JP2000228166A

JP2000228166A - 試料観察装置

Info

Publication number: JP2000228166A
Application number: JP2881199A
Authority: JP
Inventors: Izumi Santo; 泉山藤
Original assignee: Holon Co Ltd
Current assignee: Holon Co Ltd
Priority date: 1999-02-05
Filing date: 1999-02-05
Publication date: 2000-08-15

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】試料観察装置に関し、粒子線装置の対物レン
ズの内径を小さくかつ試料との距離を小さくして低加速
電圧であっても高分解能かつ明るい粒子線像を生成した
状態で、試料を透過あるいは反射した光をもとに高分解
能かつ明るい光学像を同時に生成する。【解決手段】粒子線を発生する粒子線源と、発生され
た粒子線を細く絞って試料に照射する粒子線用の対物レ
ンズと、粒子線を面走査する偏向系と、粒子線を試料に
照射したときに放出される荷電粒子を検出あるいは吸収
された電流を検出してディスプレイ上に輝度変調して粒
子線像を表示する粒子線像表示手段とを備え、試料の裏
面の近傍に配置した光学顕微鏡用の対物レンズと、試料
の上面から光を照射、あるいは上記試料の裏面から光を
照射する光照射手段と、光学顕微鏡用の対物レンズによ
って結像した光学像を表示する光学像表示手段とを備え
るように構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、露光によってＩＣ
やＬＳＩの回路をウエハ上に焼き付けるときに原盤とな
るフォトマスクやステンシルマスクなどの試料の表面観
察、寸法測定、および欠陥検査を電子線やイオンビーム
などの荷電粒子を用いる粒子線装置および光を用いる顕
微鏡からなる試料観察装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、ＬＳＩの集積度は、向上の一途を
辿っており、ＬＳＩの製造工程においてその原盤となる
マスクパターンは微細化し、光学顕微鏡による微細観察
では不可能になったため、走査型電子顕微鏡などの粒子
線装置による表面観察が行われている。

【０００３】しかし、広い視野の像を確保するために、
また、位置決め補正を行うために、光学顕微鏡を粒子線
装置である例えば走査型電子顕微鏡に組み込むことが行
われており、図３に示すような構造を持つものがある。
以下図３の構造を簡単に説明する。

【０００４】図３は、従来技術の説明図を示す。図３に
おいて、粒子線３１は、図示外の例えば電子銃から放射
された電子を集束したものである。

【０００５】対物レンズ３２は、粒子線３１を細く絞っ
て試料３３上を照射するものである。試料３３は、対物
レンズ３２によって細く絞った電子線で照射された状態
で、図示外の偏向系によって面走査されるものである。

【０００６】照明ランプ４１は、光を放射するものであ
る。コンデンサレンズ４２は、照明ランプ４１から放射
された光を集束して試料３３を照射するものである。

【０００７】ハーフミラー４３は、コンデンサレンズ４
２によって集束された光をここでは右方向に反射した
り、試料３３から反射して帰ってきた光を透過させて撮
像装置４７に入射させたりするものである。

【０００８】ミラー４４は、左方向から入射した光をこ
こでは下方向に反射したり、下から上方向に向かう光を
左方向に反射したりするものであって、中央に小さな穴
を設けて粒子線３１を下方向に通過させるようにしたも
のである。

【０００９】対物レンズ４５は、ミラー４４によって反
射した光を試料３３上に照射したり、試料３３から反射
した光を結像したりなどするものであって、中央に小さ
な粒子線３１の通過する穴を設けた対物レンズである。

【００１０】光線４６は、対物レンズ４５によって試料
３３上に光を集束したり、試料３３からの反射光を結像
したりする光の軌跡の例である。撮像装置４７は、ハー
フミラー４３を通過して結像された試料３３の像を電気
信号に変換して図示外の表示装置上に表示させるもので
ある。

【００１１】次に、試料３３の像を表示するときの動作
を簡単に説明する。（１）図示外の粒子線源（例えば電子線源）から放射
された粒子線３１がミラー４４の中心の穴および対物レ
ンズ４５の中心の穴を通過すると共に、対物レンズ３２
によって集束されて試料３３上に細く絞られて照射され
る。この状態で、図示外の走査系によって試料３３上を
照射した粒子線３１を面走査し、そのときに放出された
２次電子などを収集して輝度変調し、ディスプレイ上に
画像（例えば２次電子像）を表示する。

