JP2000272044A - Transparent barrier film, method and apparatus for producing the same and laminated material and packaging container using transparent barrier film - Google Patents

Transparent barrier film, method and apparatus for producing the same and laminated material and packaging container using transparent barrier film

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JP2000272044A
JP2000272044A JP11082810A JP8281099A JP2000272044A JP 2000272044 A JP2000272044 A JP 2000272044A JP 11082810 A JP11082810 A JP 11082810A JP 8281099 A JP8281099 A JP 8281099A JP 2000272044 A JP2000272044 A JP 2000272044A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a transparent barrier film excellent in oxygen barrier properties, transparency and impact resistance, an apparatus for producing the same, a laminated material having post-processing aptitude and a packaging container good in the filling and packaging aptitude of contents. SOLUTION: After a substrate film is preheated, a barrier layer being a membrane based on silicon oxide [SiOY (1.5<=Y<=2)] formed by an ion plating method using SiOX (0<=X<=2) as an evaporation source and having oxygen permeability of 0.02-0.5 cc/m2.day is formed on at least one surface of the substrate film to constitute a transparent barrier film.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は透明バリアフィルム
とその作製装置、並びにこれを用いた積層材および包装
用容器に係り、特に優れた酸素ガス、水蒸気等のバリア
ー性、透明性、および耐衝撃性を備える透明バリアフィ
ルムとその作製方法、作製装置、さらに本透明バリアフ
ィルムを用いて優れた保存適性および後加工適性を有す
る積層材、包装用容器に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a transparent barrier film, an apparatus for producing the same, and a laminated material and a packaging container using the same, and particularly excellent barrier properties against oxygen gas and water vapor, transparency and impact resistance. The present invention relates to a transparent barrier film having properties, a method for producing the same, a production apparatus, and a laminated material and a packaging container having excellent storage suitability and post-processing suitability using the present transparent barrier film.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、酸素ガスおよび水蒸気に対す
るバリア性を備え、食品や医療品等の良好な保存適性を
有する包装用材料として、種々のものが開発され提案さ
れているが、近年それらとして、可とう性プラスチック
基材の上にポリ塩化ビニリデンやエチレンビニルアルコ
ール共重合体のコーティング層を設けた構成からなる透
明バリヤフィルムや、可とう性プラスチック基材の上に
酸化珪素、酸化アルミニウム等の無機酸化物の蒸着膜を
設けた構成からなる透明バリアフィルム、また、それら
を使用した包装用積層材及び包装用容器等が提案されて
いる。
2. Description of the Related Art Conventionally, various materials have been developed and proposed as packaging materials having a barrier property against oxygen gas and water vapor and having good storage suitability for foods, medical products and the like. , A transparent barrier film composed of a coating layer of polyvinylidene chloride or ethylene vinyl alcohol copolymer on a flexible plastic substrate, or silicon oxide, aluminum oxide, etc. on a flexible plastic substrate There has been proposed a transparent barrier film having a configuration provided with an inorganic oxide vapor-deposited film, and a packaging laminate and a packaging container using the same.

【0003】これらのものは、従来のアルミニウム箔等
を使用した包装用積層材等と比較して透明性に優れ、同
時に水蒸気、酸素ガス等に対し高いバリア性と保香性等
を有し、包装材料、その他等にその需要が大いに期待さ
れている。
[0003] These materials are excellent in transparency as compared with conventional laminated materials for packaging using aluminum foil or the like, and at the same time, have high barrier properties against water vapor, oxygen gas, etc. The demand for packaging materials, etc. is greatly expected.

【発明が解決しようとする課題】[Problems to be solved by the invention]

【0004】しかしながら、上記の透明バリアフィル
ム、それを使用した包装用積層材等のうち、ポリ塩化ビ
ニリデンやエチレンビニルアルコール共重合体のコーテ
ィング層を設けた透明バリアフィルムにおいては、酸
素、水蒸気に対するバリア性が十分でなく、特に高温で
の殺菌処理においてバリア性の著しい低下が生じるとい
う問題がある。さらに、ポリ塩化ビニリデンのコーティ
ング層を設けた透明バリアフィルムは、焼却時に有毒な
ダイオキシンを発生し、環境への悪影響が懸念されてい
る。
However, among the above-mentioned transparent barrier films and packaging laminates using the same, the transparent barrier film provided with a coating layer of polyvinylidene chloride or ethylene vinyl alcohol copolymer has a barrier against oxygen and water vapor. However, there is a problem in that the barrier property is not sufficiently high, and particularly in the sterilization treatment at a high temperature, the barrier property is significantly reduced. Furthermore, a transparent barrier film provided with a polyvinylidene chloride coating layer generates toxic dioxin when incinerated, and there is a concern that it may have an adverse effect on the environment.

【0005】一方、酸化珪素、酸化アルミニウム等の無
機酸化物の蒸着膜、例えば、二酸化珪素(SiO2)を
蒸発源として従来の蒸着法により設けられた蒸着膜は、
透明であるものの、ガスバリア性が不十分である。この
ため、蒸発源として一酸化珪素(SiO)を用いて酸素
の反応性雰囲気中で成膜し、酸化珪素膜(SiOX(X
は1.8以下))を形成することが行われている。しか
し、上記酸化珪素(SiOX)は、Xが小さいほど高い
バリア性を発現するが、Xが小さくなると可視光の透過
率が低くなり、色が付いた膜となってしまうという問題
点がある。さらに、本願発明者らはすでにイオンプレー
ティング法により成膜されたSiOX(1.5≦X≦
2)を主体とする薄膜により、そのバリア性、透明性を
改善した透明バリアフィルムを提案している。(特願平
10−188168)しかしながら、このバリア膜にお
いても酸素透過率は十分なものとは言えず、改善が必要
であった。
On the other hand, a deposited film of an inorganic oxide such as silicon oxide and aluminum oxide, for example, a deposited film provided by a conventional deposition method using silicon dioxide (SiO 2 ) as an evaporation source is:
Although transparent, the gas barrier properties are insufficient. Therefore, silicon monoxide (SiO) is used as an evaporation source to form a film in a reaction atmosphere of oxygen, and a silicon oxide film (SiO x (X
Is less than 1.8). However, the silicon oxide (SiO x ) exhibits a higher barrier property as X is smaller. However, when X is smaller, there is a problem that the transmittance of visible light is reduced and the film becomes colored. . Further, the inventors of the present invention have already formed SiO x (1.5 ≦ X ≦
A transparent barrier film having improved barrier properties and transparency by using a thin film mainly composed of 2) has been proposed. (Japanese Patent Application No. 10-188168) However, the oxygen permeability cannot be said to be sufficient even in this barrier film, and improvement is required.

【0006】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであり、高い透明性と高いバリア性を有し、特に
酸素透過バリア性に優れた透明バリアフィルムと、それ
を作製する方法、作製するための装置、並びに後加工適
性を有する積層材と、内容物の充填包装適性が良好な包
装用容器を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of such circumstances, and has a transparent barrier film having high transparency and high barrier properties, particularly excellent oxygen permeability barrier properties, and a method for producing the same. It is an object of the present invention to provide an apparatus for manufacturing, a laminated material having suitability for post-processing, and a packaging container having good suitability for filling and packaging the contents.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明の透明バリアフィルムは、基材フィル
ムと、該フィルムの少なくとも一方の面に設けられたバ
リア層とを少なくとも有し、且つ前記バリア層は蒸発源
としてSiOX(0≦X≦2)を用いてイオンプレーテ
ィング法により成膜された酸化珪素(SiOY(1.5
≦Y≦2))を主体とする薄膜であり、且つ該薄膜の酸
素透過率が0.02〜0.5cc/m2・dayの範囲
であるような構成とした。
In order to achieve the above object, a transparent barrier film of the present invention has at least a base film and a barrier layer provided on at least one surface of the film. In addition, the barrier layer is made of silicon oxide (SiO Y (1.5%) formed by ion plating using SiO x (0 ≦ X ≦ 2) as an evaporation source.
≦ Y ≦ 2)) and the oxygen permeability of the thin film is in the range of 0.02 to 0.5 cc / m 2 · day.

【0008】また、本発明の透明バリアフィルムは、上
記構成にさらに前記基材が、バリア層を形成する前に加
熱処理されたものであることをその構成とした。
Further, the transparent barrier film of the present invention has a constitution in which, in addition to the above constitution, the base material is subjected to a heat treatment before forming a barrier layer.

【0009】さらに、本発明の透明バリアフィルムは、
前記基材フィルムがシート形態またはロール巻き取り形
態のいずれかであり、二軸延伸ポリプロピレン、二軸延
伸ポリアミド、二軸延伸ポリエチレンテレフタレート、
オレフィン、スチレン系ポリマー、セルロース系ポリマ
ー、ポリアルキレンテレフタレート等のいずれかである
ような構成とした。
Further, the transparent barrier film of the present invention comprises:
The base film is either a sheet form or a roll winding form, biaxially oriented polypropylene, biaxially oriented polyamide, biaxially oriented polyethylene terephthalate,
The configuration was such that it was any of olefin, styrene-based polymer, cellulose-based polymer, polyalkylene terephthalate, and the like.

【0010】また、本発明の透明バリアフィルムは、前
記酸化珪素膜を形成する際に予め基板を加熱するが、そ
の加熱処理が40〜150℃の範囲にて行われるような
構成とした。
In the transparent barrier film of the present invention, the substrate is preliminarily heated when the silicon oxide film is formed, and the heat treatment is performed at a temperature of 40 to 150 ° C.

【0011】また、本発明の透明バリアフィルムの作製
方法として、基材フィルムと、該フィルムの少なくとも
一方の面に設けられたバリア層とを少なくとも有し、且
つ前記バリア層は蒸発源としてSiOX(0≦X≦2)
を用いてイオンプレーティング法により成膜された酸化
珪素(SiOY(1.5≦Y≦2))を主体とする薄膜
を作製する再に、前記基材が、バリア層を形成する前に
加熱処理されたものである作製方法を用いた。
Further, as a method for producing a transparent barrier film of the present invention, at least a base film and a barrier layer provided on at least one surface of the film, and the barrier layer is formed of SiO x as an evaporation source (0 ≦ X ≦ 2)
Before forming a barrier layer, the above-described base material is used to form a thin film mainly composed of silicon oxide (SiO Y (1.5 ≦ Y ≦ 2)) formed by ion plating using A heat-treated manufacturing method was used.

【0012】さらに、本発明の透明バリアフィルムの作
製方法として前記加熱処理は、40〜150℃の範囲に
て行われることをその作製方法として用いた。さらに、
本発明の透明バリアフィルムの作製方法として前記イオ
ンプレーティング法は、ホロカソード型イオンプレーテ
ィング法であることをその作製方法として用いた。
Further, as a method for producing the transparent barrier film of the present invention, the heat treatment is performed at a temperature in the range of 40 to 150 ° C. as the production method. further,
As the method for producing the transparent barrier film of the present invention, the fact that the ion plating method is a holocathode type ion plating method was used as the production method.

【0013】さらに、本発明の透明バリアフィルムの作
製方法として前記基材フィルムは、シート形態またはロ
ール巻き取り形態のいずれかであり、二軸延伸ポリプロ
ピレン、二軸延伸ポリアミド、二軸延伸ポリエチレンテ
レフタレート、オレフィン、スチレン系ポリマー、セル
ロース系ポリマー、ポリアルキレンテレフタレート等の
1種または2種以上の組合せからなる樹脂フィルムであ
ることをその作製方法とした。
Further, as a method for producing the transparent barrier film of the present invention, the base film is in either a sheet form or a roll winding form, and is made of biaxially oriented polypropylene, biaxially oriented polyamide, biaxially oriented polyethylene terephthalate, The production method was a resin film comprising one or a combination of two or more of olefin, styrene-based polymer, cellulose-based polymer, polyalkylene terephthalate, and the like.

【0014】また、本発明の透明バリア膜作製装置は、
イオンプレーティング法により基材フィルムの少なくと
も一方の面にバリア層を形成する透明バリア膜作製装置
として、前記基材を予め真空中で加熱する加熱処理部、
ロール状あるいはシート状のいずれかのフィルムの搬送
部、バリア層形成部を少なくとも有するような構成とし
た。
Further, the apparatus for producing a transparent barrier film of the present invention comprises:
As a transparent barrier film production apparatus for forming a barrier layer on at least one surface of the substrate film by an ion plating method, a heat treatment unit for pre-heating the substrate in a vacuum,
It was configured to have at least a roll or sheet film transport section and a barrier layer forming section.

