JP2000208571A - デバイス試験方法及び装置並びに測定用カ―ド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ウエーハ状態のＩＣチップに対して電波の送
信特性や受信特性を測定することができるデバイス試験
方法及び装置並びに測定用カードを提供する。 【解決手段】デバイス試験装置１０に、アナログ信号発
生器１２とアナログ信号解析器１４とが設けられ、更
に、送信器２０と受信器２２とが設けられている。送信
器２０と受信器２２にはコネクタ２４を介して測定用ア
ンテナ２６が接続されている。プローブカード３０に
は、ＩＣチップの測定パッドに接触する触針３２と、Ｉ
Ｃチップに接続するためのＩＣ用アンテナ３４が設けら
れている。被測定デバイスについてアナログ信号のテス
トを行う場合には、切換スイッチ３６、３８を、触針３
２が同軸ケーブル１６、１８に接続されるように切り換
える。被測定デバイスについて電波の送受信のテストを
行う場合には、触針３２が測定用アンテナ２６に接続さ
れるように切換スイッチ３６、３８を切り換える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被測定デバイスを
試験するデバイス試験方法及び装置並びに測定用カー
ド、特に非接触型のＩＣカード用ＩＣのようにアンテナ
に接続して使用される被測定デバイスに適した被測定デ
バイスを試験するデバイス試験方法及び装置並びに測定
用カードに関する。

【０００２】

【従来の技術】ＩＣ（半導体集積回路）の特性を試験す
るデバイス試験装置では、組み立て工程におけるロスを
最小限に抑えるため、ウエーハ状態のＩＣに対して測定
することが広く行われている。プローブカードの触針を
ＩＣチップのパッドに接触させ、プローブカードに接続
された信号発生器や波形解析装置を用いて、ＩＣチップ
の電気的特性を試験している。

【０００３】近年、非接触型のＩＣカードが、現在主流
の磁気カードに代わる次世代のカードとして注目を集め
ている。非接触型のＩＣカードは、ＩＣカード内にアン
テナを埋め込み、このアンテナを介してＩＣカード読み
取り装置と交信し、ＩＣカード内の記憶素子にデータの
読み書きを行う。

【０００４】このようなＩＣカード用のＩＣについて
も、従来のデバイス試験装置を用い、プローブカードの
触針にウエーハ状態のＩＣチップのパッドに接触させて
試験を行っていた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
デバイス試験装置では、通常のＩＣとしての試験は行え
るものの、ＩＣカード用のＩＣにより発生する電波の電
界強度等の送信特性や電波を受信する際の感度等の受信
特性をテストすることができなかった。これら送信特性
や受信特性については、製品として完成したＩＣカード
として実際に動作させてテストするしかできなかった。

【０００６】本発明の目的は、ウエーハ状態のＩＣチッ
プに対して電波の送信特性や受信特性を測定することが
できるデバイス試験方法及び装置並びに測定用カードを
提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的は、被測定デバ
イスを試験するデバイス試験装置であって、前記被測定
デバイスに接続される第１のアンテナを有し、前記被測
定デバイスに前記第１のアンテナを接続した状態で試験
することを特徴とするデバイス試験装置によって達成さ
れる。

【０００８】上述したデバイス試験装置において、前記
第１のアンテナとの間で電波を送受信する第２のアンテ
ナを更に有するようにしてもよい。

【０００９】上述したデバイス試験装置において、前記
被測定デバイスの電極に接続する触針が配置された測定
用カードを有し、前記第１のアンテナは、前記測定用カ
ードに搭載されているようにしてもよい。

【００１０】上述したデバイス試験装置において、前記
測定用カードの前記第１のアンテナ近傍に、電波吸収材
を設けるようにしてもよい。

【００１１】上述するデバイス試験装置において、前記
第１のアンテナ及び／又は前記第２のアンテナ近傍に電
波吸収材を設けるようにしてもよい。

【００１２】上述したデバイス試験装置において、複数
の測定回路と、前記測定回路毎に設けられた、複数組の
前記第１のアンテナと前記第２のアンテナと、前記第１
のアンテナと前記第２のアンテナを組毎に遮蔽する遮蔽
手段とを有するようにしてもよい。

【００１３】上述したデバイス試験装置において、複数
の被測定デバイスに接続される複数の第１のアンテナ
と、前記複数の第１のアンテナとの間で電波を送受信す
る第２のアンテナと、前記第２のアンテナに設けられた
測定回路とを有し、前記複数の第１のアンテナによる送
信時期をずらすことにより前記複数の被測定デバイスを
試験するようにしてもよい。

