JP2000226699A - Method and device for surface treatment of metallic parts - Google Patents

Method and device for surface treatment of metallic parts

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JP2000226699A
JP2000226699A JP11028965A JP2896599A JP2000226699A JP 2000226699 A JP2000226699 A JP 2000226699A JP 11028965 A JP11028965 A JP 11028965A JP 2896599 A JP2896599 A JP 2896599A JP 2000226699 A JP2000226699 A JP 2000226699A
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treatment
water
tank
chemical conversion
washing
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JP11028965A
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Japanese (ja)
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Kunihisa Koo
邦寿 小尾
Naoyasu Hanamura
尚容 花村
Ikuo Kawakami
育雄 河上
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Olympus Corp
Original Assignee
Olympus Optical Co Ltd
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  • Chemical Treatment Of Metals (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a structure capable of suppressing the degradation of a treatment solution even when the installation space for a surface treatment device is small. SOLUTION: Metallic parts are surface-treated using a surface treatment device in which tanks 12 comprising a water cleaning tank to achieve the water cleaning, a treatment tank filled with the treatment solution, and a drying tank to achieve the drying. Immediately after the treatment with water or the treatment solution, the water or the treatment solution is removed. The water or the treatment solution in the previous process is less contained in the water or the treatment solution in the next process to suppress the degradation of the water or the treatment solution.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、金属部品に対して化成
処理やメッキ処理などの表面処理を行う表面処理方法及
び表面処理装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for performing a surface treatment such as a chemical conversion treatment or a plating treatment on a metal part.

【0002】[0002]

【従来の技術】金属部品の化成処理あるいはメッキ処理
においては、前処理、水洗、化成処理あるいはメッキ処
理である本処理、水洗、乾燥の順で処理を行っている。
前処理及び本処理に用いる処理液はその処理の内容によ
り異なるが、いずれの処理においても、次工程の処理液
との混合を防ぐため各処理の後には水洗が必要となって
いる
2. Description of the Related Art In chemical treatment or plating of metal parts, pretreatment, rinsing, chemical treatment or plating, main treatment, washing and drying are performed in this order.
The treatment liquid used for the pre-treatment and the main treatment varies depending on the content of the treatment, but in any treatment, it is necessary to wash with water after each treatment in order to prevent mixing with the treatment liquid in the next step

【0003】図6は金属部品に対して化成処理を行う従
来の化成処理装置を示す。前処理槽1、水洗槽2、化成
処理槽3、水洗槽4、化成処理槽5、水洗槽6および乾
燥槽7が横一列に並んでおり、化成処理される金属部品
(図示省略)はステンレス鋼線を網状に編んだバスケッ
トあるいはホルダなどのヤトイ8に保持され、ヤトイ8
ごと各槽の間を順次搬送される。この搬送は、ヤトイ8
を搬送ロッド9に吊り下げると共に、各槽に対応したガ
イド路10を設け、このガイド路10に沿って搬送ロッ
ド9を移動させることにより行われる。
FIG. 6 shows a conventional chemical conversion treatment apparatus for performing a chemical conversion treatment on metal parts. A pretreatment tank 1, a washing tank 2, a chemical conversion tank 3, a water washing tank 4, a chemical conversion tank 5, a water washing tank 6, and a drying tank 7 are arranged in a row, and the metal parts (not shown) to be chemically converted are stainless steel. The steel wire is held by a toy 8 such as a basket or a holder in which a steel wire is knitted in a net shape.
Are transported sequentially between the tanks. This transport is
Is suspended on the transport rod 9, a guide path 10 corresponding to each tank is provided, and the transport rod 9 is moved along the guide path 10.

【0004】又、特開平7−292498号公報には、
金属部品に対してメッキを自動的に行う従来のメッキ装
置が記載されている。この装置においても、前処理槽、
水洗槽、メッキ槽、水洗槽、メッキ槽、水洗槽、後処理
槽、水洗槽、乾燥槽が横一列に並んでおり、金属部品が
搬送機によって順次、各槽に搬送されてメッキ処理が行
われるようになっている。
Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-292498 discloses that
A conventional plating apparatus for automatically plating metal parts is described. Also in this apparatus, a pretreatment tank,
A washing tank, a plating tank, a washing tank, a plating tank, a washing tank, a post-treatment tank, a washing tank, and a drying tank are arranged in a row, and the metal parts are sequentially transferred to each tank by a transfer machine to perform a plating process. It has become.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】化成処理やメッキ処理
などの表面処理では、近年、多品種少量生産が大きく要
求されており、このような要求に対して、図6の化成処
理装置や特開平7−292498号公報のメッキ装置に
おいては、以下のような問題点があるため、実用性に乏
しいものとなっている。 (1)多数の処理槽が処理工程順に並べられているた
め、装置全体としての設置スペースが広く必要となって
いる。 (2)化成処理あるいはメッキ処理は特定種類の処理に
対して行うものであることから、特定の処理のみに適応
できるように処理槽が並べられており、他の処理への汎
用性に乏しい。従って、処理内容を変更する場合には、
その処理に適した他の装置を用いる必要がある。また、
同じ装置を用いるには、処理液の順序を処理工程順に従
って並べ換えるなどの段取りが必要で煩雑な作業とな
る。
In recent years, in surface treatment such as chemical conversion and plating, large-variety, small-quantity production has been greatly demanded. In response to such demands, a chemical conversion treatment apparatus shown in FIG. The plating apparatus disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-292498 is not practical because of the following problems. (1) Since a large number of processing tanks are arranged in the order of processing steps, a large installation space is required for the entire apparatus. (2) Since the chemical conversion treatment or the plating treatment is performed for a specific type of treatment, the treatment tanks are arranged so as to be adaptable only to the specific treatment, and the versatility to other treatments is poor. Therefore, when changing the processing contents,
It is necessary to use another device suitable for the processing. Also,
In order to use the same apparatus, it is necessary to perform a setup such as rearranging the order of the processing liquids in accordance with the processing step order, which is a complicated operation.

