JP2000227117A - Hydrostatic bearing unit - Google Patents

Hydrostatic bearing unit

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JP2000227117A
JP2000227117A JP11029162A JP2916299A JP2000227117A JP 2000227117 A JP2000227117 A JP 2000227117A JP 11029162 A JP11029162 A JP 11029162A JP 2916299 A JP2916299 A JP 2916299A JP 2000227117 A JP2000227117 A JP 2000227117A
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JP
Japan
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bearing
hydrostatic bearing
lubricating fluid
ring seal
floating ring
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JP11029162A
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Japanese (ja)
Inventor
Ikuo Nakaguchi
郁雄 中口
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Ebara Corp
Original Assignee
Ebara Corp
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Publication date
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/06Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C33/00Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
    • F16C33/72Sealings
    • F16C33/74Sealings of sliding-contact bearings
    • F16C33/741Sealings of sliding-contact bearings by means of a fluid
    • F16C33/748Sealings of sliding-contact bearings by means of a fluid flowing to or from the sealing gap, e.g. vacuum seals with differential exhaust

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To sharply reduce a fluid flow in a hydrostatic bearing without reducing bearing performance. SOLUTION: In this hydrostatic bearing unit which floatingly supporting a rotator 11 by means of lubricating fluid to be fed out of a hydrostatic bearing 13 set up on the circumference of the rotator 11 via its clearance, the hydrostatic bearing 13 is equipped with a recess part 16 interconnected to a pressure chamber 14 supplying the lubricating fluid, a land part 17 supporting the rotator 11 by fluid pressure in the lubricating fluid set up as being adjacent to the recess part 16 via the bearing clearance, and a floating ring seal 18 set up on the downstream side of the land part 17, respectively.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は静圧軸受に係り、特
にポンプの回転軸等の回転体を潤滑流体の流体圧力によ
って浮上させて支持する静圧軸受装置の構造に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a hydrostatic bearing, and more particularly to a structure of a hydrostatic bearing device for supporting a rotating body such as a rotary shaft of a pump by floating by a fluid pressure of a lubricating fluid.

【0002】[0002]

【従来の技術】静圧軸受は、潤滑流体の流体圧力で回転
軸を支持する軸受で、回転軸が軸受から非接触となり、
軸受の摩耗を生ぜず、又潤滑油を必要としないので、メ
ンテナンスフリーの軸受としてポンプ等の回転軸の支持
に用いられている。又、ポンプ等の吐出側から吐出され
る水の一部を静圧軸受の潤滑流体として用いることによ
り、オイルセパレータ及びオイル供給装置等が不要とな
り、その構造をコンパクト化することができる。静圧軸
受で回転軸を支持した機械においては、軸振動の関係等
から構造上比較的広い軸受隙間を要求される場合があ
る。潤滑流体としてポンプの自液である水を用いる場合
には、水はオイルと比べて粘性が低いため、静圧軸受に
供給すべき潤滑流体の流量が大きくなる欠点があった。
2. Description of the Related Art A hydrostatic bearing is a bearing that supports a rotating shaft with the fluid pressure of a lubricating fluid.
Since it does not cause bearing wear and does not require lubricating oil, it is used as a maintenance-free bearing for supporting a rotating shaft of a pump or the like. Further, by using a part of the water discharged from the discharge side of the pump or the like as the lubricating fluid of the hydrostatic bearing, an oil separator, an oil supply device and the like become unnecessary, and the structure can be made compact. In a machine in which a rotating shaft is supported by a hydrostatic bearing, a relatively large bearing clearance may be required in terms of structure due to shaft vibration and the like. When water, which is the pump's own liquid, is used as the lubricating fluid, water has a lower viscosity than oil, and thus has a disadvantage in that the flow rate of the lubricating fluid to be supplied to the hydrostatic bearing increases.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述の事情
に鑑みてなされたもので、静圧軸受の性能を低減させる
ことなく、静圧軸受の潤滑流体の流量を大幅に低減する
ことができる静圧軸受装置を提供することを目的とす
る。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and it is possible to significantly reduce the flow rate of a lubricating fluid in a hydrostatic bearing without reducing the performance of the hydrostatic bearing. It is an object of the present invention to provide a hydrostatic bearing device which can be used.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】本発明の静圧軸受装置
は、回転体を、該回転体の外周に隙間を介して配置され
た静圧軸受から供給される潤滑流体によって浮上支持す
る静圧軸受装置において、該静圧軸受は潤滑流体を供給
する圧力室に連通したリセス部と、該リセス部に隣接し
て配置された潤滑流体の流体圧により前記回転体を軸受
隙間を介して支持するランド部と、該ランド部の下流側
に配置されたフローティングリングシールとを備えたこ
とを特徴とする。
According to the present invention, there is provided a hydrostatic bearing device for floatingly supporting a rotating body by a lubricating fluid supplied from a static pressure bearing disposed on the outer periphery of the rotating body via a gap. In the bearing device, the hydrostatic bearing supports the rotating body via a bearing gap by a recess portion communicating with a pressure chamber for supplying a lubricating fluid and a fluid pressure of a lubricating fluid disposed adjacent to the recess portion. A land portion and a floating ring seal disposed downstream of the land portion are provided.

