JP2000235057A - Method and device for generating information for production of printed board inspecting jig board printed board inspecting jig board, and printed board inspecting method - Google Patents

Method and device for generating information for production of printed board inspecting jig board printed board inspecting jig board, and printed board inspecting method

Info

Publication number
JP2000235057A
JP2000235057A JP11034913A JP3491399A JP2000235057A JP 2000235057 A JP2000235057 A JP 2000235057A JP 11034913 A JP11034913 A JP 11034913A JP 3491399 A JP3491399 A JP 3491399A JP 2000235057 A JP2000235057 A JP 2000235057A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
inspection
electrode
inspected
electrodes
circuit board
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP11034913A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yuichi Haruta
裕一 春田
Keikichi Yanagii
啓吉 楊井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JSR Corp
Original Assignee
JSR Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by JSR Corp filed Critical JSR Corp
Priority to JP11034913A priority Critical patent/JP2000235057A/en
Publication of JP2000235057A publication Critical patent/JP2000235057A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To extremely easily generate the information concerning a common inspecting electrode by performing a grouping processing and a common electrode forming processing for forming a single virtual common electrode. SOLUTION: A driving mechanism 19 is driven by a control mechanism 23 governed by a control computer 22 in an inspection control mechanism B, a lower head 10 is laid in the state pressed to an upper head 11 to pressure connect an inspecting jig board 12 to a board to be inspected 20, whereby the electric connection of the both is attained through connector sheets 16, 17. At this time, the conducting state of the electrode to be inspected of the board to be inspected 20 is transmitted to a tester 24 trough the lower head 10 and the upper head 11 to execute the inspection. According to this, the geometric information and electric connection information for a common inspecting electrode to be formed n an intended continuity inspecting jig board can be easily generated in an extremely short time.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、プリント基板検査
用の治具基板を作製するための情報生成方法および装
置、プリント基板検査用治具基板並びにプリント基板検
査方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an information generating method and apparatus for producing a jig substrate for printed circuit board inspection, a jig substrate for printed circuit board inspection, and a printed circuit board inspection method.

【0002】[0002]

【従来の技術】プリント配線基板(以下、単に「プリン
ト基板」という。)は、集積回路(IC)、大規模集積
回路(LSI)、トランジスター、抵抗などの能動素子
および受動素子を支持する支持体としての機能と共に、
それらの素子に係る電極間に必要とされる電気的接続を
達成するための配線機能を有する。すなわち、プリント
基板においては、当該プリント基板に支持される素子の
配置の状態や接続の状況に応じて、各電極の具体的な配
置が決定され、更にこれらの電極間の電気的な接続状態
または絶縁状態が形成されることにより、電気的ネット
ワークの複数が形成されている。
2. Description of the Related Art A printed wiring board (hereinafter simply referred to as a "printed board") is a support for supporting active and passive elements such as integrated circuits (ICs), large-scale integrated circuits (LSIs), transistors, and resistors. Along with the function as
It has a wiring function to achieve the required electrical connection between the electrodes of these elements. That is, in the printed circuit board, the specific arrangement of each electrode is determined according to the arrangement state and connection state of the elements supported by the printed circuit board, and further, the electrical connection state between these electrodes or The formation of the isolation state forms a plurality of electrical networks.

【0003】一般に、プリント基板の電気的性能の検査
には、当該基板上の複数の電極を電気的に接続する配線
における断線の有無を検査する導通状態確認検査(以
下、単に「導通検査」という。)と、当該基板に独立し
て形成された配線ネット間における絶縁不良の有無を検
査する絶縁状態確認検査(以下、単に「絶縁検査」とい
う。)の2種類がある。また、これらの検査を実行する
方法としては、被検査電極の対の各々に個別に検査用プ
ローブを接触させて両者間の電気抵抗を測定するフライ
イングプローブ法などの個別的検査法の他に、一括的検
査法として、多数の被検査電極に対応する位置に配置さ
れたピン状のプローブをすべての被検査電極に対して一
括して接触させて検査を行う方法、あるいはピン状のプ
ローブの代わりに被検査電極に対応する位置に適合する
形状と大きさの検査用電極をプローブとして配置してな
るプリント基板からなる検査用治具基板を用いる方法な
どがある。
In general, the inspection of the electrical performance of a printed circuit board is performed by a continuity check (hereinafter simply referred to as a “continuity test”) for checking the presence or absence of a break in a wiring for electrically connecting a plurality of electrodes on the board. ) And an insulation state inspection test (hereinafter simply referred to as an “insulation inspection”) for inspecting the presence or absence of insulation failure between wiring nets formed independently on the substrate. In addition, as a method of performing these inspections, in addition to an individual inspection method such as a flying probe method in which an inspection probe is individually brought into contact with each pair of electrodes to be inspected and an electric resistance between the two is measured. As a batch inspection method, a method in which a pin-shaped probe placed at a position corresponding to a large number of electrodes to be inspected is brought into contact with all the electrodes to be inspected at once to perform an inspection, or a pin-shaped probe is used. Instead, there is a method using an inspection jig substrate formed of a printed circuit board in which an inspection electrode having a shape and size suitable for a position corresponding to the electrode to be inspected is arranged as a probe.

【0004】而して、近年ではプリント基板における配
線密度が急速に増大されており、各配線間の距離(ピッ
チ)が微小化されると共に、検査用電極そのものも微細
化、高密度化されるに至っている。その結果、当然のこ
とながら、検査用プローブ装置においても、極めて微小
な被検査電極が非常に接近した状態に配置されている被
検査基板について、所期の検査を確実に実行し得ること
が要求されるようになっている。
In recent years, the wiring density on a printed circuit board has been rapidly increasing, and the distance (pitch) between the wirings has been reduced, and the inspection electrodes themselves have also been reduced in size and density. Has been reached. As a result, as a matter of course, even in the inspection probe device, it is required that the expected inspection can be reliably performed on the inspection target substrate on which the extremely minute electrodes to be inspected are arranged very close to each other. It is supposed to be.

【0005】前述の個別的検査法は、この要求に比較的
容易に対応することができるが、多数の被検査電極対の
すべてについて個別に接触を実行して検査しなければな
らないために、所要の検査に非常に長い時間がかかり、
現実的ではない。一方、一括的検査法では、ピン状プロ
ーブを使用する場合であっても、あるいは検査用電極を
有する検査用治具基板を用いる場合であっても、それら
の検査用プローブ装置において、微小なピンプローブや
検査用電極を限定された狭い領域内に高い位置精度で配
置することが必要であって、これを実現するためにはき
わめて高度の技術が要求され、このため、実際には、当
該検査用プローブ装置を作製するために非現実的な程に
多大のコストや時間が必要となっている。
[0005] The above-mentioned individual inspection method can relatively easily respond to this requirement, but it is necessary to perform inspection by performing individual contact for all of a large number of electrode pairs to be inspected. Inspection takes a very long time,
Not realistic. On the other hand, in the collective inspection method, even when a pin-shaped probe is used, or when an inspection jig substrate having an inspection electrode is used, a minute pin is used in those inspection probe devices. It is necessary to arrange a probe or an electrode for inspection with high positional accuracy in a limited narrow area, and to achieve this, extremely high technology is required. A large amount of cost and time is required to make the probe device for the measurement unrealistic.

【0006】また、微細で高密度のパターンを有するプ
リント基板の検査では、実際上、検査の対象である被検
査基板とこれに対接される検査用治具基板との間に僅か
でも位置ずれがあると、目的とする検査を行うことがで
きず、検査結果が信頼性のないものとなるので、それら
の精密な位置合わせの技術も同時に要求されるに至って
いる。
Further, in the inspection of a printed circuit board having a fine and high-density pattern, in practice, even a slight displacement occurs between the inspected substrate to be inspected and the inspection jig substrate that is in contact with the inspected substrate. In such a case, the intended inspection cannot be performed, and the inspection result becomes unreliable. Therefore, a technique of precisely aligning them is required at the same time.

【0007】このように、現在のプリント基板の検査用
プローブ装置の分野においては、プリント基板における
配線パターンの高密度化・微細化に対応して、微細なピ
ン状のプローブまたは検査用電極を高密度に、かつ高い
位置精度で配列するための具体的な方法が求められてお
り、その方向に沿って研究がなされているのが現状であ
る。
As described above, in the field of the current probe apparatus for inspecting a printed circuit board, a fine pin-shaped probe or an electrode for inspection is required to be high in order to cope with a higher density and finer wiring pattern on the printed circuit board. There is a need for a specific method for arranging with high density and high positional accuracy, and research is currently being conducted along that direction.

【0008】具体的に説明すると、図1は、被検査プリ
ント基板(以下、「被検査基板」ともいう。)の一括的
検査法において検査用プローブとして用いられる従来の
検査用治具基板の一例における検査用電極と端子電極と
を、互いに重ね合わせた状態(透視した状態)で示す説
明図である。この検査用治具基板の、検査時に被検査基
板に対接される一面には、黒く塗り潰された矩形または
円形で示した検査用電極51,51が配置されると共
に、他面には、白抜きの円形で示した端子電極52,5
2を一定間隔の格子点上に配置してグリッド電極が形成
され、更に、対応する検査用電極51と端子電極52と
が、対を構成する状態でプリント配線53により電気的
に接続されている。ここに、検査用電極51の各々は、
被検査基板における多数の被検査電極のそれぞれと、形
状、大きさおよび位置が対応したものとされている。
More specifically, FIG. 1 shows an example of a conventional inspection jig substrate used as an inspection probe in a collective inspection method of a printed substrate to be inspected (hereinafter, also referred to as “substrate to be inspected”). FIG. 4 is an explanatory diagram showing a state in which the inspection electrode and the terminal electrode in FIG. On one surface of the inspection jig substrate which is in contact with the substrate to be inspected at the time of inspection, inspection electrodes 51 and 51 shown in a black or black rectangle are arranged, and on the other surface, white or white electrodes are provided. Terminal electrodes 52 and 5 shown by blank circles
2 are arranged on grid points at regular intervals to form grid electrodes, and the corresponding test electrodes 51 and terminal electrodes 52 are electrically connected by printed wiring 53 in a state of forming a pair. . Here, each of the test electrodes 51 is
The shape, size, and position of each of a large number of electrodes to be inspected on the substrate to be inspected correspond to each other.

【0009】このような検査用治具基板は、プリント基
板検査装置に装着され、被検査基板の電気的性能の検査
に供される。図2は、プリント基板検査装置の一例を示
し、Aは検査用ヘッド機構、Bは検査制御機構である。
検査用ヘッド機構Aにおいて、10は下部ヘッドであ
り、この下部ヘッド10上に検査用治具基板12が装着
され、この検査用治具基板12上に被検査基板20が配
置される。具体的には、例えば異方導電性ゴムシートな
どのコネクターシート16,17が検査用治具基板12
の両面に配置されたものが下部ヘッド10に装着され、
その上に被検査基板20が配置される。また、下部ヘッ
ド10の上方の上部ヘッド11には、同様に検査用治具
基板12とコネクターシート16,17とが積重して装
着されている。
Such an inspection jig substrate is mounted on a printed circuit board inspection apparatus, and is used for inspecting the electrical performance of the substrate to be inspected. FIG. 2 shows an example of a printed board inspection apparatus, wherein A is an inspection head mechanism, and B is an inspection control mechanism.
In the inspection head mechanism A, reference numeral 10 denotes a lower head. An inspection jig substrate 12 is mounted on the lower head 10, and a substrate 20 to be inspected is arranged on the inspection jig substrate 12. Specifically, for example, the connector sheets 16 and 17 such as an anisotropic conductive rubber sheet are used for the inspection jig substrate 12.
Are mounted on the lower head 10,
The substrate to be inspected 20 is disposed thereon. Similarly, an inspection jig substrate 12 and connector sheets 16 and 17 are mounted on the upper head 11 above the lower head 10 in a stacked manner.

【0010】19は駆動機構であって、検査制御機構B
における制御用コンピュータ22により支配される制御
機構23により駆動され、これにより、下部ヘッド10
が上部ヘッド11に対して押圧された状態とされて、検
査用治具基板12と被検査基板20が圧着されて両者の
電気的な接続がコネクターシート16,17を介して達
成され、そのときの被検査基板20の被検査電極の導通
状態が下部ヘッド10および上部ヘッド11を介してテ
スター24に送られて検査が実行される。
Reference numeral 19 denotes a drive mechanism, which is an inspection control mechanism B
Is driven by a control mechanism 23 controlled by a control computer 22 in the lower head 10.
Is pressed against the upper head 11, the inspection jig substrate 12 and the substrate to be inspected 20 are crimped, and an electrical connection therebetween is achieved via the connector sheets 16 and 17. The conduction state of the electrodes to be inspected of the substrate to be inspected 20 is sent to the tester 24 via the lower head 10 and the upper head 11 to execute the inspection.

【0011】このような検査装置により被検査基板20
について所要の検査を実施するためには、被検査基板2
0上の被検査電極の位置と検査用治具基板12上の検査
用電極の位置とが正確に一致した状態を得ることが不可
欠であり、これを達成するために、通常、種々の位置合
わせ機構が検査装置に組み込まれている。しかしなが
ら、近年における、プリント基板の電極が微小化し高密
度化されている現状においては、検査用治具基板12に
対する被検査基板20の正確な位置合わせを達成するこ
とは非常に困難となっている。
[0011] With such an inspection apparatus, the substrate to be inspected 20
In order to carry out a required inspection on
It is indispensable to obtain a state where the position of the electrode to be inspected on the inspection jig 0 and the position of the electrode for inspection on the inspection jig substrate 12 are exactly coincident with each other. A mechanism is built into the inspection device. However, in recent years, the electrodes of the printed circuit board are miniaturized and the density is increased, and it is extremely difficult to achieve accurate alignment of the substrate 20 to be inspected with the inspection jig substrate 12. .

【0012】また、従来の検査用治具基板においては、
被検査基板上の多数の被検査電極の個々のものに各一に
対応して、被検査電極と同数の検査用電極を同配列で設
ける必要があり、またテスターにおいても、それに対応
して大きな検査容量が必要とされる。
Further, in a conventional inspection jig substrate,
Inspection electrodes of the same number as the electrodes to be inspected need to be provided in the same arrangement corresponding to each of a large number of the electrodes to be inspected on the substrate to be inspected. Inspection capacity is required.

【0013】更に、現在では、プリント基板の電極の微
小化および高密度化に伴い、検査用治具基板における検
査用電極と端子電極(グリッド電極)との間の配線によ
る電気的な接続も同様に困難を極める状況に至ってお
り、従前は基板の両面だけで十分な配線領域が得られて
いたのものが、最近では、1またはそれ以上の層間配線
が形成された多重配線構造としなければ、基板内に所要
の配線を形成することが不可能となってきている。
Further, at present, with the miniaturization and high density of the electrodes of the printed circuit board, the electrical connection by the wiring between the inspection electrode and the terminal electrode (grid electrode) on the inspection jig substrate is also the same. In the past, a sufficient wiring area was obtained only on both sides of the substrate. Recently, however, if a multi-wiring structure in which one or more interlayer wirings are formed is used, a substrate is required. It has become impossible to form the required wiring in the inside.

