａは放電空間３０の端部の
隙間であり、Ｂは放電空間３０の中央部の隙間である。

【００３１】

【表１】

【００３２】第１実施例においては、表１に示すよう
に、放電空間３０のつぶれ率は５〜１５％、すなわち２
０％以下と良好である。また、アルミナ製オゾナイザー
セル１００の層間の剥れやふくれは認められなかった。

【００３３】次に、形状保持部材を用いず、グリーンシ
ート積層体を一体化するときの圧着条件を変更し、その
他は第１実施例と同様の製造方法により作製した比較例
１および２によるアルミナ製オゾナイザーセルについ
て、放電空間のつぶれ率、ならびに層間の剥れまたはふ
くれの有無を表１に示す。比較例１および２によるアル
ミナ製オゾナイザーセルは、寸法が１８０×１８０×８
ｍｍであり、放電空間を１０個有している。また、アル
ミナ製オゾナイザーセルの検体数ｎ＝６０であり、つぶ
れ率Ｒは上記の式により算出された。

【００３４】比較例１においては、グリーンシート積層
体を一体化するときの圧着条件は６．０ｋｇ／ｃｍ²で
ある。また比較例２においては、グリーンシート積層体
を一体化するときの圧着条件は２．８ｋｇ／ｃｍ²であ
る。表１に示すように、比較例１においては、アルミナ
製オゾナイザーセルの層間の剥れやふくれは認められな
かったが、しかし、放電空間のつぶれ率は１００％と不
良であった。また比較例２においては、放電空間のつぶ
れ率は５〜１５％であったが、しかし、アルミナ製オゾ
ナイザーセルの層間の剥れやふくれが認められ不良であ
った。したがって、比較例１および２は、実用不可能な
アルミナ製オゾナイザーセルであった。

【００３５】一方、第１実施例においては、内層に相当
するグリーンシート２１に形成した穴部３１に形状保持
部材４０を挿入して穴部３１の内壁に形状保持部材４０
を密着させ、形状保持部材４０を挿入したグリーンシー
ト２１と、表面層に相当するグリーンシート２２および
２３とを積層して一体化することにより、圧着時に穴部
３１の形状を保持し、穴部３１の内壁が変形するのを防
止することができる。そして、一体化したグリーンシー
ト積層体から形状保持部材４０を抜取ることにより、グ
リーンシート積層体の内層につぶれのない微小空間を形
成することができる。その後、上記のグリーンシート積
層体を焼成することにより、つぶれ率が２０％以下の放
電空間３０を有するアルミナ製オゾナイザーセル１００
を得ることができる。

【００３６】以上説明した本発明の第１実施例において
は、厚み方向の隙間が０．１ｍｍの放電空間３０につぶ
れが発生するのを防止することができる。したがって、
アルミナ製オゾナイザーセル１００は、オゾン発生量を
増大させるために放電空間３０内に流す原料ガスの流量
を増大させたとき、圧力損失が生じることはなく、投入
電力に対するオゾン発生効率を高めることができる。

【００３７】さらに第１実施例においては、形状保持部
材４０は、金属板と、この金属板の表面を覆うフッ素系
樹脂とからなるので、内層に相当するグリーンシート２
１に形成した穴部３１の内壁に形状保持部材４０を容易
に密着させることができ、圧着時、穴部３１の形状を保
持して穴部３１の内壁が変形するのを防止することがで
きる。さらに、形状保持部材４０は表面の摩擦係数が小
さく、弾性変形が可能であるので、一体化されたグリー
ンシート積層体から形状保持部材４０を容易に抜取るこ
とができる。

【００３８】（第２実施例）第２実施例を図５および図
６に示す。第２実施例においては、図３に示す第１実施
例のアルミナ製オゾナイザーセル１００の放電空間３０
の開口部に切欠きを形成したものである。その他は第１
実施例と同様であり、第１実施例と実質的に同一部分に
同一符号を付す。

【００３９】図５および図６に示すように、アルミナ製
オゾナイザーセル２００の放電空間３０は、厚み方向の
隙間ｔ＝０．１ｍｍに設定されている。なお、図５およ
び図６には、説明を容易にするために５個の放電空間３
０を示したが、アルミナ製オゾナイザーセル２００は１
０個の放電空間３０を有している。また、隙間ｔは誇張
されて示されている。

【００４０】放電空間３０は、図示しないガス供給口お
よびガス排出口にそれぞれ連結される両開口部５０に連
通している。開口部５０と放電空間３０との間には段差
部６０が形成されており、開口部５０は開口端から段差
部６０まで連続している。開口部５０の上部および下部
にはそれぞれ上部切欠き５１および下部切欠き５２が形
成されており、両開口部５０の開口面積は放電空間３０
の断面積よりも大きくなっている。ここで、開口部５０
の開口端から段差部６０までの距離をＬとし、上部切欠
き５１および下部切欠き５２の高さをｈ₁およびｈ₂とす
ると、Ｌ＝５ｍｍ、ｈ₁＝０．２ｍｍ、ｈ₂＝０．２ｍｍ
に設定されている。

【００４１】次に、アルミナ製オゾナイザーセル２００
の作製方法について述べる。第１実施例の(1)の工程と
同様の工程により複数枚のアルミナのグリーンシートを
形成する。そして、第１実施例の(2)の工程において、
各グリーンシートを所望の形状に加工するとき、内層に
相当するグリーンシートの上下層に相当するグリーンシ
ートの放電空間の開口部に相当する部分に切欠きを形成
する。その後、電極パターンをスクリーン印刷し、第１
実施例の(3)〜(5)の工程と同様の工程により、アルミナ
製オゾナイザーセル２００が得られる。

