JP2000218497A - ワイヤソー - Google Patents
ワイヤソーInfo
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- JP2000218497A JP2000218497A JP1985399A JP1985399A JP2000218497A JP 2000218497 A JP2000218497 A JP 2000218497A JP 1985399 A JP1985399 A JP 1985399A JP 1985399 A JP1985399 A JP 1985399A JP 2000218497 A JP2000218497 A JP 2000218497A
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- Japan
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- slurry
- overhead
- room
- saw
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】スラリによる汚損を効果的に抑止することがで
きるワイヤソーを提供する。 【解決手段】一方のワイヤリール１２Ａから繰り出さ
れ、複数個のガイドローラ１６Ａ、１６Ａ、…によって
加工室６０内に導かれるワイヤ１４の走行路と、加工室
６０から繰り出され、複数個のガイドローラ１６Ｂ、１
６Ｂ、…によって他方側のワイヤリール１２Ｂに導かれ
るワイヤ１４の走行路が、それぞれ密閉可能な架線室６
２Ａ、６２Ｂ内に形成されている。これにより、ワイヤ
に付着したスラリは加工室６０と架線室６２Ａ、６２Ｂ
内にのみ飛散し周囲を汚染することがない。
きるワイヤソーを提供する。 【解決手段】一方のワイヤリール１２Ａから繰り出さ
れ、複数個のガイドローラ１６Ａ、１６Ａ、…によって
加工室６０内に導かれるワイヤ１４の走行路と、加工室
６０から繰り出され、複数個のガイドローラ１６Ｂ、１
６Ｂ、…によって他方側のワイヤリール１２Ｂに導かれ
るワイヤ１４の走行路が、それぞれ密閉可能な架線室６
２Ａ、６２Ｂ内に形成されている。これにより、ワイヤ
に付着したスラリは加工室６０と架線室６２Ａ、６２Ｂ
内にのみ飛散し周囲を汚染することがない。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はワイヤソーに係り、
特にシリコン、ガラス、セラミック等の硬脆性材料を切
断するワイヤソーに関する。
特にシリコン、ガラス、セラミック等の硬脆性材料を切
断するワイヤソーに関する。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤソーは、ワイヤを３〜４本のグル
ーブローラに巻き掛けて形成したワイヤ列を高速走行さ
せ、該ワイヤ列にスラリ（遊離砥粒）を供給しながら被
加工物を押し当てることにより被加工物を多数枚のウェ
ーハに切断する装置である。ところで、このワイヤソー
のワイヤは一方のワイヤリールから繰り出されたワイヤ
を他方側のワイヤリールで巻き取ることにより一対のワ
イヤリール間を高速走行する。そして、各ワイヤリール
とグルーブローラとの間には複数個のガイドローラが配
設されており、ワイヤはこの複数個のガイドローラにガ
イドされながら走行する。
ーブローラに巻き掛けて形成したワイヤ列を高速走行さ
せ、該ワイヤ列にスラリ（遊離砥粒）を供給しながら被
加工物を押し当てることにより被加工物を多数枚のウェ
ーハに切断する装置である。ところで、このワイヤソー
のワイヤは一方のワイヤリールから繰り出されたワイヤ
を他方側のワイヤリールで巻き取ることにより一対のワ
イヤリール間を高速走行する。そして、各ワイヤリール
とグルーブローラとの間には複数個のガイドローラが配
設されており、ワイヤはこの複数個のガイドローラにガ
イドされながら走行する。
【０００３】ここで、ワイヤソーは前記のごとく被加工
物の切断に際してワイヤ列にスラリを供給しながら切断
しており、ワイヤは、この被加工物の切断時に供給した
スラリが付着した状態で走行している。このワイヤに付
着したスラリは、ガイドローラによってワイヤの走行方
向が転換される際、その遠心力で周囲に飛散し、装置を
汚したり装置の故障の原因となっている。このため従来
のワイヤソーでは、各ガイドローラにそれぞれカバーを
被せ、該カバーによってスラリが周囲に飛散するのを防
止していた。
物の切断に際してワイヤ列にスラリを供給しながら切断
しており、ワイヤは、この被加工物の切断時に供給した
スラリが付着した状態で走行している。このワイヤに付
着したスラリは、ガイドローラによってワイヤの走行方
向が転換される際、その遠心力で周囲に飛散し、装置を
汚したり装置の故障の原因となっている。このため従来
のワイヤソーでは、各ガイドローラにそれぞれカバーを
被せ、該カバーによってスラリが周囲に飛散するのを防
止していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、各ガイ
ドローラにカバーを設置した場合、カバー内に溜まった
スラリを各カバーごとに個別に洗浄しなければならず取
り扱いが面倒であった。また、カバーに溜まったスラリ
が滴下して装置を汚すという問題もあった。さらに、ダ
ンサローラ等の可動ガイドローラに対しては、その可動
