JP2000266799A - Printed circuit board inspection device - Google Patents

Printed circuit board inspection device

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JP2000266799A
JP2000266799A JP11068980A JP6898099A JP2000266799A JP 2000266799 A JP2000266799 A JP 2000266799A JP 11068980 A JP11068980 A JP 11068980A JP 6898099 A JP6898099 A JP 6898099A JP 2000266799 A JP2000266799 A JP 2000266799A
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JP
Japan
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circuit board
printed circuit
jig
inspection
inspected
Prior art date
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JP11068980A
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Japanese (ja)
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Shigeru Hashizume
茂 橋爪
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Taiyo Kogyo Co Ltd
Original Assignee
Taiyo Kogyo Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To enable inspection, even if a density of the point of a test object on a printed circuit board to be inspected is high. SOLUTION: Inspection probe pins PB to the number corresponding to the number of inspection points of a wiring pattern on a board 4 are planted on a lower-part inspection jig 2B. The probe pins PB are in electrical contact with base parts PB', and the probe pins PB or the base parts PB' have springs within, and the probe pins PB have a enough length for the heads thereof to be exposed to the surface of a protective board. A distribution density of the head parts of the probe pins PB is smaller than that of the root parts thereof.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、プリント基板検査装置
に関し、特に、被検査プリント基板(以下単に基板と略
称する。)上の検査対象のポイントの密度が高い場合で
も検査を行える装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a printed circuit board inspection apparatus, and more particularly to an apparatus capable of performing an inspection even when the density of points to be inspected on a printed circuit board to be inspected (hereinafter simply referred to as a substrate) is high. It is.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、検査治具に立設したガイドピ
ンを、基板に設けたガイド孔に挿通することによって、
検査治具と基板との位置を合わせることが行われていた
が、ますます高密度化するプリント基板に対応するに
は、更に正確な位置合わせを、迅速にすることが必要と
成ってきた。そこで、カメラと画像処理の技術を用い
て、上部検査治具と基板との相対的な位置のずれを検出
し、XYθ軸の可動テーブルによって微調節することの
できる装置が、特開平1−184473号や実開平1−
180780号の各公報に開示されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, a guide pin erected on an inspection jig is inserted into a guide hole provided on a substrate, thereby obtaining
The position of the inspection jig and the substrate has been adjusted, but in order to cope with a printed circuit board having an increasingly higher density, it has become necessary to achieve more accurate and quicker alignment. Therefore, Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-184473 discloses an apparatus that can detect the relative positional shift between the upper inspection jig and the substrate by using a camera and image processing technology, and finely adjust the position by using an XYθ axis movable table. No. 1
180780.

