JP2000258150A

JP2000258150A - 三次元形状測定装置

Info

Publication number: JP2000258150A
Application number: JP5784999A
Authority: JP
Inventors: Kotaro Hosaka; 光太郎保坂
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1999-03-05
Filing date: 1999-03-05
Publication date: 2000-09-22

Abstract

(57)【要約】【課題】非球面あるいは自由曲面からなるレンズ、金
型、成型品等の測定対象物の形状と位置を簡単にかつ高
精度に測定でき、測定対象物の形状評価を高精度に行な
うことができる三次元形状測定装置を提供する。【解決手段】測定対象物４を搭載する測定雇い１に測
定対象物４を位置付けるための複数の基準面２（ｘ、
ｙ、ｚ）を形成するとともに基準部材としての３個以上
の基準球３（ａ、ｂ、ｃ）を配設し、これらの基準面２
と基準球３をプローブ１０で走査することにより基準面
２に対する基準球中心位置の位置関係を算出し、さら
に、測定雇い１に搭載された測定対象物４の表面形状を
測定し、測定対象物４の表面形状測定データと測定雇い
１の３個の基準球３の中心位置から測定対象物４の基準
面に対する形状基準位置を算出する。これにより、基準
位置からみた測定対象物４の形状評価を簡単かつ高精度
に行なうことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、非球面あるいは自
由曲面からなるレンズ、金型、成型品等の測定対象物の
面の三次元形状および面の基準からの位置を高精度に測
定する三次元形状測定装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】非球面あるいは自由曲面からなるレン
ズ、金型、成型品等の測定対象物の表面形状の測定には
三次元形状測定装置が使用されており、三次元形状測定
装置としては、特開平８−５３４６号公報に開示されて
いる測定装置が知られている。

【０００３】この種の三次元形状測定装置は、図６に例
示するように、測定対象物搭載台１０２に搭載された測
定対象物１０１をトレースするプローブ１０３、このプ
ローブ１０３と一体になって垂直方向に移動するＺステ
ージ１０４と、Ｚステージ１０４を保持して水平方向に
移動可能なＸＹステージ１０５と、ＸＹステージ１０５
上に設けられたレーザ測長機１０６を有し、レーザ測長
機１０６の光路上にビームスプリッタ１０７とレーザ光
を反射させる複数のミラー１０８、１０９、１１０を配
して、複数のミラーの内の１つのミラー１０８をレーザ
測長用ミラーとしてプローブ１０３を保持するＺステー
ジ１０４上に配設し、また他の１つのミラー１０９をミ
ラー１０８に対向する位置であって測定対象物搭載台１
０２より一定の距離にある固定位置に配設してある。そ
して、ＸＹステージ１０５の水平方向の移動により、プ
ローブ１０３は、測定対象物１０１の表面を走査し、測
定対象物１０１のＺ方向の面の高さにしたがいＺステー
ジ１０４を上下動させるとともにＺステージ１０４に固
定されたレーザ測長用ミラー１０８を上下動させる。こ
のレーザ測長用ミラー１０８の動きをレーザ測長機１０
６により測定し、その測定結果から測定対象物１０１の
三次元形状を算出するようにしている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】前述したような従来の
三次元形状測定装置は、測定対象物の形状を測定する機
能を有するのみで、測定対象物に対する位置を測定する
ことができない。従来は、測定対象物の形状評価に関し
て、形状測定結果と設計形状の差分が最小となるような
セッティングをコンピュータの計算によって決定し、位
置による誤差を取り除いた状態で形状の評価を行なって
いた。しかし、このような方法では、形状が空間上のど
こにあっても測定形状と設計形状の差分が少なければ正
しい形状として出力されてしまい、位置を含めた形状の
真の評価ができないという問題があった。

【０００５】また、測定対象物の位置決めを測定して形
状測定を行なう形状測定装置として、特開平９−２４３
３０４号公報に開示される測定装置が知られている。こ
の特開平９−２４３３０４号公報には、雇いに取り付け
た測定対象物の位置決めのために前記雇いに位置決めの
ためのマークを形成し、そのマークの測定結果から位置
を計算する方法が開示されている。しかしながら、この
計算方法では、位置決めの誤差を取り除いた状態で測定
結果の設計形状からの誤差形状を評価することができて
も、測定対象物の形状が設計形状基準位置からどの位の
位置に形成されているかどうかを定量的に評価すること
ができない。さらに、前記位置決めのためのマーク位置
の基準面に対する位置座標を知る方法は既知として開示
されておらず、ここでもし他の三次元形状測定装置を使
用すると、精度が低くなってしまうという問題が発生し
てしまう。

