JP2000223649A - Chip scale ic package for multichip - Google Patents

Chip scale ic package for multichip

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JP2000223649A
JP2000223649A JP11022261A JP2226199A JP2000223649A JP 2000223649 A JP2000223649 A JP 2000223649A JP 11022261 A JP11022261 A JP 11022261A JP 2226199 A JP2226199 A JP 2226199A JP 2000223649 A JP2000223649 A JP 2000223649A
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package
chips
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scale
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Meichi Sen
明 智 宣
Seitoku Rin
正 ▲徳▼ 林
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a very small chip scale IC package only slightly larger than a chip contained therein by filling the gap between chips with an insulating material to cover the element surface of two chips while exposing the back face thereof thereby forming an insulation compound. SOLUTION: First and second chips 50, 52 have element surfaces 60, 62 facing the opposite side face of a film carrier 58 and bonding pads of two chips 50, 52 are connected electrically with a conductive wire 56 on a film carrier 58 through first and second conductive protrusions 64, 66. An insulating material fills the space between two chips 50, 52 to form an insulation compound 68. The insulation compound 68 seals only the conductive protrusions 64, 66 and the element surfaces 60, 62 of the chips 50, 52 such that the back faces 70, 72 of the first and second chips 50, 52 are exposed.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、集積回路(IC)
パッケージ技術に関し、より詳細には、内部に2つのチ
ップを組み込むことができ、その全体的な寸法は内部に
封入されたチップの寸法よりわずかに大きいだけである
マルチチップ用チップ・スケールICパッケージに関す
る。
The present invention relates to an integrated circuit (IC).
More particularly with respect to packaging technology, it relates to a multi-chip chip scale IC package in which two chips can be incorporated, the overall dimensions of which are only slightly larger than the dimensions of the chip encapsulated therein. .

【0002】[0002]

【従来の技術】集積回路(IC)製品の製造には、
(1)半導体ウェハを前処理する、(2)ウェハ上に金
属酸化物半導体トランジスタおよび多層相互接続部とい
った回路素子を形成する、(3)製造されたチップをパ
ッケージするという3つの段階が含まれる。パッケージ
技術の主な目標は、最終的なICパッケージの全体的な
寸法をできる限り小さくすることである。この目標を達
成しうる従来のパッケージ技術には、例えば、チップ・
スケール・パッケージ(CSP)およびマルチチップ・
モジュール(MCM)技術が含まれる。0.18μm以
下のサブミクロン・レベルの製造では、ICパッケージ
の寸法は高い集積度を提供する主要な関心事である。集
積度を増大するために、現在ICパッケージは、通常、
内部にチップを1つだけでなく、2つかそれ以上組み込
んでいる。こうしたICパッケージは慣例上マルチチッ
プICパッケージと呼ばれている。マルチチップICパ
ッケージはプロセッサ・チップとメモリ・チップ(DR
AMチップまたはフラッシュ・メモリ・チップ等)を一
緒に組み込むことも、論理チップとメモリ・チップを一
緒に組み込むこともできる。マルチチップICパッケー
ジ技術を使用することは、製造コストを引き下げるのに
役立つだけでなく、特殊な組立プロセスを追加すること
なくチップと外部回路との間の信号送信経路を短縮し、
チップの性能を向上させる。マルチチップICパッケー
ジ技術は、例えば、以下のような変更可能な機能と動作
周波数のマルチチップ・システムにも適用される。
BACKGROUND OF THE INVENTION In the manufacture of integrated circuit (IC) products,
Three steps are involved: (1) pretreating the semiconductor wafer, (2) forming circuit elements such as metal oxide semiconductor transistors and multilayer interconnects on the wafer, and (3) packaging the manufactured chip. . The primary goal of packaging technology is to minimize the overall dimensions of the final IC package. Conventional packaging technologies that can achieve this goal include, for example,
Scale package (CSP) and multi-chip
Module (MCM) technology is included. For submicron fabrication below 0.18 μm, IC package size is a major concern providing high integration. To increase the degree of integration, IC packages are now usually
Not only one chip but two or more chips are incorporated inside. Such an IC package is conventionally called a multi-chip IC package. The multi-chip IC package consists of a processor chip and a memory chip (DR
AM chips or flash memory chips, etc.), or logic and memory chips together. The use of multi-chip IC packaging technology not only helps to reduce manufacturing costs, but also shortens the signal transmission path between the chip and external circuits without adding special assembly processes,
Improve chip performance. The multi-chip IC package technology is also applied to, for example, a multi-chip system having the following changeable functions and operating frequencies.

【0003】1.メモリ・チップ、マイクロプロセッ
サ、抵抗、コンデンサおよびインダクタを備えるシステ
ム。
[0003] 1. A system comprising a memory chip, a microprocessor, resistors, capacitors and inductors.

【0004】2.メモリ・チップ(DRAM)、論理回
路チップおよびメモリ・チップ(フラッシュ・メモリ)
を備えるシステム。
[0004] 2. Memory chip (DRAM), logic circuit chip and memory chip (flash memory)
A system comprising:

【0005】3.アナログ・チップ、論理回路チップ、
メモリ・チップ(DRAM、SRAM、フラッシュ・メ
モリを含む)、抵抗、コンデンサおよびインダクタを備
えるシステム。
[0005] 3. Analog chips, logic circuit chips,
A system comprising a memory chip (including DRAM, SRAM, flash memory), resistors, capacitors and inductors.

