JP2000213942A - 振動ジャイロ - Google Patents

振動ジャイロ

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JP2000213942A JP11018488A JP1848899A JP2000213942A JP 2000213942 A JP2000213942 A JP 2000213942A JP 11018488 A JP11018488 A JP 11018488A JP 1848899 A JP1848899 A JP 1848899A JP 2000213942 A JP2000213942 A JP 2000213942A
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泉 山本
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 4脚音叉において、支持状態によって捻りモ
ードである振動モードfの固有周波数が変化し、駆動振
動の振動モードと検出振動の振動モードの固有周波数に
近づき感度特性の悪化やドリフトの増加が生じる。 【解決手段】 基部1に錘17を接合した上、回転方向
に対し柔構造であるジンバル体19に接合して支持する
ことにより、振動モードfの固有周波数は安定して駆動
振動の振動モードおよび検出振動の振動モードの固有周
波数から離れ、感度特性が向上すると同時にドリフトを
小さくできた。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、角速度を検出する
ために用いられる振動ジャイロに関するものである。
【0002】
【従来の技術】家庭用ビデオカメラの手ぶれ防止機構や
カーナビゲーションシステムの位置検出機構などに、手
ぶれの検出および車体の回転角度を検出するための振動
ジャイロが用いられている。物理法則によれば、角速度
Ωで回転する座標系から見て運動する物体にはその相対
速度Vに比例したコリオリ力Fcが速度と直交する方向
に作用し、その大きさと方向は次式で現される。 Fc=2mV×Ω ここで、mはコリオリ力が作用する物体の質量である。
【0003】振動ジャイロは振動によって物体の運動を
発生させることで、振動方向に直交する方向に作用する
コリオリ力を捉えて回転を検出しようとする角速度セン
サであり、用いられる振動子には音片型、音叉型などの
様々な形が提案されている。
【0004】このうち、発生させる振動である駆動振動
とコリオリ力によって引き起こされる検出振動の双方
が、振動子の支持方法の影響を受けないものとして、一
つの基部1と基部1から同一の方向に伸びる4本の脚3
をもつ図10に示すような4脚音叉が、たとえば特開平
4−324311号公報などで提案されている。
【0005】このような4脚音叉は図11〜図16に示
す6個の振動モードをもつ。図は4脚音叉の脚部の断面
を示したものであり、矢印はある瞬間の各脚の振動方向
を表している。振動モードa(図11)は隣り合う2本
の脚の振動面が直交するモードであり、隣り合う2本の
脚が互いに近づく時はそれと直交する2本の脚は互いに
離れるモードである。振動モードb(図12)は隣り合
う2本の脚の振動面が直交するモードであり、隣り合う
2本の脚が互いに近づく時はそれと直交する2本の脚も
互いに近づき、脚が全体に近づいたり離れたりするモー
ドである。振動モードc(図13)は隣り合う2本の脚
の振動面が直交するモードであり、対角上の2本の脚が
近づく時はそれと直交する2本の脚は離れるモードであ
る。振動モードd(図14)は全ての脚の振動面が平行
なモードであり、対角上の2本の脚は互いに同相であ
り、対角上の2本の脚の組とそれと直交する2本の脚の
組は逆相のモードである。振動モードeは振動モードd
の振動面を90度回転したモードである。振動モードd
と振動モードeは、振動方向が異なるだけで双子のモー
ドである。振動モードfは脚と基部が逆方向に回転する
捻りモードであり、6個の振動モードの内このモードだ
けが、基部の振動を伴うモードである。
【0006】コリオリ力は駆動振動に直交して働くので
駆動振動の振動面と検出振動の振動面は直交するように
選ぶのが効率が良いことから、振動モードa(図11)
と振動モードc(図13)の組合せ、あるいは振動モー
