JP2000275173A - アイソトポマー吸収分光分析装置及びその方法 - Google Patents

アイソトポマー吸収分光分析装置及びその方法

Info

Publication number
JP2000275173A
JP2000275173A JP8489899A JP8489899A JP2000275173A JP 2000275173 A JP2000275173 A JP 2000275173A JP 8489899 A JP8489899 A JP 8489899A JP 8489899 A JP8489899 A JP 8489899A JP 2000275173 A JP2000275173 A JP 2000275173A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
absorption
isotopomer
isotope
ratio
different
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP8489899A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4312294B2 (ja
Inventor
Kiyoji Uehara
喜代治 上原
Hisahiro Yoshida
尚弘 吉田
Tomoyuki Kikukawa
知之 菊川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Anritsu Corp
Japan Science and Technology Agency
Original Assignee
Anritsu Corp
Japan Science and Technology Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to JP08489899A priority Critical patent/JP4312294B2/ja
Application filed by Anritsu Corp, Japan Science and Technology Corp filed Critical Anritsu Corp
Priority to EP20000911279 priority patent/EP1167949B1/en
Priority to PCT/JP2000/001743 priority patent/WO2000058712A1/ja
Priority to DE60042644T priority patent/DE60042644D1/de
Priority to AU33249/00A priority patent/AU3324900A/en
Priority to US09/936,946 priority patent/US6611333B1/en
Priority to RU2001128776A priority patent/RU2223479C2/ru
Publication of JP2000275173A publication Critical patent/JP2000275173A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4312294B2 publication Critical patent/JP4312294B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/01Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
    • G01N21/03Cuvette constructions
    • G01N21/031Multipass arrangements
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/3103Atomic absorption analysis
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/35Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
    • G01N21/3504Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing gases, e.g. multi-gas analysis
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/39Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using tunable lasers
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2201/00Features of devices classified in G01N21/00
    • G01N2201/06Illumination; Optics
    • G01N2201/066Modifiable path; multiple paths in one sample
    • G01N2201/0668Multiple paths; optimisable path length

