JP2000266647A - 元素分析装置のガス抽出炉 - Google Patents
元素分析装置のガス抽出炉Info
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- JP2000266647A JP2000266647A JP11068497A JP6849799A JP2000266647A JP 2000266647 A JP2000266647 A JP 2000266647A JP 11068497 A JP11068497 A JP 11068497A JP 6849799 A JP6849799 A JP 6849799A JP 2000266647 A JP2000266647 A JP 2000266647A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 るつぼ設置用の磁製るつぼ台の凹部に流入し
た大気のパージを容易に行えるようにして、測定時に大
気が測定系内に流れ出ることに起因しての測定値のばら
つきを防止する。 【解決手段】 炉本体４にるつぼ台８と、このるつぼ台
８を載置するための台座１２とを備え、かつ、るつぼ７
内の試料を燃焼させて、試料に含まれる元素の抽出ガス
をキャリアガスによって検出器２９に供給し、試料に含
まれる元素を定量分析するように構成した元素分析装置
のガス抽出炉において、るつぼ台８と台座１２の少なく
とも一方に、るつぼ台８の凹部１１にパージガスを導入
するためのパージガス導入流路Ｒを形成して、凹部１１
に流入した大気のパージを容易に行えるようにしてい
る。
た大気のパージを容易に行えるようにして、測定時に大
気が測定系内に流れ出ることに起因しての測定値のばら
つきを防止する。 【解決手段】 炉本体４にるつぼ台８と、このるつぼ台
８を載置するための台座１２とを備え、かつ、るつぼ７
内の試料を燃焼させて、試料に含まれる元素の抽出ガス
をキャリアガスによって検出器２９に供給し、試料に含
まれる元素を定量分析するように構成した元素分析装置
のガス抽出炉において、るつぼ台８と台座１２の少なく
とも一方に、るつぼ台８の凹部１１にパージガスを導入
するためのパージガス導入流路Ｒを形成して、凹部１１
に流入した大気のパージを容易に行えるようにしてい
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、試料中の元素を定
量分析するための元素分析装置のガス抽出炉に関する。
量分析するための元素分析装置のガス抽出炉に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、金属やセラミックスなどの試料
に含まれる炭素や硫黄などの元素を定量分析するための
元素分析装置として、秤量済の試料を収容したるつぼを
ガス抽出炉に装着して、燃焼空間において、るつぼ内の
試料を燃焼させて、試料に含まれる元素の抽出ガスをキ
ャリアガスによって検出器に供給し、試料に含まれる元
素を例えば赤外線吸収法によって定量分析するものがあ
る。
に含まれる炭素や硫黄などの元素を定量分析するための
元素分析装置として、秤量済の試料を収容したるつぼを
ガス抽出炉に装着して、燃焼空間において、るつぼ内の
試料を燃焼させて、試料に含まれる元素の抽出ガスをキ
ャリアガスによって検出器に供給し、試料に含まれる元
素を例えば赤外線吸収法によって定量分析するものがあ
る。
【０００３】この元素分析に用いられるガス抽出炉は、
試料秤量済のるつぼを炉内に装着するために、加熱手段
を備えた炉本体の下部側に、るつぼ設置用の下部炉体を
昇降可能に備えて成る。
試料秤量済のるつぼを炉内に装着するために、加熱手段
を備えた炉本体の下部側に、るつぼ設置用の下部炉体を
昇降可能に備えて成る。
【０００４】そして、上記の下部炉体には、るつぼを設
置するためのるつぼ台とこのるつぼ台を載置するための
台座と、るつぼ台の下部に開設の凹部に係入する金属製
の位置固定部材とが設けられている。
置するためのるつぼ台とこのるつぼ台を載置するための
台座と、るつぼ台の下部に開設の凹部に係入する金属製
