JP2000258541A - Radiation-detecting device - Google Patents

Radiation-detecting device

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JP2000258541A
JP2000258541A JP11064891A JP6489199A JP2000258541A JP 2000258541 A JP2000258541 A JP 2000258541A JP 11064891 A JP11064891 A JP 11064891A JP 6489199 A JP6489199 A JP 6489199A JP 2000258541 A JP2000258541 A JP 2000258541A
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Japan
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radiation
housing
heat
radiation detection
detection surface
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JP11064891A
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Japanese (ja)
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Shinichi Yamada
真一 山田
Akira Konno
晃 金野
Takeshi Miyagi
武史 宮城
Kohei Suzuki
公平 鈴木
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a compact radiation-detecting device that is capable of detecting a large visual field and whose size is entirely reduced by using a material with the high transmittance of radiation and sufficient mechanical strength and conductivity for a radiation detection surface to reduce the amount of exposure and detection noise, by providing a heat radiation path inside a case for accommodating an X-ray detection part for efficiently radiating heat, furthermore, and by leading the wiring of a TFT array on a substrate to the back-surface side of the substrate through a tab. SOLUTION: An X-ray-detecting device is equipped with an X-ray detection part 1 that detects X rays, a case 2 that accommodates the X-ray detection part 1 or the like, and a detection surface cover part 3 that forms an X-ray detection surface and is joined to the case 2. At the junction between the case and the detection surface cover part 3, mechanical fixing is made by a screw 15, a conductive seal material 16 is applied for electrical connecting, and a sealing property is achieved by an O ring 17. CFRP(carbon fiber reinforced plastic) is used as a material for composing the detection surface cover part 3.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、X線撮影
などに用いられるX線やガンマ線のような放射線を検出
するための放射線検出装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a radiation detecting apparatus for detecting radiation such as X-rays and gamma rays used for X-ray photography.

【0002】[0002]

【従来の技術】X線やガンマ(γ)線などの放射線を検
出する放射線検出装置、例えばX線診断装置に用いられ
る平面型X線検出装置として、直接変換方式を採用した
数種のX線検出装置が提案されている。
2. Description of the Related Art There are several types of X-rays employing a direct conversion method as a radiation detector for detecting radiation such as X-rays and gamma (γ) rays, for example, a flat X-ray detector used in an X-ray diagnostic apparatus. Detection devices have been proposed.

【0003】図1は従来の直接変換方式の平面型X線検
出装置の概略構成を示す図である。図1に示す平面型X
線検出装置において、電源50により電圧印加電極51
に高電圧が印加された状態で、高電界下のフォトコンダ
クタとして機能するセレニウム(Se)層52にX線が
入射すると、入射したX線が電荷の生成に寄与し、電荷
蓄積用電極53を通して各画素に設けられているコンデ
ンサ54に電荷が蓄積される。従って、図1に示す平面
型X線検出装置は、X線−電荷変換機能を有することに
なる。
FIG. 1 is a diagram showing a schematic structure of a conventional direct conversion type flat X-ray detecting apparatus. Flat type X shown in FIG.
In the line detecting device, a voltage applying electrode 51 is
X-rays enter the selenium (Se) layer 52 functioning as a photoconductor under a high electric field in a state where a high voltage is applied to the substrate, and the incident X-rays contribute to the generation of electric charges. Electric charges are accumulated in a capacitor 54 provided for each pixel. Therefore, the flat X-ray detector shown in FIG. 1 has an X-ray-to-charge conversion function.

【0004】上述した従来の平面型のX線検出装置は、
さらに、電荷量を電圧に変換する機能を有しており、各
画素のコンデンサ54に蓄積された電荷をスイッチング
機能を有する例えば薄膜トランジスタ(TFT)55に
よって選択し、選択した電荷を読み出し回路を構成する
チャージアンプ(読み出しアンプ)に導くことによりチ
ャージアンプから電圧出力を得ている。さらにまた、従
来の平面型X線検出装置は、チャージアンプから出力さ
れたアナログ電圧をデジタル電圧値に変換する機能(例
えばアナログ/デジタル(A/D)変換器)を有してい
る。
The above-mentioned conventional flat X-ray detector is
Further, it has a function of converting the amount of charge into a voltage, and the charge stored in the capacitor 54 of each pixel is selected by, for example, a thin film transistor (TFT) 55 having a switching function, and the selected charge is configured as a readout circuit. The voltage output is obtained from the charge amplifier by leading to a charge amplifier (readout amplifier). Furthermore, the conventional planar X-ray detector has a function of converting an analog voltage output from a charge amplifier into a digital voltage value (for example, an analog / digital (A / D) converter).

【0005】図2はこのような従来のX線検出部および
読み出し回路部を一体化して備えた平面型X線検出装置
の構成を示す図である。図2に示す従来の平面型X線検
出装置において、2次元マトリクス状に配置された複数
の画素電極70(例えば電荷蓄積用電極53に対応す
る)は、入射したX線の強度に応じて光電変換膜(例え
ばセレニウム層52に対応する)において生じた電荷を
収集する。画素電極70によって収集された電荷(画素
電荷)を蓄積するために、画素電極70には、電荷蓄積
素子として用いられるコンデンサ71(例えばコンデン
サ54に対応する)がそれぞれ接続されている。また、
各コンデンサに蓄積された画素電荷に対応する情報を読
み出すスイッチング素子として用いられる例えば複数の
TFT72がTFTアレイとして設けられている。
FIG. 2 is a diagram showing a configuration of a conventional flat X-ray detecting apparatus integrally provided with such a conventional X-ray detecting section and readout circuit section. In the conventional flat X-ray detection device shown in FIG. 2, a plurality of pixel electrodes 70 (corresponding to, for example, the charge storage electrodes 53) arranged in a two-dimensional matrix form photoelectrically in accordance with the intensity of incident X-rays. The charge generated in the conversion film (for example, corresponding to the selenium layer 52) is collected. In order to accumulate the charge (pixel charge) collected by the pixel electrode 70, a capacitor 71 (corresponding to, for example, the capacitor 54) used as a charge storage element is connected to the pixel electrode 70. Also,
For example, a plurality of TFTs 72 used as switching elements for reading information corresponding to pixel charges stored in each capacitor are provided as a TFT array.

