JP2000218525A - 遊星歯車方式平面ラップ盤におけるワーク取り出し装置 - Google Patents
遊星歯車方式平面ラップ盤におけるワーク取り出し装置Info
- Publication number
- JP2000218525A JP2000218525A JP5449699A JP5449699A JP2000218525A JP 2000218525 A JP2000218525 A JP 2000218525A JP 5449699 A JP5449699 A JP 5449699A JP 5449699 A JP5449699 A JP 5449699A JP 2000218525 A JP2000218525 A JP 2000218525A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- work
- carrier
- machine
- surface plate
- internal gear
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 遊星歯車方式平面ラップ盤におけるワーク取
り出しを位置決めの必要も少なく、一枚ずつ吸着する必
要もない簡単なシステムでしかも工程時間を大幅に短縮
する事を目標とした装置を提供する。 【解決手段】 遊星歯車方式のラップ盤で加工終了後上
定盤は、上方に上昇させ保持し、同時に太陽歯車とイン
ターナル歯車及び両者に噛み合っているキャリアもある
高さに上昇させる。下定盤上面に残されたワークは、下
定盤のみをゆっくり回転させるとワークは、つぎつぎに
ワーク誘導棒に当たり誘導され、機械外周に設置してあ
るワーク収納容器に貯納される。
り出しを位置決めの必要も少なく、一枚ずつ吸着する必
要もない簡単なシステムでしかも工程時間を大幅に短縮
する事を目標とした装置を提供する。 【解決手段】 遊星歯車方式のラップ盤で加工終了後上
定盤は、上方に上昇させ保持し、同時に太陽歯車とイン
ターナル歯車及び両者に噛み合っているキャリアもある
高さに上昇させる。下定盤上面に残されたワークは、下
定盤のみをゆっくり回転させるとワークは、つぎつぎに
ワーク誘導棒に当たり誘導され、機械外周に設置してあ
るワーク収納容器に貯納される。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、遊星歯車方式の平
面ラップ盤・平面ポリシュ盤・グラインディング盤にお
いて、加工後のワークを自動的に取り出し、容器に収納
し、次工程に搬送する事にある。
面ラップ盤・平面ポリシュ盤・グラインディング盤にお
いて、加工後のワークを自動的に取り出し、容器に収納
し、次工程に搬送する事にある。
【0002】
【従来の技術】従来、ワークが入っているキャリアに穴
等のマークを付してそれをセンサーで検知しながら機械
を一旦停止した後に太陽歯車とインターナル歯車を回転
させてキャリアを所定の位置に移し、なおかつキャリア
の自転角度も制御してワークが予め決めてある位置に来
るようにしておく。その後でロボット等に設けた真空チ
ャック等でワークを吸い付けて取り上げ、機械外側の容
器に移す。または、センサー位置でいちいち検知する代
わりに機械始動位置を原点として、それからのキャリア
の公転数を常に算出して停止時のワークの位置及び角度
を決めるような内部制御方式によって位置決めをしてか
ら真空チャック等で取り出す事もある。
等のマークを付してそれをセンサーで検知しながら機械
を一旦停止した後に太陽歯車とインターナル歯車を回転
させてキャリアを所定の位置に移し、なおかつキャリア
の自転角度も制御してワークが予め決めてある位置に来
るようにしておく。その後でロボット等に設けた真空チ
ャック等でワークを吸い付けて取り上げ、機械外側の容
器に移す。または、センサー位置でいちいち検知する代
わりに機械始動位置を原点として、それからのキャリア
の公転数を常に算出して停止時のワークの位置及び角度
を決めるような内部制御方式によって位置決めをしてか
ら真空チャック等で取り出す事もある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】前項の方式では、位置
決めおよびワーク取り出しに時間が掛かり、且つ機構が
複雑になる欠点を有する。位置決めの必要も少なく、一