【0003】また、特願平9−162955号において
は、上部検査治具と基板との位置ずれの補正を行うとき
に、位置ずれを計測した状態から基板が微動だにしない
ように基板を保持する手段を備えた検査装置が提案され
ている。本発明は、上記発明によって提案された位置ず
れ補正技術を、更に高密度の基板の検査にも適用する技
術を提供することを目的として、本発明はなされたもの
である。
Further, in Japanese Patent Application No. 9-162950, when correcting the positional deviation between the upper inspection jig and the substrate, the substrate is held so that the substrate does not move slightly from the state where the positional deviation is measured. There has been proposed an inspection apparatus having means for performing the above. The present invention has been made with the object of providing a technique for applying the displacement correction technique proposed by the above-described invention to the inspection of even higher-density substrates.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】本発明の請求項1では、
被検査プリント基板に形成された配線パターンに、治具
に保持されたプローブピンを押圧手段によって押圧する
ことで電気的に接触させて、前記被検査プリント基板に
形成された配線パターンの導通/非導通の検査を行うよ
うに構成されたプリント基板検査装置において、前記被
検査プリント基板とプローブピンの先端との位置合わせ
をするべく調節機構を備えると共に、前記被検査プリン
ト基板と前記治具との間には前記押圧状態において前記
被検査プリント基板と密着する保護板が介装され、前記
プローブピンの先端は前記保護板を挿通して被検査プリ
ント基板に電気的に接触するべく配設され、前記保護板
面の一部におけるプローブピンの先端の分布密度は、前
記治具面におけるプローブピンの根元部分の分布密度よ
り大なるように構成されている。請求項2においては、
前記押圧力より弱い付勢力で、前記プリント基板を前記
治具から離間させる方向に付勢する第1付勢手段を備え
ている。請求項3においては、前記押圧力より弱い付勢
力で、前記保護板を前記治具から離間させる方向に付勢
する第2付勢手段を備えている。請求項4においては、
請求項1、2、または3に記載のプリント基板検査装置
に、被検査プリント基板の表面画像を撮像する撮像手段
と、撮像された画像データから被検査プリント基板とプ
ローブピンの先端との相対的な位置ずれを検出する検出
手段と、を備え、調節機構は、前記検出された位置ずれ
に基づいて前記被検査プリント基板とプローブピンの先
端との位置合わせをするように構成されている。請求項
5においては、請求項1、2、または3に記載のプリン
ト基板検査装置に、被検査プリント基板とプローブピン
の先端との間に介装された異方性導電ゴムを備えている
ことを特徴とする。請求項6においては、請求項1、
2、または3に記載のプリント基板検査装置に、被検査
プリント基板に形成された配線パターンの所定領域に電
気的に接触する面接触手段を備えていることを特徴とす
る。請求項7においては、請求項1、2、または3に記
載のプリント基板検査装置に、被検査プリント基板に形
成された配線パターンとの間で電磁結合によって検査信
号の供給もしくは検出をするように構成された電磁結合
手段を備えていることを特徴とする。
According to claim 1 of the present invention,
The probe pin held by the jig is pressed by a pressing means to the wiring pattern formed on the inspected printed circuit board so as to make electrical contact with the wiring pattern formed on the inspected printed circuit board. In a printed circuit board inspection device configured to perform a continuity inspection, an adjustment mechanism is provided for aligning the inspected printed circuit board with the tip of a probe pin, and the inspected printed circuit board and the jig are connected to each other. A protective plate that is in close contact with the printed circuit board to be inspected in the pressed state is interposed therebetween, and a tip of the probe pin is disposed so as to penetrate the protective plate and electrically contact the printed circuit board to be inspected, The distribution density of the tip of the probe pin on a part of the protection plate surface is larger than the distribution density of the root of the probe pin on the jig surface. It is. In claim 2,
There is provided a first urging means for urging the printed circuit board in a direction to separate the printed circuit board from the jig with an urging force weaker than the pressing force. According to a third aspect of the present invention, there is provided a second urging means for urging the protection plate in a direction to separate the protection plate from the jig with an urging force weaker than the pressing force. In claim 4,
4. The printed circuit board inspection apparatus according to claim 1, further comprising: an imaging unit configured to capture an image of a surface of the inspected printed circuit board; Detecting means for detecting a large positional deviation, and the adjusting mechanism is configured to align the printed circuit board to be inspected with the tip of the probe pin based on the detected positional deviation. According to a fifth aspect of the present invention, the printed circuit board inspection apparatus according to the first, second, or third aspect is provided with an anisotropic conductive rubber interposed between a printed circuit board to be inspected and a tip of a probe pin. It is characterized by. In claim 6, claim 1,
The printed circuit board inspection apparatus according to 2 or 3, further comprising a surface contact unit that electrically contacts a predetermined area of the wiring pattern formed on the printed circuit board to be inspected. According to a seventh aspect of the present invention, the printed circuit board inspection apparatus according to the first, second, or third aspect is configured to supply or detect an inspection signal by electromagnetic coupling with a wiring pattern formed on a printed circuit board to be inspected. It is characterized by comprising the configured electromagnetic coupling means.

【0005】なお、検査対象の基板の上下両面に配線パ
ターンが形成されている場合には、上下一対の治具を備
えるとともに、前記保護板もプリント基板の両面にそれ
ぞれ備えている。また、押圧手段としては、第1付勢手
段によって保護板と基板とが離間した状態と、第1付勢
手段に抗して押圧することによって保護板と基板とが密
着した状態と、第2付勢手段に抗して押圧された状態の
3つの状態に作動するとよい。
When wiring patterns are formed on the upper and lower surfaces of the substrate to be inspected, a pair of upper and lower jigs are provided, and the protective plates are also provided on both surfaces of the printed circuit board. The pressing means includes a state in which the protective plate and the substrate are separated from each other by the first urging means, a state in which the protective plate and the substrate are in close contact by pressing against the first urging means, It is preferable to operate in three states of being pressed against the urging means.

【0006】[0006]

【実施の形態】以下に本発明のプリント基板検査装置
を、その実施の形態を示した図面に基づいて詳細に説明
する。図1において、12A,12Bは撮像手段として
のCCDカメラ、2Aは上部検査治具、2Bは下部検査
治具、3A,3Bは保護板、4は基板、8Aは上部調節
機構、8Bは下部調節機構である。7は制御装置であ
り、前記CCDカメラからの画像に基づいて位置ずれを
検出する検出手段と、位置ずれに基づいて前記上部調節
機構及び下部調節機構を制御する位置制御手段と、各プ
ローブピンと接続された電気的検査手段とを内蔵してい
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A printed circuit board inspection apparatus according to the present invention will be described below in detail with reference to the drawings showing an embodiment thereof. In FIG. 1, 12A and 12B are CCD cameras as imaging means, 2A is an upper inspection jig, 2B is a lower inspection jig, 3A and 3B are protection plates, 4 is a substrate, 8A is an upper adjustment mechanism, and 8B is a lower adjustment jig. Mechanism. Reference numeral 7 denotes a control device, which is a detecting means for detecting a positional deviation based on an image from the CCD camera, a position controlling means for controlling the upper adjusting mechanism and the lower adjusting mechanism based on the positional deviation, and connected to each probe pin. And built-in electrical inspection means.