【0006】このような不具合を避けるためには、多数
の処理槽を2次元的に配置すると共に、金属部品をロボ
ット等の自動搬送手段によって各槽に搬送させ、これに
より、化成処理やメッキ処理などの本処理だけでなく、
前処理、水洗処理、乾燥処理、後処理などの各処理を行
うことが好ましい。このような処理を行う場合には、処
理槽を多く配置する必要があると共に、設置スペースと
の関係から処理槽をできるだけ小さくする必要がある。
In order to avoid such inconveniences, a large number of treatment tanks are arranged two-dimensionally, and metal parts are transferred to each tank by an automatic transfer means such as a robot. Not only this processing such as
It is preferable to perform each treatment such as a pretreatment, a washing treatment, a drying treatment, and a post treatment. When performing such processing, it is necessary to arrange a large number of processing tanks, and it is necessary to make the processing tanks as small as possible in view of the installation space.

【0007】しかしながら、処理槽を小さくした場合に
は、処理液の劣化が急速に進行するため、処理液の交換
を頻繁に行う必要が生じ、作業性が低下する。このた
め、処理液の交換頻度を少なくするような工夫が必要と
なってくる。
However, when the processing tank is made smaller, the processing liquid deteriorates rapidly, so that the processing liquid needs to be replaced frequently, and the workability is reduced. For this reason, it is necessary to take measures to reduce the frequency of replacing the processing liquid.

【0008】これに対し、特開平5−287543号公
報には、メッキ処理における各工程間に、水洗、水切
り、乾燥等の中間処理を行うことによってメッキ処理の
性能を向上させることができることが記載されている。
しかしながら、このような中間処理によっても、処理液
の劣化の進行を防止できるものではなく、しかも、中間
処理を各工程間に挿入することにより、全体の工程数が
多くなるばかりでなく、工程が煩雑となる問題を有して
いる。
On the other hand, Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-287543 discloses that the performance of the plating process can be improved by performing an intermediate process such as washing, draining, and drying between the steps of the plating process. Have been.
However, even such an intermediate treatment cannot prevent the progress of the deterioration of the processing solution, and furthermore, by inserting the intermediate treatment between the respective steps, not only the total number of steps is increased, but also the number of steps is increased. It has a complicated problem.

【0009】本発明は、このような従来の問題点を考慮
してなされたものであり、多品種少量生産に適し、しか
も設置スペースが小さく、更には、処理液の劣化の進行
を抑制することとが可能な金属部品の表面処理方法及び
表面処理装置を提供することを目的とする。
The present invention has been made in consideration of such conventional problems, and is suitable for small-quantity production of many kinds, has a small installation space, and further suppresses the progress of deterioration of the processing solution. It is an object of the present invention to provide a surface treatment method and a surface treatment apparatus for a metal component that can perform the following.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1の発明の表面処理方法は、水洗を行う水洗
槽、処理液を充填した処理槽、乾燥を行う乾燥槽からな
る複数の槽を配置した表面処理装置を用いて金属部品の
表面処理を行う方法において、水又は処理液による処理
を行った直後に、その水又は処理液の液切りを行うこと
を特徴とする。
In order to achieve the above object, a surface treatment method according to the present invention comprises a plurality of washing tanks for washing with water, a treatment tank filled with a treatment liquid, and a drying tank for drying. A method of performing a surface treatment of a metal component using a surface treatment apparatus having a tank, wherein the water or the treatment liquid is drained immediately after the treatment with water or the treatment liquid.

【0011】一般的に金属部品への化成処理あるいはメ
ッキ処理の品質は、処理液によって生成される金属膜の
品質に左右されるため、処理液の濃度、組成および不要
な金属イオンの濃度は、ばらつきの少ない高品質な化成
処理あるいはメッキ処理をする上で重要な工程管理項目
の一つである。
In general, the quality of a chemical conversion treatment or a plating treatment on a metal part depends on the quality of a metal film formed by the treatment solution. Therefore, the concentration and composition of the treatment solution and the concentration of unnecessary metal ions are: This is one of the important process control items in performing high quality chemical conversion treatment or plating treatment with less variation.

【0012】処理液は、化成処理あるいはメッキ処理に
よる成分の消費ばかりでなく、自然蒸発あるいは処理さ
れる金属部品の処理槽への出し入れに伴う処理液の持ち
出し、前工程の処理液の持ち込みによって経時的に劣化
する。そして、限界まで劣化した処理液は、全量を交換
するか、必要成分を新たに追加する必要がある。
The processing solution not only consumes components due to chemical conversion treatment or plating treatment, but also takes out the processing solution as the metal parts to be spontaneously evaporated or processed is taken in and out of the processing tank, and the processing solution in the preceding process is brought in with time. Deteriorates. Then, it is necessary to replace the entire amount of the processing solution that has deteriorated to the limit or to newly add necessary components.

【0013】この発明では、金属部品の出し入れに伴う
前工程からの持ち込みによる劣化を極力抑えるため、水
又は処理液による処理を行った直後に、その水又は処理
液の液切りを行うものである。例えば化成処理において
は、前処理、水洗、化成処理、水洗、化成処理、水洗、
乾燥の順で処理を行っており、いずれの化成処理におい
ても、その前工程は水洗処理である。すなわち、化成処
理を行う処理液は金属部品の出し入れに伴い、水によっ
て希釈される傾向にある。
According to the present invention, in order to minimize deterioration due to carry-in and take-out of a metal part from a previous process, the water or the treatment liquid is drained immediately after the treatment with water or the treatment liquid. . For example, in the chemical conversion treatment, pretreatment, water washing, chemical conversion treatment, water washing, chemical conversion treatment, water washing,
The treatment is performed in the order of drying, and in any of the chemical conversion treatments, the preceding step is a water washing treatment. That is, the treatment liquid for the chemical conversion treatment tends to be diluted with water as the metal parts are taken in and out.

【0014】特に多品種少量生産に適し、設置スペース
が小さくできる化成処理装置においては、処理槽も小さ
く、処理液が水で希釈される割合が大きく、従来の化成
処理装置における処理液と比較すると劣化が早くなる。
これを防ぐため、水による水洗処理を行った直後には、
水切りを行い、次の化成処理に持ち込まれる水を少なく
する。これにより、処理液が水で希釈されることを防ぐ
ことができ、処理液の劣化を抑えることができる。
[0014] In a chemical conversion treatment apparatus which is particularly suitable for high-mix low-volume production and can be installed in a small space, the treatment tank is small, and the rate of dilution of the treatment liquid with water is large. Deterioration is faster.
To prevent this, immediately after washing with water,
Drain water to reduce the amount of water brought into the next chemical conversion treatment. Thus, the treatment liquid can be prevented from being diluted with water, and deterioration of the treatment liquid can be suppressed.