【0006】図1は、MCM技術によってパッケージさ
れた従来のICパッケージの断面図である。この種類の
ICパッケージは、慣例上、マルチチップICパッケー
ジと呼ばれている。図に示すように、このICパッケー
ジは多段PCBである基板10の上に構成されている。
複数のチップ12が絶縁接着剤14によって基板10上
に設置されている。ワイヤ・ボンディング技術が使用さ
れ、チップ12を複数のボンディング・ワイヤ16を通
じて基板10上の複数の接続部(図示せず)に電気的に
接続する。また、フリップ・チップまたはコントロール
・コラプス・チップ接続技術(C4)が使用され、チッ
プ12を図示しない導電性突起(バンプ)によって基板
10上に電気的に接続することもある。チップ12が基
板10上の定位置に設置された後、樹脂コンパウンド1
8が形成され、チップ12を密封する。その後、複数の
錫製ボール20が、ボール・グリッド・アレー(BG
A)技術を使用して基板10の下側に配置される。この
錫製ボール20は製造されたICパッケージを回路基板
(図示せず)に接着し、電気的に接続するために使用さ
れる。
FIG. 1 is a cross-sectional view of a conventional IC package packaged by MCM technology. This type of IC package is conventionally called a multi-chip IC package. As shown in the figure, this IC package is configured on a substrate 10 which is a multi-stage PCB.
A plurality of chips 12 are mounted on the substrate 10 by an insulating adhesive 14. Wire bonding techniques are used to electrically connect the chip 12 to a plurality of connections (not shown) on the substrate 10 through a plurality of bonding wires 16. Further, a flip chip or control collapse chip connection technique (C4) is used, and the chip 12 may be electrically connected to the substrate 10 by a conductive protrusion (bump) (not shown). After the chip 12 is set at a fixed position on the substrate 10, the resin compound 1
8 are formed and seal the chip 12. Thereafter, a plurality of tin balls 20 are placed in a ball grid array (BG).
A) It is placed below the substrate 10 using a technique. The tin balls 20 are used for bonding the manufactured IC package to a circuit board (not shown) and electrically connecting the IC package to the circuit board (not shown).

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかし、図1のマルチ
チップICパッケージの1つの欠点は、チップ12が同
一平面上に並んで配置されるという事実のため、全体的
な寸法がかなり大きいことである。さらに、チップ12
と錫製ボール20を介して接続される外部回路との間の
信号送信経路もかなり長い。C4技術を使用することに
よって、パッケージの寸法を縮小することはできるが、
さらに実績のある高品質ダイ(KGD)技術を使用しな
ければならないため、試験の実行が困難になる。その結
果、歩留まりが低くなりコストが上昇する。KGD技術
を使用することによってパッケージのコストはかなり上
昇する。
However, one disadvantage of the multi-chip IC package of FIG. 1 is that its overall dimensions are quite large due to the fact that the chips 12 are arranged side by side on the same plane. is there. Further, the chip 12
The signal transmission path between the circuit and the external circuit connected via the tin ball 20 is also considerably long. By using C4 technology, the package size can be reduced,
In addition, the need to use proven high quality die (KGD) technology makes testing difficult to perform. As a result, the yield decreases and the cost increases. The use of KGD technology significantly increases the cost of the package.

【0008】マルチチップICパッケージの寸法を縮小
する解決法が米国特許第5,331,235号で開示さ
れているが、これはチップを向き合うように配置するこ
とによってパッケージ全体の寸法を大きく縮小するもの
である。開示されたパッケージ構造を図2に概略的に示
す。図に示すように、この対面形のマルチチップICパ
ッケージは、テープ自動化ボンディング(TAB)技術
を使用して向き合うように配置された2つのチップ3
0、32を組み込むように設計されている。2つのチッ
プ30、32について導電性突起34、36を使用する
ことによって内部リード・ボンディング(ILB)プロ
セスが実行され、チップ30、32上のボンディング・
パッド(図示せず)をフィルム・キャリア38上の対応
する箇所に接着し電気的に接続する。一方、フィルム・
キャリア38をリード・フレーム40に接続することに
よって外部リード・ボンディング(OLB)プロセスが
実行される。さらに、錫製ボール42が2つのチップ3
0、32の間に配置され、2つのチップ30、32を相
互接続する。最後に、樹脂コンパウンド44が形成さ
れ、2つのチップ30、32の全体、フィルム・キャリ
ア38の全体およびリードフレーム40の一部を密封す
る。これによってチップ30、32のICパッケージへ
のパッケージが完了する。
A solution for reducing the size of a multi-chip IC package is disclosed in US Pat. No. 5,331,235, which greatly reduces the overall package size by placing the chips face-to-face. Things. The disclosed package structure is schematically illustrated in FIG. As shown, this face-to-face multi-chip IC package consists of two chips 3 positioned face to face using tape automated bonding (TAB) technology.
It is designed to incorporate 0,32. An internal lead bonding (ILB) process is performed by using the conductive protrusions 34, 36 for the two chips 30, 32, and the bonding bonding on the chips 30, 32 is performed.
Pads (not shown) are glued and electrically connected to corresponding locations on the film carrier 38. On the other hand, film
An external lead bonding (OLB) process is performed by connecting the carrier 38 to the lead frame 40. Further, the tin ball 42 is provided with two chips 3.
0, 32 and interconnects the two chips 30, 32. Finally, a resin compound 44 is formed, which seals the entire two chips 30, 32, the entire film carrier 38 and a part of the lead frame 40. This completes the packaging of the chips 30, 32 into an IC package.