【0007】6は下部検査治具2Bを駆動する主プレス
である。上部調節機構8Aは、上側のベース61Aを駆
動するようにベース62Aに取り付けられている。下部
調節機構8Bは、下側のベース61Bを駆動するように
ベース62Bに取り付けられている。
Reference numeral 6 denotes a main press for driving the lower inspection jig 2B. The upper adjustment mechanism 8A is attached to the base 62A so as to drive the upper base 61A. The lower adjustment mechanism 8B is attached to the base 62B so as to drive the lower base 61B.

【0008】ベース61A,61Bに固定された治具底
板6A,6Bに取り付けられたカメラ12A,12B
は、光軸上に45度の角度の屈曲面を備えた直角プリズ
ムを備えたCCD撮像素子で構成され、光軸の周囲に配
設された複数の光ファイバーの終端から照明用の光が光
軸に沿って照射される。
Cameras 12A, 12B mounted on jig bottom plates 6A, 6B fixed to bases 61A, 61B
Is composed of a CCD image pickup device having a right-angle prism having a bent surface at an angle of 45 degrees on the optical axis. Light for illumination is transmitted from the ends of a plurality of optical fibers arranged around the optical axis. Irradiated along.

【0009】基板4には、両面に配線パターンが形成さ
れているとともに、位置決め用のガイド孔が穿設されて
いる。上部検査治具2A、下部検査治具2Bには、基板
4の配線パターンの検査ポイントの数に応じた本数の検
査プローブピンPA,PBが植設さている。このプロー
ブピンPA,PBは、基部PA’,PB’と電気的に接
触しておりプローブピンPA,PBあるいは基部P
A’,PB’にバネが内蔵され、プローブピンPA,P
Bの先端が保護板の表面に露出するに充分な長さのもの
となっている。
A wiring pattern is formed on both sides of the substrate 4 and a positioning guide hole is formed in the substrate 4. In the upper inspection jig 2A and the lower inspection jig 2B, a number of inspection probe pins PA and PB corresponding to the number of inspection points of the wiring pattern of the substrate 4 are implanted. The probe pins PA, PB are in electrical contact with the bases PA ′, PB ′, and the probe pins PA, PB or the base P
A 'and PB' have built-in springs and probe pins PA and P
The length of B is long enough to be exposed on the surface of the protection plate.

【0010】以下においては、便宜上、16本のプロー
ブピンが図2の(A)のようにa(mm)×a(mm)の範
囲に4(本)×4(列)に配設されている場合を例示し
て説明する。即ちこの例では、プローブピンの間隔はa
/3(mm)となっている。保護板3A、3Bは絶縁性の
撓みにくい板体、例えばガラスエポキシ板等によって形
成され、プローブピンの先端が挿通されてその先端が基
板側の面に露出するように配設されているとともに、前
記16本のプローブピンの先端は、図2の(B)のよう
に前記より狭いb(mm)×b(mm)の範囲に16本のプ
ローブピンの先端が配設されている。即ちこの例では、
プローブピンの先端の最小間隔はc(mm)となってい
る。ここで、c<a/3であり、プローブピンの先端部
の分布密度は根元部の分布密度より小さくなっている。
従って、従来のプローブピンを用いて高密度の配線パタ
ーンを検査することができるのである。
In the following, for convenience, 16 probe pins are arranged in 4 (rows) × 4 (rows) within the range of a (mm) × a (mm) as shown in FIG. An example will be described. That is, in this example, the interval between the probe pins is a
/ 3 (mm). The protection plates 3A and 3B are formed of an insulating and non-flexible plate, for example, a glass epoxy plate, and are arranged so that the tips of the probe pins are inserted and the tips are exposed on the surface on the substrate side. As shown in FIG. 2B, the tips of the 16 probe pins are arranged in the narrower b (mm) × b (mm) range. That is, in this example,
The minimum distance between the tips of the probe pins is c (mm). Here, c <a / 3, and the distribution density at the tip of the probe pin is smaller than the distribution density at the root.
Therefore, a high-density wiring pattern can be inspected using the conventional probe pins.

【0011】5Aは上側の基準板であり、支柱38Aに
よって上側のベース62Aに取り付けられている。5B
は下側の基準板であり、支柱38Bによって下側のベー
ス62Bに取り付けられている。31はガイドピンであ
り、前記基準板5Bに立設され、プリント基板4に設け
られたガイド孔に先端が挿入されることによって、プリ
ント基板4と基準板5A,5Bとの相対的な位置を決定
する。そして、支柱38A,38Bによって前記基準板
5A,5Bはそれぞれベース62A,62Bに対して相
対的な位置が決定されている。
Reference numeral 5A denotes an upper reference plate, which is attached to an upper base 62A by a column 38A. 5B
Is a lower reference plate, which is attached to the lower base 62B by a support post 38B. Reference numeral 31 denotes a guide pin, which stands on the reference plate 5B, and inserts a tip into a guide hole provided in the printed circuit board 4 so that the relative position between the printed circuit board 4 and the reference plates 5A and 5B is adjusted. decide. The positions of the reference plates 5A and 5B relative to the bases 62A and 62B are determined by the columns 38A and 38B.