の位置固定部材とが設けられている。
【０００５】ところで、上記の元素分析に際して、秤量
済のるつぼを炉内に装着する際に、下部炉体を下降させ
て炉を開くと、炉内が大気に晒されて、炉内には勿論、
るつぼ台の凹部にも大気が流入する。
済のるつぼを炉内に装着する際に、下部炉体を下降させ
て炉を開くと、炉内が大気に晒されて、炉内には勿論、
るつぼ台の凹部にも大気が流入する。
【０００６】この大気は、二酸化炭素を含んでいて測定
値の異常に繋がることから、この大気を系外に排出する
ために、通常は、測定の開始に先立って炉内にパージガ
スを導入して、炉内をパージガスに置換するパージの行
程が実施される。
値の異常に繋がることから、この大気を系外に排出する
ために、通常は、測定の開始に先立って炉内にパージガ
スを導入して、炉内をパージガスに置換するパージの行
程が実施される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところが、狭隘な隙間
を通して一旦るつぼ台の凹部に流入した大気は、パージ
を行っても容易にはパージガスと置換されず、この凹部
に溜まった大気が試料測定時に系内に流れ出ると、測定
値のばらつきが生じるもので、凹部の容量は小さいなが
らも、高精度の元素測定にとっては、この僅かな量の大
気が測定精度に大きな影響を及ぼす点で問題があった。
を通して一旦るつぼ台の凹部に流入した大気は、パージ
を行っても容易にはパージガスと置換されず、この凹部
に溜まった大気が試料測定時に系内に流れ出ると、測定
値のばらつきが生じるもので、凹部の容量は小さいなが
らも、高精度の元素測定にとっては、この僅かな量の大
気が測定精度に大きな影響を及ぼす点で問題があった。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、かゝる実情に
鑑みて成されたものであって、上記した元素分析装置の
ガス抽出炉において、るつぼ台と台座の少なくとも一方
に、るつぼ台の凹部にパージガスを導入するためのパー
ジガス導入流路を設けた点に特徴がある。
鑑みて成されたものであって、上記した元素分析装置の
ガス抽出炉において、るつぼ台と台座の少なくとも一方
に、るつぼ台の凹部にパージガスを導入するためのパー
ジガス導入流路を設けた点に特徴がある。
【０００９】即ち、本発明は、るつぼ台と台座との間の
隙間が狭隘であって、この間を通してパージガスが凹部
に流入し難いことが、凹部に溜まった大気のパージを困
難にしている点に着目して成されたもので、そこで本発
明は、パージガスを積極的に凹部内に導入するための流
路を設けて、大気のパージを容易に行えるようにしたの
であり、これによって、凹部が確実にパージガスに置換
されることから、大気が存在しない状態での試料測定が
可能となり、延いては、測定値のばらつきが生じなくな
ることから、測定精度の大幅な向上が達成される。
隙間が狭隘であって、この間を通してパージガスが凹部
に流入し難いことが、凹部に溜まった大気のパージを困
難にしている点に着目して成されたもので、そこで本発
明は、パージガスを積極的に凹部内に導入するための流
路を設けて、大気のパージを容易に行えるようにしたの
であり、これによって、凹部が確実にパージガスに置換
されることから、大気が存在しない状態での試料測定が
可能となり、延いては、測定値のばらつきが生じなくな
ることから、測定精度の大幅な向上が達成される。
【００１０】上記のパージガス導入流路は、例えばるつ
ぼ台下部側の凹部周壁に切り欠きを形成したり、或い
は、台座のるつぼ台載置面部に、リブ部材を立設したり
溝を形成したりして構成され、好適には、パージガスの
供給口をパージガス導入流路に臨ませて配置することで
ある。
ぼ台下部側の凹部周壁に切り欠きを形成したり、或い
は、台座のるつぼ台載置面部に、リブ部材を立設したり
溝を形成したりして構成され、好適には、パージガスの
供給口をパージガス導入流路に臨ませて配置することで
ある。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図１は元素分析装置を示し、図中