【0009】しかし、上記図2のマルチチップICパッ
ケージの一つの欠点は、TAB技術を使用することによ
ってチップ30、32と外部回路(図示せず)との間の
信号送信経路がかなり長くなることである。さらに、チ
ップ30、32を封入するために樹脂コンパウンド44
を使用するため、最終的なICパッケージの全体的な寸
法はかなり大きくなり、ICパッケージは小型でない、
熱放散の効率が低いものとなる。
However, one disadvantage of the multi-chip IC package of FIG. 2 is that the use of TAB technology significantly lengthens the signal transmission path between the chips 30, 32 and external circuits (not shown). It is. Further, a resin compound 44 is used to encapsulate the chips 30 and 32.
, The overall dimensions of the final IC package are significantly larger, and the IC package is not
The efficiency of heat dissipation is low.

【0010】本発明は、寸法が内部に収容されたチップ
よりわずかに大きいだけであるマルチチップ用チップ・
スケールICパッケージを提供する。
The present invention relates to a multi-chip chip whose dimensions are only slightly larger than the chip housed therein.
A scale IC package is provided.

【0011】封入されたチップと外部回路との間の信号
送信経路は従来技術と比較して短縮される。さらに、熱
放散効率が従来技術と比較して向上する。
[0011] The signal transmission path between the encapsulated chip and the external circuit is shortened as compared with the prior art. Furthermore, the heat dissipation efficiency is improved compared to the prior art.

【0012】さらに、本発明で提供されるマルチチップ
用チップ・スケールICパッケージは、従来技術の場合
のようにKGD技術を使用する必要なしにパッケージ・
プロセス中に直接試験することができる。
Furthermore, the chip scale IC package for a multi-chip provided by the present invention can be used without the need to use the KGD technology as in the prior art.
Can be tested directly during the process.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】マルチチップ用チップ・
スケールICパッケージが提供される。本発明によれ
ば、フリップ・チップまたはコントロール・コラプス・
チップ接続技術を使用して2つのチップがフィルム・キ
ャリア上に向き合うように設置されるが、そこでは導電
性突起が使用され、2つのチップを絶縁フィルム上の対
応する導電性ワイヤに接着し電気的に接続する。さら
に、2つのチップの素子表面を覆う一方でその背面を露
出するような形で2つのチップの間に充填された絶縁材
から絶縁コンパウンドが形成される。この配置によって
チップと外部回路との間の信号送信経路は従来技術より
短縮され、チップの性能が向上する。
[MEANS FOR SOLVING THE PROBLEMS] Multi-chip chip
A scale IC package is provided. According to the present invention, a flip chip or control collapse
Using chip connection technology, two chips are placed face-to-face on a film carrier, where conductive protrusions are used to glue the two chips to the corresponding conductive wires on the insulating film, Connection. Further, an insulating compound is formed from the insulating material filled between the two chips so as to cover the element surfaces of the two chips while exposing the back surfaces thereof. With this arrangement, the signal transmission path between the chip and the external circuit is shorter than in the prior art, and the performance of the chip is improved.

【0014】さらに、本発明のマルチチップ用チップ・
スケールICパッケージは回路基板の上に設置してIC
基板を構成することができ、1つのチップの背面を回路
基板上のプリント回路配線に、またもう1つのチップの
背面を熱放散装置にそれぞれ結合することによって高い
熱放散効率を可能にする。さらに、絶縁フィルムには絶
縁コンパウンドが形成される際絶縁材で充填される複数
の固定開口部が必要に応じて形成され、絶縁コンパウン
ドをフィルム・キャリアにより堅固に固定するのに役立
つ。従って、パッケージの品質が改善され信頼性が向上
する。
Further, the multichip chip of the present invention
Scale IC package is installed on a circuit board
A substrate can be constructed, which allows for high heat dissipation efficiency by coupling the back of one chip to printed circuit wiring on a circuit board and the back of another chip to a heat dissipation device. Further, the insulating film is optionally provided with a plurality of fixed openings filled with insulating material when the insulating compound is formed, which helps to secure the insulating compound more firmly to the film carrier. Therefore, the quality of the package is improved and the reliability is improved.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】マルチチップICのパッケージ・
プロセスには通常(1)適当なキャリアを選択する、
(2)チップを選択されたキャリアに電気的に接続す
る、および(3)コンパウンド成形処理を行い、絶縁コ
ンパウンドを形成しチップを封入する、という3つの段
階が含まれる。第1段階では、キャリアとはリードフレ
ーム、フィルム・キャリアまたはプリント基板(PC
B)である。TAB技術を使用する場合、フィルム・キ
ャリアを使用することが好適である。第2段階では、使
用される技術はワイヤ・ボンディング技術またはTAB
技術、またはフリップ・チップまたはコントロール・コ
ラプス・チップ接続(C4)技術である。第3段階で
は、樹脂またはセラミックが使用されて絶縁コンパウン
ドが形成され、チップをICパッケージに密封する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Package of Multi-chip IC
The process usually involves (1) choosing an appropriate carrier,
Three steps are involved: (2) electrically connecting the chip to the selected carrier, and (3) performing a compound molding process to form an insulating compound and enclose the chip. In the first stage, the carrier is a lead frame, film carrier or printed circuit board (PC
B). When using TAB technology, it is preferred to use a film carrier. In the second stage, the technology used is wire bonding technology or TAB
Technology, or flip chip or control collapse chip connection (C4) technology. In a third step, a resin or ceramic is used to form an insulating compound, and the chip is sealed in an IC package.