ドd(図14)と振動モードe(図15)の組合せがそ
れぞれ駆動振動と検出振動として利用される。これらの
振動モードはいずれも脚同士でバランスを取り合うので
基部の振動を伴わない。したがって、基部の支持方法に
よって振動モードが変化しないので、良好な感度特性を
得られるとともにドリフトも小さいことが特徴である。
【0007】4脚音叉は基部の振動を伴わない振動モー
ドで利用されるため、基部の底面または側面が支持され
る。支持の具体的な方法は特開平4−324311号公
報にはなにも示されてはいないが、底面を単に固着する
方法や、USP 5,597,955に示されるように
細い棒で支持する方法が開示されている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来技術では、振動モードf(図16)は音叉の支持
方法によってその固有周波数が変化するため、支持状態
によっては利用する駆動振動の振動モードと検出振動の
振動モードの中間に存在してしまう場合があり、検出感
度が低下したりドリフトが生じるなどの悪影響を生じる
という課題があった。また、細い棒で支持する方法では
衝撃や振動に対して著しく弱いという課題があった。
【0009】〔発明の目的〕上記課題を解決するため、
本発明の目的は、支持状態による影響を受けず、精度の
良い角速度の検出ができる振動ジャイロを提供すること
にある。また、衝撃や振動に強い振動ジャイロを提供す
ることにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の振動ジャイロは、基部の底面が4脚音叉の
質量の少なくとも1倍以上の質量をもつ錘に固着されて
おり、音叉の軸のまわりの回転に対して柔らかい構造を
もつ柔構造体に錘は支持されていることを特徴とする振
動ジャイロとした。
【0011】本発明の振動ジャイロは基部の側面に4脚
音叉の質量の少なくとも1倍以上の質量をもつ錘が固着
されており、音叉の軸のまわりの回転に対して柔らかい
構造をもつ柔構造体に音叉は支持されていることを特徴
とする振動ジャイロとした。
【0012】本発明の振動ジャイロは、柔構造体が金属
板からなるジンバル体であることを特徴とする。
【0013】本発明の振動ジャイロは、錘がタングステ
ンからなることを特徴とする。
【0014】本発明の振動ジャイロは、前記ジンバル体
とベースとの間に粘弾性体からなる振動吸収体を挟持し
ジンバル体およびベースとに接合したことを特徴とす
る。
【0015】〔作用〕本発明のような支持構造を用いる
と、錘を用いたことにより振動モードfにおいても基部
の変位はわずかになり、またジンバル体を用いることに
より基部の変位を吸収することができるため、振動モー
ドfは支持の状態によらずに駆動振動の振動モードおよ
び検出振動の振動モードより安定して高い周波数の振動
モードとなり、駆動振動および検出振動に悪影響を及ぼ
すことがない。
【0016】さらに、ジンバル体の下部に振動吸収体を
設置することにより、衝撃および振動に対して強い振動
ジャイロとすることができる。
【0017】
【発明の実施の形態】以下、本発明による実施の形態を
図面に基づいて説明する。
【0018】(実施形態1)図1は本発明による振動ジ
ャイロの実施の形態を示す図であり、直方体からなる基
部1に同一方向に伸びる4本の脚3を有す。この4脚音
叉は恒弾性金属として知られるNi、Cr、Ti、Fe
の合金であるエリンバーをワイヤー放電加工等によって
加工して製作する。各脚の側面部には圧電素子5が貼付
されている。各脚の圧電素子5は図2に示すような駆動
検出回路に接続される。駆動検出回路は自励発振を行う
駆動回路7、加算回路A9、加算回路B11、減算回路
13、および同期検波と積分を行うロックインアンプ1
5から成っており、直流電圧が角速度に比例する値とし
て出力される。基部1は4脚音叉と略同一の質量をもつ
タングステンの直方体からなる錘17に接合されてお
り、錘17はステンレススチールからなるジンバル体1
9に接合されている。ジンバル体19は図3のような構
造を持ち、錘17が接合される部分である内側方形部2
1を中心とした柔構造を成している。内側方形部21は
四隅において中間バネ部23と繋ぎa25を介して繋が
っており、さらに中間バネ部23は内側方形部21と中
