JP2000273275A - Insulating resin composition and circuit board containing insulation film formed thereof - Google Patents

Insulating resin composition and circuit board containing insulation film formed thereof

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JP2000273275A
JP2000273275A JP11080159A JP8015999A JP2000273275A JP 2000273275 A JP2000273275 A JP 2000273275A JP 11080159 A JP11080159 A JP 11080159A JP 8015999 A JP8015999 A JP 8015999A JP 2000273275 A JP2000273275 A JP 2000273275A
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epoxy resin
resin
composition
insulating film
circuit board
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Takeshi Ishizuka
剛 石塚
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Fujitsu Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain the subject composition containing no impurities including halogens, causing no insulation drop of the insulation films therefrom, and useful for insulation films for build-up circuit boards by including an alicyclic epoxy resin, an epoxy curing agent, and a polybutadiene compound, etc. SOLUTION: This composition is obtained by including (A) an alicyclic epoxy resin, (B) an epoxy curing agent intended for the resin A, (C) a polybutadiene compound, silica powder, or a monomer or precursor capable of forming a polyimide or polyetherimide when heated; wherein the component A which is an epoxy resin having a cyclohexane skeleton, is pref. a bifunctional epoxy resin, trifunctional epoxy resin, tetrafunctional epoxy resin, or a mixture of two or more thereof; and the component B is pref. a phenol novolak resin or acid anhydride, or a mixture of a silanol-contg. compound and a metal-contg. compound.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、マルチチップモジ
ュールタイプのラミネート・アンド・デポジション法で
作製された基板(MCM−L/D基板)やシグナルチッ
プパッケージ基板を含む多層回路基板分野に関し、具体
的には、そうした多層回路基板を製造するのに用いられ
る絶縁性樹脂組成物、及び当該樹脂組成物により形成し
た絶縁膜を含む多層回路基板に関する。この樹脂組成物
は、めっきによる配線形成に有効なものであり、特にビ
ルドアップ回路基板用絶縁膜として有用である。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to the field of multilayer circuit boards including a multichip module type board (MCM-L / D board) and a signal chip package board manufactured by a laminate and deposition method. Specifically, the present invention relates to an insulating resin composition used for manufacturing such a multilayer circuit board, and a multilayer circuit board including an insulating film formed by the resin composition. This resin composition is effective for forming a wiring by plating, and is particularly useful as an insulating film for a build-up circuit board.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、電子部品をコンパクトに電子
機器に組み込むのにプリント基板が一般的に使用されて
いる。このプリント基板は、積層板に張り合わせた銅箔
を電子回路パターンに従ってエッチングして作製される
ものであり、電子部品を高密度に実装することは困難で
あるが、コスト面で有利である。また、ハイブリッドI
C用の回路基板としては、ビルドアップ多層配線構造の
基板が古くから用いられてきた。このビルドアップ多層
配線回路基板は、セラミック基板上に導体と絶縁体の厚
膜ペーストを順次印刷して積み重ね、焼成して製造され
るものである。
2. Description of the Related Art Conventionally, printed circuit boards have been generally used for compactly incorporating electronic components into electronic equipment. This printed board is manufactured by etching a copper foil bonded to a laminate according to an electronic circuit pattern, and it is difficult to mount electronic components at high density, but it is advantageous in terms of cost. Hybrid I
As a circuit board for C, a board having a build-up multilayer wiring structure has been used for a long time. This build-up multilayer wiring circuit board is manufactured by sequentially printing and stacking a thick film paste of a conductor and an insulator on a ceramic substrate, followed by firing.

【0003】一方、電子機器に対する小型化、高性能化
及び低価格化などの要求に伴い、近年、プリント基板の
電子回路の微細化、多層化、及び電子部品の高密度実装
化が急速に進み、プリント基板に対してもビルドアップ
多層配線構造の検討が活発化してきた。
On the other hand, along with demands for downsizing, high performance, and low cost of electronic devices, in recent years, electronic circuits on printed circuit boards have been miniaturized, multilayered, and electronic components have been mounted at a high density. Also, studies on build-up multilayer wiring structures for printed circuit boards have been activated.

【0004】ビルドアップ多層配線回路基板において
は、ビルトアップ用絶縁膜が電子回路の層間に形成され
る。この絶縁膜は、上層と下層の電子回路を接続すべき
箇所(一般に「ビアホール」と称される部分)を除いた
基板の全面に、皮膜として形成される。
In a build-up multilayer wiring circuit board, a build-up insulating film is formed between electronic circuit layers. This insulating film is formed as a film on the entire surface of the substrate except for a portion where the upper and lower electronic circuits are to be connected (a portion generally called a “via hole”).

【0005】従来のビルドアップ構造の多層回路基板の
作製プロセスの一例を具体的に説明すると、まず、配線
パターンと絶縁樹脂で穴埋めしたスルーホールを持つ両
面配線板をコア基板として用意する。次に、感光性樹脂
をコア基板の両面の全体に塗布し、露光、現像して、所
定パターンのビアホールを備えた絶縁膜を形成する。次
いで、この絶縁膜の上に無電解めっき・電解めっきで導
体層を形成し、これをエッチングして配線パターンを形
成する。その後、必要に応じて、絶縁膜の形成から配線
パターンの形成までの工程を繰り返して、多層配線構造
を作製する。
An example of a conventional process for manufacturing a multilayer circuit board having a build-up structure will be specifically described. First, a double-sided wiring board having a wiring pattern and through holes filled with insulating resin is prepared as a core substrate. Next, a photosensitive resin is applied to both sides of the core substrate, and is exposed and developed to form an insulating film having a predetermined pattern of via holes. Next, a conductor layer is formed on the insulating film by electroless plating and electrolytic plating, and this is etched to form a wiring pattern. Thereafter, if necessary, the steps from the formation of the insulating film to the formation of the wiring pattern are repeated to produce a multilayer wiring structure.

