KR101177525B1

KR101177525B1 - Vaccum Fluid Sealing Structure with improved Anti-Leakage

Info

Publication number: KR101177525B1
Application number: KR1020090038108A
Authority: KR
Inventors: 이부락
Original assignee: 주식회사 에스비비테크
Priority date: 2009-04-30
Filing date: 2009-04-30
Publication date: 2012-08-30
Also published as: KR20100119148A

Abstract

본 발명은 유체저장공간을 형성하는 격벽에 씰링부재를 더 구비하고, 특히 유체저장공간 내부에 자성유체가 한쪽으로 급속하게 쏠리지 않도록 유동전환부재를 더 구성함으로써, 자성유체가 유동전환부재에 의해 흐름저항을 받게 되어 자성유체의 손실을 최소화하면서도 씰링 효과를 더욱 향상시킬 수 있는 누설방지기능이 강화된 진공 유체씰링 구조를 제공하는데 그 목적이 있는 것이다. The present invention further includes a sealing member on the partition wall forming the fluid storage space, and in particular, by further configuring the flow switching member so that the magnetic fluid does not rapidly move to one side inside the fluid storage space, the magnetic fluid flows by the flow switching member. It is an object of the present invention to provide a vacuum fluid sealing structure in which leakage resistance is enhanced, which can be further resisted and further improve the sealing effect while minimizing the loss of magnetic fluid.

이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따르는 누설방지기능이 강화된 진공 유체씰링 구조는, 하우징; 하우징의 내부에서 한쌍의 베어링으로 지지되는 회전축; 한쌍의 베어링 사이에 일정한 간격을 유지하도록 하우징에 설치되고, 그 사이에 충진된 자성유체가 누설되지 않도록 씰링부재가 구비된 한쌍의 격판; 한쌍의 격판 사이에 위치하도록 하우징에 장착되는 자성체; 및 회전축에 설치되어 자성유체의 유동방향을 바꿔주는 유동전환부재:가 구비된 것을 특징으로 한다.Leak-proof enhanced vacuum fluid sealing structure according to the present invention for achieving this object, the housing; A rotating shaft supported by a pair of bearings inside the housing; A pair of diaphragms installed in the housing to maintain a constant distance between the pair of bearings, the pair of diaphragms provided with a sealing member so that the magnetic fluid filled therebetween does not leak; A magnetic material mounted to the housing so as to be positioned between the pair of diaphragms; And a flow switching member installed on the rotating shaft to change the flow direction of the magnetic fluid.

자성유체, 진공 유체씰링, 세라믹링, 씰링부재, 유동전환부재 Magnetic fluid, vacuum fluid sealing, ceramic ring, sealing member, flow switching member

Description

Vacuum Fluid Sealing Structure with improved Anti-Leakage

본 발명은 누설방지기능이 강화된 진공 유체씰링 구조에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 자성유체가 충진되는 유체저장공간 내부에 위치하도록 회전축에 유동전환부재를 설치하여, 자성유체가 급격하게 한쪽으로 쏠리는 것을 방지함으로써 누설방지기능이 강화된 진공 유체씰링 구조에 관한 것이다.The present invention relates to a vacuum fluid sealing structure with enhanced leakage prevention, and more particularly, by installing a flow switching member on a rotating shaft to be located inside the fluid storage space in which the magnetic fluid is filled, so that the magnetic fluid is suddenly pulled to one side. The present invention relates to a vacuum fluid sealing structure in which leakage prevention is enhanced.

일반적으로 노광장치, 반도체 플라즈마 에칭장치와 같은 반도체 제조분야라든가 임플란트, 슬기관절 및 척추 등의 인공뼈를 제조하는 의학용 제조분야 등에서는 제품의 품질 향상을 위해 클린환경(청정룸)이 요구된다.In general, in a semiconductor manufacturing field such as an exposure apparatus, a semiconductor plasma etching apparatus, or a medical manufacturing field for manufacturing artificial bones such as an implant, a knee joint, and a spine, a clean environment (clean room) is required to improve product quality.

