JP2000222986A - 真空バルブ - Google Patents
真空バルブInfo
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- JP2000222986A JP2000222986A JP11023851A JP2385199A JP2000222986A JP 2000222986 A JP2000222986 A JP 2000222986A JP 11023851 A JP11023851 A JP 11023851A JP 2385199 A JP2385199 A JP 2385199A JP 2000222986 A JP2000222986 A JP 2000222986A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】アーク電極に流れる電流経路を短くすることに
よって通電時に起きる発熱を低減させる。 【解決手段】アーク電極1とコイル電極2との間に銅板
4が介装されるとともにアーク電極1のほぼ全面に渡っ
て銅板4が接合される。
よって通電時に起きる発熱を低減させる。 【解決手段】アーク電極1とコイル電極2との間に銅板
4が介装されるとともにアーク電極1のほぼ全面に渡っ
て銅板4が接合される。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、真空遮断器用の
開閉接点を内蔵した真空バルブに関し、特に、発熱し難
い真空バルブに関する。
開閉接点を内蔵した真空バルブに関し、特に、発熱し難
い真空バルブに関する。
【0002】
【従来の技術】図5は、従来の真空バルブの構成を示す
要部斜視図である。Cu−Cr合金やAg−WC合金な
どの接点材料よりなるアーク電極1が上下に対向して設
けられ、このアーク電極1のそれぞれの背部にコイル電
極2が設けられ、アーク電極1はコイル電極2の凸部2
Aに接合されている。コイル電極2は銅材でもってクラ
ンク状に形成され、その一方端に凸部2Aが設けられ、
その他方端が銅材よりなる中心の軸3に接合されてい
る。
要部斜視図である。Cu−Cr合金やAg−WC合金な
どの接点材料よりなるアーク電極1が上下に対向して設
けられ、このアーク電極1のそれぞれの背部にコイル電
極2が設けられ、アーク電極1はコイル電極2の凸部2
Aに接合されている。コイル電極2は銅材でもってクラ
ンク状に形成され、その一方端に凸部2Aが設けられ、
その他方端が銅材よりなる中心の軸3に接合されてい
る。
【0003】従来の真空バルブは、図5の構成のものが
図示されていない真空容器に収納され、上下の軸3がそ
の真空容器を気密に貫通することによって外部に引き出
されている。上部の軸3は固定的であり、下部の軸3は
上下に移動可能である。真空容器の外部に設けられた図
示されていない駆動装置によって、下部の軸3を上下に
移動させることによって、上下のアーク電極1が互いに
接離するようになっている。
図示されていない真空容器に収納され、上下の軸3がそ
の真空容器を気密に貫通することによって外部に引き出
されている。上部の軸3は固定的であり、下部の軸3は
上下に移動可能である。真空容器の外部に設けられた図
示されていない駆動装置によって、下部の軸3を上下に
移動させることによって、上下のアーク電極1が互いに
接離するようになっている。
【0004】従来の真空バルブが閉成状態にあるとき
は、上下のアーク電極1同士が接触し電流Iが図5の矢
印のように流れるようになっている。すなわち、電流I
が上部の軸3から上部のコイル電極2、上部のアーク電
極1、下部のアーク電極1、下部のコイル電極2、下部
の軸3へと流れる。真空バルブに遮断指令が出される
と、下部のアーク電極1が下方へ引かれ、図5に示すよ
うにアーク電極1の開離間隙8にアークAが発生する。
このアークAを素早く消弧するのが真空バルブの役目で
ある。アーク電極1においてアークAが発生する場所を
アークスポットと称するが、このアークスポットが局所
的に発生し続けると、そのアーク電極1が局部的に溶融
してしまう。コイル電極2は、そのアークスポットが局
部的に止まるのを防ぐためのものである。コイル電極2
の介装によって、開離間隙8には矢印の方向の縦磁界H
が発生する。その理由は、コイル電極2に流れる電流I
が矢印のように周回状に流れるためである。この縦磁界
Hによって、アークAに含まれるイオンや電子が螺旋状
に運動するとともに開離間隙8内に捕捉された状態にな
