JP2000178016A - Production of graphite sheet and thermal conductive material using the same - Google Patents

Production of graphite sheet and thermal conductive material using the same

Info

Publication number
JP2000178016A
JP2000178016A JP10352721A JP35272198A JP2000178016A JP 2000178016 A JP2000178016 A JP 2000178016A JP 10352721 A JP10352721 A JP 10352721A JP 35272198 A JP35272198 A JP 35272198A JP 2000178016 A JP2000178016 A JP 2000178016A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
temperature
graphite sheet
heat treatment
graphite
producing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP10352721A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Soji Tsuchiya
宗次 土屋
Yoshimasa Oki
芳正 大木
Akira Taomoto
昭 田尾本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP10352721A priority Critical patent/JP2000178016A/en
Publication of JP2000178016A publication Critical patent/JP2000178016A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Carbon And Carbon Compounds (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To produce a high quality graphite sheet having high flexibility and toughness and excellent in thermal conductivity. SOLUTION: This method for producing the graphite sheet in foamed state comprises a first heat treatment step of heat treating a polyimide film as a raw material at upper limit temperature of 1,000-1,600 deg.C under an inert atmosphere and, after heat treating in the first heat treatment step, a second heat treating step of heat treating at the upper limit temperature of 2,500-3,100 deg.C under an inert atmosphere. The graphite sheet can be obtained by the process mentioned above.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、グラファイトシー
トの製造方法及びそれを用いた熱伝導体に関し、特にグ
ラファイトシートの製造技術に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing a graphite sheet and a heat conductor using the same, and more particularly to a technique for producing a graphite sheet.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、グラファイトシートは、その耐熱
性、耐薬品性、高電気伝導性等のために工業材料として
重要な地位を占め、熱伝導材、耐熱シ−ル、電極等に広
く使用されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, graphite sheets occupy an important position as industrial materials due to their heat resistance, chemical resistance, high electrical conductivity, etc., and are widely used as heat conductive materials, heat resistant seals, electrodes, and the like. Have been.

【0003】例えば、人工的に作製されるものとして、
新・炭素工業(石川敏功、昭和55年10月発行、
(株)近代編集社)の118頁等に記載されたものが挙
げられる。
[0003] For example, as an artificially produced one,
New Carbon Industry (Toshiyuki Ishikawa, published in October 1980,
On page 118, etc. of Kindai Kyoikusha Co., Ltd.).

【0004】具体的には、鱗片状天然グラファイトを、
硫酸と硝酸の混合液等で処理した後、1000℃近い高
温に急熱し、層間(C軸方向)に沿って大きく膨張さ
せ、粘結剤と共に圧縮成型してグラファイトシートとす
るものである。ここで、その見掛けの厚さは、出発試料
黒鉛の数十倍から数百倍に膨張する旨の開示がなされて
いる。これは、いわゆるエキスパンド法と呼ばれるグラ
ファイトシートの製造方法である。
[0004] Specifically, scaly natural graphite is
After being treated with a mixture of sulfuric acid and nitric acid, the mixture is rapidly heated to a high temperature of about 1000 ° C., greatly expanded along the interlayer (in the C-axis direction), and compression molded together with a binder to form a graphite sheet. Here, it is disclosed that the apparent thickness expands tens to hundreds of times of the starting sample graphite. This is a so-called expanding method for producing a graphite sheet.

【0005】このようにして得られたグラファイトシー
トは、粉末を成型してシート状にしたものであるから、
圧縮還元性や応力緩和性を呈する。
[0005] The graphite sheet thus obtained is formed by molding powder into a sheet.
Exhibits compression reduction and stress relaxation.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかし、このようなグ
ラファイトシートの製造方法においては、層間を押し広
げるために、硫酸や硝酸を使用しているため、水洗い等
を行って酸を洗い流したとしても完全に取り除くことは
できず、膨張グラファイト中に微量の酸類が残り、例え
ばガスケット材等として長時間使用した場合、徐々に侵
出して金属類を腐食する等の課題がある。
However, in such a method for manufacturing a graphite sheet, since sulfuric acid or nitric acid is used to spread the interlayer, even if the acid is washed off by washing with water or the like. It cannot be completely removed, and a trace amount of acids remains in the expanded graphite. For example, when used as a gasket material for a long time, there is a problem that the metal gradually corrodes and corrodes metals.

【0007】また、粘結剤等を使用しているために、鱗
片状のグラファイト間の接触性が悪化し、グラファイト
特有の熱伝導特性や電気伝導特性が十分に発現できず、
結合度も弱いために鱗片状に剥離が起こりやすい、柔軟
性に欠ける等の課題もある。
[0007] In addition, since a binder or the like is used, the contact property between the scale-like graphite is deteriorated, and the heat conduction property and electric conduction property peculiar to graphite cannot be sufficiently exhibited.
Since the bonding degree is also weak, there are also problems such as flake-like peeling and lack of flexibility.

【0008】本発明は、これらの課題を解決するために
なされたもので、高分子フィルム、特にポリイミドフィ
ルムを熱処理によってグラファイトシートを得て、単結
晶グラファイトと同様の物性を呈し、高品質で柔軟性、
強靱性に富み熱伝導性に優れたグラファイトシートを実
現することを目的とする。
The present invention has been made to solve these problems, and a polymer film, particularly a polyimide film, is obtained by heat treatment to obtain a graphite sheet, exhibiting the same physical properties as a single crystal graphite, and having high quality and flexibility. sex,
An object of the present invention is to realize a graphite sheet that is rich in toughness and excellent in thermal conductivity.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明は、ポリイミドフィルムを原料として、不活性
ガス中で上限温度1000℃〜1600℃の範囲で熱処
理を行う第1の熱処理工程と、さらに上限温度が250
0℃〜3100℃の範囲で熱処理を行う第2の熱処理工
程とを有することを基本的な特徴とし、さらに昇温速度
や一定温度などの熱処理条件を制御することにより適当
な発泡状態を呈するグラファイトシートの製造方法であ
り、さらに圧延処理を施すことにより柔軟性を発現する
方法である。このような製造方法により得られたグラフ
ァイトシートを熱源と接触させて、熱の放熱、均熱作用
を有する熱伝導体を実現する。
In order to solve this problem, the present invention provides a first heat treatment step in which a polyimide film is used as a raw material and a heat treatment is performed in an inert gas at a maximum temperature of 1000 ° C. to 1600 ° C. , And the maximum temperature is 250
A second heat treatment step of performing a heat treatment at a temperature in the range of 0 ° C. to 3100 ° C., and further, a graphite exhibiting an appropriate foaming state by controlling heat treatment conditions such as a heating rate and a constant temperature. This is a method for producing a sheet, and is a method for expressing flexibility by further performing a rolling process. By bringing the graphite sheet obtained by such a manufacturing method into contact with a heat source, a heat conductor having a heat radiating and soaking action is realized.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】請求項1に記載の本発明は、ポリ
イミドフィルムを原料として、不活性ガス中で上限温度
を1000℃〜1600℃までの範囲で熱処理を行う第
1の熱処理工程と、第1の熱処理工程後更に不活性ガス
中で上限温度2500℃〜3100℃の範囲で熱処理を
行う第2の熱処理工程とを有することを特徴とする発泡
状態を呈するグラファイトシートの製造方法で、原料の
ポリイミドフィルムに含まれる、グラファイトシートに
不要な成分原子を熱分解させガス化させて除去して、発
泡性のグラファイトシートを確実に形成するという作用
を有する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention according to claim 1 includes a first heat treatment step of performing heat treatment in an inert gas at a maximum temperature of 1000 ° C. to 1600 ° C. using a polyimide film as a raw material; A second heat treatment step of performing a heat treatment in an inert gas at a maximum temperature in the range of 2500 ° C. to 3100 ° C. after the first heat treatment step. Unnecessary component atoms in the graphite sheet contained in the polyimide film are thermally decomposed and gasified to be removed, thereby reliably forming a foamable graphite sheet.

【0011】さらに、請求項2記載のように、第1の熱
処理工程における上限温度を1200℃〜1600℃ま
でとする請求項1記載のグラファイトシートの製造方法
で発泡性が好適なグラファイトシートが得られる。
Further, as set forth in claim 2, the upper limit temperature in the first heat treatment step is set to 1200 ° C. to 1600 ° C., whereby a graphite sheet having favorable foamability is obtained by the method of manufacturing a graphite sheet according to claim 1. Can be

【0012】ここで、請求項3記載のように、第1及び
第2の熱処理工程における昇温速度が、1〜20℃/m
inの範囲内でク゛ラファイトシートの製造することによ
り、好適な発泡性のグラファイトシートが得られる。
Here, the temperature rise rate in the first and second heat treatment steps is 1 to 20 ° C./m.
By producing a graphite sheet in the range of in, a suitable expandable graphite sheet can be obtained.

【0013】また、請求項4記載のように、第1の熱処
理工程で、400から700℃の温度範囲で、一定温度
で一定時間熱処理を行うことを特徴とする請求項1から
3のに記載のグラファイトシートの製造により、好適な
発泡性のグラファイトシートが得られる。
According to a fourth aspect of the present invention, in the first heat treatment step, the heat treatment is performed at a constant temperature in a temperature range of 400 to 700 ° C. for a constant time. By the production of the graphite sheet, a suitable expandable graphite sheet can be obtained.

【0014】更に、請求項5記載のように、第2の熱処
理工程で、1800から2300℃の温度範囲で、一定
温度で一定時間熱処理を行うことを特徴とする請求項1
から4に記載のグラファイトシートの製造方法で、好適
な発泡性のグラファイトシートが得られる。
Further, as set forth in claim 5, in the second heat treatment step, heat treatment is performed in a temperature range of 1800 to 2300 ° C. at a fixed temperature for a fixed time.
According to the method for producing a graphite sheet described in any one of the items 1 to 4, a suitable expandable graphite sheet can be obtained.

【0015】更に、請求項6記載のように、グラファイ
トシートを圧延処理する圧延処理工程を有する請求項1
から5のいずれかに記載のグラファイトシートの製造方
法で好適な柔軟性を有するグラファイトシートが得られ
る。
Further, the present invention further comprises a rolling step of rolling the graphite sheet.
The graphite sheet having suitable flexibility can be obtained by the method for producing a graphite sheet according to any one of (1) to (5).

【0016】更に、請求項7記載のように、請求項1か
ら5のいずれかに記載のグラファイトシートの製造方法
で得られたグラファイトシートであって、シートの密度
が0.3から0.7g/ccの範囲にあるか原料フィル
ムの膜厚の2倍から10倍の範囲あることを特徴とする
グラファイトシート、好適な発泡性のグラファイトシー
トが得られる。
Further, as described in claim 7, a graphite sheet obtained by the method for producing a graphite sheet according to any one of claims 1 to 5, wherein the density of the sheet is 0.3 to 0.7 g. / Cc or a range of 2 to 10 times the thickness of the raw material film, thereby obtaining a graphite sheet and a suitable foamable graphite sheet.

【0017】さらに、第8項記載のように、請求項1か
ら5のいずれかに記載のグラファイトシートの製造方法
で得られたグラファイトシートであって、圧延処理によ
り密度が0.7から1.5g/ccの範囲にあることを
特徴とするグラファイトシートで好適な柔軟性を有する
グラファイトシートが得られる。
Further, as described in claim 8, a graphite sheet obtained by the method for producing a graphite sheet according to any one of claims 1 to 5, wherein the density is 0.7 to 1. A graphite sheet having a suitable flexibility can be obtained from a graphite sheet characterized by being in the range of 5 g / cc.

【0018】また、請求項9記載の本発明は、請求項8
記載のグラファイトシートを、発熱源に連絡して用いる
熱伝導体で高品質で柔軟性にとんだ熱伝導体となる。
The present invention described in claim 9 is the same as claim 8.
The described graphite sheet is used as a heat conductor which is used in contact with a heat source to be a high quality and flexible heat conductor.

【0019】このような構成のグラファイトシートは、
確実に発泡状態を有し、単結晶グラファイトと同様の物
性を呈し、さらに圧延することにより、高品質で柔軟性
に富み熱伝導性に優んだグラファイトシートとなる。
The graphite sheet having such a structure is as follows.
The graphite sheet surely has a foamed state, exhibits the same physical properties as single-crystal graphite, and is further rolled to provide a graphite sheet having high quality, high flexibility, and excellent thermal conductivity.

【0020】より詳細には、本発明は、芳香族系ポリイ
ミド高分子フィルムを不活性ガス中で、その高分子が、
熱分解を始め、炭素前駆体を経て、ほぼ100%の炭素
化物となる温度範囲内、好適には1000℃〜1600
℃までの範囲で、適当な出発温度、例えば室温からまず
昇温して第1の熱処理工程(予備焼成)を行い、また途
中の熱分解の反応の激しい400から700℃の範囲の
一定温度である時間熱処理を行うと目的に対して効果的
な場合がある。その後一旦その出発温度付近まで温度を
下げ、再び昇温をしてグラファイト化が終了する温度範
囲、好適には2500℃以上3100℃の範囲のいずれ
かの温度まで昇温して第2の熱処理工程(本焼成)を行
なう。
More specifically, the present invention provides an aromatic polyimide polymer film in an inert gas,
Starting from pyrolysis, through a carbon precursor, within a temperature range of almost 100% carbonized material, preferably from 1000 ° C. to 1600
The first heat treatment step (preliminary calcination) is performed by first raising the temperature from a suitable starting temperature, for example, room temperature, up to a temperature of up to 400 ° C. Performing heat treatment for a certain time may be effective for the purpose. Thereafter, the temperature is once lowered to near the starting temperature, and then raised again to a temperature range in which the graphitization is completed, preferably, to any temperature in the range of 2500 ° C. to 3100 ° C. to perform the second heat treatment step. (Main firing).

【0021】また、途中において1800℃から230
0℃の温度範囲で一定温度である時間熱処理を行うと目
的に対して効果的な場合がある。このような処理を行
い、シートの特性として厚さや密度の値を制御すること
により、得られるグラファイトシートは、確実に好適な
シートとなる発泡状態が形成される。
On the way, from 1800 ° C. to 230
Performing heat treatment at a constant temperature in a temperature range of 0 ° C. may be effective for the purpose. By performing such processing and controlling the thickness and density values as the properties of the sheet, the obtained graphite sheet is surely formed into a foamed state that becomes a suitable sheet.

【0022】このポリイミドフィルムは、熱焼成により
グラファイト構造を有するものとして知られている芳香
族縮合高分子を用いたものの中で、最も良質のグラファ
イト構造が得られるものとして知られているものであ
る。
This polyimide film is known to provide the highest quality graphite structure among those using an aromatic condensed polymer known to have a graphite structure by thermal baking. .

【0023】なお、出発原料のポリイミドフィルムの膜
厚は、商品化されているものを使用できるという簡便性
からいえば25〜300μmの範囲内が好適で、対応し
て作製されるグラファイトシートも平均膜厚をみれば、
原料膜厚の2倍から10倍の範囲の厚さとなる。
The thickness of the starting polyimide film is preferably in the range of 25 to 300 μm in view of the simplicity that a commercially available polyimide film can be used. Looking at the film thickness,
The thickness is in the range of 2 to 10 times the film thickness of the raw material.

【0024】以下に実施例を示す。 (実施例1)本実施の形態では、ポリイミドフィルムと
して膜厚75μmのもの(商品名カプトン:東レ・デュ
ポン社製)を代表的に用いた。
An embodiment will be described below. (Example 1) In the present embodiment, a polyimide film having a film thickness of 75 μm (trade name: Kapton, manufactured by Dupont Toray) is typically used.

【0025】ここで、特に熱処理による発泡性を効果的
かつ確実に引き出すために、特別な添加材をフィルムに
添加する等の特別な処理を加えていないフィルムを原料
として用いることが好適である。
Here, in order to effectively and surely extract the foaming property by the heat treatment, it is preferable to use a film which has not been subjected to any special treatment such as adding a special additive to the film.

【0026】まず、第1の熱処理として、不活性ガス雰
囲気中で、昇温速度として1℃/min、5℃/min
及び20℃/minで室温から昇温し、最高温度を16
00℃とし、1600℃で1時間保持した後、室温まで
降温し、予備焼成を終了した。
First, as a first heat treatment, in an inert gas atmosphere, the temperature is raised at a rate of 1 ° C./min and 5 ° C./min.
And the temperature is raised from room temperature at 20 ° C./min.
After setting the temperature to 00 ° C. and maintaining the temperature at 1600 ° C. for 1 hour, the temperature was lowered to room temperature, and the preliminary firing was completed.

【0027】ついで、予備焼成終了後、高温焼成を行っ
た。この高温焼成は、不活性ガス雰囲気中で、室温から
昇温速度として3℃/minで昇温させていき、最高温
度をグラファイト化領域である2700℃とし、270
0℃で1時間保持した後、室温まで降温し、高温焼成を
終了した。
After completion of the preliminary firing, high-temperature firing was performed. In this high-temperature sintering, the temperature is increased from room temperature at a rate of 3 ° C./min from room temperature in an inert gas atmosphere.
After maintaining at 0 ° C. for 1 hour, the temperature was lowered to room temperature, and the high-temperature firing was completed.

【0028】このようにして焼成したグラファイトシー
トは均一な発泡状態にあり、シートの厚さは100〜1
80μmであり、柔軟性をもっていた。
The graphite sheet fired in this manner is in a uniform foamed state, and the thickness of the sheet is 100 to 1
It was 80 μm and had flexibility.

【0029】次に、焼成したグラファイトシートを圧延
ローラーの間を通すことにより圧延処理を行った。圧延
処理により、グラファイトシートはより柔軟になり、厚
さの均一性が上昇した。圧延後の膜厚は50〜150μ
mであった。
Next, a rolling treatment was performed by passing the fired graphite sheet between rolling rollers. The rolling process made the graphite sheet more flexible and increased the thickness uniformity. Film thickness after rolling is 50-150μ
m.

【0030】また、出発原料のポリイミドフィルムの膜
厚は、75μmに限定されるものではなく、25〜30
0μmの範囲内のものについて確認したところ、同様の
結果が得られた。もちろん、この範囲は、発泡状態の発
現に対して本質的な制限ではなく、限定されるものでは
ない。
The thickness of the starting polyimide film is not limited to 75 μm, but is
As a result of confirming the results within the range of 0 μm, similar results were obtained. Of course, this range is not an essential limitation on the development of the foaming state and is not limited.

【0031】(実施例2)本実施の形態では、高温焼成
において、昇温速度を10℃/minとして、かつ22
00℃で2時間保持した後、2700℃まで昇温させた
こと以外は、実施の形態1と同様にグラファイトシート
を作製した。このようにして焼成したグラファイトシー
トは均一な発泡状態にあり、柔軟性をもっており、シー
トの厚さは90〜180μmであった。
(Embodiment 2) In the present embodiment, in the high-temperature firing, the heating rate is set to 10 ° C./min, and
After holding at 00 ° C. for 2 hours, a graphite sheet was prepared in the same manner as in Embodiment 1, except that the temperature was raised to 2700 ° C. The graphite sheet fired in this manner was in a uniform foamed state, had flexibility, and had a thickness of 90 to 180 μm.

【0032】(実施例3)本実施の形態では、第1の熱
処理において、昇温速度として1℃/min、5℃/m
in及び20℃/minで室温から昇温し、最高温度を
1300℃とし、1300℃で1時間保持した後、室温
まで降温したこと以外は、実施の形態1と同様にグラフ
ァイトシートを作製した。このようにして焼成したグラ
ファイトシートは均一な発泡状態にあり、柔軟性をもっ
ており、シートの厚さは90〜200μmであった。
(Embodiment 3) In the present embodiment, in the first heat treatment, the temperature is raised at a rate of 1 ° C./min and 5 ° C./m
A graphite sheet was produced in the same manner as in Embodiment 1 except that the temperature was raised from room temperature at in and 20 ° C./min, the maximum temperature was set to 1300 ° C., the temperature was kept at 1300 ° C. for 1 hour, and then the temperature was lowered to room temperature. The graphite sheet fired in this manner was in a uniform foamed state, had flexibility, and had a thickness of 90 to 200 μm.

【0033】(実施例4)本実施の形態では、高温焼成
において、昇温速度を20℃/minとして2800℃
まで昇温させたこと以外は、実施の形態3と同様にグラ
ファイトシートを作製した。このようにして焼成したグ
ラファイトシートは均一な発泡状態にあり、柔軟性をも
っており、シートの厚さは80〜180μmであった。
(Embodiment 4) In the present embodiment, in high-temperature baking, the temperature was raised at a rate of 20 ° C./min to 2800 ° C.
A graphite sheet was produced in the same manner as in Embodiment 3, except that the temperature was raised to the maximum. The graphite sheet fired in this manner was in a uniform foamed state, had flexibility, and had a thickness of 80 to 180 μm.

【0034】(実施例5)本実施の形態では、予備焼成
において、昇温速度として1℃/min、5℃/min
及び20℃/minで室温から昇温し、最高温度を12
00℃とし、1200℃で1時間保持した後、室温まで
降温したこと以外は、実施の形態1と同様にグラファイ
トシートを作製した。このようにして焼成したグラファ
イトシートは均一な発泡状態にあり、柔軟性をもってお
り、シートの厚さは100〜220μmであった。
(Embodiment 5) In the present embodiment, in the preliminary firing, the heating rate is 1 ° C./min and 5 ° C./min.
And at 20 ° C./min from room temperature to a maximum temperature of 12
A graphite sheet was produced in the same manner as in Embodiment 1, except that the temperature was set to 00 ° C., and the temperature was kept at 1200 ° C. for 1 hour, and then the temperature was lowered to room temperature. The graphite sheet fired in this manner was in a uniform foamed state, had flexibility, and had a thickness of 100 to 220 μm.

【0035】(実施例6)本実施の形態では、高温焼成
において、昇温速度を20℃/minとして2700℃
まで昇温させたこと以外は、実施の形態5と同様にグラ
ファイトシートを作製した。このようにして焼成したグ
ラファイトシートは均一な発泡状態にあり、柔軟性をも
っており、シートの厚さは90〜230μmであった。
(Embodiment 6) In the present embodiment, in the high-temperature sintering, the temperature was raised at a rate of 20 ° C./min to 2700 ° C.
A graphite sheet was produced in the same manner as in Embodiment 5, except that the temperature was raised to the maximum. The graphite sheet fired in this manner was in a uniform foamed state, had flexibility, and had a thickness of 90 to 230 μm.

【0036】(実施例7)本実施の形態では、第1の熱
処理において、昇温速度として1℃/min、5℃/m
in及び20℃/minで室温から昇温し、最高温度を
1000℃とし、1000℃で1時間保持した後、室温
まで降温したこと以外は、実施の形態1と同様にグラフ
ァイトシートを作製した。このようにして焼成したグラ
ファイトシートは均一な発泡状態にあり、柔軟性をもっ
ており、シートの厚さは100〜240μmであった。
(Embodiment 7) In the present embodiment, in the first heat treatment, the heating rate is 1 ° C./min, 5 ° C./m
A graphite sheet was produced in the same manner as in Embodiment 1 except that the temperature was raised from room temperature at in and 20 ° C./min, the maximum temperature was set to 1000 ° C., and the temperature was lowered to room temperature after holding at 1000 ° C. for 1 hour. The graphite sheet fired in this manner was in a uniform foamed state, had flexibility, and had a thickness of 100 to 240 μm.

【0037】(実施例8)本実施の形態では、高温焼成
において、昇温速度を20℃/minとして2700℃
まで昇温させたこと以外は、実施の形態7と同様にグラ
ファイトシートを作製した。このようにして焼成したグ
ラファイトシートは均一な発泡状態にあり、柔軟性をも
っており、シートの厚さは90〜250μmであった。
(Embodiment 8) In the present embodiment, in the high-temperature firing, the temperature was raised at a rate of 20 ° C./min to 2700 ° C.
A graphite sheet was produced in the same manner as in Embodiment 7, except that the temperature was raised to the maximum. The graphite sheet fired in this manner was in a uniform foamed state, had flexibility, and had a thickness of 90 to 250 μm.

【0038】(実施例9)本実施の形態では、第1の熱
処理において、昇温速度として1℃/min、5℃/m
in及び20℃/minで室温から昇温し、最高温度を
800℃とし、800℃で1時間保持してから、室温ま
で降温した後、高温焼成として、不活性ガス雰囲気中
で、室温から昇温速度として1℃/minで昇温させて
いき、最高温度をグラファイト化領域である2700℃
とし、2700℃で1時間保持した後、室温まで降温
し、高温焼成を終了した。このようにして焼成したグラ
ファイトシートは、昇温速度が1℃/min及び5℃/
minでは発泡が起こりすぎたために、一部でシートが
剥離を生じたり、ボロボロになっていた。また、昇温速
度が20℃/minでは、均一な発泡状態にあり、柔軟
性をもっており、シートの厚さは90〜180μmであ
った。
(Embodiment 9) In the present embodiment, in the first heat treatment, the heating rate is 1 ° C./min, 5 ° C./m
In and 20 ° C / min, the temperature was raised from room temperature to 800 ° C, held at 800 ° C for 1 hour, cooled to room temperature, and then fired at a high temperature in an inert gas atmosphere in an inert gas atmosphere. The temperature is increased at a rate of 1 ° C./min, and the maximum temperature is set to 2700 ° C., which is a graphitized region.
After maintaining at 2700 ° C. for 1 hour, the temperature was lowered to room temperature, and the high-temperature firing was completed. The graphite sheet fired in this manner has a heating rate of 1 ° C./min and 5 ° C./min.
In the case of min, foaming occurred excessively, so that the sheet was partially peeled or tattered. When the temperature was raised at a rate of 20 ° C./min, the foam was in a uniform foaming state, had flexibility, and had a thickness of 90 to 180 μm.

【0039】(実施例10)本実施の形態では、第1の
熱処理において、昇温速度として5℃/minで室温か
ら昇温し、最高温度を800℃とし、800℃で1時間
保持してから、室温まで降温した後、高温焼成として、
不活性ガス雰囲気中で、室温から昇温速度として5℃/
min及び10℃/minで昇温させていき、最高温度
をグラファイト化領域である2700℃とし、2700
℃で1時間保持した後、室温まで降温し、高温焼成を終
了した。このようにして焼成したグラファイトシート
は、昇温速度が5℃/minでは発泡が起こりすぎたた
めに、一部でシートが剥離を生じたり、ボロボロになっ
ていた。また、昇温速度が10℃/minでは、均一な
発泡状態にあり、柔軟性をもっており、シートの厚さは
100〜190μmであった。
Embodiment 10 In this embodiment, in the first heat treatment, the temperature is raised from room temperature at a rate of 5 ° C./min, the maximum temperature is set to 800 ° C., and the temperature is maintained at 800 ° C. for 1 hour. After cooling to room temperature,
In an inert gas atmosphere, the temperature was raised from room temperature at a rate of 5 ° C /
The temperature is raised at a rate of 2700 ° C., which is a graphitized region, at 2700 ° C.
After maintaining at ℃ for 1 hour, the temperature was lowered to room temperature, and the high-temperature firing was completed. The graphite sheet fired in this manner was excessively foamed at a temperature rising rate of 5 ° C./min, so that the sheet was partially peeled or tattered. When the heating rate was 10 ° C./min, the foam was in a uniform foaming state, had flexibility, and had a thickness of 100 to 190 μm.

【0040】(実施例11)本実施の形態では、第1の
熱処理において、昇温速度として5℃/minで室温か
ら昇温し、最高温度を800℃とし、800℃で1時間
保持してから、室温まで降温した後、高温焼成として、
不活性ガス雰囲気中で、室温から昇温速度として5℃/
minで昇温させていき、最高温度をグラファイト化領
域である2700℃とし、2700℃で10分及び30
分保持した後、室温まで降温し、高温焼成を終了した。
このようにして焼成したグラファイトシートは、いずれ
の場合も発泡が起こりすぎたために、一部でシートが剥
離を生じたり、ボロボロになっていた。
(Embodiment 11) In the present embodiment, in the first heat treatment, the temperature is raised from room temperature at a rate of 5 ° C./min to a maximum temperature of 800 ° C. and held at 800 ° C. for 1 hour. After cooling to room temperature,
In an inert gas atmosphere, the temperature was raised from room temperature at a rate of 5 ° C /
The maximum temperature was set to 2700 ° C., which is a graphitized region, at 2700 ° C. for 10 minutes and 30 minutes.
After maintaining the temperature for a minute, the temperature was lowered to room temperature, and the high-temperature firing was completed.
In each case, the graphite sheet fired in such a manner was excessively foamed, so that the sheet was partially peeled or tattered.

【0041】第1の熱処理の最高温度を800℃〜10
00℃の間で変化させて実験を行うことにより、第1の
熱処理の最高温度が1000℃未満では、高温焼成時に
発泡が過度に起きやすく、グラファイトがシート形状を
呈さずに、ボロボロになりやすいため、予備焼成の際の
昇温速度及び、高温焼成の際の昇温速度と最高温度での
保持時間等の制御により発泡状態を制御することが必要
となることがわかる。
The maximum temperature of the first heat treatment is set at 800 ° C. to 10 ° C.
By performing the experiment while changing the temperature between 00 ° C., if the maximum temperature of the first heat treatment is less than 1000 ° C., excessive foaming is apt to occur at the time of high-temperature sintering, and the graphite does not exhibit a sheet shape and is likely to be tattered. Therefore, it can be seen that it is necessary to control the foaming state by controlling the rate of temperature rise during pre-firing, the rate of temperature rise during high-temperature firing, and the holding time at the highest temperature.

【0042】高温焼成時に発泡が起きやすく、グラファ
イトがシート形状を呈さずに、ボロボロになりやすいの
は、予備焼成後のポリイミドフィルム中に残留ガスが多
く残っているため、高温処理時にこれらのガスがフィル
ム中から外部に放出される際に、フィルム形状を壊すこ
とが原因と考えられる。
The reason that foaming is likely to occur during high-temperature baking and graphite is not likely to take the form of a sheet and tends to be tattered is that a large amount of residual gas remains in the polyimide film after pre-baking. This is considered to be caused by breaking the shape of the film when is released from the inside of the film.

【0043】即ち、本実施の形態においては、第1の熱
処理の最高温度を1000℃以上とすることにより、原
料ポリイミドフィルム中の残留ガスを減らすことがで
き、グラファイトがシート形状を呈さずに、ボロボロに
なることがなく、高温焼成の際の発泡の程度を制御する
ことができ、柔軟性のあるグラファイトシートを確実、
かつ効率的に、作成しうることが理解できる。
That is, in the present embodiment, by setting the maximum temperature of the first heat treatment to 1000 ° C. or more, the residual gas in the raw material polyimide film can be reduced, and the graphite does not take a sheet shape. It is possible to control the degree of foaming at the time of high temperature firing without being tattered, and to ensure a flexible graphite sheet,
It can be understood that it can be created efficiently.

【0044】(実施例12)本実施の形態では、50c
m×50cmの大きさの原料ポリイミドフィルムを10
枚同時に電気炉の中に入れて、予備焼成において、昇温
速度として1℃/min、5℃/min及び20℃/m
inで室温から昇温し、最高温度を1300℃とし、1
300℃で1時間保持した後、室温まで降温して、予備
焼成を終了した。
(Embodiment 12) In this embodiment, 50c
Raw polyimide film with a size of mx 50 cm
The pieces are simultaneously placed in an electric furnace, and the preheating is performed at a heating rate of 1 ° C./min, 5 ° C./min, and 20 ° C./m
in to raise the maximum temperature to 1300 ° C.
After maintaining at 300 ° C. for 1 hour, the temperature was lowered to room temperature, and the preliminary firing was completed.

【0045】ついで、予備焼成終了後、高温焼成を行っ
た。この高温焼成は、不活性ガス雰囲気中で、室温から
昇温速度として1℃/minで昇温させていき、最高温
度をグラファイト化領域である2700℃とし、270
0℃で1時間保持した後、室温まで降温し、高温焼成を
終了した。
Then, after the completion of the preliminary firing, high-temperature firing was performed. In this high-temperature firing, the temperature is increased from room temperature at a rate of 1 ° C./min from room temperature in an inert gas atmosphere.
After maintaining at 0 ° C. for 1 hour, the temperature was lowered to room temperature, and the high-temperature firing was completed.

【0046】このようにして焼成したグラファイトシー
トはいずれも均一な発泡状態にあり、シートの厚さは1
00〜200μmであり、柔軟性をもっていた。
Each of the graphite sheets fired in this manner is in a uniform foamed state, and the thickness of the sheet is 1
It was 00 to 200 μm, and had flexibility.

【0047】(実施例13)本実施の形態では、50c
m×50cmの大きさの原料ポリイミドフィルムを10
枚同時に電気炉の中に入れて、予備焼成において、昇温
速度として1℃/min、5℃/min及び20℃/m
inで室温から昇温し、最高温度を1000℃とし、1
000℃で1時間保持した以外は、実施の形態12と同
様にグラファイトシートを作製した。
(Embodiment 13) In the present embodiment, 50c
Raw polyimide film with a size of mx 50 cm
The pieces are simultaneously placed in an electric furnace, and the preheating is performed at a heating rate of 1 ° C./min, 5 ° C./min, and 20 ° C./m
in to raise the temperature from room temperature to 1000 ° C.
A graphite sheet was produced in the same manner as in Embodiment 12, except that the temperature was kept at 000 ° C. for 1 hour.

【0048】このようにして焼成したグラファイトシー
トは、昇温速度が1℃/min及び5℃/minでは発
泡が起こりすぎたために、一部でシートが剥離を生じた
り、ボロボロになっていた。また、昇温速度が20℃/
minでは、均一な発泡状態にあり、柔軟性をもってお
り、シートの厚さは90〜180μmであった。
In the graphite sheet fired in this manner, foaming occurred excessively at a temperature rising rate of 1 ° C./min and 5 ° C./min, so that the sheet was partially peeled or tattered. In addition, the heating rate is 20 ° C /
At min, the sheet was in a uniform foamed state, had flexibility, and had a thickness of 90 to 180 μm.

【0049】予備焼成における最高温度を1000℃〜
1200℃の間で変化させて実験を行うことにより、原
料ポリイミドフィルムを多数枚焼成する場合には、予備
焼成の最高温度が1200℃未満では、高温焼成時に発
泡が過度に起きやすく、1200℃以下ではグラファイ
トがシート形状を呈さずに、ボロボロになりやすくなる
ことがわかる。
The maximum temperature in the preliminary firing is 1000 ° C.
When a large number of raw material polyimide films are fired by performing experiments by changing the temperature between 1200 ° C., if the maximum temperature of the preliminary firing is less than 1200 ° C., foaming tends to occur excessively during high-temperature firing, and 1200 ° C. or less. It can be seen that graphite does not exhibit a sheet shape and is likely to be ragged.

【0050】(実施例14)本実施の形態では、第1の
熱処理に600℃で1時間保持したこと以外には、実施
の形態1と同様にグラファイトシートを作製した。この
ようにして焼成したグラファイトシートは均一な発泡状
態にあり、柔軟性をもっており、シートの厚さは90〜
180μmであった。
Example 14 In the present embodiment, a graphite sheet was produced in the same manner as in Embodiment 1, except that the first heat treatment was performed at 600 ° C. for 1 hour. The graphite sheet fired in this manner is in a uniform foamed state, has flexibility, and has a sheet thickness of 90 to
It was 180 μm.

【0051】(実施例15)本実施の形態では、高温焼
成工程中に2000℃で1時間保持したこと以外には、
実施の形態1と同様にグラファイトシートを作製した。
このようにして焼成したグラファイトシートは均一な発
泡状態にあり、柔軟性をもっており、シートの厚さは8
0〜160μmであった。
(Embodiment 15) In the present embodiment, except for holding at 2000 ° C. for 1 hour during the high temperature firing step,
A graphite sheet was produced in the same manner as in the first embodiment.
The graphite sheet fired in this manner is in a uniform foamed state, has flexibility, and has a thickness of 8 sheets.
It was 0 to 160 μm.

【0052】(実施例16)本実施の形態では、以上の
実施の形態で得られた発泡性を呈し、柔軟性を有するグ
ラファイトシートを、電気機器等の発熱源に連絡して、
放熱するための熱伝導体として用いた。
(Example 16) In this embodiment, the foamable and flexible graphite sheet obtained in the above embodiment is connected to a heat source such as electric equipment, and the like.
It was used as a heat conductor for heat dissipation.

【0053】本実施の形態における熱伝導体は、グラフ
ァイト構造を有するため、その炭素原子同士の結合面の
方向に良好な熱伝導性を呈するため、実際に発熱源から
の熱を外部へと効率的に伝達し、放熱させることができ
た。
Since the heat conductor in the present embodiment has a graphite structure, it exhibits good heat conductivity in the direction of the bonding surface between its carbon atoms, so that the heat from the heat source is actually transferred to the outside efficiently. It was able to transmit heat and radiate heat.

【0054】また、この熱伝導体は、発泡性故に十分な
柔軟性を有し、熱伝導体の取り回しは、きわめて自在に
行い得た。更に、この柔軟性故に、発熱源に対する取り
付けの自由度も高く、発熱源が複雑な形状の電気機器で
あっても、十分対応が可能であった。
The heat conductor had sufficient flexibility due to foaming properties, and the heat conductor could be handled very freely. Furthermore, because of this flexibility, the degree of freedom of attachment to the heat source is high, and it is possible to sufficiently cope with an electric device having a complicated heat source.

【0055】[0055]

【発明の効果】以上のように本発明によれば、高分子フ
ィルム、特にポリイミドフィルムの熱処理によってグラ
ファイトシートを得る場合に、残留酸、鱗片状の剥離等
の発生がなく、単結晶グラファイトと同様の物性を呈
し、高品質で柔軟性、強靱性に富み熱伝導性に優れたグ
ラファイトシートが確実に得られた。
As described above, according to the present invention, when a graphite sheet is obtained by heat-treating a polymer film, particularly a polyimide film, no residual acid, flake-like peeling, etc. occurs, and the same as single-crystal graphite. Thus, a graphite sheet with high quality, high flexibility, high toughness, and excellent thermal conductivity was obtained.

【0056】そして、かかるグラファイトシートは、発
熱源からの熱を放熱する熱伝導体として好適に適用され
得たものである。
The graphite sheet can be suitably applied as a heat conductor for radiating heat from a heat source.

フロントページの続き (72)発明者 田尾本 昭 神奈川県川崎市多摩区東三田3丁目10番1 号 松下技研株式会社内 Fターム(参考) 4G046 EA03 EA05 EB04 EC01 EC06 EC08 Continuation of front page (72) Inventor Akira Taomoto 3-10-1 Higashi-Mita, Tama-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa F-term in Matsushita Giken Co., Ltd. 4G046 EA03 EA05 EB04 EC01 EC06 EC08

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ポリイミドフィルムを原料として、不活
性ガス中で上限温度を1000℃〜1600℃までの範
囲で熱処理を行う第1の熱処理工程と、第1の熱処理工
程後更に不活性ガス中で上限温度2500℃〜3100
℃の範囲で熱処理を行う第2の熱処理工程とを有するこ
とを特徴とする発泡状態を呈するグラファイトシートの
製造方法。
1. A first heat treatment step in which a polyimide film is used as a raw material and heat treatment is performed in an inert gas at an upper limit temperature in a range of 1000 ° C. to 1600 ° C., and after the first heat treatment step, further heat treatment is performed in an inert gas. Maximum temperature 2500 ℃ -3100
A second heat treatment step of performing a heat treatment at a temperature in the range of ° C. to produce a graphite sheet exhibiting a foamed state.
【請求項2】 第1の熱処理工程における上限温度を1
200℃〜1600℃までとする請求項1記載のグラフ
ァイトシートの製造方法。
2. An upper limit temperature in the first heat treatment step is set to 1
The method for producing a graphite sheet according to claim 1, wherein the temperature is from 200C to 1600C.
【請求項3】 第1及び第2の熱処理工程における昇温
速度が、1〜20℃/minの範囲内である請求項1、
2記載のグラファイトシートの製造方法。
3. The heating rate in the first and second heat treatment steps is in the range of 1 to 20 ° C./min.
3. The method for producing a graphite sheet according to 2.
【請求項4】 第1の熱処理工程で、400から700
℃の温度範囲で、一定温度で一定時間熱処理を行うこと
を特徴とする請求項1から3のに記載のグラファイトシ
ートの製造方法。
4. The method according to claim 1, wherein in the first heat treatment step, 400 to 700
The method for producing a graphite sheet according to any one of claims 1 to 3, wherein the heat treatment is performed at a constant temperature for a fixed time in a temperature range of ° C.
【請求項5】 第2の熱処理工程で、1800から23
00℃の温度範囲で、一定温度で一定時間熱処理を行う
ことを特徴とする請求項1から4に記載のグラファイト
シートの製造方法。
5. The method according to claim 5, wherein in the second heat treatment step, 1800 to 23
The method for producing a graphite sheet according to any one of claims 1 to 4, wherein the heat treatment is performed at a fixed temperature for a fixed time in a temperature range of 00C.
【請求項6】 グラファイトシートを圧延処理する圧延
処理工程を有する請求項1から5のいずれかに記載のグ
ラファイトシートの製造方法。
6. The method for producing a graphite sheet according to claim 1, further comprising a rolling treatment step of rolling the graphite sheet.
【請求項7】 請求項1から5のいずれかに記載のグラ
ファイトシートの製造方法で得られたグラファイトシー
トであって、シートの密度が0.3から0.7g/cc
の範囲にあるか原料フィルムの膜厚の2倍から10倍の
範囲あることを特徴とするグラファイトシート。
7. A graphite sheet obtained by the method for producing a graphite sheet according to claim 1, wherein the density of the sheet is 0.3 to 0.7 g / cc.
Characterized in that the thickness is in the range of 2 to 10 times the thickness of the raw material film.
【請求項8】 請求項1から5のいずれかに記載のグラ
ファイトシートの製造方法で得られたグラファイトシー
トであって、圧延処理により密度が0.7から1.5g
/ccの範囲にあることを特徴とするグラファイトシー
ト。
8. A graphite sheet obtained by the method for producing a graphite sheet according to claim 1, wherein the density is 0.7 to 1.5 g by a rolling process.
/ Cc in the range of / cc.
【請求項9】 請求項8記載のグラファイトシートを、
発熱源に連絡して用いる熱伝導体。
9. The graphite sheet according to claim 8,
Thermal conductor used in contact with the heat source.
JP10352721A 1998-12-11 1998-12-11 Production of graphite sheet and thermal conductive material using the same Withdrawn JP2000178016A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10352721A JP2000178016A (en) 1998-12-11 1998-12-11 Production of graphite sheet and thermal conductive material using the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10352721A JP2000178016A (en) 1998-12-11 1998-12-11 Production of graphite sheet and thermal conductive material using the same