【0015】さらに、本発明の透明バリア膜作製装置
は、前記イオンプレーティング法が、ホロカソード型イ
オンプレーティング法であることを構成要件とした。
Further, in the apparatus for producing a transparent barrier film according to the present invention, the ion plating method is a hollow cathode type ion plating method.

【0016】また、本発明の積層材は、上記の透明バリ
アフィルムの少なくとも一方の面にヒートシール性樹脂
層を設けたような構成とした。
Further, the laminated material of the present invention has a structure in which a heat-sealing resin layer is provided on at least one surface of the transparent barrier film.

【0017】また、本発明の積層材は、上記の透明バリ
アフィルムのバリア層上にヒートシール性樹脂層を設け
たような構成、バリア層が形成されていない基材フィル
ム上に基材を積層して備えるような構成とし、さらに、
基材上にヒートシール性樹脂層を備えるような構成とし
た。
Further, the laminated material of the present invention has a structure in which a heat-sealable resin layer is provided on the barrier layer of the above-mentioned transparent barrier film, and a substrate is laminated on a substrate film on which no barrier layer is formed. To be prepared, and
The heat sealing resin layer was provided on the substrate.

【0018】また、本発明の積層材は、バリア層とヒー
トシール性樹脂層との間にアンカーコート剤層および/
または接着剤層を有する構成とした。
Further, the laminate of the present invention comprises an anchor coat agent layer and / or a heat transfer layer between the barrier layer and the heat-sealing resin layer.
Alternatively, a configuration having an adhesive layer was adopted.

【0019】本発明の包装容器は、上記の積層材を用
い、ヒートシール性樹脂層を熱融着して製袋または製函
したような構成とした。
The packaging container of the present invention has a configuration in which the above-described laminated material is used to form a bag or a box by heat-sealing a heat-sealing resin layer.

【0020】[0020]

【作用】このような発明で得られる酸化珪素からなるバ
リア層は、優れた酸素透過バリア性を備えるとともに透
明で緻密な膜であり、透明バリアフィルムに極めて高い
酸素透過バリア性と透明性および耐衝撃性を付与するこ
とができた。またこのような発明により得られる透明バ
リア膜作製装置を用いることにより、特に前記基材を予
め真空中で加熱する加熱処理部を設けることで、基材の
バリア性、さらには基材上に設けたバリア膜のバリア特
性を向上させることを可能とした。さらに、この透明バ
リアフィルムを用いた積層材は、上記の各特性に加えヒ
ートシール性樹脂層による後加工適性が付与され、この
積層材を製袋または製函した包装用容器は優れた内容物
の充填包装適性が備えられている。
The barrier layer made of silicon oxide obtained according to the present invention is a transparent and dense film having excellent oxygen permeation barrier properties and a very high oxygen permeation barrier property, transparency and resistance to a transparent barrier film. Impact properties could be imparted. Further, by using the apparatus for producing a transparent barrier film obtained by such an invention, in particular, by providing a heat treatment section for previously heating the substrate in a vacuum, the barrier property of the substrate, and further provided on the substrate It is possible to improve the barrier characteristics of the barrier film. Furthermore, the laminated material using this transparent barrier film is given post-processing suitability by a heat-sealable resin layer in addition to the above-described respective properties, and the packaging container in which the laminated material is made into a bag or box is excellent in contents. Filling and packaging suitability.

【0021】[0021]

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照しながら説明する。 透明バリアフィルム 図1は本発明の透明バリアフィルムの一実施例を示す概
略断面図である。図1において、透明バリアフィルム1
は基材フィルム2と、この基材フィルム2の一方の面に
形成されたバリア層3とからなる。尚、本発明の透明バ
リアフィルムは、基材フィルム2の両面にバリア層3を
備えるものでも良い。
Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic sectional view showing one embodiment of the transparent barrier film of the present invention. In FIG. 1, a transparent barrier film 1
Consists of a base film 2 and a barrier layer 3 formed on one surface of the base film 2. In addition, the transparent barrier film of the present invention may have the barrier layer 3 on both sides of the base film 2.

【0022】(基材フィルム)本発明の透明バリアフィ
ルム1を構成する基材フィルム2は、バリア層3を保持
し得る透明なフィルムで、後述する加熱処理により変
形、収縮等が起こり基材フィルムとして使用できなくな
るものを除き、透明バリアフィルムの使用目的から適宜
選択することができる。具体的には、基材フィルム2と
してポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブテン等のポ
リオレフィン系樹脂、(メタ)アクリル系樹脂、ポリ塩
化ビニル系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリ塩化ビニリ
デン系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合体ケン化物、
ポリビニルアルコール、ポリカーボネート系樹脂、フッ
素系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、アセタール系樹脂、
ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂等の延伸(一軸
ないし二軸)または未延伸の可とう性樹脂フィルムを用
いることができる。基材フィルム2の厚さとしては、5
〜500μmの範囲で適宜設定することができる。
(Base Film) The base film 2 constituting the transparent barrier film 1 of the present invention is a transparent film capable of holding the barrier layer 3, and is deformed, shrunk, etc. by a heat treatment described later. It can be appropriately selected from the purpose of use of the transparent barrier film, except for those that cannot be used as a transparent barrier film. Specifically, as the base film 2, polyolefin resins such as polyethylene, polypropylene, and polybutene, (meth) acrylic resins, polyvinyl chloride resins, polystyrene resins, polyvinylidene chloride resins, and ethylene-vinyl acetate copolymers are used. Unified saponified compound,
Polyvinyl alcohol, polycarbonate resin, fluorine resin, polyvinyl acetate resin, acetal resin,
A stretched (uniaxial or biaxial) or unstretched flexible resin film of a polyester resin, a polyamide resin, or the like can be used. The thickness of the base film 2 is 5
It can be set as appropriate within the range of 500500 μm.

【0023】本発明では、これら基材フィルム上にバリ
ア層を形成する前に基材フィルムを加熱処理することを
特徴とする。この加熱処理は、バリア膜の形成前であれ
ば時間的な拘束をうけるものではない。例えば、バリア
膜作製装置に基材をセッティングする前に予め加熱処理
を行うこともでき、或いはバリア膜作製装置内で常圧
下、若しくは真空下で加熱処理を行うことができる。
The present invention is characterized in that the base film is subjected to a heat treatment before forming a barrier layer on the base film. This heat treatment is not restricted by time before the barrier film is formed. For example, heat treatment can be performed in advance before setting the base material in the barrier film forming apparatus, or heat treatment can be performed in the barrier film forming apparatus under normal pressure or under vacuum.

【0024】加熱方法としては、バリア膜作製装置外で
行う場合は、通常の電気抵抗加熱によるオーブン加熱、
真空式オーブン加熱、温水を利用した加熱、赤外線ヒー
タによる加熱、超音波振動による加熱等様々なものが用
いることができ、またこれらの方法に限定されるもので
はない。
As the heating method, when the heating is performed outside the barrier film forming apparatus, oven heating by ordinary electric resistance heating,
Various methods such as heating in a vacuum oven, heating using hot water, heating using an infrared heater, and heating using ultrasonic vibration can be used, and the method is not limited to these methods.

【0025】一方、バリア膜作製装置内で加熱処理する
場合、真空下で行うのが望ましいが、装置内が乾燥状
態、あるいはN2、Arガス等の不活性ガス雰囲気、あ
るいはそれらで置換されている場合などは、常圧下でも
可能である。加熱方法としては、IRヒータによる輻射
加熱方法、フィルムロール軸や走行工程中のジグを電気
加熱してフィルムに直接接触させて加熱する方法、高周
波加熱等による加熱方法などによる基材フィルムの部分
的な加熱を行うことができる。或いは真空チャンバー内
を電気加熱等により加熱し、チャンバー雰囲気内全体を
加熱し、基材フィルムロール各加熱する方法、あるい
は、真空チャンバー内に前加熱処理の部屋を設け、予め
この部屋で基材フィルムロール各加熱あるいは部分加熱
を行う方法により行うことができるが、これらの方法に
限定されるものではない。
On the other hand, when the heat treatment in a barrier film production apparatus, but is preferably performed under vacuum, apparatus is dry or N 2, an inert gas atmosphere such as Ar gas, or substituted with those For example, under normal pressure. As the heating method, a radiant heating method using an IR heater, a method in which a film roll axis or a jig during a traveling process is electrically heated by directly contacting the film, and a method of partially heating a base film by a heating method using high-frequency heating or the like are used. Heating can be performed. Alternatively, the inside of the vacuum chamber is heated by electric heating or the like, the entire chamber atmosphere is heated, and each substrate film roll is heated, or a room for pre-heating treatment is provided in the vacuum chamber, and the substrate film is previously set in this room. It can be performed by a method of performing each heating or partial heating of the roll, but is not limited to these methods.

【0026】図2に具体的実施形態を示しているが、基
材フィルムはIRランプ116で輻射加熱が行われ、そ
の加熱温度の状態は、温度センサー117a,bで観測
される。より具体的には、これら2つの温度センサーに
て、基材フィルムロールの表面近傍と、再内部の温度を
感知し、ロール全体の温度をコントロールすることがで
きる。これらの温度センサーは図示しないが、巻き出し
ロール、巻き取りロールの両方に設置することで、より
精度の良い温度制御ができる。
FIG. 2 shows a specific embodiment. The substrate film is subjected to radiant heating by an IR lamp 116, and the state of the heating temperature is monitored by temperature sensors 117a and 117b. More specifically, these two temperature sensors sense the temperature near the surface of the base film roll and the temperature inside the base film roll, and can control the temperature of the entire roll. Although these temperature sensors are not shown, more accurate temperature control can be performed by installing them on both the unwinding roll and the winding roll.

【0027】また、加熱処理の温度は40〜150℃の
範囲で行われ、特に60〜150℃の範囲で好ましく用
いられる。40℃以下では基材フィルム、特にPETフ
ィルムの脱ガスが十分に行われないので好ましくない。
一方150℃以上では、基材フィルム、特にPETフィ
ルムが変形してしまい形状維持性の点から好ましくな
い。また、加熱処理の時間は特に制限はないが、基材フ
ィルムの脱ガス(特にH2Oガス)が十分行われるまで
行うことが好ましい。例えば、真空成膜装置内で1×1
-4〜10-5Torrの真空状態で60℃、1時間で十
分達成されるが、基材フィルムの熱変形との兼ね合いを
考慮しながら温度を上昇させることで、加熱時間を減少
させることが十分可能である。
The temperature of the heat treatment is in the range of 40 to 150 ° C., particularly preferably in the range of 60 to 150 ° C. If the temperature is lower than 40 ° C., the degassing of the base film, particularly the PET film, is not sufficiently performed, which is not preferable.
On the other hand, when the temperature is 150 ° C. or more, the base film, particularly the PET film is deformed, which is not preferable from the viewpoint of shape maintenance. Further, the time of the heat treatment is not particularly limited, but it is preferable to perform the heat treatment until the base film is sufficiently degassed (particularly, H 2 O gas). For example, 1 × 1
It can be sufficiently achieved at 60 ° C. for 1 hour in a vacuum state of 0 -4 to 10 -5 Torr, but the heating time is reduced by raising the temperature in consideration of the balance with the thermal deformation of the base film. Is possible.

【0028】基板の加熱処理によりバリア膜及びバリア
フィルムの性能が向上する理由は必ずしも定かではない
が、次のことが考えられる。即ち、バリア層の形成時に
蒸発源からの輻射熱、或いはプラズマ中のイオン衝撃等
により基材フィルムへエネルギーを与え、基材フィルム
の表面温度が上昇するものと考えられ、その際に基材フ
ィルムから(特に基材フィルムの成膜側の表面近傍)含
有ガス、特にH2Oが放出され、その放出されている
際、あるいはその部位に酸化珪素膜のようなバリア層が
付着し難いものと考えられる。従って、バリア層を形成
した結果、その部位が欠陥となり、酸素等のガスが透過
し易く、バリア性が低下するものと思われる。従って、
上記のような基材フィルムの加熱処理を成膜前に行うこ
とにより、これらの問題が解決できたものと考えられ
る。
The reason why the performance of the barrier film and the barrier film is improved by the heat treatment of the substrate is not necessarily clear, but the following may be considered. That is, it is considered that radiant heat from the evaporation source during the formation of the barrier layer, or energy is applied to the base film by ion bombardment in plasma or the like, and the surface temperature of the base film is increased. (especially deposition surface vicinity of the substrate film) containing gas, particularly H 2 O is released, considered that time is released, or the barrier layer is not easily adhere, such as silicon oxide film on the site Can be Therefore, as a result of the formation of the barrier layer, the site becomes defective, and gas such as oxygen easily permeates, and it is considered that the barrier property is reduced. Therefore,
It is considered that these problems could be solved by performing the above-described heat treatment of the base film before film formation.