【0012】35Bは第1付勢手段としてのサポートピ
ンであり、基部は基準板5Bに固定され、内装されたバ
ネによって、先端が当接しているプリント基板4を保護
板3Bから離間させる方向に付勢している。36Bは第
2付勢手段としての保護板ガイドピンであり、基部は上
部支持板22Bおよび下部支持板21Bに固定され、内
装されたバネによって、先端が固定されているプリント
保護板3Bを基準板5Bから離間させる方向に付勢して
いる。34Bは保護板支持ピンであり、治具2Bに立設
され、先端は保護板3Bに固定されることによって、保
護板3Bと治具2Bとの相対的な位置を決定する。40
Bは、保護板3Bを基準板5Bから離間させるために付
勢するバネである。
Reference numeral 35B denotes a support pin as a first urging means. The base is fixed to the reference plate 5B, and the printed circuit board 4 at the tip thereof is separated from the protection plate 3B by a built-in spring. It is energizing. Reference numeral 36B denotes a protection plate guide pin as a second urging means. The base is fixed to the upper support plate 22B and the lower support plate 21B, and the printed protection plate 3B, the tip of which is fixed by a built-in spring, is used as a reference plate. It is urged in a direction away from 5B. Reference numeral 34B denotes a protection plate support pin, which stands on the jig 2B, and whose tip is fixed to the protection plate 3B, thereby determining the relative position between the protection plate 3B and the jig 2B. 40
B is a spring that biases the protective plate 3B to separate it from the reference plate 5B.

【0013】37Bは基準ピンであり、基部は治具底板
6Bに固定され、さらに、治具2B、下部支持板21B
に挿通されて、上端は上部支持板22Bに固定されてい
る。この基準ピン37Bによって、前記治具底板6Bと
治具2Bと21B22Bの水平方向の相対的な位置関係
が固定され、前記保護板支持ピン34Bによってさらに
22Bと保護板3Bとの水平方向の相対的な位置関係も
固定されることになる。そして、前記ベース61Bに固
定された治具底板6Bと、ベース62Bの水平方向の相
対的な位置は、下部調節機構8Bによって微調整され
る。従って、前記下部調節機構8Bを制御することによ
って、プリント基板4とプローブピンPBの先端との位
置関係は微調整されるのである。
Reference numeral 37B denotes a reference pin, the base of which is fixed to a jig bottom plate 6B, and a jig 2B and a lower support plate 21B.
And the upper end is fixed to the upper support plate 22B. The reference pin 37B fixes the horizontal relative positional relationship between the jig bottom plate 6B, the jig 2B, and 21B22B, and the protection plate support pin 34B further allows the horizontal relative position between 22B and the protection plate 3B. The positional relationship is also fixed. The horizontal relative positions of the jig bottom plate 6B fixed to the base 61B and the base 62B are finely adjusted by the lower adjustment mechanism 8B. Therefore, by controlling the lower adjustment mechanism 8B, the positional relationship between the printed circuit board 4 and the tip of the probe pin PB is finely adjusted.

【0014】なお、以上の説明においては、数字符号に
付加した「B」は、プリント基板4の下側の構成要素に
付した符号であって、プリント基板4の上側にも同様の
構成要素が配設されている。対応する上側の構成要素に
は、必要に応じて、同じ数字符号に「A」を付して示し
た。特に説明の必要がないものは説明及び図示を省略し
た。
In the above description, “B” added to the numeral code is a code attached to the lower component of the printed circuit board 4, and the same component is also provided above the printed circuit board 4. It is arranged. Corresponding upper components are designated by the same numeral with an "A" appended, where necessary. Those which do not need to be described are not described or shown.

【0015】以上の構成のプリント基板検査装置におい
て、実際のプリント基板を検査する場合を以下に説明す
る。まず、主プレス6によって前記下部検査治具2Bを
降ろし、搬送機構(図示せず)よって基板4を搬送し
て、図1に示したように、下部検査治具2Bに立設され
たガイドピン31を基板4のガイド孔に挿通してセット
する。
A case where an actual printed circuit board is inspected by the printed circuit board inspection apparatus having the above configuration will be described below. First, the lower inspection jig 2B is lowered by the main press 6, the substrate 4 is transported by a transport mechanism (not shown), and the guide pins set up on the lower inspection jig 2B as shown in FIG. 31 is inserted into the guide hole of the substrate 4 and set.

