JP2000250634A - インライン型流体混合装置 - Google Patents
インライン型流体混合装置Info
- Publication number
- JP2000250634A JP2000250634A JP11049582A JP4958299A JP2000250634A JP 2000250634 A JP2000250634 A JP 2000250634A JP 11049582 A JP11049582 A JP 11049582A JP 4958299 A JP4958299 A JP 4958299A JP 2000250634 A JP2000250634 A JP 2000250634A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pump
- fluid
- pressure
- valve
- pulsation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Accessories For Mixers (AREA)
- Flow Control (AREA)
- Control Of Non-Electrical Variables (AREA)
- Reciprocating Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 流量制御のための制御機器を用いないで装置
を簡単且つ小型に構成することができるインライン型流
体混合装置を提供する。 【解決手段】 流体Ａおよび流体Ｂがそれぞれ導かれる
１対の供給通路（管路１４Ａおよび接続路１８Ａ、管路
１４Ｂおよび接続路１８Ｂ）には、流量設定可能な空気
ポンプ１６Ａおよび１６Ｂと脈動抑制弁２０Ａおよび脈
動抑制弁２０Ｂとがそれぞれ設けられ、空気ポンプ１６
Ａおよび１６Ｂの流量設定に従う作動によって流体Ａお
よび流体Ｂがそれぞれ周期的に圧送されるとともに、そ
れら圧送された流体Ａおよび流体Ｂは、その脈動が脈動
抑制弁２０Ａおよび脈動抑制弁２０Ｂによってそれぞれ
抑制されてから合流させられてインライン型ミキサ１２
へ送り込まれることにより、混合される。このため、流
量計、電子式流量コントローラ、電動ポンプなどの流体
の流量制御のための制御機器を用いないので、装置１０
が簡単且つ小型に構成されるとともに、装置１０が安価
となる。
を簡単且つ小型に構成することができるインライン型流
体混合装置を提供する。 【解決手段】 流体Ａおよび流体Ｂがそれぞれ導かれる
１対の供給通路（管路１４Ａおよび接続路１８Ａ、管路
１４Ｂおよび接続路１８Ｂ）には、流量設定可能な空気
ポンプ１６Ａおよび１６Ｂと脈動抑制弁２０Ａおよび脈
動抑制弁２０Ｂとがそれぞれ設けられ、空気ポンプ１６
Ａおよび１６Ｂの流量設定に従う作動によって流体Ａお
よび流体Ｂがそれぞれ周期的に圧送されるとともに、そ
れら圧送された流体Ａおよび流体Ｂは、その脈動が脈動
抑制弁２０Ａおよび脈動抑制弁２０Ｂによってそれぞれ
抑制されてから合流させられてインライン型ミキサ１２
へ送り込まれることにより、混合される。このため、流
量計、電子式流量コントローラ、電動ポンプなどの流体
の流量制御のための制御機器を用いないので、装置１０
が簡単且つ小型に構成されるとともに、装置１０が安価
となる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、２以上の流体の合
流点に設けられてそれらの流体を連続的に混合するイン
ライン型流体混合装置に関するものである。
流点に設けられてそれらの流体を連続的に混合するイン
ライン型流体混合装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】２以上の管路を介して導かれる２以上の
流体を合流させてインライン型ミキサに送り込むことに
より、予め設定された一定の比率でそれら２以上の流体
を混合するインライン型流体混合装置がある。このよう
なインライン型流体混合装置では、通常、流体流量がそ
のまま混合比率となることから、高い混合精度を維持す
るために流量制御が高精度で行われる必要がある。
流体を合流させてインライン型ミキサに送り込むことに
より、予め設定された一定の比率でそれら２以上の流体
を混合するインライン型流体混合装置がある。このよう
なインライン型流体混合装置では、通常、流体流量がそ
のまま混合比率となることから、高い混合精度を維持す
るために流量制御が高精度で行われる必要がある。
【０００３】このため、従来のインライン型流体混合装
置では、２以上の流体を導く管路毎に、流体流量を検出
するための流量計と、流体を圧送するために電気モータ
で駆動されるポンプと、その流量計により検出された流
量が予め設定された値となるようにポンプを駆動する電
気モータの回転速度をフィードバック制御する電子式流
量コントローラとが設けられ、インライン型ミキサの上
流側の合流点における流量比が高い精度で制御されてい
た。
置では、２以上の流体を導く管路毎に、流体流量を検出
するための流量計と、流体を圧送するために電気モータ
で駆動されるポンプと、その流量計により検出された流
量が予め設定された値となるようにポンプを駆動する電
気モータの回転速度をフィードバック制御する電子式流
量コントローラとが設けられ、インライン型ミキサの上
流側の合流点における流量比が高い精度で制御されてい
た。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来のインライン型流体混合装置では、流体を導
く管路毎に、流量計、ポンプ、および一定流量となるよ
うにそのポンプの駆動回転速度をフィードバック制御す
る電子式流量コントローラが必要となることから、それ
らの制御機器によって装置の構成が複雑となって大型と
なるという不都合があった。また、混合前或いは混合後
の流体が引火性である場合には、上記流量計、ポンプ、
および電子式流量コントローラをそれぞれ防爆型とする
必要があるので、装置が一層大型となっていた。
ような従来のインライン型流体混合装置では、流体を導
く管路毎に、流量計、ポンプ、および一定流量となるよ
うにそのポンプの駆動回転速度をフィードバック制御す
る電子式流量コントローラが必要となることから、それ
らの制御機器によって装置の構成が複雑となって大型と
なるという不都合があった。また、混合前或いは混合後
の流体が引火性である場合には、上記流量計、ポンプ、
および電子式流量コントローラをそれぞれ防爆型とする
必要があるので、装置が一層大型となっていた。
【０００５】本発明は以上の事情を背景として為された
ものであり、その目的とするところは、流量制御のため
の制御機器を用いないで装置を簡単且つ小型に構成する
ことができるインライン型流体混合装置を提供すること
にある。
ものであり、その目的とするところは、流量制御のため
の制御機器を用いないで装置を簡単且つ小型に構成する
ことができるインライン型流体混合装置を提供すること
にある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明方法の要旨とするところは、少なくとも第１供