【0029】また、上記のような基材フィルム2は、必
要に応じて、その表面にアンカーコート剤を塗布して表
面平滑化処理等を行っても良い。 (バリア層)本発明の透明バリアフィルム1をお構成す
るバリア層3は、蒸発源としてSiO X(0≦X≦2)
を用いてイオンプレティング法により成膜された酸化珪
素(SiOY(1.5≦Y≦2))を主体とする薄膜か
らなる層である。この酸化珪素薄膜の酸素量が上記範囲
を下回ると、薄膜の可視光における吸収係数が大きくな
り、透明性を確保することができない。また、酸化珪素
膜の主たる構成要素である珪素および酸素の他に、アル
ミニウム、マグネシウム、カルシウム、カリウム、ナト
リウム、チタン、ジルコニウム、イットリウム等の金属
や、炭素、ホウ素、窒素、フッ素等の非金属元素が含ま
れていても構わない。尚、バリア層3を酸化珪素薄膜に
代えて、蒸発源として金属アルミニウム、酸化アルミニ
ウムを用いてイオンプレーティングにより成膜された酸
化アルミニウム薄膜AlOxを主体とする薄膜からなる
層としても良い。
Further, the base film 2 as described above is required.
If necessary, apply an anchor coat agent to the surface
Surface smoothing processing or the like may be performed. (Barrier Layer) Constituting the Transparent Barrier Film 1 of the Present Invention
Barrier layer 3 is made of SiO 2 as an evaporation source. X(0 ≦ X ≦ 2)
Oxide deposited by ion-plating method
Element (SiOY(1.5 ≦ Y ≦ 2))
Layer. The oxygen content of the silicon oxide thin film is in the above range.
If it is less than, the absorption coefficient of the thin film in visible light increases.
And transparency cannot be ensured. Also, silicon oxide
In addition to the main components of the film, silicon and oxygen,
Minium, magnesium, calcium, potassium, nato
Metals such as lium, titanium, zirconium and yttrium
And non-metallic elements such as carbon, boron, nitrogen and fluorine
It does not matter. Incidentally, the barrier layer 3 is formed of a silicon oxide thin film.
Alternatively, metal aluminum, aluminum oxide
Acid deposited by ion plating using chromium
Consisting of a thin film mainly composed of aluminum oxide thin film AlOx
It may be a layer.

【0030】透明バリアフィルム1のバリア層3である
酸化珪素薄膜の膜厚としては、使用する基材フィルム2
の種類によっても異なるが、例えば50〜3000程
度、好ましくは、100〜1000程度の範囲で任意に
選択して設定することができる。このようにして得られ
る透明バリアフィルムの酸素透過率は、0.02〜0.
5cc/m2・dayの範囲のものを達成することがで
きる。酸素透過率が0.5cc/m2・day以上にな
ると、通常のバリア層として機能するものの、より酸素
の混入が問題となる例えば、生鮮食品、医療関係の薬
剤、医療器具等において不十分であり好ましくなく、ま
た0.02cc/m2・day以下であれば上記問題は
解決できるものの、バリア層作製に時間を要し、更には
コスト高になるために実用性を考慮すると好ましくな
い。尚、本発明においては、上記のような酸化珪素薄膜
からなるバリア層3に、後加工適性を向上させる目的
で、コロナ処理、プラズマ処理、シランカップリング処
理等の表面処理を施しても構わない。
The thickness of the silicon oxide thin film which is the barrier layer 3 of the transparent barrier film 1
Can be arbitrarily selected and set in the range of, for example, about 50 to 3000, preferably about 100 to 1000. The thus obtained transparent barrier film has an oxygen permeability of 0.02 to 0.5.
A range of 5 cc / m 2 · day can be achieved. When the oxygen permeability exceeds 0.5 cc / m2 · day or more, it functions as a normal barrier layer, but is more insufficient for oxygen contamination. For example, it is insufficient for fresh foods, medical drugs, medical instruments, and the like. If not more than 0.02 cc / m 2 · day, the above problem can be solved, but it takes time to prepare the barrier layer and further increases the cost, which is not preferable considering practicality. In the present invention, a surface treatment such as a corona treatment, a plasma treatment, or a silane coupling treatment may be performed on the barrier layer 3 made of the silicon oxide thin film as described above for the purpose of improving post-processing suitability. .

【0031】次に、基材フィル2上へのバリア層3の形
成方法について説明する。本発明では、酸化珪素薄膜
(SiOY(1.5≦Y≦2))からなるバリア層3
を、蒸発源としてSiOX(0≦X≦2)を用いてホロ
カソード型イオンプレーティング法、DC型イオンプレ
ーティング法、RF型イオンプレーティング法等により
形成する。例えば、ホロカソード(HCD)型のイオン
プレーティング法による基材フィルム2上への酸化珪素
薄膜の形成は、蒸発源であるSiOX(0≦X≦2)を
チャンバー内のハース上に搭載し、チャンバー内の圧力
を10-4Torr程度に維持し、HCD型プラズマガン
からプラズマ流を蒸発源に照射してSiOXをハースか
ら蒸発させるとともに、ハース付近に生成した高密度の
プラズマによって蒸発分子を高いイオン化効率でイオ化
し、基材フィルム2上に酸化珪素の薄膜えお形成して、
バリア層3とすることができる。尚、基板に対するバイ
アス電圧を印加しなくても、プラズマの浮遊電位と基板
付近のシース電位とのわずかな電位差で、基板に対する
イオン衝突効果を得ることができる。
Next, a method of forming the barrier layer 3 on the substrate fill 2 will be described. In the present invention, the barrier layer 3 made of a silicon oxide thin film (SiO Y (1.5 ≦ Y ≦ 2))
Is formed by using a hollow cathode type ion plating method, a DC type ion plating method, an RF type ion plating method, or the like using SiO x (0 ≦ X ≦ 2) as an evaporation source. For example, formation of a silicon oxide thin film on the base film 2 by a hollow cathode (HCD) type ion plating method includes mounting an evaporation source SiO x (0 ≦ X ≦ 2) on a hearth in a chamber, maintaining the pressure in the chamber to about 10 -4 Torr, with evaporating SiO X from the hearth by irradiating the HCD type plasma gun of the plasma flow to the evaporation source, the evaporation molecules by high density plasma generated in the vicinity of the hearth Ionization with high ionization efficiency, forming a thin film of silicon oxide on the base film 2,
The barrier layer 3 can be used. Note that the ion collision effect on the substrate can be obtained with a slight potential difference between the floating potential of the plasma and the sheath potential near the substrate without applying a bias voltage to the substrate.

【0032】また、蒸発源であるSiOXの酸素量が不
十分な場合(0≦X≦1.5の場合)、チャンバー内に
酸素ガスを導入にながら基材フィルム2上に酸化珪素の
薄膜を形成してバリア層3とする。図2は本発明の一実
施例である巻き取り型のホロカソード(HCD)型のイ
オンプレーティング装置の構成図である。図2にいて、
HCD型イオンプレーティング装置101は、真空チャ
ンバー102、このチャンバー102内に配設された巻
き取りロール103a、供給ロール103b、コーティ
ングドラム104、仕切り板105と、コーティングド
ラム104の下方に配設された陽極(ハース)106、
真空チャンバー2の所定位置(図示例では真空チャンバ
ー左側壁)に配設されたプラズマガン107、陰極10
8、中間電極109および補助コイル110を備えてい
る。また、陽極106の下部には永久磁石111が配設
されている。また、巻き取りロール103a、供給ロー
ル103bはリバース機構(図示せず)が装備されてお
り、両方向の巻き出し、巻き取りが可能となっている。
これは、基材フィルムの前加熱処理を行う際に、バリア
層の作製速度と異なるような場合に使用できる。例え
ば、基材フィルムロールを一旦前加熱処理をしながら巻
き取り、その後フィルムの搬送を逆にして、加熱処理が
施された基材フィルムロール上に、酸化珪素等のバリア
層を本装置にて成膜することができる。もちろん、基材
フィルムを加熱処理し、連続してバリア層を形成するこ
とも可能であることは言うまでもない。
When the amount of oxygen in SiO x as the evaporation source is insufficient (0 ≦ X ≦ 1.5), a thin film of silicon oxide is formed on the base film 2 while introducing oxygen gas into the chamber. To form a barrier layer 3. FIG. 2 is a configuration diagram of a take-up type hollow cathode (HCD) ion plating apparatus according to an embodiment of the present invention. In Figure 2,
The HCD-type ion plating apparatus 101 is disposed below the coating drum 104, a vacuum chamber 102, a take-up roll 103 a, a supply roll 103 b, a coating drum 104, a partition plate 105 provided in the chamber 102. Anode (hearth) 106,
The plasma gun 107 and the cathode 10 disposed at predetermined positions of the vacuum chamber 2 (the left side wall of the vacuum chamber in the illustrated example).
8, an intermediate electrode 109 and an auxiliary coil 110 are provided. Further, a permanent magnet 111 is provided below the anode 106. Further, the take-up roll 103a and the supply roll 103b are equipped with a reverse mechanism (not shown), and can be unwound and wound in both directions.
This can be used when the preheating treatment of the base film is different from the production speed of the barrier layer. For example, the base film roll is once wound up while performing a pre-heating process, and then the conveyance of the film is reversed, and a barrier layer such as silicon oxide is formed on the heat-treated base film roll by the present apparatus. A film can be formed. Of course, it is needless to say that the base film can be heat-treated to continuously form the barrier layer.

【0033】このようなHCD型イオンプレーティング
装置101を用いた酸化珪素薄膜の形成は以下のように
行われる。まず、陽極106に蒸発源115を配設し、
真空チャンバー102内部の圧力を1×10-4Torr
以下にする。この状態で、アルゴンガス(Ar)等のプ
ラズマガスをプラズマガン107に導入する。そして、
プラズマガン107で発生したプラズマビーム120は
補助コイル110により形成される磁界によって真空チ
ャンバー102内に引き出され、陽極106下方の永久
磁石111が作る磁界によって蒸発源115に収束し、
この蒸発源115を加熱する。その結果、加熱された部
分の蒸発源115は蒸発し、蒸発分子は陽極(ハース)
106の近傍に存在する高密度のプラズマ120により
イオン化され、コーティングドラム104上を移動する
基材フィルム2に衝突して酸化珪素の薄膜が形成され
る。このような酸化珪素の薄膜を形成した基材フィルム
2を巻き取りロール103aに巻き取ることによって、
本発明にかかる酸化珪素の薄膜からなるバリア層を有す
る透明バリアフィルムを製造することができる。尚、真
空チャンバー102内に、必要に応じて酸素吹き出し口
(図示せず)から酸素等を噴出させながら酸化珪素の薄
膜を形成しても良い。
The formation of a silicon oxide thin film using such an HCD type ion plating apparatus 101 is performed as follows. First, an evaporation source 115 is provided on the anode 106,
The pressure inside the vacuum chamber 102 is set to 1 × 10 −4 Torr
Do the following. In this state, a plasma gas such as an argon gas (Ar) is introduced into the plasma gun 107. And
The plasma beam 120 generated by the plasma gun 107 is drawn into the vacuum chamber 102 by the magnetic field formed by the auxiliary coil 110, and converges on the evaporation source 115 by the magnetic field generated by the permanent magnet 111 below the anode 106.
This evaporation source 115 is heated. As a result, the evaporation source 115 in the heated portion evaporates, and the evaporated molecules are converted to the anode (hearth).
Ionized by the high-density plasma 120 existing near 106 and collides with the base film 2 moving on the coating drum 104, a thin film of silicon oxide is formed. By winding the base film 2 on which the silicon oxide thin film is formed on a winding roll 103a,
A transparent barrier film having a barrier layer composed of a silicon oxide thin film according to the present invention can be manufactured. Note that a thin film of silicon oxide may be formed in the vacuum chamber 102 while blowing oxygen or the like from an oxygen blowing port (not shown) as needed.

【0034】積層材 次に、本発明の積層材について、上述の本発明の透明バ
リアフィルム1を用いた例を挙げて説明する。図3は、
本発明の積層材の実施形態を示す概略断面図である。図
3において、積層材11は、基材フィルム2の一方の面
にバリア層3を備えた透明バリアフィルム1と、この透
明バリアフィルム1のバリア層3上にアンカーコート剤
層および/または接着剤層12を介して形成したヒート
シール性樹脂層13とを備えている。
Next, the laminated material of the present invention will be described with reference to an example using the above-described transparent barrier film 1 of the present invention. FIG.
It is an outline sectional view showing an embodiment of a laminated material of the present invention. In FIG. 3, a laminated material 11 includes a transparent barrier film 1 having a barrier layer 3 on one surface of a base film 2, and an anchor coat agent layer and / or an adhesive on the barrier layer 3 of the transparent barrier film 1. A heat-sealing resin layer 13 formed through the layer 12.