【0015】又、化成処理後における水洗においても、
化成処理で金属部品に付着している処理液を液切れさせ
る。これにより、水洗に用いる水が処理液によって劣化
することを防止することができる。
[0015] In the water washing after the chemical conversion treatment,
The treatment liquid adhering to the metal component is drained during the chemical conversion treatment. This can prevent the water used for washing from being deteriorated by the treatment liquid.

【0016】液切りとしては、エアーなどの気体を金属
部品に吹きつけて水や処理液を吹き飛ばしたり、金属部
品が保持されているヤトイを振動あるいは回転させて水
や処理液を振り切ることにより簡単に行うことができ
る。
The liquid can be easily drained by blowing a gas such as air onto the metal parts to blow off water or the processing liquid, or by vibrating or rotating a toy holding the metal parts to shake off the water or the processing liquid. Can be done.

【0017】又、本発明では、このような液切れを水や
処理液による処理の直後に行うものである。水洗や処理
液による処理から時間が経った後では、白色シミなど不
具合の原因になり、金属部品が乾燥することを極力避け
るためである。
Further, in the present invention, such drainage is performed immediately after the treatment with water or the treatment liquid. This is because, after a lapse of time from washing with water or treatment with the treatment liquid, it causes troubles such as white spots, and the metal parts are prevented from drying as much as possible.

【0018】請求項2の発明の表面処理装置は、水洗を
行う水洗槽、処理液を充填した処理槽、乾燥を行う乾燥
槽からなる複数の槽を配置した金属部品の表面処理装置
において、前記金属部品を保持するヤトイ及び前記金属
部品を搬送するために前記ヤトイを保持するチャックの
少なくともいずれかの表面が撥水性を備えていることを
特徴とする。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a surface treatment apparatus for metal parts, comprising a plurality of tanks including a washing tank for washing, a treatment tank filled with a treatment liquid, and a drying tank for drying. At least one surface of the jaws holding the metal parts and the chuck holding the jaws for transporting the metal parts has water repellency.

【0019】化成処理やメッキ処理などの表面処理で
は、金属部品を保持する網状のカゴあるいはカップなど
のヤトイ及び/又は金属部品を搬送するためにヤトイを
保持するチャックとして、その表面に撥水性を備えるこ
とにより、前工程で付着した水や処理液がその処理の直
後にヤトイやチャックの表面から滑り落ちる。このた
め、水や処理液の液切れを処理の直後に円滑に行うこと
ができ、次工程での水や処理液の劣化を防止することが
できる。又、その処理槽から持ち出される水や処理液の
持ち出し量が減るため、小さな処理槽であっても処理液
の交換や補充の頻度が少なくなる。
In a surface treatment such as a chemical conversion treatment or a plating treatment, a water repellency is imparted to a surface of a net-shaped basket or a cup for holding metal parts and / or a chuck for holding metal toys for transporting metal parts. With the provision, the water and the processing liquid adhered in the previous process slide down from the surface of the jaws and the chuck immediately after the processing. For this reason, the water or the processing liquid can be smoothly drained immediately after the processing, and deterioration of the water or the processing liquid in the next step can be prevented. Further, since the amount of water and processing liquid taken out of the processing tank is reduced, the frequency of replacement and replenishment of the processing liquid is reduced even in a small processing tank.

【0020】このように表面に撥水性を付与する材質と
しては、シリコーンゴムなどのシリコーン系樹脂、ポリ
エチレンなどのオレフィン系樹脂、テフロン(商品名)
などのフッ素系樹脂などを用いることができる。ヤトイ
あるいはチャックがこれらの材質で形成されていても良
く、表面だけをこれらの材質で被覆されていても良い。
また、ヤトイあるいはチャックのいずれか一方あるいは
双方の表面に対して撥水性を付与しても良い。
The material which imparts water repellency to the surface as described above includes silicone resins such as silicone rubber, olefin resins such as polyethylene, and Teflon (trade name).
And the like can be used. The jaws or the chuck may be formed of these materials, or only the surface may be coated with these materials.
Also, water repellency may be imparted to either or both surfaces of the jaws and the chuck.

【0021】請求項3の発明は、水洗を行う水洗槽、処
理液を充填した処理槽、乾燥を行う乾燥槽からなる複数
の槽を配置した金属部品の表面処理装置において、前記
各槽の間で金属部品又は金属部品を保持するヤトイを保
持するチャックに、金属部品表面に付着した液体を吹き
飛ばす気体の噴出ノズルが設けられていることを特徴と
する。
According to a third aspect of the present invention, there is provided a metal part surface treatment apparatus comprising a plurality of tanks including a washing tank for washing with water, a treatment tank filled with a treatment liquid, and a drying tank for drying. And a chuck for holding the metal component or a toy for holding the metal component is provided with a gas ejection nozzle for blowing off the liquid adhering to the surface of the metal component.

【0022】この発明では、チャックに設けた噴出ノズ
ルから金属部品やヤトイに対して気体を吹き付けること
により、これらに付着している水や処理液を速やかに吹
き飛ばすため、液切れを確実に行うことができる。従っ
て、次工程の処理槽への持ち込みがなくなり、処理槽内
の処理液の劣化を抑制することができる。
According to the present invention, the gas is blown from the ejection nozzle provided on the chuck to the metal parts and the toy, so that the water and the processing liquid adhering to the parts are quickly blown off. Can be. Therefore, carry-on to the processing tank in the next step is eliminated, and deterioration of the processing liquid in the processing tank can be suppressed.

【0023】[0023]

【発明の実施の形態】以下、本発明の表面処理につき、
化成処理を実施の形態として具体的に説明する。なお、
本発明は化成処理のみならず、メッキ処理にも同様に適
用できるものである。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The surface treatment of the present invention is described below.
The chemical conversion treatment is specifically described as an embodiment. In addition,
The present invention can be applied not only to the chemical conversion treatment but also to the plating treatment.