특히, 이러한 클린환경에서는 작업 공간 내부에서의 진공 상태 유지 뿐만 아니라 외부에서 공급되는 작동력을 전달할 수 있는 작동수단을 필요로 하게 된다. 이러한 작동수단으로서 최근 각광을 받고 있는 것 중의 하나가 자성유체를 이용한 진공씰 베어링 구조이다.In particular, such a clean environment requires an operating means capable of transmitting the operating force supplied from the outside as well as maintaining the vacuum in the working space. One of the things that has recently been in the spotlight as such an operation means is a vacuum seal bearing structure using magnetic fluid.

종래의 진공씰 베어링 구조는 자성체의 자력에 의해 형성되는 자기력선을 따라 회전축과 하우징 사이에 자성유체에 의해 일종의 유막이 형성되는 현상(스파이 크 현상)을 이용한 것이다.The conventional vacuum seal bearing structure utilizes a phenomenon in which a kind of oil film is formed between the rotating shaft and the housing by the magnetic fluid along the magnetic force line formed by the magnetic force of the magnetic body (spike phenomenon).

이러한 진공씰 베어링구조는, 도 1에서와 같이, 하우징(100)과 그 내부에 한쌍의 베어링(110)으로 지지되는 회전축(200)을 포함하여 이루어진다. 특히, 이 한쌍의 베어링(110) 사이에는 자성유체(MF)를 충진할 수 있도록 유체저장공간(310)이 형성되게 된다.This vacuum seal bearing structure, as shown in Figure 1, comprises a housing 100 and a rotating shaft 200 supported by a pair of bearings 110 therein. In particular, the fluid storage space 310 is formed between the pair of bearings 110 to fill the magnetic fluid (MF).

유체저장공간(310)은 한쌍의 베어링(110) 사이에 위치하도록 한쌍의 격판(300)을 하우징(100)에 장착함에 따라 구성되게 된다. 특히, 각 격판(300)은 하우징(100)에 기밀유지가 가능하도록 씰링처리된다. 또한, 한쌍의 격판(300) 사이에는 일정한 간격 유지와 자성체(400)를 지지하기 위하여 지지부재(410)가 구비된다. 도 1에서는, 2개의 자성체(400)가 구비된 예를 보여주고 있다.The fluid storage space 310 is configured by mounting a pair of diaphragms 300 to the housing 100 so as to be located between the pair of bearings 110. In particular, each of the diaphragm 300 is sealed to enable the airtightness in the housing 100. In addition, a support member 410 is provided between the pair of diaphragms 300 to maintain a constant gap and to support the magnetic body 400. In FIG. 1, an example in which two magnetic bodies 400 are provided is shown.

이와 같이 이루어진 진공씰 베어링구조는, 자성체(400)에 의하여 발생된 자기력에 의해 자성유체(MF)가 일종의 차단막(유막)을 형성하게 되고, 회전축이 회전함에 따라 자성체(400)가 회전축(200)의 표면 전체를 감싸주어 대기상태인 외부에서 진공 부분으로 유입되는 먼지와 같은 오염물질을 차단하게 된다.In the vacuum seal bearing structure formed as described above, the magnetic fluid MF forms a kind of blocking film (oil film) by the magnetic force generated by the magnetic body 400, and the magnetic body 400 rotates as the rotary shaft rotates. It covers the entire surface of the surface to block contaminants such as dust from entering the vacuum part from the outside.

그러나, 종래의 진공씰 베어링구조는 다음과 같은 문제가 발생하게 된다.However, the conventional vacuum seal bearing structure causes the following problems.

1) 유체저장공간을 중심으로 좌우측에 각각 진공과 대기압의 생성으로 인하여 자성유체가 청정실 쪽으로 쏠리는 현상이 발생한다. 이는 유막의 기능을 상실하는 요인으로 작용하게 된다.1) Magnetic fluid is concentrated toward the clean room due to the generation of vacuum and atmospheric pressure on the left and right sides of the fluid storage space, respectively. This acts as a factor of losing the function of the oil film.

2) 한쪽으로 쏠린 자성유체는 회전축의 표면을 통해 진공압을 생성하는 쪽으로 유입될 우려가 있다. 이에 자성유체의 충진을 자주 해주어야 하는 번거로움이 있다.2) Magnetic fluid that is concentrated on one side may flow into the vacuum generating side through the surface of the rotating shaft. This is a hassle that has to frequently fill the magnetic fluid.