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2000178016A true JP2000178016A (en) 2000-06-27

Family

ID=18425988

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10352721A Withdrawn JP2000178016A (en) 1998-12-11 1998-12-11 Production of graphite sheet and thermal conductive material using the same

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2000178016A (en)

Cited By (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003206601A (en) * 2002-01-15 2003-07-25 Taisei Laminator Co Ltd Roofing material
WO2004095494A1 (en) * 2003-04-22 2004-11-04 Matsushita Electric Industrial Co. Ltd. Electron-emitting material, its producing method, electron-emitting device using same, and image drawing device
US7264869B2 (en) 2001-06-06 2007-09-04 Polymatech Co., Ltd. Thermally conductive molded article and method of making the same
JP2008024571A (en) * 2006-07-25 2008-02-07 Kaneka Corp Graphite film and method for manufacturing graphite film
JP2008069061A (en) * 2006-09-15 2008-03-27 Kaneka Corp Graphite film excellent in bending characteristics
KR100828109B1 (en) 2007-04-23 2008-05-08 한국화학연구원 Preparation methods of graphite sheets with high thermal conductivity
JP2009200207A (en) * 2008-02-21 2009-09-03 Kanagawa Acad Of Sci & Technol Semiconductor substrate, semiconductor element, light-emitting element, and electronic element
JP2009292694A (en) * 2008-06-06 2009-12-17 Kaneka Corp Manufacturing method of graphite film
US7736542B2 (en) 2003-04-22 2010-06-15 Panasonic Corporation Electron-emitting material, manufacturing method therefor and electron-emitting element and image displaying device employing same
JPWO2008143120A1 (en) * 2007-05-17 2010-08-05 株式会社カネカ Graphite film and graphite composite film
WO2010150300A1 (en) * 2009-06-22 2010-12-29 株式会社カネカ Graphite film and process for producing graphite film
WO2011102107A1 (en) * 2010-02-22 2011-08-25 株式会社カネカ Method for producing graphite film, method for rewinding same, and method for producing graphite composite film and graphite-free processed product
WO2011111380A1 (en) * 2010-03-10 2011-09-15 株式会社カネカ Method for producing carbonized film and method for producing graphite film
JP2012129476A (en) * 2010-12-17 2012-07-05 Kaneka Corp Heat spot suppression film, device, and method of manufacturing heat spot suppression film
WO2012133311A1 (en) * 2011-03-28 2012-10-04 株式会社カネカ Process for producing graphite film
CN103864065A (en) * 2014-03-10 2014-06-18 贵州新碳高科有限责任公司 Method for improving thermal conductivity of graphene thin film
JP2014177402A (en) * 2011-03-18 2014-09-25 Kaneka Corp Method for manufacturing graphite film and method for manufacturing carbonization film
WO2015069438A1 (en) 2013-11-05 2015-05-14 Graftech International Holdings Inc. A graphite article
KR20150116668A (en) * 2014-04-08 2015-10-16 성균관대학교산학협력단 Graphite film, preparing method thereof, and pellicle including the same
CN106206682A (en) * 2016-08-22 2016-12-07 深圳丹邦科技股份有限公司 Multi-layer graphene quantum carbon-based semiconductors material of PI film preparation and preparation method thereof
WO2020101122A1 (en) * 2018-11-16 2020-05-22 에스케이씨코오롱피아이 주식회사 Method for manufacturing thick graphite sheet and thick graphite sheet manufactured using same
US10797136B2 (en) 2016-08-22 2020-10-06 Shenzhen Danbond Technology Co., Ltd Multilayer graphene quantum carbon-based semiconductor material prepared from PI film, and preparation method therefor
US20210086474A1 (en) * 2018-05-03 2021-03-25 Skc Co., Ltd. Multilayer graphite sheet with excellent electromagnetic shielding capability and thermal conductivity and manufacturing method therefor
CN112591743A (en) * 2020-12-28 2021-04-02 碳元科技股份有限公司 Super-thick foamed graphite, preparation method thereof and conductive heating material