【0005】上記本発明によれば、加圧された潤滑流体
は、ケーシングと軸受の間に設けられた圧力室より、絞
り部、リセス部、ランド部を通り、回転軸を支持しつつ
外部へと流れる。この時、ランド部の下流側にフローテ
ィングリングシールを配置することで、潤滑流体の流量
を軸受性能を維持しつつ低減することができる。これに
より、ポンプの効率化に寄与することができる。
[0005] According to the present invention, the pressurized lubricating fluid passes from the pressure chamber provided between the casing and the bearing to the outside through the throttle, the recess, and the land while supporting the rotary shaft. And flows. At this time, by disposing the floating ring seal downstream of the land, the flow rate of the lubricating fluid can be reduced while maintaining the bearing performance. This can contribute to the efficiency of the pump.

【0006】又、前記フローティングリングシールは、
前記軸受隙間と同等以上の隙間を有し、該フローティン
グリングシールを前記リセス部の両側に配置したランド
部の更に両側に配置することが好ましい。これにより、
フローティングリングシールは、軸受隙間と同等以上の
隙間を有するので、軸受の性能を低減させることなく、
その流量を低減することができる。仮に、フローティン
グリングシールの隙間が、軸受隙間よりも小であると、
流量の低減効果は大きいが、軸受剛性等の性能を著しく
損ねることになる。又、フローティングリングシール
を、リセス部の両側に配置したランド部の更に両側に配
置することにより、潤滑流体が圧力室から均等に二等分
され、両側のランド部で静圧軸受の負荷能力をバランス
よく取ることができる。また、潤滑流体の流量をその軸
受の両側において低減することができる。
The floating ring seal is
It is preferable that the floating ring seal has a gap equal to or larger than the bearing gap, and that the floating ring seal is further arranged on both sides of the land arranged on both sides of the recess. This allows
Since the floating ring seal has a gap equal to or greater than the bearing gap, without reducing the performance of the bearing,
The flow rate can be reduced. If the gap of the floating ring seal is smaller than the bearing gap,
Although the effect of reducing the flow rate is large, performance such as bearing rigidity is significantly impaired. In addition, by arranging the floating ring seal on both sides of the lands arranged on both sides of the recess, the lubricating fluid is equally divided from the pressure chamber, and the load capacity of the hydrostatic bearing is reduced by the lands on both sides. You can get a good balance. Also, the flow rate of the lubricating fluid can be reduced on both sides of the bearing.

【0007】又、前記静圧軸受は、ポンプの回転軸の支
持に用いられ、潤滑流体としてポンプの吐出液の一部を
用いたものであることが好ましい。これにより、自液潤
滑型のポンプの効率を向上させることができる。
Further, it is preferable that the static pressure bearing is used for supporting a rotating shaft of the pump, and uses a part of the discharge liquid of the pump as a lubricating fluid. Thereby, the efficiency of the self-liquid lubrication type pump can be improved.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て添付図面を参照しながら説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.