【0006】絶縁膜を形成するための感光性樹脂として
は、最近では希薄アルカリ水溶液で現像可能な感光性組
成物が用いられている。そのようなアルカリ現像型感光
性樹脂組成物としては、例えば、エポキシ樹脂に不飽和
モノカルボン酸を反応させ、更に多塩基酸無水物を付加
させた反応生成物をベースポリマーとする感光性組成物
(特公昭56−40329号公報及び特公昭57−45
785号公報)が知られており、また、ノボラック型エ
ポキシ樹脂を用い耐熱性、耐薬品性を向上させたアルカ
リ現像型感光性組成物(特開昭61−243869号公
報)なども用いられている。
As a photosensitive resin for forming an insulating film, a photosensitive composition that can be developed with a dilute alkaline aqueous solution has recently been used. Examples of such an alkali-developable photosensitive resin composition include, for example, a photosensitive composition having a reaction product obtained by reacting an unsaturated monocarboxylic acid with an epoxy resin and further adding a polybasic acid anhydride as a base polymer. (JP-B-56-40329 and JP-B-57-45)
No. 785) is known, and an alkali developing type photosensitive composition (JP-A-61-243869) using a novolak type epoxy resin and having improved heat resistance and chemical resistance is also used. I have.

【0007】ビルドアップ法では、樹脂絶縁膜上に導体
により配線パターンを形成する際に、樹脂絶縁膜と導体
との密着性向上のため樹脂絶縁膜の表面を粗化した後、
無電解めっきを施す方法が一般的に用いられる。樹脂絶
縁膜の表面粗化のためには、従来より、絶縁膜の配線パ
ターン形成面に化学的エッチングによって微細な孔を設
ける方法が知られている。具体的には、絶縁膜中に酸あ
るいはアルカリによって可溶な粒子、すなわちフィラー
成分を添加しておき、酸又はアルカリによるエッチング
処理(表面粗化処理)によってフィラーを溶解又は脱離
して絶縁膜の表面に穴を形成するものである。このフィ
ラー成分としては、例えば、炭酸カルシウムを用いるこ
とができる。この方法によれば、絶縁膜表面に形成した
穴に導体としてめっきされる金属が入り込み、そのアン
カー効果によって導体と樹脂絶縁膜間の密着力が向上す
る。
In the build-up method, when a wiring pattern is formed by a conductor on a resin insulating film, the surface of the resin insulating film is roughened to improve adhesion between the resin insulating film and the conductor.
A method of performing electroless plating is generally used. In order to roughen the surface of a resin insulating film, a method of forming fine holes by chemical etching on a wiring pattern forming surface of the insulating film has been conventionally known. Specifically, particles soluble in an insulating film by an acid or an alkali, ie, a filler component, are added to the insulating film, and the filler is dissolved or desorbed by an etching treatment (a surface roughening treatment) with an acid or an alkali to form an insulating film. A hole is formed on the surface. As the filler component, for example, calcium carbonate can be used. According to this method, the metal plated as a conductor enters the hole formed on the surface of the insulating film, and the adhesion between the conductor and the resin insulating film is improved by the anchor effect.

【0008】従来は、絶縁膜の膜厚(通常40〜100
μm)を考慮し、平均粒径(累積分布の50%に相当す
る粒子径)が1〜10μm程度のフィラーを用いてき
た。これらのフィラーは通常、天然の鉱物(例えば、石
灰石)を粉砕・分級したもの(例えば、重質炭酸カルシ
ウム)である。
Conventionally, the thickness of an insulating film (usually 40 to 100
μm), fillers having an average particle size (particle size corresponding to 50% of the cumulative distribution) of about 1 to 10 μm have been used. These fillers are usually those obtained by grinding and classifying natural minerals (eg, limestone) (eg, heavy calcium carbonate).

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】ビルドアップ用絶縁膜
に用いられる従来のエポキシ樹脂は、合成の過程で塩素
を使用(出発物質としてエピクロロヒドリンのような塩
素含有化合物を使用)しており、塩素が最終生成物中に
不純物として残る。このため、これらのエポキシ樹脂を
用いてビルドアップ回路基板の絶縁層を形成した場合、
不純物塩素により基板の絶縁性が低下するという問題が
ある。
The conventional epoxy resin used for the insulating film for build-up uses chlorine in the synthesis process (uses a chlorine-containing compound such as epichlorohydrin as a starting material). , Chlorine remains as an impurity in the final product. For this reason, when the insulating layer of the build-up circuit board is formed using these epoxy resins,
There is a problem that the insulating property of the substrate is reduced by the impurity chlorine.

【0010】また、近年の電子回路の微細化、多層化、
及び電子部品の高密度実装化に伴い、ビアホールの形成
に高解像度が要求されて最近では直径50μm前後のビ
アホールも検討されている一方、多層回路基板を構成す
る膜についても薄膜化が進んでいる。絶縁膜の膜厚は通
常40〜100μm程度であるが、最近では20μm前
後の絶縁膜まで開発されつつある。このようなより薄膜
化する絶縁膜では、絶縁信頼性の確保が特に重要であ
り、そのために樹脂中の不純物の低減が重要になる。
In recent years, electronic circuits have been miniaturized and multilayered.
In addition, with high density mounting of electronic components, high resolution is required for formation of via holes. Via holes having a diameter of about 50 μm have been studied recently, and films constituting a multilayer circuit board are also becoming thinner. . The thickness of the insulating film is usually about 40 to 100 μm, but recently an insulating film having a thickness of about 20 μm is being developed. In such a thinner insulating film, it is particularly important to ensure insulation reliability, and therefore, it is important to reduce impurities in the resin.

【0011】更に、このような薄膜化の進む絶縁膜にお
いて、これまで用いてきた通常のフィラー(天然の鉱物
を粉砕・分級した、平均粒径1〜10μm程度の粒子)
を用いると、一般的に行われている銅めっきによる配線
層形成時の湿式粗化によって絶縁膜に過大な穴が開き、
絶縁性が低下してしまうという問題が生じる。
[0011] Further, in such an insulating film whose thickness is reduced, a usual filler (particles having an average particle diameter of about 1 to 10 µm obtained by pulverizing and classifying a natural mineral) used so far.
When using, the general roughening of the wet-roughening at the time of forming the wiring layer by copper plating opens an excessive hole in the insulating film,
There is a problem that the insulating property is reduced.