間バネ部23との繋ぎa25と45度の角度をなす部分
で外縁部27と繋ぎb29を介して繋がっている。ジン
バル体19は外縁部27においてベース31と接合され
ている。
【0019】図4は従来の振動ジャイロの固有周波数を
測定した結果であり、各振動モードの周波数分布を示し
ている。また、図5は本実施形態による振動ジャイロの
固有周波数を測定した結果である。本実施形態において
は振動モードfの周波数は最も高い固有周波数として現
れており、分布の幅も小さいことがわかる。
【0020】図6は本発明による振動ジャイロの感度特
性を従来の振動ジャイロの感度特性と比較した図であ
る。感度は検出可能な最小の角速度として定義され、し
たがって小さいほど良い。本発明の振動ジャイロは感度
特性が向上すると同時に分布の幅も小さいことを示して
いる。また、図7は本発明による振動ジャイロの1時間
あたりのドリフトの大きさを従来の振動ジャイロと比較
した図であり、本発明の振動ジャイロはドリフトが小さ
く、分布の幅も小さいことを示している。
【0021】上記のように音叉の固定状態によって振動
モードfの固有周波数が変化してしまうのは、振動モー
ドfが基部の振動を伴う振動モードだからである。我々
はこのような現象を理解するために有限要素法による構
造解析シミュレーションを試みた。下記は基部底面の固
着条件として様々な境界条件を与えて有限要素法による
構造解析を行った結果であるが、完全固定および完全自
由の場合には振動モードfは6つの固有振動モードの内
で最も高い固有周波数をもつが、中心部のみを固定した
場合には最も低い固有周波数をもつことがわかる。ま
た、他の5つの振動モードの固有周波数は境界条件によ
って変化しないことがわかる。支持条件のばらつきか
ら、現実の固定状態はこれらの中間状態であると考えら
れるので、振動モードfは最も低い振動モードから最も
高い振動モードの間のどこへでも位置する可能性がある
ことが理解できる。 振動モード(kHz) 境界条件 a b c d e f 完全固定 18.4 18.6 18.7 18.8 18.8 19.1 完全自由 18.4 18.6 18.7 18.8 18.8 23.1 中心固定 18.4 18.6 18.7 18.8 18.8 17.8
【0022】本発明の実施の形態は音叉を自由支持に近
づける構造を実現したものである。前述したように完全
自由の境界条件では、振動モードfは最も高い固有周波
数をもつ振動モードとなる。しかしながら、現実には音
叉はなんらかの手段によって支持しなければならないの
で理想状態から離れることになる。完全自由の境界条件
の意味するところは基部の振動を妨げないことにある。
この場合基部の振動は音叉の長手方向を軸とした回転な
ので、音叉の軸の回りの回転を妨げない支持構造をとれ
ば良いが、このような支持構造をとるには基部の振動に
よる変位を小さくした方が良いことは明らかである。本
発明の実施の形態では、基部の振動の変位を小さくする
方法として基部の底面に錘17を付加したものである。
基部の振動は脚部の振動に対するバランスを取るように
生じるので、錘17を付加すると小さい変位でもバラン
スがとれるため変位を小さくすることができる。残った
変位はジンバル体19によって吸収されるので、外部へ
の振動はほとんど無く、したがってジンバル体19の支
持状態は振動モードfの固有周波数を左右しない。
【0023】本実施形態では音叉の材料として恒弾性金
属を用い、各脚に圧電素子を貼付した例を示したが、音
叉の材料として水晶、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リ
チウムなどの圧電性単結晶を用いたものに、本発明を適
用しても同様の効果が得られる。
【0024】(実施形態2)図8は錘17を基部1の底
面ではなく側面下部に配置した例である。上述した様
に、錘17の効果は音叉の軸の回りの基部の慣性モーメ
ントを大きくして、少しの変位でも脚の振動とバランス
が取れるようにすることである。したがって、基部側面
に錘を配しても、底面に接合した時と同様の効果が得ら
れ、振動モードfを最も高い周波数の振動モードとする
ことができる。さらに、底面に錘を付加したのと異なり
音叉の全長を短くすることができる。
【0025】(実施形態3)図9は実施形態1のジンバ
ル体19とベース31との間に振動吸収体33を挟み、