の１はガス抽出炉で、図２にも示すように、燃焼筒２ま
わりに高周波の加熱手段３を備えた炉本体４と、この炉
本体４の下部側の開口部に連設されたＯリング５の保持
具６と、磁製の試料収容るつぼ７を設置するための磁製
のるつぼ台８を備えた下部炉体９とから成る。
に基づいて説明する。図１は元素分析装置を示し、図中
の１はガス抽出炉で、図２にも示すように、燃焼筒２ま
わりに高周波の加熱手段３を備えた炉本体４と、この炉
本体４の下部側の開口部に連設されたＯリング５の保持
具６と、磁製の試料収容るつぼ７を設置するための磁製
のるつぼ台８を備えた下部炉体９とから成る。
【００１２】上記のるつぼ台８には、るつぼ７の嵌合保
持凹部１０と、下部側で開口した凹部１１とが形成さ
れ、一方、下部炉体９には、るつぼ台載置用の金属製台
座１２と、るつぼ台８の下部凹部１１に係入する金属製
の位置固定部材１３とが設けられている。
持凹部１０と、下部側で開口した凹部１１とが形成さ
れ、一方、下部炉体９には、るつぼ台載置用の金属製台
座１２と、るつぼ台８の下部凹部１１に係入する金属製
の位置固定部材１３とが設けられている。
【００１３】そして、炉本体４は、装置内のブラケット
１４に固定的に配置されており、下部炉体９は、昇降手
段１５に連設されて、炉本体４の外部で交換した試料収
容るつぼ７を、Ｏリング保持具６の中空部を通して燃焼
筒２内に挿入できるように構成されている。
１４に固定的に配置されており、下部炉体９は、昇降手
段１５に連設されて、炉本体４の外部で交換した試料収
容るつぼ７を、Ｏリング保持具６の中空部を通して燃焼
筒２内に挿入できるように構成されている。
【００１４】１６は燃焼筒２に連ねて上部側に配置した
ダストフィルタで、炉本体４の上部に連設のフィルタ保
持具１７に内蔵されている。１８はフィルタ保持具１７
の上部に装着されたフィルタ固定部材、１９は燃焼筒２
とダストフィルタ１３とに対するクリーニング手段であ
る。
ダストフィルタで、炉本体４の上部に連設のフィルタ保
持具１７に内蔵されている。１８はフィルタ保持具１７
の上部に装着されたフィルタ固定部材、１９は燃焼筒２
とダストフィルタ１３とに対するクリーニング手段であ
る。
【００１５】このクリーニング手段１９は、両ロッドシ
リンダ２０のシリンダロッド２１にブラシ保持体２２を
設けると共に、このブラシ保持体２２に、燃焼筒清掃用
のブラシ２３とダストフィルタ清掃用のブラシ２４とを
保持させ、更に、このブラシ保持体２２の下端部にノズ
ル部材２５を設ける一方、前記シリンダロッド２１とブ
ラシ保持体２２及びノズル部材２５にキャリアガスの供
給ライン２６を形成して成り、前記フィルタ固定部材１
８をシリンダ受け部材にして、これにシリンダ２０を鉛
直状態に取り付けている。
リンダ２０のシリンダロッド２１にブラシ保持体２２を
設けると共に、このブラシ保持体２２に、燃焼筒清掃用
のブラシ２３とダストフィルタ清掃用のブラシ２４とを
保持させ、更に、このブラシ保持体２２の下端部にノズ
ル部材２５を設ける一方、前記シリンダロッド２１とブ
ラシ保持体２２及びノズル部材２５にキャリアガスの供
給ライン２６を形成して成り、前記フィルタ固定部材１
８をシリンダ受け部材にして、これにシリンダ２０を鉛
直状態に取り付けている。
【００１６】２７はダストフィルタ１３を間接的に加熱
するためのフィルタ加熱手段、２８は、るつぼ７内の試
料の燃焼に伴って発生したガス（試料に含まれる元素の
抽出ガス）のガス取り出し口で、フィルタ保持具１７に
開設されており、かつ、このガス取り出し口２８には、
抽出ガスを検出器２９に供給するためのガスライン３０
が接続されている。
するためのフィルタ加熱手段、２８は、るつぼ７内の試
料の燃焼に伴って発生したガス（試料に含まれる元素の
抽出ガス）のガス取り出し口で、フィルタ保持具１７に
開設されており、かつ、このガス取り出し口２８には、
抽出ガスを検出器２９に供給するためのガスライン３０
が接続されている。
【００１７】そして、このガスライン３０は、ダストフ
ィルタ３１と脱水手段３２と電磁弁３３とを備えてい
て、ダストフィルタ１６，３１を通して浄化したガスに