る。それによって、アークスポットがアーク電極1の表
面に局所的に止まらずに電極表面に均一に拡散するよう
になり、アーク電極1がアーク熱によって局所的に溶融
されるのを抑えることができる。
は、上下のアーク電極1同士が接触し電流Iが図5の矢
印のように流れるようになっている。すなわち、電流I
が上部の軸3から上部のコイル電極2、上部のアーク電
極1、下部のアーク電極1、下部のコイル電極2、下部
の軸3へと流れる。真空バルブに遮断指令が出される
と、下部のアーク電極1が下方へ引かれ、図5に示すよ
うにアーク電極1の開離間隙8にアークAが発生する。
このアークAを素早く消弧するのが真空バルブの役目で
ある。アーク電極1においてアークAが発生する場所を
アークスポットと称するが、このアークスポットが局所
的に発生し続けると、そのアーク電極1が局部的に溶融
してしまう。コイル電極2は、そのアークスポットが局
部的に止まるのを防ぐためのものである。コイル電極2
の介装によって、開離間隙8には矢印の方向の縦磁界H
が発生する。その理由は、コイル電極2に流れる電流I
が矢印のように周回状に流れるためである。この縦磁界
Hによって、アークAに含まれるイオンや電子が螺旋状
に運動するとともに開離間隙8内に捕捉された状態にな
る。それによって、アークスポットがアーク電極1の表
面に局所的に止まらずに電極表面に均一に拡散するよう
になり、アーク電極1がアーク熱によって局所的に溶融
されるのを抑えることができる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
真空バルブには、通電電流による発熱が大きいという問
題があった。すなわち、アーク電極は銅に比較して導電
率の小さいCu−Cr合金やAg−WC合金などの接点
材料でもって形成されているので、その抵抗損によって
高い発熱が起こっていた。
真空バルブには、通電電流による発熱が大きいという問
題があった。すなわち、アーク電極は銅に比較して導電
率の小さいCu−Cr合金やAg−WC合金などの接点
材料でもって形成されているので、その抵抗損によって
高い発熱が起こっていた。
【0006】図6は、図5の装置における通電電流の経
路を示す断面図である。なお、図6では通電電流の向き
を矢印で示すためにハッチの記載が省略されている。図
6において、上下のアーク電極1が互いに接触し、この
アーク電極1の背部にコイル電極2が接合されている。
さらに、コイル電極2はそれぞれ軸3に接合されてい
る。アーク電極1には微視的には図6のようにその表面
に凹凸があるために、アーク電極1同士を接触させたと
しても数個所で点接触するだけてあり、通電電流はその
点接触部に集中して流れる。ただし、図6のアーク電極
1はその凹凸が強調して書かれているが、実際には微小
な凹凸である。点接触部が形成される位置によっては、
通電時の電流Iがアーク電極1の内部の比較的長い距離
を流れることになる。すなわち、図6のように点接触部
が位置Xに形成された場合、電流Iが矢印のように上部
のコイル電極2の凸部2Aから上部のアーク電極1を横
に流れ、位置Xにおいて電流Iが下部のアーク電極1へ
移り、そのアーク電極1を横に流れた後、下部のコイル
電極2の凸部2Aに達する。アーク電極1は耐アーク性
に優れたCu−Cr合金やAg−WC合金などの接点材
料でもって形成されるが、これらの合金はいずれも銅に
比較して導電率が小さい。そのために、点接触部の位置
Xが凸部2Aから遠い場合、抵抗損が増してアーク電極
1からの発熱が大きくなる。従来の真空バルブに定格電
流を流す場合、その発熱を抑えるために真空バルブに接
続される主回路導体などの外部導体の体積を大きくした
り、あるいは、その外部導体に放熱フィンを取り付ける
などの対策が必要であった。この発明の目的は、アーク
電極に流れる電流の経路を短くすることによって電流通
電時に起きる発熱を低減させることにある。
路を示す断面図である。なお、図6では通電電流の向き
を矢印で示すためにハッチの記載が省略されている。図
6において、上下のアーク電極1が互いに接触し、この
アーク電極1の背部にコイル電極2が接合されている。
さらに、コイル電極2はそれぞれ軸3に接合されてい
る。アーク電極1には微視的には図6のようにその表面
に凹凸があるために、アーク電極1同士を接触させたと
しても数個所で点接触するだけてあり、通電電流はその
点接触部に集中して流れる。ただし、図6のアーク電極
1はその凹凸が強調して書かれているが、実際には微小