【0012】このように、天然の鉱物を粉砕・分級した
フィラーを添加する従来の技術は、薄膜(膜厚20μm
前後)の絶縁膜に対し、導体(銅めっき)密着力、絶縁
性、及び解像性を全て満足することができないという点
で問題があり、また、特に、炭酸カルシウムフィラーは
高温高湿下における絶縁信頼性の点で問題がある。
As described above, the conventional technique of adding a filler obtained by pulverizing and classifying a natural mineral is a thin film (film thickness of 20 μm).
There is a problem in that the conductor (copper plating) adhesion, insulation, and resolution cannot all be satisfied with respect to the insulating film (before and after). There is a problem in insulation reliability.

【0013】炭酸カルシウムを使用しないで絶縁膜を形
成する高耐熱性の絶縁膜材料として、特開平9−176
459号公報に記載されたもの等が提案されている。特
開平9−176459号公報においては、熱硬化性の縮
合多環多核芳香族樹脂と、各種の熱可塑性樹脂とから構
成される絶縁膜材料が提案されている。しかし、この公
報に記載された絶縁膜材料では、熱可塑性樹脂を添加剤
としているため、配線層形成時の湿式粗化時に熱可塑性
樹脂の粒径に起因する穴が形成され、穴の微細化が難し
いという問題がある。例えばポリイミド樹脂の場合で
は、これに市販の粒状熱可塑性ポリイミド(例として、
UBE社製UPI−S)を添加すると、口径が10μm
程度の過大な穴が形成されてしまう。
JP-A-9-176 discloses a highly heat-resistant insulating film material for forming an insulating film without using calcium carbonate.
No. 459 has been proposed. Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-176559 proposes an insulating film material composed of a thermosetting condensed polycyclic polynuclear aromatic resin and various thermoplastic resins. However, in the insulating film material described in this publication, since a thermoplastic resin is used as an additive, holes are formed due to the particle size of the thermoplastic resin during wet roughening at the time of forming a wiring layer. There is a problem that is difficult. For example, in the case of a polyimide resin, a commercially available granular thermoplastic polyimide (for example,
When UBE-U manufactured by UBE is added, the diameter becomes 10 μm.
An excessively large hole is formed.

【0014】本発明は、形成した絶縁膜の絶縁性低下の
原因となる塩素に代表されるハロゲン等の不純物を含ま
ず、且つ、導体層との密着性を確保するための絶縁膜表
面の粗化に起因する絶縁膜の絶縁性低下を招くことなく
薄膜化の要求に応えることのできる、絶縁性樹脂組成物
を提供することを目的とする。
According to the present invention, there is provided an insulating film which does not contain impurities such as chlorine which is a cause of deterioration of the insulating property of the formed insulating film, and has a rough surface of the insulating film for ensuring adhesion to the conductor layer. It is an object of the present invention to provide an insulating resin composition capable of responding to a demand for a thinner film without deteriorating the insulating property of the insulating film due to the formation of the resin.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】本発明の絶縁性樹脂組成
物は、ベース樹脂の脂環式エポキシ樹脂と、このベース
樹脂のためのエポキシ硬化剤と、ポリブタジエン化合
物、シリカ粉末、又は加熱によってポリイミドもしくは
ポリエーテルイミドを生成する単量体もしくは前駆体と
を含むことを特徴とする。
The insulating resin composition of the present invention comprises an alicyclic epoxy resin as a base resin, an epoxy curing agent for the base resin, a polybutadiene compound, silica powder, or polyimide by heating. Alternatively, it is characterized by containing a monomer or a precursor that produces polyetherimide.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】本発明の組成物におけるベース樹
脂として好適な脂環式エポキシ樹脂は、シクロヘキサン
骨格の脂環式多官能エポキシ樹脂、脂環式2官能エポキ
シ樹脂、脂環式3官能エポキシ樹脂、及び脂環式4官能
エポキシ樹脂である。それらのうちの2種以上のものの
混合物を用いることも可能である。シクロヘキサン骨格
の多官能エポキシ樹脂としては、例えばダイセル化学社
から入手できるEHPE−3150等を使用することが
できる。脂環式2官能エポキシ樹脂の例としては、ER
L−4299(ユニオンカーバイド社)、セロキサイド
2021(ダイセル化学社)、CY−175(チバガイ
ギー社)、セロキサイド2080(ダイセル化学社)等
の樹脂を挙げることができる。脂環式3官能エポキシ樹
脂としては、エポリードGT300(ダイセル化学社)
等を、そして脂環式4官能エポキシ樹脂としては、エポ
リードGT400(ダイセル化学社)等を例示すること
ができる。このような脂環式エポキシ樹脂は、出発物質
としてエピクロロヒドリンのような塩素含有化合物を使
用せずに合成され、従って形成した絶縁膜の絶縁性低下
の原因となるハロゲン等の不純物を含まない。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The alicyclic epoxy resin suitable as a base resin in the composition of the present invention includes an alicyclic polyfunctional epoxy resin having a cyclohexane skeleton, an alicyclic bifunctional epoxy resin, and an alicyclic trifunctional epoxy resin. Resin and alicyclic 4-functional epoxy resin. It is also possible to use mixtures of two or more of them. As the polyfunctional epoxy resin having a cyclohexane skeleton, for example, EHPE-3150 available from Daicel Chemical Co., Ltd. can be used. Examples of alicyclic bifunctional epoxy resins include ER
Resins such as L-4299 (Union Carbide), Celloxide 2021 (Daicel Chemical), CY-175 (Ciba Geigy), Celloxide 2080 (Daicel Chemical) can be used. As an alicyclic trifunctional epoxy resin, Eporide GT300 (Daicel Chemical Co., Ltd.)
And an alicyclic tetrafunctional epoxy resin such as Epolide GT400 (Daicel Chemical Co., Ltd.). Such an alicyclic epoxy resin is synthesized without using a chlorine-containing compound such as epichlorohydrin as a starting material, and thus contains impurities such as halogens which cause a decrease in insulation of the formed insulating film. Absent.