【0016】次に、主プレス6によって下部検査治具2
Bを上昇させると、プリント基板4は上下の保護板3
A,3Bによって押圧され始め、まず、サポートピン3
5Bのバネが縮んで保護板3A,3Bで基板4を上下か
ら挟持して保持する。下側で説明すると、続いて、保護
板ガイドピン36Bに内蔵されたバネと前記バネ40B
が縮んで、プリント基板4と保護板3Bと基準板5Bと
が密着した状態となる。このとき、上部検査治具2Aと
下部検査治具2Bの検査プローブピンPA,PBの先端
は、プリント基板4の裏表の配線パターン等の検査ポイ
ントに押し当てられて電気的に接触する。この状態で、
上側のCCDカメラ12Aと下側のCCDカメラ12B
によって上下の検査治具2A,2Bに設けられた基準孔
と基板4の裏表に形成された基準マークを撮像して、制
御装置7によって上部検査治具2Aと基板4との相対的
な位置ずれを算出すると共に、各配線パターンの所定の
位置に接触している検査プローブピンPA,PB間の電
気的な導通/非導通の検査を行う。なお、前記CCDカ
メラの光軸上の各板には、それぞれ孔が設けられている
ことは当然である。
Next, the lower inspection jig 2 is operated by the main press 6.
When B is raised, the printed circuit board 4 becomes the upper and lower protective plates 3
A, 3B begins to be pressed.
The spring of 5B is contracted, and the substrate 4 is sandwiched and held between the protection plates 3A and 3B from above and below. Explaining below, the spring built into the protection plate guide pin 36B and the spring 40B
Is shrunk, and the printed circuit board 4, the protection plate 3B, and the reference plate 5B come into close contact with each other. At this time, the tips of the inspection probe pins PA and PB of the upper inspection jig 2A and the lower inspection jig 2B are pressed against the inspection points such as the wiring patterns on the front and back of the printed circuit board 4 to make electrical contact. In this state,
Upper CCD camera 12A and lower CCD camera 12B
The controller 7 images the reference holes provided in the upper and lower inspection jigs 2A and 2B and the reference marks formed on the front and back of the substrate 4, and the controller 7 controls the relative displacement between the upper inspection jig 2A and the substrate 4. Is calculated, and an electrical continuity / non-continuity inspection between the inspection probe pins PA and PB in contact with a predetermined position of each wiring pattern is performed. It should be noted that holes are provided in each plate on the optical axis of the CCD camera.

【0017】電気的な検査が不合格の場合には、検査プ
ローブピンPA,PBが所定の位置に正確に接触してい
ない事情が考えられるので、位置ずれの補正を行う。位
置ずれの補正をするときは、主プレス6を作動させて、
下部検査治具2Bを降ろして上下の保護板3A,3Bと
上下の基準板5A,5Bとを離間させ、さらに、プリン
ト基板4と上下の保護板3A,3Bとを離間させ、保護
板3A,3Bと基準板5A,5Bとが相対的に移動でき
るようにしておく。なお、この場合には、保護板ガイド
ピン36Bのバネおよび前記バネ40Bが伸びて保護板
3Bと基準板5Bとを離間させ、サポートピン35Bで
プリント基板4を保護板3Bから離間させた状態で保持
する。即ち、プリント基板4は上下のサポートピン35
A,35Bで上下の保護板3A,3Bから離間した状態
で支持されているのである。従って、この状態において
も、プリント基板4は上下のサポートピン35A,35
Bによって上下から挟まれているので、プリント基板4
がずれたり撓んだりすることは防止され、正確な位置決
めが可能となるのである。
If the electrical inspection fails, it is possible that the inspection probe pins PA and PB do not accurately contact the predetermined positions. To correct the displacement, operate the main press 6 and
The lower inspection jig 2B is lowered to separate the upper and lower protective plates 3A, 3B from the upper and lower reference plates 5A, 5B, and further separates the printed circuit board 4 from the upper and lower protective plates 3A, 3B. 3B and the reference plates 5A, 5B are relatively movable. In this case, the spring of the protection plate guide pin 36B and the spring 40B are extended to separate the protection plate 3B from the reference plate 5B, and the printed board 4 is separated from the protection plate 3B by the support pins 35B. Hold. That is, the printed circuit board 4 includes upper and lower support pins 35.
A and 35B support the upper and lower protective plates 3A and 3B apart from each other. Therefore, even in this state, the printed circuit board 4 holds the upper and lower support pins 35A, 35A.
B, the printed circuit board 4
Is prevented from being displaced or bent, and accurate positioning becomes possible.

【0018】即ち、治具を昇降させても、プリント基板
はサポートピン35A,35Bによってベース62Bを
基準とした初期の位置に保持されていることが、上記構
成の特徴である。サポートピン35A,35Bは治具と
ともにベース62Bに固定されているので、治具の昇降
や位置ずれ補正のための微調整によっても、基板4と検
査機本体即ちベース62Bとの水平方向の相対的な位置
は変化しないような構成が実現されているのである。
That is, even when the jig is moved up and down, the printed circuit board is held at the initial position with respect to the base 62B by the support pins 35A and 35B. Since the support pins 35A and 35B are fixed to the base 62B together with the jig, the horizontal direction relative to the board 4 and the main body of the inspection apparatus, that is, the base 62B can be adjusted even by fine adjustment for raising and lowering the jig and correcting misalignment. Thus, a configuration in which the position does not change is realized.

【0019】制御装置7に内蔵された検出手段は、画像
処理技術によって、カメラ12Aで得られた基準孔回り
における基板4のずれのデータと、図示しない左側のカ
メラで得られた基準孔回りにおける基板4のずれのデー
タとから、上部検査治具2Aと基板4とのずれ成分(X
a,Ya,θa)を算出する。このずれ成分に基づいて
上部調節機構8Aをコントロールして上部検査治具2A
を微動させて、上部検査治具2と基板4とを正確に位置
合わせする。
The detection means built in the control device 7 uses the image processing technique to detect the displacement data of the substrate 4 around the reference hole obtained by the camera 12A and the data of the displacement around the reference hole obtained by the left camera (not shown). From the data of the displacement of the substrate 4, the displacement component (X
a, Ya, θa) are calculated. The upper inspection jig 2A is controlled by controlling the upper adjustment mechanism 8A based on the shift component.
Is slightly moved to accurately align the upper inspection jig 2 and the substrate 4.