【0006】TFT72の駆動回路であるゲートドライ
バ74は、同一行のTFT72のゲートに電気的に接続
されたゲート駆動線73に制御信号を供給することによ
ってTFT72のオン/オフ動作を行単位で制御する。
これにより、同一行のTFT72の出力信号は、信号線
75を介してチャージアンプ76に読み出されて増幅さ
れる。その後、増幅された信号は、マルチプレクサ77
において順次選択され、A/Dコンバータ78によって
デジタル信号に変換されて出力されることになる。
A gate driver 74, which is a driving circuit for the TFT 72, controls the on / off operation of the TFT 72 on a row basis by supplying a control signal to a gate driving line 73 electrically connected to the gate of the TFT 72 in the same row. I do.
Thus, the output signal of the TFT 72 in the same row is read out to the charge amplifier 76 via the signal line 75 and amplified. Thereafter, the amplified signal is supplied to the multiplexer 77.
Are sequentially selected, converted into digital signals by the A / D converter 78, and output.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来の平面型X線検出装置のX線検出面(X線入射面)
は、装置全体を電磁波シールドとして機能させる必要が
あるために導電性を有し、またその取扱いを考慮すると
一定の機械的強度を有する必要がある。しかし、そのX
線検出面を構成する材料としてアルミニウム(Al)な
どの金属を用いた場合には、その構成材料が入射したX
線を吸収してしまう。従って、所定量のX線を検出する
ことにより得られるX線画像において所定のコントラス
トを確保するためには、多量のX線を入射させる必要が
生じるので、これにより患者に対する曝射量が増加して
しまうという問題があった。
By the way, the X-ray detecting surface (X-ray incident surface) of the above-mentioned conventional flat type X-ray detecting device.
The device must be electrically conductive because the entire device must function as an electromagnetic wave shield, and must have a certain mechanical strength in consideration of its handling. But that X
When a metal such as aluminum (Al) is used as a material for forming the line detection surface, X
Absorb lines. Therefore, in order to ensure a predetermined contrast in an X-ray image obtained by detecting a predetermined amount of X-rays, it is necessary to make a large amount of X-rays incident, thereby increasing the amount of exposure to the patient. There was a problem that would.

【0008】また、上述した平面型X線検出装置におい
ては、その筐体内部に設けられている集積回路(IC)
等の電気部品から熱が発生しているが、フォトコンダク
タやアンプなどにおいてはこのような熱の影響を受けや
すい。特に、フォトコンダクタにおいてはその特性が高
温で劣化してしまう。しかし、従来の平面型X線検出装
置においては、放熱のための対策が十分ではなかったた
め、熱の影響を受けやすいフォトコンダクタやアンプな
どに対する熱の伝達や熱の蓄積が問題となっている。
In the above-described flat X-ray detector, an integrated circuit (IC) provided inside the housing is provided.
Although heat is generated from electrical components such as the above, photoconductors and amplifiers are easily affected by such heat. In particular, the characteristics of the photoconductor deteriorate at high temperatures. However, in the conventional planar X-ray detection device, since measures for heat dissipation are not sufficient, there is a problem of heat transfer and heat accumulation to a photoconductor or an amplifier which is easily affected by heat.

【0009】さらに、上述した平面型X線検出装置にお
いてTFTアレイはガラス基板上に形成されているが、
ガラス基板に対するTFTアレイの有効視野(フォトコ
ンダクタにおいて電圧印加電極が形成されている領域)
をできるだけ大きくするためには、TFTアレイの有効
視野の縁部(視野に寄与しない部分)の面積をできるだ
け小さくする必要がある。しかし、通常、TFTアレイ
の有効視野の縁部には、各TFTを駆動するゲートドラ
イバやフォトコンダクタによって変換した電荷に関する
情報を読み出す読み出し回路などが煩雑な配線とともに
設けられていたので、その縁部の面積を最小にしてガラ
ス基板に形成されているTFTアレイを筐体に固定する
ことが困難であるという問題があった。
Further, in the above-described flat X-ray detector, the TFT array is formed on a glass substrate.
Effective field of view of TFT array with respect to glass substrate (region where voltage application electrode is formed in photoconductor)
In order to make the area as large as possible, it is necessary to make the area of the edge (portion not contributing to the field of view) of the effective field of the TFT array as small as possible. However, usually, at the edge of the effective field of view of the TFT array, a gate driver for driving each TFT and a readout circuit for reading out information on electric charges converted by the photoconductor are provided along with complicated wiring. There is a problem that it is difficult to fix the TFT array formed on the glass substrate to the housing by minimizing the area of the TFT array.

【0010】本発明は上記事情に鑑みてなされたもので
あり、本発明の目的は、放射線検出面を構成する部材と
して、放射線の透過率が高く、かつ十分な機械的強度お
よび導電性を有する材料を用いることにより、低曝射量
の放射線の検出および検出ノイズの低減が可能な放射線
検出装置を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a radiation detection surface having high radiation transmittance and sufficient mechanical strength and conductivity. It is an object of the present invention to provide a radiation detection device capable of detecting radiation with a low radiation dose and reducing detection noise by using a material.

【0011】また、本発明の目的は、X線検出部を収納
する筐体の内部に放熱経路を設け、この放熱経路をX線
検出部を挟んでX線検出面と反対側に設けた放熱板に導
くことにより、効率良く外部に放熱することが可能な放
射線検出装置を提供することにある。
[0011] It is another object of the present invention to provide a heat radiating path provided inside a housing for accommodating an X-ray detecting section, the heat radiating path being provided on the opposite side of the X-ray detecting surface with respect to the X-ray detecting section. An object of the present invention is to provide a radiation detection device that can efficiently radiate heat to the outside by guiding the radiation detection device to a plate.

【0012】さらに、本発明の目的は、ガラス基板上に
形成されているTFTアレイの配線をタブを通してガラ
ス基板の裏面に導く構造とすることにより、大視野検出
で装置全体の小型化が可能な放射線検出装置を提供する
ことにある。
Further, an object of the present invention is to reduce the size of the entire device by detecting a large field of view by guiding the wiring of the TFT array formed on the glass substrate to the back surface of the glass substrate through a tab. It is to provide a radiation detection device.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項1に記載の発明の放射線検出装置は、入射し
た放射線を電荷に変換する光電変換素子を有する放射線
検出部と、前記放射線が入射する検出面を形成する検出
面カバー部と、前記放射線検出部を収納し、前記検出面
カバー部と接合する筐体とを備え、前記検出面カバー部
はアルミニウムの放射線透過率と同じかそれよりも高い
放射線透過率を有する材料によって構成されていること
を特徴とする。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a radiation detecting apparatus, comprising: a radiation detecting section having a photoelectric conversion element for converting incident radiation into electric charges; A detection surface cover portion forming a detection surface on which the light enters, and a housing that houses the radiation detection portion and is joined to the detection surface cover portion, wherein the detection surface cover portion has the same radiation transmittance as aluminum. It is characterized by being made of a material having a higher radiation transmittance.

【0014】上記課題を解決するために、請求項2に記
載の発明の放射線検出装置は、入射した放射線を電荷に
変換する光電変換素子を有する放射線検出部と、前記放
射線が入射する検出面を形成する検出面カバー部と、前
記放射線検出部を収納し、前記検出面カバー部と接合す
る筐体とを備え、前記検出面カバー部はCFRPによっ
て構成されていることを特徴とする。
According to another aspect of the present invention, there is provided a radiation detecting apparatus comprising: a radiation detecting section having a photoelectric conversion element for converting incident radiation into electric charges; and a detecting surface on which the radiation enters. A detection surface cover portion to be formed, a housing for accommodating the radiation detection portion and joining to the detection surface cover portion are provided, and the detection surface cover portion is made of CFRP.

【0015】上記請求項1または2に記載の発明の放射
線検出装置において、請求項3に記載の発明は、前記検
出面カバー部と前記筐体は異なる材料によって構成され
ていることを特徴とする。
In the radiation detecting apparatus according to the first or second aspect of the present invention, the invention according to the third aspect is characterized in that the detection surface cover and the housing are made of different materials. .