【0016】図3は、本発明のマルチチップ用チップ・
スケールICパッケージの断面図である。この好適な実
施形態では、内部に2つのチップ50、52を組み込む
マルチチップ用チップ・スケールICパッケージが使用
されるが、その全体的な寸法は内部に組み込まれたチッ
プ50、52よりわずかに大きいだけである。チップ5
0、52は寸法がほぼ等しく、DRAM(ダイナミック
RAM)チップ、ROM(読み出し専用メモリ)チッ
プ、論理回路チップおよびアナログ回路チップといった
何らかの種類の集積回路である。本発明によれば、絶縁
フィルム54と複数の導電性ワイヤ56からなるフィル
ム・キャリア58が使用され、チップ50、52を設置
する。
FIG. 3 shows a chip for a multichip according to the present invention.
It is sectional drawing of a scale IC package. In this preferred embodiment, a multi-chip chip scale IC package incorporating two chips 50, 52 therein is used, but its overall dimensions are slightly larger than the chips 50, 52 incorporated therein. Only. Chip 5
Numerals 0 and 52 are almost the same size and are some kind of integrated circuit such as a DRAM (Dynamic RAM) chip, a ROM (Read Only Memory) chip, a logic circuit chip and an analog circuit chip. According to the present invention, a film carrier 58 comprising an insulating film 54 and a plurality of conductive wires 56 is used to place the chips 50,52.

【0017】第1のチップ50は素子表面60を有し、
その上に様々な回路素子(図示せず)が形成される。ま
た第2のチップ52は素子表面62を有し、その上に様
々な回路素子(図示せず)が形成される。2つのチップ
50、52は向き合って配置され、第1のチップ50の
素子表面60が第2のチップ52の素子表面62に対面
する。複数の第1の導電性突起64が第1のチップ50
の素子表面60に形成され、各々第1のチップ50の素
子表面60上のボンディング・パッド(図示せず)の1
つに接着され電気的に接続される。また同様に、複数の
第2の導電性突起66が第2のチップ52の素子表面6
2に形成され、各々第2のチップ52の素子表面62上
のボンディング・パッド(図示せず)の1つに接着され
電気的に接続される。第1のチップ50の素子表面60
と第2のチップ52の素子表面62はフィルム・キャリ
ア58の反対側の側面に向き合って配置され、2つのチ
ップ50、52のボンディング・パッド(図示せず)は
第1および第2の導電性突起64、66を介してフィル
ム・キャリア58上の導電性ワイヤ56に電気的に接続
される。
The first chip 50 has an element surface 60,
Various circuit elements (not shown) are formed thereon. The second chip 52 has an element surface 62, on which various circuit elements (not shown) are formed. The two chips 50, 52 are arranged facing each other, and the element surface 60 of the first chip 50 faces the element surface 62 of the second chip 52. The plurality of first conductive protrusions 64 form the first chip 50.
And one of bonding pads (not shown) on the element surface 60 of the first chip 50.
And are electrically connected. Similarly, the plurality of second conductive protrusions 66 are formed on the element surface 6 of the second chip 52.
2 and each is bonded and electrically connected to one of the bonding pads (not shown) on the element surface 62 of the second chip 52. Element surface 60 of first chip 50
And the device surface 62 of the second chip 52 is disposed opposite the side surface of the film carrier 58, and the bonding pads (not shown) of the two chips 50, 52 have first and second conductive layers. It is electrically connected to the conductive wire 56 on the film carrier 58 via the protrusions 64, 66.

【0018】コンパウンド成形プロセスでは、エポキシ
のような絶縁材が2つのチップ50、52の間の空間を
満たし、絶縁コンパウンド(絶縁封止部)68を形成す
る。絶縁コンパウンド68が、導電性突起64、66と
2つのチップ50、52の素子表面60、62だけを封
入し、第1のチップ50の背面70と第2のチップ52
の背面72を露出するような形で形成されることが本発
明の特徴である。これでマルチチップ用チップ・スケー
ルICパッケージの組立が完了する。図3に例示される
ように、最終的なICパッケージは高さが非常に小さ
く、全体的なパッケージの寸法は非常に小型になる。さ
らに、チップ50、52の背面70、72が露出してい
るため、チップ50、52からの熱放散が促進される。
In the compound molding process, an insulating material, such as epoxy, fills the space between the two chips 50, 52 to form an insulating compound (insulation encapsulation) 68. An insulating compound 68 encapsulates only the conductive protrusions 64, 66 and the element surfaces 60, 62 of the two chips 50, 52, the back surface 70 of the first chip 50 and the second chip 52.
It is a feature of the present invention that it is formed in such a manner as to expose the back surface 72 thereof. This completes the assembly of the multi-chip chip scale IC package. As illustrated in FIG. 3, the final IC package is very small in height and the overall package dimensions are very small. Further, since the back surfaces 70 and 72 of the chips 50 and 52 are exposed, heat dissipation from the chips 50 and 52 is promoted.