な凹凸である。点接触部が形成される位置によっては、
通電時の電流Iがアーク電極1の内部の比較的長い距離
を流れることになる。すなわち、図6のように点接触部
が位置Xに形成された場合、電流Iが矢印のように上部
のコイル電極2の凸部2Aから上部のアーク電極1を横
に流れ、位置Xにおいて電流Iが下部のアーク電極1へ
移り、そのアーク電極1を横に流れた後、下部のコイル
電極2の凸部2Aに達する。アーク電極1は耐アーク性
に優れたCu−Cr合金やAg−WC合金などの接点材
料でもって形成されるが、これらの合金はいずれも銅に
比較して導電率が小さい。そのために、点接触部の位置
Xが凸部2Aから遠い場合、抵抗損が増してアーク電極
1からの発熱が大きくなる。従来の真空バルブに定格電
流を流す場合、その発熱を抑えるために真空バルブに接
続される主回路導体などの外部導体の体積を大きくした
り、あるいは、その外部導体に放熱フィンを取り付ける
などの対策が必要であった。この発明の目的は、アーク
電極に流れる電流の経路を短くすることによって電流通
電時に起きる発熱を低減させることにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明によれば、真空容器の内部に互いに接離可
能な一対のアーク電極が収納され、前記アーク電極のそ
れぞれが周方向に電流が流れるコイル電極を介して前記
真空容器の外部に引き出されてなる真空バルブにおい
て、前記アーク電極と前記コイル電極との間に銅板が介
装されるとともにアーク電極のほぼ全面に渡って前記銅
板が接合されるようにするとよい。それによって、通電
電流がコイル電極から銅板を介してアーク電極に流れる
ようになる。銅板の導電率はアーク電極の導電率より大
きいので電流は銅板の方に流れ易くなるため、アーク電
極に電流が流れる個所はアーク電極が点接触している個
所だけになり、しかも、電流がアーク電極の厚さ方向に
流れるだけになる。そのために、アーク電極に流れる電
流の経路が短くなり、電流通電時に起きる発熱を大幅に
低減させることができる。
に、この発明によれば、真空容器の内部に互いに接離可
能な一対のアーク電極が収納され、前記アーク電極のそ
れぞれが周方向に電流が流れるコイル電極を介して前記
真空容器の外部に引き出されてなる真空バルブにおい
て、前記アーク電極と前記コイル電極との間に銅板が介
装されるとともにアーク電極のほぼ全面に渡って前記銅
板が接合されるようにするとよい。それによって、通電
電流がコイル電極から銅板を介してアーク電極に流れる
ようになる。銅板の導電率はアーク電極の導電率より大
きいので電流は銅板の方に流れ易くなるため、アーク電
極に電流が流れる個所はアーク電極が点接触している個
所だけになり、しかも、電流がアーク電極の厚さ方向に
流れるだけになる。そのために、アーク電極に流れる電
流の経路が短くなり、電流通電時に起きる発熱を大幅に
低減させることができる。
【0008】また、かかる構成において、前記アーク電
極がCu−Cr合金、あるいはAg−WC合金であるよ
うにしてもよい。また、かかる構成において、前記アー
ク電極と前記銅板とに半径方向に向くスリットが複数本
形成されるようにしてもよい。それによって、アーク電
極や銅板に誘導される渦電流が無くなる。
極がCu−Cr合金、あるいはAg−WC合金であるよ
うにしてもよい。また、かかる構成において、前記アー
ク電極と前記銅板とに半径方向に向くスリットが複数本
形成されるようにしてもよい。それによって、アーク電
極や銅板に誘導される渦電流が無くなる。
【0009】また、かかる構成において、前記銅板のコ
イル電極側に凸部が形成され、この凸部に前記コイル電
極の一方端が接合されるようにしてもよい。それによっ
て、コイル電極に凸部を設けるための切削加工が無くな
るとともに、銅板の凸部の加工を押し出し加工にすれ
ば、銅板の凸部の切削加工も無くなる。
イル電極側に凸部が形成され、この凸部に前記コイル電
極の一方端が接合されるようにしてもよい。それによっ
て、コイル電極に凸部を設けるための切削加工が無くな
るとともに、銅板の凸部の加工を押し出し加工にすれ
ば、銅板の凸部の切削加工も無くなる。
【0010】
【発明の実施の形態】以下、この発明を実施例に基づい
て説明する。図1は、この発明の実施例にかかる真空バ
ルブの構成を示す要部斜視図である。アーク電極1とコ
イル電極2との間に銅板4が介装されるとともに、アー
ク電極1の全面に渡って銅板4がろう付けされている。
また、銅板4はコイル電極2の凸部2Aにろう付けされ