【0016】上記請求項1または2に記載の発明の放射
線検出装置において、請求項4に記載の発明は、前記筐
体は金属によって構成され、前記検出面カバー部は、導
電性を有し、前記筐体と電気的に接続されていることを
特徴とする。
In the radiation detecting apparatus according to the first or second aspect of the present invention, according to the fourth aspect of the present invention, the casing is made of a metal, and the detecting surface cover has conductivity. It is characterized by being electrically connected to the housing.

【0017】上記課題を解決するために、請求項5に記
載の発明の放射線検出装置は、放射線検出面から入射し
た放射線を電荷に変換する光電変換素子を有する放射線
検出部と、前記放射線検出部を収納する筐体と、前記放
射線検出部を挟んで前記放射線検出面と反対側の前記筐
体の一部から放熱を行うための放熱手段とを備えたこと
を特徴とする。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a radiation detecting apparatus, comprising: a radiation detecting section having a photoelectric conversion element for converting radiation incident from a radiation detecting surface into electric charges; And a heat radiating means for radiating heat from a part of the housing opposite to the radiation detecting surface with the radiation detecting unit interposed therebetween.

【0018】上記請求項5に記載の発明の放射線検出装
置において、請求項6に記載の発明は、前記筐体の内部
に放熱経路を設け、前記筐体の内部において発生した熱
をこの放熱経路を通して前記放熱手段に導くことを特徴
とする。
In the radiation detecting apparatus according to the fifth aspect of the present invention, in the sixth aspect of the present invention, a heat radiation path is provided inside the housing, and heat generated inside the housing is dissipated by the heat radiation path. Through the heat radiation means.

【0019】上記請求項5に記載の発明の放射線検出装
置において、請求項7に記載の発明は、前記放熱手段
は、前記筐体の一部に設けられている放熱板と、前記筐
体の内部において発生した熱を前記放熱板に導くための
放熱部材とを有することを特徴とする。
According to a fifth aspect of the present invention, in the radiation detecting apparatus according to the fifth aspect, the heat radiating means includes a heat radiating plate provided on a part of the housing, A heat radiating member for guiding heat generated inside to the heat radiating plate.

【0020】上記課題を解決するために、請求項8に記
載の発明の放射線検出装置は、絶縁性基板と、前記絶縁
性基板上に形成され、入射した放射線を電荷に変換する
光電変換素子と、前記光電変換素子によって変換した電
荷を収集するためのスイッチング素子アレイとを備え、
前記スイッチング素子アレイの有効視野の端部と前記絶
縁性基板の端面の間の距離が10mm以下であることを
特徴とする。
According to another aspect of the present invention, there is provided a radiation detecting apparatus comprising: an insulating substrate; and a photoelectric conversion element formed on the insulating substrate and configured to convert incident radiation into electric charge. A switching element array for collecting charges converted by the photoelectric conversion element,
A distance between an end of the effective field of view of the switching element array and an end surface of the insulating substrate is 10 mm or less.

【0021】上記請求項8に記載の発明の放射線検出装
置において、請求項9に記載の発明は、コ字状に構成さ
れているフレキシブル基板を備え、前記フレキシブル基
板の一端は前記スイッチング素子アレイの有効視野の端
部と前記絶縁性基板の端面の間に設けられ、前記フレキ
シブル基板の他端は前記絶縁性基板の裏面側に延びてい
ることを特徴とする。
In the radiation detecting apparatus according to the eighth aspect, the invention according to the ninth aspect includes a flexible substrate having a U-shape, and one end of the flexible substrate is provided with one end of the switching element array. The flexible substrate is provided between an end of an effective field of view and an end surface of the insulating substrate, and the other end of the flexible substrate extends to a back surface side of the insulating substrate.

【0022】上記請求項9に記載の発明の放射線検出装
置において、請求項10に記載の発明は、前記絶縁性基
板の裏面側に設けられ、前記フレキシブル基板に形成さ
れている配線を介して前記スイッチング素子アレイを駆
動する駆動回路を備えていることを特徴とする。
In the radiation detecting apparatus according to the ninth aspect of the present invention, the invention according to the tenth aspect provides the radiation detecting apparatus through a wiring provided on a back side of the insulating substrate and formed on the flexible substrate. A driving circuit for driving the switching element array is provided.

【0023】上記請求項9に記載の発明の放射線検出装
置において、請求項11に記載の発明は、前記絶縁性基
板の裏面側に設けられ、前記フレキシブル基板に形成さ
れている配線を介して前記スイッチング素子アレイによ
って前記光電変換素子で変換された電荷を読み出す読み
出し回路を備えていることを特徴とする。
In the radiation detecting apparatus according to the ninth aspect of the present invention, the radiation detecting apparatus according to the eleventh aspect is provided on the back side of the insulating substrate and through the wiring formed on the flexible substrate. A readout circuit for reading out the charge converted by the photoelectric conversion element by a switching element array;

【0024】上記請求項1から11までに記載の発明の
放射線検出装置において、請求項12に記載の発明は、
前記放射線は、X線またはガンマ線のいずれかであるこ
とを特徴とする。
[0024] In the radiation detecting apparatus according to the first to eleventh aspects of the present invention, the invention according to the twelfth aspect is characterized in that:
The radiation is one of X-rays and gamma rays.

【0025】上記請求項1から11までに記載の発明の
放射線検出装置において、請求項13に記載の発明は、
前記光電変換素子は、フォトコンダクタによって構成さ
れていることを特徴とする。
In the radiation detecting apparatus according to any one of the first to eleventh aspects, the invention according to the thirteenth aspect is characterized in that:
The photoelectric conversion element is constituted by a photoconductor.

【0026】上記請求項8から11までに記載の発明の
放射線検出装置において、請求項14に記載の発明は、
前記スイッチング素子アレイは、複数の薄膜トランジス
タによって構成されていることを特徴とする。
In the radiation detecting apparatus according to the eighth to eleventh aspects, the invention according to the fourteenth aspect is characterized in that:
The switching element array is constituted by a plurality of thin film transistors.