部の機構への飛散を完全には防止できないため、装置の
故障の原因になっていた。
ドローラにカバーを設置した場合、カバー内に溜まった
スラリを各カバーごとに個別に洗浄しなければならず取
り扱いが面倒であった。また、カバーに溜まったスラリ
が滴下して装置を汚すという問題もあった。さらに、ダ
ンサローラ等の可動ガイドローラに対しては、その可動
部の機構への飛散を完全には防止できないため、装置の
故障の原因になっていた。
【０００５】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、スラリによる汚損を効果的に抑止することがで
きるワイヤソーを提供することを目的とする。
もので、スラリによる汚損を効果的に抑止することがで
きるワイヤソーを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明は、
前記目的を達成するために、一方のワイヤリールから繰
り出され、他方側のワイヤリールに巻き取られるワイヤ
を加工室内に設置された複数本のグルーブローラに巻き
掛けてワイヤ列を形成し、該ワイヤ列にスラリを供給し
ながら被加工物を押し当てて多数枚のウェーハに切断す
るワイヤソーにおいて、前記一方のワイヤリールから繰
り出され、複数個のガイドローラによって前記加工室内
に導かれるワイヤの走行路と、前記加工室から繰り出さ
れ、複数個のガイドローラによって前記他方側のワイヤ
リールに導かれるワイヤの走行路を、それぞれ密閉可能
な架線室内に形成したことを特徴とする。
前記目的を達成するために、一方のワイヤリールから繰
り出され、他方側のワイヤリールに巻き取られるワイヤ
を加工室内に設置された複数本のグルーブローラに巻き
掛けてワイヤ列を形成し、該ワイヤ列にスラリを供給し
ながら被加工物を押し当てて多数枚のウェーハに切断す
るワイヤソーにおいて、前記一方のワイヤリールから繰
り出され、複数個のガイドローラによって前記加工室内
に導かれるワイヤの走行路と、前記加工室から繰り出さ
れ、複数個のガイドローラによって前記他方側のワイヤ
リールに導かれるワイヤの走行路を、それぞれ密閉可能
な架線室内に形成したことを特徴とする。
【０００７】本発明によれば、一方のワイヤリールから
繰り出され、複数個のガイドローラによって加工室内に
導かれるワイヤの走行路と、加工室から繰り出され、複
数個のガイドローラによって他方側のワイヤリールに導
かれるワイヤの走行路とが、それぞれ密閉可能な架線室
内に形成されている。したがって、ワイヤに付着したス
ラリは、加工室と架線室内にのみ飛散し周囲を汚染する
ことがない。また、架線室に飛散したスラリは架線室全
体を洗浄することにより、容易に除去することができ、
メンテナンス性が向上する。
繰り出され、複数個のガイドローラによって加工室内に
導かれるワイヤの走行路と、加工室から繰り出され、複
数個のガイドローラによって他方側のワイヤリールに導
かれるワイヤの走行路とが、それぞれ密閉可能な架線室
内に形成されている。したがって、ワイヤに付着したス
ラリは、加工室と架線室内にのみ飛散し周囲を汚染する
ことがない。また、架線室に飛散したスラリは架線室全
体を洗浄することにより、容易に除去することができ、
メンテナンス性が向上する。
【０００８】また、請求項２に係る発明は、前記目的を
達成するために、前記ワイヤの走行路を形成する複数個
のガイドローラのうちスライド可能な可動ガイドローラ
は、前記架線室の壁面に形成されたスリットに沿ってス
ライド移動し、該スリットは前記可動ガイドローラとと
もにスライドするシール部材によってシールされている
ことを特徴とする。
達成するために、前記ワイヤの走行路を形成する複数個
のガイドローラのうちスライド可能な可動ガイドローラ
は、前記架線室の壁面に形成されたスリットに沿ってス
ライド移動し、該スリットは前記可動ガイドローラとと
もにスライドするシール部材によってシールされている
ことを特徴とする。
【０００９】本発明によれば、可動部が架線室から完全
にシールされるため、スラリの付着による可動部の故障
を有効に防止することができる。
にシールされるため、スラリの付着による可動部の故障
を有効に防止することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、添付図面に従って本発明に
係るワイヤソーの実施の形態について詳説する。まず、
本実施の形態のワイヤソーの概要について説明する。図
１は、本実施の形態のワイヤソー１０の全体構成を示す
斜視図である。同図に示すように、本実施の形態のワイ
ヤソー１０は、主として、切断を行うワイヤソー本体１
１と、そのワイヤソー本体１１の切断部にスラリを供給
するスラリ供給ユニット４２から構成されている。
係るワイヤソーの実施の形態について詳説する。まず、
本実施の形態のワイヤソーの概要について説明する。図
１は、本実施の形態のワイヤソー１０の全体構成を示す
斜視図である。同図に示すように、本実施の形態のワイ
ヤソー１０は、主として、切断を行うワイヤソー本体１
１と、そのワイヤソー本体１１の切断部にスラリを供給
するスラリ供給ユニット４２から構成されている。
【００１１】ワイヤソー本体１１には、一対のワイヤリ
ール１２Ａ、１２Ｂが設置されている（図１では一方側
のワイヤリール１２Ａのみ図示）。一方側のワイヤリー
ル１２Ａから繰り出されたワイヤ１４は、複数のガイド