【0035】積層材11を構成するアンカーコート剤層
12は、例えば、アルキルチタネート等の有機チタン系
アンカーコート剤、イソシアネート系アンカーコート
剤、ポリエチレンイミンアンカーコート剤、ポリブタジ
エン系アンカーコート剤等を使用して形成することがで
きる。アンカーコート剤層12の形成は、上記のような
アンカーコート剤を例えば、ロールコート、グラビアコ
ート、ナイフコート、ディップコート、スプレイコート
等の公知なコーティング法でコーティングし、溶剤、希
釈剤等を乾燥除去して行うことができる。上記のアンカ
ーコート剤の塗布量としては、0.1〜5g/m2(乾
燥状態)程度が好ましい。
The anchor coating agent layer 12 constituting the laminated material 11 is made of, for example, an organic titanium anchor coating agent such as alkyl titanate, an isocyanate anchor coating agent, a polyethyleneimine anchor coating agent, a polybutadiene anchor coating agent, or the like. Can be formed. The anchor coating agent layer 12 is formed by coating the above-mentioned anchor coating agent with a known coating method such as roll coating, gravure coating, knife coating, dip coating, spray coating, and drying the solvent, diluent and the like. It can be done by removing. The coating amount of the anchor coating agent is preferably about 0.1 to 5 g / m 2 (dry state).

【0036】また、積層材11を構成する接着剤層12
は、例えば、ポリウレタン系、ポリエステル系、ポリア
ミド系、エポキシ系、ポリ(メタ)アクリル系、ポリ酢
酸ビニル系、ポリオレフィン系、カゼイン、ワックス、
エチレン−(メタ)アクリル酸共重合体、ポリブタジエ
ン系等のビヒクルを主成分とする溶剤型、水性型、無溶
剤型、あるいは、熱溶融型等の各種ラミネート用接着剤
を使用して形成することができる。接着剤層12の形成
は、上記のようなラミネート用接着剤を、例えば、ロー
ルコート、グラビアコート、ナイフコート、ディップコ
ート、スプレイコート、その他のコーティング法でコー
ティングし、溶剤、希釈剤等を乾燥除去して行うことが
できる。上記のラミネート用接着剤の塗布量としては、
0.1〜5g/m2(乾燥状態)程度が好ましい。
The adhesive layer 12 constituting the laminated material 11
For example, polyurethane-based, polyester-based, polyamide-based, epoxy-based, poly (meth) acryl-based, polyvinyl acetate-based, polyolefin-based, casein, wax,
Formed using various types of laminating adhesives such as a solvent type, an aqueous type, a non-solvent type, or a hot-melt type which mainly contains a vehicle such as an ethylene- (meth) acrylic acid copolymer or polybutadiene. Can be. The adhesive layer 12 is formed by coating the above-mentioned laminating adhesive by, for example, roll coating, gravure coating, knife coating, dip coating, spray coating, or other coating methods, and drying the solvent, diluent, and the like. It can be done by removing. As the application amount of the above laminating adhesive,
It is preferably about 0.1 to 5 g / m 2 (dry state).

【0037】積層材11を構成するヒートシール性樹脂
層13に用いるヒートシール性樹脂としては、熱によっ
て溶融し、相互に融着し得る樹脂を挙げることができ
る。具体的には、低密度ポリエチレン、中密度ポリエチ
レン、高密度ポリエチレン、直鎖状(線状)低密度ポリ
エチレン、ポリプロピレン、エチレン−酢酸ビニル共重
合体、アイオノマー樹脂、エチレン−アクリル酸共重合
体、エチレン−メタクリル酸共重合体、エチレン−メタ
クリル酸メチル共重合体、エチレン−プロピレン共重合
体、メチルペンテンポリマー、ポリブテンポリマー、ポ
リエチレンまたはポリプロピレン等のポリオレフィン系
樹脂をアクリル酸、メタクリル酸、マレイン酸、無水マ
レイン酸、フマール酸、イタコン酸等の不飽和カルボン
酸で変性した酸変性ポリオレフィン樹脂、ぽり酢酸ビニ
ル系樹脂、ポリ(メタ)アクリル系樹脂、ポリ塩化ビニ
ル系樹脂等を使用することができる。ヒートシール性樹
脂層13は、上述のようなヒートシール性樹脂を塗布し
て形成してもよく、また上述のようなヒートシール性樹
脂からなるフィルムないしシートをラミネートして形成
しても良い。このようなヒートシール性樹脂層13の厚
みは、5〜300μm、好ましくは10〜100μmの
範囲内で設定することができる。
Examples of the heat-sealing resin used for the heat-sealing resin layer 13 constituting the laminated material 11 include resins that can be melted by heat and fused to each other. Specifically, low density polyethylene, medium density polyethylene, high density polyethylene, linear (linear) low density polyethylene, polypropylene, ethylene-vinyl acetate copolymer, ionomer resin, ethylene-acrylic acid copolymer, ethylene Methacrylic acid copolymer, ethylene-methyl methacrylate copolymer, ethylene-propylene copolymer, methylpentene polymer, polybutene polymer, polyolefin resin such as polyethylene or polypropylene, acrylic acid, methacrylic acid, maleic acid, maleic anhydride An acid-modified polyolefin resin modified with an unsaturated carboxylic acid such as an acid, fumaric acid, itaconic acid or the like, a vinyl acetate resin, a poly (meth) acrylic resin, a polyvinyl chloride resin or the like can be used. The heat-sealing resin layer 13 may be formed by applying the above-described heat-sealing resin, or may be formed by laminating a film or sheet made of the above-described heat-sealing resin. The thickness of such a heat-sealing resin layer 13 can be set within a range of 5 to 300 μm, preferably 10 to 100 μm.

【0038】図4は、本発明の積層材の他の実施形態を
示す概略断面図である。図4において、積層材21は、
基材フィルム2の一方の面にバリア層3を備えた透明バ
リアフィルム1と、この透明バリアフィルム1のバリア
層3上にアンカーコート剤層および/または接着剤層2
2を介して形成したヒートシール性樹脂層23と、透明
バリアフィルム1の基材フィルム2の他方の面(バリア
層非形成面)に設けられた基材24とを備えている。積
層材21を構成するアンカーコート剤層、接着剤層2
2、およびヒートシール性樹脂層23は、上述の積層材
11を構成するアンカーコート剤層、接着剤層12、お
よびヒートシール性樹脂層13と同様とすることがで
き、ここでの説明は省略する。
FIG. 4 is a schematic sectional view showing another embodiment of the laminated material of the present invention. In FIG. 4, the laminated material 21 is:
A transparent barrier film 1 having a barrier layer 3 on one surface of a base film 2, and an anchor coat agent layer and / or an adhesive layer 2 on the barrier layer 3 of the transparent barrier film 1.
2 and a substrate 24 provided on the other surface (the surface on which the barrier layer is not formed) of the substrate film 2 of the transparent barrier film 1. Anchor coating agent layer and adhesive layer 2 constituting laminated material 21
2, and the heat-sealable resin layer 23 can be the same as the anchor coat agent layer, the adhesive layer 12, and the heat-sealable resin layer 13 constituting the above-described laminated material 11, and the description thereof is omitted. I do.

【0039】積層材21を構成する基材24としては、
例えば、積層材21が包装用容器を構成する場合、基材
34が基材素材となることから、機械的、物理的、化学
的、その他等において優れた性質を有し、特に強度を有
して強靱であり、かつ耐熱性を有する樹脂のフィルムな
いしシートを使用することができる。具体的には、ポリ
エステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリアラミド系樹
脂、ポリオレフィン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、
ポリスチレン系樹脂、ポリアセタール系樹脂、フッ素系
樹脂等の強靱な樹脂の延伸(一軸ないし二軸)または未
延伸のフィルムないしシートを挙げることができる。こ
の基材24の厚みは、5〜100μm、好ましくは10
〜50μmが好ましい。
As the base material 24 constituting the laminated material 21,
For example, when the laminated material 21 forms a packaging container, since the base material 34 is a base material, the base material 34 has excellent properties in mechanical, physical, chemical, etc., and particularly has strength. It is possible to use a resin film or sheet which is strong and tough and has heat resistance. Specifically, polyester resin, polyamide resin, polyaramid resin, polyolefin resin, polycarbonate resin,
Examples include stretched (uniaxial or biaxial) or unstretched films or sheets of tough resins such as polystyrene resins, polyacetal resins, and fluorine resins. The thickness of the substrate 24 is 5 to 100 μm, preferably 10 to 100 μm.
~ 50 μm is preferred.

【0040】また、本発明においては、基材24に例え
ば、文字、図形、記号、絵柄、模様等の所望の印刷絵柄
を通常の印刷法で表刷り印刷あるいは裏刷り印刷あ施さ
れていても良い。このような文字等は、積層材21を構
成する透明バリアフィルム1が優れた透明性を有するの
で、この透明バリアフィルム1を介して極めて良好に目
認することができる。さらに、本発明では基材24とし
て、例えば、紙層を構成する各種の紙基材を使用するこ
とができる。具体的には賦形性、耐屈曲性、剛性等を持
たせた紙基材であり、例えば、純白ロール紙、クラフト
紙、板紙、加工紙等の紙基材を使用することができる。
このような紙基材としては坪量約80〜600g/m2
程度のものが好ましく、さらに好ましくは、100〜4
50g/m2程度のものを使用することが望ましい。ま
た、本発明では、基材24として、上述の樹脂のフィル
ムないしシートと上述の紙基材とを併用して使用するこ
ともできる。
Further, in the present invention, even if a desired print pattern such as a character, a figure, a symbol, a picture, a pattern, etc. is printed on the base material 24 by a normal printing method, the front print or the back print is performed. good. Such characters and the like can be recognized very well through the transparent barrier film 1 because the transparent barrier film 1 constituting the laminated material 21 has excellent transparency. Furthermore, in the present invention, for example, various paper base materials constituting a paper layer can be used as the base material 24. Specifically, it is a paper base material having shapeability, bending resistance, rigidity and the like. For example, paper base materials such as pure white roll paper, kraft paper, paperboard, and processed paper can be used.
Such a paper substrate has a basis weight of about 80 to 600 g / m 2.
Degree is preferable, and more preferably 100 to 4
It is desirable to use a material of about 50 g / m 2 . Further, in the present invention, as the substrate 24, the above-mentioned resin film or sheet and the above-mentioned paper substrate can be used in combination.

【0041】図5は、本発明の積層材の他の実施形態を
示す概略断面図である。図5において、積層材31は、
基材フィルム2の一方の面にバリア層3を備えた透明バ
リアフィルム1と、この透明バリアフィルム1のバリア
層3上にアンカーコート剤層および/または接着剤層3
2を介して形成したヒートシール性樹脂層33と、透明
バリアフィルム1の基材フィルム2の他方の面(バリア
層非形成面)に設けられた基材34と、この基材34に
形成したヒートシール性樹脂層35とを備えている。積
層材31を構成するアンカーコート剤層、接着剤層3
2、及びヒートシール性樹脂層33、35は、上述の積
層材11を構成するアンカーコート剤層、接着剤層12
およびヒートシール性樹脂層13と同様とすることがで
き、また、積層材31を構成する基材34は、上述の積
層材21を構成する基材24と同様とすることができる
ので、ここでの説明は省略する。
FIG. 5 is a schematic sectional view showing another embodiment of the laminated material of the present invention. In FIG. 5, the laminated material 31 is
A transparent barrier film 1 having a barrier layer 3 on one surface of a base film 2, and an anchor coat agent layer and / or an adhesive layer 3 on the barrier layer 3 of the transparent barrier film 1.
2, a heat-sealable resin layer 33 formed via the base material 2, a base material 34 provided on the other surface (the surface on which the barrier layer is not formed) of the base material film 2 of the transparent barrier film 1, and a base material 34 formed on the base material 34. And a heat-sealing resin layer 35. Anchor coat agent layer and adhesive layer 3 constituting laminated material 31
2, and the heat-sealable resin layers 33 and 35 are the anchor coat agent layer and the adhesive layer 12 that constitute the laminated material 11 described above.
And the heat-sealable resin layer 13, and the base material 34 constituting the laminated material 31 can be the same as the base material 24 constituting the above-described laminated material 21. Is omitted.