【0019】本発明によって、チップ50、52と外部
回路(図示せず)との間の信号送信経路は導電性ワイヤ
56と導電性突起64、66を含むだけとなり、従来技
術よりかなり短くなる。導電性ワイヤ56を折り曲げる
後続のプロセスと表面実装技術(SMT)による完成し
たICパッケージの基板(図示せず)への設置は従来技
術であるので、ここでは詳細に説明しない。
In accordance with the present invention, the signal transmission path between chips 50, 52 and external circuitry (not shown) only includes conductive wires 56 and conductive protrusions 64, 66, which is significantly shorter than in the prior art. The subsequent process of bending the conductive wires 56 and the installation of the completed IC package on a substrate (not shown) by surface mount technology (SMT) is conventional and will not be described in detail here.

【0020】様々な種類のフィルム・キャリアを使用し
て図3に示された本発明のICパッケージのフィルム・
キャリア58を実現することができるが、それらはそれ
ぞれ図4〜図7に示される。
The film package of the IC package of the present invention shown in FIG. 3 using various types of film carriers.
Carriers 58 can be implemented, each of which is shown in FIGS.

【0021】図4を参照すると、フィルム・キャリア5
8の第1の例は、長いリードのカンチレバー形フィルム
・キャリアで、絶縁フィルム54からなり、その上に銅
ワイヤのような複数の導電性ワイヤ56が配置される。
自動パッケージを促進するために、絶縁フィルム54の
端部には2列の案内孔80が形成されている。導電性ワ
イヤ56は各々絶縁フィルム54に取り付けられた外部
リードを有する。
Referring to FIG. 4, the film carrier 5
A first example of 8 is a long lead cantilevered film carrier comprising an insulating film 54 on which a plurality of conductive wires 56, such as copper wires, are placed.
Two rows of guide holes 80 are formed at the end of the insulating film 54 to facilitate automatic packaging. The conductive wires 56 each have external leads attached to the insulating film 54.

【0022】図5を参照すると、フィルム・キャリア5
8の第2の例は、自由余裕リング82が設けられ、導電
性ワイヤ56の内部リード部分を支持している点だけが
図4の第1の例と異なっている。この自由余裕リング8
2が設けられることは、導電性ワイヤ56をよりしっか
りと定位置に固定するのに役立つ。
Referring to FIG. 5, the film carrier 5
The second example of FIG. 8 differs from the first example of FIG. 4 only in that a free margin ring 82 is provided and supports the inner lead portion of the conductive wire 56. This free margin ring 8
The provision of 2 helps to secure the conductive wire 56 more firmly in place.

【0023】図6を参照すると、フィルム・キャリア5
8の第3の例は、導電性ワイヤ56の内部リード部分を
支持するコーナ支持リング84が設けられている点でだ
け図4および図5の前の2つの例と異なっている。この
コーナ支持リング84は絶縁フィルム54に連結されて
いるが、図5に示される自由余裕リング82はそうでな
いという点で、図5に示される自由余裕リング82と異
なっている。このコーナ支持リング84が設けられるこ
とは、導電性ワイヤ56をよりしっかりと定位置に固定
するのに役立つ。
Referring to FIG. 6, the film carrier 5
The third example of FIG. 8 differs from the previous two examples of FIGS. 4 and 5 only in that a corner support ring 84 is provided for supporting the inner lead portion of the conductive wire 56. This corner support ring 84 is connected to the insulating film 54, but differs from the free allowance ring 82 shown in FIG. 5 in that the free allowance ring 82 shown in FIG. 5 is not. The provision of this corner support ring 84 helps to secure the conductive wire 56 more securely in place.

【0024】図7を参照すると、フィルム・キャリア5
8の第4の例は、特に絶縁コンパウンド68のフィルム
・キャリア58への固定を強化する目的で本発明に従っ
て設計されている。フィルム・キャリア58の第4の例
は、コーナ支持リング84に複数の固定開口部86が形
成されている点以外は図6に示される第3の例と構造上
ほぼ同一である。固定開口部86は十字形、円形または
正方形といったどんな形状でも良い。例えば、図7の実
施形態では、固定開口部86は十字形の形状である。
Referring to FIG. 7, the film carrier 5
The fourth example of 8 is designed according to the invention, in particular for the purpose of enhancing the fixing of the insulating compound 68 to the film carrier 58. The fourth example of the film carrier 58 is substantially similar in structure to the third example shown in FIG. 6 except that a plurality of fixed openings 86 are formed in the corner support ring 84. The fixed opening 86 can be any shape, such as a cross, a circle or a square. For example, in the embodiment of FIG. 7, the fixed opening 86 has a cross shape.

