JP2000216425A - 光電式混合器 - Google Patents
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Abstract
製造コストのもとで良好な混合効果を提供できるように
改善を行うこと。 【解決手段】 光センサは個別に制御可能な少なくとも
2つのセンサ電極を有しており、前記基準周波数発生器
は、光信号の信号周波数のクロックで生成される電荷キ
ャリヤを、基準周波数のクロックで一方のセンサ電極ま
たは他方のセンサ電極に交互に導くために前記2つのセ
ンサ電極に接続されるように構成される。
Description
て高周波振幅変調された光信号の復調のための光電式混
合器であって、前記光信号を自由電荷キャリヤに変換す
る光センサと、基準周波数の交流電圧を光センサに印加
するための基準周波数発生器とを含み、該基準周波数発
生器は前記光センサに接続されている、光電式混合器に
関する。
定機器にも関する。
ないし復調器はドイツ連邦共和国特許出願公開第196
43287号公報から公知である。この公知の混合器で
は、アバランシホトダイオード(以下ではAPDとも称
する)によって、高周波振幅変調された光信号が自由荷
電キャリヤに変換されている。その際このAPDは基準
周波数発生器と接続され、それによって適切な混合周波
数ないし基準周波数を有する高周波光信号が比較的低い
周波数領域へ変換されている。
として用いられているAPDは、高電圧を介して遮断方
向でバイアスされなければならず、光信号のフォトンノ
イズに起因する固有ノイズと、高くはあるが高電圧及び
温度に高感度に依存した利得レベルを有している。それ
故に、例えば前記ドイツ連邦共和国特許出願公開第19
643287号公報に記載のような公知の混合器を距離
測定機器に用いる場合には、比較的高価な較正装置が必
要とされる。
ら公知の光電式混合器では、光センサとしてのアバラン
シホトダイオードによって制御される温度依存性と、非
線形のAPD特性曲線及びAPDの固有ノイズと共に混
合効果が著しくなる。
式混合器において、僅かな回路コストと製造コストのも
とで良好な混合効果を提供できるように改善を行うこと
である。
り、光センサは個別に制御可能な少なくとも2つのセン
サ電極を有しており、前記基準周波数発生器は、光信号
の信号周波数のクロックで生成される電荷キャリヤを、
基準周波数のクロックで一方のセンサ電極または他方の
センサ電極に交互に導くために前記2つのセンサ電極に
接続されるように構成されて解決される。
な、光センサのセンサ電極に、基準周波数発生器は、補
数的交流電圧を印加するので、これによって振幅変調ク
ロックで光センサに対して生成される基準周波数クロッ
クの荷電キャリヤは、2つのセンサ電極の一方または他
方に交互に案内される。これは多重的混合過程であり、
これは光センサとしてのAPDの場合と異なり、顕著な
固有ノイズが含まれるべきではない。
センサは、相互に間隔を置いて配置された個別にコンタ
クトされる複数のセグメントを備えたマルチセグメント
形ホトダイオードであり、この場合前記個別に制御可能
な少なくとも2つのセンサ電極が前記セグメントによっ
て形成される。最も簡易なマルチセグメントホトダイオ
ードは、モノリシックに結晶半導体上に配置された、数
マイクロm〜数十μmの間隔で分離された2つのセグメ
ントを有する差動ダイオードである。これらのセグメン
ト、すなわち低抵抗で透過性の面は、該当するセグメン
ト内で生成される全ての電荷キャリヤを統合し、それら
はセグメントのコンタクトを介して検出可能な電流とし
て導出される。本発明によれば、光電式混合器ないし復
調器が大量生産で得られる、モード的にも限界のない差
動ダイオードまたはカドラントダイオードで構成されて
もよい。なぜならマルチセグメントホトダイオードは既
に僅かなバイアス電圧(例えば5V)のもとでも、効果
的な光センサであるので、本発明による混合器の回路コ
ストは、従来技法に比べて著しく低減できる。
ホトダイオードのセグメント間に存在する領域において
のみ行われるだけでよい事実を見つけた。それ故光学的
結像装置により、光信号がマルチセグメントホトダイオ