【0042】尚、本発明の積層材にはさらに、例えば、
水蒸気、水等のバリア性を有する低密度ポリエチレン、
中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、直鎖状低密
度ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレンープロピレ
ン共重合体等の樹脂フィルムないしシート、樹脂い顔料
等の着色剤、その他、所望の添加剤を加えて混練してフ
ィルム化してなる遮光性を有する各種の着色剤のフィル
ムないしシートを使用することができる。これらの材料
は、一種、または二種以上を組み合わせて使用すること
ができ、厚みは任意であるが、通常、5〜300μm、
好ましくは10〜100μm程度である。
The laminated material of the present invention further includes, for example,
Water vapor, low-density polyethylene with barrier properties such as water,
Medium-density polyethylene, high-density polyethylene, linear low-density polyethylene, polypropylene, resin films or sheets such as ethylene-propylene copolymer, coloring agents such as resin pigments, and other additives, and kneading. Films or sheets of various colorants having a light-shielding property formed into a film can be used. These materials can be used alone or in combination of two or more, and the thickness is arbitrary, but usually 5 to 300 μm,
Preferably it is about 10 to 100 μm.

【0043】さらに包装用容器の用途に本発明の積層材
が使用される場合、通常、包装用容器は物理的にも化学
的にも過酷な条件にさらされることから、積層材にも厳
しい包装適性が要求される。具知的には、変形防止強
度、落下衝撃強度、耐ピンホール性、耐熱性、密封性、
品質保全性、作業性、衛生性、その他等の種々の条件が
要求され、このため、本発明の積層材には、上述のよう
な諸条件を満足する材料を任意に選択して、基材フィル
ム1、基材24、34、あるいは、他の構成部材として
使用することができる。具体的には低密度ポリエチレ
ン、中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、線状低
密度ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−プロピ
レン共重合体、エチレンー酢酸ビニル共重合体、アイオ
ノマー樹脂、エチレンーアクリル酸エチル共重合体、エ
チレンーアクリル酸またはメタクリル酸共重合体、メチ
ルペンテンポリマー、ポリブテン系樹脂、ポリ塩化ビニ
ル系樹脂、ポリ塩化ビニリデン系樹脂、ポリ酢酸ビニル
系樹脂、塩化ビニル−塩化ビニリデン系樹脂、ポリスチ
レン系樹脂、アクリロニトリル−スチレン共重合体(A
BS系樹脂)、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹
脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリビニルアルコール系
樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合体のケン化物、フッ
素系樹脂、ジエン系樹脂、ポリアセタール系樹脂、ポリ
ウレタン系樹脂、ニトロセルロース等の公知の樹脂のフ
ィルムないしシートから任意に選択して使用することが
できる。その他、例えばセロハン等のフィルム、合成紙
等も使用することができる。
Further, when the laminated material of the present invention is used for the purpose of a packaging container, the packaging container is usually exposed to severe physical and chemical conditions. Suitability is required. Intellectually, deformation prevention strength, drop impact strength, pinhole resistance, heat resistance, sealability,
Various conditions such as quality maintainability, workability, hygiene, etc. are required. For this reason, the laminated material of the present invention may be arbitrarily selected from materials satisfying the above-described various conditions, It can be used as the film 1, the substrates 24, 34, or other components. Specifically, low density polyethylene, medium density polyethylene, high density polyethylene, linear low density polyethylene, polypropylene, ethylene-propylene copolymer, ethylene-vinyl acetate copolymer, ionomer resin, ethylene-ethyl acrylate copolymer, Ethylene-acrylic acid or methacrylic acid copolymer, methylpentene polymer, polybutene resin, polyvinyl chloride resin, polyvinylidene chloride resin, polyvinyl acetate resin, vinyl chloride-vinylidene chloride resin, polystyrene resin, acrylonitrile -Styrene copolymer (A
(BS resin), polyester resin, polyamide resin, polycarbonate resin, polyvinyl alcohol resin, saponified ethylene-vinyl acetate copolymer, fluorine resin, diene resin, polyacetal resin, polyurethane resin, nitro resin Any known film or sheet of a known resin such as cellulose can be used. In addition, for example, a film such as cellophane, synthetic paper, or the like can be used.

【0044】上記のフィルムないしシートは、未延伸、
一軸ないし二軸方向に延伸されたもの等のいずれも使用
することができる。またその厚みは任意に決定できる
が、数μmから300μm程度の範から選択して使用す
ることができる。また積層位置は特に制限はない。ま
た、本発明においては、フィルムないシートは、押し出
し成膜、インフレーション成膜、コーティング等のいず
れの性状の膜でも良い。上述の積層材11、21、31
のような本発明の積層材は、通常の包装材料をラミネー
トする方法、例えば、ウェットラミネーション法、ドラ
イラミネーション法、無溶剤型ドライラミネーション
法、押し出しラミネーション法、Tダイ押し出し成形
法、共押し出しラミネーション法、インフレーション
法、共押し出しインフレーション法等を用いて製造する
ことができる。
The above film or sheet is unstretched,
Any of those uniaxially or biaxially stretched can be used. The thickness can be arbitrarily determined, but can be selected from a range of several μm to 300 μm. The lamination position is not particularly limited. In the present invention, the sheet without a film may be a film having any property such as extrusion film formation, inflation film formation, and coating. The above-described laminated materials 11, 21, 31
The laminated material of the present invention is a method of laminating a usual packaging material, for example, a wet lamination method, a dry lamination method, a solventless dry lamination method, an extrusion lamination method, a T-die extrusion molding method, a co-extrusion lamination method. , An inflation method, a co-extrusion inflation method and the like.

【0045】尚、上記の積層を行う際には、必要なら、
例えば、コロナ処理、オゾン処理等の前処理をフィルム
に施すことができ、また、例えば、イソシアネート系
(ウレタン系)ポリエチレンイミン系、ポリブタジエン
系、有機チタン系、アンカーコート剤、あるいはポリブ
ウレタン系、ポリアクリル系、ポリエステル系、エポキ
シ系、ポリ酢酸ビニル系、セルロース系等のラミネート
用接着剤等の公知の接着剤等を使用することができる。
When performing the above-mentioned lamination, if necessary,
For example, the film can be subjected to a pretreatment such as a corona treatment or an ozone treatment. For example, isocyanate (urethane) polyethyleneimine, polybutadiene, organotitanium, anchor coating agent, or polyurethane, polyacrylic A known adhesive such as a laminating adhesive of a polyester, polyester, epoxy, polyvinyl acetate or cellulose type can be used.

【0046】包装用容器 次に本発明の包装用容器について説明する。本発明の包
装用容器は本発明の積層材を用いて熱融着により製袋ま
たは製函したものである。具体的には、包装用容器が軟
包装袋の場合、本発明の積層材のヒートシール性樹脂層
の面を対向させて折重ねるか、あるいは、本発明の積層
材二枚を重ね合わせ、その周辺端部を、例えば、側面シ
ール型、二方シール型、三方シール型、四方シール型、
封筒貼りシール型、合掌貼りシール型(ピローシール
型)、ひだ付シール型、平底シール型、角底シール型、
その他等のヒートシール形態により熱融着してシール部
を形成することにより、本発明にかかる種々の形態の包
装用容器を製造することができる。
Next, the packaging container of the present invention will be described. The packaging container of the present invention is a bag or box made by heat fusion using the laminated material of the present invention. Specifically, when the packaging container is a soft packaging bag, the heat-sealing resin layer of the laminated material of the present invention may be folded with the surfaces of the resin layers facing each other, or two laminated materials of the present invention may be laminated, The peripheral end, for example, side seal type, two-side seal type, three-side seal type, four-side seal type,
Envelope seal type, Gassho seal type (pillow seal type), fold seal type, flat bottom seal type, square bottom seal type,
Various forms of packaging containers according to the present invention can be manufactured by forming a sealed portion by heat fusion using other heat sealing forms.

【0047】上述において、熱融着は、例えば、バーシ
ール、回転ロールシール、ベルトシール、インパルスシ
ール、高周波シール、超音波シール等の公知の方法で行
うことができる。図6は、上記のような本発明の包装用
容器の一実施形態を示す斜視図である。図6において包
装用容器51は、1組の本発明の積層材11を、そのヒ
ートシール性樹脂層13が対向するように重ね合わせ、
この状態で周辺部の三方において熱融着を行ってシール
部52を形成したものである。この包装用容器51は、
周辺部の残りの一方に形成された開口部53から内容物
を充填することができる。本発明の包装用容器は上記の
他に、例えば、自立性包装袋(スタンディングパウチ)
等も可能であり、さらに、本発明の積層材を使用してチ
ューブ容器等も製造することができる。
In the above description, heat fusion can be performed by a known method such as a bar seal, a rotating roll seal, a belt seal, an impulse seal, a high frequency seal, and an ultrasonic seal. FIG. 6 is a perspective view showing one embodiment of the packaging container of the present invention as described above. In FIG. 6, a packaging container 51 is formed by stacking a pair of laminated materials 11 of the present invention such that the heat-sealable resin layer 13 faces each other.
In this state, heat sealing is performed on three sides of the peripheral portion to form the seal portion 52. This packaging container 51
The contents can be filled from the opening 53 formed in the other one of the peripheral portions. In addition to the above, the packaging container of the present invention is, for example, a self-supporting packaging bag (standing pouch).
And the like, and a tube container or the like can be manufactured using the laminated material of the present invention.

【0048】尚、本発明においては、上記のような包装
用容器に、例えば、ワンピースタイプ、ツウピースタイ
プ、その他の注入口、あるいは開閉用ジッパー等を任意
に取り付けることができる。また、本発明の包装用容器
が紙基材を含む液体充填用紙容器の場合、紙基材を積層
した本発明の積層材を使用して、所望の紙容器を製造す
るためのブランク板を作製し、このブランク板を使用し
て胴部、底部、頭部等を形成することにより、例えば、
ブリックタイプ、フラットタイプ、あるいはゲーベルト
タイプの液体用紙容器等を製造することができる。ま
た、その形状は、角型容器、丸形等の円筒状の紙缶等の
いずれのものでも製造することができる。
In the present invention, for example, a one-piece type, a two-piece type, another inlet, or a zipper for opening and closing can be arbitrarily attached to the above-mentioned packaging container. Further, when the packaging container of the present invention is a liquid-filled paper container containing a paper substrate, a blank plate for manufacturing a desired paper container is produced using the laminated material of the present invention in which the paper substrates are laminated. By using this blank plate to form the trunk, bottom, head, etc., for example,
Brick type, flat type or Gebelt type liquid paper containers can be manufactured. In addition, the shape thereof can be manufactured by any of a square container, a cylindrical paper can such as a round shape, and the like.

【0049】図7は、本発明の包装用容器である上記の
液体充填用紙容器の一示実施形態を示す斜視図であり、
図8は、図7に示される包装用容器に用いるブランク板
の平面図である。ブランク板70は、例えば、図5に示
される本発明の積層材31を使用し、容器形成における
折り曲げ加工用の押圧線m、m・・・と、容器61の胴
部62を構成する胴部パネル71、72、73、74
と、容器61の頂部63を構成する頂部パネル71a、
72a、73a、74aと、、容器61の底部64を構
成する底部パネル71b、72b、73b、74bと、
筒体形成用の熱融着用パネル75とを備えるように打ち
抜き加工して作製されたものである。このブランク板7
0を、押圧線m、m・・・で折り曲げ、胴部パネル71
の端部内側と熱融着用パネル75の外側とを熱融着して
筒体を形成し、その後、底部パネル71b、72b、7
3b、74bを押圧線m、m・・・で折り曲げ熱融着
し、頂部の開口から液体を充填した後に、頂部パネル7
1a、72a、73a、74aを押圧線m、m・・・で
折り曲げ熱融着することにより、液体を充填包装した包
装用容器61とすることができる。
FIG. 7 is a perspective view showing one embodiment of the above-mentioned liquid-filled paper container which is a packaging container of the present invention.
FIG. 8 is a plan view of a blank plate used for the packaging container shown in FIG. The blank plate 70 uses, for example, the laminated material 31 of the present invention shown in FIG. 5, and press lines m, m... For bending in forming a container, and a trunk forming the trunk 62 of the container 61. Panels 71, 72, 73, 74
And a top panel 71a constituting a top 63 of the container 61,
72a, 73a, 74a, and bottom panels 71b, 72b, 73b, 74b constituting the bottom 64 of the container 61;
It is manufactured by punching so as to include a heat-sealing panel 75 for forming a cylindrical body. This blank plate 7
0 is bent by pressing lines m, m,.
And the outside of the heat-sealing panel 75 is heat-sealed to form a tubular body, and then the bottom panels 71b, 72b, 7
3b, 74b are bent by pressing lines m, m,... And are heat-sealed and filled with liquid from the top opening.
By folding and heat-sealing 1a, 72a, 73a, 74a along the pressing lines m, m,..., A packaging container 61 filled with liquid can be obtained.