給通路および第２供給通路を介してそれぞれ連続的に導
かれる２以上の流体を合流させてインライン型ミキサに
送り込むことにより、予め設定された一定の比率でそれ
ら２以上の流体を混合するインライン型流体混合装置で
あって、(a) 前記第１供給通路および第２供給通路にそ
れぞれ設けられ、前記流体を前記インライン型ミキサに
向かって圧送する流量設定可能な第１ポンプおよび第２
ポンプと、(b) 前記第１供給通路および第２供給通路の
前記第１ポンプおよび第２ポンプの下流側においてそれ
ぞれ直列に接続され、その第１ポンプおよび第２ポンプ
から出力される流体の脈動をそれぞれ抑制する第１脈動
抑制弁および第２脈動抑制弁とを、含むことにある。
の本発明方法の要旨とするところは、少なくとも第１供
給通路および第２供給通路を介してそれぞれ連続的に導
かれる２以上の流体を合流させてインライン型ミキサに
送り込むことにより、予め設定された一定の比率でそれ
ら２以上の流体を混合するインライン型流体混合装置で
あって、(a) 前記第１供給通路および第２供給通路にそ
れぞれ設けられ、前記流体を前記インライン型ミキサに
向かって圧送する流量設定可能な第１ポンプおよび第２
ポンプと、(b) 前記第１供給通路および第２供給通路の
前記第１ポンプおよび第２ポンプの下流側においてそれ
ぞれ直列に接続され、その第１ポンプおよび第２ポンプ
から出力される流体の脈動をそれぞれ抑制する第１脈動
抑制弁および第２脈動抑制弁とを、含むことにある。
【０００７】
【発明の効果】このようにすれば、第１供給通路および
第２供給通路には、流量設定可能な第１ポンプおよび第
２ポンプと第１脈動抑制弁および第２脈動抑制弁とがそ
れぞれ設けられ、第１ポンプおよび第２ポンプの流量設
定に従う作動によって流体がそれぞれ圧送されるととも
に、それら圧送された流体は、その脈動が第１脈動抑制
弁および第２脈動抑制弁によってそれぞれ抑制されてか
ら合流させられてインライン型ミキサへ送り込まれるこ
とにより、混合される。したがって、流量計、電子式流
量コントローラ、電動ポンプなどの流体の流量制御のた
めの制御機器を用いないので、装置が簡単且つ小型に構
成されるとともに、装置が安価となる。特に、インライ
ン型流体混合装置が防爆仕様で構成される場合には、上
記の効果が一層顕著となる。また、第１供給通路および
第２供給通路において連続的に導かれる流体を流量制御
するために混合開始時点で流量フィードバック制御が安
定するまでの期間において混合比が不安定となる場合に
比較して、流量設定可能な第１ポンプおよび第２ポンプ
から圧送される流体がインライン型ミキサへ送り込まれ
るので、混合装置の立上がり期間における混合比が安定
する利点がある。
第２供給通路には、流量設定可能な第１ポンプおよび第
２ポンプと第１脈動抑制弁および第２脈動抑制弁とがそ
れぞれ設けられ、第１ポンプおよび第２ポンプの流量設
定に従う作動によって流体がそれぞれ圧送されるととも
に、それら圧送された流体は、その脈動が第１脈動抑制
弁および第２脈動抑制弁によってそれぞれ抑制されてか
ら合流させられてインライン型ミキサへ送り込まれるこ
とにより、混合される。したがって、流量計、電子式流
量コントローラ、電動ポンプなどの流体の流量制御のた
めの制御機器を用いないので、装置が簡単且つ小型に構
成されるとともに、装置が安価となる。特に、インライ
ン型流体混合装置が防爆仕様で構成される場合には、上
記の効果が一層顕著となる。また、第１供給通路および
第２供給通路において連続的に導かれる流体を流量制御
するために混合開始時点で流量フィードバック制御が安
定するまでの期間において混合比が不安定となる場合に
比較して、流量設定可能な第１ポンプおよび第２ポンプ
から圧送される流体がインライン型ミキサへ送り込まれ
るので、混合装置の立上がり期間における混合比が安定
する利点がある。
【０００８】
【発明の他の態様】ここで、好適には、前記第１ポンプ
および第２ポンプは、流体を周期的に圧送するために加
圧される圧力室内の容積を変化させるためのダイヤフラ
ムを備え、そのダイヤフラムは圧力流体が周期的に作用
させられることにより往復駆動されるダイヤフラムポン
プすなわち容積型ポンプである。このようにすれば、ダ
イヤフラムの変形によって流体を圧送するために加圧さ
れる圧力室の容積が変化させられることから、摺動部分
がないので、高い耐久性や防爆性が得られる。
および第２ポンプは、流体を周期的に圧送するために加
圧される圧力室内の容積を変化させるためのダイヤフラ
ムを備え、そのダイヤフラムは圧力流体が周期的に作用
させられることにより往復駆動されるダイヤフラムポン
プすなわち容積型ポンプである。このようにすれば、ダ
イヤフラムの変形によって流体を圧送するために加圧さ
れる圧力室の容積が変化させられることから、摺動部分
がないので、高い耐久性や防爆性が得られる。
【０００９】また、好適には、前記第１脈動抑制弁およ
び第２脈動抑制弁は、その出力側の圧力が上昇した場合
にはその入力側と出力側との間の流通抵抗を増大させる
が、その出力側の圧力が下降した場合にはその入力側と
出力側との間の流通抵抗を減少させるものである。この
ようにすれば、入力側の圧力が上昇すると流通抵抗が高
められ、入力側の圧力が下降すると流通抵抗が低められ
ることにより入力側の脈動が抑制されるので、一定の絞
り弁を用いる場合に比較して、出力側圧力変動が抑制さ
れて混合精度が高められる。
び第２脈動抑制弁は、その出力側の圧力が上昇した場合
にはその入力側と出力側との間の流通抵抗を増大させる
が、その出力側の圧力が下降した場合にはその入力側と
出力側との間の流通抵抗を減少させるものである。この
ようにすれば、入力側の圧力が上昇すると流通抵抗が高
められ、入力側の圧力が下降すると流通抵抗が低められ
ることにより入力側の脈動が抑制されるので、一定の絞
り弁を用いる場合に比較して、出力側圧力変動が抑制さ
れて混合精度が高められる。
【００１０】また、好適には、前記第１脈動抑制弁およ
び第２脈動抑制弁は、その入力側の圧力変動に拘らず出
力側の圧力が一定となるように流体を制御する定圧制御
弁と、その定圧制御弁の出力側において直列に接続され
たオリフィスとからそれぞれ構成されるものである。こ
のようにすれば、後段のインライン型ミキサなどにおけ
る圧力変動の影響が上記オリフィスによって遮断される
ので、定圧制御弁の圧力制御が影響を受けない利点があ
る。
び第２脈動抑制弁は、その入力側の圧力変動に拘らず出
力側の圧力が一定となるように流体を制御する定圧制御
弁と、その定圧制御弁の出力側において直列に接続され
たオリフィスとからそれぞれ構成されるものである。こ
のようにすれば、後段のインライン型ミキサなどにおけ
る圧力変動の影響が上記オリフィスによって遮断される
ので、定圧制御弁の圧力制御が影響を受けない利点があ
る。
【００１１】
【発明の好適な実施の形態】以下、本発明の一実施例を
図面に基づいて詳細に説明する。
図面に基づいて詳細に説明する。
【００１２】図１において、インライン型流体混合装置