【0024】(実施の形態1)図1は金属部品の表面に
対して化成処理を行う化成処理装置11を示す。化成処
理装置11は、二次元的に配置した水洗槽、処理槽およ
び乾燥槽からなる複数の槽12がその上面側に配置され
ていると共に、搬送装置13が上部に設けられている。
(Embodiment 1) FIG. 1 shows a chemical conversion treatment apparatus 11 for performing a chemical conversion treatment on the surface of a metal component. In the chemical conversion treatment apparatus 11, a plurality of tanks 12 each including a washing tank, a treatment tank, and a drying tank arranged two-dimensionally are arranged on the upper surface side, and a transfer device 13 is provided at an upper part.

【0025】槽12は化成処理装置11の上面に二次元
的に設けられた受け入れ口19から挿入される。図2は
槽12を示し、全体が有底の筒状に成形されている。
又、上方側にはフランジ部12aが形成されており、こ
のフランジ部12aが化成処理装置11の上面に係止さ
れることにより、落下が防止されている(なお、図1で
は、フランジ部12aは省略してある。)槽12の大き
さや形状は水洗用、化成処理用、乾燥用とも共通であ
り、槽12の内部に収容される液体によってその用途が
決められる。それぞれの液体が収容された槽12には、
化成処理装置11の上面の番地(位置)が決められ、こ
の番地に従って制御装置(図示省略)による制御に基づ
き、化成処理のための各工程が実施される。
The tank 12 is inserted from a receiving port 19 provided two-dimensionally on the upper surface of the chemical conversion treatment apparatus 11. FIG. 2 shows the tank 12, which is entirely formed into a bottomed cylindrical shape.
In addition, a flange portion 12a is formed on the upper side, and the flange portion 12a is locked to the upper surface of the chemical conversion treatment device 11 to prevent falling (in FIG. 1, the flange portion 12a is formed). The size and shape of the tank 12 are common to water washing, chemical conversion treatment, and drying, and its use is determined by the liquid stored in the tank 12. In the tank 12 containing each liquid,
The address (position) of the upper surface of the chemical conversion treatment device 11 is determined, and each step for the chemical conversion treatment is performed based on the address by control by a control device (not shown).

【0026】なお、図2では図示を省略するが、槽12
の有底部分には、槽12内に収容される水や、化成処理
液などの液体を排出する排出口部および新規な交換用液
体を供給する供給口部を設けるとと共に、これらの各口
部と連結する配管および各液体の貯留装置や交換用ポン
プを接続することも可能である。また、槽12の外周部
分には超音波振動子を配置することも可能である。
Although not shown in FIG.
In the bottomed portion, a discharge port for discharging liquid such as water or a chemical conversion treatment liquid contained in the tank 12 and a supply port for supplying a new replacement liquid are provided. It is also possible to connect a pipe connected to the section, a storage device for each liquid, and a replacement pump. Further, it is also possible to arrange an ultrasonic vibrator on the outer peripheral portion of the tank 12.

【0027】搬送装置13は、X軸ガイド14と、X軸
ガイド14に沿って移動するY軸ガイド15と、Y軸ガ
イド15に沿って移動する上下動ユニット16とを備え
ている。又、上下動ユニット16にはチャック17が上
下動自在に取り付けられている。チャック17は処理対
象となる金属部品25(図2参照)をチャッキングによ
って保持するものである。
The transport device 13 includes an X-axis guide 14, a Y-axis guide 15 that moves along the X-axis guide 14, and a vertical movement unit 16 that moves along the Y-axis guide 15. A chuck 17 is attached to the vertical movement unit 16 so as to be vertically movable. The chuck 17 holds the metal component 25 (see FIG. 2) to be processed by chucking.

【0028】この化成処理装置11にはコンベア18が
連結されており、このコンベア18によって処理対象の
金属部品が化成処理装置11まで運ばれる。そして、上
述した搬送装置13が制御装置の制御によって駆動する
ことにより、水あるいは処理液が充填されている槽12
に対して金属部品25を順次搬送して、水洗や化成処理
が行われる。
A conveyor 18 is connected to the chemical conversion treatment apparatus 11, and the metal parts to be treated are carried to the chemical conversion treatment apparatus 11 by the conveyor 18. Then, the above-described transport device 13 is driven under the control of the control device, so that the tank 12 filled with water or the processing liquid is formed.
Then, the metal parts 25 are sequentially conveyed and subjected to water washing and chemical conversion treatment.

【0029】図3はチャック17を示す。チャック17
は金属部品25を保持する一対のアーム17a,17b
を備えている。そして、一方のアーム17aにおける他
方のアーム17bとの対向面には、噴出装置21が取り
付けられている。噴出装置21はチャック17に保持さ
れている金属部品25に対してエアーなどの気体を吹き
付ける複数の噴出ノズル22を有している。なお、それ
ぞれの噴出ノズル22には気体供給装置に接続されてい
る配管20が連結されて、気体の噴出が可能となってい
る。
FIG. 3 shows the chuck 17. Chuck 17
Are a pair of arms 17a and 17b for holding the metal component 25.
It has. A jet device 21 is attached to a surface of one arm 17a facing the other arm 17b. The ejection device 21 has a plurality of ejection nozzles 22 for blowing gas such as air to the metal component 25 held by the chuck 17. Note that a pipe 20 connected to the gas supply device is connected to each of the ejection nozzles 22 so that gas can be ejected.

【0030】この実施の形態では、金属部品25とし
て、直径50mmの真鍮からなるパイプを銅黒染処理す
る。表1はこの処理の条件を示す。
In this embodiment, as the metal part 25, a pipe made of brass having a diameter of 50 mm is subjected to a blackening treatment with copper. Table 1 shows the conditions of this processing.