【０００６】そこで、本発明は、上記のような従来技術
の有する未解決の課題に鑑みてなされたものであって、
非球面あるいは自由曲面からなるレンズ、金型、成型品
等の測定対象物の形状と位置を簡単にかつ高精度に測定
することができ、測定対象物の形状評価を高精度に行な
うことができる三次元形状測定装置を提供することを目
的とするものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の三次元形状測定装置は、三次元形状を接触
または非接触プローブで走査することによって測定する
三次元形状測定装置において、測定対象物を位置付ける
ための複数の基準面が形成された測定雇いと、該測定雇
いに配設され、基準となる位置データを測定するための
基準部材とを有し、測定対象物を前記測定雇いに保持し
て該測定対象物の形状と位置を測定することを特徴とす
る。

【０００８】本発明の三次元形状測定装置においては、
前記基準部材は３個以上の基準球であることが好まし
く、さらに、前記位置データは前記基準球の中心位置デ
ータであることが好ましい。

【０００９】本発明の三次元形状測定装置においては、
前記測定雇いの基準面を測定して得られる基準面形状デ
ータと、前記基準部材を測定して得られる位置データか
ら、前記測定雇いの基準面と前記基準部材との位置関係
を計算する演算処理手段を有することが好ましく、ま
た、前記基準部材の位置データと、前記測定対象物の表
面形状測定データから該測定対象物の基準面に対する形
状基準位置を計算する演算処理手段を有することが好ま
しい。

【００１０】本発明の三次元形状測定装置においては、
前記基準部材は、前記測定雇いに測定対象物を保持した
際に該測定対象物の測定対象面側に配設され、前記測定
雇いの複数の基準面は、互いに略直交となるように形成
されていることが好ましい。

【００１１】本発明の三次元形状測定装置においては、
前記測定雇いの基準面の面数が３面であることが好まし
い。

【００１２】

【作用】本発明の三次元形状測定装置によれば、三次元
形状を接触または非接触プローブで走査することによっ
て形状を測定する三次元形状測定装置において、測定対
象物を位置付けるための複数の基準面が形成された測定
雇いに基準部材としての３個以上の基準球を配設し、測
定雇いの測定対象物を位置付けるための基準面および基
準部材を測定する手段とそれらの位置関係を演算する手
段を備えることによって、測定対象物の表面形状測定デ
ータから測定対象物の形状基準位置を算出することを可
能とし、測定対象物の基準位置からみた測定対象物の形
状評価を高精度に行なうことを可能にする。

【００１３】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
いて説明する。

【００１４】図１は、本発明の三次元形状測定装置の全
体構成の概略図であり、図２は、本発明の三次元形状測
定装置における基準部材としての基準球を配設した測定
雇いと測定雇いに搭載された測定対象物を示す斜視図で
ある。

【００１５】図１および図２において、１は測定対象物
４を搭載して測定するための測定雇いであり、複数の基
準面２（２ｘ、２ｙ、２ｚ）（図２参照）が形成され、
基準部材としての複数の基準球３が配設されている。１
０は形状を測定するためのプローブであって、測定雇い
１の複数の基準面２や複数の基準球３および測定対象物
４等の表面形状を走査して測定を行なうものである。こ
のプローブ１０はＺ方向（図１における上下方向）に移
動可能なＺスライド１１に保持されている。プローブ１
０は、測定雇い１の基準面２や基準球３および測定対象
物４等の測定表面に接触してトレースするためのセンサ
ーが組み込まれており、その構造は例えば特開平５−６
０５４２号公報等に開示されているような構造を有する
ものを用いる。なお、本実施例では接触式のプローブを
例にとって説明するけれども、接触式プローブに代えて
非接触プローブを用いることも可能である。

