JP2000268689A - 光電センサシステム - Google Patents

光電センサシステム

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JP2000268689A
JP2000268689A JP11073306A JP7330699A JP2000268689A JP 2000268689 A JP2000268689 A JP 2000268689A JP 11073306 A JP11073306 A JP 11073306A JP 7330699 A JP7330699 A JP 7330699A JP 2000268689 A JP2000268689 A JP 2000268689A
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JP
Japan
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sensor
communication
unit
light emission
signal
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JP11073306A
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English (en)
Inventor
Satoru Sugihara
哲 杉原
Toshiya Morita
敏哉 森田
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Azbil Corp
Original Assignee
Azbil Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 連装型光電センサにおいて、相互干渉を確実
に防止しつつも、省線化を図り、接触点数を減らすこと
によりコネクタの小型化を図るとともに、接触に伴う不
具合を削減する。 【解決手段】 マスタユニット10の制御部11が、通
信線12を介して通信制御信号を各センサユニット2
0,30,40,50に一括して送り、各センサユニッ
トの発光タイミング制御部23,33,43,53が、
上記通信制御信号に基づいて、それぞれ異なるタイミン
グで発光タイミング信号をセンサ24,34,44,5
4に出力して、各センサを発光動作させることによっ
て、センサの相互干渉を防止する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、マスタ局と複数の
センサ局との間で光電センサを動作させるための信号通
信を行う光電センサシステムに関する。
【0002】
【関連する背景技術】従来、この種のシステムでは、光
の投受光が可能な光電センサを備えたセンサ局を複数設
けて、上記光電センサによって投光された光の光路を横
切って移動する物体を検出するものがあった。上記シス
テムでは、例えば近傍のセンサが同時に発光すると、他
のセンサから投光された光を別のセンサが受光してしま
う相互干渉が生じる場合があり、これを防止するため
に、例えば特開平9−83330号公報に示すように、
外部から同期信号線を介して各センサ局に同期信号を送
り、各センサ局では、その同期信号を遅延させて次のセ
ンサ局に送って、センサの発光タイミングを順次ずらす
ものがあった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】コネクタを介してマス
タユニットから各センサユニットへ通信線を順次掛け渡
す連装型光電センサシステムは、生産ラインや工作機械
等に設置されるため、システム全体の小型化が求められ
ている。故に、マスタユニット、センサユニットともに
内部スペースの確保という点から省線化及びこれに伴う
コネクタの小型化が望まれている。
【0004】ところが、上記システムでは、電源伝送
線、通信線等に加えて、相互干渉防止のための特別な同
期信号線を設ける必要があるので、上記システムを連装
型光電センサシステムに適用した場合、コネクタのピン
の数がその分多く必要になり、コネクタが大きくなって
しまうという問題点があった。また、マスタユニットか
ら端末のセンサユニットまでの接触点の総数が増えるの
で、確率的にその接触に伴う不具合が増えてしまうとい
う問題点があった。
【0005】本発明は、上記問題点に鑑み、省線化を図
ってシステムを小型化できる光電センサシステムを提供
することを目的とする。また、本発明の他の目的は、相
互干渉防止機能を有する連装型光電センサにおいて、省