【0031】[0031]

【表1】 [Table 1]

【0032】この実施の形態における化成処理は、表1
に示すように、前処理では、商品名「ゴスペルダッシ5
000(ゴスペル化工(株)製)」5%の処理液によっ
てアルカリ脱脂を行い、その後、市水によって水洗す
る。第1の化成処理では、商品名「エボノールBA(メ
ルテックス(株)製)」20%の処理液によって処理
し、その後、市水によって水洗する。第2の化成処理で
は、商品名「エボノールCスペシャルA液/B液(メル
テックス(株)製)」20%/28%の処理液によって
処理を行い、その後、純水によって水洗し、熱風によっ
て乾燥して処理を終了する。
The chemical conversion treatment in this embodiment is shown in Table 1.
As shown in the figure, in the pre-processing, the product name “Gospel Dash 5
000 (manufactured by Gospel Kako Co., Ltd.) "is subjected to alkaline degreasing with a treatment solution of 5%, and then washed with city water. In the first chemical conversion treatment, the product is treated with a treatment solution of 20% of trade name “Ebonol BA (manufactured by Meltex Co., Ltd.)”, and then washed with city water. In the second chemical conversion treatment, the treatment is carried out with a treatment solution of 20% / 28% of trade name "Ebonol C Special A solution / B solution (manufactured by Meltex Co., Ltd.)", followed by washing with pure water and hot air Dry and finish the process.

【0033】以上の各工程における前処理液、市水、第
1の化成処理液、市水、第2の化成処理液、純水は図1
に示すそれぞれの槽12に分別して充填されるものであ
り、その他の槽12はメッキや他の種類の化成処理のた
めの処理液が充填されている。
The pretreatment liquid, city water, first chemical conversion liquid, city water, second chemical conversion liquid, and pure water in each of the above steps are shown in FIG.
The tanks 12 shown in FIG. 3 are separately charged and the other tanks 12 are filled with a processing solution for plating or other types of chemical conversion treatment.

【0034】又、前工程から次工程に移行する場合に
は、チャック17によって金属部品25を保持した状態
で次の工程の槽12に搬送して、その工程の槽12の液
中に金属部品12を浸漬する。この浸漬中において、チ
ャック17は槽12から引き出すことにより、液中から
退避させるものである。
When shifting from the previous step to the next step, the metal part 25 is held by the chuck 17 and transported to the tank 12 of the next step, and the metal part 25 12 is immersed. During this immersion, the chuck 17 is withdrawn from the liquid by being pulled out of the tank 12.

【0035】この実施の形態において、3回の水洗処理
の直後には、噴出装置21の噴出ノズル22から金属部
品25に対しエアーを吹きつけて水洗の水を吹き飛ばし
た。水洗の水を吹き飛ばすときは、水洗槽から金属部品
25を持ち上げた状態のときに行い、飛ばした水はその
水洗槽内に落ちるようにした。
In this embodiment, immediately after the three washing operations, air was blown from the ejection nozzle 22 of the ejection device 21 to the metal part 25 to blow off the water for washing. The water for washing was blown off when the metal part 25 was lifted from the washing tank, and the spouted water was allowed to fall into the washing tank.

【0036】次に、比較例1として、3回の水洗処理直
後に、エアーを吹きつけて水洗の水を飛ばすことは行わ
ず、その他の処理は同様に行った。
Next, as Comparative Example 1, immediately after the three water-washing treatments, air was not blown to blow off the water for the water-washing, and the other treatments were similarly performed.

【0037】実施の形態1および比較例1において、黒
染めの色が赤色に近く薄くなったり、ムラになつたりし
て化成処理の品質が低下し、これにより、第1の化成処
理および第2の化成処理に用いた処理液が寿命となるま
でに処理できた金属部品25の個数を表2に示す。比較
例1では、2500個の処理が限界であったが、この実
施の形態では、4000個までの処理が可能であり、水
切りを行った方が寿命が長く、化成処理の劣化を抑えて
いることが判る。
In the first embodiment and the comparative example 1, the quality of the chemical conversion treatment is deteriorated because the color of black dyeing becomes close to red and becomes thin or uneven, thereby reducing the quality of the first chemical conversion treatment and the second chemical conversion treatment. Table 2 shows the number of metal parts 25 that could be treated before the treatment liquid used in the chemical conversion treatment reached the end of its life. In Comparative Example 1, 2500 treatments were the limit, but in this embodiment, treatments up to 4000 treatments are possible, and draining has a longer life and suppresses deterioration of chemical conversion treatment. You can see that.

【0038】(実施の形態2)この実施の形態では、実
施の形態1と同一の化成処理装置、同一の化成処理条
件、同一の金属部品25を用いた。又、この実施の形態
では、図示を省略するがステンレス鋼線を網状に編んだ
有底筒状のヤトイを用い、このヤトイ内に金属部品25
を収容し、このヤトイをチャック17によってチャッキ
ングすることにより搬送した。
(Embodiment 2) In this embodiment, the same chemical conversion treatment apparatus, the same chemical conversion treatment conditions, and the same metal parts 25 as those in Embodiment 1 are used. In this embodiment, although not shown, a bottomed cylindrical toy made of a stainless steel wire braided in a net shape is used, and a metal part 25 is provided in this toy.
And transported by chucking the toy with the chuck 17.

【0039】そして、全ての水洗処理後において、金属
部品25が入っているヤトイが上下動ユニット16によ
って水洗槽の水面から引き上げられた直後に、ヤトイの
外周をチャック17で掴んだまま、上下動ユニット16
を上下に高速で5回振動させた。これによって金属部品
25やヤトイに付着していた水洗の水を振り落とした。
Immediately after all the water washing treatments, the toy containing the metal parts 25 is lifted from the water surface of the washing tank by the up-down movement unit 16 and the up-down movement is performed while the outer periphery of the toy is being gripped by the chuck 17. Unit 16
Was vibrated up and down five times at high speed. As a result, the washing water attached to the metal parts 25 and the toy was shaken off.

【0040】表2には、実施の形態1と同様に、第1の
化成処理および第2の化成処理に用いた処理液が寿命と
なるまでに処理できた金属部品25の個数を示してあ
る。この実施の形態においても、処理個数が多くなって
いる。これに加えて、実施の形態1のように、噴出装置
21のような新たな設備を必要とせずに、化成処理の劣
化を抑えることが可能となっている。
Table 2 shows the number of metal parts 25 that can be treated before the treatment liquid used in the first chemical conversion treatment and the second chemical conversion treatment reaches the end of its life, similarly to the first embodiment. . Also in this embodiment, the number of processes is large. In addition to this, it is possible to suppress the deterioration of the chemical conversion treatment without requiring new equipment such as the ejection device 21 as in the first embodiment.