【0020】同様に、CCDカメラ12Bと図示しない
左側のCCDカメラによって下部検査治具2Bに設けら
れた基準孔と基板上の基準マークを撮像して画像処理装
置によって相対的な位置ずれを算出し、下部調節機構8
Bをコントロールして下部検査治具2Bを微動させて、
下部検査治具2Bと基板4との相対的な位置ずれも補正
する。このようにして、上部検査治具2A(保護板3
A),下部検査治具2B(保護板3B),基板4の三者
は、相互に正確に位置合わせされるのである。ここで用
いる位置合わせの方法としては、特願平3−23119
7において提案した技術を利用することもできる。
Similarly, the CCD camera 12B and the left CCD camera (not shown) image the reference holes provided in the lower inspection jig 2B and the reference marks on the substrate, and calculate the relative displacement by the image processing device. , Lower adjustment mechanism 8
B and finely move the lower inspection jig 2B,
The relative displacement between the lower inspection jig 2B and the substrate 4 is also corrected. In this manner, the upper inspection jig 2A (the protection plate 3
A), the lower inspection jig 2B (protective plate 3B) and the substrate 4 are accurately aligned with each other. The positioning method used here is disclosed in Japanese Patent Application No. Hei 3-23119.
The technology proposed in 7 can also be used.

【0021】このようにして、位置ずれを補正した後
に、再度電気的な検査を行う。検査終了後は、再び、主
プレスを大きく降下させることによって、基板4から保
護板も治具も離し、搬送機構を用いて良品基板のストッ
ク部,不良品基板のストック部にそれぞれ搬送してスト
ックする。
After correcting the displacement as described above, an electrical inspection is performed again. After the inspection is completed, the protection plate and the jig are separated from the substrate 4 by lowering the main press again, and are conveyed to the stock portion of the non-defective substrate and the stock portion of the defective substrate using the conveyance mechanism. I do.

【0022】このプリント基板検査装置によれば、サポ
ートピン35A,35Bによって基板を挟持したままの
状態で、治具のプローブピンPA,PBを基板から離し
て、治具と基板との相対的な位置ずれを補正するので、
基板の位置が、位置ずれを算出した状態からずれること
は防止されるのである。よって、位置ずれを算出してそ
の結果に基づいて微調整する度に、基板と治具との相対
的な位置は正確に一致するように補正される、近年の高
密度のプリント基板であっても、プローブピンを所定の
位置に正確に接触させることが可能となる。加えて、プ
ローブピンの構造上からの制限によって、治具に高密度
で配設することが困難であっても、プローブピンの先端
を近づけて高密度の配線パターンの検査も可能になった
のである。
According to this printed circuit board inspection apparatus, the probe pins PA and PB of the jig are separated from the substrate while the substrate is held between the support pins 35A and 35B, and the relative position between the jig and the substrate is increased. Since it corrects the misalignment,
This prevents the position of the substrate from deviating from the state in which the displacement has been calculated. Therefore, each time a positional displacement is calculated and fine-tuned based on the result, the relative position between the substrate and the jig is corrected so as to accurately match. Also, the probe pin can be accurately brought into contact with a predetermined position. In addition, even if it is difficult to arrange high density on the jig due to the restriction of the structure of the probe pin, it is possible to inspect the high density wiring pattern by bringing the tip of the probe pin closer. is there.

【0023】なお、上記構成における治具を取り外し
て、従来の治具(例えば、特願平9−162955号の
実施例の治具)と交換することも可能である。また、基
板が片面のみに配線パターンが形成されたものである場
合には、プローブピンが植設された治具は上下何れか一
方のみでよい。しかし、サポートピン35A,35Bは
基板を挟むために、上下2枚備える必要がある。また、
位置ずれの補正は自動で行ってもよいが、手動によって
行ってもよい。なお、搬送機構には、特願平3−346
654,特願平4−214333等において提案した技
術を利用することができる。また、治具としては、特願
平2−196566,特願平3−245676,特願平
3−346654等に於いて提案した技術を用いること
も出来る。
It is also possible to remove the jig having the above configuration and replace it with a conventional jig (for example, the jig in the embodiment of Japanese Patent Application No. 9-162950). When the substrate has a wiring pattern formed only on one side, only one of the upper and lower jigs on which the probe pins are implanted may be used. However, it is necessary to provide two upper and lower support pins 35A and 35B to sandwich the substrate. Also,
The correction of the displacement may be performed automatically or manually. The transport mechanism includes Japanese Patent Application No. 3-346.
654, Japanese Patent Application No. 4-214333, and the like. Further, as the jig, the technology proposed in Japanese Patent Application Nos. 2-196566, 3-245676, 3-346654 can be used.