線化に伴って接触点数を減らすことによりコネクタの小
型化を図るとともに、接触に伴う不具合を削減すること
にある。
【0006】
【課題を解決するための手段】一般的に、通信制御信号
は、センサ局が持っている検出データをマスタ局へ送信
させる等の目的で使われるものである。本発明では、こ
の通信制御信号をそのような通信のためだけではなく、
同時に発光タイミングをずらすためにも使用した。
【0007】
【発明の実施の形態】本発明に係る光電センサシステム
の一実施形態を図1乃至図10の図面を用いて説明す
る。図1は、本発明に係る光電センサシステムを連装型
光電センサシステムに用いた場合の第1実施例を示す構
成図である。図において、マスタユニット10は、シス
テム内の主要制御を行い、さらに本発明の送信制御手段
を構成する制御部11を有するとともに、制御部11に
接続される通信線12を含めたユニット構成になってい
る。マスタユニット10は、通信線12を介して順次接
続される各センサユニット20,30,40,50の制
御及びこれらセンサユニットとの信号通信を行ってい
る。
【0008】センサユニット20,30,40,50
は、同様の構成からなり、動作制御手段21,31,4
1,51を構成する通信部22,32,42,52及び
発光タイミング制御部23,33,43,53と、セン
サ24,34,44,54を構成するセンサ本体部2
5,35,45,55及びセンサヘッド部26,36,
46,56と、通信部に接続される通信線12を含めた
ユニット構成になっている。
【0009】本実施例では、マスタユニット10及び各
センサユニット20〜50内の通信線12は、コネクタ
60によってそれぞれ着脱可能に接続されており、通信
部22,32,42,52は、通信線12を介してマス
タユニット10から受信した通信開始信号(一括通信制
御信号)を発光タイミング制御部23,33,43,5
3に出力している。各センサユニットの発光タイミング
制御部23,33,43,53は、通信線12を介して
得た通信開始信号に基づいて、それぞれ異なる発光タイ
ミングをセンサ24,34,44,54に与えている。
【0010】これによって、センサ24,34,44,
54は、上記異なる発光タイミングで発光して相互干渉
を防止し、受光した信号を通信部22,32,42,5
2に出力している。通信部22,32,42,52は、
センサ24,34,44,54からの信号に基づいて物
体の有無を示すデータをマスタユニット10に伝送して
いる。例えば工場の生産ライン等で移動する物体61の
有無をこれらセンサで検出し、上記センサからのデータ
を各センサユニットからマスタユニットへ順次送信して
いる。
【0011】次に、図1におけるセンサユニットの詳細
な構成の第1実施例を図2に示す。なお、本実施例にお
いて、各センサユニットは同一構成なので、ここでは代
表してセンサユニット20の構成を説明する。また、以
下の図において図1と同様の構成部分については、説明
の都合上、同一符号を付記する。本実施例において、通
信線12は、本発明の制御信号である通信開始信号が伝
送される通信線12aと、通信同期信号が伝送される通
信線12bと、通信データ信号が伝送される通信線12
cとからなっている。各通信線12a〜12cは、それ
ぞれ分岐して通信部22の通信回路22aと接続されて
おり、これによってマスタユニットと各センサユニット
間での信号の通信を可能にしている。
【0012】通信回路22aは、受信した通信開始信号
を発光タイミング制御部23に出力する。また、センサ
24で受光した信号に基づいた物体の有無を示すデータ
(通信データ信号)を通信同期信号とともにマスタユニ
ット10に順次伝送している。発光タイミング制御部2
3は、例えばディップスイッチ等から入力するアドレス
をデコードし、上記アドレスに対応して符号化された遅
延時間選択信号として出力するアドレスデコード回路2
3aと、通信回路22aから通信開始信号が入力する
と、上記遅延時間選択信号に基づいて選択した遅延時間
だけ遅延された発光タイミング信号をセンサ24に出力
する遅延回路23bとから構成されている。なお、遅延
回路23bは、内部にカウンタを有し、通信開始信号の
入力に対して遅延回路23bから所定の出力周期(例え
ばT時間)毎に、所定回数(例えば7回)出力される上
記発光タイミング信号をカウントしている。遅延回路2
3bは、上記内部カウンタのカウント値Nが上記所定回
数に達すると、次の通信開始信号を受信するまで発光タ
イミング信号の出力を停止する。
【0013】センサ24は、センサ本体部25及びセン
サヘッド部26からなり、センサ本体部25は、センサ