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Optical Measuring Cells (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 異なる同位体種に対して吸収信号レベルが同
程度となるようにすることにより、同位体比の精密な測
定を行うことができるアイソトポマー吸収分光分析装置
及びその方法を提供する。 【解決手段】 アイソトポマー吸収分光分析装置におい
て、長さの異なる複数の光路をとりうる試料セル21を
設け、この試料セル21に複数の光ビームA,Bを、長
さの異なった光路上を進むように入射させて異なった光
路長をとり、吸収信号強度の比から分子内の同位体存在
比を測定する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、環境計測を始めと
する理学分野、診断目的の医療分野などへの応用を目的
として、分子の起源を推定するための、分子内に同位体
を含む分子種であるアイソトポマーを精密に計測するた
めの、アイソトポマー吸収分光分析装置及びその方法に
関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来の吸収分光分析装置では、試料セル
内の光路は単一であった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】そのため、同位体存在
比が1:1から大きく離れている場合には、同位体種に
より、吸収信号レベルが大きく異なる。例えば、天然の
CH4 において12CH413CH4 の存在比は略10
0:1であり、したがって、吸収信号レベルが略2桁異
なる。その結果、同位体比の精密な測定が困難であると
いう問題があった。
【0004】本発明は、上記問題点を除去し、異なる同
位体分子種に対して吸収信号レベルが同程度となるよう
にすることにより、同位体比の精密な測定を行うことが
できるアイソトポマー吸収分光分析装置及びその方法を
提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、 〔1〕アイソトポマー吸収分光分析装置において、長さ
の異なる複数の光路をとりうる試料セルを設け、この試
料セルに複数の光ビームを、長さの異なった光路上を進
むように入射させて異なった光路長をとり、吸収信号強
度の比から分子内の同位体存在比を測定するようにした
ものである。
【0006】〔2〕上記〔1〕記載のアイソトポマー吸
収分光分析装置において、前記複数の光ビームは、波長
を掃引できる単一の光源、あるいは波長を固定、または
掃引できる複数の光源から得るようにしたものである。
【0007】〔3〕上記〔1〕記載のアイソトポマー吸
収分光分析装置において、前記試料セルは、一組の反射
鏡を有する多重反射吸収セルである。
【0008】〔4〕アイソトポマー吸収分光分析方法に
おいて、長さの異なる複数の光路をとりうる試料セルを
用いて、異なる同位体分子種に対して吸収信号レベルが
同程度となるようにすることにより、同位体比の精密な
測定を行うようにしたものである。
【0009】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照しながら詳細に説明する。
【0010】図1は本発明の実施例を示すアイソトポマ
ー吸収分光分析システムの構成図であり、複数光路を利
用したレーザー分光法による。
【0011】この図において、1は第1の周波数制御及
び変調装置、2は第1のレーザーダイオードLD1
3,4,5は反射ミラー、6は第1の光検出器D1 、7
は第1の信号復調器、11は第2の周波数制御及び変調
装置、12は第2のレーザーダイオードLD2 、13,
14,15,16は反射ミラー、17は第2の光検出器
2 、18は第2の信号復調器、19は信号処理装置、
21は長光路セル(試料セル:多重反射吸収セル)、2
2,23は一組の反射鏡、31は検査試料(12CH4
13CH4 との存在比が未知)、32は標準試料(12CH
4 13CH4 との存在比が既知)、33,34,35は
制御バルブである。
【0012】なお、長光路セル21において、実線は長
い光路を、点線は短い光路を示している。光路の長さ
(反射の回数で決まる)は、光線の入射角度又はミラー
の調整で決まる。
【0013】複数の光源からの光ビームA,Bを、一組
の反射鏡22,23を有する長光路セル21としての多
重反射吸収セルに、異なった角度で入射させることによ
り、異なった光路長を実現できる。例えば、1mと10
0mである。これにより、存在比に見合った光路差をつ
けることができる。
【0014】アイソトポマー(同位体分子種)の存在比
は、その物質の生成起源等によりかなり差がある。した
がって、世界各地で収集された試料のアイソトポマー存
在比の精密な測定から、環境物質の生成、移動、消滅の
詳細な解析が可能になる。
【0015】本発明は、従来からのアイソトポマー分析
法である質量分析法を補う手段として極めて有効であ
る。この方法では、両アイソトポマーの吸収信号の大き
さの比を測り、標準試料32のそれと比較する。
【0016】測定例として、大気中のメタンの13CH4
12CH4 比の測定を行った。この比はほぼ1/100
であるが、同程度の絶対吸収信号を得るには、(1)13
CH 4 の強い線と12CH4 の弱い線を組み合わせる、
(2)両者とも強い線を用い光路長に差をつける、のい
ずれかの方法がある。ここでは、変形Herriott
長光路セル(New Focus社製)と、2つの波長
安定化半導体レーザー(レーザーダイオード)を用い、
本発明の装置と方法を用いて、上記(2)の方法により
測定した。光路長は100mと1.1mである。
【0017】なお、上記実施例では、光源として、複数
の光源からの光ビームを用いるようにしたが、図2に示
すように、単一の光源(レーザーダイオードLD)42
から半透鏡43を用いて分けた複数の光ビームを用いる
ようにしてもよい。なお、41は周波数制御及び変調装
置、44,45は反射ミラーであり、第1実施例と同じ
部分については、同じ符号を付してその説明は省略す
る。
【0018】また、上記実施例では、長さの異なる複数
の光路は、反射鏡を有するものとして説明したが、これ
に限定されるものではなく、セルの形を、例えば、図3
に示すように、短い光路部51と長い光路部52を有す
るセル構造にするようにしてもよい。
【0019】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能
であり、これらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
【0020】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、長さの異なる複数の光路をとりうる試料セルを
用いることにより、異なる同位体種に対して吸収信号レ
ベルを同程度になし、同位体存在比を精密に測定するこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例を示すアイソトポマー吸収分光
分析システムの構成図である。
【図2】本発明の実施例を示すアイソトポマー吸収分光
分析システムの光源の変形例を示す図である。
【図3】本発明の実施例を示すアイソトポマー吸収分光
分析システムのセルの変形例を示す図である。
【符号の説明】
1 第1の周波数制御及び変調装置 2 第1のレーザーダイオードLD1 3,4,5,13,14,15,16,44,45
反射ミラー 6 第1の光検出器D1 7 第1の信号復調器 11 第2の周波数制御及び変調装置 12 第2のレーザーダイオードLD2 17 第2の光検出器D2 18 第2の信号復調器 19 信号処理装置 21 長光路セル(試料セル:多重反射吸収セル) 22,23 一組の反射鏡 31 検査試料(12CH4 13CH4 との存在比が未
知) 32 標準試料(12CH4 13CH4 との存在比が既
知) 33,34,35 制御バルブ 41 周波数制御及び変調装置 42 レーザーダイオードLD 43 半透鏡 51 短い光路部 52 長い光路部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 菊川 知之 東京都港区南麻布五丁目10番27号 アンリ ツ株式会社内 Fターム(参考) 2G057 AA01 AB04 AB07 AC03 BA01 DA11 DA13 DC01 2G059 AA01 BB01 DD13 EE11 FF08 GG01 GG02 GG09 JJ13 LL01 LL02