【００１６】三次元形状測定装置の架台１４上にはＹス
ライド１３がＹ方向に移動可能に設けられ、Ｘスライド
１２は、Ｙスライド１３に支持されてＸ方向に移動可能
に設けられ、また、Ｚ方向に移動可能なＺスライド１１
は、Ｘスライド１２に支持されており、これらのＺスラ
イド１１、Ｘスライド１２およびＹスライド１３は、後
述する電装ラック１５内に配設される各駆動ドライバー
により、それぞれＺ、ＸおよびＹ方向に駆動されるよう
に構成されている。これらの各スライド１１、１２、１
３を駆動させることによって、Ｚスライド１１に保持さ
れるプローブ１０を架台１４上でＸ方向、Ｙ方向、そし
てＺ方向に移動させることができ、そして、Ｚスライド
１１のＺ方向の移動量（図１の上下方向）、Ｘスライド
１２のＸ方向の移動量（図１の左右方向）およびＹスラ
イド１３のＹ方向の移動量（図１の紙面に対し垂直な方
向）は、図示しないレーザ測長機または光学スケール等
のスケールなどにより測長され、各移動量を測定するこ
とができる。

【００１７】１５は、Ｘスライド１２、Ｙスライド１３
およびＺスライド１１のＸ、Ｙ、Ｚ軸の各駆動を行なう
ドライバー等やＸ、Ｙ、Ｚ軸の各スライドの移動量を測
長するレーザ測長データを取り込む電気系等が搭載され
た電装ラックであり、１６は、電装ラック１５のＸ、
Ｙ、Ｚ軸の各駆動用のドライバに対して駆動量や駆動方
法を指令するための制御用コンピュータであり、１７
は、マンマシンインターフェイスを備えたコンピュータ
であって、測定のために必要な設計値や測定手順の設定
等を行なう機能や測定結果をモニターに表示したり記憶
装置に記録したりする機能を備えている。１８は手動操
作盤であり、この手動操作盤１８上での操作により、Ｘ
スライド１２、Ｙスライド１３およびＺスライド１１を
任意の位置に適宜移動させることができるように構成さ
れている。

【００１８】測定対象物４を保持する測定雇い１には、
図２に図示するように、測定対象物４を突き当てて位置
決めするための複数の基準面２ｘ、２ｙ、２ｚが互いに
略直交する関係で形成されており、測定対象物４はその
底面を基準面２ｚに接するように測定雇い１に搭載され
る。また、測定雇い１には、さらに、基準部材としての
少なくとも３個の基準球３（３ａ、３ｂ、３ｃ）が配設
されている。本実施例では３個の基準球３ａ、３ｂおよ
び３ｃを用い、これらの基準球３ａ、３ｂおよび３ｃ
は、図２に図示するように、測定雇い１に保持される搭
載される測定対象物４の測定面側に取り付けることが望
ましい。なお、基準球３としては３個以上用いることも
できる。

【００１９】次に、以上のように構成された本発明の三
次元形状測定装置による測定手順について、図４に図示
する測定手順フローにしたがって説明する。

【００２０】先ず、ステップＳ１において、これから測
定する測定対象物４の形状設計データおよび基準部材と
しての基準球３から測定対象物４の形状設計原点までの
位置設計データを設計データとしてコンピュータ１７に
書き込む。前記位置設計データは、後述する測定雇い基
準面の測定で算出することができる。さらに、このとき
測定する測定対象物４の測定範囲および測定手順等も予
め設定しておく。ここで、測定対象物４の設計位置に対
する測定範囲と測定断面数、測定ポイント等が決まる。

【００２１】次に、ステップＳ２では、測定対象物４が
搭載され、基準球３ａ、３ｂ、３ｃが取り付けられた測
定雇い１を三次元形状測定装置の架台１４に図１に図示
するようにセットする。次の判断ステップＳ３では、基
準球３ａ、３ｂ、３ｃの大体の位置が図１に図示する三
次元形状測定装置の座標上に記録されているかどうかを
判断する。基準球３ａ、３ｂ、３ｃの大体の位置が記録
されていれば、ステップＳ５にて基準球３ａ、３ｂ、３
ｃの中心位置測定を自動で行なう。すなわち、コンピュ
ータ１７より基準球３ａ、３ｂ、３ｃの測定開始を指示
すると制御用コンピュータ１６からＸ、Ｙ、Ｚ各軸の移
動量が電装ラック１５のドライバーに送られ、Ｚスライ
ド１１、Ｘスライド１２、Ｙスライド１３が所定の位置
に駆動され、プローブ１０が基準球３ａのほぼ所定位置
へ位置決めされる。プローブ１０が基準球３ａに対して
位置決めされるとＺスライド１１が駆動しプローブ１０
を基準球３ａの表面に接触させる。その後、Ｘスライド
１２、Ｙスライド１３を駆動しながら、Ｚスライド１
１、Ｘスライド１２、Ｙスライド１３の測長データを取
り込むことによって基準球３ａの表面形状を測定する。
基準球３ａの表面走査が終わるとＺスライド１１が所定
の位置に復帰する。基準球３ａの形状測定が終わると、
引き続き、基準球３ｂおよび３ｃの表面形状測定を同様
に行なう。