枚ずつ吸着する必要もない簡単なシステムでしかも工程
時間を大幅に短縮する事を目標としたワーク取り出し装
置を提供する事を目的としている。
決めおよびワーク取り出しに時間が掛かり、且つ機構が
複雑になる欠点を有する。位置決めの必要も少なく、一
枚ずつ吸着する必要もない簡単なシステムでしかも工程
時間を大幅に短縮する事を目標としたワーク取り出し装
置を提供する事を目的としている。
【0004】
【課題を解決するための手段】遊星歯車方式のラップ盤
では、ワークは複雑な軌跡を描いて運動するので、予め
決めてある場所に移動して停止させるために、サーボモ
ーターやセンサー等からなる複雑な制御システムを保持
している。このため単に高価で場所を取るばかりでな
く、複雑さのゆえにしばしば誤動作や故障を生じるもと
になる。
では、ワークは複雑な軌跡を描いて運動するので、予め
決めてある場所に移動して停止させるために、サーボモ
ーターやセンサー等からなる複雑な制御システムを保持
している。このため単に高価で場所を取るばかりでな
く、複雑さのゆえにしばしば誤動作や故障を生じるもと
になる。
【0005】更にそれよりも位置決めと取り出しの動作
が複雑なステップを経るために時間がかかり、ラップ盤
の加工工程に占める取り出しの工程の時間が過大になる
恐れがあり、それにより経済性が失われることも有り得
る。
が複雑なステップを経るために時間がかかり、ラップ盤
の加工工程に占める取り出しの工程の時間が過大になる
恐れがあり、それにより経済性が失われることも有り得
る。
【0006】
【作用】加工終了後、上定盤は、上方に上昇して保持さ
れ、同時に太陽歯車とインターナル歯車及び両者に噛み
合っているキャリアもある高さに上昇させる。下定盤上
面に残されたワークは、誘導棒により誘導され設置され
ているワーク収納容器に貯納される。
れ、同時に太陽歯車とインターナル歯車及び両者に噛み
合っているキャリアもある高さに上昇させる。下定盤上
面に残されたワークは、誘導棒により誘導され設置され
ているワーク収納容器に貯納される。
【0007】
【発明の実施形態】図1と図2は、本発明によるワーク
取り出し装置を設置した4ウエイラップ盤の平面図と垂
直断面図である。平面図は、上定盤を省いて俯瞰した状
態である。図1の場合は、ラップ盤は加工中で取り出し
装置は待機の状態にある。図2では、加工が終了して取
り出し装置がワーク(1)を下定盤から取り出している
状況を示している。
取り出し装置を設置した4ウエイラップ盤の平面図と垂
直断面図である。平面図は、上定盤を省いて俯瞰した状
態である。図1の場合は、ラップ盤は加工中で取り出し
装置は待機の状態にある。図2では、加工が終了して取
り出し装置がワーク(1)を下定盤から取り出している
状況を示している。
【0008】図1では、ワーク(1)は、キャリア
(2)に穿たれた4個のワーク保持孔(3)に嵌合し、
上定盤(4)と下定盤(5)に挟まれてラッピングが行
われている。キャリア(2)は、太陽歯車(6)とイン
ターナル歯車(7)に噛み合って自己中心の周りに自転
しながら機械の中心の周りに公転してワーク(1)に複
雑な軌跡を描きながら平面運動を行わせている。
(2)に穿たれた4個のワーク保持孔(3)に嵌合し、
上定盤(4)と下定盤(5)に挟まれてラッピングが行
われている。キャリア(2)は、太陽歯車(6)とイン
ターナル歯車(7)に噛み合って自己中心の周りに自転
しながら機械の中心の周りに公転してワーク(1)に複
雑な軌跡を描きながら平面運動を行わせている。
【0009】図2において、加工終了後、上定盤(4)
は、上方に上昇して保持され、太陽歯車(6)とインタ
ーナル歯車(7)もある高さに上昇する。その際太陽歯
車(6)の歯側面は、歯頂と同じかそれよりも大きい径
の太陽歯車支持軸(8)に取り付けられているため、そ
の歯と噛み合っているキャリア(2)は、太陽歯車
(6)が上昇しても下方に抜け出ることが出来ず、その
まま太陽歯車(6)と同じ上昇距離だけ上方に引き上げ
られる。インターナル歯車(7)についても同じなの
で、キャリア(2)は太陽歯車(6)とインターナル歯
車(7)に、180°を隔てた2箇所の歯を掴んで持ち
上げられることになり、下定盤(5)との間にある垂直
距離を隔てて空中に保持されることになる。しかしなが
らキャリア(2)のワーク保持孔(3)に嵌合していた
