JP2000277590A - ウェハ検知方法 - Google Patents
ウェハ検知方法Info
- Publication number
- JP2000277590A JP2000277590A JP8041499A JP8041499A JP2000277590A JP 2000277590 A JP2000277590 A JP 2000277590A JP 8041499 A JP8041499 A JP 8041499A JP 8041499 A JP8041499 A JP 8041499A JP 2000277590 A JP2000277590 A JP 2000277590A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- wafer detection
- foup
- sensor
- door
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ウェハの検知時間を短縮し、装置運用のスル
ープットを向上させることができるようにする。 【解決手段】 ＦＯＵＰ１０のカセット部１０ａの右側
壁１０ｄに開口部１０ｅを形成し、開口部１０ｅの全周
にパッキン１６を張り付け、閉じられた状態で開口部１
０ｅを塞ぐとともにパッキン１６と密着するように、ウ
ェハ検知用扉１２の一辺をバネ１７によって右側壁１０
ｄに開閉可能に取り付け、ウェハ検知用扉１２からウェ
ハ検知センサ１８を挿入してウェハ１４を検知する。
ープットを向上させることができるようにする。 【解決手段】 ＦＯＵＰ１０のカセット部１０ａの右側
壁１０ｄに開口部１０ｅを形成し、開口部１０ｅの全周
にパッキン１６を張り付け、閉じられた状態で開口部１
０ｅを塞ぐとともにパッキン１６と密着するように、ウ
ェハ検知用扉１２の一辺をバネ１７によって右側壁１０
ｄに開閉可能に取り付け、ウェハ検知用扉１２からウェ
ハ検知センサ１８を挿入してウェハ１４を検知する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ウェハが収納さ
れる気密収納可能なＦＯＵＰ内のウェハ情報をウェハ検
知センサによって検知するウェハ検知方法に関するもの
である。
れる気密収納可能なＦＯＵＰ内のウェハ情報をウェハ検
知センサによって検知するウェハ検知方法に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】従来のウェハ検知方法を示す機構５０は
図６に示されるような構造を有しており、ウェハ５１を
気密収納可能なＦＯＵＰ５２の下に、これの蓋５４を開
閉するための装置であるポッドオープナー５６が設けら
れている。ポッドオープナー５６はウェハ５１を取り出
すためにＦＯＵＰ５２の蓋５４を開ける際に用いられる
が、ＦＯＵＰ５２内にウェハ５１が有るかどうかなどの
情報を検知する際にも、蓋５４を開けてウェハ検知セン
サ５８をＦＯＵＰ５２内に挿入するために用いられる。
図６に示されるような構造を有しており、ウェハ５１を
気密収納可能なＦＯＵＰ５２の下に、これの蓋５４を開
閉するための装置であるポッドオープナー５６が設けら
れている。ポッドオープナー５６はウェハ５１を取り出
すためにＦＯＵＰ５２の蓋５４を開ける際に用いられる
が、ＦＯＵＰ５２内にウェハ５１が有るかどうかなどの
情報を検知する際にも、蓋５４を開けてウェハ検知セン
サ５８をＦＯＵＰ５２内に挿入するために用いられる。
【０００３】次に、図の（１）〜（１０）の番号にした
がってウェハ検知機構５０の動作について説明する。
（１）ＦＯＵＰ５２をポッドオープナー５６上に載せ
る。（２）ポッドオープナー５６のＦＯＵＰ蓋開閉機構
６０を上昇させる。（３）ＦＯＵＰ蓋開閉機構６０をＦ
ＯＵＰ５２の蓋５４に押し付ける。（４）ＦＯＵＰ５２
に設けられており、図中円で示した部分に存在する蓋ロ
ックキー（図１に示されている蓋ロックキー１０ｃと同
じもの）を解除する。（５）ＦＯＵＰ５２の蓋５４を開
く。（６）ＦＯＵＰ蓋開閉機構６０を下降させる。
がってウェハ検知機構５０の動作について説明する。
（１）ＦＯＵＰ５２をポッドオープナー５６上に載せ
る。（２）ポッドオープナー５６のＦＯＵＰ蓋開閉機構
６０を上昇させる。（３）ＦＯＵＰ蓋開閉機構６０をＦ
ＯＵＰ５２の蓋５４に押し付ける。（４）ＦＯＵＰ５２
に設けられており、図中円で示した部分に存在する蓋ロ
ックキー（図１に示されている蓋ロックキー１０ｃと同