【0041】(実施の形態3)この実施の形態において
も、実施の形態1と同一の化成処理装置、同一の化成処
理条件、同一の金属部品25を用い、さらに、実施の形
態1と同様に水洗処理直後に、噴出装置21からエアー
を吹きつけて水洗の水を飛ばした。
(Embodiment 3) In this embodiment, too, the same chemical conversion apparatus, the same chemical conversion conditions, and the same metal parts 25 as those of Embodiment 1 are used. Immediately after the rinsing process, air was blown from the jetting device 21 to blow off the rinsing water.

【0042】また、この実施の形態では、図4に示すヤ
トイ23を用い、このヤトイ23内に金属部品25を収
容して処理を行った。ヤトイ23は全体がテフロン(商
品名)からなるカップ状に成形されると共に、上下の開
口部分にテフロン製の網体24が張設されたものであ
る。このようなヤトイ23は表面が撥水性を有してお
り、ヤトイ23に対してエアーを吹き付けると、水洗の
水は円滑に落下する。
In this embodiment, the processing is carried out by using the toy 23 shown in FIG. 4 and storing the metal parts 25 in the toy 23. The yatoy 23 is formed in a cup shape made entirely of Teflon (trade name), and a Teflon net 24 is stretched over upper and lower openings. The surface of such a toy 23 has water repellency, and when air is blown against the toy 23, water for washing falls smoothly.

【0043】比較例2として、図4と同一の形状となっ
ているが、全体がステンレスからなるカップ状のヤトイ
によって、金属部品25を保持し化成処理を行った。
As Comparative Example 2, the metal part 25 was held by a cup-shaped toy having the same shape as that of FIG.

【0044】表2に、第1の化成処理および第2の化成
処理に用いた処理液が寿命となるまでに処理できた金属
部品25の個数を示す。比較例2では処理する必要のな
いヤトイまで処理されて、処理液の必要成分が消費され
てしまうため、処理液の劣化が早くなっている。これに
対し、この実施の形態では、ヤトイ23が撥水性のテフ
ロンであるので、水および処理液の液切れ性が向上し、
前工程の水洗処理の水の持ち込み量および処理液の持ち
出し量が抑えられて必要成分が消費されることがなく、
このため、実施の形態2以上に化成処理液の寿命が延び
ていることが判る。
Table 2 shows the number of metal parts 25 that could be processed before the treatment liquid used in the first chemical conversion treatment and the second chemical conversion treatment reached the end of its life. In Comparative Example 2, since processing is performed even on the toy that does not need to be processed, and the necessary components of the processing liquid are consumed, the deterioration of the processing liquid is accelerated. On the other hand, in this embodiment, since the yatoy 23 is a water-repellent Teflon, the drainage of water and the processing liquid is improved,
The amount of water brought in and the amount of processing liquid taken out of the pre-washing process is reduced, and the necessary components are not consumed.
For this reason, it turns out that the service life of the chemical conversion treatment liquid is longer than that of the second embodiment.

【0045】(実施の形態4)この実施の形態では、実
施の形態1と同一の化成処理装置、同一の化成処理条
件、同一の金属部品25を用い、さらに、実施の形態1
と同様に水洗処理の直後に、噴出装置21からエアーを
吹きつけて水洗の水を飛ばした。又、図4に示すテフロ
ン製のカップ状のヤトイ23によって、金属部品25を
保持した。さらに、ヤトイ23を保持するため、図5に
示すチャック26を用いた。このチャック26はヤトイ
23の外周面形状に対応させて形成されており、その先
端部分26aがシリコーン樹脂でコーティングされてい
るものである。これにより、先端部分26aに撥水性が
付与されている。
(Embodiment 4) In this embodiment, the same chemical conversion apparatus, the same chemical conversion conditions, and the same metal parts 25 as those in Embodiment 1 are used.
Immediately after the water washing treatment, air was blown from the jetting device 21 to blow off the water for water washing. The metal component 25 was held by a Teflon cup-shaped toy 23 shown in FIG. Further, a chuck 26 shown in FIG. The chuck 26 is formed so as to correspond to the shape of the outer peripheral surface of the toy 23, and has a tip portion 26a coated with a silicone resin. This imparts water repellency to the tip portion 26a.

【0046】表2に、この実施の形態の第1の化成処理
および第2の化成処理に用いた処理液が寿命となるまで
に処理できた金属部品25の個数を示す。この実施の形
態ではヤトイ23だけでなく、チャック26も撥水性の
シリコーン樹脂であるので、水および処理液の液切れ性
が向上し、前工程の水洗処理の水の持ち込み量および処
理液の持ち出し量が抑えられて必要成分が消費されるこ
とがない。このため、実施の形態3に比べてさらに水切
りの効果が高く、処理液の寿命が延びていることが判
る。
Table 2 shows the number of metal parts 25 that could be processed until the processing liquid used in the first chemical conversion treatment and the second chemical conversion treatment of this embodiment reached the end of its life. In this embodiment, not only the jaws 23 but also the chuck 26 are made of a water-repellent silicone resin, so that the water and the treatment liquid are drained more easily. The amount is reduced and the necessary components are not consumed. Therefore, it can be seen that the drainage effect is higher than in the third embodiment, and the life of the treatment liquid is extended.

【0047】[0047]

【表2】 [Table 2]

【0048】以上の説明から、本発明は以下の発明を包
含するものである。
From the above description, the present invention includes the following inventions.

【0049】(1)水洗を行う水洗槽、処理液を充填し
た処理槽、乾燥を行う乾燥槽からなる複数の槽を配置し
た化成処理装置を用いて金属部品の化成処理を行う化成
処理方法において、水または処理液による処理を行った
直後に、その水または処理液の液切りを行うことを特徴
とする化成処理方法。
(1) In a chemical conversion treatment method in which a chemical conversion treatment apparatus is used, in which a plurality of tanks including a washing tank for washing with water, a treatment tank filled with a treatment solution, and a drying tank for drying are arranged, are used. A chemical conversion treatment method, wherein the water or the treatment liquid is drained immediately after the treatment with water or the treatment liquid.