【００４２】次に、放電空間の開口部に相当する部分に
切欠きを形成せず、他は第２実施例と同一構成の比較例
３について、図７を用いて説明する。図６に示す第２実
施例と実質的に同一部分に同一符号を付す。

【００４３】図７に示すように、比較例３においては、
放電空間３０の開口部に相当する部分に切欠きが形成さ
れていない。このため、放電空間３０の開口部が変形
し、つぶれが発生している。このつぶれが発生している
部分の開口端からの距離をＬ₁とすると、Ｌ₁＝４ｍｍで
あった。なお図７には、説明を容易にするために放電空
間３０の厚み方向の隙間が図６よりも誇張されて示され
ている。したがって、比較例３においては、オゾン発生
量を増大させるために放電空間３０内に流す原料ガスの
流量を増大させたとき、圧力損失が生じ、投入電力に対
するオゾン発生効率が低下するという問題がある。

【００４４】一方、第２実施例においては、放電空間３
０の開口部５０に上部切欠き５１および下部切欠き５２
が形成されているので、放電空間３０の開口部５０が変
形するのを防止することができる。したがって、オゾン
発生量を増大させるために放電空間３０内に流す原料ガ
スの流量を増大させたとき、圧力損失が生じることはな
く、投入電力に対するオゾン発生効率を高めることがで
きる。

【００４５】上記第２実施例では、開口部５０の開口端
から段差部６０までの距離Ｌ＝５ｍｍ、上部切欠き５１
の高さｈ₁＝０．２ｍｍ、下部切欠き５２の高さｈ₂＝
０．２ｍｍに設定したが、本発明においては、開口部の
開口端から段差部まで距離は３ｍｍ以上であればよい
し、上部切欠きおよび下部切欠きの高さは０．１ｍｍ以
上であればよい。また、上部切欠きまたは下部切欠きの
いずれか一方のみを形成してもよい。

【００４６】以上説明した上記複数の実施例では、アル
ミナ製オゾナイザーの製造方法に本発明を適用したが、
本発明では、アルミナ製オゾナイザーに限らず、窒化ア
ルミ、ムライト、窒化ケイ素、炭化ケイ素、低温焼成の
ガラスセラミックス等、内層に微小空間を有するあらゆ
る積層セラミック体に適用可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例によるアルミナ製オゾナイ
ザーの製造方法を説明するためのものであって、グリー
ンシート積層体および形状保持部材を示す断面図であ
る。

【図２】本発明の第１実施例によるアルミナ製オゾナイ
ザーの製造方法を説明するためのものであって、形状保
持部材を挿入したグリーンシートを示す平面図である。

【図３】本発明の第１実施例によるアルミナ製オゾナイ
ザーを示す断面図である。

【図４】放電空間のつぶれ率を算出する方法を説明する
ためのものであって、放電空間を示す模式的拡大図であ
る。

【図５】本発明の第２実施例によるアルミナ製オゾナイ
ザーを示す正面図である。

【図６】図５のVI−VI線断面図である。

【図７】比較例３によるアルミナ製オゾナイザーを示す
断面図である。

【符号の説明】

１０放電電極２０誘電体部２１内層に相当するグリーンシート２２、２３表面層に相当するグリーンシート３０放電空間（微小空間）３１穴部４０形状保持部材５０開口部５１上部切欠き５２下部切欠き６０段差部１００、２００アルミナ製オゾナイザーセル（積層
セラミック体）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】内層に微小空間を有する積層セラミック
体であって、前記微小空間の端部の隙間をＡとし、前記微小空間の中
央部の隙間をＢとし、前記微小空間のつぶれ率をＲとし
たとき、Ｒ（％）＝（Ａ−Ｂ）／Ａ×１００であり、Ｒは、２０％以下であることを特徴とする積層セラミッ
ク体。
【請求項２】内層に微小空間を有する積層セラミック
体を製造する方法であって、複数枚のセラミックグリーンシートを所定の形状に加工
し、前記積層セラミック体の内層に相当するセラミック
グリーンシートに前記微小空間に相当する穴部を形成す
る工程と、前記穴部に形状保持部材を挿入し、前記穴部の内壁に前
記形状保持部材を密着させる工程と、前記形状保持部材を挿入したセラミックグリーンシート
と、前記積層セラミック体の表面層に相当するセラミッ
クグリーンシートとを積層し、一体化する工程と、一体化したグリーンシート積層体から前記形状保持部材
を抜取る工程と、前記形状保持部材を抜取ったグリーンシート積層体を焼
成する工程と、を含むことを特徴とする積層セラミック体の製造方法。
【請求項３】前記微小空間は、厚み方向の隙間が０．
１５ｍｍよりも小さいことを特徴とする請求項２記載の
積層セラミック体の製造方法。
【請求項４】前記形状保持部材は、金属板と、前記金
属板の表面を覆うフッ素系樹脂とを有することを特徴と
する請求項２または３記載の積層セラミック体の製造方
法。
【請求項５】前記穴部を形成する工程において、複数
枚のセラミックグリーンシートを所定の形状に加工する
とき、前記微小空間の開口部に相当する部分に切欠きを
形成することを特徴とする請求項２、３または４記載の
積層セラミック体の製造方法。