ている。図1のその他は、図4の従来の構成と同じであ
り、従来と同じ部分は同一参照符号を付けることによっ
て詳細な説明は省略する。図1の構成とすることによっ
て、通電電流がコイル電極2から銅板4を介してアーク
電極1へ流れるようになる。
て説明する。図1は、この発明の実施例にかかる真空バ
ルブの構成を示す要部斜視図である。アーク電極1とコ
イル電極2との間に銅板4が介装されるとともに、アー
ク電極1の全面に渡って銅板4がろう付けされている。
また、銅板4はコイル電極2の凸部2Aにろう付けされ
ている。図1のその他は、図4の従来の構成と同じであ
り、従来と同じ部分は同一参照符号を付けることによっ
て詳細な説明は省略する。図1の構成とすることによっ
て、通電電流がコイル電極2から銅板4を介してアーク
電極1へ流れるようになる。
【0011】図7は、図1の装置における通電電流の経
路を示す断面図である。なお、図7では通電電流の向き
を矢印で示すために図6の場合と同様にハッチの記載が
省略されている。上下のアーク電極1が互いに接触し、
このアーク電極1の背部の全面に銅板4が接合され、そ
の銅板4にコイル電極2の凸部2Aが接合されている。
さらに、コイル電極2はそれぞれ軸3に接合されてい
る。アーク電極1同士の点接触部が図7のように位置X
に形成された場合、電流Iが矢印のように上部コイル電
極2の凸部2Aから上部の銅板4内を横に流れた後、上
部のアーク電極1内をその厚さ方向に流れて位置Xに達
する。電流Iは位置Xにおいて下部のアーク電極1へ移
り、そのアーク電極1内をその厚さ方向に流れて下部の
銅板4へ移り、その銅板4内を横に流れ下部のコイル電
極2の凸部2Aに達する。ここで、電流Iが横方向に流
れる部分において銅板の方に流れるのは、銅板4の導電
率がアーク電極1のそれより大きいためである。電流経
路が図7のように、導電率の大きい銅板4の方に偏るの
で、アーク電極1に流れる個所はアーク電極1が点接触
している個所Xだけになり、アーク電極1に流れる電流
の経路が短くなり、電流通電時に起きる発熱が大幅に低
減する。
路を示す断面図である。なお、図7では通電電流の向き
を矢印で示すために図6の場合と同様にハッチの記載が
省略されている。上下のアーク電極1が互いに接触し、
このアーク電極1の背部の全面に銅板4が接合され、そ
の銅板4にコイル電極2の凸部2Aが接合されている。
さらに、コイル電極2はそれぞれ軸3に接合されてい
る。アーク電極1同士の点接触部が図7のように位置X
に形成された場合、電流Iが矢印のように上部コイル電
極2の凸部2Aから上部の銅板4内を横に流れた後、上
部のアーク電極1内をその厚さ方向に流れて位置Xに達
する。電流Iは位置Xにおいて下部のアーク電極1へ移
り、そのアーク電極1内をその厚さ方向に流れて下部の
銅板4へ移り、その銅板4内を横に流れ下部のコイル電
極2の凸部2Aに達する。ここで、電流Iが横方向に流
れる部分において銅板の方に流れるのは、銅板4の導電
率がアーク電極1のそれより大きいためである。電流経
路が図7のように、導電率の大きい銅板4の方に偏るの
で、アーク電極1に流れる個所はアーク電極1が点接触
している個所Xだけになり、アーク電極1に流れる電流
の経路が短くなり、電流通電時に起きる発熱が大幅に低
減する。
【0012】図2は、この発明の異なる実施例にかかる
真空バルブの構成を示す要部斜視図である。アーク電極
1と銅板4とに半径方向に向くスリット5が4本形成さ
れている。このスリット5は、それぞれコイル電極2の
凸部2Aの側に配されている。図2のその他は、図1の
構成と同じである。スリット5は、前述の縦磁界によっ
てアーク電極1や銅板4に流れる渦電流をなくすために
形成されたものであり、このスリット5によって、アー
ク電極1や銅板4の温度上昇を抑えることができ、真空
バルブの定格電流を高めることができる。なお、図2の
上側のアーク電極1および銅板4にも下部の場合と同様
なスリット5が設けられている。
真空バルブの構成を示す要部斜視図である。アーク電極
1と銅板4とに半径方向に向くスリット5が4本形成さ
れている。このスリット5は、それぞれコイル電極2の
凸部2Aの側に配されている。図2のその他は、図1の
構成と同じである。スリット5は、前述の縦磁界によっ
てアーク電極1や銅板4に流れる渦電流をなくすために
形成されたものであり、このスリット5によって、アー
ク電極1や銅板4の温度上昇を抑えることができ、真空
バルブの定格電流を高めることができる。なお、図2の