【0014】実用に供されるプリント基板は、通常、同
一のものを少なくともある程度以上の数量で生産するこ
とを前提に製造されるものであるから、その設計および
製造にはそれなりの期間とコストが許容されるが、検査
用治具基板は、本質的には単品生産されるものであり、
作製期間はできるだけ短く、コストは低いことが要求さ
れるものである。従って、被検査基板の微小化および高
密度化に対応して被検査基板と同様の多層配線構造を採
用することは、検査用治具基板の作製において非常に大
きな負荷となっている。
A printed circuit board to be put into practical use is usually manufactured on the assumption that the same printed circuit board is manufactured in at least a certain quantity or more, so that it takes a considerable time and cost to design and manufacture the printed circuit board. Although acceptable, the jig board for inspection is essentially a single item,
The manufacturing period is required to be as short as possible and the cost is required to be low. Therefore, adopting a multilayer wiring structure similar to that of the substrate to be inspected in response to miniaturization and high density of the substrate to be inspected imposes a very large load on the production of the inspection jig substrate.

【0015】以上のような事情から、改良されたプリン
ト基板検査用治具基板が特願平10−176172号に
おいて提案されている。この検査用治具基板は、被検査
基板における微細で高密度の被検査電極の最小ピッチよ
りも大きなピッチで形成される寸法の大きい共通検査用
電極を有しており、従って容量の小さい基板検査装置
(テスター)によっても所要の電気的検査を実施するこ
とができ、しかも当該検査用治具基板自体の設計および
作製が容易である。
Under the circumstances described above, an improved jig substrate for inspecting a printed circuit board has been proposed in Japanese Patent Application No. 10-176172. This inspection jig substrate has a large common inspection electrode formed at a pitch larger than the minimum pitch of the fine and high-density electrodes to be inspected on the substrate to be inspected. The required electrical inspection can be performed by the device (tester), and the design and production of the inspection jig substrate itself is easy.

【0016】具体的には、2種のプリント基板検査用治
具基板が提案されており、第1の検査用治具基板は、被
検査基板における各配線ネットの導通検査を行うための
ものである。この第1の検査用治具基板は、被検査基板
における複数の被検査電極の位置に対応する位置に検査
用電極を備えてなり、検査用電極のうちの少なくとも1
つは、2個以上の被検査電極により構成される被検査電
極グループに対応する形状を有する共通検査用電極であ
り、この共通検査用電極は、検査のために被検査基板と
接触されたときに、被検査基板に形成されている互いに
独立の配線ネットが、当該共通検査電極を介して互いに
電気的な閉回路を形成することがない状態に形成されて
いる。また、上記の検査用電極は、その複数が配線によ
って互いに電気的に接続されていてもよい。
Specifically, two types of jig substrates for printed circuit board inspection have been proposed, and the first inspection jig substrate is for conducting a continuity inspection of each wiring net on the substrate to be inspected. is there. The first inspection jig substrate includes an inspection electrode at a position corresponding to the positions of the plurality of electrodes to be inspected on the substrate to be inspected, and at least one of the inspection electrodes is provided.
One is a common inspection electrode having a shape corresponding to an electrode group to be inspected constituted by two or more electrodes to be inspected, and the common inspection electrode is brought into contact with the substrate to be inspected for inspection. In addition, mutually independent wiring nets formed on the substrate to be inspected are formed so as not to form an electrically closed circuit with each other via the common inspection electrode. A plurality of the above-mentioned inspection electrodes may be electrically connected to each other by wiring.

【0017】一方、第2の検査用治具基板は、被検査基
板における各配線ネット間の絶縁検査を行うためのもの
である。この第2の検査用治具基板は、検査用電極を備
えてなり、当該検査用電極は、被検査基板に形成されて
いる互いに独立の配線ネットの各々に属するただ1つの
被検査電極に対応する位置に、当該被検査電極と電気的
に接続される代表検査用電極として形成されている。
On the other hand, the second inspection jig substrate is for performing an insulation inspection between wiring nets on the substrate to be inspected. The second inspection jig substrate includes an inspection electrode, and the inspection electrode corresponds to only one inspected electrode belonging to each of the independent wiring nets formed on the inspected substrate. Is formed as a representative test electrode electrically connected to the test electrode.

【0018】以下、上記の各検査用治具基板について具
体的に説明する。図3は、第1の検査用治具基板におけ
る検査用電極と、被検査基板の被検査電極とを互いに重
ね合わせた状態(透視した状態)で示す説明図である。
この図において、黒く塗り潰された矩形、方形あるいは
円形の図形は、被検査基板上の被検査電極Xを表し、ま
た、白抜きの長方形は検査用治具基板(図示せず)の共
通検査用電極Yを表す。そして、共通検査用電極に係る
もの以外の被検査電極Xには、それに対応する検査用電
極Zが形成されている。また、被検査電極Xに付された
番号は、個々の被検査電極Xを特定するものであり、本
明細書では括弧を付して示すこととし、また共通検査用
電極Yに付された英小文字は、個々の検査用電極Yを特
定するものであり、本明細書では括弧を付して示す。
Hereinafter, each of the inspection jig substrates will be described in detail. FIG. 3 is an explanatory diagram showing a state in which an inspection electrode on the first inspection jig substrate and an electrode to be inspected on the substrate to be inspected are superimposed on each other (a transparent state).
In this figure, a rectangle, square, or circle figure filled in black represents an electrode X to be inspected on a substrate to be inspected, and a white rectangle represents a common inspection substrate of an inspection jig substrate (not shown). Represents an electrode Y. In addition, an inspection electrode Z corresponding to the inspection target electrode X other than the common inspection electrode is formed. The number assigned to the electrode X to be inspected specifies the individual electrode X to be inspected, and is indicated in parentheses in this specification, and the number assigned to the electrode Y for common inspection. Lowercase letters specify the individual test electrodes Y, and are shown in parentheses in this specification.

【0019】この図から明らかなように、各共通検査用
電極Yは、形状、大きさとも個々の被検査電極Xに対応
したものではなく、2個以上の被検査電極Xにより構成
される被検査電極グループに1つの共通検査用電極Yが
共通に対応した状態、換言すれば、共通検査用電極Y
は、被検査電極グループに属する複数の被検査電極Xに
共通に接触する形状と大きさと位置を有する電極として
形成されている。
As is apparent from this figure, each common inspection electrode Y does not correspond in shape and size to each individual electrode X to be inspected, but is formed by two or more electrodes X to be inspected. A state in which one common inspection electrode Y corresponds to the inspection electrode group, in other words, the common inspection electrode Y
Are formed as electrodes having a shape, a size, and a position that are in common contact with the plurality of electrodes X to be inspected belonging to the electrode group to be inspected.

【0020】具体的に説明すると、図3の例において、
共通検査用電極(a)は、4つの被検査電極(1〜4)
によって構成される被検査電極グループを共通して覆う
ような帯状の形状および寸法並び位置で形成されてお
り、共通検査用電極(b)は、3つの被検査電極(5〜
7)によって構成される被検査電極グループを共通して
覆うような形状および寸法並び位置で形成されており、
他の共通検査用電極(c〜i)も同様である。
More specifically, in the example of FIG.
The common inspection electrode (a) has four electrodes to be inspected (1 to 4).
The common inspection electrode (b) is formed in a band-like shape and a dimension arrangement position so as to commonly cover the electrode group to be inspected constituted by the electrodes to be inspected.
7) are formed in a shape and a dimension arrangement position so as to commonly cover the electrode group to be inspected constituted by 7);
The same applies to the other common inspection electrodes (ci).

【0021】共通検査用電極Yは、検査のために被検査
基板と接触されたときに、被検査基板に形成されている
互いに独立の配線ネットが、当該共通検査用電極を介し
て互いに電気的な閉回路を形成することがない状態に形
成されていることが必要である。すなわち、共通検査用
電極Yの各々は、特定の複数の被検査電極Xのすべてに
対して同時に電気的に接続されるものであるので、或る
共通検査用電極Yに係る被検査電極グループを構成する
複数の被検査電極Xは、各々、互いに独立の配線ネット
に属するものでなければならない。
When the common inspection electrode Y is brought into contact with the substrate to be inspected for inspection, mutually independent wiring nets formed on the substrate to be inspected are electrically connected to each other via the common inspection electrode. It must be formed in such a state that a closed circuit is not formed. That is, since each of the common test electrodes Y is electrically connected to all of the specific plurality of test electrodes X at the same time, the test electrode group related to a certain common test electrode Y is The plurality of electrodes X to be inspected must belong to mutually independent wiring nets.

【0022】図3の例で説明すると、例えば共通検査用
電極(a)に対応する4つの被検査電極(1〜4)は、
各々独立の4つの配線ネットに属するものであることが
必要であり、そうでない場合、例えば被検査電極(2)
と被検査電極(3)とが共に同一の配線ネットに属して
いる場合には、当該共通検査用電極(a)が被検査電極
(1〜4)に接触されると、被検査電極(2)に係る配
線ネットと、被検査電極(3)に係る配線ネットとが当
該共通検査用電極(a)を介して短絡するために電気的
な閉回路が形成されることとなり、従って電気的な検査
を行うことは不可能となる。
Referring to the example of FIG. 3, for example, four electrodes to be inspected (1 to 4) corresponding to the common inspection electrode (a) are:
It is necessary to belong to four independent wiring nets, otherwise, for example, the electrode under test (2)
If the common inspection electrode (a) comes into contact with the electrodes to be inspected (1 to 4) when both the electrode and the electrode to be inspected (3) belong to the same wiring net, ) And the wiring net related to the electrode under test (3) are short-circuited via the common inspection electrode (a), so that an electrical closed circuit is formed. Inspection becomes impossible.

【0023】第1の検査用治具基板は、以上のような条
件が満たされた状態の共通検査用電極Yが形成されたも
のであり、これを用いることにより、被検査基板のすべ
ての配線ネットについての所要の導通検査を実施するこ
とができる。
The first inspection jig substrate is formed with the common inspection electrodes Y in a state where the above conditions are satisfied, and by using this, all wirings of the inspection target substrate are formed. The required continuity test on the net can be performed.

【0024】図3の例によって具体的に説明すると、
今、被検査基板は、細線Lで示すように配線がなされて
いるとすると、所要の検査、すなわちすべての配線に係
る被検査電極X間の導通検査を行うためには、従来のよ
うに、独立の配線の各々について、当該配線に属するす
べての電極対における導通の有無を検査すれば十分であ
る。
More specifically, referring to the example of FIG.
Now, assuming that the substrate to be inspected is wired as shown by the thin line L, in order to perform a required inspection, that is, a continuity inspection between the electrodes X to be inspected relating to all the wirings, as in the related art, It is sufficient for each of the independent wirings to check for continuity in all electrode pairs belonging to the wiring.

【0025】然るに、上記の第1の検査用治具基板を使
用すると、このようにすべての被検査電極対毎に検査し
なくても、同等の検査を行うことができる。例えば、共
通検査用電極(a)と(g)間の導通の有無を検査する
ことは、被検査電極(3)およびこれと電気的に接続さ
れた被検査電極(18)間の導通の有無を検査すること
と等価であり、共通検査用電極(b)と(g)間の導通
の有無を検査することは、被検査電極(3)およびこれ
と電気的に接続された被検査電極(19)間の導通の有
無を検査することと等価である。同様にして、検査用治
具基板における共通検査用電極Yおよびそれ以外の共通
とされていない検査用電極Zのすべての組み合わせにつ
いて導通の有無を検査することにより、各被検査電極対
について導通の有無を検査した場合のものと等価の結果
が得られる。
However, when the first inspection jig substrate is used, an equivalent inspection can be performed without performing the inspection for every electrode pair to be inspected. For example, inspecting the presence / absence of continuity between the common inspection electrodes (a) and (g) is based on the presence / absence of continuity between the inspected electrode (3) and the inspected electrode (18) electrically connected thereto. Inspection of the presence or absence of continuity between the common inspection electrodes (b) and (g) is equivalent to inspecting the inspected electrode (3) and the inspected electrode ( 19) It is equivalent to checking whether there is continuity between them. In the same manner, by inspecting the presence or absence of continuity of all combinations of the common inspection electrode Y and other non-common inspection electrodes Z on the inspection jig substrate, the continuity of each inspected electrode pair is determined. The result is equivalent to that obtained when the presence or absence is checked.

【0026】以上のことから、当該第1の検査用治具基
板によれば、次のような効果が得られる。 (イ)被検査基板に必要な導通検査を実行するための検
査用治具基板として、その検査用電極が、当該被検査基
板における被検査電極の最小ピッチよりも大きなピッチ
で配置されたものを用いることができるので、当該検査
用治具基板における配線の設計における負荷が大幅に軽
減され、また当該検査用治具基板の作製における負荷が
減少し、更に検査用治具基板と被検査基板との位置合わ
せに対する条件が緩和される。 (ロ)テスターの検査容量以上の数の被検査電極を有す
る被検査基板の導通検査が可能となる。
As described above, according to the first inspection jig substrate, the following effects can be obtained. (A) As an inspection jig substrate for performing a continuity inspection required for a substrate to be inspected, a substrate in which the electrodes for inspection are arranged at a pitch larger than the minimum pitch of the electrodes to be inspected on the substrate to be inspected. Since it can be used, the load in designing the wiring in the inspection jig substrate is greatly reduced, and the load in manufacturing the inspection jig substrate is reduced. The conditions for the alignment are relaxed. (B) It is possible to conduct a continuity test on a substrate to be inspected having electrodes to be inspected whose number is equal to or greater than the inspection capacity of the tester.

【0027】図3に関する上記の説明から明らかなよう
に、第1の検査用治具基板においては、被検査基板上の
すべての被検査電極対間の電気的導通を検査するために
必要な、当該第1の検査用治具基板上に設けられるべき
検査用電極(共通検査用電極を含む。)の数は、当該被
検査電極の数よりも大幅に少ないものとなる。その結
果、第1の検査用治具基板においては、テスターに接続
されるべき端子電極(グリッド電極)の数を被検査電極
の総数よりも少数とすることができ、結果的に検査可能
容量の少ないテスターによっても、より多数の被検査電
極対についての導通検査を実施することが可能となる。
As is clear from the above description with reference to FIG. 3, in the first inspection jig substrate, it is necessary to inspect the electrical continuity between all the electrode pairs to be inspected on the substrate to be inspected. The number of test electrodes (including the common test electrode) to be provided on the first test jig substrate is significantly smaller than the number of test electrodes. As a result, in the first inspection jig substrate, the number of terminal electrodes (grid electrodes) to be connected to the tester can be made smaller than the total number of electrodes to be inspected, and as a result, the testable capacitance is reduced. Even with a small number of testers, it is possible to perform a continuity test on a larger number of electrode pairs to be tested.

【0028】以上のように、第1の検査用治具基板は、
1つの被検査電極グループに属する複数の被検査電極に
共通に作用する共通検査用電極を設ける点に特徴を有す
るものであるが、このような検査用電極と被検査電極と
の対応関係を実現するためには、必ずしも、1つの被検
査電極グループに属する複数の被検査電極が、1つのま
とまった領域に配置された互いに近接するものである必
要はなく、電気的な関係で1つの被検査電極グループを
構成するものであればよい。
As described above, the first inspection jig substrate is
It is characterized in that a common inspection electrode that acts in common on a plurality of electrodes to be inspected belonging to one electrode group to be inspected is provided, and such a correspondence between the electrodes for inspection and the electrodes to be inspected is realized. In order to perform the inspection, it is not always necessary that the plurality of electrodes to be inspected belonging to one electrode group to be inspected are located close to each other and arranged in one integrated region, and one electrode to be inspected is electrically connected. What is necessary is just to comprise an electrode group.