【００２２】また、判断ステップＳ３で基準球３ａ、３
ｂ、３ｃの大体の位置が図１に図示する三次元形状測定
装置の座標上に記録されていない場合は、ステップＳ４
にて基準球３ａ、３ｂ、３ｃの中心位置測定を手動で行
なう。すなわち、先ず、手動操作盤１８によってＸスラ
イド１２とＹスライド１３を駆動して、プローブ１０を
基準球３ａのほぼ中心位置へ移動させる。次に、基準球
３ａのみの表面測定指示をコンピュータ１７から出し、
基準球３ａの表面形状を測定する。その後同様に基準球
３ｂへ手動操作盤１８にてプローブ１０を移動させ、基
準球３ｂの測定を行なう。さらに基準球３ｃも同様に形
状測定を行なう。これで、ステップＳ５の基準球自動測
定と同様に基準球３ａ、３ｂ、３ｃの形状測定データが
揃う。

【００２３】ステップＳ４またはステップＳ５で基準球
３ａ、３ｂ、３ｃの形状測定が終わると、ステップＳ６
にて基準球３ａ、３ｂ、３ｃの形状測定データから基準
球３ａ、３ｂ、３ｃの正確な中心位置を算出し、これら
を記憶する。これで、三次元形状測定装置上で基準球３
ａ、３ｂ、３ｃの中心位置がつくる座標が決定する。な
お、ステップＳ４およびステップＳ５における自動およ
び手動による基準球測定では基準球３を３ａ、３ｂ、３
ｃの順番で測定しているが、測定結果と実際の基準球の
対応がとれていれば測定順番に決まりはない。

【００２４】以上のように基準球測定を行なうので、三
次元形状測定装置に対する測定対象物４の位置を正確に
位置決めする必要がなく、測定対象物４を保持した測定
雇い１は基準球３ａ、３ｂ、３ｃの表面を測定できる程
度に設置されていれば良い。また、手動による基準球測
定（ステップＳ４）を行なえば、測定対象物４を搭載し
た測定雇い１を三次元形状測定装置の測定範囲内ならば
どこに設置しても測定可能である。

【００２５】次に、ステップＳ７に進み、測定対象物４
の形状測定を行なう。コンピュータ１７からの測定対象
物４の測定指示により自動的に予め設定してある測定開
始点へＸスライド１２およびＹスライド１３が移動駆動
される。その後、プローブ１０が測定対象物４の設定し
た位置に接触し、ステップＳ１で予め設定した測定範囲
と条件に基づいて測定対象物４の表面を走査し測定す
る。このとき、Ｚステージ１１、Ｘスライド１２および
Ｙスライド１３の測長データを取り込むことによって、
測定対象物４の表面形状を測定する。測定対象物４の形
状測定が終了するとＺステージ１１は所定の位置に復帰
する。

【００２６】ステップＳ７での測定対象物４の測定が終
了すると、ステップＳ８のデータ計算処理を行なう。ス
テップＳ８のデータ計算処理では、測定対象物４の形状
が３個の基準球３ａ、３ｂ、３ｃの中心位置３点を通る
基準平面上の基準球３ａを基準として算出される。基準
球３ａ、３ｂ、３ｃと測定雇い１の基準面２ｘ、２ｙ、
２ｚの関係は後述するように予め測定しておくことによ
り、基準面２ｘ、２ｙ、２ｚに接して搭載された測定対
象物４の対応する基準面からみた測定対象物４の形状お
よび形状の位置関係、すなわち、基準球３ａからのＸ、
Ｙ、Ｚ座標位置、および基準球３ａ、３ｂ、３ｃの中心
位置３点を通る基準平面との角度位置（θｘ、θｙ、θ
ｚ）が算出される。これにより、測定対象物４の空間上
の６自由度が決定するので、明確な基準位置に対する測
定対象物４の形状評価を行なうことが可能となる。