上側のアーク電極1および銅板4にも下部の場合と同様
なスリット5が設けられている。
【0013】図3は、この発明のさらに異なる実施例に
かかる真空バルブの構成を示す要部斜視図である。銅板
7のコイル電極6側に凸部7Aが形成され、この凸部7
Aにコイル電極6の一方端が接合されている。図3のそ
の他は、図1の構成と同じである。
かかる真空バルブの構成を示す要部斜視図である。銅板
7のコイル電極6側に凸部7Aが形成され、この凸部7
Aにコイル電極6の一方端が接合されている。図3のそ
の他は、図1の構成と同じである。
【0014】図4は、図3の上部の電極の構成を示す分
解斜視図である。アーク電極1の上部全面に銅板7がろ
う付けされている。この銅板7の凸部7Aにコイル電極
6がろう付けされ、さらに、このコイル電極6の中心に
軸3が嵌め込まれるとともにろう付けされている。図1
の構成では凸部2Aがコイル電極2側に設けられていた
のに対して、図4の構成では凸部7Aが銅板7側に設け
られているのが異なるだけである。なお、図3の下部の
銅板7や下部のコイル電極6も図4の構成と同様であ
る。
解斜視図である。アーク電極1の上部全面に銅板7がろ
う付けされている。この銅板7の凸部7Aにコイル電極
6がろう付けされ、さらに、このコイル電極6の中心に
軸3が嵌め込まれるとともにろう付けされている。図1
の構成では凸部2Aがコイル電極2側に設けられていた
のに対して、図4の構成では凸部7Aが銅板7側に設け
られているのが異なるだけである。なお、図3の下部の
銅板7や下部のコイル電極6も図4の構成と同様であ
る。
【0015】図4において、コイル電極6には凸部の切
削加工が無くなるのでコイル電極6の製作コストが低減
される。また、銅板7の凸部7Aを押し出し加工によっ
て形成すれば、銅板7の凸部7Aの切削加工も無くな
り、銅板7の製作コストが低減される。なお、銅板7を
押し出し加工によって形成すれば、凸部7Aにおける下
面側に凹部ができ、その凹部ではアーク電極1側と銅板
7側とがろう付けされなくなる。アーク電極1と銅板7
とは全面的に接合された方が好ましいが、必ずしも完全
に全面接合する必要はない。アーク電極1における電流
の経路が短くなればよいので、図4における凸部7Aの
裏側が部分的に接合されていなくても構わない。アーク
電極1のほぼ全面に渡って銅板7が接合されてあればよ
い。
削加工が無くなるのでコイル電極6の製作コストが低減
される。また、銅板7の凸部7Aを押し出し加工によっ
て形成すれば、銅板7の凸部7Aの切削加工も無くな
り、銅板7の製作コストが低減される。なお、銅板7を
押し出し加工によって形成すれば、凸部7Aにおける下
面側に凹部ができ、その凹部ではアーク電極1側と銅板
7側とがろう付けされなくなる。アーク電極1と銅板7
とは全面的に接合された方が好ましいが、必ずしも完全
に全面接合する必要はない。アーク電極1における電流
の経路が短くなればよいので、図4における凸部7Aの
裏側が部分的に接合されていなくても構わない。アーク
電極1のほぼ全面に渡って銅板7が接合されてあればよ
い。
【0016】なお、上述の図1,図2の装置における銅
板4および図3の装置における銅板7に厚さが薄いと、
銅板内を銅板の面に沿って流れる電流の密度が高くなり
銅板4,7自体からの発熱が大きくなってしまうため、
銅板4,7の厚さは通電電流に見合った厚さとするとよ
い。
板4および図3の装置における銅板7に厚さが薄いと、
銅板内を銅板の面に沿って流れる電流の密度が高くなり
銅板4,7自体からの発熱が大きくなってしまうため、
銅板4,7の厚さは通電電流に見合った厚さとするとよ
い。
【0017】
【発明の効果】この発明は前述のように、アーク電極と
コイル電極との間に銅板が介装されるとともに、前記ア
ーク電極のほぼ全面に渡って前記銅板が接合されるよう
にすることによって、電流通電時に起きる発熱が大幅に
低減され、真空バルブの外部導体からの熱放散対策をす
る必要がなくなる。それによって、コストが低減され
る。
コイル電極との間に銅板が介装されるとともに、前記ア
ーク電極のほぼ全面に渡って前記銅板が接合されるよう
にすることによって、電流通電時に起きる発熱が大幅に
低減され、真空バルブの外部導体からの熱放散対策をす
る必要がなくなる。それによって、コストが低減され
る。
【0018】また、かかる構成において、前記アーク電
極と前記銅板とに半径方向に向くスリットが複数本形成
されるようにしてもよい。それによって、渦電流による