【0027】[0027]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0028】(実施の形態1)図3は本発明の第1の実
施の形態の放射線検出装置の一例である平面型X線検出
装置の構成を示す組立図、図4は本発明の第1の実施の
形態の放射線検出装置の一例である平面型X線検出装置
の構成の一部を示す断面図である。図3および図4に示
す本発明の第1の実施の形態の平面型X線検出装置は、
X線を検出して電荷に変換するX線検出部1と、後述す
るゲートドライバ(薄膜トランジスタ(TFT)の駆動
回路を構成する)やチャージアンプ(電荷の読み出し回
路を構成する)などの回路が形成されているPC(Pr
inted Circuit)板18a、18b、18
c、18dと、X線検出部1とPC板18a、18b、
18c、18dに形成されている回路を電気的に接続す
るための配線が形成されているフレキシブル基板で構成
されるタブ(TAB、Tape Automatic
Bonding(TCP、Tape Carrier
Package))19a、19b、19c、19d
と、金属製の後方部材14と、X線検出部1を支持する
支持体40と、チャージアンプに読み出された信号の処
理を行う信号処理回路などが形成されているPC板41
と、PC板18a、18b、18c、18d上の回路を
構成する電気部品から発生する熱を支持体40の裏面に
伝達するための金属で構成される熱伝導シールド42
と、例えばアルミニウム(Al)のような金属によって
構成され、X線検出部1などを収納する凹状の筐体2
と、X線検出面(入射面)を形成し、筐体2と接合され
る検出面カバー部3とを備えている。
(Embodiment 1) FIG. 3 is an assembly diagram showing a configuration of a planar X-ray detection apparatus which is an example of a radiation detection apparatus according to a first embodiment of the present invention, and FIG. It is sectional drawing which shows a part of structure of the flat type X-ray detection apparatus which is an example of the radiation detection apparatus of 1st Embodiment. The planar X-ray detector according to the first embodiment of the present invention shown in FIGS.
An X-ray detection unit 1 that detects X-rays and converts the X-rays into electric charges, and a circuit such as a gate driver (which constitutes a driving circuit of a thin film transistor (TFT)) and a charge amplifier (which constitutes a charge readout circuit) are formed. PC (Pr
integrated Circuit) Plates 18a, 18b, 18
c, 18d, the X-ray detector 1, the PC boards 18a, 18b,
Tabs (TAB, Tape Automatic) formed of a flexible substrate on which wiring for electrically connecting circuits formed on 18c and 18d are formed.
Bonding (TCP, Tape Carrier
Package)) 19a, 19b, 19c, 19d
A PC board 41 on which a metal rear member 14, a support body 40 supporting the X-ray detection unit 1, and a signal processing circuit for processing a signal read by a charge amplifier are formed.
And a heat conduction shield 42 made of metal for transmitting heat generated from electric components constituting circuits on the PC boards 18a, 18b, 18c, 18d to the back surface of the support 40.
And a concave housing 2 made of a metal such as aluminum (Al) and housing the X-ray detection unit 1 and the like.
And a detection surface cover 3 that forms an X-ray detection surface (incident surface) and is joined to the housing 2.

【0029】X線検出部1は、絶縁性基板であるガラス
基板10と、ガラス基板10上に形成され、図示しない
コンデンサに蓄積されている電荷を読み出すための読み
出し電極11と、読み出し電極11上に形成され、入射
したX線を電荷に変換する光電変換素子であるフォトコ
ンダクタ12と、フォトコンダクタ12上に形成され、
フォトコンダクタ12に電圧を印加する電圧印加電極1
3とを備えている。
The X-ray detection unit 1 includes a glass substrate 10 which is an insulating substrate, a read electrode 11 formed on the glass substrate 10 for reading electric charges stored in a capacitor (not shown), and a read electrode 11 on the read electrode 11. Formed on the photoconductor 12, which is a photoelectric conversion element for converting incident X-rays into electric charges, and formed on the photoconductor 12.
Voltage application electrode 1 for applying a voltage to photoconductor 12
3 is provided.

【0030】筐体2と検出面カバー部3の接合部は、ネ
ジ15により機械的な固定を行い、導電性シール材16
を塗布することにより電気的な接続を行い、Oリング1
7により密閉性が得られている。従って、X線検出部1
は、筐体2および検出面カバー部3によって電気的に完
全にシールドされており、電磁波シールドボックス構造
となっている。
The joint between the housing 2 and the detection surface cover 3 is mechanically fixed by screws 15, and a conductive sealing material 16 is provided.
Is applied to make an electrical connection, and the O-ring 1
7 provides hermeticity. Therefore, the X-ray detector 1
Are completely completely electrically shielded by the housing 2 and the detection surface cover 3, and have an electromagnetic wave shielding box structure.

【0031】検出面カバー部3を構成する材料として
は、例えば、CFRP(CarbonFiber Re
inforced Prastic)、または金属メッ
キされている材料を用いている。なお、CFRPには、
例えば同じ厚さのAl材料と同程度の機械的強度を有
し、そのX線の透過率がAl材料の場合の10倍程度で
あり、さらに導電性を有するという特徴がある。従っ
て、検出面カバー部3を構成する材料としては、(1)
X線の透過率が高い材料であること、(2)十分な機械
的強度を有する材料であること、(3)導電性を有する
材料であることが望ましい。
The material forming the detection surface cover 3 is, for example, CFRP (Carbon Fiber Recover).
Intensified Plastic) or a metal-plated material is used. In addition, CFRP has
For example, it is characterized by having the same mechanical strength as an Al material having the same thickness, having an X-ray transmittance about 10 times that of an Al material, and having conductivity. Therefore, the material constituting the detection surface cover 3 is (1)
It is desirable that the material has a high X-ray transmittance, (2) a material having sufficient mechanical strength, and (3) a material having conductivity.

【0032】なお、検出面カバー部3を構成する材料
は、平面型X線検出装置の用途などに応じて選択するこ
とが可能である。すなわち、X線の曝射量を少なくする
という点を重視する場合には、X線透過率が高い材料を
選択する。また、X線検出面を強固にするという点を重
視する場合には、十分な機械的強度を有する材料を選択
する。さらに、X線検出装置全体を電磁波シールドする
という点を重視する場合には、導電性を有する材料を選
択する。
The material forming the detection surface cover 3 can be selected according to the use of the flat X-ray detector. That is, when importance is placed on reducing the amount of X-ray exposure, a material having a high X-ray transmittance is selected. When emphasis is placed on strengthening the X-ray detection surface, a material having sufficient mechanical strength is selected. Further, when emphasis is placed on shielding the entire X-ray detector from electromagnetic waves, a conductive material is selected.

【0033】(実施の形態2)図5は本発明の第2の実
施の形態の放射線検出装置の一例である平面型X線検出
装置の構成の一部を示す断面図である。図5に示す本発
明の第2の実施の形態の平面型のX線検出装置は、X線
検出部1と、X線検出部1において検出したX線を変換
した電荷に関する信号を読み出す読み出し回路などが設
けられているPC板4と、PC板4上に設けられている
読み出し回路などの電気部品において発生した熱(すな
わち筐体の内部において発生した熱)を放出するための
放熱部5とを備えている。
(Embodiment 2) FIG. 5 is a cross-sectional view showing a part of the configuration of a planar X-ray detector which is an example of a radiation detector according to a second embodiment of the present invention. The planar X-ray detection apparatus according to the second embodiment of the present invention shown in FIG. 5 includes an X-ray detection unit 1 and a readout circuit that reads out a signal related to a charge obtained by converting an X-ray detected by the X-ray detection unit 1. And a heat radiating portion 5 for releasing heat generated in electric components such as a readout circuit provided on the PC board 4 (that is, heat generated inside the housing). It has.

【0034】なお、図5において、矢印は熱の移動を示
している。また、ここでは、説明の便宜上、PC板4上
に設けられている読み出し回路を構成する集積回路(I
C)などの電気部品4aを熱の発生源とする。
In FIG. 5, arrows indicate heat transfer. Also, here, for convenience of explanation, an integrated circuit (I) constituting a readout circuit provided on the PC board 4 is described.
The electric component 4a such as C) is a heat source.