【0050】本発明の包装用容器は、種々の飲食品、接
着剤、粘着剤等の化学品、化粧品、医薬品、ケミカルカ
イロ等の雑貨品、その他の種々の物品の充填包装い使用
されるものである。
The packaging container of the present invention is used for filling and packaging various foods and drinks, chemicals such as adhesives and adhesives, cosmetics, pharmaceuticals, miscellaneous goods such as chemical warmers, and other various articles. It is.

【0051】[0051]

【実施例】次に、実施例を示して本発明を更に詳細に説
明する。 (実施例1)基材フィルムとしてロール状の二軸延伸ポ
リエチレンテレフタレートフィルム(東レ製(株)製T
−60、厚さ12μm、幅660mm、長さ5000
m)を用い、これを図2に示されるような巻き取り式の
ホロカソード型イオンプレーティング装置のチャンバー
内に装着した。次にチャンバー内を、油回転ポンプおよ
び油拡散ポンプにより、到達真空度1×10-5Torr
まで減圧した。続いて図2の巻き取りフィルムを10m
/分で巻き取りながら、IRヒーター116によりバリ
ア層の成膜前に予め60℃の加熱を行った。この時の真
空度は1×10-4Torrであった。次に、チャンバー
内を、油回転ポンプおよび油拡散ポンプにより、到達真
空度1×10-5Torrまで減圧した。
Next, the present invention will be described in more detail with reference to examples. (Example 1) A roll-shaped biaxially stretched polyethylene terephthalate film (Tray Co., Ltd.
-60, thickness 12μm, width 660mm, length 5000
m) and mounted in a chamber of a take-up horocathode ion plating apparatus as shown in FIG. Next, the inside of the chamber was reached at a degree of ultimate vacuum of 1 × 10 −5 Torr by an oil rotary pump and an oil diffusion pump.
The pressure was reduced to Subsequently, the rolled film shown in FIG.
At a rate of 60 ° C./min, heating was performed at 60 ° C. by the IR heater 116 before forming the barrier layer. At this time, the degree of vacuum was 1 × 10 −4 Torr. Next, the pressure in the chamber was reduced to an ultimate vacuum of 1 × 10 −5 Torr by an oil rotary pump and an oil diffusion pump.

【0052】また蒸発源として二酸化珪素(メルクジャ
パン(株)製、純度99%、粒径2.5〜4mm)を準
備し、陽極(ハース)上に搭載した。真空ポンプとチャ
ンバーとの間にあるバルブの開閉度を制御することによ
り、成膜時のチャンバー内の圧力を1×10-3Torr
に保ちながら、基材フィルムを加熱処理したロールを巻
き戻しながら、アルゴンガスを導入したホロカソード型
プラズマガンを用い、陽極(ハース)上の蒸発源にプラ
ズマ流を収束させて照射することにより蒸発させ、高密
度プラズマにより蒸発分子をイオン化させて、基材フィ
ルム上に酸化珪素(SiOy(y=1.9))の薄膜を
形成した。また、基材フィルムの走行速度は、形成され
る酸化珪素層の膜厚が20nmになるように、100m
/分に設定した。
Silicon dioxide (manufactured by Merck Japan KK, purity: 99%, particle size: 2.5 to 4 mm) was prepared as an evaporation source and mounted on an anode (hearth). By controlling the opening / closing degree of a valve between the vacuum pump and the chamber, the pressure in the chamber during film formation is increased to 1 × 10 −3 Torr.
Using a hollow cathode type plasma gun introduced with argon gas, the plasma flow is evaporated by converging and irradiating the plasma flow to an evaporation source on the anode (hearth) while unwinding the roll that has been subjected to the heat treatment of the base film while maintaining the temperature. Evaporated molecules were ionized by high-density plasma to form a thin film of silicon oxide (SiOy (y = 1.9)) on the base film. The traveling speed of the base film is set to 100 m so that the thickness of the formed silicon oxide layer becomes 20 nm.
/ Min.

【0053】また、基材フィルムに酸化珪素を成膜する
際に、プラズマイオン流による基材フィルムの熱ダメー
ジを緩和するために、基材フィルムを−10℃に冷却し
た。具体的には成膜ドラム104(図2)内に、−10
℃に冷却されたエチレングリコール冷媒を流すことによ
りドラム温度を下げ、基材フィルムの冷却を行った。ま
た、酸化珪素薄膜の膜厚は、蛍光X線分析装置(理学電
気(株)製RIX−3100)を用いて測定した。これ
により本発明の透明バリアフィルム(試料1)を得た。
In forming silicon oxide on the substrate film, the substrate film was cooled to -10 ° C. in order to reduce thermal damage of the substrate film due to the plasma ion flow. Specifically, -10 is formed in the film forming drum 104 (FIG. 2).
The temperature of the drum was lowered by flowing an ethylene glycol refrigerant cooled to ° C., and the substrate film was cooled. The thickness of the silicon oxide thin film was measured using a fluorescent X-ray analyzer (RIX-3100 manufactured by Rigaku Corporation). Thus, a transparent barrier film (Sample 1) of the present invention was obtained.

【0054】(実施例2)IRヒーターで、薄膜形成前
の加熱処理を100℃、30m/分とした以外は、実施
例1と同様の操作を行い、本発明の透明バリアフィルム
(試料2)を得た。 (実施例3)IRヒーターで、薄膜形成前の加熱処理を
120℃、50m/分とした以外は、実施例1と同様の
操作を行い、本発明の透明バリアフィルム(試料3)を
得た。 (実施例4)基材フィルム巻き取り、IRランプ116
にて、60℃の加熱処理を行いながら引き続き、酸化珪
素バリア層を連続して30m/分で成膜した以外は実施
例1と同様の操作を行い、本発明の透明バリアフィルム
(試料4)を得た。 (実施例5)基材フィルム巻き取りロールを静止させ、
その状態でIRランプ116にて、60℃、1時間の加
熱処理を行い、その後加熱部を成膜ドラム104まで移
動させ、その状態で基材フィルムの加熱部分にバリア層
を形成した以外は実施例1と同様の操作を行い、本発明
の透明バリアフィルム(試料5)を得た。
Example 2 A transparent barrier film of the present invention (Sample 2) was prepared in the same manner as in Example 1 except that the heat treatment before forming the thin film was performed at 100 ° C. and 30 m / min with an IR heater. I got (Example 3) A transparent barrier film (sample 3) of the present invention was obtained by performing the same operation as in Example 1 except that the heat treatment before forming the thin film was performed at 120 ° C and 50 m / min with an IR heater. . (Example 4) Winding of base film, IR lamp 116
Then, the same operation as in Example 1 was performed except that the silicon oxide barrier layer was continuously formed at a rate of 30 m / min while performing the heat treatment at 60 ° C., and the transparent barrier film of the present invention (sample 4) I got (Example 5) The base film take-up roll was stopped,
In this state, heat treatment was performed at 60 ° C. for 1 hour with the IR lamp 116, and then the heating unit was moved to the film forming drum 104, and a barrier layer was formed in the heated part of the base film in that state. The same operation as in Example 1 was performed to obtain a transparent barrier film of the present invention (Sample 5).

【0055】(実施例6)基材フィルムとしてロール状
の二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム(東レ
製(株)製ルミラーS−10、厚さ12μm、幅600
mm、長さ5000m)を用い、これを図2に示される
ような巻き取り式のホロカソード型イオンプレーティン
グ装置のチャンバー内に装着した。次に、チャンバー内
を、油回転ポンプおよび油拡散ポンプにより、到達真空
度1×10-5Torrまで減圧した。また蒸発源として
二酸化珪素(メルクジャパン(株)製、純度99%、粒
径2.5〜4mm)を準備し、陽極(ハース)上に搭載
した。次に、ロールフィルムを巻き取りながら、薄膜が
形成される前段階において、フィルムに対向した電極
(図示せず)に13.56MHzの高周波を印加し、瞬
時に基材フィルムを70℃に加熱した。
Example 6 A roll-shaped biaxially stretched polyethylene terephthalate film (Lumirror S-10 manufactured by Toray Industries, Ltd., thickness 12 μm, width 600) was used as a base film.
mm and a length of 5000 m), and this was mounted in a chamber of a take-up type hollow cathode ion plating apparatus as shown in FIG. Next, the pressure in the chamber was reduced to an ultimate vacuum of 1 × 10 −5 Torr by an oil rotary pump and an oil diffusion pump. Silicon dioxide (purity 99%, particle size 2.5 to 4 mm, manufactured by Merck Japan Ltd.) was prepared as an evaporation source and mounted on an anode (hearth). Next, while winding the roll film, a high frequency of 13.56 MHz was applied to an electrode (not shown) facing the film at a stage before the thin film was formed, and the base film was instantaneously heated to 70 ° C. .

【0056】次に、チャンバーのコーティングドラムの
近傍に酸素ガスを流量50sccmで導入し、真空ポン
プとチャンバーとの間にあるバルブの開閉度を制御する
ことにより、成膜時のチャンバー内の圧力を1×10-3
Torrに保った。そして、アルゴンガスを導入したホ
ロカソード型プラズマガンを用い、陽極(ハース)上の
蒸発源にプラズマ流を収束させて照射することにより蒸
発させ、高密度プラズマにより蒸発分子をイオン化させ
て、基材フィルム上に酸化珪素(SiOy(y=1.
9))の薄膜を形成した。また、基材フィルムの走行速
度は、形成される酸化珪素層の膜厚が20nmになるよ
うに、100m/分に設定した。
Next, oxygen gas was introduced at a flow rate of 50 sccm near the coating drum of the chamber, and the opening / closing degree of a valve between the vacuum pump and the chamber was controlled to reduce the pressure in the chamber during film formation. 1 × 10 -3
Torr. Then, using a holo-cathode type plasma gun into which argon gas is introduced, the plasma flow is converged and irradiated to the evaporation source on the anode (hearth) to evaporate, and the evaporated molecules are ionized by high-density plasma, and the base film is formed. Silicon oxide (SiOy (y = 1.
9)) A thin film was formed. The running speed of the substrate film was set to 100 m / min so that the thickness of the formed silicon oxide layer became 20 nm.

【0057】また、基材フィルムに酸化珪素を成膜する
際に、プラズマイオン流による基材フィルムの熱ダメー
ジを緩和するために、基材フィルムを−10℃に冷却し
た。具体的には成膜ドラム104(図2)内に、−10
℃に冷却されたエチレングリコール冷媒を流すことによ
りドラム温度を下げ、基材フィルムの冷却を行った。ま
た、酸化珪素薄膜の膜厚は、蛍光X線分析装置(理学電
気(株)製RIX−3100)を用いて測定した。これ
により本発明の透明バリアフィルム(試料6)を得た。
In forming silicon oxide on the substrate film, the substrate film was cooled to -10 ° C. in order to reduce the thermal damage of the substrate film due to the plasma ion flow. Specifically, -10 is formed in the film forming drum 104 (FIG. 2).
The temperature of the drum was lowered by flowing an ethylene glycol refrigerant cooled to ° C., and the substrate film was cooled. The thickness of the silicon oxide thin film was measured using a fluorescent X-ray analyzer (RIX-3100 manufactured by Rigaku Corporation). Thus, a transparent barrier film of the present invention (sample 6) was obtained.

【0058】(比較例)実施例1の薄膜作製法におい
て、ロールフィルムの加熱処理を行わないで酸化珪素膜
を作製した。 (評価)上記のようにして作製した各種透明バリアフィ
ルムの酸化珪素薄膜について、酸素透過率を下記のよう
にして測定し、結果を表1に示した。
(Comparative Example) In the thin film manufacturing method of Example 1, a silicon oxide film was manufactured without performing heat treatment on the roll film. (Evaluation) The oxygen transmittance of the silicon oxide thin films of the various transparent barrier films produced as described above was measured as follows, and the results are shown in Table 1.