3) 자성유체의 쏠림 현상으로 인한 자성유체의 손실 및 이에 따른 충진 등을 지속적으로 확인하고 보충해 주어야 하기 때문에 유지관리가 어렵게 된다.3) It is difficult to maintain and compensate for the loss and filling of magnetic fluid due to magnetic fluid deflection.

본 발명은 이러한 문제점을 감안하여 안출한 것으로, 유체저장공간을 형성하는 격벽에 씰링부재를 더 구비하고, 특히 유체저장공간 내부에 자성유체가 한쪽으로 급속하게 쏠리지 않도록 유동전환부재를 더 구성함으로써, 자성유체가 유동전환부재에 의해 흐름저항을 받게 되어 자성유체의 손실을 최소화하면서도 씰링 효과를 더욱 향상시킬 수 있는 누설방지기능이 강화된 진공 유체씰링 구조를 제공하는데 그 목적이 있는 것이다. The present invention has been made in view of the above problems, further comprising a sealing member in the partition forming the fluid storage space, in particular by further configuring the flow switching member so that the magnetic fluid does not quickly be directed to one side inside the fluid storage space, It is an object of the present invention to provide a vacuum fluid sealing structure in which a magnetic fluid is subjected to a flow resistance by a flow switching member to minimize leakage of magnetic fluid and further improve a sealing effect.

이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따르는 누설방지기능이 강화된 진공 유체씰링 구조는,
하우징(100);
상기 하우징(100)의 내부에서 한쌍의 베어링(110)으로 지지되는 회전축(200);
상기 한쌍의 베어링(110) 사이에 일정한 간격을 유지하도록 상기 하우징(100)에 설치되고, 그 사이에 충진된 자성유체(MF)가 누설되지 않도록 씰링부재(310)가 구비된 한쌍의 격판(300);
상기 한쌍의 격판(300) 사이에 위치하도록 상기 하우징(100)에 장착되는 자성체(400); 및
상기 회전축(200)에 설치되어 상기 자성유체(MF)의 유동방향을 바꿔주는 유동전환부재(500);가 구비된 것을 특징으로 하는 누설방지기능이 강화된 진공 유체씰링 구조에 있어서,Leak-proof enhanced vacuum fluid sealing structure according to the present invention for achieving this object,
A housing 100;
A rotating shaft 200 supported by the pair of bearings 110 in the housing 100;
A pair of diaphragms 300 installed in the housing 100 to maintain a constant distance between the pair of bearings 110 and provided with a sealing member 310 to prevent leakage of the magnetic fluid MF filled therebetween. );
A magnetic material 400 mounted to the housing 100 to be positioned between the pair of diaphragms 300; And
In the rotary shaft 200, the flow switching member 500 for changing the flow direction of the magnetic fluid (MF); In the vacuum fluid sealing structure, characterized in that the reinforced leakage prevention function is provided,

상기 유동전환부재(500)는 상기 자성체(400)의 사이에 각각 등간격으로 복수개가 설치되되, 상기 유동전환부재(500)는 상기 자성체(400)의 단부로부터 상기 회전축(200)의 표면까지의 거리(L)보다 폭이 넓게 형성되며, 상기 유동전환부재(500)는 세라믹이면서 링 형으로 형성된 것을 특징으로 한다.The plurality of flow switching member 500 is installed between the magnetic body 400 at equal intervals, respectively, the flow switching member 500 from the end of the magnetic body 400 to the surface of the rotating shaft 200 It is formed wider than the distance (L), the flow switching member 500 is characterized in that the ceramic and formed in a ring shape.

삭제delete

본 발명에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.The present invention has the following effects.

1) 한쪽으로 쏠리는 자성유체가 유동변환부재에 의해 유동저항을 받게 되어, 자성유체가 급속하게 쏠리는 현상을 방지하게 된다. 이는 자성유체가 클린룸 등으로 스며드는 것을 막아주게 된다.1) The magnetic fluid that is pulled to one side is subject to flow resistance by the flow converting member, thereby preventing the magnetic fluid from being rapidly drawn. This prevents magnetic fluid from seeping into the clean room.

2) 유체저장공간을 형성하는 격벽에 씰링부재를 더 구성함으로써, 이러한 자성유체의 누설 방지를 한층 더 강화할 수 있게 된다.2) By further forming a sealing member in the partition wall forming the fluid storage space, it is possible to further strengthen the leakage prevention of such magnetic fluid.