じもの）を解除する。（５）ＦＯＵＰ５２の蓋５４を開
く。（６）ＦＯＵＰ蓋開閉機構６０を下降させる。
【０００４】（７）ポッドオープナー５６に一端が回転
可能に設けられているウェハ検知センサ５８を回転させ
る。（８）ウェハ検知センサ５８を停止させる。（９）
ウェハ検知センサ５８を水平方向、すなわちＦＯＵＰ５
２内に進入させる方向に移動させる。（１０）ウェハ検
知センサ５８をウェハ５１の隙間に挿入させて停止さ
せ、ウェハ５１の枚数を検知する。なお、図６の（１）
〜（６）、（９）及び（１０）は、ウェハ検知機構５０
の右側面図を、（７）及び（８）は、ウェハ検知機構５
０の正面図をそれぞれ示す。
可能に設けられているウェハ検知センサ５８を回転させ
る。（８）ウェハ検知センサ５８を停止させる。（９）
ウェハ検知センサ５８を水平方向、すなわちＦＯＵＰ５
２内に進入させる方向に移動させる。（１０）ウェハ検
知センサ５８をウェハ５１の隙間に挿入させて停止さ
せ、ウェハ５１の枚数を検知する。なお、図６の（１）
〜（６）、（９）及び（１０）は、ウェハ検知機構５０
の右側面図を、（７）及び（８）は、ウェハ検知機構５
０の正面図をそれぞれ示す。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のものでは、ポッドオープナー５６によりＦＯＵＰ５
２の蓋５４を開けてからでないとウェハ５１の検知がで
きないため、ウェハ５１の検知に時間がかかり、装置運
用のスループットが上がらないという問題がある。
来のものでは、ポッドオープナー５６によりＦＯＵＰ５
２の蓋５４を開けてからでないとウェハ５１の検知がで
きないため、ウェハ５１の検知に時間がかかり、装置運
用のスループットが上がらないという問題がある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、この発明は、ウェハが収納された気密収納可能
なＦＯＵＰ内のウェハ情報をウェハ検知センサによって
検知するウェハ検知方法において、ＦＯＵＰの壁には、
該ＦＯＵＰ内の気密性を損なわないように構成された扉
であるウェハ検知用扉が設けられており、該ウェハ検知
用扉からウェハ検知センサを挿入したり引き出したりす
ることができることを特徴とするものである。
ために、この発明は、ウェハが収納された気密収納可能
なＦＯＵＰ内のウェハ情報をウェハ検知センサによって
検知するウェハ検知方法において、ＦＯＵＰの壁には、
該ＦＯＵＰ内の気密性を損なわないように構成された扉
であるウェハ検知用扉が設けられており、該ウェハ検知
用扉からウェハ検知センサを挿入したり引き出したりす
ることができることを特徴とするものである。
【０００７】これにより、ＦＯＵＰの蓋を開けなくても
ウェハ検知用扉からウェハ検知センサを挿入することに
よりウェハの検知を行うことができるため、検知時間を
短縮することができ、装置運用のスループットを向上さ
せることができる。
ウェハ検知用扉からウェハ検知センサを挿入することに
よりウェハの検知を行うことができるため、検知時間を
短縮することができ、装置運用のスループットを向上さ
せることができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】図１は本発明を実施したＦＯＵＰ
１０の平面図、図２はＦＯＵＰ１０の分解斜視図、図３
はＦＯＵＰ１０の側面図、図４はウェハ検知用扉１２の
斜視図をそれぞれ示す。ウェハ１４を気密収納可能なＦ
ＯＵＰ１０は、ウェハ１４を収納するカセット部１０ａ
と蓋１０ｂとにより構成されており、蓋１０ｂは、これ
に設けられている２つの蓋ロックキー１０ｃにそれぞれ
図示してない鍵を差し込み、蓋ロックキー１０ｃを回
し、蓋１０ｂを手前に引っ張ることにより開けることが
できる。
１０の平面図、図２はＦＯＵＰ１０の分解斜視図、図３
はＦＯＵＰ１０の側面図、図４はウェハ検知用扉１２の
斜視図をそれぞれ示す。ウェハ１４を気密収納可能なＦ
ＯＵＰ１０は、ウェハ１４を収納するカセット部１０ａ
と蓋１０ｂとにより構成されており、蓋１０ｂは、これ
に設けられている２つの蓋ロックキー１０ｃにそれぞれ
図示してない鍵を差し込み、蓋ロックキー１０ｃを回
し、蓋１０ｂを手前に引っ張ることにより開けることが
できる。
【０００９】カセット部１０ａの右側壁１０ｄには長方
形の開口部１０ｅが形成されており、開口部１０ｅのＦ
ＯＵＰ１０内側の全周にはパッキン１６が張り付けまた
は埋め込みにより設けられている。右側壁１０ｄのＦＯ