【0029】また、以上の検査用治具基板においては、
更に、離間した位置に配置されている検査用電極(共通
検査用電極を含む。)同士を、追加の接続用配線によっ
て接続することができる。この場合には、当該第1の検
査用治具基板に設けられるべき端子電極の数が更に減少
される。このように独立の検査用電極の総数を減少させ
ることができるため、検査用電極間のピッチを大きくす
ることが可能となり、配線の設計も容易になる。更に、
配線密度が低くなることにより、より太い配線ラインや
大口径のバイアホールの形成や、より少ない積層数の基
板を用いて所要の配線を設定することが可能となるの
で、当該検査用治具基板の作製における負荷もまた減少
することとなる。検査用電極の総数が多くなり、また高
密度になるほど、1枚の基板において、一方の面に配置
された検査用電極と他方の面における端子電極(グリッ
ド電極)とを効率良く配線して電気的に接続する配線作
業が困難になるからである。
In the above jig board for inspection,
Further, the inspection electrodes (including the common inspection electrode) arranged at the separated positions can be connected to each other by additional connection wiring. In this case, the number of terminal electrodes to be provided on the first inspection jig substrate is further reduced. Since the total number of independent inspection electrodes can be reduced in this manner, the pitch between the inspection electrodes can be increased, and the wiring design can be facilitated. Furthermore,
By lowering the wiring density, it becomes possible to form thicker wiring lines and large-diameter via holes, and to set required wiring by using a board with a smaller number of stacked layers. Will also reduce the load in the fabrication of. As the total number of test electrodes increases and the density increases, on a single substrate, the test electrodes arranged on one surface and the terminal electrodes (grid electrodes) on the other surface are efficiently wired so that electric power is supplied. This is because the wiring work for making the connection is difficult.

【0030】以上のように、第1の検査用治具基板によ
れば、検査用電極の数を減少させることができるので、
テスターの容量、並びに当該検査用治具基板の設計およ
び作製における負荷を軽減しながら、また、検査用治具
基板と被検査基板との位置合わせに対する条件が緩和さ
れた状態で、1個の検査用治具基板により、被検査基板
の被検査電極の全部について所要の導通検査を実行する
ことができることが明らかである。
As described above, according to the first inspection jig substrate, the number of inspection electrodes can be reduced.
While reducing the capacity of the tester and the load in the design and fabrication of the test jig substrate, and with the conditions for the alignment between the test jig substrate and the test substrate being relaxed, one test It is clear that the required jig substrate can be used to perform a required continuity test on all of the electrodes to be inspected on the substrate to be inspected.

【0031】一方、上記の第1の検査用治具基板では、
共通検査用電極は、複数の被検査電極に共通に電気的に
接続されることから、被検査基板内において独立に形成
された配線ネット(配線パターン)の各々の間の絶縁状
態の有無についての検査結果を得ることはできない。し
かし、この絶縁検査も必須のものである。第2の検査用
治具基板はこの絶縁検査を行うためのものである。この
第2の検査用治具基板は、被検査基板において、1本の
電気的ラインを形成する連続した配線ネットの各々に属
する多数の被検査電極のうちの適当な1個を配線ネット
毎に選定してこれを代表被検査電極とし、この代表被検
査電極の各々に対応した検査用電極を代表検査用電極と
して有するものである。この絶縁検査用治具基板を用い
ることにより、所要の絶縁検査を確実に実行することが
できる。
On the other hand, in the first inspection jig substrate,
Since the common inspection electrode is electrically connected to a plurality of electrodes to be inspected in common, the presence or absence of an insulation state between each of the wiring nets (wiring patterns) independently formed in the substrate to be inspected is determined. No test results can be obtained. However, this insulation test is also essential. The second inspection jig substrate is for performing the insulation inspection. The second inspection jig substrate is configured such that an appropriate one of a large number of electrodes to be inspected belonging to each of continuous wiring nets forming one electric line is connected to each of the wiring nets on the inspection target substrate. The selected electrodes are selected as representative electrodes to be inspected, and an inspection electrode corresponding to each of the representative electrodes to be inspected is provided as a representative electrode for inspection. By using the jig substrate for insulation inspection, a required insulation inspection can be reliably performed.

【0032】ここに、代表被検査電極は、各配線パター
ンにおけるもののうち任意のものでよいから、例えば寸
法が最大の被検査電極、あるいは隣接するものとの離間
距離が最大の被検査電極を選定被検査電極とすることが
でき、従って、当該第2の検査用治具基板における検査
用電極、すなわち代表検査用電極は、被検査基板の被検
査電極に対して相当に配置密度が小さくてしかも電極寸
法の大きいものとすることができ、従ってその設計およ
び作製は非常に容易である。
Here, since the representative electrode to be inspected may be any one of those in each wiring pattern, for example, the electrode to be inspected having the largest dimension or the electrode to be inspected having the largest distance between adjacent electrodes is selected. The inspection electrode in the second inspection jig substrate, that is, the representative inspection electrode, has a considerably smaller arrangement density than the electrode to be inspected on the inspection substrate. The dimensions of the electrodes can be large and therefore their design and fabrication are very easy.

【0033】上記の第1の検査用治具基板および第2の
検査用治具基板によれば、各々の設計および作製におけ
る制約が大幅に緩和されて自由度がきわめて大きく、そ
れらに伴うコストの低減、期間の短縮化などの付随的な
実際上の効果が大きいため、全体的に、導通検査と絶縁
検査の両方を行う必要がある不利益を考慮しても、遙か
に顕著な利益が得られる。
According to the first inspection jig substrate and the second inspection jig substrate, the restrictions in the design and fabrication of each substrate are greatly relaxed, and the degree of freedom is extremely large. The overall practical benefit, such as reduction and shortening of the period, is much greater, even when considering the disadvantage of having to perform both continuity and insulation tests. can get.

【0034】以上のように、第1の検査用治具基板およ
び第2の検査用治具基板は、基本的に、大きな利益が得
られる点できわめて優れたものであるが、実際にそれら
を作製する場合には、いくつかの大きな問題点があるこ
とが判明した。
As described above, the first inspection jig substrate and the second inspection jig substrate are basically very excellent in that great profit can be obtained. When manufacturing, it turned out that there were some major problems.

【0035】例えば、上述の各検査用治具基板の原理に
基づいて、具体的な被検査基板を検査するための検査用
治具基板の設計を手作業で実行する場合には、被検査基
板における被検査電極の電気的な接続状態の解析作業に
数日間以上の時間を要し、その上、最適と考えられる共
通検査用電極の位置および形状の決定作業、並びに、こ
れらの作業から得られた情報を、後続のプロセスのため
にコンピューターに記録する入力作業などを行う必要が
ある。
For example, based on the principle of each inspection jig substrate described above, when a specific design of an inspection jig substrate for inspecting a specific inspection substrate is performed manually, the inspection substrate may be inspected. It takes several days or more to analyze the electrical connection state of the electrodes to be inspected, and furthermore, the work to determine the position and shape of the electrode for common inspection considered to be optimal, and the results obtained from these operations It is necessary to perform an input operation to record the information on a computer for a subsequent process.

【0036】特に、第1の検査用治具基板における共通
検査用電極の条件、具体的にはその大きさおよび位置な
どを決定する作業においては、1つの共通検査用電極に
対応する被検査電極グループに属する被検査電極の数が
より多くなるように共通検査用電極の条件を決定するこ
とが求められるが、一方、不用意に共通検査用電極の条
件を決定すると、検査対象から外れる被検査電極が生ず
るおそれもある。従って、この作業はその目的および原
理を十分に理解している者が慎重に行う必要があり、し
かも、被検査基板の規模および電気回路の複雑さにもよ
るが、きわめて長い処理時間、例えば2週間程度の期間
が必要である。
In particular, in the operation of determining the condition of the common inspection electrode on the first inspection jig substrate, specifically, the size and position of the common inspection electrode, the inspection target electrode corresponding to one common inspection electrode It is necessary to determine the conditions of the common inspection electrode so that the number of the electrodes to be inspected belonging to the group is larger. On the other hand, if the conditions of the common inspection electrode are carelessly determined, the Electrodes may also occur. Therefore, this operation must be performed carefully by a person who fully understands the purpose and principle of the operation, and depends on the size of the substrate to be inspected and the complexity of the electric circuit. A period of about a week is required.

【0037】一般に、プリント基板の設計における基本
的ルールは、当該プリント基板が組み込まれる機器の種
類(例えば、電話機、工作機械のコントローラー、ゲー
ム機など)、用途(民生用機器用、産業用、軍事用な
ど)、処理すべき電気信号の種類(アナログ信号若しく
はデジタル信号、または両者が混合したもの)、使用環
境(携帯型または据置型)などの種々の条件に応じた多
くの方式に従うものであり、その結果として、被検査基
板のデザイン(電極の数、形状、サイズ、配置および電
極相互の電気的な接続体であるネットワーク)の内容は
千差万別であり、すべての場合に、無条件に適応し得る
共通の検査治具基板情報形成方法は存在しない。
In general, the basic rules in designing a printed circuit board include the type of equipment (for example, a telephone, a controller of a machine tool, a game machine, etc.) into which the printed circuit board is incorporated, and the application (for consumer equipment, industrial, military, etc.). For example), the type of electrical signal to be processed (analog signal or digital signal, or a mixture of both), and the use environment (portable or stationary), etc. As a result, the content of the design of the substrate to be inspected (the number, shape, size, arrangement of the electrodes, and the network that is the electrical connection between the electrodes) varies widely, and in all cases, unconditional There is no common inspection jig substrate information forming method that can be adapted to the above.

【0038】[0038]

【発明が解決しようとする課題】上記のように、第1の
検査用治具基板の作製においては、被検査電極の各一に
対応する検査用電極を有する従来の検査用治具基板に比
して、特にその設計にきわめて長い作業工程が必要とさ
れる、という問題点がある。一方、代表検査用電極を有
する第2の検査用治具基板の作製においても、事情は、
上記の第1の検査用治具基板の場合と基本的に同様であ
る。
As described above, in the production of the first inspection jig substrate, compared with the conventional inspection jig substrate having inspection electrodes corresponding to each one of the electrodes to be inspected. In particular, there is a problem that an extremely long working process is required for the design. On the other hand, in the production of the second inspection jig substrate having the representative inspection electrode,
This is basically the same as the case of the first inspection jig substrate.

【0039】本発明は、以上のような課題を解決するた
めになされたものであって、その第1の目的は、実際の
被検査基板に対応して、共通検査用電極に関する情報を
きわめて容易に生成することができるプリント基板検査
用の治具基板を作製するための情報生成方法を提供する
ことにある。本発明の第2の目的は、上記の方法によっ
て得られる情報に従って作製された共通検査用電極を有
するプリント基板検査用治具基板を提供すること、並び
に当該検査用治具基板を用いて被検査基板の導通検査を
行うプリント基板検査方法を提供することにある。
The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and a first object of the present invention is to provide information on a common inspection electrode very easily in correspondence with an actual substrate to be inspected. It is an object of the present invention to provide an information generating method for producing a jig substrate for printed circuit board inspection that can be generated in a computer. A second object of the present invention is to provide a printed circuit board inspection jig substrate having a common inspection electrode manufactured according to the information obtained by the above method, and to provide an inspection object using the inspection jig substrate. An object of the present invention is to provide a printed circuit board inspection method for performing a continuity inspection of a substrate.

【0040】本発明の第3の目的は、実際の被検査基板
に対応して、代表検査用電極に関する情報およびモニタ
用検査電極に関する情報をきわめて容易に生成すること
ができるプリント基板検査用の治具基板を作製するため
の情報生成方法を提供することにある。本発明の第4の
目的は、上記の方法によって得られる情報に従って作製
された代表検査用電極およびモニタ用検査電極を有する
プリント基板検査用治具基板を提供すること、並びに当
該検査用治具基板を用いて被検査基板の絶縁検査を行う
プリント基板検査方法を提供することにある。
A third object of the present invention is to provide a printed circuit board inspection tool capable of extremely easily generating information on a representative inspection electrode and information on a monitor inspection electrode corresponding to an actual substrate to be inspected. Another object of the present invention is to provide an information generation method for manufacturing a component substrate. A fourth object of the present invention is to provide a printed circuit board inspection jig substrate having a representative inspection electrode and a monitor inspection electrode manufactured according to the information obtained by the above method, and the inspection jig substrate To provide a printed circuit board inspection method for performing an insulation inspection of a substrate to be inspected by using the method.

【0041】本発明の第5の目的は、第1の検査用治具
基板および第2の検査用治具基板の両方を作製するため
の情報生成方法、並びにこれにより得られる導通検査用
の第1の検査用治具基板および絶縁検査用の第2の検査
用治具基板を用いる被検査基板の検査方法を提供するこ
とにある。
A fifth object of the present invention is to provide an information generating method for producing both the first inspection jig substrate and the second inspection jig substrate, and a second method for the continuity inspection obtained thereby. It is an object of the present invention to provide a method of inspecting a substrate to be inspected using the first inspection jig substrate and the second inspection jig substrate for insulation inspection.

【0042】[0042]

【課題を解決するための手段】本発明のプリント基板検
査用治具基板作製用情報生成方法は、被検査プリント基
板における複数の被検査電極の位置に対応する位置に検
査用電極を備えてなり、検査用電極のうちの少なくとも
1つは、2個以上の被検査電極により構成される被検査
電極グループに対応する形状を有する共通検査用電極で
あり、この共通検査用電極は、検査のために被検査プリ
ント基板と接触されたときに、被検査プリント基板に形
成されている互いに独立の配線ネットが、当該共通検査
電極を介して互いに電気的な閉回路を形成することがな
い状態に形成されているプリント基板検査用治具基板を
作製するため、(1)被検査プリント基板上のすべての
被検査電極についての幾何学的情報および相互の電気的
接続情報を利用して、複数の被検査電極よりなる被検査
電極グループの少なくとも1つを形成するグループ化処
理と、(2)1つの被検査電極グループに属する被検査
電極のすべてが電気的に接続された状態に対応する1つ
の仮想の共通電極を形成する共通電極形成処理と、を行
うことにより、共通検査用電極に関する情報を生成する
ことを特徴とする。
According to the present invention, there is provided a method for producing a jig board for producing a printed circuit board inspection, comprising an inspection electrode at a position corresponding to a plurality of electrodes to be inspected on a printed circuit board to be inspected. , At least one of the test electrodes is a common test electrode having a shape corresponding to a test electrode group composed of two or more test electrodes, and the common test electrode is used for testing. When the printed wiring board is brought into contact with the printed wiring board, the independent wiring nets formed on the printed wiring board are formed so as not to form an electric closed circuit through the common test electrode. (1) Using the geometric information and mutual electrical connection information of all the electrodes to be inspected on the inspected printed circuit board to manufacture the printed circuit board inspection jig substrate A grouping process for forming at least one electrode group to be inspected comprising a plurality of electrodes to be inspected, and (2) a state in which all the electrodes to be inspected belonging to one electrode group to be inspected are electrically connected. And a common electrode forming process for forming one virtual common electrode to generate information about the common inspection electrode.