【００１２】（２）一方、照射ランプ４１から放射さ
れた光線は、コンデンサレンズ４２によって集束され、
ハーフミラー４３、ミラー４４により反射され、対物レ
ンズ４５で集束され、光線４６として試料３３を照射す
る。試料３３から反射した光は、対物レンズ４５で結像
され、ミラー４４で反射し、ハーフミラー４３を通過し
て撮像装置４７に入射する。入射した光は、図示外のレ
ンズ系によって試料３３上の像を生成して観察者が直接
に観察したり、あるいは撮像面に結像し電子線で走査し
て試料３３上の像を電気信号に変換してディスプレイ装
置上に表示する。

【００１３】以上のようにして、粒子線３１例えば電子
線で試料３３上を面走査して生成した２次電子像と、光
を試料３３に照射して反射して生成した光学像とをディ
スプレイ上に表示し、低倍かつ広視野の光学像で広い範
囲に渡って全体を観察し、一方、高分解能の２次電子像
で非常に微細な構造を観察することで、全体の観察（位
置決め）と、微細な欠陥などの詳細観察とを両者を用い
て行うようにしていた。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、試料３３が半
導体ウエハやマスクなどのように、高加速電圧の電子線
（粒子線３１）を照射するとダメージを与えたりあるい
はチャージして分解能が低下してしまう試料であるある
場合、低加速電圧の粒子線を用いて試料３３を照射して
像を得て観察しなければならず、そのために、粒子線装
置の特に対物レンズ３２の内径と試料３３との距離をで
きるだけ小さく（焦点距離ｆを小さく）して良質の画像
を得る必要がある。その結果、光学顕微鏡用の対物レン
ズ４５を設置する空間がなくなり、試料３３からはるか
離れた位置に対物レンズ４５を移動しなければならな
い。このような条件では、光学像の分解能は低下し（試
料３３に対する開き角度が小さくなり分解能が低下
し）、かつ暗い像となり、光学像を用いた高精度の位置
決めや、焦点位置の位置決めが正確に出来なくなるとい
う問題がある。

【００１５】本発明は、これらの問題を解決するため、
粒子線装置の対物レンズの内径を小さくかつ試料との距
離を小さくして低加速電圧であっても高分解能かつ明る
い粒子線像を生成した状態で、かつウエハなどの試料の
裏面の近傍に光学顕微鏡用の対物レンズを配置し、試料
を透過あるいは反射した光をもとに高分解能かつ明るい
光学像を同時に生成することを目的としている。

【００１６】

【課題を解決するための手段】図１および図２を参照し
て課題を解決するための手段を説明する。図１および図
２において、粒子線１は、加速された荷電粒子（例えば
電子やイオンなどの荷電粒子）である。

【００１７】対物レンズ３は、粒子線１を試料４上に細
く絞るものである。試料４は、粒子線１を照射した状態
で平面走査してそのときに放出あるいは吸収された電子
やイオンなどを検出して粒子線像を表示したり、光を照
射して透過あるいは反射した光の像（光学像）を表示し
たりする対象の試料である。

【００１８】対物レンズ１５、２５は、試料４の裏面の
近傍に設けて光を試料４に照射し、透過あるいは反射し
た光を結像して光学像を生成するためのものである。次
に、動作を説明する。

【００１９】図１において、図示外の粒子線源から放出
された粒子線１は対物レンズ３によって細く絞られて試
料４上を照射した状態で、図示外の偏向系によって当該
試料４上で平面走査し、そのときに放出された荷電粒子
（例えば反射されて放出された１次電子／１次イオン、
放出された２次電子／２次イオン）やＸ線、光などを検
出あるいは吸収された電流を検出してディスプレイ装置
の画面上に輝度変調して粒子線像を表示する。同時に、
光を試料４の上から下の方向に照射して透過した光を、
当該試料４の裏面に配置した対物レンズ１５によって結
像し撮像装置１７で電気信号に変換してディスプレイ装
置の画面上に輝度変調して光学像を表示する。

【００２０】また、図２において、光を試料４の裏面か
ら照射して反射した光を物レンズ２５によって結像し撮
像装置２７で電気信号に変換してディスプレイ装置の画
面上に輝度変調して光学像を表示する。