ードの2つのセグメント間に存在する領域に結像され、
2つのセンサ電極がこの領域に隣接するセグメントによ
って形成されている場合には、特に高い混合効果が得ら
れる。その際マルチセグメントホトダイオードのセグメ
ント間の間隙ないし領域内に入射する光信号の光は大き
な偏見に抗して荷電キャリヤに変換される。この間隙内
で生成され大抵の適用ケースで無視できるフォトンない
し正孔は、2つの隣接するセグメントに遷移する。2つ
のセグメントがマルチセグメントホトダイオードの慣用
的適用ケースに応じて同じ阻止電圧におかれている場合
には、間隙内で生成される荷電キャリヤが2つの隣接す
るセグメントに分割される。この場合の分割比は、間隙
内の光スポットの位置に依存し得る。隣接するセグメン
トを異なる高い阻止電圧に置くならば、間隙内で生成さ
れる電子(正孔)は有利には正(負)の電極に遷移す
る。
フォトダイオードの個々のセグメントが透光性のもので
覆われる。それにより、付加的なフォトンノイズや過制
御の原因となる周辺光が大幅に減衰される。
る電極自体は、光の荷電キャリヤへの変換に対しては関
与されず、さらに光センサとしてのマルチセグメントフ
ォトダイオードのもとで一般的には無視されてきた光電
式混合器の機能のためのセグメント間の間隙領域が重要
であることが確認された。この場合セグメントの感光性
自体は可及的に完全に抑圧される。
合されたスペクトルフィルタと共に積層されている場合
には、ノイズ光源がさらに効果的に抑圧される。この関
係において留意すべき点は、本願における“光”とは適
切なセンサに対応付けされ得るあらゆる信号搬送波のこ
とである。従って本願は可視光スペクトル領域に限定さ
れるものではない。
周波数発生器が非常に小さなキャパシタンスを介してセ
ンサ電極に接続されている。特に光センサとしてのマル
チセグメントフォトダイオードのもとでは、それによっ
て基準周波数が効果的且つ節電的に光センサ内へ入力結
合される。
センサのセグメントが高抵抗な抵抗を介して阻止方向に
バイアスされている。なぜなら信号周波数及び基準周波
数の周波数帯域が狭い場合に生じる低い混合周波数のも
とでは、電圧信号が相応の高抵抗な増幅回路によって非
常に効果的に低ノイズで評価できるからである。センサ
電極から供給される電圧信号のバッファとローパスフィ
ルタリングのために、高抵抗な増幅器がセンサ電極と評
価ユニットの間に接続されている場合には、比較的高い
周波数の信号が前述したように評価に用いられる低周波
信号によって分離可能となる。
明は、本発明による光電式混合器の、振幅変調される光
信号を測定すべき対象物まで送信する光送信器を備えた
距離測定機器への適用にも関している。この場合光セン
サは、対象物から反射されて戻ってきる光信号を検出
し、評価ユニットは送信された光信号と戻ってきた光信
号の間の位相ずれを検出する。これによって得られる距
離測定機器は、比較的僅かな光出力のもとでも、つまり
対象物までの距離が離れている場合でも、および/また
はエネルギ消費が少ない場合でも、あるいは振幅変調周
波数が比較的高い場合、すなわち距離測定精度が高い場
合でも容易に評価が可能である。なぜなら本発明による
光電式混合器によって、比較的低い周波数領域への変換
が信号経路における広帯域な電気的増幅がまだ行われて
いない箇所で実施されるからである。
細に説明する。
合器1の実施例は、光センサとして差動ダイオード2で
実施されているマルチセグメントホトダイオードを有し
ている。この差動ダイオード2は、アース電位に置かれ
た電極3と2つの個別に制御可能なセンサ電極5及び7
を含んでいる。それらは、非常に高い(例えば10M
Ω)抵抗9,11と入力側13を介して例えば5〜15
Vの遮断電圧に置かれている。
メント面14,15を有している。これらのモノリシッ
クな半導体結晶部17上に配設されたセグメント14,
15は、マルチセグメントホトダイオードの公知技法と
して周知の適用法のもとで感光性のセンサ領域として用
いられている。
14,15を分離している、差動ダイオード2の分離領
域19が感光性センサ要素をなしており、その上に光信
号21が概略的に示されている結像光学系23を用いて
結像される。この感光性のセンサ領域19は典型的には
数μm〜数十μmの幅である。
れば、センサ電極5,7に、小さなキャパシタンス2
5,27(例えば1pF〜10pFのオーダ)と基準周
波数入力側29,30を介して、基準周波数frefの相
補的な交流電圧が供給される。この基準周波数f
refは、例えば数百MHzであってもよく、またこの交
流電圧の振幅は数ボルトであってもよい。但しその際は
入力側13のバイアス電圧を上回ることはない。
4と15の間の間隙にて生成される光電子は基準周波数
frefに応じて選択的にセンサ電極5かまたはセンサ電
極7まで遷移し、これによって乗算的混合過程が、信号
周波数fsigで振幅変調された光信号21と基準周波数
frefの間で作用せしめられる。
しては、感光領域19に入射する光のみが寄与すること
を発見した。それ故にセグメント14と15には有利に
は透過性のカバー膜31,33が対応付けされている。
は、高抵抗な増幅器35,37、有利にはFET増幅器
と、これに後置接続されたローパスフィルタ39,41
を介して次のようにバッファされフィルタリングされ
る。すなわち信号成分が、信号周波数fsigと基準周波
数frefと和周波数fsig+frefとによって抑圧される
ようにバッファされフィルタリングされる。従って、後
置接続された差動増幅器43を用いた差分形成によって
形成される出力信号は、実質的に差分周波数fsig−f
refのみを含む。故に出力側45からは差分周波数fsig
−frefの混合信号が後続処理のためにピックアップさ
れる。
もとでダイオード回路接続が極端に高抵抗であってもよ
い。それにより光信号21の強度が比較的僅かな場合で
も、良好に評価可能な信号が生じる。基準周波数の生成
を除いて、高周波な信号の処理が必要なところはどこに
もない。それにより、光信号21の信号周波数は、より
高価な評価コストをかけることなく非常に高く選定する
ことが可能である。電圧供給が通常の機器小電圧(例え
ば15V)範囲を超えて上昇することはないので、基準
周波数発生器を除いた全ての構成要素を非常に節電的に
設計することが可能である。
んだ距離測定機器がブロック回路で示されている。その
際送信ユニット49は、ダイオードレーザー47によっ
て振幅変調された光信号51を、ここでは図示されてい
ない被測定対象物まで発している。光信号51は当該対
象物から反射され、差動ダイオード2を含んだ光電式混
合器1によって光信号21として検出される。
幅に印加される信号周波数fsigを生成し、基準周波数
発生器55は、基準周波数frefを生成する。この基準
周波数は、比較的小さな絶対値fNF分だけ信号周波数f
sigと異なっている。基準周波数frefは、図1に示され
ている基準周波数入力側29,30を介して復調器ない
し光電式混合器1に供給される。この信号周波数fsig
および基準周波数fr efは、さらに信号周波数発生器5
3ないし基準周波数発生器55からさらなるミクサ57
へ供給される。このミクサ57の出力側は、位相比較器
59に接続されており、この位相比較器59は、さらに
図1に示された光電式混合器1の出力側45に接続され
ている。それにより、送信された光信号51に印加され
る位相が、受信した光信号21の位相位置と比較でき
る。これにより、反射された対象物までの距離が検出可
能となる。
機器のさらなる実施形態が示されており、この場合、図
2の構成要素と同じ図3の構成要素には、図2の場合と
同じ符号が用いられている。
による距離測定機器の基準周波数f refが別個の基準周
波数発生器によって生成されるのではなく、シングルサ
イドバンドモジュレータ(SSM)として構成された周
波数オフセット器(61)を用いて信号周波数fregか
ら生成されていることである。それに対しては低周波発
生器63が信号周波数fsigよりも小さい低周波fNFを
生成する。この低周波は、周波数オフセット器61によ
って信号周波数fsigに加えられるか信号周波数fsigか
ら減じられる。それにより、基準周波数frefが生成さ
れ、当該光電式混合器1に供給される。
印加された信号周波数fsigと、周波数オフセット器6
1を介して供給される基準周波数frefから再び低周波
fNFの測定信号を生成する。この測定信号の位相位置
は、低周波発生器63の位相位置と剛性的に結合され
る。なぜならこの測定信号は、2つの測定過程(まず周
波数オフセット器61、次に混合器1)によって、当該
低周波発生器63の周波数から導出されているからであ
る。しかしながらこの測定信号は、送信ユニット49と
混合器1における伝播時間並びに距離測定方式に応じた
光学経路、すなわち送信ユニット49から受信器(差分
ダイオード2)までの送信光の反射経路に起因する位相
シフトを生じる。この位相シフトは、位相比較器59に
おいて測定され、間隔距離に対する尺度となる。
である。
器のブロック回路図である。
の距離測定機器のブロック回路図である。
Claims (11)
- 【請求項1】 信号周波数(fsig)でもって高周波振
幅変調された光信号(21)の復調のための光電式混合
器であって、 前記光信号(21)を自由電荷キャリヤに変換する光セ
ンサ(2)と、 基準周波数(fref)の交流電圧を光センサ(2)に印
加するための基準周波数発生器とを含み、該基準周波数
発生器は前記光センサ(2)に接続されている形式のも
のにおいて、 前記光センサ(2)は個別に制御可能な少なくとも2つ
のセンサ電極(5,7)を有しており、前記基準周波数
発生器は、光信号(21)の信号周波数(fsi g)のク
ロックで生成される電荷キャリヤを、基準周波数(f
ref)のクロックで一方のセンサ電極(5)または他方
のセンサ電極(7)に交互に導くために前記2つのセン
サ電極(5,7)に接続されていることを特徴とする光
電式混合器。 - 【請求項2】 前記光センサ(2)は、相互に間隔を置
いて配置された個別にコンタクトされる複数のセグメン
ト(14,15)を備えたマルチセグメント形ホトダイ
オードであり、この場合前記個別に制御可能な少なくと
も2つのセンサ電極(5,7)が前記セグメント(1
4,15)によって形成されている、請求項1記載の光
電式混合器。 - 【請求項3】 光学的結像装置(23)によって光信号
(21)が、前記2つのセグメント(14,15)間に
存在する、光センサ(2)の領域(19)に結像され、
2つの電極(5,7)がこの領域に隣接したセグメント
(14,15)によって形成されている、請求項2記載
の光電式混合器。 - 【請求項4】 前記光センサ(2)の個々のセグメント
(14,15)は、光透過膜(31,33)によって覆
われている、請求項3記載の光電式混合器。 - 【請求項5】 前記光センサ(2)に、光信号搬送波
(21)の波長領域に同調されたスペクトルフィルタが
対応付けされている、請求項1〜4いずれか1項記載の
光電式混合器。 - 【請求項6】 前記基準周波数発生器は、小さなキャパ
シタンス(25,27)を介して前記センサ電極(5,
7)に接続されている、請求項1〜5いずれか1項記載
の光電式混合器。 - 【請求項7】 前記光センサ(2)のセグメント(1
4,15)が高抵抗な抵抗(9,11)を介して阻止方
向にバイアスされている、請求項2〜6いずれか1項記
載の光電式混合器。 - 【請求項8】 前記センサ電極(5,7)から供給され
る電圧信号のバッファとローパスフィルタリングのため
に、前記センサ電極(5,7)と差動増幅器(43)の
間に高抵抗の差動増幅器(43)が接続されている、請
求項1〜7いずれか1項記載の光電式混合器。 - 【請求項9】 前記高抵抗な増幅器(35,37)と差
動増幅器(43)の間にローパスフィルタ(39,4
1)が接続されている、請求項8記載の光電式混合器。 - 【請求項10】 振幅変調された光信号(51)を送信
する光送信器(47,49)を備え、光センサ(2)が
測定すべき対象から反射されフィードバックされた光信
号(21)を検出し、位相比較器(59)が送信された
光信号(51)とフィードバックされた光信号(21)
の間の位相シフトを検出する、距離測定機器内への請求
項1〜9いずれか1項記載の光電式混合器の適用。 - 【請求項11】 基準周波数を周波数オフセット器(6
1)により信号周波数から生成する、請求項10記載の
距離測定機器内への光電式混合器の適用。
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