【0025】図8は、図7に示される第4の例のフィル
ム・キャリア58を利用する場合の本発明のICパッケ
ージの断面図である。図7で符号88で示される破線の
四角形によって囲まれる範囲が絶縁コンパウンド68に
よって封入される範囲である。絶縁材は、この範囲88
を満たして絶縁コンパウンド68を形成するとき、コー
ナ支持リング84の固定開口部86をも満たすので、結
果として形成される絶縁コンパウンド68がフィルム・
キャリア58によりよく固定されるようになる。この固
定されたコンパウンド68によって、内部に封入された
チップ50、52は定位置によりよく固定される。
FIG. 8 is a cross-sectional view of the IC package of the present invention when the fourth example of the film carrier 58 shown in FIG. 7 is used. The area enclosed by the dashed square indicated by reference numeral 88 in FIG. 7 is the area enclosed by the insulating compound 68. Insulation is in this range 88
To form the insulating compound 68, it also fills the fixed opening 86 of the corner support ring 84 so that the resulting insulating compound 68
The carrier 58 can be more securely fixed. With the fixed compound 68, the chips 50 and 52 sealed therein are fixed in position well.

【0026】図9は、IC基板を構成する回路基板10
0への本発明のマルチチップ用チップ・スケールICパ
ッケージの設置を示す断面図である。回路基板100は
基板102と基板102上の複数のプリント回路配線1
04、106からなる。基板102は、例えば、多段P
CB基板である。本発明によれば、マルチチップ用チッ
プ・スケールICパッケージは、例えば、表面実装技術
(SMT)により、フィルム・キャリア58上の導電性
ワイヤ56を回路基板100上のプリント回路配線10
4に接続することによって回路基板100上に設置され
る。さらに、第2のチップ52の背面72は、アース配
線(図示せず)に接続されたプリント回路配線106に
接触するよう配置され、ICパッケージに第2のチップ
52の背面72を通じてアースに至る熱放散経路を形成
する。さらに、熱放散装置108を第1のチップ50の
背面70に設置し、別の熱放散経路を形成することがで
きる。従って、本発明のマルチチップ用チップ・スケー
ルICパッケージの熱放散効率は従来技術よりかなり良
好である。
FIG. 9 shows a circuit board 10 constituting an IC board.
FIG. 2 is a cross-sectional view showing the installation of the multi-chip chip scale IC package of the present invention at 0. The circuit board 100 includes a board 102 and a plurality of printed circuit wirings 1 on the board 102.
04 and 106. The substrate 102 is, for example, a multi-stage P
It is a CB substrate. According to the present invention, a chip scale IC package for a multi-chip is formed by connecting conductive wires 56 on a film carrier 58 to a printed circuit wiring 10 on a circuit board 100 by, for example, surface mounting technology (SMT).
4 and installed on the circuit board 100. Further, the rear surface 72 of the second chip 52 is disposed so as to be in contact with the printed circuit wiring 106 connected to the ground wiring (not shown). Form a radiation path. Further, the heat dissipation device 108 can be installed on the back surface 70 of the first chip 50 to form another heat dissipation path. Therefore, the heat dissipation efficiency of the multi-chip chip scale IC package of the present invention is considerably better than the prior art.

【0027】本発明のもう1つの利点は、本発明がフィ
ルム・キャリアに基づいているため、従来技術の場合の
ようにKGD技術を使用する必要なしに、パッケージ・
プロセス中に直接試験できることである。従って、本発
明のマルチチップ用チップ・スケールICパッケージの
製造コストは低減される。
Another advantage of the present invention is that, since the present invention is based on a film carrier, it does not require the use of KGD technology as in the prior art, so that the package
It can be tested directly during the process. Accordingly, the manufacturing cost of the multi-chip chip scale IC package of the present invention is reduced.

【0028】[0028]

【発明の効果】結論として、本発明のマルチチップ用チ
ップ・スケールICパッケージは従来技術に対して次の
ような利点を有する。
In conclusion, the chip scale IC package for a multichip of the present invention has the following advantages over the prior art.

【0029】第1に、本発明によってマルチチップ用チ
ップ・スケールICパッケージの全体的な寸法は内部に
封入されたチップの寸法よりわずかに大きいだけとな
り、ICパッケージは非常に小型になる。
First, the overall dimensions of the multi-chip chip scale IC package are only slightly larger than the dimensions of the chip encapsulated therein, and the IC package is very small.

【0030】第2に、本発明によってチップと外部回路
との間の信号送信経路は従来技術より短くなり、チップ
の性能が向上する。
Second, according to the present invention, the signal transmission path between the chip and the external circuit is shorter than that of the prior art, and the performance of the chip is improved.

【0031】第3に、本発明ではICパッケージ中のチ
ップの背面が露出し、1つのチップの背面が回路基板上
のプリント回路配線に結合され、もう1つのチップの背
面が熱放散装置に結合されるような形で配置されること
によって、高い熱放散効率が可能になる。
Third, in the present invention, the back surface of a chip in an IC package is exposed, the back surface of one chip is connected to printed circuit wiring on a circuit board, and the back surface of another chip is connected to a heat dissipation device. This arrangement allows for high heat dissipation efficiency.

【0032】第4に、本発明によって、KGD技術を使
用する必要なしにパッケージ・プロセス中に製造された
ICパッケージの試験を行うことが可能になる。従っ
て、本発明のマルチチップ用チップ・スケールICパッ
ケージの製造コストは従来技術と比較して低減される。
Fourth, the present invention allows testing of IC packages manufactured during the packaging process without having to use KGD technology. Therefore, the manufacturing cost of the multi-chip chip scale IC package of the present invention is reduced as compared with the prior art.