ＵＰ１０内側には、閉じられた状態で、開口部１０ｅを
塞ぐとともにパッキン１６と密着するように、ウェハ検
知用扉１２の一辺がバネ１７によって開閉可能に取り付
けられており、ウェハ検知用扉１２は、後述するウェハ
検知センサ１８によってＦＯＵＰ１０内方向に押された
際にバネ１７が伸びて開き、ウェハ検知センサ１８をＦ
ＯＵＰ１０内から引き抜いた際にバネ１７が縮んで自動
的に閉じるように構成されている。これにより、ウェハ
検知用扉１２と開口部１０ｅとのすき間からＦＯＵＰ１
０内に外部の雰囲気が入り込むことがなく、気密性が保
持されている。
形の開口部１０ｅが形成されており、開口部１０ｅのＦ
ＯＵＰ１０内側の全周にはパッキン１６が張り付けまた
は埋め込みにより設けられている。右側壁１０ｄのＦＯ
ＵＰ１０内側には、閉じられた状態で、開口部１０ｅを
塞ぐとともにパッキン１６と密着するように、ウェハ検
知用扉１２の一辺がバネ１７によって開閉可能に取り付
けられており、ウェハ検知用扉１２は、後述するウェハ
検知センサ１８によってＦＯＵＰ１０内方向に押された
際にバネ１７が伸びて開き、ウェハ検知センサ１８をＦ
ＯＵＰ１０内から引き抜いた際にバネ１７が縮んで自動
的に閉じるように構成されている。これにより、ウェハ
検知用扉１２と開口部１０ｅとのすき間からＦＯＵＰ１
０内に外部の雰囲気が入り込むことがなく、気密性が保
持されている。
【００１０】図５に示されるように、ウェハ検知センサ
１８は、直方体の基部１８ａの長手方向に複数個の板状
の透過型センサ１８ｂが互いに平行に所定間隔を空けて
配置されている櫛形の形状を有しており、センサ光がウ
ェハ１４で遮られることによりウェハ１４有りの信号を
出力するように構成されている。
１８は、直方体の基部１８ａの長手方向に複数個の板状
の透過型センサ１８ｂが互いに平行に所定間隔を空けて
配置されている櫛形の形状を有しており、センサ光がウ
ェハ１４で遮られることによりウェハ１４有りの信号を
出力するように構成されている。
【００１１】次に、図１の（１）〜（３）の番号にした
がってウェハ１４の検知方法について説明する。 （１）ウェハ検知センサ１８を、これの透過型センサ１
８ｂがウェハ検知用扉１２の方向を向くようにし、基部
１８ａの長手方向をウェハ検知用扉１２の長手方向と揃
えてウェハ検知用扉１２方向に移動させる。 （２）ウェハ検知センサ１８の透過型センサ１８ｂの先
端がウェハ検知用扉１２に接すると、ウェハ検知用扉１
２がウェハ検知用センサ１８に押されて開き、透過型セ
ンサ１８ｂがＦＯＵＰ１０内に挿入される。 （３）ウェハ検知センサ１８をＦＯＵＰ１０内に完全に
挿入すると、透過型センサ１８ｂがウェハ１４間のすき
間に挿入され、ウェハ１４を検知する。ここで、透過型
センサ１８ｂのセンサ光がウェハ１４で遮られた場合、
ウェハ１４有り信号を出力し、遮られなかった場合、ウ
ェハ１４無し信号を出力する。
がってウェハ１４の検知方法について説明する。 （１）ウェハ検知センサ１８を、これの透過型センサ１
８ｂがウェハ検知用扉１２の方向を向くようにし、基部
１８ａの長手方向をウェハ検知用扉１２の長手方向と揃
えてウェハ検知用扉１２方向に移動させる。 （２）ウェハ検知センサ１８の透過型センサ１８ｂの先
端がウェハ検知用扉１２に接すると、ウェハ検知用扉１
２がウェハ検知用センサ１８に押されて開き、透過型セ
ンサ１８ｂがＦＯＵＰ１０内に挿入される。 （３）ウェハ検知センサ１８をＦＯＵＰ１０内に完全に
挿入すると、透過型センサ１８ｂがウェハ１４間のすき
間に挿入され、ウェハ１４を検知する。ここで、透過型
センサ１８ｂのセンサ光がウェハ１４で遮られた場合、
ウェハ１４有り信号を出力し、遮られなかった場合、ウ
ェハ１４無し信号を出力する。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、ＦＯＵ
Ｐの蓋を開けなくてもウェハ検知用扉からウェハ検知セ
ンサを挿入することによりウェハの検知を行うことがで
きるため、検知時間を短縮することができ、装置運用の
スループットを向上させることができる。
Ｐの蓋を開けなくてもウェハ検知用扉からウェハ検知セ
ンサを挿入することによりウェハの検知を行うことがで
きるため、検知時間を短縮することができ、装置運用の
スループットを向上させることができる。
【図１】本発明を実施したＦＯＵＰの平面図である。
【図２】ＦＯＵＰの分解斜視図である。
【図３】ＦＯＵＰの側面図である。
【図４】ウェハ検知用扉の斜視図である。