【0050】この発明では、水又は処理液をその処理の
直後に液切れさせるため、その後の処理の処理液が劣化
することがなくなる。このため、水や処理液を収容する
槽を小さくすることができ、設置スペースを小さくでき
る。
In the present invention, since the water or the processing liquid is drained immediately after the processing, the processing liquid in the subsequent processing does not deteriorate. For this reason, the tank for storing water and the processing liquid can be made smaller, and the installation space can be made smaller.

【0051】(2)水洗を行う水洗槽、処理液を充填し
た処理槽、乾燥を行う乾燥槽からなる複数の槽を二次元
的に配置した化成処理装置を用いて金属部品の化成処理
を行う化成処理方法において、水又は処理液による処理
を行った直後に、その水又は処理液の液切りを行うこと
を特徴とする金属部品の化成処理方法。
(2) Chemical conversion treatment of metal parts is performed by using a chemical conversion treatment apparatus in which a plurality of tanks including a washing tank for washing with water, a treatment tank filled with a treatment liquid, and a drying tank for drying are two-dimensionally arranged. In the chemical conversion treatment method, immediately after the treatment with water or a treatment liquid, the water or the treatment liquid is drained, and the chemical conversion treatment method for a metal component is performed.

【0052】この発明では、複数の槽を二次元的に配置
するため、設置スペースをさらに小さくすることができ
る。
In the present invention, since a plurality of tanks are two-dimensionally arranged, the installation space can be further reduced.

【0053】(3)水洗を行う水洗槽、処理液を充填し
た処理槽、乾燥を行う乾燥槽からなる複数の槽を配置し
た金属部品の化成処理装置において、少なくとも前記金
属部品を保持するヤトイ、および前記金属部品を搬送す
るために前記ヤトイを保持するチャックのいずれかの表
面が撥水性を有することを特徴とする化成処理装置。
(3) In a chemical conversion apparatus for metal parts, which is provided with a plurality of tanks including a washing tank for washing with water, a treatment tank filled with a treatment liquid, and a drying tank for drying, a toy for holding at least the metal parts is provided. And a chemical conversion treatment apparatus, wherein one surface of a chuck for holding the toy for transporting the metal component has water repellency.

【0054】この発明では、金属部品に付着している水
や処理液がその処理の直後にヤトイやチャックの表面か
ら滑り落ちるため、次工程での水や処理液の劣化を防止
することができ、しかも、処理槽から持ち出される水や
処理液の持ち出し量が減るため、小さな処理槽であって
も処理液の交換や補充の頻度が少なくなる。
According to the present invention, since the water and the processing liquid adhering to the metal parts slide down from the surfaces of the jaws and the chuck immediately after the processing, the deterioration of the water and the processing liquid in the next step can be prevented. In addition, since the amount of water and processing liquid taken out of the processing tank is reduced, the frequency of replacement and replenishment of the processing liquid is reduced even in a small processing tank.

【0055】(4)水洗を行う水洗槽、処理液を充填し
た処理槽、乾燥を行う乾燥槽からなる複数の槽を二次元
的に配置した金属部品の化成処理装置において、少なく
とも前記金属部品を保持するヤトイ、および前記金属部
品を搬送するために前記ヤトイを保持するチャックのい
ずれかの表面が撥水性を有することを特徴とする化成処
理装置。
(4) In a chemical conversion apparatus for metal parts, in which a plurality of tanks including a washing tank for washing with water, a treatment tank filled with a treatment liquid, and a drying tank for drying are two-dimensionally arranged, at least the metal parts are treated. A chemical treatment apparatus, wherein one of surfaces of a holding jaw and a chuck for holding the jaw for transporting the metal component has water repellency.

【0056】この発明においては、複数の槽を二次元的
に配置するため、設置スペースを小さくすることができ
る。
In the present invention, since a plurality of tanks are arranged two-dimensionally, the installation space can be reduced.

【0057】(5)水洗を行う水洗槽、処理液を充填し
た処理槽、乾燥を行う乾燥槽からなる複数の槽を配置し
た金属部品の化成処理装置において、前記各槽の間で金
属部品又は金属部品を保持するためのヤトイを保持する
チャックに、金属部品表面に付着した液体を吹き飛ばす
気体の噴出ノズルが設けられていることを特徴とする化
成処理装置。
(5) In a chemical conversion apparatus for metal parts, in which a plurality of tanks including a washing tank for washing with water, a treatment tank filled with a treatment liquid, and a drying tank for drying are arranged, the metal parts or A chemical treatment apparatus characterized in that a chuck for holding a metal member for holding a metal component is provided with a gas ejection nozzle for blowing off liquid attached to the surface of the metal component.

【0058】この発明では、チャックに設けた噴射ノズ
ルから気体を吹き付けることにより、金属部品やヤトイ
に付着している水や処理液を速やかに吹き飛ばすため、
液切れを確実に行うことができ、次工程の処理槽への持
ち込みがなくなり、処理槽内の処理液の劣化を抑制する
ことができる。
According to the present invention, water or treatment liquid adhering to metal parts or toys is quickly blown off by blowing gas from an injection nozzle provided on the chuck.
The liquid can be surely drained, the carry-in to the processing tank in the next step is eliminated, and the deterioration of the processing liquid in the processing tank can be suppressed.

【0059】(6)水洗を行う水洗槽、処理液を充填し
た処理槽、乾燥を行う乾燥槽からなる複数の槽を二次元
的に配置した金属部品の化成処理装置において、前記各
槽の間で金属部品又は金属部品を保持するためのヤトイ
を保持するチャックに、金属部品表面に付着した液体を
吹き飛ばす気体の噴出ノズルが設けられていることを特
徴とする化成処理装置。
(6) In a chemical conversion treatment apparatus for metal parts, a plurality of tanks including a washing tank for washing with water, a treatment tank filled with a treatment liquid, and a drying tank for drying are two-dimensionally arranged. And a chuck for holding the metal part or a toy for holding the metal part is provided with a gas ejection nozzle for blowing off the liquid attached to the surface of the metal part.

【0060】この発明においては、複数の槽を二次元的
に配置するため、設置スペースを小さくすることができ
る。
In the present invention, since a plurality of tanks are arranged two-dimensionally, the installation space can be reduced.