ワーク(1)は、下定盤(5)の上面に残されたままに
なっている。
は、上方に上昇して保持され、太陽歯車(6)とインタ
ーナル歯車(7)もある高さに上昇する。その際太陽歯
車(6)の歯側面は、歯頂と同じかそれよりも大きい径
の太陽歯車支持軸(8)に取り付けられているため、そ
の歯と噛み合っているキャリア(2)は、太陽歯車
(6)が上昇しても下方に抜け出ることが出来ず、その
まま太陽歯車(6)と同じ上昇距離だけ上方に引き上げ
られる。インターナル歯車(7)についても同じなの
で、キャリア(2)は太陽歯車(6)とインターナル歯
車(7)に、180°を隔てた2箇所の歯を掴んで持ち
上げられることになり、下定盤(5)との間にある垂直
距離を隔てて空中に保持されることになる。しかしなが
らキャリア(2)のワーク保持孔(3)に嵌合していた
ワーク(1)は、下定盤(5)の上面に残されたままに
なっている。
【0010】次にインターナル歯車受け(9)を回転さ
せ、一箇所に開いている水平スロット(10)が機械外
周に設置してあるワーク収納容器(11)に合うように
位置決めする。これが唯一の位置決め動作である。それ
からその水平スロット(10)の一端を通して下定盤
(5)上面に沿ってワーク誘導棒(12)をアクチュエ
ータ等により挿入する。挿入方向は、直径方向よりも図
示するように、やや傾けて太陽歯車(6)直近まで挿入
する。このワーク誘導棒(12)は、A−A断面に示す
ような断面形状を有する。すなわち上部に勾配を有する
上部水平部(13)が有り、下部にも先端が尖ったリッ
プ状の平面部(下部リップ(14))を持ち、両者の間
にワークの厚さと同じ高さの垂直部(15)を有する。
全体に接触の際にワークを傷つけないように柔らかく且
つ適度の剛性を有する材質で造る。
せ、一箇所に開いている水平スロット(10)が機械外
周に設置してあるワーク収納容器(11)に合うように
位置決めする。これが唯一の位置決め動作である。それ
からその水平スロット(10)の一端を通して下定盤
(5)上面に沿ってワーク誘導棒(12)をアクチュエ
ータ等により挿入する。挿入方向は、直径方向よりも図
示するように、やや傾けて太陽歯車(6)直近まで挿入
する。このワーク誘導棒(12)は、A−A断面に示す
ような断面形状を有する。すなわち上部に勾配を有する
上部水平部(13)が有り、下部にも先端が尖ったリッ
プ状の平面部(下部リップ(14))を持ち、両者の間
にワークの厚さと同じ高さの垂直部(15)を有する。
全体に接触の際にワークを傷つけないように柔らかく且
つ適度の剛性を有する材質で造る。
【0011】この状態で下定盤(5)のみを矢印(1
6)の方向にゆっくり回転させると下定盤(5)上面に
残置されたワーク(1)は、つぎつぎにワーク誘導棒
(12)に当たりそれ以上は回転方向に移動できなくな
るが、ワーク誘導棒(12)が傾斜しているために外周
方向に押し出される。なお、ワーク誘導棒(12)の下
部リップ(14)がワーク(1)と下定盤(5)の間に
分け入ってワーク(1)を引きはがすようにし、硬く張
り付くことを防いで軽く移動するようにする。
6)の方向にゆっくり回転させると下定盤(5)上面に
残置されたワーク(1)は、つぎつぎにワーク誘導棒
(12)に当たりそれ以上は回転方向に移動できなくな
るが、ワーク誘導棒(12)が傾斜しているために外周
方向に押し出される。なお、ワーク誘導棒(12)の下
部リップ(14)がワーク(1)と下定盤(5)の間に
分け入ってワーク(1)を引きはがすようにし、硬く張
り付くことを防いで軽く移動するようにする。
【0012】逆にワーク(1)同士が重なり合ったり傾
いたりすると上部水平部(13)がそれを妨げる役割を
果たす。その際外周方向への移動を促進するために、ワ
ーク誘導棒(12)先端から高圧水流を(17)噴出さ
せてワーク(1)を押し流すように働く。この高圧水
は、ワーク誘導棒(12)上面に添わせたフレキシブル
チューブ(18)により機械外部より供給される。
いたりすると上部水平部(13)がそれを妨げる役割を
果たす。その際外周方向への移動を促進するために、ワ
ーク誘導棒(12)先端から高圧水流を(17)噴出さ
せてワーク(1)を押し流すように働く。この高圧水
は、ワーク誘導棒(12)上面に添わせたフレキシブル
チューブ(18)により機械外部より供給される。
【0013】こうして外周に押し出されたワーク(1)