【0009】図1は、本発明の実施の形態の静圧軸受装
置の要部を示す図である。ケーシング12には、軸受部
材13が配置され、回転軸11を潤滑流体の流体圧力に
より支持する。ケーシング12と軸受部材13との間に
設けられた圧力室14より、加圧された潤滑流体が絞り
部15及びリセス部16を通りランド部17と回転軸1
1との間の隙間に供給される。この実施の形態において
は、ランド部17,17はリセス部16の両側に配置さ
れ、圧力室14より供給される加圧された流体は、略二
分して両側に流れ、その隙間において潤滑流体の流体圧
力により回転軸11を略中心位置に浮上支持する。尚、
圧力室14は、図示しないポンプの吐出側に連通し、ポ
ンプで加圧された自液が圧力室14に供給される。そし
て、この図では上下方向に軸受部材13,13が示され
ているが、紙面に垂直な方向にも同様な軸受部材が配置
され、この図示は省略されているが、回転軸11のまわ
りに合計6個の軸受部材が配置されている。尚、6個に
限らず、4個又は8個としてもよい。
FIG. 1 is a diagram showing a main part of a hydrostatic bearing device according to an embodiment of the present invention. A bearing member 13 is disposed in the casing 12, and supports the rotating shaft 11 by a fluid pressure of a lubricating fluid. From the pressure chamber 14 provided between the casing 12 and the bearing member 13, the pressurized lubricating fluid passes through the throttle part 15 and the recess part 16 and the land part 17 and the rotary shaft 1.
1 is supplied to the gap between them. In this embodiment, the lands 17 and 17 are arranged on both sides of the recess 16, and the pressurized fluid supplied from the pressure chamber 14 flows into both sides approximately in two parts, and the lubricating fluid The rotating shaft 11 is levitated and supported at a substantially central position by the fluid pressure. still,
The pressure chamber 14 communicates with the discharge side of a pump (not shown), and the self-liquid pressurized by the pump is supplied to the pressure chamber 14. Although the bearing members 13 and 13 are shown in the vertical direction in this figure, similar bearing members are also arranged in a direction perpendicular to the paper surface, and although not shown, the bearing members 13 and 13 are arranged around the rotation shaft 11. A total of six bearing members are arranged. The number is not limited to six, but may be four or eight.

【0010】この静圧軸受装置においては、軸受部材1
3の両側にフローティングリングシール18を備えてい
る。フローティングリングシール18は、例えばカーボ
ンからなる軽量の遊動環であり、軸受部材13とその外
側端部の板状体19との間で軸方向及び半径方向に自由
に移動可能である。この時、軸受構造により、回転軸1
1とランド部17との間隔である軸受隙間Cが広く、潤
滑流体が水等の低粘性流体であるときには上述したよう
に潤滑流体の流量が大きくなるという問題があった。通
常では、ランド部17の軸方向長さを長くすることによ
り、又はリセス部16の軸方向長さを小さくすることに
より、潤滑流体の流量の低減を図ることができる。しか
しながら、その場合には軸振動等が発生した場合には回
転軸11がランド部17に接触する可能性があり好まし
くない。そこでこの実施の形態では、上述のフローティ
ングリングシール18をランド部17の両外側に遊嵌し
ている。
In this hydrostatic bearing device, the bearing member 1
3 are provided with floating ring seals 18 on both sides. The floating ring seal 18 is a lightweight floating ring made of, for example, carbon, and is freely movable in the axial direction and the radial direction between the bearing member 13 and the plate-shaped body 19 at the outer end thereof. At this time, the rotating shaft 1
When the lubricating fluid is a low-viscosity fluid such as water, the flow rate of the lubricating fluid is increased as described above when the bearing gap C, which is the distance between the lubricating fluid 1 and the land 17, is large. Normally, the flow rate of the lubricating fluid can be reduced by increasing the axial length of the land portion 17 or reducing the axial length of the recess portion 16. However, in this case, when shaft vibration or the like occurs, the rotating shaft 11 may come into contact with the land portion 17, which is not preferable. Therefore, in this embodiment, the floating ring seal 18 described above is loosely fitted on both outer sides of the land portion 17.

【0011】このフローティングリングシール18は、
ランド部間と回転軸11との間の隙間Cと同等或いはそ
れ以上の隙間Crを有することで、外部へ流れる潤滑流体
に対して、堰き止める作用を有し、これにより潤滑流体
の流量を低減することができる。そして、フローティン
グリングシールの隙間Crがランド部17の隙間Cに対し
て同等か又はそれ以上に大きいため、回転軸11の位置
が偏った場合に、狭い隙間側では大きな反力が作用し、
広い隙間側では小さな反力が作用し、回転軸11を略中
心位置に戻す流体静圧が作用する。従って、この流体静
圧により軸受の剛性等の性能を余り低減させない。そし
て一般にフローティングリングシールは、軽量であり軸
振動に対して追従性が良好であるため、回転軸11又は
軸受部材13に接触する可能性が低く、又、耐摩耗性が
高いため損傷する可能性が低い。
This floating ring seal 18
By having a gap Cr equal to or greater than the gap C between the lands and the rotating shaft 11, it has an effect of blocking the lubricating fluid flowing to the outside, thereby reducing the flow rate of the lubricating fluid. can do. And since the gap Cr of the floating ring seal is equal to or larger than the gap C of the land portion 17, when the position of the rotating shaft 11 is deviated, a large reaction force acts on the narrow gap side,
A small reaction force acts on the wide gap side, and a fluid static pressure acts to return the rotating shaft 11 to a substantially center position. Therefore, performance such as rigidity of the bearing is not significantly reduced by the hydrostatic pressure. In general, a floating ring seal is lightweight and has good follow-up properties with respect to shaft vibration, so that it is less likely to come into contact with the rotating shaft 11 or the bearing member 13 and may be damaged due to its high wear resistance. Is low.