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 アイソトポマー吸収分光分析装置におい
    て、(a)長さの異なる複数の光路をとりうる試料セル
    を設け、(b)該試料セルに複数の光ビームを、長さの
    異なった光路上を進むように入射させて異なった光路長
    をとり、吸収信号強度の比から分子内の同位体存在比を
    測定することを特徴とするアイソトポマー吸収分光分析
    装置。
  2. 【請求項2】 請求項1記載のアイソトポマー吸収分光
    分析装置において、前記複数の光ビームは、波長を掃引
    できる単一の光源、あるいは波長を固定、または掃引で
    きる複数の光源から得ることを特徴とするアイソトポマ
    ー吸収分光分析装置。
  3. 【請求項3】 請求項1記載のアイソトポマー吸収分光
    分析装置において、前記試料セルは、一組の反射鏡を有
    する多重反射吸収セルであることを特徴とするアイソト
    ポマー吸収分光分析装置。
  4. 【請求項4】 アイソトポマー吸収分光分析方法でおい
    て、長さの異なる複数の光路をとりうる試料セルを用い
    て、異なる同位体種に対して吸収信号レベルが同程度と
    なるようにすることにより、同位体比の精密な測定を行
    うことを特徴とするアイソトポマー吸収分光分析方法。
JP08489899A 1999-03-26 1999-03-26 アイソトポマー吸収分光分析装置及びその方法 Expired - Fee Related JP4312294B2 (ja)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP08489899A JP4312294B2 (ja) 1999-03-26 1999-03-26 アイソトポマー吸収分光分析装置及びその方法
PCT/JP2000/001743 WO2000058712A1 (fr) 1999-03-26 2000-03-22 Analyseur spectral d'absorption d'isotopomere et son procede
DE60042644T DE60042644D1 (de) 1999-03-26 2000-03-22 Vorrichtung und verfahren zur spektralen analyse der absorption von isotopomeren
AU33249/00A AU3324900A (en) 1999-03-26 2000-03-22 Isopotomer absorption spectral analyzer and its method
EP20000911279 EP1167949B1 (en) 1999-03-26 2000-03-22 Isotopomer absorption spectral analyzer and its method
US09/936,946 US6611333B1 (en) 1999-03-26 2000-03-22 Isopotomer absorption spectral analyzer and its method
RU2001128776A RU2223479C2 (ru) 1999-03-26 2000-03-22 Способ и устройство для анализа изотопсодержащих молекул по спектру поглощения

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP08489899A JP4312294B2 (ja) 1999-03-26 1999-03-26 アイソトポマー吸収分光分析装置及びその方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2000275173A true JP2000275173A (ja) 2000-10-06
JP4312294B2 JP4312294B2 (ja) 2009-08-12

Family

ID=13843568

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP08489899A Expired - Fee Related JP4312294B2 (ja) 1999-03-26 1999-03-26 アイソトポマー吸収分光分析装置及びその方法

Country Status (7)

Country Link
US (1) US6611333B1 (ja)
EP (1) EP1167949B1 (ja)
JP (1) JP4312294B2 (ja)
AU (1) AU3324900A (ja)
DE (1) DE60042644D1 (ja)
RU (1) RU2223479C2 (ja)
WO (1) WO2000058712A1 (ja)