【0059】酸素透過率 MOCON式ガス透過率測定装置(モダンコントロール
社製OXTRAN2/20)を用いて、温度23℃、湿
度0%RHの条件下で測定した。水蒸気透過率 水蒸気透過率測定装置(モダンコントロール社製PER
MATRAN−W3/31)を用いて、温度38℃、湿
度100%RHで測定した。後加工適性、充填包装適性 2液硬化型ポリウレタン系樹脂の7%溶液からなる接着
剤を使用し、作製した各種バリアフィルムの酸化珪素薄
膜上に接着剤層(厚み1μm)を形成した。次いで、こ
の接着剤層上に、低密度ポリエチレンを押し出しコート
して、厚み60μmのヒートシール性樹脂層を形成し、
図3に示されるような層構成の積層材を作製した。次に
各積層材を使用し、製袋機により製袋して図6に示され
るような3方シール型のプラスチック袋を製造し、この
プラスチック袋の醤油を充填した後、開口部を熱融着し
て充填包装製品を製造した。この一連の加工における適
性を下記基準で評価して、後加工適性、充填包装適性と
した。
Oxygen Permeability Using a MOCON type gas permeability measuring device (OXTRAN 2/20 manufactured by Modern Control), the oxygen permeability was measured at a temperature of 23 ° C. and a humidity of 0% RH. Water vapor transmission rate Water vapor transmission rate measuring device (PER manufactured by Modern Control Co., Ltd.)
MATRAN-W3 / 31) at a temperature of 38 ° C. and a humidity of 100% RH. Using an adhesive consisting of a 7% solution of a two-component curable polyurethane resin suitable for post-processing and filling and packaging , an adhesive layer (1 μm thick) was formed on the silicon oxide thin film of each of the prepared barrier films. Next, a low-density polyethylene was extrusion-coated on the adhesive layer to form a heat-sealable resin layer having a thickness of 60 μm.
A laminated material having a layer configuration as shown in FIG. 3 was produced. Next, using each laminated material, a three-side sealed plastic bag as shown in FIG. 6 is manufactured by a bag making machine, and after filling the plastic bag with soy sauce, the opening is thermally melted. To produce a filled packaging product. The suitability in this series of processing was evaluated based on the following criteria, and the result was regarded as suitability for post-processing and suitability for filling and packaging.

【0060】(評価基準) ○:外観上欠陥がなく、通用環境下で数日経過後の内容
物に全く変質がなく、鮮度を保持していた。 ×:外観上欠陥を生じた、あるいは、通用環境下で数日
経過後の内容物に著しい変質が生じた。
(Evaluation Criteria) な く: No defects in appearance, no alteration of contents after several days in a general environment, and freshness was maintained. X: Defects appeared on the appearance, or the contents deteriorated remarkably after several days in a normal environment.

【0061】[0061]

【表1】 [Table 1]

【0062】表1に示されるように、本発明の透明バリ
アフィルム(試料1〜4)は、いずれも優れた酸素透過
バリア性が得られ、また後加工適性、充填包装適性を有
することが確認された。一方、比較試料は、酸素透過バ
リア性が従来型としては比較的良好ではあるものの、本
発明の透明バリアフィルムに比べると差がありそのバリ
ア層性は劣り、また後加工適性、充填包装適性も不十分
なものであった。
As shown in Table 1, it was confirmed that all of the transparent barrier films (samples 1 to 4) of the present invention had excellent oxygen permeation barrier properties, and were suitable for post-processing and filling and packaging. Was done. On the other hand, although the comparative sample has relatively good oxygen permeability barrier properties as the conventional type, there is a difference as compared with the transparent barrier film of the present invention, the barrier layer properties are inferior, and the suitability for post-processing and filling and packaging is also good. It was not enough.

【0063】基材フィルムの脱ガス測定 図9に一例として、二軸延伸ポリエチレンテレフタレー
トフィルム(PETフィルム)(東レ製(株)製T−6
0、厚さ12μm、)を図2の装置内で60℃定常加熱
状態における脱ガスの質量分析測定を脱ガス質量分析装
置(アルバック社製 TDS−2000)を用いて行っ
た。図か9から明らかなように同基材フィルムにおい
て、質量数17のOH+、量数18のH2+、が顕著に
観測され、更に質量数2のH2 +、質量数28のCO+
質量数44のCO2 +、が観測された。この結果、PET
基材フィルムの加熱処理においては、水分の脱ガスが最
も多く起こっており、バリア層形成時に水分の脱ガスが
起こることで、そのバリア性能が低下することが考えら
れる。
Measurement of Degassing of Base Film FIG. 9 shows an example of a biaxially stretched polyethylene terephthalate film (PET film) (T-6 manufactured by Toray Industries, Inc.).
0 and a thickness of 12 μm) in the apparatus shown in FIG. 2 in a steady heating state at 60 ° C., using a degassing mass spectrometer (TDS-2000 manufactured by ULVAC, Inc.). As is clear from FIG. 9 and FIG. 9, OH + having a mass number of 17 and H 2 O + having a mass number of 18 were remarkably observed in the same base film, and H 2 + having a mass number of 2 and CO 2 having a mass number of 28 were observed. + ,
CO 2 + with a mass number of 44 was observed. As a result, PET
In the heat treatment of the base film, the degassing of water occurs most frequently, and it is considered that the degassing of water occurs at the time of forming the barrier layer, thereby deteriorating the barrier performance.

【0064】[0064]

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば蒸
発源としてSiOX(0≦X≦2)を用いてイオンプレ
ティング法により成膜された酸化珪素(SiOY(1.
5≦Y≦2))からなるバリア層は、成膜前に特定の加
熱処理を施すことにより、優れた酸素透過バリア性を持
ち、透明性も良好で、緻密であり高い酸素透過バリア性
と共に耐衝撃性を持つので、このようなバリア層を備え
た透明バリアフィルムは、高い酸素透過バリア性を安定
して維持することができる。また、この透明バリアフィ
ルムを用いた積層材は上記の特性に加え、ヒートシール
性樹脂層による後加工適性を備えるものであり、このよ
うな積層材を製袋または製函した包装用容器は、内容物
の充填包装適性に優れ、且つ、良好な電子レンジ適性を
有する。
As described above in detail, SiO X (0 ≦ X ≦ 2) silicon oxide deposited by an ion pre-plating method using the evaporation source according to the present invention (SiO Y (1.
The barrier layer composed of 5 ≦ Y ≦ 2) has an excellent oxygen permeation barrier property and a good transparency, is dense and has a high oxygen permeation barrier property by being subjected to a specific heat treatment before film formation. Since it has impact resistance, the transparent barrier film provided with such a barrier layer can stably maintain a high oxygen permeation barrier property. Further, in addition to the above properties, the laminated material using the transparent barrier film has post-processing suitability with a heat-sealable resin layer. It has excellent suitability for filling and packaging the contents and has good suitability for microwave ovens.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の透明バリアフィルムの一実施形態を示
す概略断面図である。
FIG. 1 is a schematic sectional view showing one embodiment of a transparent barrier film of the present invention.

【図2】本発明の透明バリアフィルムの製造に使用する
ホロカソード型イオンプレーティング装置の具体的説明
図である。
FIG. 2 is a specific explanatory view of a holo-cathode ion plating apparatus used for producing the transparent barrier film of the present invention.

【図3】本発明の透明バリアフィルムを用いた積層材の
一実施形態を示す概略断面図である。
FIG. 3 is a schematic sectional view showing an embodiment of a laminated material using the transparent barrier film of the present invention.

【図4】本発明の透明バリアフィルムを用いた積層材の
他の実施形態を示す概略断面図である。
FIG. 4 is a schematic sectional view showing another embodiment of a laminated material using the transparent barrier film of the present invention.

【図5】本発明の透明バリアフィルムを用いた積層材の
他の実施形態を示す概略断面図である。
FIG. 5 is a schematic cross-sectional view showing another embodiment of the laminated material using the transparent barrier film of the present invention.

【図6】本発明の透明バリアフィルムを用いた包装用容
器の一実施形態を示す概略断面図である。
FIG. 6 is a schematic sectional view showing an embodiment of a packaging container using the transparent barrier film of the present invention.

【図7】本発明の透明バリアフィルムを用いた包装用容
器の他の実施形態を示す概略断面図である。
FIG. 7 is a schematic sectional view showing another embodiment of a packaging container using the transparent barrier film of the present invention.

【図8】図7に示される包装用容器の製造に使用するブ
ランク板の平面図である。
FIG. 8 is a plan view of a blank plate used for manufacturing the packaging container shown in FIG.

【図9】本発明の基材フィルムの前加熱処理をした際の
脱ガスの質量分析を行った一測定結果を示す図である。
FIG. 9 is a diagram showing one measurement result obtained by performing mass spectrometry of degassing when the base film of the present invention is subjected to preheating treatment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 透明バリアフィルム 2 基材フィルム 3 バリア層 11、21、31 積層材 12、22、32 アンカーコート剤層、接着剤
層 13、23、33 ヒートシール性樹脂層 51、61 包装用容器 101 ホロカソード型イオンプレー
ティング装置 102 真空チャンバー 104 コーティングドラム 107 ホロカソード型プラズマガン 115 原料 116 IRランプ 117a,b 温度センサー 118 RF電源 119 Arガス導入管
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Transparent barrier film 2 Base film 3 Barrier layer 11, 21, 31 Laminated material 12, 22, 32 Anchor coating agent layer, adhesive layer 13, 23, 33 Heat-sealable resin layer 51, 61 Packaging container 101 Holo cathode type Ion plating apparatus 102 Vacuum chamber 104 Coating drum 107 Hollow cathode plasma gun 115 Raw material 116 IR lamp 117a, b Temperature sensor 118 RF power supply 119 Ar gas introduction pipe

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) B65D 30/02 B65D 30/02 65/40 65/40 D Fターム(参考) 3E064 AA01 BA30 BA36 BA55 BB10 BC08 BC13 3E086 AD01 AD02 BA04 BA15 BA24 BA40 BB02 BB05 BB15 BB22 BB85 CA01 CA28 4F100 AA20B AA20C AJ04A AK01D AK01E AK03A AK07A AK12A AK42A AK46A AR00B AR00C AT00A BA02 BA03 BA04 BA05 BA06 BA07 BA10B BA10C BA10D BA10E BA13 DA01 EH662 EJ38A GB15 JD02B JD02C JD03 JD03B JD03C JK10 JL12D JL12E JM02B JM02C JN01 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI theme coat ゛ (reference) B65D 30/02 B65D 30/02 65/40 65/40 DF term (reference) 3E064 AA01 BA30 BA36 BA55 BB10 BC08 BC13 3E086 AD01 AD02 BA04 BA15 BA24 BA40 BB02 BB05 BB15 BB22 BB85 CA01 CA28 4F100 AA20B AA20C AJ04A AK01D AK01E AK03A AK07A AK12A AK42 J AK46A AR00B AR00C AT00A BA02 BA03 BA10 BA05 BA10 BA05 BA10 JL12D JL12E JM02B JM02C JN01