【0043】本発明のプリント基板検査用治具基板は、
上記の方法によって生成された情報によって作製された
共通検査用電極を有することを特徴とする。
The jig board for printed circuit board inspection of the present invention comprises:
It is characterized by having a common inspection electrode made by the information generated by the above method.

【0044】本発明のプリント基板検査方法は、上記の
プリント基板検査用治具基板を用いて被検査プリント基
板の導通検査を行うことを特徴とする。
A method of inspecting a printed circuit board according to the present invention is characterized in that a continuity test of a printed circuit board to be inspected is performed using the above jig substrate for inspecting a printed circuit board.

【0045】本発明の情報生成装置は、被検査プリント
基板における複数の被検査電極の位置に対応する位置に
検査用電極を備えてなり、検査用電極のうちの少なくと
も1つは、2個以上の被検査電極により構成される被検
査電極グループに対応する形状を有する共通検査用電極
であり、この共通検査用電極は、検査のために被検査プ
リント基板と接触されたときに、被検査プリント基板に
形成されている互いに独立の配線ネットが、当該共通検
査電極を介して互いに電気的な閉回路を形成することが
ない状態に形成されているプリント基板検査用治具基板
の作製に用いられる情報処理装置であって、(1)被検
査プリント基板上のすべての被検査電極についての幾何
学的情報および相互の電気的接続情報を利用して、複数
の被検査電極よりなる被検査電極グループの少なくとも
1つを形成するグループ化処理機能と、(2)1つの被
検査電極グループに属する被検査電極のすべてが電気的
に接続された状態に対応する1つの仮想の共通電極を形
成する共通電極形成処理機能と、を有し、共通検査用電
極に関する情報を生成することを特徴とする。
The information generating apparatus according to the present invention includes an inspection electrode at a position corresponding to a plurality of electrodes to be inspected on a printed circuit board to be inspected, and at least one of the inspection electrodes has two or more electrodes. A common inspection electrode having a shape corresponding to the electrode group to be inspected constituted by the electrodes to be inspected. When the common inspection electrode comes into contact with the inspection target printed board for inspection, Independent wiring nets formed on the substrate are used for producing a printed circuit board inspection jig substrate formed without forming an electrically closed circuit with each other via the common inspection electrode. An information processing apparatus comprising: (1) a plurality of electrodes to be inspected using geometric information and mutual electrical connection information about all electrodes to be inspected on a printed circuit board to be inspected; (2) one virtual common corresponding to a state where all of the electrodes to be inspected belonging to one electrode group to be inspected are electrically connected to each other; A common electrode formation processing function of forming an electrode, and generating information on a common inspection electrode.

【0046】本発明のプリント基板検査用治具作製用情
報生成方法は、検査用電極を備えてなり、当該検査用電
極の少なくとも1つは、被検査プリント基板に形成され
ている互いに独立の配線ネットの各々に属するただ1つ
の被検査電極よりなる代表被検査電極に対応する位置
に、当該代表被検査電極と電気的に接続される代表検査
用電極として形成されているプリント基板検査用治具基
板を作製するため、(1)被検査プリント基板に形成さ
れている独立の配線ネット毎に、当該配線ネットに属す
る複数の被検査電極のうちのただ1つを代表被検査電極
として選定する代表被検査電極選定処理と、(2)被検
査プリント基板に形成されている被検査電極のうち、前
記代表被検査電極とは異なる被検査電極であって、 前記
代表被検査電極のいずれかと電気的に接続されている被
検査電極から少なくとも1つの被検査電極をモニタ用被
検査電極として選定するモニタ用被検査電極選定処理
と、を行うことにより、代表検査用電極に関する情報お
よびモニタ用検査電極に関する情報を生成することを特
徴とする。
The method for generating information for producing a jig for printed circuit board inspection according to the present invention includes an electrode for inspection, and at least one of the electrodes for inspection is provided with an independent wiring formed on a printed circuit board to be inspected. A printed board inspection jig formed as a representative inspection electrode electrically connected to the representative inspection electrode at a position corresponding to the representative inspection electrode consisting of only one inspection electrode belonging to each of the nets (1) For each independent wiring net formed on the printed circuit board to be inspected, only one of a plurality of electrodes to be inspected belonging to the wiring net is selected as a representative electrode to be inspected. (2) an electrode to be inspected, which is different from the representative electrode to be inspected among the electrodes to be inspected formed on the printed circuit board to be inspected; A monitor inspected electrode selection process of selecting at least one electrode to be inspected from the electrodes to be inspected that is electrically connected to the electrode as a monitor electrode to be inspected. Generating information on the inspection electrode for use.

【0047】本発明のプリント基板検査用治具基板は、
上記の方法によって生成された情報によって作製された
代表検査用電極およびモニタ用検査電極を有することを
特徴とする。
The jig board for printed circuit board inspection of the present invention comprises:
It has a representative test electrode and a monitor test electrode produced by the information generated by the above method.

【0048】本発明のプリント基板検査方法は、上記の
プリント基板検査用治具基板を用いて被検査プリント基
板の絶縁検査を行うことを特徴とする。
A method of inspecting a printed circuit board according to the present invention is characterized in that an insulation test of a printed circuit board to be inspected is performed by using the above-described jig substrate for inspecting a printed circuit board.

【0049】本発明の情報生成装置は、検査用電極を備
えてなり、当該検査用電極の少なくとも1つは、被検査
プリント基板に形成されている互いに独立の配線ネット
の各々に属するただ1つの被検査電極よりなる選定被検
査電極に対応する位置に、当該代表被検査電極と電気的
に接続される代表検査用電極として形成されているプリ
ント基板検査用治具基板の作製に用いられる情報処理装
置であって、(1)被検査プリント基板に形成されてい
る独立の配線ネット毎に、当該配線ネットに属する複数
の被検査電極のうちのただ1つを代表被検査電極として
選定する代表被検査電極選定処理機能と、(2)被検査
プリント基板に形成されている被検査電極のうち、前記
代表被検査電極とは異なる被検査電極であって、 前記代
表被検査電極のいずれかと電気的に接続されている被検
査電極から少なくとも1つの被検査電極をモニタ用被検
査電極として選定するモニタ用被検査電極選定処理機能
と、を有し、代表検査用電極に関する情報およびモニタ
用検査電極に関する情報を生成することを特徴とする。
The information generating apparatus according to the present invention comprises an inspection electrode, and at least one of the inspection electrodes is a single electrode belonging to each of independent wiring nets formed on the printed circuit board to be inspected. Information processing used for manufacturing a printed circuit board inspection jig board formed as a representative inspection electrode electrically connected to the representative electrode to be inspected at a position corresponding to the selected electrode to be inspected. An apparatus for: (1) selecting, for each independent wiring net formed on a printed circuit board to be inspected, only one of a plurality of electrodes to be inspected belonging to the wiring net as a representative electrode to be inspected; An inspection electrode selection processing function, and (2) an electrode to be inspected, which is different from the representative electrode to be inspected, among the electrodes to be inspected formed on the inspected printed circuit board; A monitoring electrode to be inspected selection function of selecting at least one electrode to be inspected as an electrode to be monitored from the electrodes to be inspected that are electrically connected to each other; Generating information on the inspection electrode for use.

【0050】本発明の情報生成方法においては、上記の
グループ化処理および共通電極形成処理を行うと共に、
上記の代表被検査電極選定処理およびモニタ用被検査電
極選定処理を行うことが好ましい。
In the information generation method according to the present invention, the above-described grouping process and common electrode forming process are performed.
It is preferable to perform the above-described representative inspection target electrode selection processing and monitoring inspection target electrode selection processing.

【0051】本発明の情報処理装置においては、上記の
グループ化処理機能および共通電極形成処理機能と、上
記の代表被検査電極選定処理機能およびモニタ用被検査
電極選定処理機能とを有することが好ましい。本発明の
プリント基板検査方法においては、被検査プリント基板
に対して、上記の導通検査と絶縁検査とを行うことが好
ましい。
The information processing apparatus of the present invention preferably has the above-described grouping processing function and common electrode formation processing function, and the above-described representative inspection electrode selection processing function and monitor inspection target electrode selection processing function. . In the printed board inspection method of the present invention, it is preferable to perform the above-described continuity inspection and insulation inspection on the inspected printed board.

【0052】本発明によれば、上記の第1の検査用治具
基板および第2の検査用治具基板を作製する場合におい
て、被検査基板の被検査電極についての情報を処理し
て、当該被検査電極に対応する共通検査用電極、代表検
査用電極およびモニタ用検査電極に関する情報を生成す
るために、複数の処理手段および条件の設定を用意して
おき、それらを任意に切り替えて適用することにより、
多くの種類の被検査基板に対しても、それぞれ、目的と
するところに従って最適な結果が得られるように情報を
処理することができ、従ってきわめて容易に、目的とす
る検査用治具基板を得ることができる。
According to the present invention, when manufacturing the first inspection jig substrate and the second inspection jig substrate, information on the electrodes to be inspected on the substrate to be inspected is processed and In order to generate information on the common inspection electrode, the representative inspection electrode, and the monitoring inspection electrode corresponding to the electrode to be inspected, a plurality of processing means and setting of conditions are prepared, and these are arbitrarily switched and applied. By doing
Even for many types of substrates to be inspected, information can be processed so as to obtain optimum results according to the intended purpose, and therefore, the intended inspection jig substrate can be obtained very easily. be able to.

【0053】[0053]

【発明の実施の形態】本発明が対象とする2種の検査用
治具基板について、基本的な事情を確認すると、次のと
おりである。 (A)導通検査のための第1の検査用治具基板 導通検査用の第1の検査用治具基板においては、特定の
条件に従って共通検査用電極が設けられるが、この条件
は、以下の3つである。 (イ)共通検査用電極の各々は、複数の被検査電極と同
時に接触するものであること。 (ロ)被検査電極は、被検査基板における配線ネットの
いずれかに属するが、1つの共通検査用電極に対応する
複数の被検査電極は、その各々が属する配線ネットが互
いに独立のものであること。 (ハ)検査用治具基板と被検査基板とが電気的検査のた
めに接触されたときに、被検査基板における配線ネット
と検査用治具基板の検査用電極とにより構成される回路
は、いずれも、閉回路を構成しないものであること。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The basic circumstances of two types of jig substrates to which the present invention is applied are as follows. (A) First inspection jig substrate for continuity inspection In the first inspection jig substrate for continuity inspection, a common inspection electrode is provided according to specific conditions. There are three. (A) Each of the common inspection electrodes is to be in contact with a plurality of electrodes to be inspected at the same time. (B) The electrode to be inspected belongs to any of the wiring nets on the substrate to be inspected, but the wiring nets to which the plurality of electrodes to be inspected corresponding to one common inspection electrode belong are mutually independent. thing. (C) When the inspection jig substrate and the substrate to be inspected come into contact with each other for electrical inspection, a circuit constituted by the wiring net on the inspection substrate and the inspection electrode of the inspection jig substrate Neither should constitute a closed circuit.

【0054】以上の条件(イ)〜(ハ)に従って形成さ
れた検査用電極を有する検査用治具基板によれば、被検
査基板におけるすべての配線ネットの導通検査を、各配
線ネット毎に独立に行うことができ、このことは、図3
の例における既述の説明からも明らかである。すなわ
ち、図3において、被検査基板における一の被検査電極
例えば被検査電極(3)と、他の被検査電極例えば(1
8)との間の導通の有無の検査を行うことは、当該一の
被検査電極(3)が属する被検査電極グループに対応す
る共通検査用電極(a)と、当該他の被検査電極(1
8)が属する他の被検査電極グループに対応する共通検
査用電極(g)との間の導通の有無を検査することと、
等価である。従って、各被検査電極毎の対について導通
検査をする代わりに、検査治具基板上の検査用電極のす
べての組み合わせについて検査すれば、被検査電極対の
各々について検査した場合と全く同一の結果が得られる
こととなる。このようにして、被検査基板におけるすべ
ての配線ネットについての導通検査を、もれなく行うこ
とができる。
According to the inspection jig substrate having the inspection electrodes formed in accordance with the above conditions (a) to (c), the continuity inspection of all the wiring nets on the inspection target board is performed independently for each wiring net. This is shown in FIG.
It is clear from the above description of the example. That is, in FIG. 3, one electrode to be inspected, such as the electrode to be inspected (3), and another electrode to be inspected, for example, (1
Inspection of the presence or absence of continuity between the test target electrode (3) and the other test target electrode (a) corresponds to the test target electrode group to which the one test target electrode (3) belongs. 1
8) inspecting the presence or absence of conduction between the common inspection electrode (g) corresponding to another electrode group to be inspected to which belongs;
Are equivalent. Therefore, instead of conducting a continuity test for each pair of electrodes to be inspected, if all the combinations of the electrodes for inspection on the inspection jig board are inspected, exactly the same result as when inspecting each pair of electrodes to be inspected is obtained. Is obtained. In this way, the continuity test for all the wiring nets on the test substrate can be performed without fail.

【0055】(B)絶縁検査のための第2の検査用治具
基板 絶縁検査用の第2の検査用治具基板の設計においては、
被検査基板における各配線ネットから、ただ1つの被検
査電極を代表被検査電極として選択することが行われ
る。すなわち、絶縁検査は、検査対象とされる被検査電
極が属する配線ネットにおける代表被検査電極に電圧を
印加した状態で、他のいずれの代表被検査電極との間に
も当該電圧が検出されないことを確認する操作を、すべ
ての代表被検査電極について順次繰り返すことにより実
行される。そして、すべての代表被検査電極の組み合わ
せについての上記の確認の操作が終了すれば、目的とす
る絶縁検査が完了する。この絶縁検査によれば、次のよ
うな効果が得られる。 ・基板検査装置におけるテスターを、被検査基板の被検
査電極に対応する容量より小さい容量のものとすること
ができる。 ・検査用治具基板における検査用電極の電極ピッチを、
被検査基板における被検査電極の最小ピッチよりも大き
いものとすることができる。
(B) Second inspection jig substrate for insulation inspection In designing the second inspection jig substrate for insulation inspection,
From the respective wiring nets on the substrate to be inspected, only one electrode to be inspected is selected as a representative electrode to be inspected. That is, in the insulation test, a voltage is not detected between any of the other representative electrodes under inspection in a state where a voltage is applied to the representative electrode under inspection in the wiring net to which the electrode under inspection to be inspected belongs. Is performed by sequentially repeating the operation of confirming the above for all the representative electrodes to be inspected. Then, when the above-described confirmation operation for all combinations of the representative electrodes to be inspected is completed, the intended insulation inspection is completed. According to this insulation inspection, the following effects can be obtained. The tester in the substrate inspection apparatus can have a capacitance smaller than the capacitance corresponding to the electrode to be inspected on the substrate to be inspected.・ The electrode pitch of the test electrode on the test jig board
It can be larger than the minimum pitch of the electrodes to be inspected on the substrate to be inspected.