【0017】脂環式エポキシ樹脂のためのエポキシ硬化
剤は、フェノールノボラック樹脂、酸無水物等でよく、
またシラノール含有化合物と金属含有化合物の混合物を
硬化剤としてもよい。
The epoxy curing agent for the cycloaliphatic epoxy resin may be a phenol novolak resin, an acid anhydride, etc.
Further, a mixture of a silanol-containing compound and a metal-containing compound may be used as a curing agent.

【0018】エポキシ硬化剤は、硬化促進剤を含んでも
よく、硬化促進剤としては、イミダゾール化合物、トリ
フェニルホスフィン等を使用することができる。
The epoxy curing agent may contain a curing accelerator. As the curing accelerator, an imidazole compound, triphenylphosphine, or the like can be used.

【0019】本発明の組成物は、エポキシ樹脂をベース
樹脂とする組成物における通常の成分である上記の硬化
剤、硬化促進剤のほかに、導体層との密着性を確保する
ための絶縁膜表面の粗化に有効な成分として、ポリブタ
ジエン化合物、シリカ粉末、又はアルカリ溶液に可溶で
あり加熱によってポリイミドもしくはポリエーテルイミ
ドを生成する単量体もしくは前駆体を含む。これらを混
合物として使用することも可能である。
[0019] The composition of the present invention is an insulating film for ensuring adhesion to a conductor layer, in addition to the above-mentioned curing agent and curing accelerator, which are common components in a composition containing an epoxy resin as a base resin. As a component effective for surface roughening, a polybutadiene compound, a silica powder, or a monomer or precursor which is soluble in an alkaline solution and generates polyimide or polyetherimide by heating is included. These can be used as a mixture.

【0020】ポリブタジエン化合物としては、エポキシ
化ポリブタジエンや、スチレン−ブタジエン共重合体等
を使用することができる。エポキシ化ポリブタジエンの
代表例としては、エポリードPB3600、エポリード
PB4700(ともにダイセル化学社製)等を挙げるこ
とができ、スチレン−ブタジエン共重合体の例として
は、エポフレンドA(ダイセル化学社製)等を挙げるこ
とができる。ポリブタジエン化合物を使用する場合の含
有量は、本発明の組成物の総重量の10〜50重量%と
するが好ましく、30〜50重量%とするのがより好ま
しい。ここでの組成物の総重量は、本発明の組成物が溶
媒を使用する場合、溶媒を除いた成分の合計の重量を意
味する。
As the polybutadiene compound, epoxidized polybutadiene, styrene-butadiene copolymer and the like can be used. Typical examples of the epoxidized polybutadiene include Epolide PB3600 and Epolide PB4700 (both manufactured by Daicel Chemical Co., Ltd.). Examples of the styrene-butadiene copolymer include Epofriend A (manufactured by Daicel Chemical Co., Ltd.). Can be mentioned. When the polybutadiene compound is used, the content is preferably 10 to 50% by weight, more preferably 30 to 50% by weight, based on the total weight of the composition of the present invention. When the composition of the present invention uses a solvent, the total weight of the composition means the total weight of components excluding the solvent.

【0021】シリカ粉末としては、表面粗化時のシリカ
の脱落により形成される凹凸を小さくするため、2μm
以下の径のものを使用するのが望ましい。シリカ粉末
は、充填剤として一般に使用されるもののうちから、上
記のとおりの径を持つものを選んで使用することができ
る。シリカ粉末の含有量は、本発明の組成物の総重量の
5〜30重量%とするが好ましく、10〜20重量%と
するのがより好ましい。ここでの組成物の総重量は、本
発明の組成物が溶媒を使用する場合、溶媒を除いた成分
の合計の重量を意味する。
The silica powder has a thickness of 2 μm in order to reduce irregularities formed by the falling off of silica during surface roughening.
It is desirable to use one with the following diameter. The silica powder may be selected from those generally used as a filler and having a diameter as described above. The content of the silica powder is preferably 5 to 30% by weight, more preferably 10 to 20% by weight based on the total weight of the composition of the present invention. When the composition of the present invention uses a solvent, the total weight of the composition means the total weight of components excluding the solvent.

【0022】ポリブタジエン化合物あるいはシリカ粉末
を使用する場合、上述の含有量の下限未満では絶縁膜の
表面粗化が不十分となり、一方、上限を超えると、シリ
カ粉末の場合は膜の機械的強度等の特性の低下が著しく
なるとともに、下限未満と同様にピール強度が得られな
くなり、ポリブタジエン化合物の場合も下限未満の場合
と同様にピール強度が得られなくなる。
When a polybutadiene compound or silica powder is used, if the content is less than the above lower limit, the surface roughness of the insulating film is insufficient, whereas if it exceeds the upper limit, the mechanical strength of the film is reduced when the silica powder is used. And the peel strength cannot be obtained as in the case where the value is less than the lower limit. In the case of the polybutadiene compound, the peel strength cannot be obtained as in the case where the value is less than the lower limit.

【0023】加熱によってポリイミド又はポリエーテル
イミドを生成する単量体又は前駆体は、絶縁膜を製膜後
の表面粗化処理でアルカリ溶液に溶解し、あるいは脱離
して膜から除去可能であるポリイミド又はポリエーテル
イミドを生成する単量体又はオリゴマー等の前駆体であ
る。このような単量体又は前駆体は、例えば、PIX−
3400(日立化成社)、セミコファイン(東レ社)、
HIMAL(日立化成社)等として商業的に入手可能で
ある。
The monomer or precursor which forms polyimide or polyetherimide by heating is dissolved in an alkaline solution by surface roughening treatment after forming the insulating film, or the polyimide or polyetherimide is removable from the film. Or a precursor such as a monomer or oligomer that produces polyetherimide. Such a monomer or precursor is, for example, PIX-
3400 (Hitachi Chemical), Semico Fine (Toray),
It is commercially available as HIMAL (Hitachi Chemical).