【0012】図2は、フローティングリングシールがあ
る場合とない場合との負荷能力を示す図である。この横
軸は偏芯率であり、0が回転軸が軸受中心に位置する場
合であり、1が偏芯して回転軸がランド部に接触してい
る状態を示す。又、縦軸は負荷能力(Newton)である。
そして、実線はフローティングリングシールなしの場合
を示し、一点鎖線がフローティングリングシールあり
で、フローティングリングシール内周面と回転軸との隙
間(Cr=150μm)の場合である。又、二点鎖線がシ
ールありで、シール内周面と回転軸との隙間(Cr=10
0μm)の場合である。ここで、静圧軸受の寸法は、回
転軸径Dが100mmφ、長さLが100mmであり、軸受
隙間Cが100μmであり、ポケット数Nrが6であり、
その長さLrが80mmであり、オリフィス径Drが3.0mm
である。そして、フローティングリングシールは、軸方
向長さLfが10mmであり、上述したように回転軸との隙
間Crは100μmと、150μmとの二通りで実験してあ
る。
FIG. 2 is a diagram showing the load capacity with and without the floating ring seal. The abscissa indicates the eccentricity, where 0 indicates the case where the rotating shaft is located at the center of the bearing, and 1 indicates the state where the eccentricity and the rotating shaft are in contact with the land. The vertical axis is the load capacity (Newton).
The solid line shows the case without the floating ring seal, and the dashed line shows the case with the floating ring seal and the gap (Cr = 150 μm) between the inner peripheral surface of the floating ring seal and the rotating shaft. In addition, the two-dot chain line indicates that there is a seal, and the gap between the inner peripheral surface of the seal and the rotating shaft (Cr = 10
0 μm). Here, the dimensions of the hydrostatic bearing are as follows: the rotating shaft diameter D is 100 mmφ, the length L is 100 mm, the bearing gap C is 100 μm, the number of pockets Nr is 6,
The length Lr is 80 mm and the orifice diameter Dr is 3.0 mm
It is. The floating ring seal has an axial length Lf of 10 mm, and as described above, experiments have been conducted with two types of gaps Cr between the rotating shaft: 100 μm and 150 μm.

【0013】図3は、フローティングリングシールがあ
る場合とない場合との流量を示す図である。この横軸は
偏芯率であり、0が回転軸が軸受中心に位置する場合で
あり、1が偏芯して回転軸がランド部に接触している状
態を示す。又、縦軸は流量(L/min)である。そして、
実線はフローティングリングシールなしの場合を示し、
一点鎖線がフローティングリングシールありで、フロー
ティングリングシール内周面と回転軸との隙間(Cr=1
50μm)の場合である。又、二点鎖線がフローティン
グリングシールありで、フローティングリングシール内
周面と回転軸との隙間(Cr=100μm)の場合であ
る。
FIG. 3 is a diagram showing the flow rate with and without the floating ring seal. The abscissa indicates the eccentricity, where 0 indicates the case where the rotating shaft is located at the center of the bearing, and 1 indicates the state where the eccentricity and the rotating shaft are in contact with the land. The vertical axis is the flow rate (L / min). And
The solid line shows the case without the floating ring seal,
The dashed line indicates the floating ring seal, and the gap between the inner peripheral surface of the floating ring seal and the rotating shaft (Cr = 1)
50 μm). The two-dot chain line indicates the case where the floating ring seal is provided and the gap (Cr = 100 μm) between the inner peripheral surface of the floating ring seal and the rotating shaft.

【0014】これらの図から判るように、フローティン
グリングシールを設けることにより、その隙間が150
μmである場合には、負荷能力が少し低下すると共に、
その流量も少し低下する。これに対してフローティング
リングシールをその隙間が100μmとした場合には、
負荷能力が大幅に低下するが、その流量も大幅に低減す
ることができる。これによりフローティングリングシー
ルの径をランド部の隙間Cと同等又はそれ以上の隙間Cr
となるように調整することで、負荷能力及び流量の大幅
な調整が可能となり、静圧軸受装置を装着する機器の特
性に合わせて適宜選択することが可能となる。
As can be seen from these figures, by providing a floating ring seal, the gap can be reduced by 150.
In the case of μm, the load capacity decreases slightly and
Its flow rate also drops slightly. On the other hand, when the floating ring seal has a gap of 100 μm,
Although the load capacity is greatly reduced, the flow rate can be significantly reduced. This allows the diameter of the floating ring seal to be equal to or greater than the land gap C.
By adjusting so that the load capacity and the flow rate can be largely adjusted, it is possible to appropriately select the load capacity and the flow rate in accordance with the characteristics of the device to which the hydrostatic bearing device is mounted.