１０は、２種類の流体ＡおよびＢを混合するためのイン
ライン型ミキサ１２を備えている。このインライン型ミ
キサ１２は、たとえば長方形の板を１８０°だけ右回転
方向へねじった右ねじれ固定羽根と長方形の板を１８０
°だけ左回転方向へねじった左ねじれ固定羽根とが流体
の流れ方向すなわちミキサ１２の長手方向の複数箇所に
おいて交互に備えられて構成されたものであって、流通
する流体を分割しつつその流体に転換、反転運動を与え
ることにより、流体を均質に混合するものである。この
ようなインライン型ミキサ１２は、たとえばスタティッ
クミキサとも称される。
１０は、２種類の流体ＡおよびＢを混合するためのイン
ライン型ミキサ１２を備えている。このインライン型ミ
キサ１２は、たとえば長方形の板を１８０°だけ右回転
方向へねじった右ねじれ固定羽根と長方形の板を１８０
°だけ左回転方向へねじった左ねじれ固定羽根とが流体
の流れ方向すなわちミキサ１２の長手方向の複数箇所に
おいて交互に備えられて構成されたものであって、流通
する流体を分割しつつその流体に転換、反転運動を与え
ることにより、流体を均質に混合するものである。この
ようなインライン型ミキサ１２は、たとえばスタティッ
クミキサとも称される。
【００１３】上記インライン型流体混合装置１０は、管
路１４Ａおよび１４Ｂを介してそれぞれ導かれた流体Ａ
およびＢを周期的に圧送する容積型ポンプである空気ポ
ンプ１６Ａおよび１６Ｂと、その空気ポンプ１６Ａおよ
び１６Ｂから接続路１８Ａおよび１８Ｂを介してそれぞ
れ出力された流体ＡおよびＢの脈動を抑制する脈動抑制
弁２０Ａおよび２０Ｂと、流体ＡおよびＢの逆流を阻止
するための逆止弁２２Ａおよび２２Ｂとを備え、それら
逆止弁２２Ａおよび２２Ｂを通過した流体ＡおよびＢを
合流させてから前記インライン型ミキサ１２に供給する
ようになっている。このインライン型ミキサ１２の後段
の流通抵抗は略一定とされている。
路１４Ａおよび１４Ｂを介してそれぞれ導かれた流体Ａ
およびＢを周期的に圧送する容積型ポンプである空気ポ
ンプ１６Ａおよび１６Ｂと、その空気ポンプ１６Ａおよ
び１６Ｂから接続路１８Ａおよび１８Ｂを介してそれぞ
れ出力された流体ＡおよびＢの脈動を抑制する脈動抑制
弁２０Ａおよび２０Ｂと、流体ＡおよびＢの逆流を阻止
するための逆止弁２２Ａおよび２２Ｂとを備え、それら
逆止弁２２Ａおよび２２Ｂを通過した流体ＡおよびＢを
合流させてから前記インライン型ミキサ１２に供給する
ようになっている。このインライン型ミキサ１２の後段
の流通抵抗は略一定とされている。
【００１４】上記空気ポンプ１６Ａおよび１６Ｂは、互
いに同様の構成であって、その圧送流量が空気圧ＰFAお
よびＰFBにより設定可能に構成されている。また、上記
脈動抑制弁２０Ａおよび２０Ｂも、互いに同様の構成で
あって、入力側流体の圧力に拘らず出力側流体の圧力
を、制御圧に対応する値に保持することにより出力側流
体の振動を抑制するように構成されている。レギュレー
タ２４および２６は、上記空気ポンプ１６Ａおよび１６
Ｂの圧送流量を設定するための空気圧ＰFAおよびＰFBを
手動操作量にしたがってそれぞれ出力する。また、レギ
ュレータ２８および３０は、脈動抑制弁２０Ａおよび２
０Ｂの出力側圧力を設定するための制御圧（空気圧）Ｐ
PAおよびＰPBを手動操作量にしたがってそれぞれ出力す
る。なお、上記脈動抑制弁２０Ａおよび２０Ｂの出力圧
を監視するための１対の圧力計８０、８２が、脈動抑制
弁２０Ａおよび２０Ｂと逆止弁２２Ａおよび２２Ｂとの
間にそれぞれ設けられている。
いに同様の構成であって、その圧送流量が空気圧ＰFAお
よびＰFBにより設定可能に構成されている。また、上記
脈動抑制弁２０Ａおよび２０Ｂも、互いに同様の構成で
あって、入力側流体の圧力に拘らず出力側流体の圧力
を、制御圧に対応する値に保持することにより出力側流
体の振動を抑制するように構成されている。レギュレー
タ２４および２６は、上記空気ポンプ１６Ａおよび１６
Ｂの圧送流量を設定するための空気圧ＰFAおよびＰFBを
手動操作量にしたがってそれぞれ出力する。また、レギ
ュレータ２８および３０は、脈動抑制弁２０Ａおよび２
０Ｂの出力側圧力を設定するための制御圧（空気圧）Ｐ
PAおよびＰPBを手動操作量にしたがってそれぞれ出力す
る。なお、上記脈動抑制弁２０Ａおよび２０Ｂの出力圧
を監視するための１対の圧力計８０、８２が、脈動抑制
弁２０Ａおよび２０Ｂと逆止弁２２Ａおよび２２Ｂとの
間にそれぞれ設けられている。
【００１５】図２は、上記空気ポンプ１６Ａの構成を説
明する断面図である。空気ポンプ１６Ｂも同様の構成で
あるので、以下、空気ポンプ１６Ａを用いて説明する。
図２において、空気ポンプ１６Ａは、ハウジング３１内
において、流体を圧送するために連結シャフト３２によ
って互いの中央部が連結された円形の１対のダイヤフラ
ム３４および３６と、それらダイヤフラム３４および３
６の周期的弾性変形によりそれぞれの容積が周期的に変
化させられる左右１対の圧力室３８および４０と、それ
ら圧力室３８および４０と管路１４Ａが接続された入力
ポート４２との間に設けられた入力側逆止弁４４および
４６と、それら圧力室３８および４０と接続路１８Ａが
接続された出力ポート４８との間に設けられた出力側逆
止弁５０および５２と、上記ダイヤフラム３４および３
６を駆動するために空気圧ＰFAが切換弁５４を介して周
期的且つ交互に導入される１対の駆動室５６および５８
とを備え、上記圧力室３８および４０内の流体を交互に
圧送する所謂ダイヤフラムポンプである。
明する断面図である。空気ポンプ１６Ｂも同様の構成で
あるので、以下、空気ポンプ１６Ａを用いて説明する。
図２において、空気ポンプ１６Ａは、ハウジング３１内
において、流体を圧送するために連結シャフト３２によ
って互いの中央部が連結された円形の１対のダイヤフラ
ム３４および３６と、それらダイヤフラム３４および３
６の周期的弾性変形によりそれぞれの容積が周期的に変
化させられる左右１対の圧力室３８および４０と、それ
ら圧力室３８および４０と管路１４Ａが接続された入力
ポート４２との間に設けられた入力側逆止弁４４および
４６と、それら圧力室３８および４０と接続路１８Ａが
接続された出力ポート４８との間に設けられた出力側逆
止弁５０および５２と、上記ダイヤフラム３４および３
６を駆動するために空気圧ＰFAが切換弁５４を介して周
期的且つ交互に導入される１対の駆動室５６および５８
とを備え、上記圧力室３８および４０内の流体を交互に
圧送する所謂ダイヤフラムポンプである。
【００１６】これにより、図示しない駆動回路によって
一定の周期で作動させられる切換弁５４により、たとえ
ば駆動室５６内に空気圧ＰFAが導入されるとともに駆動
室５８内の空気が排出されると、連結シャフト３２によ
り連結された１対のダイヤフラム３４および３６が圧力
室３８側へ移動させられてその圧力室３８内の容積が小
さくされると同時に反対側の圧力室４０の容積が拡大さ
れるので、入力ポート４２の流体Ａは圧力室４０内へ吸
引されると同時に圧力室３８内の流体Ａは出力ポート４
８から圧送される。図２はこの状態を示している。ま