【００２１】この際、試料４の上面から光を照射して透
過した透過光あるいは試料４の裏面から光を照射して反
射した反射光のうちの前者あるいは後者のいずれか一方
の光学像の信号を反転した後の光学像を表示すようにし
ている。

【００２２】また、倍率表示指示が、所定倍率以下のと
きに光学像を表示し、所定倍率以上のときに粒子線像に
切り替えて表示するようにしている。また、粒子線像と
光学像とを１つの表示装置に２分割して表示、あるいは
２つの表示装置にそれぞれ表示するようにしている。

【００２３】また、光学像の焦点があった位置の情報を
もとに、粒子線用の対物レンズ３の電流あるいは電圧を
制御して焦点合わせするようにしている。また、試料４
を板状にした、あるいは試料４を光学的に透明な板状支
持体の上に載置するようにしている。

【００２４】また、試料４を透過する波長の光を照射す
るようにしている。従って、粒子線装置の対物レンズ３
の内径を小さくかつ試料４との距離を小さくして低加速
電圧であっても高分解能かつ明るい粒子線像を生成した
状態で、かつウエハなどの試料４の裏面の近傍に光学顕
微鏡用の対物レンズ１５、２５を配置し、試料４の上面
から光を照射して透過した光あるいは試料の裏面から光
を照射して反射した光をもとに高分解能かつ明るい光学
像を生成することが可能となる。

【００２５】

【実施例】次に、図１および図２を用いて本発明の実施
の形態および動作を順次詳細に説明する。

【００２６】図１は、本発明の１実施例構成図を示す。
これは、光を試料４の上から下の方向に照射し、当該試
料４を透過した透過光を対物レンズ１５によって結像す
るときの構成図である。

【００２７】図１において、粒子線１は、図示外の粒子
線源で加速された荷電粒子（例えば電子やイオンなどの
荷電粒子）である。中心軸２は、装置の光学系（ここで
は、粒子線１を対物レンズ３で試料４に結像するいわゆ
る光学系）の軸（収差などが最も小さくなる軸）であ
る。

【００２８】対物レンズ３は、粒子線１を試料４上で細
く絞って照射するものである。ここでは、対物レンズ３
は、低加速電圧の粒子線１を試料４上に細く絞るため
に、特に、収差（球面収差、色収差などの収差）を非常
に小さくする必要があり、そのために、当該対物レンズ
３の内径は小さくかつ当該対物レンズ３と試料４との距
離（焦点距離に対応するもの）を非常に小さくして、低
加速であっても十分な輝度（強度）を持つ細く絞った粒
子線スポットを試料４に照射するようにしている。この
ため、従来の図３の対物レンズ４５を配置する場所がな
くなってしまったので、それを解決したものが、図１、
図２であって、光学像用の対物レンズ１５，２５を試料
４の裏面の近傍に配置している。

【００２９】試料４は、高分解能の粒子線像および高視
野の光学像を表示する対象の試料であって、平板状、あ
るいは光学的に透明な平板状支持体（例えばプレパラー
ト）上に微小な試料（粉末や小さな生物試料など）を載
置したものである。この際、シリコンウエハなどの平板
状の試料では、その性質上、光を良く透過する波長が存
在、例えば１μｍから数μｍ程度の赤外線（近赤外線）
では、可視光よりもよく通過するので、この良く通過す
る波長の光を試料４に合わせて照射することで、試料４
上に形成したマスクの形状や欠陥の形状などの良好な光
学像を表示することが可能となる。また、プレパラート
の上に載置した小さな粉末や有機物の表面を導電性処理
（例えば金やカーボンなどの薄い膜を生成して導電性処
理）を行うことで、高分可能の粒子線像と、高視野で位
置合わせがし易い光学像とを同時に表示することが可能
となる。

【００３０】ステージ５は、試料４を平面（Ｘ方向およ
びＹ方向）上で移動およびＺ方向に移動し、所望の試料
４の場所の粒子線像および光学像を表示させるものであ
る。照明ランプ１１は、光を放出するものであって、可
視光の他に、試料４を良く透過する波長の光（例えば１
μｍ程度の赤外線）を放出するものである。

【００３１】コンデンサレンズ１２は、照明ランプ１１
から放出された光を集束するものである。ミラー１３
は、コンデンサレンズ１２によって集束（例えば平行に
近い光線に集束）した光を反射、ここでは、中心軸１２
の下方向に反射すると共に、中央の中心軸１２の部分に
粒子線１が通過する穴を設けたものである。