【0035】放熱部5は、PC板4上の電気部品4aの
X線検出部1に対する熱の影響を防止するために設けら
れている断熱材21と、断熱材21とPC板4の間に設
けられている銅(Cu)板22と、一部がCu板22に
接して設けられ、PC板4を覆って電磁波シールドおよ
び放熱部材として機能する金属シールド板23と、金属
シールド板23をCu板22に固定するためのネジ26
と、金属シールド板23に接して設けられ、空気中に熱
を放出するための例えばAlによって構成されている放
熱板24と、一部がPC板4上の電気部品4aに密着
し、別の一部が金属シールド板23に密着して設けられ
ている放熱ゴム25と、PC板4に形成されている穴部
4bに設けられ、電気部品4aとCu板22を間接的に
接触させてその間の熱伝導を効率良く行うための例えば
銀ペーストによって構成されている熱伝導体27とを備
えている。
The heat radiating portion 5 is provided with a heat insulating material 21 provided for preventing the influence of heat on the X-ray detecting portion 1 of the electric component 4 a on the PC board 4, and between the heat insulating material 21 and the PC board 4. A copper (Cu) plate 22 provided, a metal shield plate 23 provided partially in contact with the Cu plate 22 and covering the PC plate 4 and functioning as an electromagnetic wave shield and a heat radiating member, and a metal shield plate 23 Screw 26 for fixing to plate 22
And a radiator plate 24 provided in contact with the metal shield plate 23 and made of, for example, Al for releasing heat into the air; A part of the heat radiation rubber 25 is provided in close contact with the metal shield plate 23 and the hole 4b formed in the PC board 4 so that the electrical component 4a and the Cu plate 22 are indirectly contacted with each other. And a heat conductor 27 made of, for example, a silver paste for efficiently conducting heat.

【0036】なお、金属シールド板23は、例えば、C
u、鉄(Fe)によって構成しているが、内部ニッケル
(Ni)メッキによって構成することも可能である。
The metal shield plate 23 is made of, for example, C
Although it is constituted by u and iron (Fe), it may be constituted by internal nickel (Ni) plating.

【0037】PC板4上の電気部品4aにおいて発生し
た熱は、穴部4bに設けられている熱伝導体27を介し
てCu板22に伝達される。また、Cu板22に伝達さ
れた熱は、金属シールド板23を介して放熱板24に導
かれ、空気中に放熱される。従って、このような放熱経
路に沿って筐体の内部の熱を移動させて外部に放出させ
るようにする。なお、金属シールド板23はシリコング
リース29を介して放熱板24と密着しており、放熱板
24に設けられているフィン24aにより放熱効果を高
めることができる。
The heat generated in the electric component 4a on the PC board 4 is transmitted to the Cu board 22 via the heat conductor 27 provided in the hole 4b. Further, the heat transmitted to the Cu plate 22 is guided to the heat radiating plate 24 via the metal shield plate 23 and is radiated into the air. Therefore, the heat inside the housing is moved along such a heat radiation path to be released to the outside. The metal shield plate 23 is in close contact with the heat radiating plate 24 via the silicon grease 29, and the heat radiating effect can be enhanced by the fins 24a provided on the heat radiating plate 24.

【0038】また、放熱ゴム25の一部を電気部品4a
に密着させ、放熱ゴム25の別の一部を金属シールド板
23に密着させているので、電気部品4aから金属シー
ルド板23への熱伝導の効率をさらに向上させ、放熱効
果を高めることができる。なお、放熱ゴム25を使用す
る代わりに、例えばヒートパイプを用いることもでき
る。
Further, a part of the heat radiation rubber 25 is replaced with the electric component 4a.
, And another part of the heat radiation rubber 25 is adhered to the metal shield plate 23, so that the efficiency of heat conduction from the electric component 4a to the metal shield plate 23 can be further improved, and the heat radiation effect can be enhanced. . Instead of using the heat radiation rubber 25, for example, a heat pipe can be used.

【0039】(実施の形態3)図6は本発明の第3の実
施の形態の放射線検出装置の一例である平面型X線検出
装置の構成の一部を示す外観図、図7は本発明の第3の
実施の形態の放射線検出装置の一例である平面型X線検
出装置の構成の一部を示す平面図、図8は本発明の第3
の実施の形態の放射線検出装置の一例である平面型X線
検出装置の構成の一部を示す断面図である。特に、図7
はTFTアレイの信号線(またはゲート駆動線)の電気
的接続状態を示した平面図であり、図8はTFTアレイ
の有効視野の縁部とパッドの位置関係を示した断面図で
ある。なお、図6、図7、および図8において、フォト
コンダクタに設けられる電極などに関しては省略して図
示している。
(Embodiment 3) FIG. 6 is an external view showing a part of a configuration of a flat type X-ray detector which is an example of a radiation detector according to a third embodiment of the present invention, and FIG. FIG. 8 is a plan view showing a part of the configuration of a flat X-ray detection apparatus which is an example of the radiation detection apparatus according to the third embodiment. FIG.
It is sectional drawing which shows a part of structure of the flat type X-ray detection apparatus which is an example of the radiation detection apparatus of 1st Embodiment. In particular, FIG.
FIG. 8 is a plan view showing an electrical connection state of signal lines (or gate drive lines) of the TFT array, and FIG. 8 is a cross-sectional view showing a positional relationship between an edge of an effective field of view of the TFT array and a pad. 6, 7, and 8, electrodes and the like provided in the photoconductor are not shown.

【0040】図6、図7、および図8に示す本発明の第
3の実施の形態の平面型X線検出装置は、X線検出面を
形成する検出面カバー部30と、支持体31と、支持体
31上に配置される絶縁性基板であるガラス基板32
と、支持体31の裏面側に設けられ、ゲートドライバ、
読み出し回路、信号処理回路などが形成されているPC
板33と、検出面カバー部30を透過して入射したX線
を電荷に直接変換するフォトコンダクタ34と、ガラス
基板32上に形成され、フォトコンダクタ34によって
変換された電荷を読み出すためのスイッチング素子とし
て用いられる複数のTFTがマトリクス状に構成され、
さらに信号線43およびゲート駆動線44が設けられて
いるTFTアレイ35と、信号線43およびゲート駆動
線44を引き出して支持体31の裏面側に設けられてい
るPC板33上の回路に電気的に接続するための配線を
有し、コ字状に折り曲げて構成されている複数のタブ
(TAB)60、61、62、63、64と、例えば角
形ゴムによって構成され、タブ60、61、62、6
3、64に設けられているパッド(pad)60a、6
1a、62a、63a、64aを押さえ付けるためのタ
ブ押さえ36a、36bと、支持体31、ガラス基板3
2、PC板33、フォトコンダクタ34などを収納し、
検出面カバー部30と連結して密閉するための金属製の
筐体37とを備えている。
The flat X-ray detecting apparatus according to the third embodiment of the present invention shown in FIGS. 6, 7 and 8 comprises a detecting surface cover 30 forming an X-ray detecting surface, a support 31 and A glass substrate 32 which is an insulating substrate disposed on a support 31
A gate driver provided on the back side of the support 31;
PC on which readout circuit, signal processing circuit, etc. are formed
A plate 33, a photoconductor 34 for directly converting X-rays transmitted through the detection surface cover 30 and entering into electric charge, and a switching element formed on the glass substrate 32 for reading out the electric charge converted by the photoconductor 34 A plurality of TFTs used as are configured in a matrix,
Further, the TFT array 35 on which the signal lines 43 and the gate drive lines 44 are provided, and the circuit on the PC board 33 provided on the back side of the support 31 by extracting the signal lines 43 and the gate drive lines 44, are electrically connected. Tabs (TAB) 60, 61, 62, 63, 64, which are provided with wires for connection to the U-shaped member, and are formed of, for example, square rubber, and the tabs 60, 61, 62 , 6
Pads 60a, 6 provided on 3, 64
Tab holders 36a, 36b for holding the base members 1a, 62a, 63a, 64a, the support 31, and the glass substrate 3
2, house PC board 33, photoconductor 34, etc.
A metal case 37 is provided for connecting and sealing with the detection surface cover 30.