【００２７】ステップＳ８でのデータ計算処理が終了す
ると、ステップＳ９にて測定結果がモニターあるいはプ
リンター等の出力機器に出力される。さらに、ステップ
Ｓ１０では測定結果がコンピュータ１７に内蔵の記憶装
置あるいは外部の記憶装置（不図示）に記憶され、測定
対象物４の測定が完了する。

【００２８】次に、前述した図４に示す測定手順フロー
のステップＳ１で設定した基準部材としての基準球３か
ら測定対象物４の形状設計原点までの位置設計データを
算出するための測定雇い１の基準面２の測定手順につい
て、図５に示す測定手順フローにしたがって説明する。

【００２９】ステップＳａ１で、基準面２ｘと基準球３
ａ、３ｂ、３ｃを同一のセッティングで測定可能なよう
に測定雇い１を、図３に図示する傾け治具５を用いて三
次元形状測定装置の架台１４に設置する。ここで、傾け
治具５は、図３に図示するように、測定雇い１の基準面
２ｘおよび基準球３ａ、３ｂ、３ｃが同一のセッティン
グでプローブ１０によって走査可能なように測定雇い１
を適宜傾斜させるための治具であり、基準面２ｙや基準
面２ｚを走査測定するときも同様に基準球３ａ、３ｂ、
３ｃと基準面２ｙあるいは２ｚを同一のセッティングで
プローブ１０によって走査可能なように測定雇い１を傾
け治具５により適宜傾斜させて測定する。

【００３０】次に、ステップＳａ２で基準球３ａ、３
ｂ、３ｃの測定を行なう。このとき、基準球３ａ、３
ｂ、３ｃの略位置が分かっていれば、図４で説明したよ
うに測定手順フローの基準球自動測定Ｓ５を実行し、そ
うでなければ基準球手動測定Ｓ４を実行する。その手順
は図４の測定手順フローと同様である。次に、ステップ
Ｓａ３で測定雇い１の基準面２ｘの形状測定を実行す
る。その測定後、ステップＳａ４において、前記ステッ
プＳａ２で測定した基準球３ａ、３ｂ、３ｃの形状デー
タから基準球３ａ、３ｂ、３ｃの中心座標を求め、その
基準球３ａ、３ｂ、３ｃの中心座標がつくる平面と測定
雇い１の基準面２ｘの測定データから、基準面２ｘと基
準球３ａ、３ｂ、３ｃの位置関係、すなわち、基準球３
（３ａ、３ｂ、３ｃ）の中で基準となる球（例えば、基
準球３ａ）と基準面２ｘとの距離、さらに、基準面２ｘ
と基準球３ａ、３ｂ、３ｃの中心座標がつくる平面との
なす角度等を算出する。

【００３１】測定雇い１の基準面２ｘの測定および計算
処理が終了すれば、続いてステップＳａ５で測定雇い１
の基準面２ｙを測定する準備を行なう。この手順は、前
記ステップＳａ１と同様に、基準面２ｙと基準球３ａ、
３ｂ、３ｃを同一のセッティングで測定可能なように測
定雇い１を傾け治具５に載せ、三次元形状測定装置の架
台１４に設置する。次のステップＳａ６の基準球測定も
前記ステップＳａ２と同様である。ステップＳａ７で
は、ステップＳａ３と同様に、測定雇い１の基準面２ｙ
を走査測定し、ステップＳａ８で、前記ステップＳａ４
と同様に、基準面２ｙと基準球３ａ、３ｂ、３ｃの測定
データから、基準面２ｙと基準球３ａ、３ｂ、３ｃの中
心座標がつくる平面との位置関係を算出する。

【００３２】さらに、ステップＳａ９、ステップＳａ１
０、ステップＳａ１１およびステップＳａ１２において
も、前述したステップＳａ１からステップＳａ４、ある
いはステップＳａ５からステップＳａ８と同様の手順
で、基準球３ａ、３ｂ、３ｃと測定雇い１の基準面２ｚ
を測定して位置関係を算出する。