接合して耐衝撃性、耐振動性をより向上させた例であ
る。振動吸収体33としては三進興産社のソルボセイン
(商品名)やシーゲル社のアルファゲル(商品名)など
の粘弾性体を用いる。このようにすると、音叉の軸方向
へ衝撃や振動が加わっても振動吸収体33の粘弾性によ
り衝撃や振動を吸収することができる。また、音叉の長
手方向を軸とした回転への拘束力はほとんど作用しない
ので、振動モードfを最も高い固有周波数とする効果は
損なわれない。
【0026】
【発明の効果】以上に記したように、本発明によれば、
感度が良くドリフトが少ない振動ジャイロを実現できる
という効果がある。また、耐衝撃性、耐振動性が良好な
振動ジャイロを実現できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による第1の実施形態の振動ジャイロを
示す図である。
【図2】本発明の実施形態の振動ジャイロの駆動検出回
路を示すブロック図である。
【図3】本発明による実施形態の振動ジャイロのジンバ
ル体の構造を示す図である。
【図4】従来技術の振動ジャイロの固有周波数を測定し
た結果を示す図である。
【図5】本発明による実施形態の振動ジャイロの固有周
波数を測定した結果を示す図である。
【図6】本発明と従来技術の振動ジャイロの感度特性を
比較した図である。
【図7】本発明と従来技術の振動ジャイロのドリフト特
性を比較した図である。
【図8】本発明による第2の実施形態の振動ジャイロを
示す図である。
【図9】本発明による第3の実施形態の振動ジャイロを
示す図である。
【図10】従来技術の振動ジャイロを示す図である。
【図11】4脚音叉の振動モードaの脚の動きを示す図
である。
【図12】4脚音叉の振動モードbの脚の動きを示す図
である。
【図13】4脚音叉の振動モードcの脚の動きを示す図
である。
【図14】4脚音叉の振動モードdの脚の動きを示す図
である。
【図15】4脚音叉の振動モードeの脚の動きを示す図
である。
【図16】4脚音叉の振動モードfの脚の動きを示す図
である。
【符号の説明】
1:基部 3:脚 5:圧電素子 7:駆動回路 9:加算回路A 11:
加算回路B 13:減算回路 15:ロックインアンプ
17:錘 19:ジンバル体 21:内側方形部
23:中間バネ部 25:繋ぎa 27:外縁部 29:
繋ぎb 31:ベース 33:振動吸収体

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 一つの基部と、該基部から同方向に伸び
    る4本の脚をもつ音叉からなる振動ジャイロにおいて、 上記基部の底面に該音叉の質量の少なくとも1倍以上の
    質量をもつ錘が固着されており、 該音叉の軸のまわりの回転に対して柔らかい構造をもつ
    柔構造体に該錘は支持されていることを特徴とする振動
    ジャイロ。
  2. 【請求項2】 一つの基部と該基部から同方向に伸びる
    4本の脚をもつ音叉からなる振動ジャイロにおいて、 上記基部の側面に該音叉の質量の少なくとも1倍以上の
    質量をもつ錘が固着されており、 該音叉の軸のまわりの回転に対して柔らかい構造をもつ
    柔構造体に該音叉は支持されていることを特徴とする振
    動ジャイロ。
  3. 【請求項3】 請求項1または2記載の振動ジャイロで
    あって、 前記柔構造体が金属の板からなるジンバル体であること
    を特徴とする振動ジャイロ。
  4. 【請求項4】 請求項1または2記載の振動ジャイロで
    あって、 前記錘がタングステンからなることを特徴とする振動ジ
    ャイロ。
  5. 【請求項5】 請求項3記載の振動ジャイロであって、 前記ジンバル体とベースとの間に粘弾性体からなる振動
    吸収体を挟持しジンバル体およびベースとに接合したこ
    とを特徴とする振動ジャイロ。
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EP1873490A3 (en) * 2006-06-27 2012-05-09 Tamagawa Seiki Co., Ltd. Angular rate sensor

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