ヘッド部26に光を投光する投光回路25aと、センサ
ヘッド部26から光を受光する受光回路25bと、入力
する発光タイミング信号に基づいて投光回路25aの発
光タイミングを制御するとともに、受光回路25bから
受光した光信号の出力制御を行う投受光制御回路25c
と、上記光信号に基づくデータ信号を通信回路22aに
出力する光電スイッチ主回路25dとから構成されてい
る。
【0014】次に、上記遅延回路の動作を図3及び図4
のフローチャートに基づいて説明する。図3及び図4
は、図2に示した遅延回路の遅延時間設定手順及び発光
タイミング制御手順を示すフローチャートである。な
お、本実施例では、アドレスを4種類として隣接する4
つのセンサユニットでそれぞれ異なる発光タイミングに
動作制御する場合を示しており、図1に示すように、セ
ンサユニット20〜50はアドレス1〜4にそれぞれ割
り当てられている。
【0015】図3の遅延時間設定手順において、センサ
ユニット20〜50の各遅延回路は、まずアドレス入力
があると、上記アドレスが1かどうか判断し(ステップ
101)、上記アドレスが1の場合には、ステップ10
2に進んで発光タイミングの遅延時間Dを0に設定して
通信開始信号の入力を待ち、また上記アドレスが1でな
い場合には、アドレスが2かどうか判断する(ステップ
103)。
【0016】ここで、上記アドレスが2の場合には、ス
テップ104に進んで発光タイミングの遅延時間Dをt
に設定して通信開始信号の入力を待ち、また上記アドレ
スが2でない場合には、アドレスが3かどうか判断する
(ステップ105)。そして、上記アドレスが3の場合
には、ステップ106に進んで発光タイミングの遅延時
間Dを2tに設定し、また上記アドレスが3でない、つ
まり4の場合には、ステップ107に進んで上記遅延時
間Dを3tに設定して通信開始信号の入力を待つ。
【0017】図4の発光タイミング制御手順において、
遅延回路は、通信回路からの通信開始信号の入力がある
か判断しており(ステップ201)、上記通信開始信号
が入力されると、内部カウンタのカウント値をリセット
し(ステップ202)、図3で設定した遅延時間Dを経
過したかどうか判断する(ステップ203)。上記通信
開始信号の入力から遅延時間Dを経過すると、遅延回路
は、発光タイミング信号をセンサに出力して発光制御を
行い(ステップ204)、内部カウンタのカウント値N
を1つアップさせる(ステップ205)。次に、上記カ
ウント値Nが7より大きくなったかどうか判断し(ステ
ップ206)、カウント値が7以下の場合には、前回の
発光タイミング信号の出力から所定時間Tを経過したか
どうか判断する(ステップ207)。
【0018】ここで、上記所定時間Tを経過した場合に
は、ステップ204に戻って再び発光タイミング信号を
出力して上記カウントアップを行う。また、ステップ2
06において、上記カウント値Nが7より大きい場合に
は、通信開始信号に対して予め設定された所定回数分の
発光タイミング信号の出力が終了したと判断して、ステ
ップ201に戻って次の通信開始信号の入力を待つ。
【0019】センサ24では、発光タイミング信号が入
力されると、投受光制御回路25cが上記発光タイミン
グ信号に基づいて投光回路25aの発光タイミングを制
御し、受光回路25bから受光した光信号を光電スイッ
チ主回路25dに出力しており、光電スイッチ主回路2
5dは、受光回路25bから受光した光信号を通信回路
22aへ出力する。通信回路22aでは、上記光信号に
基づく物体の有無を示すデータ信号をマスタユニット1
0へ伝送する。
【0020】上述したごとくに、検出センサシステムに
おけるセンサユニット20〜50の各遅延回路は、上記
設定された遅延時間に基づいて上記発光タイミング制御
を行っている。すなわち、図5のタイムチャートに示す
ように、マスタユニット10からは各センサユニット2
0〜50に同時に届くように、通信開始信号が一括送信
されており、上記通信開始信号が入力すると(図5
(a)参照)、センサユニット20の遅延回路は内部カ
ウンタをリセットして(図5(b)参照)、遅延時間D
が0で発光タイミング信号を出力し(図5(c)参
照)、センサユニット30の遅延回路は遅延時間Dがt
で発光タイミング信号を出力し(図5(d)参照)、セ
ンサユニット40の遅延回路は遅延時間Dが2tで発光
タイミング信号を出力し(図5(e)参照)、またセン
サユニット50の遅延回路は遅延時間Dが3tで発光タ
イミング信号を出力する(図5(f)参照)。この発光
タイミング信号の出力周期はT時間であり、出力周期T
は、T>3tに設定されている。各遅延回路は、T時間