【0061】[0061]

【発明の効果】以上説明したように、請求項1の発明に
よれば、水又は処理液による処理を行った直後に、その
水又は処理液の液切りを行うため、金属部品の出し入れ
に伴う前工程からの持ち込みによる劣化を抑えることが
でき、槽を小さくすることができ、設置スペースが小さ
くなると共に、多品種少量生産に適した処理を行うこと
ができる。
As described above, according to the first aspect of the present invention, the water or the processing liquid is drained immediately after the processing with the water or the processing liquid. Deterioration due to carry-in from the previous process can be suppressed, the size of the tank can be reduced, the installation space can be reduced, and processing suitable for high-mix low-volume production can be performed.

【0062】請求項2の発明によれば、金属部品やヤト
イから水や処理液が円滑に滑り落ちて次工程に持ち込ま
れないため、次工程での水や処理液の劣化を防止するこ
とができ、しかも、処理槽から持ち出される水や処理液
の持ち出し量が減るため、小さな処理槽であっても処理
液の交換や補充の頻度が少なくなる。
According to the second aspect of the present invention, since the water and the treatment liquid smoothly slide down from the metal parts and the toy and are not brought into the next step, it is possible to prevent the deterioration of the water and the treatment liquid in the next step. In addition, since the amount of water and processing liquid taken out of the processing tank is reduced, the frequency of replacement and replenishment of the processing liquid is reduced even in a small processing tank.

【0063】請求項3の発明によれば、噴出ノズルから
金属部品やヤトイに対して気体を吹き付けることによ
り、水や処理液を速やかに吹き飛ばすため、液切れを確
実に行うことができ、次工程の処理槽への持ち込みがな
くなり、処理槽内の処理液の劣化を抑制することができ
る。
According to the third aspect of the present invention, water or a processing liquid is quickly blown off by blowing a gas from a jet nozzle to a metal part or a toy, so that the liquid can be reliably drained. Can be prevented from being brought into the processing tank, and the deterioration of the processing liquid in the processing tank can be suppressed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】化成処理装置の斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of a chemical conversion treatment apparatus.

【図2】処理を行う槽の断面図である。FIG. 2 is a sectional view of a tank for performing a treatment.

【図3】チャックの側面図である。FIG. 3 is a side view of the chuck.

【図4】ヤトイの斜視図である。FIG. 4 is a perspective view of a yatoy.

【図5】別のチャックの部分斜視図である。FIG. 5 is a partial perspective view of another chuck.

【図6】従来の化成処理装置の斜視図である。FIG. 6 is a perspective view of a conventional chemical conversion treatment apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 化成処理装置 12 槽 17 チャック 22 噴出ノズル 11 Chemical conversion treatment device 12 Tank 17 Chuck 22 Spout nozzle

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 河上 育雄 東京都渋谷区幡ケ谷2丁目43番2号 オリ ンパス光学工業株式会社内 Fターム(参考) 4K026 AA06 AA25 BB01 DA07 DA10 DA11 DA12 EA08 EB00  ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Inventor Ikuo Kawakami F-term in Olympus Optical Co., Ltd. 2-43-2 Hatagaya, Shibuya-ku, Tokyo 4K026 AA06 AA25 BB01 DA07 DA10 DA11 DA12 EA08 EB00

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 水洗を行う水洗槽、処理液を充填した処
理槽、乾燥を行う乾燥槽からなる複数の槽を配置した表
面処理装置を用いて金属部品の表面処理を行う方法にお
いて、 水又は処理液による処理を行った直後に、その水又は処
理液の液切りを行うことを特徴とする金属部品の表面処
理方法。
1. A method for performing a surface treatment of a metal component using a surface treatment apparatus having a plurality of tanks including a washing tank for washing with water, a treatment tank filled with a treatment liquid, and a drying tank for drying. A method for treating a surface of a metal component, comprising draining the water or the treatment liquid immediately after the treatment with the treatment liquid.
【請求項2】 水洗を行う水洗槽、処理液を充填した処
理槽、乾燥を行う乾燥槽からなる複数の槽を配置した金
属部品の表面処理装置において、 前記金属部品を保持するヤトイ及び前記金属部品を搬送
するために前記ヤトイを保持するチャックの少なくとも
いずれかの表面が撥水性を備えていることを特徴とする
金属部品の表面処理装置。
2. A surface treating apparatus for a metal part, comprising a plurality of tanks including a washing tank for washing with water, a treatment tank filled with a treatment liquid, and a drying tank for drying, wherein a toy holding the metal part and the metal A surface treating apparatus for a metal part, wherein at least one surface of a chuck for holding the part for transporting the part has water repellency.
【請求項3】 水洗を行う水洗槽、処理液を充填した処
理槽、乾燥を行う乾燥槽からなる複数の槽を配置した金
属部品の表面処理装置において、 前記各槽の間で金属部品又は金属部品を保持するための
ヤトイを保持するチャックに、金属部品表面に付着した
液体を吹き飛ばす気体の噴出ノズルが設けられているこ
とを特徴とする金属部品の表面処理装置。
3. A surface treating apparatus for metal parts having a plurality of tanks including a washing tank for washing with water, a treatment tank filled with a treatment liquid, and a drying tank for drying, wherein the metal parts or the metal is disposed between the tanks. A surface treating apparatus for metal parts, characterized in that a chuck for holding the parts for holding the parts is provided with a gas ejection nozzle for blowing off the liquid adhering to the surface of the metal parts.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010007157A (en) * 2008-06-30 2010-01-14 Kida Seiko Kk Surface treatment line for sack-shaped workpiece and surface treatment method therefor
JP2021066909A (en) * 2019-10-21 2021-04-30 Dowaメタルテック株式会社 Processing method of object to be treated and processing apparatus

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010007157A (en) * 2008-06-30 2010-01-14 Kida Seiko Kk Surface treatment line for sack-shaped workpiece and surface treatment method therefor
JP2021066909A (en) * 2019-10-21 2021-04-30 Dowaメタルテック株式会社 Processing method of object to be treated and processing apparatus
JP7441023B2 (en) 2019-10-21 2024-02-29 Dowaメタルテック株式会社 Method and apparatus for processing objects to be processed

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