【0015】[0015]

【発明の効果】以上に説明したように、本発明によれば
静圧軸受にその回転軸を支持するランド部の下流側にフ
ローティングリングシールを備えることで、軸受として
の性能を低下させることなく、潤滑流体の流量を大幅に
低減することが可能となる。これにより、ポンプ等の回
転機械に静圧軸受を採用した場合に、その構造を大幅に
簡素化できると共に、潤滑流体として自液を用いること
が可能となり、又その効率を向上させることができる。
As described above, according to the present invention, the hydrostatic bearing is provided with the floating ring seal on the downstream side of the land for supporting the rotating shaft thereof, without deteriorating the performance as the bearing. Thus, the flow rate of the lubricating fluid can be significantly reduced. Thus, when a hydrostatic bearing is used for a rotary machine such as a pump, the structure can be greatly simplified, and the self-liquid can be used as a lubricating fluid, and the efficiency can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施の形態の静圧軸受装置の要部を示
す縦断面図である。
FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing a main part of a hydrostatic bearing device according to an embodiment of the present invention.

【図2】フローティングリングシールによる負荷能力の
変化を示す図である。
FIG. 2 is a diagram showing a change in load capacity due to a floating ring seal.

【図3】フローティングリングシールによる潤滑流体の
流量の変化を示す図である。
FIG. 3 is a diagram showing a change in a flow rate of a lubricating fluid by a floating ring seal.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 回転軸 12 ケーシング 13 軸受部材 14 圧力室 15 絞り部 16 リセス部(ポケット部) 17 ランド部 18 フローティングリングシール 19 板状体 DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Rotation shaft 12 Casing 13 Bearing member 14 Pressure chamber 15 Restricted part 16 Recess part (pocket part) 17 Land part 18 Floating ring seal 19 Plate-shaped body

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 回転体を、該回転体の外周に隙間を介し
て配置された静圧軸受から供給される潤滑流体によって
浮上支持する静圧軸受装置において、該静圧軸受は潤滑
流体を供給する圧力室に連通したリセス部と、該リセス
部に隣接して配置された潤滑流体の流体圧により前記回
転体を軸受隙間を介して支持するランド部と、該ランド
部の下流側に配置されたフローティングリングシールと
を備えたことを特徴とする静圧軸受装置。
1. A hydrostatic bearing device for floatingly supporting a rotating body by a lubricating fluid supplied from a hydrostatic bearing disposed on the outer periphery of the rotating body via a gap, wherein the hydrostatic bearing supplies a lubricating fluid. A recess communicating with the pressure chamber, a land supporting the rotating body through a bearing gap by a fluid pressure of a lubricating fluid disposed adjacent to the recess, and a land disposed downstream of the land. And a floating ring seal.
【請求項2】 前記フローティングリングシールは、前
記軸受隙間と同等以上の隙間を有し、該フローティング
リングシールを前記リセス部の両側に配置したランド部
の更に両側に配置したことを特徴とする請求項1に記載
の静圧軸受装置。
2. The floating ring seal has a gap equal to or greater than the bearing gap, and the floating ring seal is arranged on both sides of a land arranged on both sides of the recess. Item 2. The hydrostatic bearing device according to item 1.
【請求項3】 前記静圧軸受は、ポンプの回転軸の支持
に用いられ、潤滑流体としてポンプの吐出液の一部を用
いたものであることを特徴とする請求項1に記載の静圧
軸受装置。
3. The hydrostatic bearing according to claim 1, wherein the hydrostatic bearing is used to support a rotating shaft of the pump, and uses a part of the discharge liquid of the pump as a lubricating fluid. Bearing device.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7785082B2 (en) 2004-09-15 2010-08-31 Mitsubishi Heavy Industries, Ltd Sealless pump
KR101177525B1 (en) 2009-04-30 2012-08-30 주식회사 에스비비테크 Vaccum Fluid Sealing Structure with improved Anti-Leakage
CN110285219A (en) * 2019-06-28 2019-09-27 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 A kind of efficient double zero leakage float-ring sealing device

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