【0024】これらの単量体又は前駆体は、本発明の組
成物中に5〜50重量%存在することが好ましく、特に
は10〜30重量%存在することが好ましい。本発明の
組成物が溶媒を含有している場合には、上記の重量割合
は溶媒を除いた成分の総重量を基にした重量割合に相当
する。
These monomers or precursors are preferably present in the composition of the present invention in an amount of from 5 to 50% by weight, particularly preferably from 10 to 30% by weight. When the composition of the present invention contains a solvent, the above weight ratio corresponds to the weight ratio based on the total weight of the components excluding the solvent.

【0025】一般に、エポキシ樹脂とポリイミド(ある
いはポリエーテルイミド)を生成する単量体又は前駆体
とを含む組成物を加熱すると、加熱硬化したエポキシ樹
脂と加熱で生成したポリイミドは、どちらかがある粒径
を持つ粒状物となって分離した状態になると考えられ
る。この粒状の熱硬化エポキシ樹脂又はポリイミドの粒
径は、もとの組成物中のエポキシ樹脂とポリイミドを生
成する単量体又は前駆体の種類、組成比等により変化す
る。本発明の組成物においては、ポリイミド生成成分を
50重量%以下、特に好ましくは30重量%以下とする
ことで、加熱後に得られた樹脂絶縁膜を過マンガン酸溶
液等のアルカリ性溶液に浸漬した時に表層のポリイミド
のみが樹脂膜から分離・脱落し、それによって樹脂絶縁
膜の表層に微細な凹凸が形成される。後続の導体層形成
工程として、無電解銅めっき、電解銅めっきを行う場合
には、この微細な凹凸がめっき銅のアンカーとして作用
し、樹脂膜とめっき銅を密着させることができる。一
方、組成物中のポリイミド又はポリエーテルイミド生成
成分が5重量%に満たない場合には、アルカリ性溶液で
の処理時にポリイミド又はポリエーテルイミドの脱落が
少なくなるため、後に形成する導体層との密着性の向上
が見込めなくなる。
In general, when a composition containing an epoxy resin and a monomer or a precursor that forms a polyimide (or polyetherimide) is heated, either the heat-cured epoxy resin or the polyimide formed by heating has either one. It is considered that the particles are separated into particles having a particle size. The particle size of the granular thermosetting epoxy resin or polyimide changes depending on the type and composition ratio of the monomer or precursor that forms the epoxy resin and polyimide in the original composition. In the composition of the present invention, by setting the polyimide-forming component to 50% by weight or less, particularly preferably 30% by weight or less, the resin insulating film obtained after heating is dipped in an alkaline solution such as a permanganic acid solution. Only the polyimide on the surface layer separates and falls off from the resin film, whereby fine irregularities are formed on the surface layer of the resin insulation film. When electroless copper plating or electrolytic copper plating is performed as a subsequent conductor layer forming step, these fine irregularities act as anchors for the plated copper, and the resin film and the plated copper can be adhered to each other. On the other hand, when the content of the polyimide or polyetherimide-forming component in the composition is less than 5% by weight, the polyimide or polyetherimide is less likely to fall off during the treatment with an alkaline solution, so that the adhesion to the conductor layer to be formed later is reduced. The improvement of the performance cannot be expected.

【0026】表面粗化用のフィラーとして、耐熱性に優
れたポリイミド又はポリエーテルイミドを使用した場合
には、形成した絶縁層は従来のものに比べ耐熱性が向上
したものとなる。
When polyimide or polyetherimide having excellent heat resistance is used as a filler for surface roughening, the formed insulating layer has improved heat resistance as compared with a conventional insulating layer.

【0027】本発明の組成物は、一般にワニス状のもの
として処理基板上へ塗布される。ワニス状組成物とする
のに、本発明の組成物は上記の成分以外に、適当な溶媒
を含むことができる。溶媒の例としては、エチレングリ
コールモノエーテル類、アセテート類、シクロヘキサノ
ン、ジオキサン、トルエン、キシレン、N−メチルピロ
リドンなどの有機溶媒を挙げることができる。
The composition of the present invention is generally applied to a processing substrate as a varnish. In order to obtain a varnish-like composition, the composition of the present invention may contain a suitable solvent in addition to the above components. Examples of the solvent include organic solvents such as ethylene glycol monoethers, acetates, cyclohexanone, dioxane, toluene, xylene, and N-methylpyrrolidone.

【0028】塗布の方法としては、スクリーン印刷、カ
ーテンコート、ロールコート、スピンコート等の一般的
な方法を採用することができるが、塗布方法はこれらに
限定されるものではない。
As a coating method, a general method such as screen printing, curtain coating, roll coating, and spin coating can be adopted, but the coating method is not limited to these.

【0029】また、本発明の組成物には、必要に応じて
種々の添加剤を添加することができる。添加剤の例とし
ては、絶縁膜の膨張率の調整に有効なアルミナ、スクリ
ーン印刷性の向上に有効なエアロジルなどの無機フィラ
ーを始めとして、フタロシアニンなどの着色顔料、シリ
コーン又はフッ素系化合物からなる消泡剤、レベリング
剤、酸化防止剤などを挙げることができる。
Further, various additives can be added to the composition of the present invention as needed. Examples of additives include inorganic fillers such as alumina, which is effective for adjusting the expansion coefficient of the insulating film, and aerosil, which are effective for improving screen printability, as well as coloring pigments such as phthalocyanine, silicone or fluorine-based compounds. Foaming agents, leveling agents, antioxidants and the like can be mentioned.

【0030】次に、本発明の樹脂組成物を用いて多層回
路基板のビルトアップ用絶縁膜を形成する方法を説明す
ることにする。なお、以下の説明はこの方法を例示する
ものに過ぎず、本発明の樹脂組成物によって多層回路基
板の絶縁膜を形成する方法がそれに限定されるものでな
いことは、言うまでもなく明らかである。
Next, a method for forming a built-up insulating film of a multilayer circuit board using the resin composition of the present invention will be described. It should be noted that the following description is merely an example of this method, and it goes without saying that the method of forming the insulating film of the multilayer circuit board with the resin composition of the present invention is not limited thereto.