【００３２】入射線１４は、ミラー１３によって反射さ
れ、試料４に向けて放射される光線である。対物レンズ
１５は、試料４の裏面の近傍に配置し、試料４を透過し
た光を結像するものである。この対物レンズ１５は、図
示しないが、Ｚ軸方向に移動可能とし、焦点合わせする
ようにしている。この際、焦点があったときのＺ方向の
位置を検出して、粒子線用の対物レンズ３の電流あるい
は電圧を制御して粒子線１の焦点合わせを自動的に行っ
て粒子線像を得るようにしている（光学像用の対物レン
ズ１５の焦点位置（Ｚ位置）と、粒子線用の対物レンズ
３に印加する電流あるいは電圧との関係を予め測定して
おき、その測定値に対応する電流あるいは電圧を自動的
に対物レンズ３に供給／印加することで、自動焦点合せ
する）。

【００３３】透過光線１６は、試料４を透過して対物レ
ンズ１５で結像された光である。撮像装置１７は、対物
レンズ１５で結合された試料４を透過した透過光の像を
電気信号に変換し、図示外のディスプレイ装置の画面上
に輝度変調して光学像として表示するためのものであ
る。

【００３４】次に、図１の構成のもとで、粒子線像およ
び光学像を表示する動作を説明する。（１）図示外の粒子線源から放出された粒子線１が対
物レンズ３によって試料４上に細く絞られてスポット状
に照射された状態で、図示外の偏向系（偏向器とその制
御回路）によって当該粒子線スポットが面走査（Ｘ方向
およびＹ方向に走査）され、そのときに放出された粒子
線（反射電子／反射イオン、２次電子／２次イオン、Ｘ
線、光線）を検出、あるいは吸収された電流を検出し、
ディスプレイ装置の画面上に輝度変調して、試料４の拡
大した高分解能の粒子線像を表示する。

【００３５】（２）照明ランプ１１から放射された光
は、コンデンサレンズ１２によって集束されてほぼ平行
光線となってミラー１３で下方向に反射されて試料４を
照射する。試料４を通過した光は、当該試料４の裏面の
近傍に配置した対物レンズ１５によって結像され、撮像
装置１７によって結像された像が走査されて電気信号に
変換され、図示外のディスプレイ装置の画面上に輝度変
調され高視野の光学像を表示する。この際、電気信号の
極性を随時反転可能にしておき、必要に応じて反転した
光学像を表示する。また、倍率は、対物レンズ１５を図
示外の交換機構によって交換して、異なる焦点距離の対
物レンズにして任意の倍率に調整する。また、撮像装置
１７で像を所定の撮像管面に結像するときの倍率で若干
の倍率を変えるようにしてもよい。

【００３６】（３）図示外のディスプレイ装置の画面
上には、試料４の同一位置を中心に、低倍率のときは高
視野の光学像を表示し、高倍率になると高分解能の粒子
線像に切り替えて表示する。この際、ディスプレイ装置
の画面を２つに分割あるいは２つのディスプレイ装置の
画面上に、光学像と、粒子線像とをそれぞれ同時にリア
ルタイムに表示するようにしてもよい。この同時表示の
場合には、試料４の同一場所を中心に、低倍率の高視野
の光学像と、高倍率の高分解能の粒子線像とを同時にリ
アルタイムに表示され、特に、高倍率で表示されている
粒子線像の場所を、低倍率の光学像で確認できる。

【００３７】以上のように、粒子線用の対物レンズ３の
内径を小さくかつ試料４との距離を小さくして低加速電
圧であっても高分解能の粒子線像を表示すると同時に、
試料４の裏面に光学像用の対物レンズ１５を配置して透
過光を当該対物レンズ１５で結像して高視野の光学像を
表示することで、フォトマスクやステンシルマスクなど
の平板状の試料４について、特に、低加速電圧で高分解
能の粒子線像の表示と同時かつリアルタイムに試料４の
同一場所の高視野の明るい光学像を表示することが可能
となった。これにより、光学像による高精度の位置合せ
や位置の確認を行いつつ、高分解能の粒子線像によって
微細なパターン欠陥などを見つけたり、その位置を特定
したりすることが容易に可能となった。