毎に発光タイミング信号を出力し、内部カウンタは、そ
れが出力される毎にカウントアップし、内部カウンタの
カウント値が7を超えるまで、遅延回路は発光タイミン
グ信号を出力する。すなわち、1回の通信開始信号に対
して、遅延回路は発光タイミング信号を8回出力してお
り、センサは、上記出力される各発光タイミング信号に
基づいて動作して光の投受光を行って、光信号に基づく
データ信号を通信回路に出力する。
【0021】このように、本実施例では、マスタユニッ
トの制御部が、通信線を介して通信開始信号を各センサ
ユニットに同時に届くように一括送信し、各センサユニ
ットの発光タイミング制御部が、通信開始信号に基づい
てそれぞれ異なるタイミングでセンサを動作させること
によって、センサ間での相互干渉が防止でき、特別な同
期信号線を設けることなく、省線化が図られる。故に接
触点数が減り、コネクタの小型化が図られてシステムを
小型化できるとともに、接触に伴う不具合を削減するこ
とができる。
【0022】なお、本発明のシステムでは、接続される
センサユニットは上記4つの場合に限らず、2つや3つ
や5つ以上の場合も含まれ、アドレスの設定も全てのセ
ンサユニットで異なるアドレスを設定しても良いし、ま
た例えばセンサユニットの数が多い場合には、隣接する
数個のセンサユニットで異なるアドレスを設定し、数個
おきに同じアドレスを持つセンサユニットが存在するよ
うにしても良い。この場合には、同じアドレスを持つセ
ンサユニット同士は、投光された光が他のセンサユニッ
トの受光部に入らないよう設置することを条件としてア
ドレス設定を行う。
【0023】また、遅延回路の動作は、前述のものに限
定されるものでなく、ハード的により単純に行ってもよ
い。図6は、本発明に係る検出センサシステムの具体的
な構成の第2実施例を示す構成図である。図において、
マスタユニット10と各センサユニット20〜n0は、
バス型の通信線12を介して順次接続されている。各セ
ンサユニット20〜n0には、アドレス1〜n−1がそ
れぞれ割り当てられており、マスタユニット10は、上
記アドレスを指定して、各センサユニット20〜n0の
制御及び各センサユニット20〜n0との信号通信を行
っている。
【0024】各センサユニットは、同一構成であり、こ
こでは代表してセンサユニット20の構成を図7に示
す。本実施例において、通信線12は、各センサユニッ
トのアドレスデータを含んだ本発明の個別通信制御信号
が伝送される通信線12aと、通信データ信号が非同期
で伝送される通信線12bとからなっている。各通信線
12a,12bは、それぞれ分岐して通信部22の通信
回路22aと接続されており、これによってマスタユニ
ットと各センサユニット間での信号の通信を可能にして
いる。
【0025】センサユニット20は、動作制御手段21
を構成し、通信回路22a及び内部カウンタを有する通
信部22と、第1実施例と同様のセンサ本体部及びセン
サヘッド部を有するセンサ24とから構成されている。
マスタユニット10は、各センサユニットのアドレスデ
ータを含んだ個別通信制御信号を所定時間毎に、全セン
サユニットに届くように通信線12aへ伝送しており
(図8(a)参照)、各センサユニット20〜n0の通
信回路は、上記個別通信制御信号を取り込んで、その中
に含まれるアドレスデータから自ユニット宛の信号かど
うか判断し、上記信号が自ユニット宛の場合には、発光
タイミング信号をリアルタイムでセンサに出力する(図
8(b)〜(e)参照)。
【0026】この個別通信制御信号に基づく発光タイミ
ング信号の出力制御により、第1実施例と同様に、セン
サ24では、投受光制御回路25cが上記入力する発光
タイミング信号に基づいて投光回路25aの発光タイミ
ングを制御し、受光回路25bから受光した光信号を光
電スイッチ主回路25dに出力しており、通信回路22
aでは、光電スイッチ主回路25dからの上記光信号に
基づく物体の有無を示すデータ信号をマスタユニット1
0へ伝送する。つまり、本実施例の個別通信制御信号
は、各センサユニット20〜n0の発光タイミングの同
期をとるとともに、各センサユニット20〜n0からの
センサ出力をマスタユニット10へ伝送するための送信
タイミングの機能を有している。
【0027】このように、本実施例では、マスタユニッ
トの制御部は、各センサユニットに対応したアドレスデ
ータを含む個別通信制御信号を、それぞれ異なるタイミ
ングで上記各センサユニット宛に送信し、センサユニッ
トは、自ユニットのアドレスデータを含む個別通信制御
信号を受信すると、発光タイミング信号をセンサに与え
るので、特別な同期信号線を設けることなく、省線化が