【0056】以上の事情を背景として、本発明について
具体的に説明する。本発明においては、或る被検査基板
について、導通検査に使用される第1の検査用治具基板
および絶縁検査に使用される第2の検査用治具基板を作
製するために、基本的に、以下の工程が実行される。 (1)被検査基板の被検査電極についての情報の入力工
程 (2)第1の検査用治具基板の検査用電極についての情
報の生成工程 (3)第2の検査用治具基板の検査用電極についての情
報の生成工程 (4)生成された情報の出力工程 以下、これらの各工程について詳細に説明する。
With the above circumstances as background, the present invention will be specifically described. In the present invention, for a certain substrate to be inspected, a first inspection jig substrate used for continuity inspection and a second inspection jig substrate used for insulation inspection are basically manufactured. , The following steps are performed. (1) Step of inputting information about electrodes to be inspected on a substrate to be inspected (2) Step of generating information about electrodes for inspection of a first inspection jig board (3) Inspection of second inspection jig board Step of Generating Information on Electrodes for Use (4) Step of Outputting Generated Information Hereinafter, each of these steps will be described in detail.

【0057】(1)被検査基板の被検査電極についての
情報の入力工程 この工程は、検査対象とされる具体的なプリント基板
(被検査基板)における電極(被検査電極)の相対的な
位置、形状、大きさなどの幾何学的情報、並びに電極相
互間の電気的接続情報(すなわち導通または絶縁状態に
ついての情報)を基礎的情報として、コンピューター、
その他の情報処理装置によって処理される任意の媒体に
読み込む工程である。この工程で入力の対象とされる情
報源は、被検査基板に関する上記の情報が得られるもの
であれば特に限定されるものではなく、例えば、被検査
基板の設計情報、実際のプリント基板を解析することに
よって得られた情報を用いることができる。また、対象
となる被検査基板を従来の方法によって検査するための
検査治具基板の情報も、被検査電極の上記の情報と実質
的に等価であるので、当該検査用治具基板の情報を情報
源とすることもできる。
(1) Step of inputting information about electrodes to be inspected on the substrate to be inspected This step involves the relative positions of the electrodes (electrodes to be inspected) on a specific printed circuit board (substrate to be inspected) to be inspected. , Shape, size and other geometrical information, as well as electrical connection information between electrodes (ie, information on conduction or insulation state) as basic information, a computer,
This is a step of reading into an arbitrary medium processed by another information processing device. The information source to be input in this step is not particularly limited as long as the above-mentioned information on the board to be inspected can be obtained. The information obtained by doing so can be used. In addition, the information of the inspection jig substrate for inspecting the target substrate to be inspected by the conventional method is also substantially equivalent to the above information of the electrode to be inspected. It can also be an information source.

【0058】基礎的情報の読み込みの手段としては、リ
ムーバブルなハードディスク、フロッピーディスク、M
O、磁気テープ、CD−Rどの記録媒体を用いる方法が
一般的であるが、入力の手段としては、インターネッ
ト、LAN、パソコン通信などの通信手段により、直接
読み込むこともできる。手作業による入力も可能である
が、長時間を要する上に誤入力が生ずるおそれが大き
く、従って設計変更があったときの僅かな修正などの場
合以外には不利である。
As means for reading basic information, removable hard disk, floppy disk, M
Although a method using a recording medium such as O, a magnetic tape, and a CD-R is generally used, as an input means, direct reading can be performed by communication means such as the Internet, a LAN, and personal computer communication. Although manual input is possible, it takes a long time and the possibility of erroneous input is high. Therefore, it is disadvantageous except in the case of slight correction when there is a design change.

【0059】(2)第1の検査用治具基板の検査用電極
についての情報の生成工程 この工程は、上記(1)の工程による被検査電極につい
ての幾何学的情報および電気的接続情報に基づき、幾つ
かの被検査電極をグループとしてこれに対応する共通検
査用電極に関する情報に変換する処理を行う工程であ
る。この工程は、被検査電極グループを形成するグルー
プ化処理の段階および共通電極形成処理の2段階に分か
れる。
(2) Step of Generating Information on Inspection Electrodes of First Inspection Jig Substrate This step is performed by adding the geometric information and the electrical connection information on the electrodes to be inspected in the step (1). This is a step of performing a process of converting some of the electrodes to be inspected into information on a common inspection electrode corresponding thereto as a group. This process is divided into two stages, a grouping process for forming the electrode group to be inspected and a common electrode forming process.

【0060】(2−1)グループ化処理 被検査基板の検査に実際に用いられるプリント基板検査
装置の能力(容量)、並びに検査用治具基板と被検査基
板との配線のキャパシティを有効に利用し、高い検査効
率が得られるように、被検査電極をグループ化する。具
体的には、以下の条件に従い、後述する手順によってグ
ループ化が行われる。
(2-1) Grouping Processing Effectively improve the capacity (capacity) of a printed circuit board inspection apparatus actually used for inspecting a substrate to be inspected and the capacity of wiring between the inspection jig substrate and the substrate to be inspected. The electrodes to be inspected are grouped so as to obtain high inspection efficiency. Specifically, grouping is performed according to the following conditions by a procedure described later.

【0061】a:同一のグループに属させるべき被検査
電極の条件 被検査電極のすべてまたは一部について、主として、実
際の電極の大きさ、相対位置、形状、隣接する電極との
間隔などの幾何学的情報に基づいて、単一のグループに
属させるべき複数の被検査電極を選定する。具体的に
は、以下に示した条件の項目から選ばれる、少なくとも
1つ以上の項目が適用され、該当する複数の被検査電極
が同一のグループに属するものとされる。各項目におい
て示されている数値は閾値の一例であって、絶対的ある
いは限定的なものではない。複数の項目が組み合わせて
適用される場合には、必要に応じて項目ごとに重み付け
を行うことにより、より好ましい結果を得ることができ
る。 ・電極中心間距離が短い電極群であること(例えば10
00μm以下)。 ・隣接する電極との間の間隔が小さい電極同士であるこ
と(例えば500μm以下)。 ・狭い領域に高い密度で存在する電極群であること(例
えば30個/cm2 以上)。 ・例えば集積回路に対応した格子状の配列による電極な
どの特定の配列による電極群であること。 ・その他、特にグループ化することが好適である電極群
であること。
A: Conditions of the electrodes to be inspected to belong to the same group For all or a part of the electrodes to be inspected, mainly the actual electrodes such as the size, relative position, shape, and distance between adjacent electrodes, etc. Based on the biological information, a plurality of electrodes to be inspected to belong to a single group are selected. More specifically, at least one or more items selected from the following condition items are applied, and a plurality of electrodes to be inspected belong to the same group. The numerical value shown in each item is an example of the threshold value, and is not absolute or restrictive. When a plurality of items are applied in combination, more favorable results can be obtained by weighting each item as needed. An electrode group having a short electrode center distance (for example, 10
00 μm or less). -The distance between adjacent electrodes is small (for example, 500 μm or less). An electrode group that exists in a narrow area at a high density (for example, 30 electrodes / cm 2 or more). An electrode group having a specific arrangement such as a grid-like electrode corresponding to an integrated circuit. In addition, the electrode group is particularly suitable to be grouped.

【0062】b:同一のグループから除外すべき被検査
電極の条件 被検査電極のすべてまたは一部について、主として、電
気的に独立した検査が可能となるよう、電気的接続情報
に基づいて、同一のグループから除外すべき被検査電極
を選定する。通常は、以下に示した条件の項目のすべて
が適用され、該当する被検査電極が除外される。ただ
し、製造において断線が生じていないことが明らかな場
合などでは、該当する項目を適用しないこともありう
る。 ・同一の配線ネットに含まれる電極同士の一方の電極。 ・他のグループを介して、電気的に接続される電極。 ・特にグループ化することが不適な電極。
B: Conditions of electrodes to be inspected to be excluded from the same group The same or all of the electrodes to be inspected are mainly determined based on the electrical connection information so as to enable electrically independent inspection. The electrodes to be inspected to be excluded from the group are selected. Normally, all of the items of the following conditions are applied, and the corresponding electrodes to be inspected are excluded. However, in the case where it is clear that no disconnection has occurred in the manufacturing, the applicable item may not be applied. -One of the electrodes included in the same wiring net. -Electrodes that are electrically connected via other groups. -Electrodes that are particularly unsuitable for grouping.

【0063】c:その他の条件 グループ化処理に関する本質的な条件ではないが、以下
のような条件を付加することができる。これにより、迅
速かつ正確にグループ化処理を行うことが可能となり、
また検査の実行や検査結果の解析を一層容易に行うこと
が可能となる。これらの条件の項目は、単独もしくは組
み合わせて適用される。組み合わせて適用される場合に
は、項目ごとに重み付けを行うことにより、より好まし
い結果を得ることができる。また、上記のaまたはbに
属する項目とは異なり、全く適用されない場合もある。
C: Other Conditions Although not essential conditions for the grouping process, the following conditions can be added. This makes it possible to perform grouping processing quickly and accurately,
Further, it is possible to more easily execute the inspection and analyze the inspection result. The items of these conditions are applied alone or in combination. When applied in combination, more favorable results can be obtained by weighting each item. Also, unlike the items belonging to a or b described above, there are cases where the above is not applied at all.

【0064】これらの制限には、例えば、上限および下
限の一方または両方が設定されることによる制限、或る
許容範囲または禁止範囲が設定設定されることによる制
限などがあり、これらの制限を複合して設定することも
できる。実際に、各制限は、数、面積などの形で直接的
な制限として与えられる場合もあるが、被検査電極の総
数や、面積などとの比、電極密度などの形で間接的な制
限として与えられる場合もある。 ・1つのグループに属する電極の総数に制限を設ける。 ・被検査基板の全体でグループ化される電極の総数に制
限を設ける。 ・1つのグループが占める面積に制限を設ける。 ・生成されるグループの総数に制限を設ける。 ・生成されたグループ相互間の距離、間隔の大きさに制
限を設ける。 ・生成されたグループ並びにグループに属さない被検査
電極を要素として、それらの相互間の距離、間隔の大き
さに制限を設ける。 ・グループ化されて1つの配線ネットを構成する電極の
総数に制限を設ける。
These restrictions include, for example, a restriction by setting one or both of an upper limit and a lower limit, a restriction by setting and setting a certain allowable range or a prohibited range, and the like. You can also set it. Actually, each limit may be given as a direct limit in the form of number, area, etc., but as an indirect limit in the form of the total number of electrodes to be inspected, the ratio to the area, etc., the electrode density, etc. May be given. -Limit the total number of electrodes belonging to one group. -A limit is imposed on the total number of electrodes that are grouped on the whole substrate to be inspected. -Limit the area occupied by one group. -Limit the total number of groups created. -Limit the distance between generated groups and the size of the interval. -With the generated groups and the electrodes to be inspected which do not belong to the groups as elements, the distance between them and the size of the intervals are limited. -A limit is imposed on the total number of electrodes that are grouped to form one wiring net.

【0065】上記の項目を被検査基板の被検査電極に適
用してグループを作る手順には、適用の順序により、以
下の3通りの方法から選択することができる。 被検査基板における全部の電極に対して順次にaに
属する項目とbに属する項目を同時に適用し、グループ
化と除外を同時に行う。 先ず、被検査基板上にある全部の電極に対して順次
にaに属する項目を適用し、仮のグループを作った後、
bに属する項目にあてはまる電極を除外することによ
り、最終的なグループとする。 先ず、被検査基板上にある全部の電極に対して順次
にbに属する項目を適用してグループ化するのに不適当
な電極を除外し、その上で、aに属する項目を適用して
グループ化する。
The procedure for forming a group by applying the above items to the electrodes to be inspected on the substrate to be inspected can be selected from the following three methods depending on the order of application. The items belonging to a and the items belonging to b are sequentially applied to all the electrodes on the substrate to be inspected simultaneously, and grouping and exclusion are performed simultaneously. First, the items belonging to a are sequentially applied to all the electrodes on the substrate to be inspected, and a temporary group is created.
By excluding the electrodes corresponding to the items belonging to b, a final group is obtained. First, the electrodes belonging to b are sequentially applied to all the electrodes on the substrate to be inspected to exclude electrodes inappropriate for grouping, and then the items belonging to a are applied to the group. Become

【0066】実際の処理としてはの手順が単純であ
り、生成する被検査電極のグループに対応する共通検査
用電極の量についても、また当該グループ化処理の速度
についても、標準的な結果が得られる。の手順では、
生成する共通検査用電極の質はの場合より向上する
が、処理システムに大きな作業領域が必要となる。の
手順では、当該グループ化処理の速度は大きいが、被検
査電極の配置が複雑な場合には、グループ化することに
よって新たにbに属する項目に該当するに至る電極が生
ずる可能性があるため、再度チェックを行うことが好ま
しい。以上のことから、被検査基板の複雑さや規模に対
して治具基板設計システムが十分な処理速度および作業
領域を備えている場合にはの手順を、それ以外のとき
にはもしくはの手順を選択するのが好ましい。
The procedure of the actual process is simple, and standard results can be obtained for the amount of the common inspection electrode corresponding to the group of the electrodes to be generated and the speed of the grouping process. Can be In the procedure,
The quality of the generated common test electrode is better than in the case of, but requires a large working area in the processing system. In the above procedure, the speed of the grouping process is high, but when the arrangement of the electrodes to be inspected is complicated, there is a possibility that an electrode that newly corresponds to the item belonging to b may be generated by grouping. It is preferable to check again. Based on the above, the procedure should be selected when the jig board design system has sufficient processing speed and work area for the complexity and scale of the board to be inspected, and otherwise. Is preferred.

【0067】さらに、bに属する項目に該当する電極を
除外する方法としては、以下の2種類から選択すること
が可能である。 ・単純に該当グループもしくはグループ化の候補から除
外する方法。 ・グループを複数に分割する方法。 この電極の除外処理では、除外すべき電極や除外の方法
に選択の余地が生じる場合があり、このようなときに
は、電極の電気的接続情報のほかに、電極の大きさ、形
状、相対的な位置関係、隣接電極との間隔、特定の配列
に従う場合にはその配列の規則性などの幾何学的情報を
参考にして、実際に除外する電極や、除外の方法を決定
することができる。
Further, as a method for excluding the electrode corresponding to the item belonging to b, the following two types can be selected. -A method of simply excluding from the applicable group or grouping candidate. -How to divide a group into multiple. In this electrode exclusion process, there is a case where there is a choice of an electrode to be excluded and an exclusion method. In such a case, in addition to the electrical connection information of the electrode, the size, shape, and relative size of the electrode are determined. The electrodes to be actually excluded and the method of exclusion can be determined with reference to geometrical information such as the positional relationship, the distance between adjacent electrodes, and the regularity of the arrangement when a particular arrangement is followed.

【0068】以上の説明では、理解を容易にするため、
被検査基板における被検査電極の全体をひとまとまりの
ものとして処理する場合について説明したが、被検査基
板を複数のブロックに分け、それぞれのブロック内にお
ける電極について、上記と同様のグループ化処理を順次
実行する方法を採用することもできる。このブロックご
とに処理する方法では、情報処理装置および処理システ
ムに要求される作業領域が小さいものでよい利点がある
が、ブロックの境界においては必然的にグループが分断
されることとなるので、これを考慮する必要がある。ま
た、cに属する項目に関しては、処理の進行に従い、項
目ごとに適切なタイミングで当該制限を適用する必要が
ある。
In the above description, in order to facilitate understanding,
Although the case in which the entirety of the electrodes to be inspected on the substrate to be inspected is processed as one unit has been described, the substrate to be inspected is divided into a plurality of blocks, and the same grouping processing as described above is sequentially performed on the electrodes in each block. An execution method can also be adopted. The method of processing for each block has an advantage that the work area required for the information processing device and the processing system may be small, but the group is necessarily divided at the boundary of the block. Need to be considered. As for the items belonging to c, it is necessary to apply the restriction at an appropriate timing for each item as the processing proceeds.