【0031】まず、本発明の樹脂組成物を、適当な塗布
方法により電子回路基板上に所望の厚さ(例えば20μ
m)で塗布し、皮膜形成する。次いで、適当な温度、例
えば50〜150℃で加熱し、皮膜を乾燥させる。次
に、例えば150〜250℃で加熱してエポキシ樹脂成
分を加熱硬化させ、その際、フィラー成分としてポリイ
ミド又はポリエーテルイミド成分を使用している場合に
はそれも加熱硬化させて、絶縁膜を形成する。その後、
この絶縁膜上に形成する上層の電子回路と接続すべき箇
所(ビアホール部分)を、例えば炭酸ガスレーザ、エキ
シマレーザ、YAGレーザ等を用いたレーザー加工処理
して、ビアホールを形成する。
First, the resin composition of the present invention is applied to an electronic circuit board by an appropriate coating method to a desired thickness (for example, 20 μm).
m) to form a film. Next, the film is heated at an appropriate temperature, for example, 50 to 150 ° C., and the film is dried. Next, the epoxy resin component is heated and cured at, for example, 150 to 250 ° C. At this time, if a polyimide or polyetherimide component is used as a filler component, it is also heated and cured to form an insulating film. Form. afterwards,
A portion (via hole portion) to be connected to an upper electronic circuit formed on the insulating film is subjected to laser processing using, for example, a carbon dioxide gas laser, an excimer laser, a YAG laser, or the like to form a via hole.

【0032】続いて、基板を過マンガン酸水溶液等のア
ルカリ性溶液に浸漬し、表面を粗化する。絶縁膜中のポ
リブタジエン化合物、シリカ粉末、又は熱硬化で得られ
たポリイミドもしくはポリエーテルイミドは、アルカリ
性溶液への溶解や、アルカリ性溶液による膨潤作用等に
よる脱離によって、絶縁膜表面に微細な穴を残し、それ
により絶縁膜表面の粗化に寄与する。次いで、表面を粗
化した絶縁膜に無電解めっき、電解めっきを施し、導体
配線層を形成してこれをパターニングする。その後、樹
脂組成物の塗布から導体配線パターンの形成までの工程
を所定の回数繰り返して、多層回路基板を作製する。
Subsequently, the substrate is immersed in an alkaline solution such as an aqueous solution of permanganate to roughen the surface. The polybutadiene compound in the insulating film, the silica powder, or the polyimide or polyetherimide obtained by thermal curing dissolves in an alkaline solution, or desorbs due to swelling action by the alkaline solution, and causes fine holes in the insulating film surface. This contributes to roughening of the insulating film surface. Next, the surface roughened insulating film is subjected to electroless plating and electrolytic plating to form a conductor wiring layer and pattern the same. Thereafter, the steps from the application of the resin composition to the formation of the conductor wiring pattern are repeated a predetermined number of times, thereby producing a multilayer circuit board.

【0033】このように、本発明の組成物を使って作製
された多層回路基板は、所定の回路基板上に形成した複
数の絶縁層と配線層を含む多層回路基板であって、絶縁
層が本発明の組成物から形成されていることを特徴とす
るものであり、本発明はこの多層回路基板をも包含する
ものである。
As described above, the multilayer circuit board manufactured using the composition of the present invention is a multilayer circuit board including a plurality of insulating layers and a wiring layer formed on a predetermined circuit board, wherein the insulating layer is The invention is characterized by being formed from the composition of the present invention, and the present invention also includes this multilayer circuit board.

【0034】[0034]

【実施例】次に、実施例により本発明を更に説明する。
言うまでもなく、本発明はこれらの実施例に限定される
ものではない。
Next, the present invention will be further described with reference to examples.
Of course, the invention is not limited to these examples.

【0035】〔実施例1〕シクロヘキサン骨格の脂環式
エポキシ樹脂のEHPE−3150(ダイセル化学社
製)60重量部、同じく脂環式エポキシ樹脂のセロキサ
イド2080(ダイセル化学社製)40重量部、フェノ
ールノボラック樹脂(群栄化学社製PSM−4300)
60重量部、2−メチル−4−エチル−イミダゾール
(四国化成社製)4重量部、及びシリカ粉末(平均粒径
4μm、電気化学工業社製)30重量部を、ジオキサン
60重量部に加えて、シリカ粉末の分散した塗液を調製
した。
[Example 1] 60 parts by weight of cyclohexane skeleton alicyclic epoxy resin EHPE-3150 (manufactured by Daicel Chemical), 40 parts by weight of alicyclic epoxy resin celloxide 2080 (manufactured by Daicel Chemical), phenol Novolak resin (PSM-4300 manufactured by Gunei Chemical Co., Ltd.)
60 parts by weight, 4 parts by weight of 2-methyl-4-ethyl-imidazole (manufactured by Shikoku Chemicals), and 30 parts by weight of silica powder (average particle size: 4 μm, manufactured by Denki Kagaku Kogyo) are added to 60 parts by weight of dioxane. A dispersion of silica powder was prepared.

【0036】この塗液を、ドクターブレード法により銅
箔基板上に乾燥後の厚さ20μmに塗布し、次いで12
0℃で20分間加熱乾燥し、更に170℃で60分間加
熱した後、室温まで放冷して、絶縁層を形成した。
This coating solution is applied on a copper foil substrate to a thickness of 20 μm after drying by a doctor blade method.
After heating and drying at 0 ° C. for 20 minutes and further heating at 170 ° C. for 60 minutes, the resultant was allowed to cool to room temperature to form an insulating layer.

【0037】次に、こうして絶縁層を形成した基板を前
処理剤(シプレー社製コンディショナー、60℃、10
分)、酸化剤(過マンガン酸水溶液)(シプレー社製プ
ロモーター、70℃、10分、pH11)、そして中和
剤(シプレー社製ニュートライザー、60℃、10分)
に順次浸漬し、絶縁層表面に露出しているシリカ粉末を
脱離させて、絶縁層の表面を粗化した。
Next, the substrate on which the insulating layer was formed in this manner was treated with a pretreatment agent (conditioner manufactured by Shipley Co.,
Min), an oxidizing agent (aqueous permanganate solution) (promoter from Shipley, 70 ° C., 10 minutes, pH 11), and a neutralizing agent (Nutriser from Shipley, 60 ° C., 10 minutes)
, And the silica powder exposed on the surface of the insulating layer was removed to roughen the surface of the insulating layer.