ローラ１６Ａ、１６Ａ、…によって４本のグルーブロー
ラ１８、１８、…にガイドされる。そして、その４本の
グルーブローラ１８に一定ピッチで巻き掛けられること
により上部に水平なワイヤ列２０を形成する。ワイヤ列
２０を形成したワイヤ１４は、ワイヤ列２０を挟んで左
右対称に配置されている図示しない他方側のガイドロー
ラ１６Ｂ、１６Ｂ、…にガイドされることにより図示し
ない他方側のワイヤリールにガイドされる。そして、そ
の他方側のワイヤリール１２Ｂに巻き取られる。
ール１２Ａ、１２Ｂが設置されている（図１では一方側
のワイヤリール１２Ａのみ図示）。一方側のワイヤリー
ル１２Ａから繰り出されたワイヤ１４は、複数のガイド
ローラ１６Ａ、１６Ａ、…によって４本のグルーブロー
ラ１８、１８、…にガイドされる。そして、その４本の
グルーブローラ１８に一定ピッチで巻き掛けられること
により上部に水平なワイヤ列２０を形成する。ワイヤ列
２０を形成したワイヤ１４は、ワイヤ列２０を挟んで左
右対称に配置されている図示しない他方側のガイドロー
ラ１６Ｂ、１６Ｂ、…にガイドされることにより図示し
ない他方側のワイヤリールにガイドされる。そして、そ
の他方側のワイヤリール１２Ｂに巻き取られる。
【００１２】前記ガイドローラ１６Ａ、１６Ｂによって
ワイヤ列２０の両側に形成されているワイヤ走行路に
は、それぞれトラバースユニット２２Ａ、２２Ｂ、ダン
サユニット２４Ａ、２４Ｂが配設されている（一方側の
み図示）。ワイヤ案内装置は、ワイヤ１４がワイヤリー
ル１２Ａ、１２Ｂから一定ピッチで繰り出されるように
ガイドするとともに、ワイヤ１４がワイヤリール１２
Ａ、１２Ｂに一定ピッチで巻き取られるようにガイドす
る。また、ダンサユニット２４Ａ、２４Ｂは、走行する
ワイヤ１４に一定の張力を付与する。
ワイヤ列２０の両側に形成されているワイヤ走行路に
は、それぞれトラバースユニット２２Ａ、２２Ｂ、ダン
サユニット２４Ａ、２４Ｂが配設されている（一方側の
み図示）。ワイヤ案内装置は、ワイヤ１４がワイヤリー
ル１２Ａ、１２Ｂから一定ピッチで繰り出されるように
ガイドするとともに、ワイヤ１４がワイヤリール１２
Ａ、１２Ｂに一定ピッチで巻き取られるようにガイドす
る。また、ダンサユニット２４Ａ、２４Ｂは、走行する
ワイヤ１４に一定の張力を付与する。
【００１３】前記４本のグルーブローラ１８のうち１本
のグルーブローラ１８及び前記一対のワイヤリール１２
Ａ、１２Ｂには、それぞれ正逆回転可能なモータ２６、
２８Ａ、２８Ｂが連結されており、これらのモータ２
６、２８Ａ、２８Ｂを同期させて駆動することにより、
ワイヤ１４が一対のワイヤリール１２Ａ、１２Ｂ間を高
速で往復走行する。
のグルーブローラ１８及び前記一対のワイヤリール１２
Ａ、１２Ｂには、それぞれ正逆回転可能なモータ２６、
２８Ａ、２８Ｂが連結されており、これらのモータ２
６、２８Ａ、２８Ｂを同期させて駆動することにより、
ワイヤ１４が一対のワイヤリール１２Ａ、１２Ｂ間を高
速で往復走行する。
【００１４】ワイヤ列２０の上方にはワークフィードテ
ーブル３０が配設されており、該ワークフィードテーブ
ル３０はフィードベース３２にスライド自在に設けられ
ている。ワークフィードテーブル３０は、フィードベー
ス３２に設置されたワークフィードモータ３４を駆動す
ることにより、ワイヤ列２０に対して垂直に昇降移動す
る。被加工物であるインゴットＩｎは、このワークフィ
ードテーブル３０の下部に結晶方位合わせした状態で装
着される。
ーブル３０が配設されており、該ワークフィードテーブ
ル３０はフィードベース３２にスライド自在に設けられ
ている。ワークフィードテーブル３０は、フィードベー
ス３２に設置されたワークフィードモータ３４を駆動す
ることにより、ワイヤ列２０に対して垂直に昇降移動す
る。被加工物であるインゴットＩｎは、このワークフィ
ードテーブル３０の下部に結晶方位合わせした状態で装
着される。
【００１５】一方、ワイヤ列２０の下方にはオイルパン
３６が設置されている。後述するように加工時にワイヤ
列２０に供給されたスラリは、このオイルパン３６に回
収される。オイルパン３６には図示しない回収パイプが
接続されており、該回収パイプの他端はスラリ回収タン
ク４０に連結されている。したがって、オイルパン３６
に回収されたスラリは、この回収パイプを介してスラリ
回収タンク４０に貯留される。
３６が設置されている。後述するように加工時にワイヤ
列２０に供給されたスラリは、このオイルパン３６に回
収される。オイルパン３６には図示しない回収パイプが
接続されており、該回収パイプの他端はスラリ回収タン
ク４０に連結されている。したがって、オイルパン３６
に回収されたスラリは、この回収パイプを介してスラリ
回収タンク４０に貯留される。
【００１６】スラリ供給ユニット４２は、移動自在な台
車４４上にスラリタンク４６、熱交換器５０、供給ポン
プ５２及び流量計５４等が搭載されて構成されている。
スラリタンク４６には図示しない配管が接続されてお
り、該配管の他端は図示しない回収ポンプを介してスラ
リ回収タンク４０に接続されている。前記スラリ回収タ
ンク４０に貯留されたスラリは、前記回収ポンプに汲み
上げられることによりスラリタンク４６に送液される。
車４４上にスラリタンク４６、熱交換器５０、供給ポン
プ５２及び流量計５４等が搭載されて構成されている。
スラリタンク４６には図示しない配管が接続されてお
り、該配管の他端は図示しない回収ポンプを介してスラ