Claims (16)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基材フィルムと、該フィルムの少なく
とも一方の面に設けられたバリア層とを少なくとも有
し、且つ前記バリア層は蒸発源としてSiOX(0≦X
≦2)を用いてイオンプレーティング法により成膜され
た酸化珪素(SiOY(1.5≦Y≦2))を主体とす
る薄膜であり、且つ該薄膜の酸素透過率が0.02〜
0.5cc/m2・dayの範囲であることを特徴とす
る透明バリアフィルム。
2. The method according to claim 1, further comprising a base film, and a barrier layer provided on at least one surface of the film, wherein the barrier layer is formed of SiO x (0 ≦ X) as an evaporation source.
≦ 2), a thin film mainly composed of silicon oxide (SiO Y (1.5 ≦ Y ≦ 2)) formed by an ion plating method, and having an oxygen permeability of 0.02 to
A transparent barrier film having a range of 0.5 cc / m 2 · day.
【請求項2】 基材フィルムと、該フィルムの少なく
とも一方の面に設けられたバリア層とを少なくとも有
し、前記基材が、バリア層を形成する前に加熱処理され
たものであり、且つ前記バリア層は蒸発源としてSiO
X(0≦X≦2)を用いてイオンプレーティング法によ
り成膜された酸化珪素(SiOY(1.5≦Y≦2))
を主体とする薄膜であることを特徴とする請求項1に記
載の透明バリアフィルム。
2. It has at least a substrate film and a barrier layer provided on at least one surface of the film, wherein the substrate is heat-treated before forming a barrier layer, and The barrier layer is made of SiO 2 as an evaporation source.
Silicon oxide (SiO Y (1.5 ≦ Y ≦ 2)) formed by ion plating using X (0 ≦ X ≦ 2)
The transparent barrier film according to claim 1, which is a thin film mainly composed of:
【請求項3】 前記加熱処理は、40〜150℃の範
囲にて行われることを特徴とする請求項1または2に記
載の透明バリアフィルム。
3. The transparent barrier film according to claim 1, wherein the heat treatment is performed at a temperature in the range of 40 to 150 ° C.
【請求項4】 前記基材フィルムは、シート形態また
はロール巻き取り形態のいずれかであり、二軸延伸ポリ
プロピレン、二軸延伸ポリアミド、二軸延伸ポリエチレ
ンテレフタレート、オレフィン、スチレン系ポリマー、
セルロース系ポリマー、ポリアルキレンテレフタレート
等の1種または2種以上の組合せからなる樹脂フィルム
であることを特徴とする請求項1乃至3に記載の透明バ
リアフィルム。
4. The base film is in either a sheet form or a roll winding form, and is made of biaxially oriented polypropylene, biaxially oriented polyamide, biaxially oriented polyethylene terephthalate, olefin, styrene-based polymer,
The transparent barrier film according to any one of claims 1 to 3, wherein the transparent barrier film is a resin film composed of one or a combination of two or more of a cellulosic polymer and polyalkylene terephthalate.
【請求項5】 基材フィルムと、該フィルムの少なく
とも一方の面に設けられたバリア層とを少なくとも有
し、前記基材が、バリア層を形成する前に加熱処理され
たものであり、且つ前記バリア層は蒸発源としてSiO
X(0≦X≦2)を用いてイオンプレーティング法によ
り成膜された酸化珪素(SiOY(1.5≦Y≦2))
を主体とする薄膜であることを特徴とする透明バリアフ
ィルムの作製方法。
5. It has at least a base film and a barrier layer provided on at least one surface of the film, wherein the base material has been subjected to a heat treatment before forming a barrier layer, and The barrier layer is made of SiO 2 as an evaporation source.
Silicon oxide (SiO Y (1.5 ≦ Y ≦ 2)) formed by ion plating using X (0 ≦ X ≦ 2)
A method for producing a transparent barrier film, comprising a thin film mainly composed of:
【請求項6】 前記加熱処理は、40〜150℃の範
囲にて行われることを特徴とする請求項5に記載の透明
バリアフィルムの作製方法。
6. The method according to claim 5, wherein the heat treatment is performed at a temperature in the range of 40 to 150 ° C.
【請求項7】 前記イオンプレーティング法は、ホロ
カソード型イオンプレーティング法であることを特徴と
する請求項5または6に記載の透明バリアフィルムの作
製方法。
7. The method for producing a transparent barrier film according to claim 5, wherein the ion plating method is a holocathode type ion plating method.
【請求項8】 前記基材フィルムは、シート形態また
はロール巻き取り形態のいずれかであり、二軸延伸ポリ
プロピレン、二軸延伸ポリアミド、二軸延伸ポリエチレ
ンテレフタレート、オレフィン、スチレン系ポリマー、
セルロース系ポリマー、ポリアルキレンテレフタレート
等の1種または2種以上の組合せからなる樹脂フィルム
であることを特徴とする請求項5乃至7に記載の透明バ
リアフィルムの作製方法。
8. The base film may be in a sheet form or a roll-wound form, and may be biaxially oriented polypropylene, biaxially oriented polyamide, biaxially oriented polyethylene terephthalate, olefin, styrene-based polymer,
The method for producing a transparent barrier film according to any one of claims 5 to 7, wherein the resin film is a resin film made of one or a combination of two or more of a cellulosic polymer and polyalkylene terephthalate.
【請求項9】 イオンプレーティング法により基材フ
ィルムの少なくとも一方の面にバリア層を形成する透明
バリア膜作製装置において、前記基材を予め真空中で加
熱する加熱処理部、ロール状あるいはシート状のいずれ
かのフィルムの搬送部、バリア層形成部を少なくとも有
することを特徴とする透明バリア膜作製装置。
9. A transparent barrier film forming apparatus for forming a barrier layer on at least one surface of a substrate film by an ion plating method, wherein the substrate is heated in a vacuum in advance, or a roll or sheet. Wherein at least the film transport section and the barrier layer forming section are provided.
【請求項10】 前記イオンプレーティング法は、ホ
ロカソード型イオンプレーティング法であることを特徴
とする請求項9に記載の透明バリア膜作製装置。
10. The apparatus according to claim 9, wherein the ion plating method is a hollow cathode ion plating method.
【請求項11】 請求項1乃至請求項4のいずれかに
記載の透明バリアフィルムの少なくとも一方の面にヒー
トシール性樹脂層を設けたことを特徴とする積層材。
11. A laminate comprising a transparent barrier film according to claim 1 and a heat-sealing resin layer provided on at least one surface of the transparent barrier film.
【請求項12】 請求項1乃至請求項4のいずれかに
記載の透明バリアフィルムのバリア層上にヒートシール
性樹脂層を設けたことを特徴とする積層材。
12. A laminated material comprising a heat-sealing resin layer provided on a barrier layer of the transparent barrier film according to claim 1. Description:
【請求項13】 バリア層が形成されていない基材フ
ィルム上に基材を積層して備えることを特徴とする請求
項12に記載の積層材。
13. The laminated material according to claim 12, wherein a base material is laminated on a base film on which no barrier layer is formed.
【請求項14】 基材上にヒートシール性樹脂層を備
えることを特徴とする請求項13に記載の積層材。
14. The laminated material according to claim 13, further comprising a heat-sealing resin layer on the base material.
【請求項15】 バリア層とヒートシール性樹脂層と
の間にアンカーコート剤層および/または接着剤層を有
することを特徴とする請求項11乃至請求項14のいず
れかに記載の積層材。
15. The laminate according to claim 11, further comprising an anchor coat agent layer and / or an adhesive layer between the barrier layer and the heat-sealing resin layer.
【請求項16】 請求項11乃至請求項15のいずれ
かに記載の積層材を用い、ヒートシール性樹脂層を熱融
着して製袋または製函したことを特徴とする包装用容
器。
16. A packaging container obtained by using the laminated material according to claim 11 and heat-sealing a heat-sealing resin layer to form a bag or a box.
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Cited By (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005169994A (en) * 2003-12-15 2005-06-30 Dainippon Printing Co Ltd Gas barrier sheet
JP2005169996A (en) * 2003-12-15 2005-06-30 Dainippon Printing Co Ltd Gas barrier sheet and its manufacturing method
JP2006104568A (en) * 2004-10-08 2006-04-20 Dainippon Printing Co Ltd Film formation apparatus using pressure gradient ion plating
JP2006111891A (en) * 2004-10-12 2006-04-27 Dainippon Printing Co Ltd Pressure gradient type ion-plating film-forming apparatus
JP2006118031A (en) * 2004-10-25 2006-05-11 Dainippon Printing Co Ltd Pressure gradient ion plating type film deposition system and film deposition method
JP2006124781A (en) * 2004-10-29 2006-05-18 Dainippon Printing Co Ltd Pressure gradient type ion plating film deposition apparatus and film deposition method
JP2006124731A (en) * 2004-10-26 2006-05-18 Dainippon Printing Co Ltd Pressure gradient type ion plating film deposition apparatus and film deposition method
JP2006124738A (en) * 2004-10-27 2006-05-18 Dainippon Printing Co Ltd Pressure gradient type ion plating film deposition apparatus
JP2006131929A (en) * 2004-11-04 2006-05-25 Dainippon Printing Co Ltd Pressure-gradient ion-plating type film deposition system and film deposition method
JP2006131932A (en) * 2004-11-04 2006-05-25 Dainippon Printing Co Ltd Pressure-gradient type ion-plating type film deposition apparatus and film deposition method
JP2006137135A (en) * 2004-11-15 2006-06-01 Taisei Lamick Co Ltd Manufacturing method of laminated film for packaging and laminated film for packaging
JP2006199346A (en) * 2005-01-21 2006-08-03 Yushin Giken Kk Packaging bag with discharge nozzle
JP2008144240A (en) * 2006-12-12 2008-06-26 Dainippon Printing Co Ltd Gas barrier film
JP2008240111A (en) * 2007-03-28 2008-10-09 Ulvac Japan Ltd Film deposition method of optical thin film
JP2010077479A (en) * 2008-09-25 2010-04-08 Toppan Printing Co Ltd Vacuum film deposition apparatus
US7947377B2 (en) 2007-06-20 2011-05-24 Dai Nippon Printing Co., Ltd. Powder mixture to be made into evaporation source material for use in ion plating, evaporation source material for use in ion plating and method of producing the same, and gas barrier sheet and method of producing the same
JP2011153340A (en) * 2010-01-26 2011-08-11 Fuji Electric Co Ltd Apparatus for treatment of flexible board
JPWO2015137389A1 (en) * 2014-03-11 2017-04-06 コニカミノルタ株式会社 Method for producing gas barrier film

Cited By (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4531381B2 (en) * 2003-12-15 2010-08-25 大日本印刷株式会社 Gas barrier sheet and method for producing the same
JP2005169996A (en) * 2003-12-15 2005-06-30 Dainippon Printing Co Ltd Gas barrier sheet and its manufacturing method
JP2005169994A (en) * 2003-12-15 2005-06-30 Dainippon Printing Co Ltd Gas barrier sheet
JP4531380B2 (en) * 2003-12-15 2010-08-25 大日本印刷株式会社 Gas barrier sheet
JP2006104568A (en) * 2004-10-08 2006-04-20 Dainippon Printing Co Ltd Film formation apparatus using pressure gradient ion plating
JP4601379B2 (en) * 2004-10-08 2010-12-22 大日本印刷株式会社 Pressure gradient ion plating film deposition system
JP2006111891A (en) * 2004-10-12 2006-04-27 Dainippon Printing Co Ltd Pressure gradient type ion-plating film-forming apparatus
JP4601381B2 (en) * 2004-10-12 2010-12-22 大日本印刷株式会社 Pressure gradient ion plating film deposition system
JP2006118031A (en) * 2004-10-25 2006-05-11 Dainippon Printing Co Ltd Pressure gradient ion plating type film deposition system and film deposition method
JP4734889B2 (en) * 2004-10-25 2011-07-27 大日本印刷株式会社 Pressure gradient ion plating film deposition system
JP2006124731A (en) * 2004-10-26 2006-05-18 Dainippon Printing Co Ltd Pressure gradient type ion plating film deposition apparatus and film deposition method
JP4613045B2 (en) * 2004-10-26 2011-01-12 大日本印刷株式会社 Pressure gradient ion plating film deposition system
JP2006124738A (en) * 2004-10-27 2006-05-18 Dainippon Printing Co Ltd Pressure gradient type ion plating film deposition apparatus
JP4613046B2 (en) * 2004-10-27 2011-01-12 大日本印刷株式会社 Pressure gradient ion plating film deposition system
JP4613048B2 (en) * 2004-10-29 2011-01-12 大日本印刷株式会社 Pressure gradient ion plating film deposition system
JP2006124781A (en) * 2004-10-29 2006-05-18 Dainippon Printing Co Ltd Pressure gradient type ion plating film deposition apparatus and film deposition method
JP4613050B2 (en) * 2004-11-04 2011-01-12 大日本印刷株式会社 Pressure gradient ion plating film deposition system
JP2006131932A (en) * 2004-11-04 2006-05-25 Dainippon Printing Co Ltd Pressure-gradient type ion-plating type film deposition apparatus and film deposition method
JP2006131929A (en) * 2004-11-04 2006-05-25 Dainippon Printing Co Ltd Pressure-gradient ion-plating type film deposition system and film deposition method
JP4734894B2 (en) * 2004-11-04 2011-07-27 大日本印刷株式会社 Pressure gradient ion plating film deposition system
JP2006137135A (en) * 2004-11-15 2006-06-01 Taisei Lamick Co Ltd Manufacturing method of laminated film for packaging and laminated film for packaging
JP2006199346A (en) * 2005-01-21 2006-08-03 Yushin Giken Kk Packaging bag with discharge nozzle
JP2008144240A (en) * 2006-12-12 2008-06-26 Dainippon Printing Co Ltd Gas barrier film
JP2008240111A (en) * 2007-03-28 2008-10-09 Ulvac Japan Ltd Film deposition method of optical thin film
US7947377B2 (en) 2007-06-20 2011-05-24 Dai Nippon Printing Co., Ltd. Powder mixture to be made into evaporation source material for use in ion plating, evaporation source material for use in ion plating and method of producing the same, and gas barrier sheet and method of producing the same
JP2010077479A (en) * 2008-09-25 2010-04-08 Toppan Printing Co Ltd Vacuum film deposition apparatus
JP2011153340A (en) * 2010-01-26 2011-08-11 Fuji Electric Co Ltd Apparatus for treatment of flexible board
JPWO2015137389A1 (en) * 2014-03-11 2017-04-06 コニカミノルタ株式会社 Method for producing gas barrier film

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