た、駆動室５８内に空気圧ＰFAが導入されるとともに駆
動室５６内の空気が排出されると、上記と反対の作動に
よって入力ポート４２の流体Ａは圧力室３８内へ吸引さ
れると同時に圧力室４０内の流体Ａは出力ポート４８か
ら圧送される。このような作動が繰り返されることによ
り、流体Ａは上記切換弁５４の切換周期に応じて周期的
に圧送される。
一定の周期で作動させられる切換弁５４により、たとえ
ば駆動室５６内に空気圧ＰFAが導入されるとともに駆動
室５８内の空気が排出されると、連結シャフト３２によ
り連結された１対のダイヤフラム３４および３６が圧力
室３８側へ移動させられてその圧力室３８内の容積が小
さくされると同時に反対側の圧力室４０の容積が拡大さ
れるので、入力ポート４２の流体Ａは圧力室４０内へ吸
引されると同時に圧力室３８内の流体Ａは出力ポート４
８から圧送される。図２はこの状態を示している。ま
た、駆動室５８内に空気圧ＰFAが導入されるとともに駆
動室５６内の空気が排出されると、上記と反対の作動に
よって入力ポート４２の流体Ａは圧力室３８内へ吸引さ
れると同時に圧力室４０内の流体Ａは出力ポート４８か
ら圧送される。このような作動が繰り返されることによ
り、流体Ａは上記切換弁５４の切換周期に応じて周期的
に圧送される。
【００１７】ここで、上記１対のダイヤフラム３４およ
び３６の変形量すなわち圧力室３８および４０の圧送容
積（周期的容積変化量）は、駆動室５６および５８に導
入される空気圧ＰFAに従って決定させられることから、
空気ポンプ１６Ａが流体Ａを圧送する流量はその空気圧
ＰFAにより設定されるようになっている。また、圧力室
３８および４０の容積はダイヤフラム３４および３６の
変形によってその容積が変化させられることから、空気
ポンプ１６Ａは、摺動部材を用いないで構成されている
ので、好適な防爆仕様となっている。
び３６の変形量すなわち圧力室３８および４０の圧送容
積（周期的容積変化量）は、駆動室５６および５８に導
入される空気圧ＰFAに従って決定させられることから、
空気ポンプ１６Ａが流体Ａを圧送する流量はその空気圧
ＰFAにより設定されるようになっている。また、圧力室
３８および４０の容積はダイヤフラム３４および３６の
変形によってその容積が変化させられることから、空気
ポンプ１６Ａは、摺動部材を用いないで構成されている
ので、好適な防爆仕様となっている。
【００１８】図３は、前記脈動抑制弁２０Ａの構成を説
明する断面図である。脈動抑制弁２０Ｂも同様の構成で
あるので、以下、脈動抑制弁２０Ａを用いて説明する。
図３において、脈動抑制弁２０Ａは、ハウジング５９内
に設けられた、入力ポート６０に連通する入力側弁室６
２および出力ポート６４に連通する出力側弁室６６と、
それら入力側弁室６２および出力側弁室６６との間の通
路６８を非接触状態で貫通させられてその通路６８を開
閉する弁子７０と、その弁子７０を移動可能とするため
のその両端を支持するために、入力側弁室６２に設けら
れた小径ダイヤフラム７２および出力側弁室６６に設け
られた大径ダイヤフラム７４と、上記小径ダイヤフラム
７２および大径ダイヤフラム７４の弁子７０とは反対側
に設けられて前記制御圧ＰPAが導かれる小径制御室７６
および大径制御室７８とを、備えている。この脈動抑制
弁２０Ａにおいても、弁子７０はダイヤフラム７２およ
び７４によって非接触状態で移動可能に支持されてお
り、摺動部材を用いないで構成されている。
明する断面図である。脈動抑制弁２０Ｂも同様の構成で
あるので、以下、脈動抑制弁２０Ａを用いて説明する。
図３において、脈動抑制弁２０Ａは、ハウジング５９内
に設けられた、入力ポート６０に連通する入力側弁室６
２および出力ポート６４に連通する出力側弁室６６と、
それら入力側弁室６２および出力側弁室６６との間の通
路６８を非接触状態で貫通させられてその通路６８を開
閉する弁子７０と、その弁子７０を移動可能とするため
のその両端を支持するために、入力側弁室６２に設けら
れた小径ダイヤフラム７２および出力側弁室６６に設け
られた大径ダイヤフラム７４と、上記小径ダイヤフラム
７２および大径ダイヤフラム７４の弁子７０とは反対側
に設けられて前記制御圧ＰPAが導かれる小径制御室７６
および大径制御室７８とを、備えている。この脈動抑制
弁２０Ａにおいても、弁子７０はダイヤフラム７２およ
び７４によって非接触状態で移動可能に支持されてお
り、摺動部材を用いないで構成されている。
【００１９】上記のように構成された脈動抑制弁２０Ａ
において、出力側の圧力ＰOUT が上昇した場合には、大
径ダイヤフラム７４の両面のうち出力側弁室６６側の面
に作用する圧力ＰOUT が増加するので、大径ダイヤフラ
ム７４および小径ダイヤフラム７２が変形して弁子７０
が通路６８に接近し、入力ポート６０と出力ポート６４
との間の流通抵抗が増大させられる。反対に、上記出力
側の圧力ＰOUT が下降した場合には、大径ダイヤフラム
７４の両面のうち出力側弁室６６側の面に作用する圧力
ＰOUT が減少するので、大径ダイヤフラム７４および小
径ダイヤフラム７２が変形して弁子７０が通路６８から
離隔し、入力ポート６０と出力ポート６４との間の流通
抵抗が減少させられる。これにより、入力側圧力の脈動
が好適に減衰させられて脈動抑制弁２０Ａから出力され
る。
において、出力側の圧力ＰOUT が上昇した場合には、大
径ダイヤフラム７４の両面のうち出力側弁室６６側の面
に作用する圧力ＰOUT が増加するので、大径ダイヤフラ
ム７４および小径ダイヤフラム７２が変形して弁子７０
が通路６８に接近し、入力ポート６０と出力ポート６４
との間の流通抵抗が増大させられる。反対に、上記出力
側の圧力ＰOUT が下降した場合には、大径ダイヤフラム
７４の両面のうち出力側弁室６６側の面に作用する圧力
ＰOUT が減少するので、大径ダイヤフラム７４および小
径ダイヤフラム７２が変形して弁子７０が通路６８から
離隔し、入力ポート６０と出力ポート６４との間の流通
抵抗が減少させられる。これにより、入力側圧力の脈動
が好適に減衰させられて脈動抑制弁２０Ａから出力され
る。
【００２０】ここで、小径制御室７６および大径制御室
７８には制御圧ＰPAが導かれていることから、上記小径
ダイヤフラム７２の受圧面積をＳ1 、大径ダイヤフラム
７４の受圧面積をＳ2 、入力側弁室６２内の圧力を
ＰIN、出力側弁室６６内の圧力をＰOUT とすると、次式
１が成立するように弁子７０が作動させられる。ここ
で、、小径ダイヤフラム７２の受圧面積Ｓ1 は大径ダイ
ヤフラム７４の受圧面積Ｓ2に比較して１／１０程度以
下に小さく決定されていることから、数式１の右辺第２
項は第１項に比較して相対的に１桁以上小さな値となる
ので、脈動抑制弁２０Ａの出力圧ＰOUT は、入力側の圧
力ＰINの変動に拘らず、制御圧ＰPAによって決定される
略一定の圧に保持されるようになっている。すなわち、
脈動抑制弁２０Ａおよび２０Ｂは、出力圧ＰOUT を制御
圧ＰPAに対応して決まる値に略一定に保持する定圧制御
弁として機能している。また、前述のように、インライ
ン型流体混合装置１０およびその後段の流通抵抗は一定
の系であるから、上記脈動抑制弁２０Ａおよび２０Ｂ
は、定流量制御弁としても機能しているのである。
７８には制御圧ＰPAが導かれていることから、上記小径
ダイヤフラム７２の受圧面積をＳ1 、大径ダイヤフラム
７４の受圧面積をＳ2 、入力側弁室６２内の圧力を
ＰIN、出力側弁室６６内の圧力をＰOUT とすると、次式
１が成立するように弁子７０が作動させられる。ここ
で、、小径ダイヤフラム７２の受圧面積Ｓ1 は大径ダイ
ヤフラム７４の受圧面積Ｓ2に比較して１／１０程度以
下に小さく決定されていることから、数式１の右辺第２
項は第１項に比較して相対的に１桁以上小さな値となる
ので、脈動抑制弁２０Ａの出力圧ＰOUT は、入力側の圧
力ＰINの変動に拘らず、制御圧ＰPAによって決定される
略一定の圧に保持されるようになっている。すなわち、
脈動抑制弁２０Ａおよび２０Ｂは、出力圧ＰOUT を制御
圧ＰPAに対応して決まる値に略一定に保持する定圧制御
弁として機能している。また、前述のように、インライ
ン型流体混合装置１０およびその後段の流通抵抗は一定
の系であるから、上記脈動抑制弁２０Ａおよび２０Ｂ
は、定流量制御弁としても機能しているのである。
【００２１】
【数１】 ＰOUT ＝ＰPA（Ｓ2 −Ｓ1 ）／Ｓ2 ＋ＰINＳ1 ／Ｓ2
【００２２】上記のようにして構成されたインライン型
流体混合装置１０においては、空気ポンプ１６Ａおよび
１６Ｂから周期的に圧送される流体Ａおよび流体Ｂは、
脈動抑制弁２０Ａおよび２０Ｂによってその圧力或いは
流量の脈動が抑制された後で合流させられてから、イン
ライン型ミキサ１２に供給されるので、高い混合精度が
得られる。特に、粘度が１００cp以下の流体について
は、一層高い混合精度が得られる。このようなインライ
ン型流体混合装置１０は、たとえばカセイソーダ、塩
酸、硫酸などの薬品の希釈、排水のＰＨ調整や、半導体
プロセスにおける腐食性薬品の調合などに好適に用いら
れる。このような腐食性薬品の場合には、ハウジング３
１、５９はチタン合金などの耐食性材料から構成された
り、四フッ化エチレン樹脂、ガラスなどの耐食性材料の
内張が設けられる。また、ダイヤフラム３４、３６、７
２、７４も、四フッ化エチレン樹脂などの耐食性材料か
ら構成される。
流体混合装置１０においては、空気ポンプ１６Ａおよび
１６Ｂから周期的に圧送される流体Ａおよび流体Ｂは、
脈動抑制弁２０Ａおよび２０Ｂによってその圧力或いは
流量の脈動が抑制された後で合流させられてから、イン
ライン型ミキサ１２に供給されるので、高い混合精度が
得られる。特に、粘度が１００cp以下の流体について
は、一層高い混合精度が得られる。このようなインライ
ン型流体混合装置１０は、たとえばカセイソーダ、塩
酸、硫酸などの薬品の希釈、排水のＰＨ調整や、半導体
プロセスにおける腐食性薬品の調合などに好適に用いら
れる。このような腐食性薬品の場合には、ハウジング３
１、５９はチタン合金などの耐食性材料から構成された
り、四フッ化エチレン樹脂、ガラスなどの耐食性材料の
内張が設けられる。また、ダイヤフラム３４、３６、７
２、７４も、四フッ化エチレン樹脂などの耐食性材料か
ら構成される。
【００２３】上述のように、本実施例によれば、流体Ａ
および流体Ｂがそれぞれ導かれる１対の供給通路（管路
１４Ａおよび接続路１８Ａ、管路１４Ｂおよび接続路１
８Ｂ）には、流量設定可能な空気ポンプ１６Ａおよび１
６Ｂと脈動抑制弁２０Ａおよび脈動抑制弁２０Ｂとがそ
れぞれ設けられ、空気ポンプ１６Ａおよび１６Ｂの流量
設定に従う作動によって流体Ａおよび流体Ｂがそれぞれ
周期的に圧送されるとともに、それら圧送された流体Ａ
および流体Ｂは、その脈動が脈動抑制弁２０Ａおよび脈
動抑制弁２０Ｂによってそれぞれ抑制されてから合流さ
せられてインライン型ミキサ１２へ送り込まれることに
より、混合される。このため、流量計、電子式流量コン
トローラ、電動ポンプなどの流体の流量制御のための制
御機器を用いないので、装置１０が簡単且つ小型に構成
されるとともに、装置１０が安価となる。特に、インラ
イン型流体混合装置が防爆仕様で構成される場合には、
上記の効果が一層顕著となる。
および流体Ｂがそれぞれ導かれる１対の供給通路（管路
１４Ａおよび接続路１８Ａ、管路１４Ｂおよび接続路１
８Ｂ）には、流量設定可能な空気ポンプ１６Ａおよび１
６Ｂと脈動抑制弁２０Ａおよび脈動抑制弁２０Ｂとがそ
れぞれ設けられ、空気ポンプ１６Ａおよび１６Ｂの流量
設定に従う作動によって流体Ａおよび流体Ｂがそれぞれ
周期的に圧送されるとともに、それら圧送された流体Ａ
および流体Ｂは、その脈動が脈動抑制弁２０Ａおよび脈
動抑制弁２０Ｂによってそれぞれ抑制されてから合流さ
せられてインライン型ミキサ１２へ送り込まれることに
より、混合される。このため、流量計、電子式流量コン
トローラ、電動ポンプなどの流体の流量制御のための制
御機器を用いないので、装置１０が簡単且つ小型に構成
されるとともに、装置１０が安価となる。特に、インラ
イン型流体混合装置が防爆仕様で構成される場合には、
上記の効果が一層顕著となる。
【００２４】また、本実施例によれば、流体Ａおよび流
体Ｂがそれぞれ導かれる１対の供給通路（管路１４Ａお
よび接続路１８Ａ、管路１４Ｂおよび接続路１８Ｂ）に
おいて、連続的に導かれる流体Ａおよび流体Ｂを流量制
御するために混合開始時点で流量フィードバック制御が
安定するまでの期間において混合比が不安定となる場合
に比較して、流量設定可能な空気ポンプ１６Ａおよび１
６Ｂから圧送される流体がインライン型ミキサ１２へ送
り込まれるので、混合装置１０の立上がり期間における
混合比が安定する利点がある。
体Ｂがそれぞれ導かれる１対の供給通路（管路１４Ａお
よび接続路１８Ａ、管路１４Ｂおよび接続路１８Ｂ）に
おいて、連続的に導かれる流体Ａおよび流体Ｂを流量制
御するために混合開始時点で流量フィードバック制御が
安定するまでの期間において混合比が不安定となる場合
に比較して、流量設定可能な空気ポンプ１６Ａおよび１
６Ｂから圧送される流体がインライン型ミキサ１２へ送
り込まれるので、混合装置１０の立上がり期間における
混合比が安定する利点がある。
【００２５】また、本実施例によれば、前記空気ポンプ
１６Ａおよび１６Ｂは、流体ＡおよびＢを圧送するため
に加圧される圧力室３８、４０内の容積を変化させるた
めのダイヤフラム３４、３６を備え、そのダイヤフラム
３４、３６は圧力流体が周期的に作用させられることに
より往復駆動されるダイヤフラムポンプであることか
ら、ダイヤフラム３４、３６の変形によって流体Ａ或い
はＢを圧送するために加圧される圧力室３８、４０の容
積が変化させられるので、摺動部分がなく、高い耐久性
や防爆性が得られる。
１６Ａおよび１６Ｂは、流体ＡおよびＢを圧送するため
に加圧される圧力室３８、４０内の容積を変化させるた
めのダイヤフラム３４、３６を備え、そのダイヤフラム
３４、３６は圧力流体が周期的に作用させられることに
より往復駆動されるダイヤフラムポンプであることか
ら、ダイヤフラム３４、３６の変形によって流体Ａ或い
はＢを圧送するために加圧される圧力室３８、４０の容
積が変化させられるので、摺動部分がなく、高い耐久性
や防爆性が得られる。
【００２６】また、本実施例によれば、脈動抑制弁２０
Ａおよび２０Ｂは、その出力側の圧力Ｐout が上昇した
場合にはその入力側と出力側との間の流通抵抗を増大さ
せるが、その出力側の圧力Ｐout が下降した場合にはそ
の入力側と出力側との間の流通抵抗を減少させるもので
あることから、入力側の圧力が上昇すると流通抵抗が高
められ、入力側の圧力が下降すると流通抵抗が低められ
ることにより入力側の脈動が抑制されるので、一定の絞
り弁を用いて脈動を抑制する場合に比較して、出力側圧
力変動が抑制されて混合精度が高められる。
Ａおよび２０Ｂは、その出力側の圧力Ｐout が上昇した
場合にはその入力側と出力側との間の流通抵抗を増大さ
せるが、その出力側の圧力Ｐout が下降した場合にはそ
の入力側と出力側との間の流通抵抗を減少させるもので
あることから、入力側の圧力が上昇すると流通抵抗が高
められ、入力側の圧力が下降すると流通抵抗が低められ
ることにより入力側の脈動が抑制されるので、一定の絞
り弁を用いて脈動を抑制する場合に比較して、出力側圧
力変動が抑制されて混合精度が高められる。
【００２７】また、本実施例によれば、脈動抑制弁２０
Ａおよび２０Ｂは、ダイヤフラム７２および７４によっ
て非接触状態で移動可能に支持された弁子７０を備えた
ものであることから、摺動部材を用いないで構成されて
いるので、好適な防爆仕様となっている。
Ａおよび２０Ｂは、ダイヤフラム７２および７４によっ
て非接触状態で移動可能に支持された弁子７０を備えた
ものであることから、摺動部材を用いないで構成されて
いるので、好適な防爆仕様となっている。
【００２８】以上、本発明の一実施例を図面を用いて説
明したが、本発明はその他の態様においても適用され
る。
明したが、本発明はその他の態様においても適用され
る。
【００２９】たとえば、前述の実施例のインライン型流
体混合装置１０は、２種類の流体ＡおよびＢを混合する
ように構成されていたが、３種類以上の流体を混合する
ものであってもよいし、インライン型ミキサ１２を複数
備えたものであってもよい。３種類以上の流体を混合す
る場合には、好適には、インライン型ミキサ１２から等
距離にそれら３種類以上の流体を合流させるミキシング
ポイントが設けられる。また、上記インライン型流体混
合装置１０により混合される流体を導く流路において、
かならずしも全ての流路に脈動抑制弁が設けられていな
くてもよい。また、上記インライン型流体混合装置１０
により混合される流体のうちの少なくとも１つは気体で
あってもよい。
体混合装置１０は、２種類の流体ＡおよびＢを混合する
ように構成されていたが、３種類以上の流体を混合する
ものであってもよいし、インライン型ミキサ１２を複数
備えたものであってもよい。３種類以上の流体を混合す
る場合には、好適には、インライン型ミキサ１２から等
距離にそれら３種類以上の流体を合流させるミキシング
ポイントが設けられる。また、上記インライン型流体混
合装置１０により混合される流体を導く流路において、
かならずしも全ての流路に脈動抑制弁が設けられていな
くてもよい。また、上記インライン型流体混合装置１０
により混合される流体のうちの少なくとも１つは気体で
あってもよい。
【００３０】また、上記脈動制御弁２０Ａ、２０Ｂとイ
ンライン型ミキサ１２との間に、必要に応じて設けられ
るミキシングポイントには、たとえば特開平１０−２９
２８７１号公報（特願平９−１１５２５５号）に記載さ
れたような、遮断した混合液が少しずつ流れ出すことを
防止する形式のミキシング弁が設けられてもよい。すな
わち、このようなミキシング弁は、副流体流入口と、そ
の副流体流入口と連通する上向きの連通流路と、その連
通流路の上端を開閉する弁装置と、上記連通流路の上端
が位置する流路壁面の下側に供給用開口が形成された主
流路とを備え、上記副流体流入口から連通流路および供
給用開口を通って上向きに主流路へ供給される副流路
を、上記連通流路上端の開閉により主流路内へ供給およ
び供給停止させるように構成される。
ンライン型ミキサ１２との間に、必要に応じて設けられ
るミキシングポイントには、たとえば特開平１０−２９
２８７１号公報（特願平９−１１５２５５号）に記載さ
れたような、遮断した混合液が少しずつ流れ出すことを
防止する形式のミキシング弁が設けられてもよい。すな
わち、このようなミキシング弁は、副流体流入口と、そ
の副流体流入口と連通する上向きの連通流路と、その連
通流路の上端を開閉する弁装置と、上記連通流路の上端
が位置する流路壁面の下側に供給用開口が形成された主
流路とを備え、上記副流体流入口から連通流路および供
給用開口を通って上向きに主流路へ供給される副流路
を、上記連通流路上端の開閉により主流路内へ供給およ
び供給停止させるように構成される。
【００３１】また、前述の実施例の空気ポンプ１６Ａお
よび１６Ｂは、空圧によって駆動されるダイヤフラム型
ポンプすなわち容積型ポンプであったが、空圧駆動に代
えて油圧駆動であってもよいし、電気モータによって駆
動されるピストン型ポンプ、ルーツ型ポンプ、ギヤ型ポ
ンプなどの容積型ポンプや、渦流ポンプなどの非容積型
ポンプであっても差し支えない。
よび１６Ｂは、空圧によって駆動されるダイヤフラム型
ポンプすなわち容積型ポンプであったが、空圧駆動に代
えて油圧駆動であってもよいし、電気モータによって駆
動されるピストン型ポンプ、ルーツ型ポンプ、ギヤ型ポ
ンプなどの容積型ポンプや、渦流ポンプなどの非容積型
ポンプであっても差し支えない。
【００３２】また、前述の実施例の空気ポンプ１６Ａお
よび１６Ｂは、１対のダイヤフラム３４、３６によって
圧力室３８、４０から流体が圧送されるように構成され
ていたが、単一のダイヤフラムにより容積変化が行われ
る単一の圧力室を備えたものであっても差し支えない。
よび１６Ｂは、１対のダイヤフラム３４、３６によって
圧力室３８、４０から流体が圧送されるように構成され
ていたが、単一のダイヤフラムにより容積変化が行われ
る単一の圧力室を備えたものであっても差し支えない。
【００３３】また、前述の実施例のインライン型ミキサ
１２は、右ねじれ固定型混合羽根および左ねじれ固定型
混合羽根がその長手方向の複数箇所において交互に備え
られて構成されたものであったが、回転駆動される混合
羽根を備えたものであっても差し支えない。
１２は、右ねじれ固定型混合羽根および左ねじれ固定型
混合羽根がその長手方向の複数箇所において交互に備え
られて構成されたものであったが、回転駆動される混合
羽根を備えたものであっても差し支えない。
【００３４】また、前述の実施例の脈動抑制弁２０Ａ、
２０Ｂの出力側にオリフィス（絞り）が直列に設けられ
ていてもよい。このようにすれば、後段のインライン型
ミキサ１２などにおける圧力変動の影響が上記オリフィ
スによって遮断されるので、脈動抑制弁２０Ａ、２０Ｂ
の圧力制御が影響を受けない利点がある。
２０Ｂの出力側にオリフィス（絞り）が直列に設けられ
ていてもよい。このようにすれば、後段のインライン型
ミキサ１２などにおける圧力変動の影響が上記オリフィ
スによって遮断されるので、脈動抑制弁２０Ａ、２０Ｂ
の圧力制御が影響を受けない利点がある。
【００３５】また、前述の実施例の脈動抑制弁２０Ａ、
２０Ｂに代えて、一定の流通抵抗を与えることより脈動
を抑制する絞り弁などが脈動抑制弁として設けられても
差し支えない。
２０Ｂに代えて、一定の流通抵抗を与えることより脈動
を抑制する絞り弁などが脈動抑制弁として設けられても
差し支えない。
【００３６】また、前述の実施例のインライン型流体混
合装置１０において、その下流側に流量を一定に制御す
る装置、流量を積算する装置、濃度を制御する装置、Ｐ
Ｈを制御する装置、定量をボトリングする装置などが設
けられ得る。
合装置１０において、その下流側に流量を一定に制御す
る装置、流量を積算する装置、濃度を制御する装置、Ｐ
Ｈを制御する装置、定量をボトリングする装置などが設
けられ得る。
【００３７】なお、上述したのはあくまでも本発明の一
実施例であり、本発明はその主旨を逸脱しない範囲にお
いて種々の変更が加えられ得るものである。
実施例であり、本発明はその主旨を逸脱しない範囲にお
いて種々の変更が加えられ得るものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例のインライン型流体混合装置
の構成を説明する配管図である。
の構成を説明する配管図である。
【図２】図１の空気ポンプの構成を説明する断面図であ
る。
る。
【図３】図１の脈動抑制弁の構成を説明する断面図であ
る。
る。
１０：インライン型流体混合装置 １４Ａ：管路、１８Ａ：接続路（第１供給通路） １４Ｂ：管路、１８Ｂ：接続路（第２供給通路） １６Ａ：空気ポンプ（第１容積型ポンプ） １６Ｂ：空気ポンプ（第２容積型ポンプ） ２０Ａ：脈動抑制弁（第１脈動抑制弁） ２０Ｂ：脈動抑制弁（第２脈動抑制弁） ３４、３６：ダイヤフラム
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ０１Ｆ 15/04 Ｂ０１Ｆ 15/04 Ａ Ｆ０４Ｂ 43/06 Ｇ０５Ｄ 7/03 Ｇ０５Ｄ 7/03 Ｆ０４Ｂ 43/06 Ｂ (72)発明者 東山 明 愛知県名古屋市西区則武新町三丁目１番36 号 株式会社ノリタケカンパニーリミテド 内 (72)発明者 松沢 広宣 愛知県稲沢市木全町庄５丁目21番地 Ｆターム(参考） 3H077 CC02 CC09 CC17 DD14 EE36 EE37 FF06 4G035 AB37 AC01 AE02 4G037 AA02 AA18 BA01 BB01 BB06 BB30 BD01 EA01 5H307 BB05 CC07 DD11 DD12 EE02 EE08 EE12 EE22 EE26 ES02 ES06 5H309 BB11 BB12 CC20 EE06 FF04 FF18 FF20 GG01
Claims (4)
- 【請求項１】 少なくとも第１供給通路および第２供給
通路を介してそれぞれ連続的に導かれる２以上の流体を
合流させてインライン型ミキサに送り込むことにより、
予め設定された一定の比率で該２以上の流体を混合する
インライン型流体混合装置であって、 前記第１供給通路および第２供給通路にそれぞれ設けら
れ、前記流体を前記インライン型ミキサに向かって圧送
する流量設定可能な第１ポンプおよび第２ポンプと、 前記第１供給通路および第２供給通路の前記第１ポンプ
および第２ポンプの下流側においてそれぞれ直列に接続
され、該第１ポンプおよび第２ポンプから出力される流
体の脈動をそれぞれ抑制する第１脈動抑制弁および第２
脈動抑制弁とを、含むことを特徴とするインライン型流
体混合装置。 - 【請求項２】 前記第１ポンプおよび第２ポンプは、流
体を周期的に圧送するために加圧される圧力室内の容積
を変化させるためのダイヤフラムを備え、該ダイヤフラ
ムは圧力流体が周期的に作用させられることにより往復
駆動されるダイヤフラムポンプである請求項１のインラ
イン型流体混合装置。 - 【請求項３】 前記第１脈動抑制弁および第２脈動抑制
弁は、その出力側の圧力が上昇した場合には入力側と出
力側との間の流通抵抗を増大させるが、その出力側の圧
力が下降した場合にはその流通抵抗を減少させるもので
ある請求項１または２のインライン型流体混合装置。 - 【請求項４】 前記第１脈動抑制弁および第２脈動抑制
弁は、その入力側の圧力変動に拘らず出力側の圧力が一
定となるように流体を制御する定圧制御弁と、その定圧
制御弁の出力側において直列に接続されたオリフィスと
からそれぞれ構成されるものである請求項１または２の
インライン型流体混合装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11049582A JP2000250634A (ja) | 1999-02-26 | 1999-02-26 | インライン型流体混合装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11049582A JP2000250634A (ja) | 1999-02-26 | 1999-02-26 | インライン型流体混合装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000250634A true JP2000250634A (ja) | 2000-09-14 |
Family
ID=12835224
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11049582A Pending JP2000250634A (ja) | 1999-02-26 | 1999-02-26 | インライン型流体混合装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000250634A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002085950A (ja) * | 2000-09-18 | 2002-03-26 | Horiba Ltd | 流体混合装置 |
| US7377685B2 (en) * | 2002-08-21 | 2008-05-27 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Apparatus and process for mixing at least two fluids |
| JP2010507393A (ja) * | 2006-10-23 | 2010-03-11 | グローバル アグリカルチュラル テクノロジー アンド エンジニアリング リミテッド ライアビリティ カンパニー | モジュール型液体注入混合及び送達システム |
| US7810988B2 (en) | 2003-04-07 | 2010-10-12 | Asahi Organic Chemicals Industry Co., Ltd. | Fluid mixer for mixing fluids at an accurate mixing ratio |
| WO2013061824A1 (ja) * | 2011-10-27 | 2013-05-02 | クリーンメカニカル株式会社 | 混合システム |
| JP2019018473A (ja) * | 2017-07-19 | 2019-02-07 | 東芝テック株式会社 | 液体循環装置、液体噴射記録装置、液体供給装置 |
-
1999
- 1999-02-26 JP JP11049582A patent/JP2000250634A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002085950A (ja) * | 2000-09-18 | 2002-03-26 | Horiba Ltd | 流体混合装置 |
| US7377685B2 (en) * | 2002-08-21 | 2008-05-27 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Apparatus and process for mixing at least two fluids |
| US8282265B2 (en) | 2002-08-21 | 2012-10-09 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Apparatus for mixing at least two fluids in a pulsating manner |
| US7810988B2 (en) | 2003-04-07 | 2010-10-12 | Asahi Organic Chemicals Industry Co., Ltd. | Fluid mixer for mixing fluids at an accurate mixing ratio |
| JP2010507393A (ja) * | 2006-10-23 | 2010-03-11 | グローバル アグリカルチュラル テクノロジー アンド エンジニアリング リミテッド ライアビリティ カンパニー | モジュール型液体注入混合及び送達システム |
| WO2013061824A1 (ja) * | 2011-10-27 | 2013-05-02 | クリーンメカニカル株式会社 | 混合システム |
| JP2013094683A (ja) * | 2011-10-27 | 2013-05-20 | Clean Mechanical Kk | 混合システム |
| JP2019018473A (ja) * | 2017-07-19 | 2019-02-07 | 東芝テック株式会社 | 液体循環装置、液体噴射記録装置、液体供給装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| SU1403988A3 (ru) | Система дозировани сиропа с последующим смешиванием | |
| CN102138007B (zh) | 反渗透设备 | |
| US7054719B2 (en) | System and method for point of use delivery, control and mixing chemical and slurry for CMP/cleaning system | |
| JP3806859B2 (ja) | ダイヤフラムポンプ | |
| US20030194332A1 (en) | Diaphragm pump | |
| EP2357034A1 (en) | Liquid mixing device | |
| EP0958038A1 (en) | A mixing or dissolving apparatus | |
| JP2009525728A5 (ja) | ||
| JP2000250634A (ja) | インライン型流体混合装置 | |
| US5564595A (en) | Chemical dispensing system | |
| US20050052509A1 (en) | Microfluidic system | |
| WO2009036363A2 (en) | Pumping system with precise ratio output | |
| US20070215214A1 (en) | Valve and Fluid System with the Valve | |
| US6264174B1 (en) | High pressure tank for an emulsifier | |
| US3515164A (en) | Flow delivery system | |
| JP2009219957A (ja) | 気液混合システム及び気液混合方法 | |
| CN209109183U (zh) | 连续反应装置 | |
| EP4081877A1 (en) | Scaleable inline buffer dilution scheme | |
| KR102645348B1 (ko) | 산업용 펌프 | |
| CN215170670U (zh) | 一种单进双出双腔微型泵 | |
| KR200438967Y1 (ko) | 무맥동 정량펌프 | |
| Eggert | Dosing pumps with innovative drive concept | |
| KR20040110489A (ko) | 반도체 제조 공정에서 사용되는 약액 공급 장치 | |
| Ultra | Gorman-Rupp pumping stations equipped with Ultra V | |
| SU1357363A1 (ru) | Устройство дл автоматического регулировани процесса обеззараживани жидкостей |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040323 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040524 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050222 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050628 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050829 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20050913 |
|
| A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20051019 |
|
| A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20051118 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070122 |