【００３３】このように、測定雇い１の基準面２ｘ、２
ｙ、２ｚを同一の基準球３ａ、３ｂ、３ｃとそれぞれ同
一のセッティングで測定することで、測定雇い１の基準
面２ｘ、２ｙ、２ｚと基準球３ａ、３ｂ、３ｃのそれぞ
れの位置関係を算出することができる。この結果を前述
した図４の測定手順フローのステップＳ１で設計データ
の一部として設定すれば、前述した図４の測定手順フロ
ーのように測定対象物４の形状測定を行なうことで、基
準面２ｘ、２ｙ、２ｚに接して取り付けた測定対象物４
の対応する基準面からみた測定対象物４の形状および形
状基準原点位置が算出可能となる。

【００３４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
測定対象物の三次元形状を接触または非接触プローブで
走査することによって形状を測定する三次元形状測定装
置において、測定雇いの基準面と基準部材としての３個
以上の基準球を測定する手段およびそれらの位置関係を
演算する手段を設けることによって、測定対象物の表面
形状測定データから前記測定対象物の形状基準位置を算
出することが可能となり、測定対象物の基準位置からみ
た測定対象物の形状評価を簡単にかつ高精度に行なうこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の三次元形状測定装置の全体構成の概略
図である。

【図２】本発明の三次元形状測定装置における基準部材
としての基準球を配設した測定雇いと測定雇いに搭載し
た測定対象物を示す斜視図である。

【図３】本発明の三次元形状測定装置において測定雇い
を傾けてその基準面を走査している状態を示す模式図で
ある。

【図４】本発明の三次元形状測定装置による測定手順フ
ロー図である。

【図５】本発明の三次元形状測定装置による測定雇い基
準面の測定手順フロー図である。

【図６】従来の三次元形状測定装置の概略図である。

【符号の説明】

１測定雇い２（２ｘ、２ｙ、２ｚ）基準面３（３ａ、３ｂ、３ｃ）基準球（基準部材）４測定対象物５傾け治具１０プローブ１１Ｚスライド１２Ｘスライド１３Ｙスライド１４架台１５電装ラック１６制御用コンピュータ１７コンピュータ１８手動操作盤

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 2F065 AA04 AA09 AA17 AA53 BB05 DD19 FF55 PP12 2F069 AA04 AA06 AA13 AA66 BB40 GG01 GG04 GG07 GG52 GG62 HH01 HH11 HH30 JJ08 LL02 MM02 MM23 MM32 PP01 2G086 FF01

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】三次元形状を接触または非接触プローブ
で走査することによって測定する三次元形状測定装置に
おいて、測定対象物を位置付けるための複数の基準面が形成され
た測定雇いと、該測定雇いに配設され、基準となる位置データを測定す
るための基準部材とを有し、測定対象物を前記測定雇いに保持して該測定対象物の形
状と位置を測定することを特徴とする三次元形状測定装
置。
【請求項２】前記基準部材は、３個以上の基準球であ
ることを特徴とする請求項１記載の三次元形状測定装
置。
【請求項３】前記位置データは、前記基準球の中心位
置データであることを特徴とする請求項２記載の三次元
形状測定装置。
【請求項４】前記測定雇いの基準面を測定して得られ
る基準面形状データと、前記基準部材を測定して得られ
る位置データから、前記測定雇いの基準面と前記基準部
材との位置関係を計算する演算処理手段を有することを
特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の三
次元形状測定装置。
【請求項５】前記基準部材の位置データと、前記測定
対象物の表面形状測定データから該測定対象物の基準面
に対する形状基準位置を計算する演算処理手段を有する
ことを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記
載の三次元形状測定装置。
【請求項６】前記基準部材は、前記測定雇いに測定対
象物を保持した際に該測定対象物の測定対象面側に配設
され、前記測定雇いの複数の基準面は、互いに略直交と
なるように形成されていることを特徴とする請求項１な
いし５のいずれか１項に記載の三次元形状測定装置。
【請求項７】前記測定雇いの基準面の面数が３面であ
ることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項に
記載の三次元形状測定装置。