3) 자성유체의 누설 방지로 클린룸의 오염을 최소화할 수 있기 때문에 생산제품에 대한 상품성을 향상시킬 수 있게 된다.3) By preventing the leakage of magnetic fluid, it is possible to minimize the contamination of the clean room, thereby improving the merchandise for the product.

4) 자성유체의 누설로 인한 소모량을 줄일 수 있기 때문에 유지관리를 용이하게 할 수 있게 된다.4) It is possible to reduce the amount of consumption due to leakage of magnetic fluid, which can facilitate maintenance.

이하, 도면을 참조하여 본 발명에 대하여 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명에 따르는 진공 유체씰링 구조를 설명하기 위하여 개략적으로 도시한 단면도이다. 여기서, 종래의 구성과 동일한 구성에 대해서는 동일 부호를 부여하고, 여기서는 그 상세한 설명을 생략하기로 한다.2 is a cross-sectional view schematically showing a vacuum fluid sealing structure according to the present invention. The same reference numerals are given to the same configurations as the conventional configurations, and detailed description thereof will be omitted here.

본 발명은 하우징(100)과, 한쌍의 베어링(110)으로 지지되는 회전축(200)과, 한쌍의 베어링(110) 사이에 장착되어 자성유체(MF)가 충진될 수 있도록 유체저장공간(320)을 형성시켜 주는 한쌍의 격판(300)과, 이 유체저장공간(320)에 위치하도록 하우징(100)에 설치되는 자성체(400)와, 자성유체(MF)의 유동방향을 바꿔주는 유동전환부재(500)를 포함하여 이루어진다.According to the present invention, the fluid storage space 320 is mounted between the housing 100, the rotating shaft 200 supported by the pair of bearings 110, and the pair of bearings 110 to fill the magnetic fluid MF. A pair of diaphragm 300 to form a, a magnetic body 400 installed in the housing 100 to be located in the fluid storage space 320, and a flow switching member for changing the flow direction of the magnetic fluid (MF) ( 500).

특히, 본 발명에 따르는 각 베어링(110)은 그리스와 같은 윤활작용을 위한 윤활제를 공급하지 않아도 되는 무급유베어링을 이용함으로써, 진공 유체씰링 구조의 분해라든가 윤활유 공급을 하지 않고서도 장시간 사용할 수 있게 한다. 또한, 이러한 무급유베어링은 윤활작용을 위하여 공급된 윤활유가 클린룸으로 스며드는 것을 방지할 수 있게 된다.In particular, each bearing 110 according to the present invention uses oil-free bearings that do not need to supply a lubricant for lubrication, such as grease, so that they can be used for a long time without disassembling the vacuum fluid sealing structure or supplying lubricant. In addition, such oil-free bearings can prevent the lubricant supplied for lubrication from seeping into the clean room.

본 발명의 바람직한 실시예에서, 이러한 무급유베어링으로서는 탄성율이 높고 내열과 내마모성이 우수하고 전열성을 가진 것으로 잘 알려진 세라믹 베어링을 이용하는 것이 바람직하다.In a preferred embodiment of the present invention, it is preferable to use a ceramic bearing which is known to have high elastic modulus, excellent heat resistance and abrasion resistance, and heat transfer property.

그리고, 본 발명에 따르는 한쌍의 격판(300)은 각각 자성유체(MF)가 유체저장공간(320)으로부터, 특히 진공상태인 클린룸 쪽으로 유출되지 않도록 씰링부재(310)가 더 구비되어 있다.In addition, the pair of diaphragms 300 according to the present invention are further provided with a sealing member 310 such that the magnetic fluid MF does not flow out from the fluid storage space 320, particularly toward the clean room in a vacuum state.

이러한 씰링부재(310)는 자성유체(MF)의 누설을 방지할 수 있는 것이라면 어떠한 것이라도 이용할 수 있다. 본 발명의 바람직한 실시예에서, 씰링부재(310)로는 내열성과 내마모성이 우수하고, 특히 자성체(400)에 의해 자화되지 않는 재질인 세라믹을 이용한 세라믹링을 채용하는 것이 바람직하다.The sealing member 310 may be used as long as it can prevent the leakage of the magnetic fluid (MF). In a preferred embodiment of the present invention, as the sealing member 310, it is preferable to employ a ceramic ring using a ceramic that is excellent in heat resistance and abrasion resistance, and in particular is not magnetized by the magnetic body 400.