図られる。故に接触点数が減り、コネクタの小型化が図
られてシステムを小型化できるとともに、接触に伴う不
具合を削減することができる。
【0028】また、本実施例では、各センサユニットの
発光タイミング制御部が不要となるので、センサユニッ
トの部品点数が大幅に減少して、省回路化及び製作コス
トの削減を図ることができる。図9は、本発明に係る検
出センサシステムの具体的な構成の第3実施例を示す構
成図である。図において、マスタユニット10と各セン
サユニット20〜n0は、通信線12及び各センサユニ
ット毎に設けられたゲート回路13〜16を介して順次
接続されている。本実施例では、ゲート回路13〜16
の開閉で特定のセンサユニットのみに個別通信制御信号
が届くようにして、各センサユニットへのアドレスの割
り当てを不要にする。
【0029】本実施例におけるセンサユニットは、第2
実施例に示したセンサユニットと同一の構成からなり、
センサユニットがパルスを発生させて同期をとる双方向
通信の検出センサシステムに用いた場合を示す。なお、
マスタユニットからセンサユニット、又はセンサユニッ
トからマスタユニットへの通信データの伝送の方向指示
は、図示しない方向指示信号の伝送によって行われてお
り、図示しない通信の開始を示す通信開始信号がマスタ
ユニットから全てのセンサユニットに伝送されている。
また、個別通信制御信号がマスタユニットから伝送され
る前の初期状態では、各センサユニットに対応したゲー
ト回路は、クローズ状態になっていて通信線12aを断
状態にしている。これにより、個別通信制御信号は、次
段のセンサユニットへ伝送されなくなる。
【0030】そして、上記システムにおいて、各センサ
ユニットからマスタユニットへ通信データを伝送する場
合に、まずマスタユニット10は、全てのセンサユニッ
ト20〜50に通信開始信号を送り、全てのセンサユニ
ットのゲート回路をクローズ状態にして、センサユニッ
ト20以外のセンサユニット30〜50とマスタユニッ
ト10との通信線12を介した接続を断状態にする。
【0031】次に、マスタユニット10は、図10
(a)に示すように、所定の周期で立ち上がりが現れる
個別通信制御信号を通信線12に送る。センサユニット
20の通信回路22aでは、1回目の個別通信制御信号
の立ち上がりがトリガーとなって、発光タイミング信号
をセンサ24に出力して、データのサンプリングを行
い、上記データに基づく通信データ信号をマスタユニッ
トへ伝送する。そして、センサユニット20は、通信デ
ータ信号の伝送動作を終えると、ゲート回路13をオー
プン状態にして、2回目の個別通信制御信号が次段のセ
ンサユニット30に届くようにする(図9の状態参
照)。このような動作を繰り返すことで、マスタユニッ
トは、全てのセンサユニットから光信号に基づく物体の
有無を示すデータ信号を受信することが可能となる。
【0032】なお、個別通信制御信号は、センサユニッ
トの数に相当する数だけ伝送されるが、各センサユニッ
トは、自ユニットのデータ信号の伝送が終了すると、全
てのセンサユニットからのデータ伝送が終了するまで、
自ユニットを送信禁止状態にする。このように、本実施
例では、マスタユニットは、個別通信制御信号を異なる
タイミングで各センサユニットに送信し、各センサユニ
ットは、ゲート回路を制御して個別通信制御信号を受信
すると、発光タイミング信号をセンサに与えるので、セ
ンサユニットにアドレスを割り当てなくても、各センサ
ユニットでの発光タイミングがそれぞれ異なることとな
り、センサ間での相互干渉が防止でき、特別な同期信号
線を設けることなく、省線化が図られる。故に接触点数
が減り、コネクタの小型化が図られてシステムを小型化
できるとともに、接触に伴う不具合を削減することがで
きる。
【0033】本発明は、これら実施例に限定されるもの
ではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変形
実施が可能である。例えば、本発明は、1つのセンサユ
ニットに1つのセンサが装備される場合に限らず、複数
のセンサ機能が装備されたセンサユニットを有する検出
センサシステムにも適用できる。
【0034】
【発明の効果】以上説明したように、本発明では、通信
制御信号を相互干渉の防止に利用し、マスタ局の送信制
御手段が、通信線を介して上記信号を各センサ局に送
り、各センサ局の動作制御手段が、上記信号に基づいて
それぞれ異なるタイミングでセンサを動作させることに
よって、特別な同期信号線を設けることなく、省線化が
図られてシステムを小型化できる。そして、本発明をコ
ネクタを介して接続された複数のユニットから成る連装