脱水の処理を施して、この清浄な抽出ガスを検出器３０
に供給し、試料に含まれる炭素や硫黄などの元素を赤外
線吸収法によって定量分析するようにしている。
ィルタ３１と脱水手段３２と電磁弁３３とを備えてい
て、ダストフィルタ１６，３１を通して浄化したガスに
脱水の処理を施して、この清浄な抽出ガスを検出器３０
に供給し、試料に含まれる炭素や硫黄などの元素を赤外
線吸収法によって定量分析するようにしている。
【００１８】３４はクリーニング手段１９によって燃焼
筒２ならびにダストフィルタ１６から落下させたダスト
の回収手段で、Ｏリング保持具６の中空部を通して燃焼
筒２内にキャリアガスを供給するためのガス供給ライン
３５を、Ｏリング保持具６に接続して、上記のキャリア
ガスをダスト掃去用のガスに兼用して、このキャリアガ
スによってダストをダスト回収ライン３６に送り込み、
これをダスト回収ボックス３７に回収するように構成さ
れており、かつ、ダスト回収時以外は抽出ガスをダスト
回収ボックス３７に流れ込ませないように、ダスト回収
ライン３６の途中にピンチバルブ３８を設けている。
筒２ならびにダストフィルタ１６から落下させたダスト
の回収手段で、Ｏリング保持具６の中空部を通して燃焼
筒２内にキャリアガスを供給するためのガス供給ライン
３５を、Ｏリング保持具６に接続して、上記のキャリア
ガスをダスト掃去用のガスに兼用して、このキャリアガ
スによってダストをダスト回収ライン３６に送り込み、
これをダスト回収ボックス３７に回収するように構成さ
れており、かつ、ダスト回収時以外は抽出ガスをダスト
回収ボックス３７に流れ込ませないように、ダスト回収
ライン３６の途中にピンチバルブ３８を設けている。
【００１９】上記構成のガス抽出炉１において、前記ガ
ス供給ライン２６，３５から供給されるキャリアガスを
パージガスに兼用して、測定の開始に先立って、その測
定の度ごとに炉内にパージガスを導入して、磁製るつぼ
７を炉内に装着する際に流入した炉内の大気をパージ
し、炉内をパージガスに置換するようにしている。尚、
パージガス専用のラインを備えてもよい。
ス供給ライン２６，３５から供給されるキャリアガスを
パージガスに兼用して、測定の開始に先立って、その測
定の度ごとに炉内にパージガスを導入して、磁製るつぼ
７を炉内に装着する際に流入した炉内の大気をパージ
し、炉内をパージガスに置換するようにしている。尚、
パージガス専用のラインを備えてもよい。
【００２０】そして、るつぼ台８の凹部１１に流入した
大気のパージが困難であることから、本発明では、図２
及び図３に示すように、るつぼ台８の下部側の凹部周壁
８ａまわりに、好適には、ガス供給ライン３５のガス供
給口ａに臨む部位とその周辺部とに、複数個の切り欠き
（この実施の形態では３個であるが、個数は不問であ
る。）ｂを開設して、るつぼ台８の下部凹部１１にパー
ジガスを積極的に導入するためのパージガス導入流路Ｒ
を構成している。
大気のパージが困難であることから、本発明では、図２
及び図３に示すように、るつぼ台８の下部側の凹部周壁
８ａまわりに、好適には、ガス供給ライン３５のガス供
給口ａに臨む部位とその周辺部とに、複数個の切り欠き
（この実施の形態では３個であるが、個数は不問であ
る。）ｂを開設して、るつぼ台８の下部凹部１１にパー
ジガスを積極的に導入するためのパージガス導入流路Ｒ
を構成している。
【００２１】上記の構成によれば、燃焼筒２内に流入し
た大気のパージは、ごく容易に行われることは勿論であ
るが、るつぼ台８の凹部１１に流入した大気について
も、パージガス導入流路Ｒを通してパージガスが積極的
に凹部１１内に導入されることから、この大気も容易に
パージされるのであって、るつぼ台８の凹部１１を含め
て炉内全体が確実にパージガスに置換されることから、
大気が存在しない状態での試料測定が可能となる。
た大気のパージは、ごく容易に行われることは勿論であ
るが、るつぼ台８の凹部１１に流入した大気について
も、パージガス導入流路Ｒを通してパージガスが積極的
に凹部１１内に導入されることから、この大気も容易に
パージされるのであって、るつぼ台８の凹部１１を含め