【0041】なお、TFTアレイ35が形成されている
ガラス基板32を支持体31に固定する場合には、固定
プレートとして用いられるガラス押さえ39と支持体3
1の間にガラス基板32を挟み込み、ネジ38を用いて
ガラス基板32を支持体31にネジ止めする。図6に示
すように、ガラス基板32のコーナー部分をカットして
固定プレート用の穴を設けるようにすることも可能であ
る。
When the glass substrate 32 on which the TFT array 35 is formed is fixed to the support 31, the glass holder 39 used as a fixing plate and the support 3 are fixed.
The glass substrate 32 is sandwiched between the substrates 1 and the glass substrate 32 is screwed to the support 31 using screws 38. As shown in FIG. 6, a corner portion of the glass substrate 32 may be cut to provide a hole for a fixing plate.

【0042】ガラス基板32の端部に配置されるパッド
60a、61a、62a、63a、64aの上部からタ
ブ押さえ36a、36bで押さえて検出面カバー部30
を筐体37に図示しないネジを用いてネジ止めすると、
筐体37の内部部材はより強く固定される。従って、こ
の場合には、タブ60、61、62、63、64の位置
ずれも生じない。
The detection surface cover portion 30 is pressed from above the pads 60a, 61a, 62a, 63a, and 64a arranged at the ends of the glass substrate 32 with tab retainers 36a and 36b.
Is screwed to the housing 37 using a screw (not shown).
The internal member of the housing 37 is fixed more strongly. Therefore, in this case, there is no displacement of the tabs 60, 61, 62, 63, 64.

【0043】図8に示すように、フォトコンダクタ34
には、その端部においてテーパー部34aが設けられ、
また、図示しない電圧印加電極および読み出し電極が形
成される。なお、テーパー部34aには、電圧印加電極
および読み出し電極は形成しない。
As shown in FIG. 8, the photoconductor 34
Has a tapered portion 34a at its end,
Further, a voltage application electrode and a reading electrode (not shown) are formed. Note that the voltage application electrode and the readout electrode are not formed on the tapered portion 34a.

【0044】タブ60、61、62、63、64にそれ
ぞれ設けられている配線は、パッド60a、61a、6
2a、63a、64aを通してTFTアレイ35に設け
られている信号線43およびゲート駆動線44に電気的
に接続され、支持体31の裏面側に導かれる。なお、T
FTアレイ35の信号線43およびゲート駆動線44と
パッド60a、61a、62a、63a、64aはAC
F(Anisotropic Conductive
Film)の熱圧着によって電気的に接続して導通させ
ている。支持体31の裏面側に導かれた配線はPC板3
3上に設けられている回路の端子部に半田付けされる。
The wiring provided on each of the tabs 60, 61, 62, 63 and 64 includes pads 60a, 61a and 6
It is electrically connected to the signal line 43 and the gate drive line 44 provided in the TFT array 35 through 2a, 63a and 64a, and is guided to the back side of the support 31. Note that T
The signal line 43 and the gate drive line 44 of the FT array 35 and the pads 60a, 61a, 62a, 63a, and 64a are AC
F (Anisotropic Conductive)
(Film) is electrically connected to and electrically connected by thermocompression bonding. The wiring led to the back side of the support 31 is the PC board 3
3 is soldered to a terminal portion of a circuit provided on.

【0045】ここで、例えば、図7および図8に示すよ
うに、フォトコンダクタ34のテーパー部34aの長さ
をLt、ガラス基板32上においてモールド57のみが
形成されている部分の長さをLm、パッド余裕をMp、
パッド60aの幅をWpとした場合、TFTアレイ35
の有効視野(フォトコンダクタ34において図示しない
電圧印加電極が形成されている領域)の端部35aから
ガラス基板32の端面32aまでの距離(有効視野の縁
部の長さ)Dは、 D=Lt+Lm+Mp+Wp =5(mm)+2(mm)+1(mm)+2(mm)=10(mm) となる。これにより、TFTアレイ35の有効視野の縁
部の長さを10mm以下とすることが可能となる。な
お、図7において、Pnは狭ピッチ化した配線のたばね
部の長さを示している。
Here, for example, as shown in FIGS. 7 and 8, the length of the tapered portion 34a of the photoconductor 34 is Lt, and the length of the portion of the glass substrate 32 where only the mold 57 is formed is Lm. , The pad margin is Mp,
When the width of the pad 60a is Wp, the TFT array 35
(The length of the edge of the effective field of view) D from the end 35a of the effective field of view (the area where a voltage application electrode (not shown in the photoconductor 34 is formed)) to the end face 32a of the glass substrate 32 is D = Lt + Lm + Mp + Wp = 5 (mm) + 2 (mm) + 1 (mm) + 2 (mm) = 10 (mm). Thus, the length of the edge of the effective field of view of the TFT array 35 can be set to 10 mm or less. In FIG. 7, Pn indicates the length of the spring portion of the wiring having a reduced pitch.

【0046】図9、図10、および図11は本発明の第
3の実施の形態の放射線検出装置の一例である平面型X
線検出装置におけるタブ(TAB(TCP))上のチッ
プの配置について説明するための図であり、チャージア
ンプ、ゲートドライバなどの回路で構成されるチップを
タブに組み込んだ場合を示している。例えば、図9に示
すように、ガラス基板32の裏面側に折り返されている
コ字状のタブ66のタブ部分48にチップ45を配置す
ることができる。
FIG. 9, FIG. 10 and FIG. 11 show a plane type X as an example of the radiation detecting apparatus according to the third embodiment of the present invention.
It is a figure for explaining arrangement of a chip on a tab (TAB (TCP)) in a line detection device, and has shown the case where a chip which consists of circuits, such as a charge amplifier and a gate driver, is built in a tab. For example, as shown in FIG. 9, the chip 45 can be arranged on the tab portion 48 of the U-shaped tab 66 that is folded back on the back surface side of the glass substrate 32.

【0047】なお、チップ45が配置される位置は図8
に示す場合に限られない。例えば、図10に示すよう
に、ガラス基板32に連結されるタブ66のパッド66
aに近接したタブ部分46にチップ45を配置すること
ができる。また、図11に示すように、ガラス基板32
に対してほぼ直角に折り曲げられているタブ66のタブ
部分47にチップ45を配置することもできる。
The position where the chip 45 is arranged is shown in FIG.
However, the present invention is not limited to this case. For example, as shown in FIG.
The chip 45 can be arranged on the tab portion 46 close to a. Further, as shown in FIG.
The chip 45 can also be arranged on the tab portion 47 of the tab 66 which is bent substantially at a right angle to the tab 66.