型光電センサに用いることによって、省線化に伴い接触
点数を減らすことができ、これによりコネクタの小型化
を図るとともに、接触に伴う不具合を削減することがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る光電センサシステムを連装型光電
センサシステムに用いた場合の構成図である。
【図2】図1におけるセンサユニットの詳細な構成の第
1実施例を示す構成図である。
【図3】図2に示した遅延回路の遅延時間設定手順を説
明するためのフローチャートである。
【図4】同じく遅延回路の発光タイミング制御を説明す
るためのフローチャートである。
【図5】図1に示した光電センサシステムの動作を説明
するためのタイムチャートである。
【図6】本発明に係る光電センサシステムの第2実施例
を示す構成図である。
【図7】図6におけるセンサユニットの詳細な構成の第
2実施例を示す構成図である。
【図8】図6に示した光電センサシステムの動作を説明
するためのタイムチャートである。
【図9】本発明に係る光電センサシステムの第3実施例
を示す構成図である。
【図10】図9に示した光電センサシステムの動作を説
明するためのタイムチャートである。
【符号の説明】
10 マスタユニット 11 制御部 12,12a〜12c 通信線 13〜16 ゲート回路 20,30,40,50 センサユニット 21,31,41,51 動作制御手段 22,32,42,52 通信部 22a 通信回路 23,33,43,53 発光タイミング制御部 23a アドレスデコード回路 23b 遅延回路 24,34,44,54 光電センサ 25,35,45,55 センサ本体部 25a 投光回路 25b 受光回路 25c 投受光制御回路 25d 光電スイッチ主回路 26,36,46,56 センサヘッド部 60 接続手段 61 物体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 5G055 AA05 AA08 AA15 AB01 AC02 AD10 AE49 AG21 5K048 AA01 AA03 BA26 DA02 DB01 DC04 EA01 EA18 EB01 EB02 EB04 EB10

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 マスタ局と、 光電センサ及び通信手段を備えた複数のセンサ局と、 前記マスタ局から前記各センサ局へ順次掛け渡される通
    信線とを備えた光電センサシステムにおいて、 前記マスタ局は、通信制御信号を送信する送信制御手段
    を備え、 前記各センサ局は、前記通信制御信号に基づき、それぞ
    れ異なる発光タイミングを前記光電センサに与える動作
    制御手段を備えたことを特徴とする光電センサシステ
    ム。
  2. 【請求項2】 前記送信制御手段は、前記各センサ局へ
    同時に届く一括通信制御信号を含み、 前記動作制御手段は、前記通信手段を介して受信した前
    記一括通信制御信号に基づき、それぞれ異なる発光タイ
    ミングを前記センサに与えることを特徴とする請求項1
    に記載の光電センサシステム。
  3. 【請求項3】 前記通信制御信号は、各センサ局宛に異
    なるタイミングで届く個別通信制御信号を含み、 前記動作制御手段は、前記通信手段を介して受信した前
    記個別通信制御信号に基づき、それぞれ異なる発光タイ
    ミングを前記光電センサに与えることを特徴とする請求
    項1に記載の光電センサシステム。
  4. 【請求項4】 前記各局は、コネクタを備えたユニット
    構成からなり、前記通信線は前記コネクタを介して前記
    各ユニットへ順次掛け渡され、前記システムは、前記コ
    ネクタを介して前記各ユニットを順次接続させる連装型
    光電センサシステムからなることを特徴とする請求項1
    乃至3のいずれかに記載の光電センサシステム。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008172072A (ja) * 2007-01-12 2008-07-24 Yamaha Motor Co Ltd ノズル交換装置および表面実装機
JP2013086205A (ja) * 2011-10-17 2013-05-13 Nsk Ltd 脚式ロボット
JP2014096697A (ja) * 2012-11-09 2014-05-22 Omron Corp センサシステム

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