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001074653A (ja) * 1999-08-31 2001-03-23 Mitsubishi Heavy Ind Ltd ガス濃度計測装置及び燃焼炉
JP2010107231A (ja) * 2008-10-28 2010-05-13 Panasonic Electric Works Co Ltd 赤外光ガスセンサ
JP2010243269A (ja) * 2009-04-03 2010-10-28 Riken Keiki Co Ltd マルチパスセルおよびガス測定器
JP2010243270A (ja) * 2009-04-03 2010-10-28 Riken Keiki Co Ltd 複合型マルチパスセルおよびガス測定器
WO2011126476A1 (en) * 2010-04-06 2011-10-13 Utc Fire & Security Corporation Toxic gas detector
JP2015129653A (ja) * 2014-01-06 2015-07-16 富士電機株式会社 ガス分析計
WO2016047168A1 (ja) * 2014-09-22 2016-03-31 株式会社 東芝 ガス分析装置及びガス処理装置
JP2017527795A (ja) * 2014-08-15 2017-09-21 テノヴァ・グッドフェロー・インコーポレイテッド 含塵工業オフガスの化学成分を分析するためのシステムおよび方法
JP2019074521A (ja) * 2017-10-16 2019-05-16 株式会社堀場製作所 分析装置
KR102056799B1 (ko) * 2017-10-31 2019-12-18 한국생산기술연구원 다종가스 동시 측정 tdlas 자동 정렬 시스템
KR102056794B1 (ko) * 2017-10-31 2019-12-18 한국생산기술연구원 미세 광경로를 이용한 다종가스 동시 측정 tdlas 정렬 시스템

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1329727C (zh) * 2002-10-01 2007-08-01 西南铝业(集团)有限责任公司 多元素铝光谱标准样品及其制备方法
DE102004035916B4 (de) * 2004-07-23 2007-10-18 Prof. Dr. Karl-Heinz Gericke Technische Universität Braunschweig Institut für Physikalische und Theoretische Chemie Verfahren zur isotopenselektiven Bestimmung von Stickstoffmonoxid-Konzentrationen
WO2007080398A1 (en) * 2006-01-10 2007-07-19 Gas Sensing Solutions Limited Differentiating gas sensor
EP1887342A1 (en) * 2006-08-11 2008-02-13 Geoservices Device for quantifiying the relative contents of two isotopes of at least one specific gaseous constituent contained in a gaseous sample from a fluid related assembly and process.
GB201004353D0 (en) * 2010-03-16 2010-04-28 Cascade Technologies Ltd Multiple pathlength gas cell
GB201009327D0 (en) 2010-06-03 2010-07-21 Duvas Technologies Ltd Optical absorption spectroscopy
DE102014010712A1 (de) * 2014-07-19 2016-01-21 Paragon Ag "Gassensoranordnung zur Messung einer Zielgaskonzentration"
US9689795B2 (en) 2015-03-25 2017-06-27 General Electric Company Methods and systems to analyze a gas-mixture

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5342890A (en) * 1976-09-30 1978-04-18 Nippon Bunko Kogyo Kk Measuring method of methabolism function of organ
DE4012454C1 (ja) * 1990-04-19 1991-08-08 Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung E.V., 8000 Muenchen, De
DE4214840A1 (de) * 1992-05-05 1993-11-11 Draegerwerk Ag Vorrichtung zur gleichzeitigen Analyse verschiedener Bestandteile eines Fluids
JPH08304282A (ja) * 1995-04-28 1996-11-22 Jasco Corp ガス分析装置
JP3274605B2 (ja) * 1996-05-01 2002-04-15 日本無線株式会社 炭素同位体分析装置
FI101749B (fi) * 1996-12-30 1998-08-14 Instrumentarium Oy Kaasukomponentin pitoisuuden tarkka mittaaminen kaasuseoksessa, jossa muut komponentit vaikuttavat pitoisuusmääritykseen
JP3014652B2 (ja) * 1997-01-14 2000-02-28 大塚製薬株式会社 同位体ガス分光測定方法
IL121793A (en) * 1997-09-17 2008-06-05 Lewis Coleman Isotopic gas analyzer