【0024】図3は、本発明の請求項5のプリント基板
検査装置の構成を示す構成図であり、異方性導電ゴム7
2A,72Bとピッチ変換基板71A,71Bが保護板
とプリント基板との間に介装されている。図4は、本発
明の請求項6のプリント基板検査装置の構成を示す構成
図であり、面接触手段としてのショートゴム91がシリ
ンダー9の先端に備えられている。CPU等のLSIの
装着面のように多数の検査ポイントが密集している部分
に前記ショートゴム91を接触させて、複数の検査ポイ
ントを短絡させるように構成してもよい。図5は、本発
明の請求項7のプリント基板検査装置の構成を示す構成
図であり、電磁結合手段としての非接触センサー92を
備え、プリント基板のパターン供給された微弱な交流信
号による電磁界または電磁波等を電磁結合によって非接
触で検出するように構成してもよい。また、非接触セン
サーに代えて接触センサーによって電磁結合させてもよ
い。更には、カメラを用いずに、各プローブピンとプリ
ント基板上の特定パターンとの電気的接触によって得ら
れる電気的特性に基づいて位置ずれを検出して補正する
ように構成してもよい。いずれにせよ、本発明の特許請
求の範囲に記載された構成を備えてプリント基板の電気
的検査をする技術はすべて本発明の技術的範囲に属する
ものである。
FIG. 3 is a view showing the structure of a printed circuit board inspection apparatus according to a fifth embodiment of the present invention.
2A, 72B and the pitch conversion boards 71A, 71B are interposed between the protection plate and the printed board. FIG. 4 is a configuration diagram showing the configuration of the printed circuit board inspection apparatus according to claim 6 of the present invention. A short rubber 91 as a surface contact means is provided at the tip of the cylinder 9. The short rubber 91 may be brought into contact with a portion where a large number of inspection points are dense, such as a mounting surface of an LSI such as a CPU, to short-circuit a plurality of inspection points. FIG. 5 is a block diagram showing the configuration of a printed circuit board inspection apparatus according to claim 7 of the present invention, which includes a non-contact sensor 92 as an electromagnetic coupling means, and an electromagnetic field due to a weak AC signal supplied to the pattern of the printed circuit board. Alternatively, an electromagnetic wave or the like may be detected in a non-contact manner by electromagnetic coupling. Alternatively, electromagnetic coupling may be performed by a contact sensor instead of the non-contact sensor. Further, a configuration may be employed in which a position shift is detected and corrected based on electrical characteristics obtained by electrical contact between each probe pin and a specific pattern on a printed circuit board without using a camera. In any case, any technique for electrically inspecting a printed circuit board with the configuration described in the claims of the present invention belongs to the technical scope of the present invention.

【0025】[0025]

【発明の効果】このようにして、本発明のプリント基板
検査装置によれば、高密度の配線パターンを正確に検査
できる治具を、従来のプローブピンを用いて実現するこ
とができるのである。
As described above, according to the printed board inspection apparatus of the present invention, a jig capable of accurately inspecting a high-density wiring pattern can be realized by using the conventional probe pins.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のプリント基板検査装置の構成を示す構
成図である。
FIG. 1 is a configuration diagram showing a configuration of a printed circuit board inspection device of the present invention.

【図2】本発明のプリント基板検査装置の要部を説明す
る説明図である。
FIG. 2 is an explanatory diagram illustrating a main part of the printed board inspection device of the present invention.

【図3】本発明の請求項5のプリント基板検査装置の構
成を示す構成図である。
FIG. 3 is a configuration diagram showing a configuration of a printed circuit board inspection apparatus according to a fifth embodiment of the present invention.

【図4】本発明の請求項6のプリント基板検査装置の構
成を示す構成図である。
FIG. 4 is a configuration diagram showing a configuration of a printed circuit board inspection apparatus according to claim 6 of the present invention.

【図5】本発明の請求項7のプリント基板検査装置の構
成を示す構成図である。
FIG. 5 is a configuration diagram showing a configuration of a printed circuit board inspection apparatus according to a seventh aspect of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

12A CCDカメラ 12B CCDカメラ 2A 上部検査治具 2B 下部検査治具 31 ガイドピン 34B 保護板支持ピン 35B サポートピン 36B 保護板ガイドピン 3A 保護板 3B 保護板 4 被検査プリント基板 5A 基準板 5B 基準板 6 主プレス 6A (上部)治具底板 6B (下部)治具底板 8A 上部調節機構 8B 下部調節機構 PA プローブピン PB プローブピン PA’ プローブピンの基部 PB’ プローブピンの基部 12A CCD camera 12B CCD camera 2A Upper inspection jig 2B Lower inspection jig 31 Guide pin 34B Protective plate support pin 35B Support pin 36B Protective plate guide pin 3A Protective plate 3B Protective plate 4 Printed circuit board to be inspected 5A Reference plate 5B Reference plate 6 Main press 6A (upper) jig bottom plate 6B (lower) jig bottom plate 8A upper adjustment mechanism 8B lower adjustment mechanism PA probe pin PB probe pin PA 'base of probe pin PB' base of probe pin