【0048】[0048]

【発明の効果】以上、本発明によれば、検出面カバー部
を構成する材料として、X線の透過率が高く、十分な機
械的強度および導電性を有する材料を用いることによ
り、従来の検出器よりも低曝射量のX線検出を実現する
ことができ、さらに、電磁シールドボックス構造による
検出ノイズの低減化を図ることが可能となる。従って、
患者に対するX線の被曝量を低減することができ、ま
た、得られるX線画像の画質の劣化を防止することが可
能となる。
As described above, according to the present invention, by using a material having a high X-ray transmittance, sufficient mechanical strength and conductivity as a material for forming the detection surface cover, the conventional detection method can be used. X-ray detection with a lower exposure dose than the detector can be realized, and the detection noise can be reduced by the electromagnetic shield box structure. Therefore,
The amount of X-ray exposure to the patient can be reduced, and the quality of the obtained X-ray image can be prevented from deteriorating.

【0049】また、本発明によれば、筐体の内部に設け
られている電気部品において発生した熱を放熱経路に沿
って効率良く伝達させて筐体の外部に放出させているの
で、フォトコンダクタやアンプなどに対する熱の影響を
軽減することができ、平面型X線検出装置の信頼性を向
上させることができる。
Further, according to the present invention, since the heat generated in the electric components provided inside the housing is efficiently transmitted along the heat radiation path and released to the outside of the housing, the photoconductor is provided. The effect of heat on the amplifier and the amplifier can be reduced, and the reliability of the flat X-ray detector can be improved.

【0050】さらに、本発明によれば、ガラス基板上に
形成されているTFTアレイの配線をタブを通してガラ
ス基板の裏面側に導く構造とすることにより、大視野検
出で装置全体の小型化が可能となる。
Further, according to the present invention, the wiring of the TFT array formed on the glass substrate is led to the back side of the glass substrate through the tab, so that the entire device can be downsized by detecting a large field of view. Becomes

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】従来の直接変換方式の平面型X線検出装置の概
略構成を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a conventional direct conversion type flat X-ray detection apparatus.

【図2】従来の平面型X線検出装置におけるX線検出部
および読み出し回路部の構成を示す図である。
FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration of an X-ray detection unit and a read-out circuit unit in a conventional planar X-ray detection device.

【図3】本発明の第1の実施の形態の放射線検出装置の
一例である平面型X線検出装置の構成を示す組立図であ
る。
FIG. 3 is an assembly diagram showing a configuration of a planar X-ray detection device which is an example of the radiation detection device according to the first embodiment of the present invention.

【図4】本発明の第1の実施の形態の放射線検出装置の
一例である平面型X線検出装置の構成の一部を示す断面
図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a part of a configuration of a flat X-ray detection device which is an example of the radiation detection device according to the first exemplary embodiment of the present invention.

【図5】本発明の第2の実施の形態の放射線検出装置の
一例である平面型X線検出装置の構成の一部を示す断面
図である。
FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating a part of a configuration of a planar X-ray detection device which is an example of a radiation detection device according to a second embodiment of the present invention.

【図6】本発明の第3の実施の形態の放射線検出装置の
一例である平面型X線検出装置の構成の一部を示す外観
図である。
FIG. 6 is an external view showing a part of the configuration of a planar X-ray detection device which is an example of a radiation detection device according to a third embodiment of the present invention.

【図7】本発明の第3の実施の形態の放射線検出装置の
一例である平面型X線検出装置の構成の一部を示す平面
図である。
FIG. 7 is a plan view illustrating a part of a configuration of a flat X-ray detection device which is an example of a radiation detection device according to a third embodiment of the present invention.

【図8】本発明の第3の実施の形態の放射線検出装置の
一例である平面型X線検出装置の構成の一部を示す断面
図である。
FIG. 8 is a cross-sectional view illustrating a part of a configuration of a planar X-ray detection device which is an example of a radiation detection device according to a third embodiment of the present invention.

【図9】本発明の第3の実施の形態の放射線検出装置の
一例である平面型X線検出装置におけるタブ上のチップ
の配置について説明するための図である。
FIG. 9 is a diagram for explaining an arrangement of chips on a tab in a flat X-ray detection device which is an example of a radiation detection device according to a third embodiment of the present invention.

【図10】本発明の第3の実施の形態の放射線検出装置
の一例である平面型X線検出装置におけるタブ上のチッ
プの配置について説明するための図である。
FIG. 10 is a diagram for explaining an arrangement of chips on a tab in a planar X-ray detection device which is an example of a radiation detection device according to a third embodiment of the present invention.

【図11】本発明の第3の実施の形態の放射線検出装置
の一例である平面型X線検出装置におけるタブ上のチッ
プの配置について説明するための図である。
FIG. 11 is a diagram for explaining an arrangement of chips on a tab in a flat X-ray detector which is an example of a radiation detector according to a third embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 X線検出部 2、37 筐体 3、30 検出面カバー部 4、18a、18b、18c、18d、33、41 P
C板 4a 電気部品 4b 穴部 5 放熱部 10、32 ガラス基板 11 読み出し電極 12、34 フォトコンダクタ 13 電圧印加電極 14 後方部材 15、26、38 ネジ 16 導電性シール材 17 Oリング 19a、19b、19c、19d、60、61、62、
63、64、66 タブ 21 断熱材 22 Cu板 23 金属シールド板 24 放熱板 24a フィン 25 放熱ゴム 27 熱伝導体 29 シリコングリース 31、40 支持体 34a テーパー部 35 TFTアレイ 36a、36b タブ押さえ 42 熱伝導シールド 43 信号線 44 ゲート駆動線 45 チップ 57 モールド 60a、61b、62c、63d、64e、66a パ
ッド
Reference Signs List 1 X-ray detection unit 2, 37 Case 3, 30 Detection surface cover unit 4, 18a, 18b, 18c, 18d, 33, 41P
C plate 4a Electric component 4b Hole 5 Heat radiating part 10, 32 Glass substrate 11 Readout electrode 12, 34 Photoconductor 13 Voltage applying electrode 14 Back member 15, 26, 38 Screw 16 Conductive seal material 17 O-ring 19a, 19b, 19c , 19d, 60, 61, 62,
63, 64, 66 Tab 21 Heat insulator 22 Cu plate 23 Metal shield plate 24 Heat sink 24a Fin 25 Heat dissipation rubber 27 Heat conductor 29 Silicon grease 31, 40 Supporter 34a Tapered portion 35 TFT array 36a, 36b Tab holder 42 Heat conduction Shield 43 Signal line 44 Gate drive line 45 Chip 57 Mold 60a, 61b, 62c, 63d, 64e, 66a Pad