は、水平スロット(10)を通って外に設置されている
ワーク収納容器(11)に落下して貯納される。この容
器は全体として円筒状を成す容器であるが、上部にホッ
パー(19)を有し中に水を蓄えている。ワーク(1)
が落下して来ると先ずホッパーで受け、水が緩衝材にな
って落下の速度を緩め、衝撃による傷の生成を防ぐよう
になっている。こうしてワーク(1)は、上下に重なり
合ってワーク収納容器(11)内に貯納される。
は、水平スロット(10)を通って外に設置されている
ワーク収納容器(11)に落下して貯納される。この容
器は全体として円筒状を成す容器であるが、上部にホッ
パー(19)を有し中に水を蓄えている。ワーク(1)
が落下して来ると先ずホッパーで受け、水が緩衝材にな
って落下の速度を緩め、衝撃による傷の生成を防ぐよう
になっている。こうしてワーク(1)は、上下に重なり
合ってワーク収納容器(11)内に貯納される。
【0014】
【発明の効果】本発明は、ワーク取り出し装置の構造が
簡単になり、そのため製作費が低減され、寸法が減少
し、作動の信頼性が向上した。また、位置決め取り出し
に要する時間が著しく短縮した。
簡単になり、そのため製作費が低減され、寸法が減少
し、作動の信頼性が向上した。また、位置決め取り出し
に要する時間が著しく短縮した。
【0015】
【図1】本発明の装置を設置した4ウエイラップ盤の垂
直断面図と平面図を示し、ラップ盤は加工中で、取り出
し装置は、待機の状態にある。
直断面図と平面図を示し、ラップ盤は加工中で、取り出
し装置は、待機の状態にある。
【図2】本発明の装置を設置した4ウエイラップ盤の垂
直断面図と平面図を示し、ラップ盤は加工を終了し、取
り出し装置がワークを下定盤から取り出している状況を
示している。
直断面図と平面図を示し、ラップ盤は加工を終了し、取
り出し装置がワークを下定盤から取り出している状況を
示している。
1 ワーク 2 キャリア 3 ワーク保持孔 4 上定盤 5 下定盤 6 太陽歯車 7 インターナル歯車 8 太陽歯車支持軸 9 インターナル歯車受け 10 水平スロット 11 ワーク収納容器 12 ワーク誘導棒 13 上部水平部 14 下部リップ 15 垂直部 16 矢印 17 高圧水流 18 フレキシブルチュウブ 19 ホッパー
Claims (4)
- 【請求項1】 外周に歯面を形成するとともに回転方向
に均等に複数のワーク保持孔を形成したキャリアを、太
陽歯車とインターナル歯車の間に複数個装着し、ワーク
を各ワーク保持孔に装着した状態でキャリア両面を下定
盤と着脱自在の上定盤との間に挟み込み、太陽歯車とイ
ンターナル歯車を回転駆動させることでキャリアを遊星
運動による自転・公転をさせながら、下定盤及び上定盤
を回転駆動することでワークを平行平面加工する4ウエ
イ遊星歯車方式平面ラップ盤・ポリシュ盤・グラインデ
ィング盤に用いられるワーク取り出し装置であって、こ
の平面ラップ盤・ポリシュ盤・グラインディング盤の上
定盤をストローク上端まで吊り上げた状態において、キ
ャリアを太陽歯車支持軸とインターナル歯車受けの端部
で受けてこれら太陽歯車支持軸とインターナル歯車受け
を上昇させることにによりキャリアも上部に引き上げた
状態で保持され、それによって生じた下定盤とキャリア
の間の隙間に、同じ高さのインターナル歯車受けの部分
に開けられた水平スロットを通してワーク誘導棒を定盤
の直径方向と或る傾斜を成す方向に挿入し、下定盤のみ
を回転させるとキャリアの上昇により下定盤上面に残さ
れたワークがワーク誘導棒に当たって回転方向へのそれ
以上の移動を制約されるとともに、定盤外周方向に導か
れてインターナル歯車受けの水平スロットを通して外部
に押し出され、機械外側に落下するがごとき平面ラップ
盤・ポリシュ盤・グラインデイング盤用ワーク取り出し
装置。 - 【請求項2】 請求項1.においてワークがワーク誘導
棒に当たって機械外部に導かれる際に、それを促進し且
つワークの間で衝突による衝撃を緩衝するために外部よ
り導入した高圧水をワークがおしだされる方向に噴出す
る装置を備えたワーク取り出し装置。 - 【請求項3】 請求項1において、ワーク誘導棒の構造
としてコの字形の断面の上部水平部に勾配を与え、下部
水平部は先端を尖らせたリップ状とし、全体の表面が軟
質で且つ適度の剛性を持たせた材質で構成するがごとき