【００３８】図２は、本発明の他の実施例構成図を示
す。これは、光を試料４の裏面から照射して反射した反
射光を対物レンズ２５によって結像するときの構成図で
ある。ここで、図２の粒子線１、中心軸２、対物レンズ
３、試料４、ステージ５、照明ランプ２１、コンデンサ
レンズ２２は、図１の粒子線１、中心軸２、対物レンズ
３、試料４、ステージ５、照明ランプ１１、コンデンサ
レンズ１２に対応してそれぞれ同一であるので、説明を
省略する。

【００３９】図２において、ハーフミラー２３は、コン
デンサレンズ２２によって集束（例えば平行に近い光線
に集束）した光を反射、ここでは、中心軸１２の上方向
に反射したり、試料４から反射して対物レンズ２５によ
って結像された反射光線をここでは下方向に通過させた
りするものである。

【００４０】入射線２４は、ハーフミラー２３によって
上方向に反射された光線である。対物レンズ２５は、ハ
ーフミラー２３で反射された入射線２４を試料４の背面
から照射したり、反射して帰ってきた光線を結像したり
するものである。

【００４１】反射光線２６は、対物レンズ２５によって
結像されハーフミラー２３を透過した光線である。撮像
装置２７は、反射光線２６を入射して像を撮像管などの
結像面に結像し、走査して電気信号に変換してディスプ
レイ装置の画面上で輝度変調して光学像を表示させるも
のである。

【００４２】次に、図２の構成のもとで、粒子線像およ
び光学像を表示する動作を説明する。（１）ここで、粒子線像の表示は、既述した図１の
（１）と同一であるので、説明を省略する。

【００４３】（２）照明ランプ２１から放射された光
は、コンデンサレンズ２２によって集束されてほぼ平行
光線となってハーフミラー２３で上方向に反射されて対
物レンズ２５を介して試料４の裏面から照射する。試料
４から反射された光は、対物レンズ２５によって結像さ
れ、ハーフミラー２３をここでは透過して撮像装置２７
に入射し、当該撮像装置２７の撮像管の結像面に結像さ
れた像が走査されて電気信号に変換され、図示外のディ
スプレイ装置の画面上に輝度変調され高視野の光学像を
表示する。この際、電気信号の極性を随時反転可能にし
ておき、必要に応じて反転した光学像を表示する。ま
た、倍率は、対物レンズ２５を図示外の交換機構によっ
て交換して、異なる焦点距離の対物レンズ２５にして任
意の倍率に調整する。また、撮像装置２７で像を所定の
撮像管面に結像するときの倍率で若干の倍率を変えるよ
うにしてもよい。

【００４４】（３）図示外のディスプレイ装置の画面
上には、試料４の同一位置を中心に、低倍率のときは高
視野の光学像を表示し、高倍率になると高分解能の粒子
線像に切り替えて表示する。この際、ディスプレイ装置
の画面を２つに分割あるいは２つのディスプレイ装置の
画面上に、光学像と、粒子線像とをそれぞれ同時にリア
ルタイムに表示するようにしてもよい。この同時表示の
場合には、試料４の同一場所を中心に、低倍率の高視野
の光学像と、高倍率の高分解能の粒子線像とを同時にリ
アルタイムに表示され、特に、高倍率で表示されている
粒子線像の場所を、低倍率の光学像で確認できる。

【００４５】以上のように、粒子線用の対物レンズ３の
内径を小さくかつ試料４との距離を小さくして低加速電
圧であっても高分解能の粒子線像を表示すると同時に、
試料４の裏面に光学像用の対物レンズ１５を配置して反
射光を当該対物レンズ１５で結像して高視野の光学像を
表示することで、フォトマスクやステンシルマスクなど
の平板状の試料４について、特に、低加速電圧で高分解
能の粒子線像の表示と同時かつリアルタイムに試料４の
同一場所の高視野の明るい光学像を表示することが可能
となった。これにより、光学像による高精度の位置合せ
や位置の確認を行いつつ、高分解能の粒子線像によって
微細なパターン欠陥などを見つけたり、その位置を特定
したりすることが容易に可能となった。