이와 같이 이루어진 씰링부재(310)는 회전축(200)과 격판(300) 사이의 기밀유지 효과를 높여주게 된다.Sealing member 310 made in this way is to enhance the airtight effect between the rotating shaft 200 and the diaphragm 300.

자성체(400)는 통상적으로 진공유체씰링 구조에 많이 이용되는 영구자석을 이용하게 된다. 특히, 자성체(400)는 진공유체씰링의 규모, 즉 사용목적에 따라 적절한 씰링효과를 얻기 위하여 복수개를 구비하여 사용할 수 있다. 이때, 복수개의 자성체(400)를 적용하는 경우, 각 자성체(400)는 등간격으로 설치하여 자성유체(MF)에 안정적으로 자력을 공급할 수 있게 하는 것이 바람직하다. 도 2에서, 자 성체(400)는 2개가 장착된 예를 보여주고 있다.Magnetic material 400 is to use a permanent magnet commonly used in vacuum fluid sealing structure. In particular, the magnetic material 400 may be provided with a plurality of in order to obtain a suitable sealing effect depending on the scale of the vacuum fluid sealing, that is, the purpose of use. In this case, when the plurality of magnetic bodies 400 are applied, the magnetic bodies 400 may be installed at equal intervals to stably supply magnetic force to the magnetic fluid MF. In FIG. 2, two magnetic bodies 400 are shown.

특히, 자성체(400)는 복수개를 설치하는 경우, 인접한 2개의 자성체(400)가 일정한 간격을 두고 이격되도록 설치함으로써, 후술하게 될 유동전환부재(500)에 의해 자성유체(MF)의 쏠림 방지 효과를 더욱 향상시킬 수 있게 하는 것이 바람직하다. 이러한 쏠림 방지 효과에 대해서는 유동전환부재(500)의 설명시 함께 설명하기로 한다.In particular, when the magnetic body 400 is installed in a plurality, two adjacent magnetic bodies 400 are installed to be spaced apart at regular intervals, thereby preventing the magnetic fluid MF from being tilted by the flow switching member 500 which will be described later. It is desirable to be able to further improve. This anti-tip effect will be described together with the description of the flow switching member 500.

유동전환부재(500)는 한쌍의 격판(300) 사이에 위치하도록 회전축(200)에 설치하게 된다. 이러한 유동전환부재(500)는 자성유체(MF)가 이 유동전환부재(500)를 타고 넘어가도록 함으로써, 자성유체(MF)가 한쪽으로 쏠리는 것을 지연시켜 주고, 특히 자성유체(MF)가 유동전환부재(500)를 중심으로 좌우로 분산시켜 주는 역할을 해 주게 된다.Flow switching member 500 is installed on the rotary shaft 200 to be located between the pair of diaphragm (300). The flow diverting member 500 causes the magnetic fluid MF to pass over the flow diverting member 500, thereby delaying the magnetic fluid MF from being pulled to one side, and in particular, the magnetic fluid MF flow diverting. It serves to distribute the left and right around the member 500.

특히, 유동전환부재(500)는 자성체(400)가 복수개일 경우, 회전축(200)과의 간격보다 넓은 폭으로 제작하여 사용하는 것이 바람직하다. 즉, 도 2에서와 같이, 유동전환부재(500)는 회전축(200)의 외표면과 자성체(400)의 단부까지의 거리(L)보다 넓은 높은 폭(W)으로 제작함으로써, 자성유체(MF)가 자성체(400)와 유동전환부재(500) 사이를 "S"자 형태로 굴곡지게 유동하게 하여 급격한 유동을 방지하게 되는 것이다.In particular, when the flow switching member 500 is a plurality of magnetic bodies 400, it is preferable to produce a wider than the interval with the rotating shaft 200 to use. That is, as shown in Figure 2, the flow switching member 500 is produced by the magnetic fluid (MF) by making a wide width (W) wider than the distance (L) between the outer surface of the rotary shaft 200 and the end of the magnetic material 400 ) Will be bent between the magnetic material 400 and the flow switching member 500 in the form of "S" to prevent rapid flow.