【0033】例示としての好適な実施形態により本発明
を説明してきたが、本発明の範囲が上記実施形態に限定
されないことを理解されたい。それどころか、種々の修
正および類似の装置も本発明の範囲内に含まれる。それ
故、上記すべての修正および類似の装置を包含するよう
に特許請求の範囲を広く解釈すべきである。
While the invention has been described by way of exemplary preferred embodiments, it should be understood that the scope of the invention is not limited to the embodiments described above. On the contrary, various modifications and similar arrangements are included within the scope of the invention. Therefore, the appended claims should be construed broadly to include all such modifications and similar devices.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】従来のマルチチップ・モジュールICパッケー
ジの断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view of a conventional multichip module IC package.

【図2】従来の対面形マルチチップICパッケージの断
面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view of a conventional facing multichip IC package.

【図3】本発明のマルチチップ用チップ・スケールIC
パッケージの断面図である。
FIG. 3 is a chip scale IC for a multichip according to the present invention.
It is sectional drawing of a package.

【図4】本発明のマルチチップ用チップ・スケールIC
パッケージで利用されるフィルム・キャリアを示す図で
ある。
FIG. 4 is a chip scale IC for a multichip according to the present invention.
FIG. 3 is a diagram showing a film carrier used in a package.

【図5】本発明のマルチチップ用チップ・スケールIC
パッケージで利用されるフィルム・キャリアを示す図で
ある。
FIG. 5 is a chip scale IC for a multichip of the present invention.
FIG. 3 is a diagram showing a film carrier used in a package.

【図6】本発明のマルチチップ用チップ・スケールIC
パッケージで利用されるフィルム・キャリアを示す図で
ある。
FIG. 6 is a chip scale IC for a multichip according to the present invention.
FIG. 3 is a diagram showing a film carrier used in a package.

【図7】本発明のマルチチップ用チップ・スケールIC
パッケージで利用されるフィルム・キャリアを示す図で
ある。
FIG. 7 is a chip scale IC for a multichip of the present invention.
FIG. 3 is a diagram showing a film carrier used in a package.

【図8】図7に示す種類のフィルム・キャリアを利用す
る場合の本発明のICパッケージの断面図である。
FIG. 8 is a cross-sectional view of the IC package of the present invention when utilizing a film carrier of the type shown in FIG.

【図9】回路基板上の本発明のマルチチップ用チップ・
スケールICパッケージの設置を示す断面図である。
FIG. 9 shows a multichip chip of the present invention on a circuit board.
It is sectional drawing which shows installation of a scale IC package.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

50,52 チップ 54 絶縁フィルム 56 導電性ワイヤ 58 フィルム・キャリア 64,66 導電性突起 68 絶縁コンパウンド 50,52 Chip 54 Insulating film 56 Conductive wire 58 Film carrier 64,66 Conductive protrusion 68 Insulating compound