温度上昇を抑えることができ、真空バルブの定格電流を
高めることができる。
極と前記銅板とに半径方向に向くスリットが複数本形成
されるようにしてもよい。それによって、渦電流による
温度上昇を抑えることができ、真空バルブの定格電流を
高めることができる。
【0019】また、かかる構成において、前記銅板のコ
イル電極側に凸部が形成され、この凸部に前記コイル電
極の一方端が接合されるようにすることによって、切削
加工が無くなり、製作コストが低減される。
イル電極側に凸部が形成され、この凸部に前記コイル電
極の一方端が接合されるようにすることによって、切削
加工が無くなり、製作コストが低減される。
【図1】この発明の実施例にかかる真空バルブの構成を
示す要部斜視図。
示す要部斜視図。
【図2】この発明の異なる実施例にかかる真空バルブの
構成を示す要部斜視図
構成を示す要部斜視図
【図3】この発明のさらに異なる実施例にかかる真空バ
ルブの構成を示す要部斜視図
ルブの構成を示す要部斜視図
【図4】図3の上部の電極の構成を示す分解斜視図
【図5】従来の真空バルブの構成を示す要部斜視図
【図6】図5の装置における通電電流の経路を示す断面
図
図
【図7】図1の装置における通電電流の経路を示す断面
図
図
1:アーク電極、2,6:コイル電極、3:軸、4,
7:銅板、2A,7A:凸部、5:スリット、8:開離
間隙、I:電流、H:縦磁界、A:アーク
7:銅板、2A,7A:凸部、5:スリット、8:開離
間隙、I:電流、H:縦磁界、A:アーク
Claims (4)
- 【請求項1】真空容器の内部に互いに接離可能な一対の
アーク電極が収納され、前記アーク電極のそれぞれが周
方向に電流が流れるコイル電極を介して前記真空容器の
外部に引き出されてなる真空バルブにおいて、前記アー
ク電極と前記のコイル電極との間に銅板が介装されると
ともにアーク電極のほぼ全面に渡って前記銅板が接合さ
れることを特徴とする真空バルブ。 - 【請求項2】請求項1に記載の真空バルブにおいて、前
記アーク電極がCu−Cr合金、あるいはAg−WC合
金であることを特徴とする真空バルブ。 - 【請求項3】請求項1または2に記載の真空バルブにお
いて、前記アーク電極と前記銅板とに半径方向に向くス
リットが複数本形成されることを特徴とする真空バル
ブ。 - 【請求項4】請求項1ないし3のいずれかに記載の真空
バルブにおいて、前記銅板のコイル電極側に凸部が形成
され、この凸部に前記コイル電極の一方端が接合される
ことを特徴とする真空バルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11023851A JP2000222986A (ja) | 1999-02-01 | 1999-02-01 | 真空バルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11023851A JP2000222986A (ja) | 1999-02-01 | 1999-02-01 | 真空バルブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000222986A true JP2000222986A (ja) | 2000-08-11 |
Family
ID=12121935
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11023851A Pending JP2000222986A (ja) | 1999-02-01 | 1999-02-01 | 真空バルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000222986A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011228083A (ja) * | 2010-04-19 | 2011-11-10 | Toshiba Corp | 真空バルブ |
-
1999
- 1999-02-01 JP JP11023851A patent/JP2000222986A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011228083A (ja) * | 2010-04-19 | 2011-11-10 | Toshiba Corp | 真空バルブ |
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