【0038】粗化した絶縁層表面を洗浄後、無電解銅め
っきと電解銅めっきを続けて施して、絶縁層上に30μ
m厚の導体層を形成した。JIS C 6481に規定
された試験方法に準拠して測定したこの導体層のピール
強度は、500g/cmであった。
After cleaning the roughened surface of the insulating layer, electroless copper plating and electrolytic copper plating are successively performed, and 30 μm
An m-thick conductor layer was formed. The peel strength of this conductor layer measured according to the test method specified in JIS C 6481 was 500 g / cm.

【0039】〔実施例2〕実施例1で調製した塗液を、
間隔が126μmの配線を有するビスマレイミド/トリ
アジン(BT)基板上に塗布し、実施例1と同様にして
配線上に絶縁層を形成した。こうして絶縁層を形成した
基板について、120℃、相対湿度85%、1.7at
m(172kPa)、20Vの条件で、50時間の電食
試験(USPCBT試験)を行った。試験の前後で測定
した配線間の抵抗は、試験前が1×1013Ωのオーダー
であり、試験後も1×1013のオーダーを維持してい
た。
Example 2 The coating solution prepared in Example 1 was
The composition was applied onto a bismaleimide / triazine (BT) substrate having a wiring with an interval of 126 μm, and an insulating layer was formed on the wiring in the same manner as in Example 1. With respect to the substrate on which the insulating layer was formed in this manner, 120 ° C., 85% relative humidity, 1.7 at
An electric corrosion test (USPCBT test) for 50 hours was performed under the conditions of m (172 kPa) and 20 V. The resistance between the wirings measured before and after the test was on the order of 1 × 10 13 Ω before the test, and maintained on the order of 1 × 10 13 after the test.

【0040】〔実施例3〕シクロヘキサン骨格の脂環式
エポキシ樹脂のEHPE−3150(ダイセル化学社
製)60重量部、同じく脂環式エポキシ樹脂のセロキサ
イド2080(ダイセル化学社製)40重量部、フェノ
ールノボラック樹脂(群栄化学社製PSM−4300)
60重量部、2−メチル−4−エチル−イミダゾール
(四国化成社製)4重量部、及びエポキシ化ポリブタジ
エン(ダイセル化学社製PB3700)90重量部を、
ジオキサン60重量部に溶解し、絶縁層形成用の塗液を
調製した。
Example 3 60 parts by weight of cyclohexane skeleton alicyclic epoxy resin EHPE-3150 (manufactured by Daicel Chemical Co., Ltd.), 40 parts by weight of alicyclic epoxy resin celloxide 2080 (manufactured by Daicel Chemical Co., Ltd.), phenol Novolak resin (PSM-4300 manufactured by Gunei Chemical Co., Ltd.)
60 parts by weight, 4 parts by weight of 2-methyl-4-ethyl-imidazole (manufactured by Shikoku Chemicals), and 90 parts by weight of epoxidized polybutadiene (PB3700 manufactured by Daicel Chemical Co., Ltd.)
It was dissolved in 60 parts by weight of dioxane to prepare a coating liquid for forming an insulating layer.

【0041】これを実施例1と同様に銅箔基板上に塗布
し、加熱により絶縁層を形成後、アルカリ溶液処理(表
面粗化処理)し、続いて無電解銅めっき、電解銅めっき
を施して銅膜を形成した。この銅膜のピール強度は、7
00g/cmであった。
This was applied on a copper foil substrate in the same manner as in Example 1, and an insulating layer was formed by heating, followed by alkali solution treatment (surface roughening treatment), followed by electroless copper plating and electrolytic copper plating. To form a copper film. The peel strength of this copper film was 7
It was 00 g / cm.

【0042】また、実施例2と同様にして間隔126μ
mの配線を備えた基板に絶縁層を形成し、電食試験を行
った。試験前の配線間の抵抗は1×1012Ωのオーダー
であり、試験後の抵抗も1×1012Ωのオーダーを維持
していた。
Further, in the same manner as in the second embodiment,
An insulating layer was formed on a substrate provided with m wirings, and an electrolytic corrosion test was performed. The resistance between the wirings before the test was on the order of 1 × 10 12 Ω, and the resistance after the test also maintained on the order of 1 × 10 12 Ω.

【0043】〔実施例4〕シクロヘキサン骨格の脂環式
エポキシ樹脂のEHPE−3150(ダイセル化学社
製)60重量部、同じく脂環式エポキシ樹脂のセロキサ
イド2080(ダイセル化学社製)40重量部、フェノ
ールノボラック樹脂(群栄化学社製PSM−4300)
60重量部、2−メチル−4−エチル−イミダゾール
(四国化成社製)4重量部、及びポリイミドモノマワニ
ス(日立化成社製PIX−3400)70重量部を、N
−メチルピロリドンに溶解し、絶縁層形成用の塗液を調
製した。
Example 4 60 parts by weight of cyclohexane skeleton alicyclic epoxy resin EHPE-3150 (manufactured by Daicel Chemical), 40 parts by weight of alicyclic epoxy resin Celloxide 2080 (manufactured by Daicel Chemical), phenol Novolak resin (PSM-4300 manufactured by Gunei Chemical Co., Ltd.)
60 parts by weight, 4 parts by weight of 2-methyl-4-ethyl-imidazole (manufactured by Shikoku Chemicals), and 70 parts by weight of polyimide monovarnish (PIX-3400 manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.)
-Methylpyrrolidone to prepare a coating solution for forming an insulating layer.

【0044】調製した塗液を、銅箔基板上に20μmの
厚さに塗布し、次いで120℃で20分間加熱乾燥し、
更に170℃で60分間加熱した後、室温まで放冷し
て、絶縁層を形成した。
The prepared coating solution was applied to a thickness of 20 μm on a copper foil substrate, and then dried by heating at 120 ° C. for 20 minutes.
After heating at 170 ° C. for 60 minutes, the mixture was allowed to cool to room temperature to form an insulating layer.