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001074653A (ja) * 1999-08-31 2001-03-23 Mitsubishi Heavy Ind Ltd ガス濃度計測装置及び燃焼炉
JP2010107231A (ja) * 2008-10-28 2010-05-13 Panasonic Electric Works Co Ltd 赤外光ガスセンサ
JP2010243269A (ja) * 2009-04-03 2010-10-28 Riken Keiki Co Ltd マルチパスセルおよびガス測定器
JP2010243270A (ja) * 2009-04-03 2010-10-28 Riken Keiki Co Ltd 複合型マルチパスセルおよびガス測定器
WO2011126476A1 (en) * 2010-04-06 2011-10-13 Utc Fire & Security Corporation Toxic gas detector
JP2015129653A (ja) * 2014-01-06 2015-07-16 富士電機株式会社 ガス分析計
JP2020112567A (ja) * 2014-08-15 2020-07-27 テノヴァ・グッドフェロー・インコーポレイテッド 含塵工業オフガスの化学成分を分析するためのシステムおよび方法
JP7022777B2 (ja) 2014-08-15 2022-02-18 テノヴァ・グッドフェロー・インコーポレイテッド 含塵工業オフガスの化学成分を分析するためのシステムおよび方法
JP2017527795A (ja) * 2014-08-15 2017-09-21 テノヴァ・グッドフェロー・インコーポレイテッド 含塵工業オフガスの化学成分を分析するためのシステムおよび方法
WO2016047168A1 (ja) * 2014-09-22 2016-03-31 株式会社 東芝 ガス分析装置及びガス処理装置
JPWO2016047168A1 (ja) * 2014-09-22 2017-04-27 株式会社東芝 ガス分析装置及びガス処理装置
JP2019074521A (ja) * 2017-10-16 2019-05-16 株式会社堀場製作所 分析装置
JP7075862B2 (ja) 2017-10-16 2022-05-26 株式会社堀場製作所 分析装置
KR102056799B1 (ko) * 2017-10-31 2019-12-18 한국생산기술연구원 다종가스 동시 측정 tdlas 자동 정렬 시스템
KR102056794B1 (ko) * 2017-10-31 2019-12-18 한국생산기술연구원 미세 광경로를 이용한 다종가스 동시 측정 tdlas 정렬 시스템

Also Published As

Publication number Publication date
EP1167949A1 (en) 2002-01-02
DE60042644D1 (de) 2009-09-10
RU2223479C2 (ru) 2004-02-10
WO2000058712A1 (fr) 2000-10-05
JP4312294B2 (ja) 2009-08-12
EP1167949B1 (en) 2009-07-29
AU3324900A (en) 2000-10-16
EP1167949A4 (en) 2007-04-11
US6611333B1 (en) 2003-08-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2000275173A (ja) アイソトポマー吸収分光分析装置及びその方法
US4508832A (en) Ellipsometrically measuring rate of optical change in immunoassay
CN108020504B (zh) 基于量子弱测量的光学测量仪以及样品折射率、旋光谱和手性分子对映体含量测量分析方法
JP2511057B2 (ja) スペクトル分析方法及び装置
JP2879141B2 (ja) 濃度測定装置およびその方法
CN109060683A (zh) 双波长光谱仪
EP0085978B1 (en) Method of and apparatus for measuring the thickness and the refractive index of transparent materials
KR100238215B1 (ko) 웨이퍼 표면분석 장치 및 이를 이용한 웨이퍼 표면 분석방법
JPH11211654A (ja) 偏光解析装置
US11868054B2 (en) Optical metrology system and method
US6411388B1 (en) System and method for frequency domain interferometric second harmonic spectroscopy
JP4119385B2 (ja) 光熱変換測定装置
JPH11173982A (ja) 血清中蛋白質濃度の測定方法および装置
JP3787332B2 (ja) 熱レンズ吸光分析装置
JP2004347412A (ja) ゲル状試料用分光測定装置
JPH0219897B2 (ja)
US20230228709A1 (en) Capillary electrophoresis device
JPH11101739A (ja) エリプソメトリ装置
JPH04270943A (ja) 分光分析装置
SU1067449A1 (ru) Когерентный оптический анализатор пространственных спектров двумерных сигналов
JPH075400Y2 (ja) マルチチャンネルカース測定装置
SU819641A1 (ru) Устройство дл автоматическогоАНАлизА гАзОВыХ пРОб
CN116124756A (zh) 基于拉曼光谱与近红外光谱联用的光谱仪装置
JP2001242012A (ja) 干渉計及び分光分析計
JPS61233326A (ja) 多波長同時測光光度計

Legal Events

Date Code Title Description
A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712

Effective date: 20031031

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20040129

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060316

A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711

Effective date: 20070226

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20070226

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090217

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090401

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20090512

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20090513

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120522

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120522

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130522

Year of fee payment: 4

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees