JP2000247619A - Production of flexible graphite sheet - Google Patents

Production of flexible graphite sheet

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JP2000247619A
JP2000247619A JP11050016A JP5001699A JP2000247619A JP 2000247619 A JP2000247619 A JP 2000247619A JP 11050016 A JP11050016 A JP 11050016A JP 5001699 A JP5001699 A JP 5001699A JP 2000247619 A JP2000247619 A JP 2000247619A
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graphite sheet
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producing
heat treatment
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昭 田尾本
Toyoichi Ozaki
豊一 尾崎
Yoshimasa Oki
芳正 大木
Soji Tsuchiya
宗次 土屋
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To control a thickness after baking with good efficiency and to produce a sheet which is strong to bending and is highly flexible with a good reproducibility by baking a polyimide film at a specific temperature or above in inert gas and holding the film for a specified time at a specified temperature in a specific temperature range. SOLUTION: In a heat treatment process for producing the graphite sheet by baking the polyimide film of a film thickness of 50 to 300 μm at >=2500 deg.C by heating up the film with a combination of a heating up rate from room temperature to a heating up rate of <=30 deg.C/minute in the inert gas, the film is held for: the specified time at the specified temperature between 1800 and 2500 deg.C, by which the thickness after the baking is controlled and the graphite sheet is obtained. The thickness of the graphite sheet after the baking is larger than the thickness of the polyimide film of starting raw material and the thickness of the sheet is larger as the holding time at the specified temperature is shorter. Further, the graphite sheet after the baking is subjected to a rolling treatment, by which the flexibility and homogeneity, such as uniformity, may be improved.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は電気伝導体あるいは
熱伝導体として放熱材、均熱材に利用される柔軟性のあ
るグラファイトシートの製造方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing a flexible graphite sheet used as a heat radiating material or a heat equalizing material as an electric conductor or a heat conductor.

【0002】[0002]

【従来の技術】ポリイミドフィルムを熱処理及び圧延処
理によって柔軟性のあるグラファイトシートを直接的に
得る方法がすでに特公平1−49642号公報で知られ
ている。このシートの特性としては単結晶グラファイト
と同様なものを持ち、鱗片状の剥離や、残留酸などの問
題が無く、高品質で折れ曲げに強く柔軟性に富む熱伝導
性に優れた、グラファイトシートが得られる。
2. Description of the Related Art A method for directly obtaining a flexible graphite sheet by heat treatment and rolling treatment of a polyimide film is already known from Japanese Patent Publication No. 1-49642. The properties of this sheet are the same as those of single-crystal graphite, with no problems such as scale-like exfoliation and residual acid, high quality, high bending resistance, excellent flexibility, and excellent thermal conductivity. Is obtained.

【0003】グラファイトシートの製造方法は、原料と
してはグラファイト化反応が可能である縮合系芳香族高
分子フィルムの中でも芳香族系ポリイミド高分子フィル
ムを選択し、窒素やArなどの不活性ガス雰囲気中で予
備熱処理を行い、その後、さらに同じく不活性ガス雰囲
気中で、ある昇温速度で高温熱処理を行う。
[0003] A method for producing a graphite sheet is to select an aromatic polyimide polymer film among condensed aromatic polymer films capable of a graphitization reaction as a raw material, and to perform the reaction in an atmosphere of an inert gas such as nitrogen or Ar. , And then a high-temperature heat treatment is performed at a certain rate in an inert gas atmosphere.

【0004】この時の予備熱処理と高温熱処理時の昇温
速度などの焼成条件を制御することによって、焼成後の
厚さを制御したグラファイトシートを作製することがで
き、焼成後の厚さが原料のポリイミドフィルムより厚い
ことにより、折れ曲げに強く柔軟性に富むグラファイト
シートとなる。
By controlling the firing conditions such as the rate of temperature rise during the preliminary heat treatment and the high-temperature heat treatment at this time, a graphite sheet having a controlled thickness after firing can be produced. By being thicker than the polyimide film, a graphite sheet which is strong in bending and highly flexible can be obtained.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】これらの発明により、
予備熱処理と高温熱処理時の昇温速度等の焼成条件を制
御することによって、焼成後の厚さを制御したグラファ
イトシートを作製することができる。しかしながら、焼
成条件には多数のパラメータがあるために、これらを制
御することが必要であり、うまく焼成条件を制御できな
いと、焼成後のグラファイトはボロボロになりシート形
状とならなかったり、十分に厚くならず柔軟性をもたせ
ることが困難となる。
According to these inventions,
By controlling the firing conditions such as the rate of temperature increase during the preliminary heat treatment and the high-temperature heat treatment, a graphite sheet having a controlled thickness after firing can be produced. However, since there are many parameters in the firing conditions, it is necessary to control them.If the firing conditions are not properly controlled, the graphite after firing will be ragged and will not have a sheet shape, or will be sufficiently thick. However, it is difficult to provide flexibility.

【0006】本発明はこれらの課題を解決するためにな
されたもので、ポリイミドフィルムを不活性ガス中で室
温から昇温し、2500℃以上の温度で焼成してグラフ
ァイトシートを製造する熱処理工程において、1800
℃から2500℃の間の一定温度で一定時間保持するこ
とにより、焼成後の厚さを制御することを目的とするも
のである。
The present invention has been made to solve these problems. In a heat treatment step of producing a graphite sheet by heating a polyimide film from room temperature in an inert gas and firing at a temperature of 2500 ° C. or more. , 1800
The purpose of the present invention is to control the thickness after sintering by maintaining the temperature at a constant temperature between ℃ and 2500 ℃ for a certain time.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明は、ポリイミドフィルムを不活性ガス中で室温
からある昇温速度で2500℃以上の最高焼成温度まで
昇温させ焼成してグラファイトシートを製造する熱処理
工程において、1800℃から2500℃の間の一定温
度で一定時間保持することより、効率良く焼成後の厚さ
を制御でき、折れ曲げに強く柔軟性に富むグラファイト
シートを再現性良く製造することができる。
SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve this problem, the present invention relates to a method of raising the temperature of a polyimide film from room temperature to a maximum firing temperature of 2500 ° C. or more in an inert gas at a certain heating rate, and firing the graphite film. In the heat treatment process for producing the sheet, by maintaining the temperature at a constant temperature between 1800 ° C. and 2500 ° C. for a certain period of time, the thickness after firing can be controlled efficiently, and a graphite sheet which is strong in bending and highly flexible can be reproduced. Can be manufactured well.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】請求項1に記載の本発明は、ポリ
イミドフィルムを不活性ガス中で室温から昇温し250
0℃以上の温度で焼成してグラファイトシートを製造す
る熱処理工程において、1800℃から2500℃の間
の一定温度で一定時間保持することにより、焼成後の厚
さを制御することを特徴とする柔軟性のあるグラファイ
トシートの製造方法である。このような構成により、焼
成後の厚さを制御することができるため、柔軟性、強靱
性に富み、熱伝導性に優れたグラファイトシートを得る
ことができる。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION According to the present invention, a polyimide film is heated from room temperature in an inert gas to a temperature of 250.degree.
In a heat treatment step of producing a graphite sheet by firing at a temperature of 0 ° C. or more, the thickness after firing is controlled by maintaining the temperature at a constant temperature of 1800 ° C. to 2500 ° C. for a certain time. This is a method for producing a graphite sheet having flexibility. With such a configuration, the thickness after firing can be controlled, so that a graphite sheet having excellent flexibility, toughness, and excellent thermal conductivity can be obtained.

【0009】請求項2に記載のように、昇温速度が30
℃/min以下のいずれかの昇温速度の組み合わせから
なることが望ましい。
According to a second aspect of the present invention, the heating rate is 30
It is desirable to use a combination of any of the heating rates of not more than ° C / min.

【0010】請求項3に記載のように、1800℃から
2500℃の間での一定温度での保持時間が20時間以
下とすることにより、焼成後の厚さを制御することがで
きる。
The thickness after firing can be controlled by setting the holding time at a constant temperature between 1800 ° C. and 2500 ° C. to 20 hours or less.

【0011】請求項4に記載のように、1800℃から
2500℃の間の2つ以上の一定温度で一定時間保持す
ることも可能である。
[0011] As described in claim 4, it is also possible to hold at two or more constant temperatures between 1800 ° C and 2500 ° C for a fixed time.

【0012】また、請求項5に記載のように、1800
℃から2500℃の間の温度領域の一部または全部を
0.1℃/minから1℃/minの間の昇温速度で昇
温することも可能である。
[0012] Further, as described in claim 5, 1800
It is also possible to raise a part or all of the temperature range between ℃ and 2500 ° C. at a heating rate between 0.1 ° C./min and 1 ° C./min.

【0013】また、請求項6に記載のように、温度25
00℃以上での最高熱処理温度の保持時間が20時間以
下とすることにより、焼成後の厚さを制御することがで
きる。
[0013] According to a sixth aspect of the present invention, the temperature of 25
By setting the holding time of the maximum heat treatment temperature at 00 ° C. or more to 20 hours or less, the thickness after firing can be controlled.

【0014】請求項7に記載のように熱処理工程が室温
から昇温して温度1000℃から1600℃まで焼成す
る予備熱処理工程と、その後さらに室温から温度250
0℃以上の最高焼成温度で焼成する高温熱処理工程との
組み合わせからなることも可能である。
A preliminary heat treatment step in which the temperature is raised from room temperature and baked from 1000 ° C. to 1600 ° C., and then further from room temperature to 250 ° C.
It is also possible to use a combination with a high-temperature heat treatment step of firing at a maximum firing temperature of 0 ° C. or more.

【0015】請求項8に記載のように、焼成後のグラフ
ァイトシートの厚さは、出発原料のポリイミドフィルム
の厚さより厚いことが望ましい。このようなシートは柔
軟性、強靱性に優れたシートとなる。
As described in claim 8, the thickness of the graphite sheet after firing is desirably greater than the thickness of the starting polyimide film. Such a sheet becomes a sheet excellent in flexibility and toughness.

【0016】請求項9に記載のように、出発原料である
ポリイミドフィルムの膜厚が50μm以上300μm以
下であることが好適である。
It is preferable that the thickness of the polyimide film, which is a starting material, is 50 μm or more and 300 μm or less.

【0017】さらに、請求項10に記載のように、焼成
後のグラファイトシートを圧延処理することによりグラ
ファイトシートの柔軟性や均質性を向上させても良い。
Further, as described in claim 10, the flexibility and homogeneity of the graphite sheet may be improved by rolling the fired graphite sheet.

【0018】(実施例1)出発原料のポリイミドフィル
ムとして、東レ・デュポン社製(商品名カプトン)の厚
さ125μmのものを用いて実験を行った。予備熱処理
として、窒素雰囲気中で昇温速度を5℃/minで最高
処理温度を1200℃まで上げ、1200℃で2時間保
持した後、室温まで温度を下げて取り出した。さらに高
温熱処理として、Arガス雰囲気下で昇温速度を5℃/
minとして、2200℃まで上昇させ2200℃で1
時間保持した後、さらに昇温速度を5℃/minとし
て、最高処理温度2700℃まで上昇させ、2700℃
で1時間保持した後に、室温まで温度を下げて熱処理を
行った。
(Example 1) An experiment was conducted using a polyimide film as a starting material having a thickness of 125 µm manufactured by Toray DuPont (trade name: Kapton). As a preliminary heat treatment, the maximum treatment temperature was increased to 1200 ° C. at a rate of 5 ° C./min in a nitrogen atmosphere, and the temperature was kept at 1200 ° C. for 2 hours. Further, as a high-temperature heat treatment, the temperature is raised at a rate of 5 ° C. /
min to 2200 ° C and 1 at 2200 ° C
After holding for a period of time, the temperature was further increased at a rate of 5 ° C./min to a maximum processing temperature of 2700 ° C.
, And the temperature was lowered to room temperature to perform a heat treatment.

【0019】このようにして熱処理を行い焼成したグラ
ファイトシートの厚さは約500μmであり、出発原料
のポリイミドフィルムの厚さより厚い状態にあった。こ
のグラファイトシートは折り曲げが可能で柔軟性を持っ
ていた。さらに、このグラファイトシートを圧延処理す
ることにより、圧延前に比較して柔軟性が向上し厚さ等
の均質性が向上した。
The thickness of the graphite sheet fired and heat-treated in this manner was about 500 μm, which was larger than the thickness of the starting polyimide film. This graphite sheet was foldable and flexible. Furthermore, by rolling this graphite sheet, flexibility was improved and homogeneity such as thickness was improved as compared to before rolling.

【0020】(実施例2)本実施例では、高温熱処理で
の2200℃での保持時間をなしとさせたこと以外には
実施例1と同様の熱処理工程によりグラファイトシート
を作製した。このようにして熱処理を行い焼成したグラ
ファイトはボロボロとなりシート形状とはならなかっ
た。
Example 2 In this example, a graphite sheet was produced by the same heat treatment process as in Example 1 except that the holding time at 2200 ° C. in the high-temperature heat treatment was omitted. The graphite thus heat-treated and fired was tattered and did not have a sheet shape.

【0021】(実施例3)本実施例では、高温熱処理で
の2200℃での保持時間を4及び8時間とさせたこと
以外には実施例1と同様の熱処理工程によりグラファイ
トシートを作製した。このようにして熱処理を行い焼成
したグラファイトシートの膜厚は、2200℃で4時間
保持したグラファイトシートでは約350μm、220
0℃で8時間保持したグラファイトシートでは約250
μmであり、2200℃での保持時間を制御することに
より、焼成後の厚さを制御することができた。これらの
グラファイトシートは、いずれも出発原料のポリイミド
フィルムの厚さより厚い状態にあり、折り曲げが可能で
柔軟性を持っていた。さらに、このグラファイトシート
を圧延処理することにより、圧延前に比較して柔軟性が
向上し厚さ等の均質性が向上した。
Example 3 In this example, a graphite sheet was produced by the same heat treatment process as in Example 1 except that the holding time at 2200 ° C. in the high-temperature heat treatment was set to 4 and 8 hours. The thickness of the graphite sheet fired and baked in this manner is about 350 μm, 220 μm for the graphite sheet held at 2200 ° C. for 4 hours.
About 250 for graphite sheet held at 0 ° C for 8 hours
The thickness after firing was able to be controlled by controlling the holding time at 2200 ° C. Each of these graphite sheets was in a state thicker than the thickness of the polyimide film as a starting material, and could be bent and had flexibility. Furthermore, by rolling this graphite sheet, flexibility was improved and homogeneity of thickness and the like was improved as compared with before the rolling.

【0022】(実施例4)本実施例では、予備熱処理及
び2200℃までの高温熱処理での昇温速度を10℃/
minとした以外には実施例1と同様の熱処理工程によ
りグラファイトシートを作製した。このようにして熱処
理を行い焼成したグラファイトシートの膜厚は約200
μmであった。柔軟性はあるものの、実施例1に比較す
ると柔軟性は乏しかった。
(Embodiment 4) In this embodiment, the rate of temperature increase in the preliminary heat treatment and the high-temperature heat treatment up to 2200 ° C. is 10 ° C. /
A graphite sheet was produced by the same heat treatment as in Example 1 except that the temperature was changed to min. The thickness of the graphite sheet thus heat-treated and fired is about 200.
μm. Although there was flexibility, the flexibility was poor as compared with Example 1.

【0023】(実施例5)本実施例では、高温処理の最
高熱処理温度を2900℃としたこと以外は、実施の形
態4と同様にグラファイトシートを作製した。このよう
にして熱処理を行い焼成したグラファイトシートの厚さ
は約500μmであり、出発原料のポリイミドフィルム
の厚さより厚い状態にあり、折り曲げが可能で柔軟性を
持っていた。さらに、このグラファイトシートを圧延処
理することにより、圧延前に比較して柔軟性が向上し厚
さ等の均質性が向上した。
Example 5 In this example, a graphite sheet was produced in the same manner as in Example 4, except that the maximum heat treatment temperature in the high-temperature treatment was 2900 ° C. The thickness of the graphite sheet that had been heat-treated and fired in this manner was about 500 μm, which was thicker than the thickness of the starting polyimide film, and was foldable and flexible. Furthermore, by rolling this graphite sheet, flexibility was improved and homogeneity such as thickness was improved as compared to before rolling.

【0024】(実施例6)本実施例では、高温熱処理工
程中の保持温度を2000℃及び2400℃とさせたこ
と以外には実施例1と同様にグラファイトシートを作製
した。このようにして熱処理を行い焼成したグラファイ
トシートの厚さは保持温度が2000℃では約550μ
mであり、2400℃では約450μmであり、出発原料
のポリイミドフィルムの厚さより厚い状態にあり、折り
曲げが可能で柔軟性を持っていた。さらに、このグラフ
ァイトシートを圧延処理することにより、圧延前に比較
して柔軟性が向上し厚さ等の均質性が向上した。
(Example 6) In this example, a graphite sheet was produced in the same manner as in Example 1, except that the holding temperature during the high-temperature heat treatment step was set at 2000 ° C and 2400 ° C. The thickness of the graphite sheet thus heat-treated and fired is about 550 μm at a holding temperature of 2000 ° C.
m and about 450 μm at 2400 ° C., which was thicker than the thickness of the starting polyimide film, and could be bent and had flexibility. Furthermore, by rolling this graphite sheet, flexibility was improved and homogeneity such as thickness was improved as compared to before rolling.

【0025】(実施例7)本実施例では、高温熱処理工
程中において2200℃で1時間の保持を行なう代わり
に、2150℃〜2250℃の間の温度を0.5℃/m
inの昇温速度で昇温させたこと以外には実施例1と同
様にグラファイトシートを作製した。このようにして熱
処理を行い焼成したグラファイトシートの厚さは約45
0μmであり、出発原料のポリイミドフィルムの厚さよ
り厚い状態にあり、折り曲げが可能で柔軟性を持ってい
た。さらに、このグラファイトシートを圧延処理するこ
とにより、圧延前に比較して柔軟性が向上し厚さ等の均
質性が向上した。
(Embodiment 7) In this embodiment, a temperature between 2150 ° C. and 2250 ° C. is set to 0.5 ° C./m instead of holding at 2200 ° C. for one hour during the high-temperature heat treatment step.
A graphite sheet was prepared in the same manner as in Example 1 except that the temperature was raised at a rate of temperature increase of in. The heat-treated and fired graphite sheet has a thickness of about 45.
The thickness was 0 μm, which was thicker than the thickness of the polyimide film as the starting material. Furthermore, by rolling this graphite sheet, flexibility was improved and homogeneity such as thickness was improved as compared to before rolling.

【0026】(実施例8)本実施例では、出発原料のポ
リイミドフィルムとして、東レ・デュポン社製(商品名
カプトン)の厚さ75μmのものを用いた以外には実施
例5と同様にグラファイトシートを作製した。このよう
にして熱処理を行い焼成したグラファイトシートの厚さ
は約150μmであり、出発原料のポリイミドフィルム
の厚さより厚い状態にあり、折り曲げが可能で柔軟性を
持っていた。さらに、このグラファイトシートを圧延処
理することにより、圧延前に比較して柔軟性が向上し厚
さ等の均質性が向上した。
Example 8 In this example, a graphite sheet was produced in the same manner as in Example 5 except that a 75 μm-thick product made by Toray DuPont (Kapton) was used as a starting material polyimide film. Was prepared. The thickness of the graphite sheet thus heat-treated and fired was about 150 μm, which was larger than the thickness of the starting polyimide film, and was foldable and flexible. Furthermore, by rolling this graphite sheet, flexibility was improved and homogeneity of thickness and the like was improved as compared with before the rolling.

【0027】[0027]

【発明の効果】以上のように本発明によれば、ポリイミ
ドフィルムを不活性ガス中で室温から昇温し2500℃
以上の温度で焼成してグラファイトシートを製造する熱
処理工程において、1800℃から2500℃の間の一
定温度で一定時間保持することにより、焼成後の厚さを
制御することができ、焼成後にボロボロになってシート
形状とならなかったり、十分に厚くならずに柔軟性をも
たなかったりすることなく、再現性良く柔軟性、強靱性
に富み、熱伝導性に優れたグラファイトシートを得るこ
とができる。
As described above, according to the present invention, the temperature of the polyimide film is raised from room temperature to 2500 ° C. in an inert gas.
In the heat treatment step of baking at the above temperature to produce a graphite sheet, the thickness after baking can be controlled by maintaining the baking at a certain temperature between 1800 ° C. and 2500 ° C. for a certain period of time. It is possible to obtain a graphite sheet with good reproducibility, flexibility, toughness, and excellent thermal conductivity without becoming a sheet shape or having a sufficient thickness without flexibility. .

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大木 芳正 神奈川県川崎市多摩区東三田3丁目10番1 号 松下技研株式会社内 (72)発明者 土屋 宗次 神奈川県川崎市多摩区東三田3丁目10番1 号 松下技研株式会社内 Fターム(参考) 4G046 EA03 EB02 EB04 EC03 EC05 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Yoshimasa Oki 3-10-1 Higashi-Mita, Tama-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa Prefecture Inside Matsushita Giken Co., Ltd. (72) Inventor Souji Tsuchiya 3 Higashi-Mita, Tama-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa No.10-1 Matsushita Giken Co., Ltd. F-term (reference) 4G046 EA03 EB02 EB04 EC03 EC05

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ポリイミドフィルムを不活性ガス中で室
温から昇温し、2500℃以上の温度で焼成してグラフ
ァイトシートを製造する熱処理工程において、1800
℃から2500℃の間の一定温度で一定時間保持するこ
とにより、焼成後の厚さを制御することを特徴とする柔
軟性のあるグラファイトシートの製造方法。
In a heat treatment step of heating a polyimide film from room temperature in an inert gas to a temperature of 2500 ° C. or more to produce a graphite sheet, 1800
A method for producing a flexible graphite sheet, characterized in that the thickness after firing is controlled by maintaining the film at a constant temperature of between 2500C and 2500C for a fixed time.
【請求項2】 昇温速度が30℃/min以下のいずれ
かの昇温速度の組み合わせからなる請求項1に記載の柔
軟性のあるグラファイトシートの製造方法。
2. The method for producing a flexible graphite sheet according to claim 1, wherein the heating rate comprises a combination of any one of heating rates of 30 ° C./min or less.
【請求項3】 1800℃から2500℃の間での一定
温度での保持時間が20時間以下からなる請求項1また
は2に記載の柔軟性のあるグラファイトシートの製造方
法。
3. The method for producing a flexible graphite sheet according to claim 1, wherein the holding time at a constant temperature between 1800 ° C. and 2500 ° C. is 20 hours or less.
【請求項4】 1800℃から2500℃の間の2つ以
上の一定温度で一定時間保持することからなる請求項1
から3のいずれかに記載の柔軟性のあるグラファイトシ
ートの製造方法。
4. The method according to claim 1, further comprising maintaining the temperature at two or more constant temperatures between 1800 ° C. and 2500 ° C. for a certain time.
4. The method for producing a flexible graphite sheet according to any one of items 1 to 3.
【請求項5】 1800℃から2500℃の間の温度領
域の一部または全部を0.1℃/minから1℃/mi
nの間の昇温速度で昇温することを特徴とする請求項1
から4のいずれかに記載の柔軟性のあるグラファイトシ
ートの製造方法。
5. A part or all of a temperature range between 1800 ° C. and 2500 ° C. is changed from 0.1 ° C./min to 1 ° C./mi.
2. The method according to claim 1, wherein the temperature is increased at a rate of n.
5. The method for producing a flexible graphite sheet according to any one of items 1 to 4.
【請求項6】 温度2500℃以上での最高熱処理温度
の保持時間が20時間以下である請求項1から5のいず
れかに記載の柔軟性のあるグラファイトシートの製造方
法。
6. The method for producing a flexible graphite sheet according to claim 1, wherein the holding time of the maximum heat treatment temperature at a temperature of 2500 ° C. or more is 20 hours or less.
【請求項7】 ポリイミドフィルムを不活性ガス中で2
500℃以上の温度で焼成してグラファイトシートを製
造する熱処理工程が、室温から昇温して温度1000℃
から1600℃の間の温度まで焼成する予備熱処理工程
と、その後さらに室温から昇温して2500℃以上の最
高熱処理温度で焼成する高温熱処理工程からなる請求項
1から6のいずれかに記載の柔軟性のあるグラファイト
シートの製造方法。
7. A polyimide film in an inert gas for 2 hours.
A heat treatment step of producing a graphite sheet by firing at a temperature of 500 ° C. or higher is performed by raising the temperature from room temperature to a temperature of 1000 ° C.
A flexible heat treatment process according to any one of claims 1 to 6, comprising a preliminary heat treatment process of sintering to a temperature of from 1600C to 1600C, and a high temperature heat treatment process of further raising the temperature from room temperature to a maximum heat treatment temperature of 2500C or more. Method for producing highly durable graphite sheets.
【請求項8】 焼成後のグラファイトシートの厚さが、
出発原料のポリイミドフィルムの厚さより厚いことを特
徴とする請求項1から7のいずれかに記載の柔軟性のあ
るグラファイトシートの製造方法。
8. The graphite sheet after firing has a thickness of:
The method for producing a flexible graphite sheet according to any one of claims 1 to 7, wherein the thickness is larger than the thickness of the starting polyimide film.
【請求項9】 出発原料であるポリイミドフィルムの膜
厚が50μm以上300μm以下である請求項1から8
のいずれかに記載の柔軟性のあるグラファイトシートの
製造方法。
9. The film thickness of a polyimide film as a starting material is 50 μm or more and 300 μm or less.
The method for producing a flexible graphite sheet according to any one of the above.
【請求項10】 焼成後のグラファイトシートを圧延処
理する工程を有する請求項1から9のいずれかに記載の
柔軟性のあるグラファイトシートの製造方法。
10. The method for producing a flexible graphite sheet according to claim 1, further comprising a step of rolling the fired graphite sheet.
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KR102151508B1 (en) * 2018-11-16 2020-09-03 피아이첨단소재 주식회사 Method for Preparing Thick Graphite Sheet and Thick Graphite Sheet Prepared by Using the Same

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