フロントページの続き (72)発明者 宮城 武史 神奈川県横浜市磯子区新磯子町33番地 株 式会社東芝生産技術研究所内 (72)発明者 鈴木 公平 神奈川県横浜市磯子区新磯子町33番地 株 式会社東芝生産技術研究所内 Fターム(参考) 2G088 EE01 EE27 FF02 FF04 FF14 GG21 JJ05 JJ08 JJ09 JJ33 JJ37 4C093 CA06 CA31 CA32 CA34 CA38 CA41 EA05 EB13 EB16 EB17Continuing on the front page (72) Inventor Takeshi Miyagi 33, Shinisogo-cho, Isogo-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Prefecture Inside Toshiba Production Technology Laboratory (72) Inventor Kohei Suzuki 33, Shinisogo-cho, Isogo-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Prefecture EE01 EE27 FF02 FF04 FF14 GG21 JJ05 JJ08 JJ09 JJ33 JJ37 4C093 CA06 CA31 CA32 CA34 CA38 CA41 EA05 EB13 EB16 EB17

Claims (14)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 入射した放射線を電荷に変換する光電変
換素子を有する放射線検出部と、 前記放射線が入射する検出面を形成する検出面カバー部
と、 前記放射線検出部を収納し、前記検出面カバー部と接合
する筐体とを備え、 前記検出面カバー部はアルミニウムの放射線透過率と同
じかそれよりも高い放射線透過率を有する材料によって
構成されていることを特徴とする放射線検出装置。
A radiation detection unit having a photoelectric conversion element for converting incident radiation into electric charge; a detection surface cover forming a detection surface on which the radiation is incident; and a detection surface for housing the radiation detection unit. A radiation detection apparatus comprising: a housing joined to a cover; and the detection surface cover is made of a material having a radiation transmittance equal to or higher than that of aluminum.
【請求項2】 入射した放射線を電荷に変換する光電変
換素子を有する放射線検出部と、 前記放射線が入射する検出面を形成する検出面カバー部
と、 前記放射線検出部を収納し、前記検出面カバー部と接合
する筐体とを備え、 前記検出面カバー部はCFRPによって構成されている
ことを特徴とする放射線検出装置。
2. A radiation detection unit having a photoelectric conversion element for converting incident radiation into electric charges, a detection surface cover unit forming a detection surface on which the radiation enters, and a detection surface that accommodates the radiation detection unit. A radiation detection apparatus comprising: a housing joined to a cover; and the detection surface cover is made of CFRP.
【請求項3】 前記検出面カバー部と前記筐体は異なる
材料によって構成されていることを特徴とする請求項1
または2に記載の放射線検出装置。
3. The apparatus according to claim 1, wherein the detection surface cover and the housing are made of different materials.
Or the radiation detection device according to 2.
【請求項4】 前記筐体は金属によって構成され、前記
検出面カバー部は、導電性を有し、前記筐体と電気的に
接続されていることを特徴とする請求項1または2に記
載の放射線検出装置。
4. The housing according to claim 1, wherein the housing is made of metal, and the detection surface cover has conductivity and is electrically connected to the housing. Radiation detection device.
【請求項5】 放射線検出面から入射した放射線を電荷
に変換する光電変換素子を有する放射線検出部と、 前記放射線検出部を収納する筐体と、 前記放射線検出部を挟んで前記放射線検出面と反対側の
前記筐体の一部から放熱を行うための放熱手段とを備え
たことを特徴とする放射線検出装置。
5. A radiation detection unit having a photoelectric conversion element for converting radiation incident from a radiation detection surface into electric charges, a housing for housing the radiation detection unit, and the radiation detection surface sandwiching the radiation detection unit. A radiation detecting device comprising: a heat radiating means for radiating heat from a part of the housing on the opposite side.
【請求項6】 前記筐体の内部に放熱経路を設け、前記
筐体の内部において発生した熱をこの放熱経路を通して
前記放熱手段に導くことを特徴とする請求項5に記載の
放射線検出装置。
6. The radiation detection apparatus according to claim 5, wherein a heat radiation path is provided inside the housing, and heat generated inside the housing is guided to the heat radiation means through the heat radiation path.
【請求項7】 前記放熱手段は、前記筐体の一部に設け
られている放熱板と、前記筐体の内部において発生した
熱を前記放熱板に導くための放熱部材とを有することを
特徴とする請求項5に記載の放射線検出装置。
7. The heat radiating means includes a heat radiating plate provided in a part of the housing, and a heat radiating member for guiding heat generated inside the housing to the heat radiating plate. The radiation detection apparatus according to claim 5, wherein
【請求項8】 絶縁性基板と、 前記絶縁性基板上に形成され、入射した放射線を電荷に
変換する光電変換素子と、 前記光電変換素子によって変換した電荷を収集するため
のスイッチング素子アレイとを備え、 前記スイッチング素子アレイの有効視野の端部と前記絶
縁性基板の端面の間の距離が10mm以下であることを
特徴とする放射線検出装置。
8. An insulating substrate, a photoelectric conversion element formed on the insulating substrate and converting incident radiation into electric charge, and a switching element array for collecting the electric charge converted by the photoelectric conversion element. A radiation detection apparatus, wherein a distance between an end of an effective field of view of the switching element array and an end surface of the insulating substrate is 10 mm or less.
【請求項9】 コ字状に構成されているフレキシブル基
板を備え、前記フレキシブル基板の一端は前記スイッチ
ング素子アレイの有効視野の端部と前記絶縁性基板の端
面の間に設けられ、前記フレキシブル基板の他端は前記
絶縁性基板の裏面側に延びていることを特徴とする請求
項8に記載の放射線検出装置。
9. A flexible substrate comprising a U-shaped flexible substrate, one end of the flexible substrate being provided between an end of an effective field of view of the switching element array and an end surface of the insulating substrate, The radiation detection device according to claim 8, wherein the other end of the radiation detection device extends to the back surface side of the insulating substrate.
【請求項10】 前記絶縁性基板の裏面側に設けられ、
前記フレキシブル基板に形成されている配線を介して前
記スイッチング素子アレイを駆動する駆動回路を備えて
いることを特徴とする請求項9に記載の放射線検出装
置。
10. A device provided on a back side of the insulating substrate,
The radiation detection apparatus according to claim 9, further comprising a drive circuit that drives the switching element array via a wiring formed on the flexible substrate.
【請求項11】 前記絶縁性基板の裏面側に設けられ、
前記フレキシブル基板に形成されている配線を介して前
記スイッチング素子アレイによって前記光電変換素子で
変換された電荷を読み出す読み出し回路を備えているこ
とを特徴とする請求項9に記載の放射線検出装置。
11. A device provided on the back side of the insulating substrate,
The radiation detection apparatus according to claim 9, further comprising: a readout circuit that reads out the electric charge converted by the photoelectric conversion element by the switching element array via a wiring formed on the flexible substrate.
【請求項12】 前記放射線は、X線またはガンマ線の
いずれかであることを特徴とする請求項1から11まで
のいずれかに記載の放射線検出装置。
12. The radiation detecting apparatus according to claim 1, wherein the radiation is one of X-rays and gamma rays.
【請求項13】 前記光電変換素子は、フォトコンダク
タによって構成されていることを特徴とする請求項1か
ら11までのいずれかに記載の放射線検出装置。
13. The radiation detecting apparatus according to claim 1, wherein the photoelectric conversion element is constituted by a photoconductor.
【請求項14】 前記スイッチング素子アレイは、複数
の薄膜トランジスタによって構成されていることを特徴
とする請求項8から11までのいずれかに記載の放射線
検出装置。
14. The radiation detecting apparatus according to claim 8, wherein the switching element array is configured by a plurality of thin film transistors.
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