【図５】ウェハ検知センサの斜視図である。
【図６】従来装置のウェハを検知するときの動作を示す
図である。
図である。
１０ ＦＯＵＰ １０ａ カセット部 １０ｄ 右側壁 １０ｅ 開口部 １２ ウェハ検知用扉 １４ ウェハ １６ パッキン １７ バネ １８ ウェハ検知センサ
Claims (1)
- 【請求項１】 ウェハが収納される気密収納可能なＦＯ
ＵＰ内のウェハ情報をウェハ検知センサによって検知す
るウェハ検知方法において、 ＦＯＵＰの壁には、該ＦＯＵＰ内の気密性を損なわない
ように構成された扉であるウェハ検知用扉が設けられて
おり、該ウェハ検知用扉からウェハ検知センサを挿入し
たり引き出したりすることができるようにしたことを特
徴とするウェハ検知方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8041499A JP2000277590A (ja) | 1999-03-24 | 1999-03-24 | ウェハ検知方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8041499A JP2000277590A (ja) | 1999-03-24 | 1999-03-24 | ウェハ検知方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000277590A true JP2000277590A (ja) | 2000-10-06 |
Family
ID=13717645
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8041499A Withdrawn JP2000277590A (ja) | 1999-03-24 | 1999-03-24 | ウェハ検知方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000277590A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6738142B2 (en) * | 2001-02-28 | 2004-05-18 | International Business Machines Corporation | Integrated wafer cassette metrology assembly |
| CN110473819A (zh) * | 2018-05-11 | 2019-11-19 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 一种开门装置、传输腔室和半导体处理设备 |
| CN111725098A (zh) * | 2020-06-09 | 2020-09-29 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 真空结构及新型晶圆传送盒门打开机构 |
-
1999
- 1999-03-24 JP JP8041499A patent/JP2000277590A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6738142B2 (en) * | 2001-02-28 | 2004-05-18 | International Business Machines Corporation | Integrated wafer cassette metrology assembly |
| CN110473819A (zh) * | 2018-05-11 | 2019-11-19 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 一种开门装置、传输腔室和半导体处理设备 |
| CN111725098A (zh) * | 2020-06-09 | 2020-09-29 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 真空结构及新型晶圆传送盒门打开机构 |
| CN111725098B (zh) * | 2020-06-09 | 2023-09-08 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 真空结构及新型晶圆传送盒门打开机构 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20060606 |