【0045】この絶縁層に対して、実施例1と同様にア
ルカリ溶液処理(表面粗化処理)を施し、続いて絶縁層
上に銅めっき膜を形成した。この銅めっき膜のピール強
度は、800g/cmであった。
The insulating layer was subjected to an alkali solution treatment (surface roughening treatment) in the same manner as in Example 1, and then a copper plating film was formed on the insulating layer. The peel strength of this copper plating film was 800 g / cm.

【0046】また、実施例2と同様にして電食試験を行
った。試験前の配線間の抵抗は1×1013Ωのオーダー
であり、試験後の抵抗も1×1013Ωのオーダーを維持
していた。
An electrolytic corrosion test was performed in the same manner as in Example 2. The resistance between the wirings before the test was on the order of 1 × 10 13 Ω, and the resistance after the test also maintained on the order of 1 × 10 13 Ω.

【0047】[0047]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ハロゲン不純物を含まない脂環式エポキシ樹脂と絶縁性
の低下を招くことなく導体層との密着性向上に有効なフ
ィラー成分を使用することで、従来のものに比べて絶縁
性に優れ、また導体層との密着性に優れた樹脂絶縁膜の
利用が可能になる。また、表面粗化用のフィラーとし
て、耐熱性の良好なポリイミド又はポリエーテルイミド
を使用すれば、樹脂絶縁膜の耐熱性の向上も可能にな
る。こうして、本発明は、絶縁膜一般、特に多層回路基
板のビルドアップ用絶縁膜の形成に大いに貢献すること
ができる。
As described above, according to the present invention,
By using an alicyclic epoxy resin that does not contain halogen impurities and a filler component that is effective in improving the adhesion to the conductor layer without causing a decrease in insulation, the insulation is superior to conventional ones, and It is possible to use a resin insulating film having excellent adhesion to the layer. In addition, when polyimide or polyetherimide having good heat resistance is used as the surface roughening filler, the heat resistance of the resin insulating film can be improved. Thus, the present invention can greatly contribute to the formation of an insulating film in general, particularly a build-up insulating film for a multilayer circuit board.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C08L 79/08 C08L 79/08 A C09D 163/00 C09D 163/00 179/08 179/08 Z H01B 3/40 H01B 3/40 D C Fターム(参考) 4J002 AC083 CC04X CD02W CD183 CM044 DJ017 EF126 EL136 EX046 FD14X FD146 GQ01 4J036 AB07 DA01 DB15 FB07 JA08 4J038 CA021 CA022 DA042 DB261 DJ021 DJ022 HA446 JA75 JC33 KA03 NA21 PB09 5G305 AA06 AA11 AB01 BA09 BA18 CA08 CA15 CA21 CA23 CA27 CB13 CB15 CB26 CB27 CC02 CD08 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) C08L 79/08 C08L 79/08 A C09D 163/00 C09D 163/00 179/08 179/08 Z H01B 3 / 40 H01B 3/40 DCF term (reference) 4J002 AC083 CC04X CD02W CD183 CM044 DJ017 EF126 EL136 EX046 FD14X FD146 GQ01 4J036 AB07 DA01 DB15 FB07 JA08 4J038 CA021 CA022 DA042 DB261 DJ021 DJ022 HA446 JA75 JC33A09BA03 NA03 NA031 CA08 CA15 CA21 CA23 CA27 CB13 CB15 CB26 CB27 CC02 CD08

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 脂環式エポキシ樹脂と、この樹脂のため
のエポキシ硬化剤と、ポリブタジエン化合物、シリカ粉
末、又は加熱によってポリイミドもしくはポリエーテル
イミドを生成する単量体もしくは前駆体とを含むことを
特徴とする絶縁性樹脂組成物。
1. An epoxy resin comprising: an alicyclic epoxy resin; an epoxy curing agent for the resin; a polybutadiene compound, silica powder, or a monomer or precursor that produces a polyimide or polyetherimide by heating. A characteristic insulating resin composition.
【請求項2】 前記脂環式エポキシ樹脂がシクロヘキサ
ン骨格を有するエポキシ樹脂である、請求項1記載の組
成物。
2. The composition according to claim 1, wherein the alicyclic epoxy resin is an epoxy resin having a cyclohexane skeleton.
【請求項3】 前記シクロヘキサン骨格を有するエポキ
シ樹脂が、2官能エポキシ樹脂、3官能エポキシ樹脂又
は4官能エポキシ樹脂であり、あるいはそれらのうちの
2種以上のものの混合物である、請求項2記載の組成
物。
3. The epoxy resin having a cyclohexane skeleton according to claim 2, wherein the epoxy resin is a bifunctional epoxy resin, a trifunctional epoxy resin, or a tetrafunctional epoxy resin, or a mixture of two or more thereof. Composition.
【請求項4】 前記エポキシ硬化剤がフェノールノボラ
ック樹脂又は酸無水物であり、あるいはシラノール含有
化合物と金属含有化合物との混合物である、請求項1か
ら3までのいずれか一つに記載の組成物。
4. The composition according to claim 1, wherein the epoxy curing agent is a phenol novolak resin or an acid anhydride, or a mixture of a silanol-containing compound and a metal-containing compound. .
【請求項5】 所定の回路基板上に形成した複数の絶縁
層と配線層を含む多層回路基板であって、絶縁層が、脂
環式エポキシ樹脂と、この樹脂のためのエポキシ硬化剤
と、ポリブタジエン化合物、シリカ粉末、又は加熱によ
ってポリイミドもしくはポリエーテルイミドを生成する
単量体もしくは前駆体とを含む絶縁性樹脂組成物から形
成されていることを特徴とする多層回路基板。
5. A multilayer circuit board including a plurality of insulating layers and a wiring layer formed on a predetermined circuit board, wherein the insulating layer comprises an alicyclic epoxy resin, an epoxy curing agent for the resin, A multilayer circuit board, comprising: an insulating resin composition containing a polybutadiene compound, silica powder, or a monomer or precursor that generates polyimide or polyetherimide by heating.
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