リ回収タンク４０に接続されている。前記スラリ回収タ
ンク４０に貯留されたスラリは、前記回収ポンプに汲み
上げられることによりスラリタンク４６に送液される。
【００１７】一方、スラリタンク４６に回収されたスラ
リは、該スラリタンク４６に設置された供給ポンプ５２
で汲み上げることにより、ワイヤ列２０の上方に設置さ
れた図示しないスラリノズルに送液され、該スラリノズ
ルからワイヤ列２０に向けて噴射される。スラリノズル
から噴射されたスラリは、加工に供されたのち、前述し
たようにオイルパン３６で回収され、スラリ回収タンク
４０を介してスラリタンク４６に戻される。すなわち、
スラリは循環供給される。
リは、該スラリタンク４６に設置された供給ポンプ５２
で汲み上げることにより、ワイヤ列２０の上方に設置さ
れた図示しないスラリノズルに送液され、該スラリノズ
ルからワイヤ列２０に向けて噴射される。スラリノズル
から噴射されたスラリは、加工に供されたのち、前述し
たようにオイルパン３６で回収され、スラリ回収タンク
４０を介してスラリタンク４６に戻される。すなわち、
スラリは循環供給される。
【００１８】なお、スラリタンク４６に貯留されている
スラリは、熱交換器５０に循環供給されており、これよ
り常に一定温度になるように調整されている。以上のよ
うに構成されたワイヤソー１０において、インゴットは
次のように切断される。すなわち、まず、インゴットを
ワークフィードテーブル３０に装着する。次に、モータ
２６、２８を同期駆動させることによりワイヤ１４を高
速で往復走行させる。これにより、ワイヤ列２０が高速
で往復走行する。次に、ワークフィードテーブル３０を
ワイヤ列２０に向けて下降させる。これと同時に図示し
ないスラリノズルからワイヤ列２０に向けてスラリを噴
射する。この結果、インゴットが高速走行するワイヤ列
２０に押し付けられるとともに、そのワイヤ列２０に供
給されたスラリのラッピング作用によって多数枚のウェ
ーハに同時に切断される。
スラリは、熱交換器５０に循環供給されており、これよ
り常に一定温度になるように調整されている。以上のよ
うに構成されたワイヤソー１０において、インゴットは
次のように切断される。すなわち、まず、インゴットを
ワークフィードテーブル３０に装着する。次に、モータ
２６、２８を同期駆動させることによりワイヤ１４を高
速で往復走行させる。これにより、ワイヤ列２０が高速
で往復走行する。次に、ワークフィードテーブル３０を
ワイヤ列２０に向けて下降させる。これと同時に図示し
ないスラリノズルからワイヤ列２０に向けてスラリを噴
射する。この結果、インゴットが高速走行するワイヤ列
２０に押し付けられるとともに、そのワイヤ列２０に供
給されたスラリのラッピング作用によって多数枚のウェ
ーハに同時に切断される。
【００１９】次に、本実施の形態のワイヤソー１０の要
部の構成について説明する。上述したように、ワイヤソ
ー１０のワイヤ列２０は、一対のワイヤリール１２Ａ、
１２Ｂ間を走行するワイヤ１４を４本のグルーブローラ
１８、１８、…に巻き掛けることにより形成される。そ
して、このワイヤ列２０を形成するワイヤ１４は、各ワ
イヤリール１２とグルーブローラ１８との間を複数個の
ガイドローラ１６Ａ、１６Ａ、…、１６Ｂ、１６Ｂ、…
にガイドされながら走行する。
部の構成について説明する。上述したように、ワイヤソ
ー１０のワイヤ列２０は、一対のワイヤリール１２Ａ、
１２Ｂ間を走行するワイヤ１４を４本のグルーブローラ
１８、１８、…に巻き掛けることにより形成される。そ
して、このワイヤ列２０を形成するワイヤ１４は、各ワ
イヤリール１２とグルーブローラ１８との間を複数個の
ガイドローラ１６Ａ、１６Ａ、…、１６Ｂ、１６Ｂ、…
にガイドされながら走行する。
【００２０】ところで、上述したようにワイヤソーで
は、インゴットＩｎの切断に際してワイヤ列２０にスラ
リを供給している。このワイヤ列２０に供給されたスラ
リは周囲に飛散し、ワイヤソー本体１１を汚損させる原
因となる。そこで、本実施の形態のワイヤソー１０で
は、図２に示すように、ワイヤ列２０を形成するグルー
ブローラ１８、１８、…を加工室６０内に設置する。そ
して、一方のワイヤリール１２Ａから繰り出され、加工
室６０内に導かれるワイヤ１４の走行路と、加工室６０
から繰り出され、他方側のワイヤリール１２Ｂに導かれ
るワイヤ１４の走行路を、それぞれ架線室６２Ａ、６２
Ｂ内に形成する。これにより、ワイヤ１４は加工室６０
又は架線室６２Ａ、６２Ｂ内のみを走行するようにな
り、スラリは加工室６０内又は架線室６２Ａ、６２Ｂ内
にのみ飛散するようになる。具体的には、次のように構
成されている。
は、インゴットＩｎの切断に際してワイヤ列２０にスラ
リを供給している。このワイヤ列２０に供給されたスラ
リは周囲に飛散し、ワイヤソー本体１１を汚損させる原
因となる。そこで、本実施の形態のワイヤソー１０で
は、図２に示すように、ワイヤ列２０を形成するグルー
ブローラ１８、１８、…を加工室６０内に設置する。そ
して、一方のワイヤリール１２Ａから繰り出され、加工
室６０内に導かれるワイヤ１４の走行路と、加工室６０
から繰り出され、他方側のワイヤリール１２Ｂに導かれ
るワイヤ１４の走行路を、それぞれ架線室６２Ａ、６２
Ｂ内に形成する。これにより、ワイヤ１４は加工室６０
又は架線室６２Ａ、６２Ｂ内のみを走行するようにな
り、スラリは加工室６０内又は架線室６２Ａ、６２Ｂ内