이러한 자성체(400)와 유동전환부재(500)의 구성은 자성체(400)의 갯수가 많을 수록 유리하게 된다. 즉, 유동전환부재(500)는 인접한 2개의 자성체(400) 사이 에 각각 하나씩 등간격으로 구성함으로써, 유동방향이 연속적으로 바뀌기 때문에 급속한 자성유체(MF)의 쏠림을 방지할 수 있게 되는 것이다.The configuration of the magnetic body 400 and the flow switching member 500 is advantageous as the number of the magnetic body 400 is larger. That is, since the flow switching member 500 is configured at equal intervals, respectively, between two adjacent magnetic bodies 400, the flow direction is continuously changed, thereby preventing the rapid magnetic fluid MF from being pulled out.

한편, 이러한 유동전환부재(500)는 상술한 씰링부재(310)와 동일한 세라믹링을 이용하여 제작할 수 있다.On the other hand, the flow switching member 500 may be manufactured using the same ceramic ring as the sealing member 310 described above.

이와 같이 이루어진 본 발명은 유체저장공간(320)에 위치하도록 회전축(200)에 설치된 유동전환부재(500)에 의해 자성유체(MF)의 유동 흐름이 급격하게 이루어지지 않도록 제한하는 것이 가능할 뿐만 아니라, 각 격판에 구비된 씰링부재(310)를 통해 진공유체씰링의 씰링효과를 더욱 향상시킬 수 있게 되는 것이다.The present invention made as described above is not only limited to the rapid flow of the magnetic fluid (MF) by the flow switching member 500 installed on the rotating shaft 200 to be located in the fluid storage space 320, Through the sealing member 310 provided in each diaphragm will be able to further improve the sealing effect of the vacuum fluid sealing.

특히, 본 발명은 복수의 자성체(400)가 등간격으로 설치되는 경우, 인접한 2개의 자성체(400) 사이에 씰링부재(310)를 각각 구비함으로써, 상술한 씰링효과를 더욱 향상시킬 수 있게 되는 것이다.Particularly, in the present invention, when the plurality of magnetic bodies 400 are installed at equal intervals, the sealing members 310 may be provided between two adjacent magnetic bodies 400 to further improve the above-described sealing effect. .

본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the appended claims. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the technical idea of the appended claims.

도 1은 종래의 진공실 베어링 구조를 설명하기 위한 단면도.1 is a cross-sectional view illustrating a conventional vacuum chamber bearing structure.

도 2는 본 발명에 따르는 진공 유체씰링 구조를 설명하기 위하여 개략적으로 도시한 단면도.Figure 2 is a schematic cross-sectional view for explaining the vacuum fluid sealing structure according to the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 간단한 설명>BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG.

100 : 하우징100: housing

110 : 베어링110: Bearing

200 : 회전축200: rotation axis

300 : 격판300: diaphragm

310 : 씰링부재310: sealing member

320 : 유체저장공간320: fluid storage space

400 : 자성체400: magnetic material

410 : 지지부재410: support member

500 : 유동전환부재500: flow switching member

MF : 자성유체MF: magnetic fluid

L : 거리L: distance

W : 폭W: width

Claims

A housing 100;

A rotating shaft 200 supported by the pair of bearings 110 in the housing 100;

A pair of diaphragms 300 installed in the housing 100 to maintain a constant distance between the pair of bearings 110 and provided with a sealing member 310 to prevent leakage of the magnetic fluid MF filled therebetween. );

A magnetic material 400 mounted to the housing 100 to be positioned between the pair of diaphragms 300; And

In the rotary shaft 200, the flow switching member 500 for changing the flow direction of the magnetic fluid (MF); In the vacuum fluid sealing structure, characterized in that the reinforced leakage prevention function is provided,

The plurality of flow switching member 500 is installed between the magnetic body 400 at equal intervals, respectively, the flow switching member 500 from the end of the magnetic body 400 to the surface of the rotating shaft 200 It is formed to be wider than the distance (L), the flow switching member 500 is a vacuum fluid sealing structure with a reinforced leak prevention function, characterized in that formed in a ring shape while being ceramic.

delete