Claims (12)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 マルチチップ用チップ・スケールICパ
ッケージであって、 絶縁フィルムとこの絶縁フィルム上に設置された複数の
導電性ワイヤとからなるフィルム・キャリアと、 複数の第1の導電性突起によって前記絶縁フィルム上の
対応する導電性ワイヤに電気的に接続された第1のチッ
プと、 複数の第2の導電性突起によって前記絶縁フィルム上の
対応する導電性ワイヤに電気的に接続された第2のチッ
プであって、前記絶縁フィルムの反対側に前記第1のチ
ップと向き合って配置される第2のチップと、 前記第1および第2のチップの素子表面を覆う一方でそ
れらの背面を露出するように前記第1および第2のチッ
プ間に絶縁材が形成された絶縁封止部とを備えることを
特徴とするマルチチップ用チップ・スケールICパッケ
ージ。
1. A chip scale IC package for a multichip, comprising: a film carrier including an insulating film and a plurality of conductive wires provided on the insulating film; and a plurality of first conductive protrusions. A first chip electrically connected to a corresponding conductive wire on the insulating film, and a first chip electrically connected to the corresponding conductive wire on the insulating film by a plurality of second conductive protrusions. A second chip disposed on the opposite side of the insulating film to face the first chip, and covering the element surfaces of the first and second chips while keeping their back surfaces A chip scale IC package for a multi-chip, comprising: an insulating sealing portion having an insulating material formed between the first and second chips so as to be exposed.
【請求項2】 請求項1に記載のマルチチップ用チップ
・スケールICパッケージにおいて、前記フィルム・キ
ャリアは前記導電性ワイヤの内部リード部分を支持する
自由余裕リングを有することを特徴とするマルチチップ
用チップ・スケールICパッケージ。
2. The multi-chip chip scale IC package according to claim 1, wherein said film carrier has a free margin ring for supporting an inner lead portion of said conductive wire. Chip scale IC package.
【請求項3】 請求項1に記載のマルチチップ用チップ
・スケールICパッケージにおいて、前記フィルム・キ
ャリアは前記導電性ワイヤの内部リード部分を支持する
コーナ支持リングを有することを特徴とするマルチチッ
プ用チップ・スケールICパッケージ。
3. The multi-chip chip scale IC package according to claim 1, wherein said film carrier has a corner support ring for supporting an inner lead portion of said conductive wire. Chip scale IC package.
【請求項4】 請求項3に記載のマルチチップ用チップ
・スケールICパッケージにおいて、前記絶縁封止部を
形成するとき、該絶縁封止部の前記フィルム・キャリア
への固定を促進するために前記絶縁材で充填される少な
くとも1つの固定開口部が前記絶縁フィルムに形成され
ることを特徴とするマルチチップ用チップ・スケールI
Cパッケージ。
4. The chip scale IC package for a multi-chip according to claim 3, wherein said insulating sealing portion is formed in order to promote fixing of said insulating sealing portion to said film carrier. At least one fixed opening filled with an insulating material is formed in said insulating film.
C package.
【請求項5】 請求項1に記載のマルチチップ用チップ
・スケールICパッケージにおいて、前記マルチチップ
用チップ・スケールICパッケージが回路基板に設置さ
れるとき、前記第2のチップの前記背面が前記回路基板
上のプリント回路配線に接触することを特徴とするマル
チチップ用チップ・スケールICパッケージ。
5. The multi-chip chip scale IC package according to claim 1, wherein when the multi-chip chip scale IC package is mounted on a circuit board, the back surface of the second chip is the circuit. A chip-scale IC package for a multi-chip, which is in contact with a printed circuit wiring on a substrate.
【請求項6】 請求項5に記載のマルチチップ用チップ
・スケールICパッケージにおいて、前記第1のチップ
の前記背面に熱放散装置が設置されていることを特徴と
するマルチチップ用チップ・スケールICパッケージ。
6. The multi-chip chip scale IC according to claim 5, wherein a heat dissipation device is provided on the back surface of the first chip. package.
【請求項7】 IC基板であって、 基板と、 前記基板上に形成された複数のプリント回路配線と、 前記基板上に設置されたマルチチップ用チップ・スケー
ルICパッケージとを備え、該マルチチップ用チップ・
スケールICパッケージは、 絶縁フィルムとこの絶縁フィルム上に設置された複数の
導電性ワイヤとからなるフィルム・キャリアであって、
前記導電性ワイヤが前記基板上の前記プリント回路配線
の対応する1つに電気的に接続されるフィルム・キャリ
アと、 複数の第1の導電性突起によって前記絶縁フィルム上の
対応する導電性ワイヤに電気的に接続される第1のチッ
プと、 複数の第2の導電性突起によって前記絶縁フィルム上の
対応する導電性ワイヤに電気的に接続される第2のチッ
プであって、前記絶縁フィルムの反対側で前記第1のチ
ップと向き合って配置される第2のチップと、 前記第1および第2のチップの素子表面を覆う一方でそ
れらの背面を露出するように前記第1および第2のチッ
プ間に絶縁材が形成された絶縁封止部とを含むことを特
徴とするIC基板。
7. An IC substrate, comprising: a substrate; a plurality of printed circuit wirings formed on the substrate; and a multi-chip chip scale IC package installed on the substrate. Tips for
The scale IC package is a film carrier including an insulating film and a plurality of conductive wires provided on the insulating film,
A film carrier wherein the conductive wires are electrically connected to a corresponding one of the printed circuit traces on the substrate; and a plurality of first conductive protrusions to a corresponding conductive wire on the insulating film. A first chip that is electrically connected, and a second chip that is electrically connected to a corresponding conductive wire on the insulating film by a plurality of second conductive protrusions, A second chip disposed opposite the first chip on the opposite side; and the first and second chips so as to cover the element surfaces of the first and second chips while exposing their back surfaces. An IC substrate comprising: an insulating sealing portion in which an insulating material is formed between chips.
【請求項8】 請求項7に記載のIC基板において、前
記フィルム・キャリアは、前記導電性ワイヤの内部リー
ド部分を支持する自由余裕リングを有することを特徴と
するIC基板。
8. The IC substrate according to claim 7, wherein said film carrier has a free margin ring for supporting an inner lead portion of said conductive wire.
【請求項9】 請求項7に記載のIC基板において、前
記フィルム・キャリアは、前記導電性ワイヤの内部リー
ド部分を支持するコーナ支持リングを有することを特徴
とするIC基板。
9. The IC board according to claim 7, wherein said film carrier has a corner support ring for supporting an inner lead portion of said conductive wire.
【請求項10】 請求項9に記載のIC基板において、
前記絶縁封止部を形成するとき、該絶縁封止部の前記フ
ィルム・キャリアへの固定を促進するために前記絶縁材
で充填される少なくとも1つの固定開口部が前記絶縁フ
ィルムに形成されることを特徴とするIC基板。
10. The IC substrate according to claim 9, wherein
When forming the insulating seal, at least one fixing opening filled with the insulating material is formed in the insulating film to facilitate fixing the insulating seal to the film carrier. An IC substrate characterized by the above-mentioned.
【請求項11】 請求項7に記載のIC基板において、
前記マルチチップ用チップ・スケールICパッケージが
回路基板上に設置されるとき、前記第2のチップの前記
背面が前記回路基板上のプリント回路配線に接触するこ
とを特徴とするIC基板。
11. The IC substrate according to claim 7, wherein
An IC substrate, wherein when the chip scale IC package for a multichip is mounted on a circuit board, the back surface of the second chip contacts printed circuit wiring on the circuit board.
【請求項12】 請求項11に記載のIC基板におい
て、前記第1のチップの前記背面に熱放散装置が設置さ
れることを特徴とするIC基板。
12. The IC substrate according to claim 11, wherein a heat dissipation device is provided on the back surface of the first chip.
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