【0069】以上のグループ化処理においては、当該処
理のために選んだ項目あるいは手順が、対象とされてい
る被検査基板に適合せず、そのため、処理が完了しない
場合や、処理が完了しても期待に従った結果が得られな
い場合などが生じるおそれがあるが、このような場合に
は、判断基準となる閾値を変更したり、あるいは項目の
組み合わせを変更し、その上で処理を再度行うことによ
り、目的とする結果を得ることができる。
In the above grouping processing, the item or procedure selected for the processing does not match the target substrate to be inspected, and therefore, the processing is not completed or the processing is completed. May not be able to achieve the expected result, but in such a case, change the threshold value as a criterion or change the combination of items, and then repeat the process. By doing so, the desired result can be obtained.

【0070】(2−2)共通電極形成処理 上記のグループ化処理による、同一のグループに属する
電極(被検査電極)を相互に電気的に接続し、1つの仮
想の共通電極を形成する処理である。この処理を行うこ
とにより、目的とする検査用治具基板の共通検査用電極
についての直接的な情報、すなわちその幾何学的情報お
よび電気的接続情報が得られる。この共通電極形成処理
の手段としては、以下に示すように、大別して3つの方
法を用いることができる。
(2-2) Common Electrode Forming Process The process of electrically connecting the electrodes (electrodes to be inspected) belonging to the same group to each other and forming one virtual common electrode by the above grouping process. is there. By performing this process, direct information on the common inspection electrode of the target inspection jig substrate, that is, its geometric information and electrical connection information can be obtained. As the means for forming the common electrode, there are roughly three methods as shown below.

【0071】a:単純に電気的に接続する手段。 この手段では、例えば被検査電極が表示された予定の検
査用治具基板の表示において、1グループに属する電極
同士を、実際に幅を有する線で結ぶ作業が行われる。
A: Means for simply electrically connecting. In this means, for example, in the display of the inspection jig substrate on which the electrodes to be inspected are displayed, an operation of connecting the electrodes belonging to one group with a line having an actual width is performed.

【0072】b:1グループに属する電極の各々に対応
する任意の領域をて想定してその重なりを利用する手
段。具体的には次のような手段がある。 b−:1グループに属する電極の各々の領域内のある
一点を中心とする適宜の半径の円を描き、1つの電極に
よる円が他のいずれかの電極に係る円と重なる状態を求
め、その外形輪郭内領域を共通電極形成領域とする手
段。 b−:1グループに属する電極の各々について、その
輪郭を相似形が保たれた状態で拡大する作業を行うこと
により、1つの電極に係る領域が他のいずれかの電極に
係る領域と重なる状態を求め、その外形輪郭内領域を共
通電極形成領域とする手段。
B: A means for assuming an arbitrary area corresponding to each of the electrodes belonging to one group and utilizing the overlap. Specifically, there are the following means. b-: Draw a circle of an appropriate radius centered on a certain point in each region of the electrodes belonging to one group, obtain a state where a circle by one electrode overlaps a circle related to any other electrode, Means for setting the region inside the outer contour as a common electrode forming region. b- For each of the electrodes belonging to one group, by performing an operation of enlarging the outline while maintaining the similar shape, a region related to one electrode overlaps a region related to any other electrode. Means for determining the area within the outer contour as a common electrode forming area.

【0073】c:1グループに属する電極のすべてが包
含される多角形の共通電極形成領域を求める手段。具体
的には次のような手段がある。 c− 1グループに属する電極のすべてを囲む矩形も
しくは円形またはその他の形状の領域を設定し、この領
域を共通電極形成領域とする手段。 c− 1グループに属する電極の各々に外接する多角
形を設定し、すべての多角形の任意の2つの対におい
て、一方の多角形のすべての頂点と他方の多角形のすべ
ての頂点を結ぶ直線の全部をリストアップする作業を、
すべての多角形の対について行い、その結果得られるす
べての直線群から互いに交差するものを除外し、残存す
る直線群によって形成される合成多角形により包囲され
た領域を共通電極形成領域とする手段。 c− 1グループに属する電極の各々に外接する多角
形を設定し、頂点の中で、 設定されたX軸もしくはY軸
に沿って最も端に位置する一点を開始点とし、右回りも
しくは左回りに、一定の距離の範囲内にある点の中で最
も外側に位置する点を順次直線で結ぶことによって形成
される合成多角形により包囲された領域を共通電極形成
領域とする手段。
C: Means for finding a polygonal common electrode formation area that includes all the electrodes belonging to one group. Specifically, there are the following means. c-1 A means for setting a rectangular, circular or other shaped area surrounding all the electrodes belonging to one group, and using this area as a common electrode forming area. c- Set a polygon circumscribing each of the electrodes belonging to one group, and in any two pairs of all polygons, a straight line connecting all vertices of one polygon and all vertices of the other polygon The task of listing all of
A means for performing for all pairs of polygons, excluding those that intersect each other from all of the resulting straight line groups, and setting a region surrounded by a composite polygon formed by the remaining straight line groups as a common electrode formation region . c-1 A polygon circumscribing each of the electrodes belonging to one group is set, and one of the vertices located at the end along the set X-axis or Y-axis is set as a starting point, clockwise or counterclockwise. Means for defining a region surrounded by a composite polygon formed by sequentially connecting the outermost points among points within a certain distance by a straight line as a common electrode formation region.

【0074】これらの方法は、各グループの個々の状態
に応じて使い分けることもでき、1つの被検査基板に対
して特定の手段を統一的に適用する必要はない。また、
得られた共通電極形成領域には、実際には必要な検査用
電極形成領域に対して不要な部分が含まれている場合も
あり、この場合には、その不要な部分をを削除すること
ができる。
These methods can be used properly according to the individual state of each group, and it is not necessary to apply a specific means to one test substrate in a unified manner. Also,
In some cases, the obtained common electrode formation region includes an unnecessary portion with respect to the actually required inspection electrode formation region. In this case, the unnecessary portion may be deleted. it can.

【0075】また、いずれの方法を用いても、1グルー
プに属する電極の形状、大きさ、相対的な位置関係など
により、実際には、形成された共通電極形成領域から外
れた状態となっている電極や、隣接する別の共通電極形
成領域の電極と接触もしくは重なりなどが生じている電
極が生ずるおそれがある。このため、このような不具合
が発生していないことを確認することが必要であり、不
具合があれば、条件や方法を変えて再度処理を行うシス
テムとすることが望ましい。
In any case, depending on the shape, size, relative positional relationship, etc. of the electrodes belonging to one group, the electrodes may actually deviate from the formed common electrode formation region. There is a possibility that an electrode that is in contact with or overlaps with an electrode that is present or an electrode of another adjacent common electrode formation region may occur. For this reason, it is necessary to confirm that such a problem does not occur, and if there is a problem, it is desirable to provide a system that changes the conditions and method and performs the process again.

【0076】(3)第2の検査用治具基板の検査用電極
についての情報の生成工程 この工程は、上記(1)の工程による被検査電極につい
ての幾何学的情報および電気的接続情報に基づき、当該
被検査基板における配線ネットの各々の間の絶縁性を確
認する絶縁検査に用いられる第2の検査用治具基板を作
製するための情報を生成する工程である。この工程は、
検査する配線ネットに電圧を印加するための代表被検査
電極を選定する代表被検査電極選定処理と、検査用治具
基板に対接されたときに当該代表被検査電極が正しく検
査用電極(代表検査用電極)に電気的に接続されている
ことを確認するためのモニタ用被検査電極を選定するモ
ニタ用被検査電極選定処理との2段階に分かれる。
(3) Step of Generating Information on Inspection Electrodes of Second Inspection Jig Substrate This step includes the geometric information and the electrical connection information on the electrodes to be inspected in the above step (1). This is a step of generating information for producing a second inspection jig substrate used for insulation inspection for confirming insulation between wiring nets on the inspection target substrate. This step is
A representative inspection target electrode selection process for selecting a representative inspection target electrode for applying a voltage to a wiring net to be inspected, and when the representative inspection target electrode is correctly contacted with the inspection jig substrate, the representative inspection target electrode (Electrode for inspection), and a process for selecting an electrode to be inspected for monitoring to select an electrode to be inspected for monitoring to confirm that the electrode is electrically connected to the electrode.

【0077】(3−1)代表被検査電極選定処理 代表被検査電極は、検査対象である被検査基板における
配線ネットの各々に検査用電圧を印加するための電極で
あり、各配線ネットごとに1つの電極が選定される。こ
の代表被検査電極は、また、他の配線ネットとの短絡状
態を検出するためのプローブ電極としても利用すること
ができる。
(3-1) Representative Inspection Electrode Selection Process The representative inspection electrode is an electrode for applying an inspection voltage to each of the wiring nets on the inspection target substrate to be inspected. One electrode is selected. The representative electrode to be inspected can also be used as a probe electrode for detecting a short-circuit state with another wiring net.

【0078】代表被検査電極としては、以下の条件を具
える被検査電極が選定される。 ・検査用電極との間に、安定した電気的な接続が達成さ
れるに十分な機械的接触が確保される大きさを有する電
極であること。従って、通常は、各配線ネットにおける
最大面積の電極が代表被検査電極とされる。 ・検査用電極との接触を容易に達成することのできる、
正方形、円形などの形状の電極であること。 ・電極の存在密度が低い領域に存在する電極であるこ
と。
As the representative electrode to be inspected, an electrode to be inspected satisfying the following conditions is selected. An electrode having a size that ensures sufficient mechanical contact with the inspection electrode to achieve stable electrical connection. Therefore, usually, the electrode having the largest area in each wiring net is set as the representative electrode to be inspected.・ A contact with the inspection electrode can be easily achieved.
The electrodes must be square or circular. -The electrode must be located in a region where the electrode density is low.

【0079】(3−2)モニタ用被検査電極選定処理 このモニタ用被検査電極は、上記の代表被検査電極に対
して電気的に導通状態にある被検査電極から選定され
る。このモニタ用被検査電極に対応して検査用治具基板
に形成されるモニタ用検査電極と、代表被検査電極に対
応して検査用治具基板に形成される代表検査用電極とを
用いて、当該モニタ用被検査電極と代表被検査電極間の
導通状態を確認することができ、これにより、代表被検
査電極に対して代表検査用電極が正しく接触しており、
その結果、目的とする配線ネットに必要な電圧が印加さ
れている状態あるいは電流が流れている状態であること
を確認することができる。モニタ用被検査電極は、代表
検査用電極との電気的な接続を確認するためには、 各配
線ネットに1個づつ選定することが理想的であるが、 実
用的には、 被検査基板全体に対し数個から十数個で十分
である。
(3-2) Monitor Inspection Electrode Selection Process The monitoring electrode to be inspected is selected from the electrodes to be inspected which are electrically connected to the representative electrode to be inspected. Using a monitor test electrode formed on the test jig substrate corresponding to the monitor test target electrode and a representative test electrode formed on the test jig substrate corresponding to the representative test target electrode It is possible to check the conduction state between the monitoring target electrode and the representative target electrode, whereby the representative target electrode is correctly in contact with the representative target electrode,
As a result, it can be confirmed that a required voltage is applied to the target wiring net or a current is flowing. Ideally, one monitor electrode to be inspected should be selected for each wiring net in order to check the electrical connection with the representative test electrode. However, several to more than ten are sufficient.

【0080】モニタ用被検査電極の選定には、以下の条
件が満たされることが好ましい。 ・モニタ用被検査電極は、代表被検査電極よりも小さな
電極であること。 ・モニタ用被検査電極は、モニタ用検査電極との接触を
容易に達成することのできる、正方形、円形などの形状
の電極であること。 ・複数のモニタ用被検査電極の一部のものは、被検査基
板の通常4つの隅部、またはこれに近い領域に存在する
こと。 ・モニタ用被検査電極が被検査基板の全体に分布してい
ること。
It is preferable that the following conditions are satisfied in selecting the monitoring target electrode. • The monitored electrode to be inspected must be smaller than the representative inspected electrode. The monitored electrode to be inspected is an electrode having a shape such as a square or a circle that can easily achieve contact with the monitored electrode. A part of the plurality of electrodes to be inspected for monitoring is usually present at four corners of the substrate to be inspected or an area close thereto. The monitoring target electrodes are distributed over the entire target substrate.

【0081】以上の条件を満たすモニタ用被検査電極を
選定することにより、検査用治具基板における代表検査
用電極が、被検査基板の全体にわたって存在する代表被
検査電極に対して、確実に電気的に接続されている状態
となっていることを、当該モニタ用被検査電極と、検査
用治具基板のモニタ用検査電極との間の電気的な接続の
有無を検査することによって、実用上十分な確度で保証
されることとなる。
By selecting a monitoring target electrode that satisfies the above conditions, it is ensured that the representative inspection electrode on the inspection jig substrate is electrically connected to the representative inspection electrode existing over the entire target substrate. The state of electrical connection is checked by checking the presence or absence of electrical connection between the monitored electrode to be inspected and the inspection electrode for monitoring of the inspection jig substrate. It is guaranteed with sufficient accuracy.

【0082】(4)生成された情報の出力工程 上記(2)の情報生成工程で得られた情報を、第1の検
査用治具基板を設計するための情報として出力する工
程、並びに、上記(3)の情報生成工程で得られた情報
を、第2の検査用治具基板を設計するための情報として
出力する工程である。
(4) Step of Outputting Generated Information Step of outputting the information obtained in the information generation step of (2) above as information for designing a first inspection jig substrate, and This is a step of outputting the information obtained in the information generation step (3) as information for designing a second inspection jig substrate.

【0083】第1の検査用治具基板の設計においては、
共通電極形成処理によって単一の仮想の共通電極が具体
的に想定され、当該共通電極が占める領域、すなわち共
通電極形成領域に対応して、実際の共通検査用電極が作
製されればよい。従って、上記の処理によって生成され
た共通電極に関する幾何学的情報および電気的接続情報
を出力すると、これは、第1の検査用治具基板において
形成されるべき共通検査用電極の位置、形状、大きさな
どの条件を実際に決定するための幾何学的情報であり、
また、当該共通検査用電極において達成されるべき電気
的接続状態を得るための具体的な情報である。従って、
この情報を利用して、目的とする被検査基板のための導
通検査用の第1の検査用治具基板を設計することができ
る。なお、通常の場合には、検査用治具基板には、共通
検査用電極以外に、被検査電極に個別に対応する、共通
化されていない検査用電極も存在するので、その場合に
は、電気的接続情報は、当然にこの検査用電極を包含し
た状態のものとされる。
In designing the first inspection jig substrate,
A single virtual common electrode may be specifically assumed by the common electrode formation process, and an actual common inspection electrode may be manufactured corresponding to a region occupied by the common electrode, that is, a common electrode formation region. Therefore, when the geometric information and the electrical connection information relating to the common electrode generated by the above-described processing are output, the geometric information and the electrical connection information are output from the common inspection electrode to be formed on the first inspection jig substrate. Geometric information for actually determining conditions such as size,
Further, it is specific information for obtaining an electrical connection state to be achieved in the common inspection electrode. Therefore,
Utilizing this information, a first inspection jig substrate for continuity inspection for a target substrate to be inspected can be designed. In a normal case, the inspection jig substrate also has a non-common inspection electrode corresponding to the electrode to be inspected, in addition to the common inspection electrode. The electrical connection information naturally includes the inspection electrode.

【0084】以上において、出力される情報と共に、形
成されるべき共通検査用電極と、これに対応する被検査
電極との帰属関係を示す付加情報が出力されることが好
ましい。更に、形成されるべき共通検査用電極によって
導通または絶縁状態とされる被検査電極相互間の電気的
な接続情報が出力されることが一層好ましい。このよう
な付加的な情報を出力することには、例えば、これらの
情報から、 基板検査装置において検査に用いられるデー
ターを生成することができるというメリットがある。
In the above description, it is preferable that additional information indicating the belonging relationship between the common inspection electrode to be formed and the corresponding electrode to be inspected is output together with the output information. Further, it is more preferable that the electrical connection information between the electrodes to be inspected which are brought into a conductive or insulated state by the common inspection electrode to be formed is output. Outputting such additional information has, for example, the advantage that data used for inspection in a substrate inspection apparatus can be generated from such information.

【0085】第2の検査用治具基板の設計においては、
選定された代表被検査電極およびモニタ用被検査電極の
幾何学的情報および電気的接続情報を出力すると、これ
は、第2の検査用治具基板において形成されるべき代表
検査用電極およびモニタ用検査電極の位置、形状、大き
さなどの条件を実際に決定するための幾何学的情報であ
り、また、当該代表検査用電極およびモニタ用検査電極
において達成されるべき電気的接続状態を得るための具
体的な情報である。従って、この情報を利用して、目的
とする被検査基板のための絶縁検査用の第2の検査用治
具基板を設計することができる。
In designing the second inspection jig substrate,
When the geometric information and the electrical connection information of the selected representative electrode to be inspected and the monitored electrode to be inspected are output, this information is output to the representative inspection electrode and the monitor to be formed on the second inspection jig substrate. Geometric information for actually determining conditions such as the position, shape, and size of the test electrode, and for obtaining the electrical connection state to be achieved in the representative test electrode and the monitor test electrode. Is specific information. Therefore, using this information, it is possible to design a second inspection jig substrate for insulation inspection for a target substrate to be inspected.

【0086】以上の各工程における情報は、必ずしも一
つのファイルに集約されている必要はなく、情報の性質
や、重要度、次の工程に合わせて、複数のファイルに分
割されていてもよい。情報の出力の手段としては、リム
ーバブルなハードディスク、フロッピーディスク、M
O、磁気テープ、CD−Rなどの書き込み可能な記録媒
体を用いることができるが、その他、インターネット、
LAN、パソコン通信などの通信手段により、次のプロ
セスをコントロールするコンピューターに対し直接出力
することもできる。また、オペレーターが、処理の進行
状況や、結果を確認できるようにするために、ディスプ
レイに必要な情報を表示させてもよい。
The information in each of the steps described above does not necessarily need to be collected in one file, but may be divided into a plurality of files according to the nature and importance of the information and the next step. Information output means include removable hard disk, floppy disk, M
O, a magnetic tape, a writable recording medium such as a CD-R can be used,
It is also possible to directly output to a computer that controls the next process by communication means such as LAN and personal computer communication. In addition, necessary information may be displayed on a display so that the operator can check the progress of the process and the result.

【0087】以上において、被検査基板における被検査
電極、被検査電極グループ、代表被検査電極およびモニ
タ用被検査電極に対して、それらを個々に特定する識別
標識を予め付与しておき、その識別標識によって出力ま
たは入力における各々の指示または特定を行うことが可
能である。この場合に、識別標識としては、番号、文字
などによる記号、個別的な名称、その他の符号を用いる
ことができる。
In the above, identification marks for individually specifying the electrodes to be inspected, the group of electrodes to be inspected, the representative electrodes to be inspected, and the electrodes to be monitored on the substrate to be inspected are previously assigned, The indicators can indicate or specify each of the outputs or inputs. In this case, a number, a symbol such as a character, an individual name, or another code can be used as the identification mark.

【0088】上記の(1)〜(4)の各工程による処理
により、実際に第1の検査用治具基板および第2の検査
用治具基板を作製するために必要な情報、特に、形成さ
れるべき共通検査用電極、代表検査用電極およびモニタ
用検査電極についての具体的でかつ直接的な情報、すな
わちその幾何学的情報および電気的接続情報を、きわめ
て短時間のうちに生成することができ、実際の所要時間
は数分間から十数分間で十分である。
By the processes in the above steps (1) to (4), information necessary for actually producing the first inspection jig substrate and the second inspection jig substrate, especially To generate in a very short time specific and direct information about the common test electrode, representative test electrode and monitor test electrode to be performed, that is, their geometrical information and electrical connection information. A few minutes to ten and several minutes are sufficient.

【0089】以上の各工程における処理の各段階で用い
られる条件の組み合わせや閾値は、予め情報処理装置ま
たは処理システムに組み込まれている必要がある。しか
し、必要に応じて設定の変更が可能な状態とされている
場合には、例外的な処理を実行することが可能となり、
対象となる被検査基板の範囲が広範なものとなる点で有
利である。
The combination of conditions and thresholds used in each stage of the processing in each of the above processes need to be incorporated in the information processing apparatus or processing system in advance. However, if the setting can be changed as necessary, it is possible to execute exceptional processing,
This is advantageous in that the range of the target substrate to be inspected becomes wide.

【0090】また、通常は、第1の検査用治具基板と第
2の検査用治具基板をセットで作製し、使用することが
必要であり、従って、情報処理装置または処理システム
は、上記のすべての工程による処理の全体を自動的に実
行するよう設定されていることが好ましい。しかし、被
検査基板について、導通検査または絶縁検査の一方のみ
が行われればよい場合もあり、このような場合のため
に、第1の検査用治具基板および第2の検査用治具基板
のいずれか一方のみの設計に対応し得るように処理シス
テムを設定可能としておくことができる。更に、以上の
各工程においては、異なる設定条件によって複数の結果
が作成されるように情報処理を行うことも可能であり、
この場合には、各設計内容を対比して最適なものを選択
して利用することにより、大きな信頼性を有する検査用
治具基板が得られる。
Usually, it is necessary to prepare and use a first inspection jig substrate and a second inspection jig substrate as a set. It is preferable that the setting is made so as to automatically execute the entire processing by all the steps. However, there is a case where only one of the continuity test and the insulation test needs to be performed on the substrate to be inspected. In such a case, the first inspection jig substrate and the second inspection jig substrate are required. The processing system can be configurable to accommodate either one or the other design. Further, in each of the above steps, it is also possible to perform information processing so that a plurality of results are created under different setting conditions,
In this case, an inspection jig substrate having high reliability can be obtained by selecting and using an optimal one by comparing the respective design contents.

【0091】以上のようにして生成される情報に基づく
設計内容に従って、第1の検査用治具基板および第2の
検査用治具基板が作製される。その具体的な作製手段
は、従来知られている手段を利用することができる。ま
た、このようにして作製された第1の検査用治具基板お
よび第2の検査用治具基板を用いて、それぞれ、基礎的
情報を得た被検査基板について、導通検査および絶縁検
査が行われる。
The first inspection jig substrate and the second inspection jig substrate are manufactured according to the design contents based on the information generated as described above. As a specific production means, a conventionally known means can be used. Using the first inspection jig substrate and the second inspection jig substrate thus manufactured, a continuity inspection and an insulation inspection are respectively performed on the substrate to be inspected for which basic information has been obtained. Is

【0092】そして、導通検査においては、第1の検査
用治具基板が共通検査用電極を有することにより、また
絶縁検査においては、第2の検査用治具基板が代表検査
用電極およびモニタ用被検査電極を有することにより、
それぞれによる既述の優れた効果を得ることができる。
また、上記の導通検査および絶縁検査の両方を行うこと
により、当該被検査基板についての電気的な性能を、十
分に高い信頼性で確認することができる。
In the continuity inspection, the first inspection jig substrate has a common inspection electrode, and in the insulation inspection, the second inspection jig substrate has the representative inspection electrode and the monitor electrode. By having the electrode to be inspected,
The excellent effects described above can be obtained.
In addition, by performing both the continuity test and the insulation test, the electrical performance of the substrate to be inspected can be confirmed with sufficiently high reliability.

【0093】本発明の方法または装置によれば、被検査
基板の規模、配線ネットの構成の複雑さによっても異な
るが、通常、必要な処理を数分間から十数分間で行うこ
とができ、しかもその結果は、そのまま次のプロセスに
受け渡すことができるので、検査用治具基板の設計、作
製において大幅な所要時間の短縮、手間の削減を達成す
ることができる。また、実際に情報の処理に携わるオペ
レーターは、主として、指定された被検査基板に関する
情報を、パーソナルコンピューターなどの情報処理装置
の処理システムに供給する作業と、情報処理結果をその
まま次のプロセスに受け渡す作業であり、この処理に固
有の原理や目的を理解する必要はなく、当該情報処理装
置の基本的な操作法を知っていれば十分であり、専門家
または熟練者であることは必要でなく、いずれの者でも
容易に実行することができる。
According to the method or the apparatus of the present invention, although it depends on the size of the substrate to be inspected and the complexity of the configuration of the wiring net, the necessary processing can be usually performed in several minutes to several tens of minutes. Since the result can be transferred to the next process as it is, it is possible to greatly reduce the required time and labor in designing and manufacturing the inspection jig substrate. Operators who are actually involved in information processing mainly work to supply information on the specified board to be inspected to the processing system of an information processing device such as a personal computer, and receive the information processing result as it is in the next process. It is a passing work, and it is not necessary to understand the principle and purpose inherent in this processing, it is sufficient to know the basic operation method of the information processing device, and it is necessary to be an expert or an expert. And any person can easily execute it.

【0094】[0094]

【発明の効果】本発明によれば、被検査基板における被
検査電極についての幾何学的情報および電気的接続情報
を例えばパーソナルコンピューターなどの情報処理装置
に読み込み、この情報に基づいて、被検査電極のグルー
プ化処理および共通電極形成処理を行い、その結果得ら
れた情報に基づいて、検査用治具基板において形成され
るべき共通検査用電極の条件についての具体的な情報が
生成されるが、それらの情報の処理に必要な条件を情報
処理装置または情報処理システムにおいて設定してお
き、または選定されるべき条件として設定しておくこと
により、きわめて短時間のうちに、かつ容易に、目的と
する導通検査用の検査用治具基板に形成されるべき共通
検査用電極についての幾何学的情報および電気的接続情
報を生成することができる。
According to the present invention, geometric information and electrical connection information about an electrode to be inspected on a substrate to be inspected are read into an information processing apparatus such as a personal computer, and the electrode to be inspected is read based on this information. Performing the grouping process and the common electrode forming process, based on the information obtained as a result, specific information on the condition of the common inspection electrode to be formed on the inspection jig substrate is generated, By setting conditions necessary for processing of such information in the information processing apparatus or information processing system or as conditions to be selected, it is possible to easily and easily achieve the purpose and the purpose in a very short time. Generating geometric information and electrical connection information about a common test electrode to be formed on a test jig substrate for a continuity test. Kill.

【0095】また、本発明によれば、被検査基板におけ
る被検査電極についての幾何学的情報および電気的接続
情報を情報処理装置に読み込み、この情報に基づいて、
各配線ネットごとの代表被検査電極選定処理およびモニ
タ用被検査電極選定処理を行い、その結果得られた情報
に基づいて、検査用治具基板において形成されるべき代
表検査用電極およびモニタ用検査電極の条件についての
具体的な情報が生成されるが、それらの情報の処理に必
要な条件を情報処理装置または情報処理システムにおい
て設定しておき、または選定されるべき条件として設定
しておくことにより、きわめて短時間のうちに、かつ容
易に、目的とする絶縁検査用の検査用治具基板に形成さ
れるべき代表検査用電極およびモニタ用検査電極につい
ての幾何学的情報および電気的接続情報を生成すること
ができる。
Further, according to the present invention, geometric information and electrical connection information on an electrode to be inspected on a substrate to be inspected are read into an information processing apparatus, and based on this information,
The representative test electrode selection process and the monitor test electrode selection process for each wiring net are performed, and based on the information obtained as a result, the representative test electrode and the monitor test to be formed on the test jig substrate. Specific information on electrode conditions is generated, but conditions necessary for processing the information must be set in the information processing device or information processing system, or set as conditions to be selected. Thus, in a very short time, easily and easily, the geometric information and the electrical connection information about the representative test electrode and the monitor test electrode to be formed on the target test jig substrate for insulation test. Can be generated.

【0096】更に、本発明によれば、上記のようにして
生成された情報により、目的とする共通検査用電極を有
する導通検査用の検査用治具基板、および目的とする代
表検査用電極およびモニタ用検査電極を有する絶縁検査
用の検査用治具基板を、きわめて簡単にかつ容易に作製
することができ、しかもそれらの検査用治具基板は信頼
性の高いものである。従って、当該検査用治具基板を用
いることにより、被検査基板について、所要の導通検査
および絶縁検査を確実にかつ高い信頼性で行うことがで
きる。
Further, according to the present invention, based on the information generated as described above, an inspection jig substrate for continuity inspection having an intended common inspection electrode, an intended representative inspection electrode, An inspection jig substrate having an inspection electrode for monitoring for insulation inspection can be extremely easily and easily manufactured, and the inspection jig substrate is highly reliable. Therefore, by using the inspection jig substrate, required continuity inspection and insulation inspection can be reliably and reliably performed on the substrate to be inspected.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】従来の検査用治具基板の一例における検査用電
極と端子電極とを互いに重ね合わせた状態で示す説明図
である。
FIG. 1 is an explanatory view showing a state in which an inspection electrode and a terminal electrode in an example of a conventional inspection jig substrate are overlapped with each other.

【図2】プリント基板検査装置の構成の概要を示す説明
図である。
FIG. 2 is an explanatory diagram illustrating an outline of a configuration of a printed board inspection device.