て炉内全体が確実にパージガスに置換されることから、
大気が存在しない状態での試料測定が可能となる。
【００２２】上記の実施の形態では、るつぼ台８の凹部
周壁８ａに切り欠きｂを形成して、パージガスの導入流
路Ｒを構成しているが、多数のスリットや単なるスルー
ホール、これらの組み合わせ等によってパージガス導入
流路Ｒを構成可能である。
周壁８ａに切り欠きｂを形成して、パージガスの導入流
路Ｒを構成しているが、多数のスリットや単なるスルー
ホール、これらの組み合わせ等によってパージガス導入
流路Ｒを構成可能である。
【００２３】また、図４に示すように、るつぼ台８の凹
部周壁８ａには、切り欠きｂなどを形成しないで、るつ
ぼ台載置用の金属製台座１２に、るつぼ台８を載置する
ための複数個の円弧状のリブ部材３９を立設して、隣り
合うリブ部材３９，３９によってパージガスの導入流路
Ｒを構成することもできる。
部周壁８ａには、切り欠きｂなどを形成しないで、るつ
ぼ台載置用の金属製台座１２に、るつぼ台８を載置する
ための複数個の円弧状のリブ部材３９を立設して、隣り
合うリブ部材３９，３９によってパージガスの導入流路
Ｒを構成することもできる。
【００２４】或いはリブ部材３９に代えて、同図に仮想
線で示すように、台座１２のるつぼ台載置面部に、一部
が凹部１１内に入り込む溝状凹部４０を形成することに
よっても、パージガス導入流路Ｒを構成可能であり、ま
た、これらを適宜、組み合わせてパージガス導入流路Ｒ
を構成してもよいのである。
線で示すように、台座１２のるつぼ台載置面部に、一部
が凹部１１内に入り込む溝状凹部４０を形成することに
よっても、パージガス導入流路Ｒを構成可能であり、ま
た、これらを適宜、組み合わせてパージガス導入流路Ｒ
を構成してもよいのである。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、るつぼ台
と台座との間の隙間が狭隘であることが、凹部内の大気
のパージを困難にしている点に着目して、凹部内にパー
ジガスを積極的に導入するための流路を設けたのであ
り、これによって、凹部が確実にパージガスに置換され
ることから、大気が存在しない状態での試料測定が可能
となり、延いては、測定値のばらつきが生じなくなるこ
とから、測定精度の大幅な向上が達成されるようになっ
た。
と台座との間の隙間が狭隘であることが、凹部内の大気
のパージを困難にしている点に着目して、凹部内にパー
ジガスを積極的に導入するための流路を設けたのであ
り、これによって、凹部が確実にパージガスに置換され
ることから、大気が存在しない状態での試料測定が可能
となり、延いては、測定値のばらつきが生じなくなるこ
とから、測定精度の大幅な向上が達成されるようになっ
た。
【図１】元素分析装置の構成図である。
【図２】ガス抽出炉の断面図である。
【図３】切り欠きによるパージガスの導入流路を形成し
たるつぼ台の斜視図である。
たるつぼ台の斜視図である。
【図４】別の実施の形態によるパージガス導入流路の構
成図である。
成図である。
３…加熱手段、４…炉本体、７…るつぼ、８…るつぼ
台、８ａ…凹部周壁、９…下部炉体、１１…るつぼ台の
凹部、１２…台座、２９…検出器、３５…パージガスの
供給ライン、ａ…パージガスの供給口、Ｒ…パージガス
導入流路。
台、８ａ…凹部周壁、９…下部炉体、１１…るつぼ台の
凹部、１２…台座、２９…検出器、３５…パージガスの
供給ライン、ａ…パージガスの供給口、Ｒ…パージガス
導入流路。
フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G042 AA01 BA01 BA08 CA03 CA04 CB06 DA04 HA02 HA07 2G054 AA04 BB20 CA10 CD03 EA04 FA06 FB07 GA01
Claims (4)
- 【請求項１】 加熱手段を備えた炉本体の下部側にるつ
ぼを設置するためののるつぼ台と、このるつぼ台を載置
するための台座とを設け、更に、キャリアガスならびに
パージガスの供給ラインを備えて、炉本体の燃焼空間に