にのみ飛散するようになる。具体的には、次のように構
成されている。
【００２１】前記加工室６０は、前記インゴットＩｎの
送り機構（ワークフィードテーブル３０、フィードベー
ス３２等）を含み４本のグルーブローラ１８、１８、…
全体を囲うように形成されている。そして、その正面部
に設置された扉６４を閉めることにより内部が密閉でき
るように構成されている。一方、架線室６２Ａは、ワイ
ヤリール１２Ａから繰り出され、前記加工室６０内に導
かれるワイヤ１４の全体が囲われるように形成されてい
る。そして、その側面部に設置された扉６６Ａを閉める
ことにより内部が密閉できるように構成されている。図
３は、この架線室６２Ａの内部構造を示す正面図であ
る。同図に示すように、ワイヤリール１２Ａから繰り出
されたワイヤ１４を加工室６０内にガイドするガイドロ
ーラ１６Ａ、１６Ａ、…は、すべて架線室６２内に設置
されている。
送り機構（ワークフィードテーブル３０、フィードベー
ス３２等）を含み４本のグルーブローラ１８、１８、…
全体を囲うように形成されている。そして、その正面部
に設置された扉６４を閉めることにより内部が密閉でき
るように構成されている。一方、架線室６２Ａは、ワイ
ヤリール１２Ａから繰り出され、前記加工室６０内に導
かれるワイヤ１４の全体が囲われるように形成されてい
る。そして、その側面部に設置された扉６６Ａを閉める
ことにより内部が密閉できるように構成されている。図
３は、この架線室６２Ａの内部構造を示す正面図であ
る。同図に示すように、ワイヤリール１２Ａから繰り出
されたワイヤ１４を加工室６０内にガイドするガイドロ
ーラ１６Ａ、１６Ａ、…は、すべて架線室６２内に設置
されている。
【００２２】ところで、前記のごとくガイドローラ１６
Ａ、１６Ａ、…は、すべて架線室６２Ａ内に設置されて
いるが、トラバースユニット２２Ａを構成するガイドロ
ーラ１６Ａ1 、１６Ａ2 と、ダンサユニット２４Ａを構
成するガイドローラ（ダンサローラ）１６Ａ4 は、それ
ぞれその機能を確保するために鉛直方向にスライド可能
に構成されていなければならない。
Ａ、１６Ａ、…は、すべて架線室６２Ａ内に設置されて
いるが、トラバースユニット２２Ａを構成するガイドロ
ーラ１６Ａ1 、１６Ａ2 と、ダンサユニット２４Ａを構
成するガイドローラ（ダンサローラ）１６Ａ4 は、それ
ぞれその機能を確保するために鉛直方向にスライド可能
に構成されていなければならない。
【００２３】そこで、これらのガイドローラ（可動ガイ
ドローラ）１６Ａ1 、１６Ａ2 、１６Ａ4 は架線室６２
Ａの壁面６２ａに形成されたスリット６８、７０に沿っ
てスライド可能に構成し、該スリット６８、７０はシー
ルすることによって架線室６２Ａ外にスラリが飛散しな
いように構成する。具体的には次のような構成になって
いる。
ドローラ）１６Ａ1 、１６Ａ2 、１６Ａ4 は架線室６２
Ａの壁面６２ａに形成されたスリット６８、７０に沿っ
てスライド可能に構成し、該スリット６８、７０はシー
ルすることによって架線室６２Ａ外にスラリが飛散しな
いように構成する。具体的には次のような構成になって
いる。
【００２４】まず、トラバースユニット２２Ａの設置部
位の構成について説明する。図３に示すように、トラバ
ースユニット２２Ａは、前記ガイドローラ１６Ａ1 、１
６Ａ 2 を有するガイドユニット７２が、ワイヤリール１
２の軸線方向に沿って往復移動することにより、ワイヤ
リール１２Ａからワイヤ１４を一定ピッチでガイドす
る。このガイドユニット７２は、前記ガイドローラ１６
Ａ1 、１６Ａ2 と、そのガイドローラ１６Ａ1 、１６Ａ
2 が配設されたスライドプレート７４とから構成されて
いる。
位の構成について説明する。図３に示すように、トラバ
ースユニット２２Ａは、前記ガイドローラ１６Ａ1 、１
６Ａ 2 を有するガイドユニット７２が、ワイヤリール１
２の軸線方向に沿って往復移動することにより、ワイヤ
リール１２Ａからワイヤ１４を一定ピッチでガイドす
る。このガイドユニット７２は、前記ガイドローラ１６
Ａ1 、１６Ａ2 と、そのガイドローラ１６Ａ1 、１６Ａ
2 が配設されたスライドプレート７４とから構成されて
いる。
【００２５】スライドプレート７４は、前記架線室６２
Ａの壁面６２ａに形成されたスリット６８内をスライド
し、その背面には図４に示すように前記架線室６２Ａ外
に設置されたロッドレスシリンダ７６のキャリッジ７８
が連結されている。ガイドユニット７２は、このロッド
レスシリンダ７６を駆動することによりワイヤリール１
２Ａに沿って上下動する。
Ａの壁面６２ａに形成されたスリット６８内をスライド
し、その背面には図４に示すように前記架線室６２Ａ外
に設置されたロッドレスシリンダ７６のキャリッジ７８
が連結されている。ガイドユニット７２は、このロッド
レスシリンダ７６を駆動することによりワイヤリール１
２Ａに沿って上下動する。
【００２６】また、スライドプレート７４の上端部に
は、スリット６８の幅よりも広く形成されたシート８０
（シール部材）が取り付けられており、該シート８０の
他端はスライドプレート７４の下端部に取り付けられて
いる。このシート８０は、支持フレーム８２に配設され
た４本のガイドロール８４、８４、…に巻きかけられて
おり、前記ガイドユニット７２と共にスライドしてスリ
ット６８の開口部を常にシールする。
は、スリット６８の幅よりも広く形成されたシート８０
（シール部材）が取り付けられており、該シート８０の