Cited By (55)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7264869B2 (en) 2001-06-06 2007-09-04 Polymatech Co., Ltd. Thermally conductive molded article and method of making the same
JP2003206601A (en) * 2002-01-15 2003-07-25 Taisei Laminator Co Ltd Roofing material
US7736542B2 (en) 2003-04-22 2010-06-15 Panasonic Corporation Electron-emitting material, manufacturing method therefor and electron-emitting element and image displaying device employing same
WO2004095494A1 (en) * 2003-04-22 2004-11-04 Matsushita Electric Industrial Co. Ltd. Electron-emitting material, its producing method, electron-emitting device using same, and image drawing device
JP2008024571A (en) * 2006-07-25 2008-02-07 Kaneka Corp Graphite film and method for manufacturing graphite film
JP2008069061A (en) * 2006-09-15 2008-03-27 Kaneka Corp Graphite film excellent in bending characteristics
KR100828109B1 (en) 2007-04-23 2008-05-08 한국화학연구원 Preparation methods of graphite sheets with high thermal conductivity
JPWO2008143120A1 (en) * 2007-05-17 2010-08-05 株式会社カネカ Graphite film and graphite composite film
JP4521478B2 (en) * 2007-05-17 2010-08-11 株式会社カネカ Graphite film and graphite composite film
JP2010189267A (en) * 2007-05-17 2010-09-02 Kaneka Corp Graphite film and graphite composite film
US9453155B2 (en) 2007-05-17 2016-09-27 Kaneka Corporation Graphite film and graphite composite film
JP4617396B2 (en) * 2007-05-17 2011-01-26 株式会社カネカ Graphite film and graphite composite film
US8092908B2 (en) 2007-05-17 2012-01-10 Kaneka Corporation Graphite film and graphite composite film
US8444949B2 (en) 2007-05-17 2013-05-21 Kaneka Corporation Graphite film and graphite composite film
JP2009200207A (en) * 2008-02-21 2009-09-03 Kanagawa Acad Of Sci & Technol Semiconductor substrate, semiconductor element, light-emitting element, and electronic element
JP2009292694A (en) * 2008-06-06 2009-12-17 Kaneka Corp Manufacturing method of graphite film
US9266736B2 (en) 2009-06-22 2016-02-23 Kaneka Corporation Graphite film and method for producing graphite film
US9776927B2 (en) 2009-06-22 2017-10-03 Kaneka Corporation Graphite film
US9845267B2 (en) 2009-06-22 2017-12-19 Kaneka Corporation Method for producing graphite film
KR101450783B1 (en) * 2009-06-22 2014-10-15 가부시키가이샤 가네카 Graphite film and process for producing graphite film
WO2010150300A1 (en) * 2009-06-22 2010-12-29 株式会社カネカ Graphite film and process for producing graphite film
JP5431472B2 (en) * 2009-06-22 2014-03-05 株式会社カネカ Graphite film and method for producing graphite film
CN102811947A (en) * 2010-02-22 2012-12-05 株式会社钟化 Method for producing graphite film, method for rewinding same, and method for producing graphite composite film and graphite die-cutting product
JP2013006763A (en) * 2010-02-22 2013-01-10 Kaneka Corp Method for producing graphite composite film
US9249024B2 (en) 2010-02-22 2016-02-02 Kaneka Corporation Method for producing graphite film, method for rewinding same, and method for producing graphite composite film and graphite die-cutting product
US9682542B2 (en) 2010-02-22 2017-06-20 Kaneka Corporation Method for producing graphite film, method for rewinding same, and method for producing graphite composite film and graphite die-cutting product
JP5048166B2 (en) * 2010-02-22 2012-10-17 株式会社カネカ Manufacturing method and rewinding method of graphite film, and manufacturing method of graphite composite film and graphite-extracted processed product
WO2011102107A1 (en) * 2010-02-22 2011-08-25 株式会社カネカ Method for producing graphite film, method for rewinding same, and method for producing graphite composite film and graphite-free processed product
WO2011111380A1 (en) * 2010-03-10 2011-09-15 株式会社カネカ Method for producing carbonized film and method for producing graphite film
JP5079164B2 (en) * 2010-03-10 2012-11-21 株式会社カネカ Method for producing carbonized film and method for producing graphite film
US8920691B2 (en) 2010-03-10 2014-12-30 Kaneka Corporation Method for producing carbonized film and method for producing graphite film
JP2012129476A (en) * 2010-12-17 2012-07-05 Kaneka Corp Heat spot suppression film, device, and method of manufacturing heat spot suppression film
JP2014177402A (en) * 2011-03-18 2014-09-25 Kaneka Corp Method for manufacturing graphite film and method for manufacturing carbonization film
JP5450891B2 (en) * 2011-03-28 2014-03-26 株式会社カネカ Method for producing graphite film
WO2012133311A1 (en) * 2011-03-28 2012-10-04 株式会社カネカ Process for producing graphite film
US9193592B2 (en) 2011-03-28 2015-11-24 Kaneka Corporation Process for producing graphite film
TWI468342B (en) * 2011-03-28 2015-01-11 鐘化股份有限公司 Method of producing graphite film
US9067185B2 (en) 2011-03-28 2015-06-30 Kaneka Corporation Process for producing graphite film
JP5512035B1 (en) * 2011-03-28 2014-06-04 株式会社カネカ Method for producing graphite film
CN103415467A (en) * 2011-03-28 2013-11-27 株式会社钟化 Process for producing graphite film
EP3066047B1 (en) * 2013-11-05 2020-12-02 NeoGraf Solutions, LLC A graphite article
WO2015069438A1 (en) 2013-11-05 2015-05-14 Graftech International Holdings Inc. A graphite article
US10589998B2 (en) 2013-11-05 2020-03-17 Neograf Solutions, Llc Graphite article
CN103864065A (en) * 2014-03-10 2014-06-18 贵州新碳高科有限责任公司 Method for improving thermal conductivity of graphene thin film
KR101600397B1 (en) * 2014-04-08 2016-03-07 성균관대학교산학협력단 Graphite film, preparing method thereof, and pellicle including the same
KR20150116668A (en) * 2014-04-08 2015-10-16 성균관대학교산학협력단 Graphite film, preparing method thereof, and pellicle including the same
CN106206682B (en) * 2016-08-22 2020-01-31 深圳丹邦科技股份有限公司 Multilayer graphene quantum carbon-based semiconductor material prepared from PI film and preparation method thereof
CN106206682A (en) * 2016-08-22 2016-12-07 深圳丹邦科技股份有限公司 Multi-layer graphene quantum carbon-based semiconductors material of PI film preparation and preparation method thereof
US10797136B2 (en) 2016-08-22 2020-10-06 Shenzhen Danbond Technology Co., Ltd Multilayer graphene quantum carbon-based semiconductor material prepared from PI film, and preparation method therefor
US20210086474A1 (en) * 2018-05-03 2021-03-25 Skc Co., Ltd. Multilayer graphite sheet with excellent electromagnetic shielding capability and thermal conductivity and manufacturing method therefor
US11745463B2 (en) * 2018-05-03 2023-09-05 Skc Co., Ltd. Multilayer graphite sheet with excellent electromagnetic shielding capability and thermal conductivity and manufacturing method therefor
WO2020101122A1 (en) * 2018-11-16 2020-05-22 에스케이씨코오롱피아이 주식회사 Method for manufacturing thick graphite sheet and thick graphite sheet manufactured using same
KR20200057314A (en) * 2018-11-16 2020-05-26 에스케이씨코오롱피아이 주식회사 Method for Preparing Thick Graphite Sheet and Thick Graphite Sheet Prepared by Using the Same
KR102151508B1 (en) 2018-11-16 2020-09-03 피아이첨단소재 주식회사 Method for Preparing Thick Graphite Sheet and Thick Graphite Sheet Prepared by Using the Same
CN112591743A (en) * 2020-12-28 2021-04-02 碳元科技股份有限公司 Super-thick foamed graphite, preparation method thereof and conductive heating material

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2000178016A (en) Production of graphite sheet and thermal conductive material using the same
CN106629698B (en) A kind of production method of ultra-thin graphite slice
CN103864067B (en) Preparation method of high thermal conductivity graphite membrane-copper composite material
CN104495798A (en) Manufacturing method of graphite heat-conduction membrane
KR102234015B1 (en) Method of manufacturing graphite sheet with excellent heat conductive property and graphit sheet manufactured
CN114351067B (en) Method for remarkably improving strong plasticity of double-structure titanium alloy
CN113233453B (en) High-electric-conductivity heat-conduction graphite material and preparation method thereof
JPH1121117A (en) Production of graphite film and graphite film and heat conductive body using the same
WO2003067931A1 (en) Microwave assisted treatment of carbon foam
JP3041934B2 (en) Manufacturing method of graphite film
JP2005516883A5 (en)
KR20160090608A (en) Graphite sheet and method for preparing same
CN115862956A (en) Preparation method of graphene-based heat/electricity conducting composite material
CN114873587A (en) Graphene heat-conducting film and preparation method thereof
KR101669155B1 (en) Method for preparing graphite sheet having high thermal conductivity
CN109573999A (en) The manufacturing method of graphite film
JP2000044220A (en) Production of graphite film
KR101610094B1 (en) Graphite insulator manufacturing method
CN113372669A (en) Polyvinylidene fluoride-based conversion type carbon nanotube/graphene heat-conducting composite material and preparation method thereof
JPH0365505A (en) Low density swollen graphite molded product and preparation thereof
CN116023168B (en) Method for carrying out carbon reduction treatment on porous silicon-boron-nitrogen ceramic material and material prepared by method
CN110723751A (en) Method for preparing molybdenum trioxide by using waste molybdenum disilicide coating
CN114864283B (en) High-energy-storage flexible inorganic film and preparation method thereof
JPH1171106A (en) Production of glassy carbon material
CN115872784B (en) Porous silicon nitride ceramic material and method for removing residual carbon thereof

Legal Events

Date Code Title Description
RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20050629

A761 Written withdrawal of application

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761

Effective date: 20060307