おいて、るつぼ内の試料を燃焼させて、試料に含まれる
元素の抽出ガスをキャリアガスによって検出器に供給
し、試料に含まれる元素を定量分析するように構成した
元素分析装置のガス抽出炉において、前記るつぼ台と台
座の少なくとも一方に、前記るつぼ台の凹部にパージガ
スを導入するためのパージガス導入流路を設けて成るこ
とを特徴とする元素分析装置のガス抽出炉。 - 【請求項２】 パージガス導入流路を、るつぼ台下部側
の凹部周壁に形成して成る請求項１に記載された元素分
析装置のガス抽出炉。 - 【請求項３】 パージガス導入流路を、前記台座のるつ
ぼ台載置面部に形成して成る請求項１または２に記載さ
れた元素分析装置のガス抽出炉。 - 【請求項４】 パージガスの供給口をパージガス導入流
路に臨ませて配置して成る請求項１〜３のいずれかに記
載された元素分析装置のガス抽出炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06849799A JP4081199B2 (ja) | 1999-03-15 | 1999-03-15 | 元素分析装置のガス抽出炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06849799A JP4081199B2 (ja) | 1999-03-15 | 1999-03-15 | 元素分析装置のガス抽出炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000266647A true JP2000266647A (ja) | 2000-09-29 |
| JP4081199B2 JP4081199B2 (ja) | 2008-04-23 |
Family
ID=13375405
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06849799A Expired - Fee Related JP4081199B2 (ja) | 1999-03-15 | 1999-03-15 | 元素分析装置のガス抽出炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4081199B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016510105A (ja) * | 2013-02-09 | 2016-04-04 | エレクトロ サイエンティフィック インダストリーズ インコーポレーテッド | チャンバ内流体処理システム及びこれを用いて流体を処理する方法 |
| WO2022190466A1 (ja) * | 2021-03-12 | 2022-09-15 | 株式会社堀場製作所 | 元素分析装置、元素分析装置の操作方法及び元素分析装置の動作プログラム |
-
1999
- 1999-03-15 JP JP06849799A patent/JP4081199B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016510105A (ja) * | 2013-02-09 | 2016-04-04 | エレクトロ サイエンティフィック インダストリーズ インコーポレーテッド | チャンバ内流体処理システム及びこれを用いて流体を処理する方法 |
| JP2020101551A (ja) * | 2013-02-09 | 2020-07-02 | エレメンタル サイエンティフィック レーザーズ エルエルシー | チャンバ内流体処理装置 |
| WO2022190466A1 (ja) * | 2021-03-12 | 2022-09-15 | 株式会社堀場製作所 | 元素分析装置、元素分析装置の操作方法及び元素分析装置の動作プログラム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4081199B2 (ja) | 2008-04-23 |
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