【図3】本発明の方法が対象とする検査用治具基板にお
ける検査用電極と、被検査基板の被検査電極とを互いに
重ね合わせた状態で示す説明図である。
FIG. 3 is an explanatory view showing a state in which an inspection electrode on an inspection jig substrate targeted by the method of the present invention and an electrode to be inspected on a substrate to be inspected are overlapped with each other.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 下部ヘッド 11 上部ヘッド 12 検査用治具基板 20 被検査基板 16,17 コネクターシート 19 駆動機構 22 制御用コンピュータ 23 制御機構 24 テスター X 被検査電極 Y 共通検査用電極 A 検査用ヘッド機構 B 検査制御機構 51 検査用電極 52 端子電極 53 プリント配線 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Lower head 11 Upper head 12 Inspection jig board 20 Inspection board 16, 17 Connector sheet 19 Drive mechanism 22 Control computer 23 Control mechanism 24 Tester X Inspection electrode Y Common inspection electrode A Inspection head mechanism B Inspection control Mechanism 51 Test electrode 52 Terminal electrode 53 Printed wiring

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2G011 AA16 AA21 AB06 AB08 AC06 AC14 AE01 2G014 AA02 AA13 AA15 AB59 AC10 2G032 AA00 AF02 AF03 AL03 9A001 BB03 BB04 BB05 CC08 JJ46 JJ48 JJ50 JJ76 KK11 KK31 KK36 KK37 LL05  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 2G011 AA16 AA21 AB06 AB08 AC06 AC14 AE01 2G014 AA02 AA13 AA15 AB59 AC10 2G032 AA00 AF02 AF03 AL03 9A001 BB03 BB04 BB05 CC08 JJ46 JJ48 JJ50 JJ76 KK31 KK31 KK36

Claims (11)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 被検査プリント基板における複数の被検
査電極の位置に対応する位置に検査用電極を備えてな
り、検査用電極のうちの少なくとも1つは、2個以上の
被検査電極により構成される被検査電極グループに対応
する形状を有する共通検査用電極であり、この共通検査
用電極は、検査のために被検査プリント基板と接触され
たときに、被検査プリント基板に形成されている互いに
独立の配線ネットが、当該共通検査電極を介して互いに
電気的な閉回路を形成することがない状態に形成されて
いるプリント基板検査用治具基板を作製するため、 (1)被検査プリント基板上のすべての被検査電極につ
いての幾何学的情報および相互の電気的接続情報を利用
して、複数の被検査電極よりなる被検査電極グループの
少なくとも1つを形成するグループ化処理と、 (2)1つの被検査電極グループに属する被検査電極の
すべてが電気的に接続された状態に対応する1つの仮想
の共通電極を形成する共通電極形成処理と、を行うこと
により、共通検査用電極に関する情報を生成することを
特徴とするプリント基板検査用治具基板を作製するため
の情報を生成する方法。
An inspection electrode is provided at a position corresponding to a position of a plurality of electrodes to be inspected on a printed circuit board to be inspected, and at least one of the electrodes for inspection is constituted by two or more electrodes to be inspected. A common inspection electrode having a shape corresponding to the electrode group to be inspected, and the common inspection electrode is formed on the inspection target printed board when the common inspection electrode is brought into contact with the inspection target printed board for inspection. In order to produce a printed circuit board inspection jig substrate in which independent wiring nets are formed without forming an electric closed circuit with each other via the common inspection electrode, (1) Print to be inspected Utilizing geometric information and mutual electrical connection information about all the electrodes to be inspected on the substrate, at least one electrode group to be inspected consisting of a plurality of electrodes to be inspected is formed. Performing grouping processing and (2) common electrode forming processing for forming one virtual common electrode corresponding to a state in which all of the electrodes to be inspected belonging to one electrode group to be inspected are electrically connected. A method for generating information for manufacturing a printed circuit board inspection jig substrate, wherein the method generates information on a common inspection electrode.
【請求項2】 請求項1に記載の方法によって生成され
た情報によって作製された共通検査用電極を有すること
を特徴とするプリント基板検査用治具基板。
2. A jig substrate for printed circuit board inspection, comprising: a common inspection electrode made by information generated by the method according to claim 1.
【請求項3】 請求項2に記載のプリント基板検査用治
具基板を用いて被検査プリント基板の導通検査を行うこ
とを特徴とするプリント基板検査方法。
3. A printed circuit board inspection method, wherein a continuity test of a printed circuit board to be inspected is performed using the printed circuit board inspection jig substrate according to claim 2.
【請求項4】 被検査プリント基板における複数の被検
査電極の位置に対応する位置に検査用電極を備えてな
り、検査用電極のうちの少なくとも1つは、2個以上の
被検査電極により構成される被検査電極グループに対応
する形状を有する共通検査用電極であり、この共通検査
用電極は、検査のために被検査プリント基板と接触され
たときに、被検査プリント基板に形成されている互いに
独立の配線ネットが、当該共通検査電極を介して互いに
電気的な閉回路を形成することがない状態に形成されて
いるプリント基板検査用治具基板の作製に用いられる情
報処理装置であって、 (1)被検査プリント基板上のすべての被検査電極につ
いての幾何学的情報および相互の電気的接続情報を利用
して、複数の被検査電極よりなる被検査電極グループの
少なくとも1つを形成するグループ化処理機能と、 (2)1つの被検査電極グループに属する被検査電極の
すべてが電気的に接続された状態に対応する1つの仮想
の共通電極を形成する共通電極形成処理機能と、を有
し、共通検査用電極に関する情報を生成することを特徴
とするプリント基板検査用治具基板の作製に用いられる
情報生成装置。
4. An inspection electrode is provided at a position corresponding to a position of a plurality of electrodes to be inspected on a printed circuit board to be inspected, and at least one of the electrodes for inspection is constituted by two or more electrodes to be inspected. A common inspection electrode having a shape corresponding to the electrode group to be inspected, and the common inspection electrode is formed on the inspection target printed board when the common inspection electrode is brought into contact with the inspection target printed board for inspection. An information processing apparatus used for manufacturing a printed circuit board inspection jig substrate in which mutually independent wiring nets are formed without forming an electric closed circuit with each other via the common inspection electrode. (1) An electrode group to be inspected comprising a plurality of electrodes to be inspected by utilizing geometric information and mutual electrical connection information about all the electrodes to be inspected on a printed circuit board to be inspected. A grouping processing function for forming at least one; and (2) a common electrode for forming one virtual common electrode corresponding to a state in which all of the electrodes to be inspected belonging to one electrode group to be inspected are electrically connected. An information generating apparatus used for manufacturing a printed circuit board inspection jig substrate, the information generation apparatus having a formation processing function and generating information on a common inspection electrode.
【請求項5】 検査用電極を備えてなり、当該検査用電
極の少なくとも1つは、被検査プリント基板に形成され
ている互いに独立の配線ネットの各々に属するただ1つ
の被検査電極よりなる代表被検査電極に対応する位置
に、当該代表被検査電極と電気的に接続される代表検査
用電極として形成されているプリント基板検査用治具基
板を作製するため、 (1)被検査プリント基板に形成されている独立の配線
ネット毎に、当該配線ネットに属する複数の被検査電極
のうちのただ1つを代表被検査電極として選定する代表
被検査電極選定処理と、 (2)被検査プリント基板に形成されている被検査電極
のうち、前記代表被検査電極とは異なる被検査電極であ
って、 前記代表被検査電極のいずれかと電気的に接続さ
れている被検査電極から少なくとも1つの被検査電極を
モニタ用被検査電極として選定するモニタ用被検査電極
選定処理と、を行うことにより、代表検査用電極に関す
る情報およびモニタ用検査電極に関する情報を生成する
ことを特徴とするプリント基板検査用治具基板を作製す
るための情報を生成する方法。
5. An electrode for inspection, wherein at least one of the electrodes for inspection is a representative of only one electrode to be inspected belonging to each of independent wiring nets formed on a printed circuit board to be inspected. To produce a printed circuit board inspection jig substrate formed as a representative inspection electrode electrically connected to the representative electrode to be inspected at a position corresponding to the electrode to be inspected, A representative inspected electrode selection process for selecting, as a representative inspected electrode, only one of the plurality of inspected electrodes belonging to the interconnect net for each of the formed independent interconnect nets; Of the electrodes to be inspected, the electrodes to be inspected are different from the representative electrodes to be inspected, and at least one of the electrodes to be inspected electrically connected to any of the representative electrodes to be inspected. And a monitor inspection electrode selection process of selecting one of the electrodes to be inspected as the monitoring electrode to be monitored, thereby generating information about the representative inspection electrode and information about the monitoring inspection electrode. A method for generating information for producing a printed circuit board inspection jig substrate.
【請求項6】 請求項5に記載の方法によって生成され
た情報によって作製された代表検査用電極およびモニタ
用検査電極を有することを特徴とするプリント基板検査
用治具基板。
6. A jig board for printed circuit board inspection, comprising a representative inspection electrode and a monitor inspection electrode produced by the information generated by the method according to claim 5.
【請求項7】 請求項6に記載のプリント基板検査用治
具基板を用いて被検査基板の絶縁検査を行うことを特徴
とするプリント基板検査方法。
7. A method of inspecting a printed circuit board, comprising performing an insulation inspection of a substrate to be inspected using the jig substrate for printed circuit board inspection according to claim 6.
【請求項8】 検査用電極を備えてなり、当該検査用電
極の少なくとも1つは、被検査プリント基板に形成され
ている互いに独立の配線ネットの各々に属するただ1つ
の被検査電極よりなる選定被検査電極に対応する位置
に、当該代表被検査電極と電気的に接続される代表検査
用電極として形成されているプリント基板検査用治具基
板の作製に用いられる情報処理装置であって、 (1)被検査プリント基板に形成されている独立の配線
ネット毎に、当該配線ネットに属する複数の被検査電極
のうちのただ1つを代表被検査電極として選定する代表
被検査電極選定処理機能と、 (2)被検査プリント基板に形成されている被検査電極
のうち、前記代表被検査電極とは異なる被検査電極であ
って、 前記代表被検査電極のいずれかと電気的に接続さ
れている被検査電極から少なくとも1つの被検査電極を
モニタ用被検査電極として選定するモニタ用被検査電極
選定処理機能と、を有し、代表検査用電極に関する情報
およびモニタ用検査電極に関する情報を生成することを
特徴とするプリント基板検査用治具基板の作製に用いら
れる情報生成装置。
8. An electrode for inspection, wherein at least one of the electrodes for inspection is selected from only one electrode to be inspected belonging to each of independent wiring nets formed on a printed circuit board to be inspected. An information processing apparatus used for manufacturing a printed circuit board inspection jig substrate formed as a representative inspection electrode electrically connected to the representative inspection target electrode at a position corresponding to the inspection target electrode, 1) For each independent wiring net formed on the printed circuit board to be inspected, a representative inspected electrode selection processing function for selecting only one of the plurality of inspected electrodes belonging to the wiring net as a representative inspected electrode. (2) Of the electrodes to be inspected formed on the inspected printed circuit board, the electrodes to be inspected are different from the representative electrodes to be inspected, and are electrically connected to any of the representative electrodes to be inspected. And a monitor inspection electrode selection processing function of selecting at least one electrode to be inspected from the electrodes to be inspected as a monitoring electrode to be inspected, and information about the representative inspection electrode and information about the monitoring inspection electrode are provided. An information generation apparatus used for manufacturing a jig substrate for printed circuit board inspection, wherein the jig substrate is generated.
【請求項9】 請求項1に記載のグループ化処理および
共通電極形成処理を行うと共に、請求項5に記載の代表
被検査電極選定処理およびモニタ用被検査電極選定処理
を行うことを特徴とするプリント基板検査用治具基板の
作製に用いられる情報を生成する方法。
9. A grouping process and a common electrode forming process according to claim 1, and a representative electrode selecting process and a monitoring electrode selecting process according to claim 5 are performed. A method for generating information used for manufacturing a jig substrate for printed circuit board inspection.
【請求項10】 請求項4に記載のグループ化処理機能
および共通電極形成処理機能と、請求項8に記載の代表
被検査電極選定処理機能およびモニタ用被検査電極選定
処理機能とを有することを特徴とするプリント基板検査
用治具基板の作製に用いられる情報処理装置。
10. A grouping processing function and a common electrode forming processing function according to claim 4, and a representative electrode selection processing function and a monitoring electrode selection processing function for monitoring according to claim 8. An information processing apparatus used for producing a printed circuit board inspection jig substrate.
【請求項11】 被検査プリント基板に対して、請求項
3に記載の導通検査と請求項7に記載の絶縁検査とを行
うことを特徴とするプリント基板検査方法。
11. A method for inspecting a printed circuit board, comprising performing the continuity test according to claim 3 and the insulation test according to claim 7 on a printed circuit board to be inspected.
JP11034913A 1999-02-12 1999-02-12 Method and device for generating information for production of printed board inspecting jig board printed board inspecting jig board, and printed board inspecting method Withdrawn JP2000235057A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11034913A JP2000235057A (en) 1999-02-12 1999-02-12 Method and device for generating information for production of printed board inspecting jig board printed board inspecting jig board, and printed board inspecting method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11034913A JP2000235057A (en) 1999-02-12 1999-02-12 Method and device for generating information for production of printed board inspecting jig board printed board inspecting jig board, and printed board inspecting method

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2000235057A true JP2000235057A (en) 2000-08-29

Family

ID=12427462

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11034913A Withdrawn JP2000235057A (en) 1999-02-12 1999-02-12 Method and device for generating information for production of printed board inspecting jig board printed board inspecting jig board, and printed board inspecting method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2000235057A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020034283A (en) * 2018-08-27 2020-03-05 株式会社日本マイクロニクス Inspection device and inspection method

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020034283A (en) * 2018-08-27 2020-03-05 株式会社日本マイクロニクス Inspection device and inspection method
JP7182951B2 (en) 2018-08-27 2022-12-05 株式会社日本マイクロニクス Inspection device and inspection method

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6362013B1 (en) Semiconductor inspection apparatus and method of specifying attributes of dies on wafer in semiconductor inspection apparatus
EP1630563A1 (en) Method of manufacturing a probe card
KR100575178B1 (en) Inspection adapter board for printed board, method for inspecting printed board, and method and apparatus for producing information for fabricating the inspection adapter board
JP2000193702A (en) Apparatus and method for inspecting insulation of board
JPH09107011A (en) Semiconductor device and aligning method thereof
JP3191467B2 (en) Printed circuit board inspection data creation method
JP4247076B2 (en) Substrate inspection system and substrate inspection method
JP2000235057A (en) Method and device for generating information for production of printed board inspecting jig board printed board inspecting jig board, and printed board inspecting method
JP2021179364A (en) Inspection data creating device and inspection data creating method
JP2638556B2 (en) Probe card checker
JPH0868822A (en) Apparatus and method for testing wiring of substrate with multiple board structure
JP6143295B2 (en) Circuit board inspection equipment
JP3361982B2 (en) Inspection apparatus and inspection method for substrate etc. having a plurality of terminals
US7103864B2 (en) Semiconductor device, and design method, inspection method, and design program therefor
JP3858244B2 (en) Semiconductor inspection apparatus and semiconductor inspection method
US7135879B1 (en) Test structure and method for failure analysis of small contacts in integrated circuit technology development
JPH08178992A (en) Method and apparatus for inspection circuit board
JP2001159652A (en) Circuit board inspection jig substrate device, manufacturing method for it, and inspection method
KR0127639B1 (en) Probing test method and apparatus
US20020105348A1 (en) Electronically measuring pin-to-pad alignment using resistive pads
JP3436183B2 (en) Semiconductor inspection apparatus and inspection method using the same
JP2975775B2 (en) Continuity test apparatus and continuity test method
CN118112294A (en) Jig for detecting circuit board and detection method thereof
JP6472616B2 (en) Data generating apparatus and data generating method
JPH09213757A (en) Method for facilitating wafer probe

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20051216

A761 Written withdrawal of application

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761

Effective date: 20070807