ワーク取り出し装置 - 【請求項4】 請求項1において、キャリアを太陽歯車
支持軸の端部とインターナル歯車受け端部に引っかけて
これらと一緒に引き上げる代わりに、外部から挿入した
アーム、リンク、ワイヤ等に装着された真空チャック等
でキャリアを把持して引き上げる構造を有するワーク取
り出し装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5449699A JP2000218525A (ja) | 1999-01-26 | 1999-01-26 | 遊星歯車方式平面ラップ盤におけるワーク取り出し装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5449699A JP2000218525A (ja) | 1999-01-26 | 1999-01-26 | 遊星歯車方式平面ラップ盤におけるワーク取り出し装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000218525A true JP2000218525A (ja) | 2000-08-08 |
Family
ID=12972256
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5449699A Pending JP2000218525A (ja) | 1999-01-26 | 1999-01-26 | 遊星歯車方式平面ラップ盤におけるワーク取り出し装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000218525A (ja) |
-
1999
- 1999-01-26 JP JP5449699A patent/JP2000218525A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN201058765Y (zh) | 送料装置 | |
| JP4136890B2 (ja) | 保護テープの切断方法及び切断装置 | |
| CN108127465A (zh) | 一种自动上料机及其自动上料方法 | |
| TWI389781B (zh) | 保護帶貼附方法及保護帶貼附裝置 | |
| JP2003209084A (ja) | 保護テープの切断方法およびそれを用いた保護テープ貼付装置 | |
| CN109822419B (zh) | 晶圆转移装置及晶圆转移方法 | |
| KR101151452B1 (ko) | 카지노 칩 제조장치 | |
| CN209831279U (zh) | 晶圆凹口抛光装置 | |
| JP2000218525A (ja) | 遊星歯車方式平面ラップ盤におけるワーク取り出し装置 | |
| US6196906B1 (en) | Surface polishing apparatus and method of taking out workpiece | |
| CN106667016B (zh) | 马桶刷植毛机自动上下料装置 | |
| CN209831280U (zh) | 晶圆多工位边缘抛光设备 | |
| CN214292584U (zh) | 抛光机自动上料装置 | |
| CN209831278U (zh) | 晶圆边缘抛光装置 | |
| CN109848768A (zh) | 金刚石串珠自动开刃机 | |
| CN114310545A (zh) | 一种自动倒角设备 | |
| JP3454293B2 (ja) | 回転式充填装置の洗浄システム | |
| JPS59156666A (ja) | 平面研削装置におけるワ−クの自動装填機構 | |
| CN208601947U (zh) | 一种自动化胶套安装装置 | |
| JPS61127142A (ja) | ウエハ−の剥離装置 | |
| JP2005123595A (ja) | 粘着テープの貼付方法及び貼付装置 | |
| CN206105296U (zh) | 一种弹性套下料传输装置 | |
| CN210281830U (zh) | 晶圆边缘抛光机构及晶圆边缘抛光装置 | |
| CN1715019A (zh) | 半导体晶圆的保护带切断方法及保护带切断装置 | |
| JP2005125459A (ja) | 半導体ウエハの保護テープ切断方法及び保護テープ切断装置 |