【００４６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
粒子線装置の対物レンズ３の内径を小さくかつ試料４と
の距離を小さくして低加速電圧であっても高分解能かつ
明るい粒子線像を生成した状態で、かつウエハなどの試
料４の裏面の近傍に光学顕微鏡用の対物レンズ１５、２
５を配置し、試料４の上面から光を照射して透過した光
あるいは試料４の裏面から光を照射して反射した光をも
とに高分解能かつ明るい光学像を生成することが可能と
なる。これにより、低加速電圧で高分解能の粒子線像の
表示と同時かつリアルタイムに、試料４の同一場所の高
視野の明るい光学像を表示することが可能となり、見慣
れた光学像による高精度の位置合せや位置の確認を行い
つつ、かつ高分解能の粒子線像によって微細なパターン
欠陥などを見つけたり、その位置を特定したりすること
が容易に可能となった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の１実施例構成図である。

【図２】本発明の他の実施例構成図である。

【図３】従来技術の説明図である。

【符号の説明】

１：粒子線２：中心軸（軸）３：対物レンズ４：試料５：ステージ１１、２１：照明ランプ１２、２２：コンデンサレンズ１３：ミラー１４、２４：入射線１５、２５：対物レンズ１６：透過光線１７、２７：撮像装置２３：ハーフミラー２６：反射光線

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｇ０２Ｂ 21/36 Ｇ０２Ｂ 21/36 Ｇ０３Ｆ 1/00 Ｇ０３Ｆ 1/00 ＶＨ０１Ｊ 37/21 Ｈ０１Ｊ 37/21 Ｂ 37/28 37/28 ＢＨ０１Ｌ 21/66 Ｈ０１Ｌ 21/66 ＪＦターム(参考） 2G001 AA03 AA05 AA07 AA09 AA10 AA20 BA06 BA07 BA11 BA15 CA01 CA03 CA05 CA07 CA10 GA06 GA09 GA11 HA09 HA12 HA20 JA02 JA13 KA03 KA20 LA01 LA11 LA20 MA05 RA08 SA29 2H052 AB01 AC01 AC30 AF21 2H095 AB28 BA01 BA08 BB09 BB10 BB12 BD02 BD14 4M106 AA01 AA09 BA02 BA04 BA08 CA38 CA39 DB04 DB05 DB07 DB12 DB13 DB18 DJ04 DJ05 DJ23 5C033 MM01 UU03 UU05 UU06

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】粒子線を発生する粒子線源と、上記発生された粒子線を細く絞って試料に照射する粒子
線用の対物レンズと、上記細く絞って試料に粒子線を照射した状態で、当該粒
子線を面走査する偏向系と、上記粒子線を試料に照射したときに放出される荷電粒子
を検出あるいは吸収された電流を検出してディスプレイ
上に輝度変調して粒子線像を表示する粒子線像表示手段
とを備えた観察装置において、上記試料の裏面の近傍に配置した光学顕微鏡用の対物レ
ンズと、上記試料の上面から光を照射、あるいは上記試料の裏面
から光を照射する光照射手段と、上記光学顕微鏡用の対物レンズによって結像した光学像
を表示する光学像表示手段とを備えたことを特徴とする
試料観察装置。
【請求項２】上記試料の上面から光を照射して透過した
透過光あるいは上記試料の裏面から光を照射して反射し
た反射光のうちの前者あるいは後者のいずれか一方の光
学像の信号を反転した後の光学像を表示することを特徴
とする請求項１記載の試料観察装置。
【請求項３】倍率表示指示が、所定倍率以下のときに上
記光学像を表示し、所定倍率以上のときに上記粒子線像
に切り替えて表示する手段を備えたことを特徴とする請
求項１あるいは請求項２記載の試料観察装置。
【請求項４】上記粒子線像と上記光学像とを１つの表示
装置に２分割して表示、あるいは２つの表示装置にそれ
ぞれ表示することを特徴とする請求項１あるいは請求項
２記載の試料観察装置。
【請求項５】上記光学像の焦点があった位置の情報をも
とに、上記粒子線用の対物レンズの電流あるいは電圧を
制御して焦点合わせする制御手段を備えたことを特徴と
する請求項１から請求項４のいずれかに記載の試料観察
装置。
【請求項６】上記試料を板状にした、あるいは試料を光
学的に透明な板状支持体の上に載置したことを特徴とす
る請求項１から請求項５のいずれかに記載の試料観察装
置。
【請求項７】上記試料を透過する波長の光を照射するこ
とを特徴とする請求項１から請求項６のいずれかに記載
の試料観察装置。