他端はスライドプレート７４の下端部に取り付けられて
いる。このシート８０は、支持フレーム８２に配設され
た４本のガイドロール８４、８４、…に巻きかけられて
おり、前記ガイドユニット７２と共にスライドしてスリ
ット６８の開口部を常にシールする。
【００２７】前記のごとくトラバースユニット２２Ａを
構成することにより、ガイドローラ１６Ａ1 、１６Ａ2
のみが架線室６２Ａ内に配設され、駆動機構は架線室６
２Ａ外で完全にシールされるため、駆動機構にスラリが
掛かり故障することがなくなる。なお、図４において、
符号８６はスプリングであり、シート８０の途中に配設
されてシート８０に一定の張力を付与している。
構成することにより、ガイドローラ１６Ａ1 、１６Ａ2
のみが架線室６２Ａ内に配設され、駆動機構は架線室６
２Ａ外で完全にシールされるため、駆動機構にスラリが
掛かり故障することがなくなる。なお、図４において、
符号８６はスプリングであり、シート８０の途中に配設
されてシート８０に一定の張力を付与している。
【００２８】次に、ダンサユニット２４Ａの設置部位の
構成について説明する。図３に示すように、ダンサユニ
ット２４Ａは、上下方向にスライド自在に設けられたガ
イドローラ（ダンサローラ）１６Ａ4 にワイヤ１４を巻
き掛けることにより、ワイヤ１４に一定の張力を付与す
る。ガイドローラ１６Ａ4 は、スライドブロック９０に
設けられており、該スライドブロック９０は、前記架線
室６２Ａの壁面６２ａに形成されたスリット７０内をス
ライドする。このスライドブロック９０の背面には、図
５に示すようにリニアガイド９２が固着されており、該
リニアガイド９２は前記架線室６２Ａ外に配設されたガ
イドレール９４上をスライド自在に設けられている。
構成について説明する。図３に示すように、ダンサユニ
ット２４Ａは、上下方向にスライド自在に設けられたガ
イドローラ（ダンサローラ）１６Ａ4 にワイヤ１４を巻
き掛けることにより、ワイヤ１４に一定の張力を付与す
る。ガイドローラ１６Ａ4 は、スライドブロック９０に
設けられており、該スライドブロック９０は、前記架線
室６２Ａの壁面６２ａに形成されたスリット７０内をス
ライドする。このスライドブロック９０の背面には、図
５に示すようにリニアガイド９２が固着されており、該
リニアガイド９２は前記架線室６２Ａ外に配設されたガ
イドレール９４上をスライド自在に設けられている。
【００２９】前記ガイドレール９４が敷設されているベ
ースフレーム９６には、ガイドレール９４に沿って連通
孔９８が形成されており、該連通孔９８にはウェイト１
００が挿入されている。ウェイト１００の上端部には吊
りワイヤ１０２が連結されており、該吊りワイヤ１０２
の他端はスライドブロック９０に連結されている。この
吊りワイヤ１０２は、支持フレーム１０４の上部に配設
された定滑車１０６に巻きかけられており、これにより
前記ガイドローラ１６Ａ4 にウェイト１００の荷重が架
けられる。そして、これによりガイドローラ１６Ａ4 に
巻きかけられたワイヤ１４に一定の張力が付与される。
ースフレーム９６には、ガイドレール９４に沿って連通
孔９８が形成されており、該連通孔９８にはウェイト１
００が挿入されている。ウェイト１００の上端部には吊
りワイヤ１０２が連結されており、該吊りワイヤ１０２
の他端はスライドブロック９０に連結されている。この
吊りワイヤ１０２は、支持フレーム１０４の上部に配設
された定滑車１０６に巻きかけられており、これにより
前記ガイドローラ１６Ａ4 にウェイト１００の荷重が架
けられる。そして、これによりガイドローラ１６Ａ4 に
巻きかけられたワイヤ１４に一定の張力が付与される。
【００３０】また、スライドブロック９０の上端部に
は、前記スリット６８の幅よりも広く形成されたシート
（シール部材）１０８が取り付けられており、該シート
１０８の他端はスライドブロック９０の下端部に取り付
けられている。このシート１０８は、支持フレーム１０
４に配設された４本のガイドロール１１０、１１０、…
に巻きかけられており、前記スライドブロック９０と共
にスライドしてスリット７０の開口部を常にシールす
る。
は、前記スリット６８の幅よりも広く形成されたシート
（シール部材）１０８が取り付けられており、該シート
１０８の他端はスライドブロック９０の下端部に取り付
けられている。このシート１０８は、支持フレーム１０
４に配設された４本のガイドロール１１０、１１０、…
に巻きかけられており、前記スライドブロック９０と共
にスライドしてスリット７０の開口部を常にシールす
る。
【００３１】前記のごとくダンサユニット２４Ａを構成
することにより、ガイドローラ１６Ａ4 のみが架線室６
２Ａ内に配設され、スライド機構は架線室６２Ａ外で完
全にシールされるため、スライド機構にスラリが掛かり
故障することがなくなる。なお、図５において、符号１
１２はスプリングであり、シート１０８の途中に配設さ
れてシート１０８に一定の張力を付与している。
することにより、ガイドローラ１６Ａ4 のみが架線室６
２Ａ内に配設され、スライド機構は架線室６２Ａ外で完
全にシールされるため、スライド機構にスラリが掛かり
故障することがなくなる。なお、図５において、符号１
１２はスプリングであり、シート１０８の途中に配設さ
れてシート１０８に一定の張力を付与している。
【００３２】一方の架線室６２Ａは前記のごとく構成さ
れるが、他方側の架線室６２Ｂも上記と同様の構成であ
る。したがって、その構成の説明については省略する。
前記のごとく構成された本実施の形態のワイヤソー１０
によれば、一対のワイヤリール１２Ａ、１２Ｂ間を走行
するワイヤ１４は、常に架線室６２Ａ、６２Ｂ又は加工
室内６０内を走行することとなり、スラリが付着したま
ま走行しても、スラリは架線室６２Ａ、６２Ｂ又は加工
室６０内のみに飛散するので、周囲が汚染されることが
ない。
れるが、他方側の架線室６２Ｂも上記と同様の構成であ
る。したがって、その構成の説明については省略する。
前記のごとく構成された本実施の形態のワイヤソー１０
によれば、一対のワイヤリール１２Ａ、１２Ｂ間を走行
するワイヤ１４は、常に架線室６２Ａ、６２Ｂ又は加工
室内６０内を走行することとなり、スラリが付着したま
ま走行しても、スラリは架線室６２Ａ、６２Ｂ又は加工
室６０内のみに飛散するので、周囲が汚染されることが
ない。
【００３３】また、架線室６２Ａ、６２Ｂ又は加工室６
０内に飛散したスラリは、架線室６２Ａ、６２Ｂ又は加
工室６０内全体を洗浄することにより、容易に除去する
ことができ、メンテナンス性も向上する（ガイドローラ
１６Ａ、１６Ｂを個別に洗浄するのではなく、架線室６
２Ａ、６２Ｂ又は加工室６０内全体を一括して洗うこと
ができ、洗浄作業が簡単になる。）。
０内に飛散したスラリは、架線室６２Ａ、６２Ｂ又は加
工室６０内全体を洗浄することにより、容易に除去する
ことができ、メンテナンス性も向上する（ガイドローラ
１６Ａ、１６Ｂを個別に洗浄するのではなく、架線室６
２Ａ、６２Ｂ又は加工室６０内全体を一括して洗うこと
ができ、洗浄作業が簡単になる。）。
【００３４】さらに、トラバースユニット２２Ａを構成
するガイドローラ１６Ａ1 、１６Ａ 2 と、ダンサユニッ
ト２４Ａを構成するガイドローラ１６Ａ4 が、それぞれ
架線室６２Ａの壁面６２ａに形成されたスリット６８、
７０内をスライドするように構成されており、該スリッ
ト６８、７０はシート８０、１０８によってシールされ
ているため、これらの駆動機構やスライド機構にスラリ
が掛かって汚損されるのを有効に防止することができ
る。
するガイドローラ１６Ａ1 、１６Ａ 2 と、ダンサユニッ
ト２４Ａを構成するガイドローラ１６Ａ4 が、それぞれ
架線室６２Ａの壁面６２ａに形成されたスリット６８、
７０内をスライドするように構成されており、該スリッ
ト６８、７０はシート８０、１０８によってシールされ
ているため、これらの駆動機構やスライド機構にスラリ
が掛かって汚損されるのを有効に防止することができ
る。
【００３５】また、ワイヤ１４が、常に架線室６２Ａ、
６２Ｂ又は加工室６０内を走行することにより、ワイヤ
１４がガイドローラ１６Ａ、１６Ｂから脱線した場合
や、断線した場合であっても、その脱線したワイヤや断
線したワイヤが他の機器を損傷するのを有効に防止する
ことができる。すなわち、ワイヤ１４は常に架線室６２
Ａ、６２Ｂ又は加工室６０内を走行し、ワイヤソー１０
を構成する他の機器からは隔離された状態にあるで、断
線又は脱線した場合であっても、そのワイヤ１４がワイ
ヤソー１０を構成する他の機器に接触することはなく、
これらの機器が損傷することもない。
６２Ｂ又は加工室６０内を走行することにより、ワイヤ
１４がガイドローラ１６Ａ、１６Ｂから脱線した場合
や、断線した場合であっても、その脱線したワイヤや断
線したワイヤが他の機器を損傷するのを有効に防止する
ことができる。すなわち、ワイヤ１４は常に架線室６２
Ａ、６２Ｂ又は加工室６０内を走行し、ワイヤソー１０
を構成する他の機器からは隔離された状態にあるで、断
線又は脱線した場合であっても、そのワイヤ１４がワイ
ヤソー１０を構成する他の機器に接触することはなく、
これらの機器が損傷することもない。
【００３６】なお、本実施の形態では、スリット６８、
７０のシール構造として、スライドプレート７４又はス
ライドブロック９０と共にスライドする無端状のシート
８０、１０８を使用しているが、シール構造はこれに限
定されるものではない。たとえば、ジャバラ等の伸縮自
在なシートによってスリット６８、７０をシールするよ
うにしてもよいし、また、スライドプレート７４又はス
ライドブロック９０と共にスライドする板状体によって
スリット６８、７０をシールするようにしてもよい。
７０のシール構造として、スライドプレート７４又はス
ライドブロック９０と共にスライドする無端状のシート
８０、１０８を使用しているが、シール構造はこれに限
定されるものではない。たとえば、ジャバラ等の伸縮自
在なシートによってスリット６８、７０をシールするよ
うにしてもよいし、また、スライドプレート７４又はス
ライドブロック９０と共にスライドする板状体によって
スリット６８、７０をシールするようにしてもよい。
【００３７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
一対のワイヤリール間を走行するワイヤは、常に加工室
又は架線室内を走行すため、スラリが付着したままワイ
ヤが走行しても、スラリは加工室と架線室内にのみ飛散
し周囲を汚染することがない。また、架線室に飛散した
スラリは架線室全体を洗浄することにより、容易に除去
することができメンテナンス性が向上する。
一対のワイヤリール間を走行するワイヤは、常に加工室
又は架線室内を走行すため、スラリが付着したままワイ
ヤが走行しても、スラリは加工室と架線室内にのみ飛散
し周囲を汚染することがない。また、架線室に飛散した
スラリは架線室全体を洗浄することにより、容易に除去
することができメンテナンス性が向上する。
【図１】ワイヤソーの全体構成を示す斜視図
【図２】本発明に係るワイヤソーの要部の構成を示す平
面図
面図
【図３】架線室内の内部構造を示す正面図
【図４】トラバースユニット設置部位の構成を示す側面
断面図
断面図
【図５】ダンサユニット設置部位の構成を示す側面断面
図
図
１０…ワイヤソー １１…ワイヤソー本体 １２Ａ、１２Ｂ…ワイヤリール １４…ワイヤ １６Ａ、１６Ｂ…ガイドローラ １８…グルーブローラ ２０…ワイヤ列 ２２Ａ、２２Ｂ…トラバースユニット ２４Ａ、２４Ｂ…ダンサユニット ４２…スラリ供給ユニット ６０…加工室 ６２Ａ、６２Ｂ…架線室 ６８、７０…スリット ８０、１０８…シート Ｉｎ…インゴット
Claims (2)
- 【請求項１】 一方のワイヤリールから繰り出され、他
方側のワイヤリールに巻き取られるワイヤを加工室内に
設置された複数本のグルーブローラに巻き掛けてワイヤ
列を形成し、該ワイヤ列にスラリを供給しながら被加工
物を押し当てて多数枚のウェーハに切断するワイヤソー
において、 前記一方のワイヤリールから繰り出され、複数個のガイ
ドローラによって前記加工室内に導かれるワイヤの走行
路と、前記加工室から繰り出され、複数個のガイドロー
ラによって前記他方側のワイヤリールに導かれるワイヤ
の走行路を、それぞれ密閉可能な架線室内に形成したこ
とを特徴とするワイヤソー。 - 【請求項２】 前記ワイヤの走行路を形成する複数個の
ガイドローラのうちスライド可能な可動ガイドローラ
は、前記架線室の壁面に形成されたスリットに沿ってス
ライド移動し、該スリットは前記可動ガイドローラとと
もにスライドするシール部材によってシールされている
ことを特徴とする請求項１記載のワイヤソー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985399A JP2000218497A (ja) | 1999-01-28 | 1999-01-28 | ワイヤソー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985399A JP2000218497A (ja) | 1999-01-28 | 1999-01-28 | ワイヤソー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000218497A true JP2000218497A (ja) | 2000-08-08 |
Family
ID=12010805
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985399A Pending JP2000218497A (ja) | 1999-01-28 | 1999-01-28 | ワイヤソー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000218497A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005081301A1 (en) * | 2004-02-25 | 2005-09-01 | Ebara Corporation | Polishing apparatus and substrate processing apparatus |
| KR101064877B1 (ko) * | 2011-01-21 | 2011-09-16 | 오성엘에스티(주) | 잉곳 절단용 와이어 쏘 시스템 |
-
1999
- 1999-01-28 JP JP1985399A patent/JP2000218497A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005081301A1 (en) * | 2004-02-25 | 2005-09-01 | Ebara Corporation | Polishing apparatus and substrate processing apparatus |
| CN100429752C (zh) * | 2004-02-25 | 2008-10-29 | 株式会社荏原制作所 | 抛光装置和衬底处理装置 |
| US7682225B2 (en) | 2004-02-25 | 2010-03-23 | Ebara Corporation | Polishing apparatus and substrate processing apparatus |
| US7862402B2 (en) | 2004-02-25 | 2011-01-04 | Ebara Corporation | Polishing apparatus and substrate processing apparatus |
| JP4772679B2 (ja) * | 2004-02-25 | 2011-09-14 | 株式会社荏原製作所 | 研磨装置及び基板処理装置 |
| KR101064877B1 (ko) * | 2011-01-21 | 2011-09-16 | 오성엘에스티(주) | 잉곳 절단용 와이어 쏘 시스템 |
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