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】被検査プリント基板に形成された配線パタ
ーンに、治具に保持されたプローブピンを押圧手段によ
って押圧することで電気的に接触させて、前記被検査プ
リント基板に形成された配線パターンの導通/非導通の
検査を行うように構成されたプリント基板検査装置にお
いて、前記被検査プリント基板とプローブピンの先端と
の位置合わせをするべく調節機構を備えると共に、前記
被検査プリント基板と前記治具との間には前記押圧状態
において前記被検査プリント基板と密着する保護板が介
挿され、前記プローブピンの先端は前記保護板を挿通し
て被検査プリント基板に電気的に接触するべく配設さ
れ、前記保護板面の一部におけるプローブピンの先端の
分布密度は、前記治具面におけるプローブピンの根元部
分の分布密度より大なることを特徴とするプリント基板
検査装置。
A probe formed by pressing a probe pin held by a jig with a wiring pattern formed on a printed circuit board to be electrically contacted with a wiring pattern formed on the printed circuit board, thereby forming a wiring formed on the printed circuit board. In a printed circuit board inspection device configured to inspect the conduction / non-conduction of a pattern, an adjustment mechanism is provided for aligning the inspection target printed board with the tip of a probe pin, and the inspection target printed board is A protective plate that is in close contact with the printed circuit board to be inspected in the pressed state is interposed between the jig and the tip of the probe pin is electrically connected to the printed circuit board to be inspected through the protective plate. The distribution density of the tip of the probe pin on a part of the surface of the protection plate is larger than the distribution density of the root of the probe pin on the jig surface. PCB inspecting apparatus according to claim Rukoto.
【請求項2】前記押圧手段による押圧力より弱い付勢力
で、前記プリント基板を前記治具から離間させる方向に
付勢する第1付勢手段を備えていることを特徴とする請
求項1に記載のプリント基板検査装置。
2. The apparatus according to claim 1, further comprising first urging means for urging the printed circuit board in a direction for separating the printed circuit board from the jig with an urging force weaker than the pressing force of the pressing means. The printed circuit board inspection device according to the above.
【請求項3】前記押圧手段による押圧力より弱い付勢力
で、前記保護板を前記治具から離間させる方向に付勢す
る第2付勢手段を備えていることを特徴とする請求項1
に記載のプリント基板検査装置。
3. The apparatus according to claim 1, further comprising a second urging means for urging the protective plate in a direction to separate the protective plate from the jig with an urging force weaker than the pressing force of the pressing means.
A printed circuit board inspection device according to claim 1.
【請求項4】被検査プリント基板の表面画像を撮像する
撮像手段と、撮像された画像データから被検査プリント
基板とプローブピンの先端との相対的な位置ずれを検出
する検出手段と、を備え、調節機構は、前記検出された
位置ずれに基づいて前記被検査プリント基板とプローブ
ピンの先端との位置合わせをするように構成されている
請求項1、2、または3に記載のプリント基板検査装
置。
4. An imaging device for capturing an image of a surface of a printed circuit board to be inspected, and a detecting means for detecting a relative displacement between the printed circuit board to be inspected and a tip of a probe pin from the captured image data. 4. The printed circuit board inspection according to claim 1, wherein the adjustment mechanism is configured to align the printed circuit board to be inspected with a tip of a probe pin based on the detected positional deviation. apparatus.
【請求項5】被検査プリント基板とプローブピンの先端
との間に介装された異方性導電ゴムを備えていることを
特徴とする請求項1、2、または3に記載のプリント基
板検査装置。
5. The printed circuit board inspection according to claim 1, further comprising an anisotropic conductive rubber interposed between the printed circuit board to be inspected and the tip of the probe pin. apparatus.
【請求項6】被検査プリント基板に形成された配線パタ
ーンの所定領域に電気的に接触する面接触手段を備えて
いることを特徴とする請求項1、2、または3に記載の
プリント基板検査装置。
6. The printed circuit board inspection according to claim 1, further comprising a surface contact means for electrically contacting a predetermined area of the wiring pattern formed on the printed circuit board to be inspected. apparatus.
【請求項7】被検査プリント基板に形成された配線パタ
ーンとの間で電磁結合によって検査信号の供給もしくは
検出をするように構成された電磁結合手段を備えている
ことを特徴とする請求項1、2、または3に記載のプリ
ント基板検査装置。
7. An apparatus according to claim 1, further comprising electromagnetic coupling means configured to supply or detect an inspection signal by electromagnetic coupling with a wiring pattern formed on a printed circuit board to be inspected. 4. The printed circuit board inspection device according to 2, 3 or 4.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005116670A1 (en) * 2004-05-28 2005-12-08 Jsr Corporation Circuit board inspecting apparatus and circuit board inspecting method
JP2006343197A (en) * 2005-06-08 2006-12-21 Nhk Spring Co Ltd Inspection device
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JP2018189458A (en) * 2017-05-01 2018-11-29 株式会社日本マイクロニクス Electric connection device and method for manufacturing the same

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