【００１４】上述したデバイス試験装置において、前記
被測定デバイスに接続される前記第１のアンテナと、前
記第２のアンテナとの間の電波の送受信の試験を行う第
１の試験回路と、前記被測定デバイスの電気的試験を行
う第２の試験回路と、前記測定用デバイスの電極に接続
する触針を、前記第１の試験回路と前記第２の試験回路
に切り換えて接続する切換接続手段とを有するようにし
てもよい。

【００１５】上記目的は、被測定デバイスの電極に接続
するための複数の触針と、前記触針に接続されたアンテ
ナとを有する測定用カードによって達成される。

【００１６】上述した測定用カードにおいて、前記アン
テナ近傍に設けられた電波吸収材を更に有するようにし
てもよい。

【００１７】上記目的は、被測定デバイスを試験するデ
バイス試験方法であって、前記被測定デバイスに第１の
アンテナを接続した状態で試験することを特徴とするデ
バイス試験方法によって達成される。

【００１８】上述したデバイス試験方法において、第２
のアンテナにより前記第１のアンテナとの間で電波を送
受信して試験するようにしてもよい。

【００１９】

【発明の実施の形態】［第１実施形態］本発明の第１実
施形態によるデバイス試験装置を図面を用いて説明す
る。図１はＩＣカードの具体例を示す図であり、図２は
本実施形態によるデバイス試験装置の概要を示すブロッ
ク図であり、図３は本実施形態によるデバイス試験装置
の詳細を示すブロック図である。

【００２０】まず、ＩＣカードについて説明する。ＩＣ
カードには接触型端子を有する接触型ＩＣカードと、接
触型端子の代わりにアンテナを有する非接触型ＩＣカー
ドと、これら接触型と非接触型の両方の機能を有するコ
ンビネーション型ＩＣカードがある。非接触型ＩＣカー
ドの具体例を図１に示す。ＩＣカード１は、プラスチッ
ク製のベース基板２にＩＣ３とアンテナ４とが埋め込ま
れている。非接触型ＩＣカードでは、アンテナ４により
信号の送受信を行うと共に、電源もアンテナ４を介して
供給される。本実施形態によるデバイス試験装置は、Ｉ
Ｃカードとして組み込む前のＩＣをウエーハ状態で電波
の送受信特性も検査する。

【００２１】次に、本実施形態のデバイス試験装置の概
要について図２を用いて説明する。

【００２２】デバイス試験装置１０内には、図２に示す
ように、デバイステスト用のアナログ信号を発生するた
めのアナログ信号発生器１２と、デバイスからのアナロ
グ信号を解析するためのアナログ信号解析器１４とが設
けられている。これらアナログ信号発生器１２とアナロ
グ信号解析器１４により、従来のデバイス試験装置１０
と同様なテストが可能である。アナログ信号発生器１２
とアナログ信号解析器１４からは信号入出力用の同軸ケ
ーブル１６、１８が設けられている。

【００２３】デバイス試験装置１０内には、更に、電波
を送信するための送信器２０と、電波を受信するための
受信器２２とが設けられている。送信器２０と受信器２
２にはコネクタ２４を介して測定用アンテナ２６が接続
されている。

【００２４】プローブカード３０には、被測定デバイス
であるウエーハ１００のＩＣチップの測定パッドに接触
する触針３２と、ＩＣチップに接続するためのＩＣ用ア
ンテナ３４が設けられている。触針３２を、測定用アン
テナ２６に接続するか、同軸ケーブル１６、１８に接続
するかを切り換えるために、切換スイッチ３６、３８が
設けられている。

【００２５】被測定デバイスについてアナログ信号のテ
ストを行う場合には、切換スイッチ３６、３８を、触針
３２が同軸ケーブル１６、１８に接続されるように切り
換える。被測定デバイスについて電波の送受信のテスト
を行う場合には、触針３２が測定用アンテナ２６に接続
されるように切換スイッチ３６、３８を切り換える。

【００２６】次に、本実施形態のデバイス試験装置１０
の詳細について図３及び図４を用いて説明する。

【００２７】デバイス用電源４０は被測定デバイスに必
要な電源を供給する。直流測定器４２は被測定デバイス
の所定箇所における直流電流や直流電圧等の静的な電気
的特性を測定する。常時、デバイス用電源４０からプロ
ーブカード３０を介して被測定デバイスに電源が供給さ
れ、直流測定器４２により被測定デバイスの直流電流や
直流電圧等が測定される。

【００２８】タイミング発生器４４は、クロック信号に
同期して、被測定デバイスに印加するタイミングを決定
するタイミング信号を発生する。テストパターン発生器
４６は、テストのための様々なパターンの論理信号を発
生する。パターンは具体的には、図２に示すように、一
連の１、０の数値列である。波形整形器４８は、タイミ
ング発生器からのタイミング信号に同期して、テストパ
ターン発生器４６からのテストパターンに基づいたテス
ト波形を整形する。入力電圧基準器５０は、後述するド
ライバに必要な基準電圧レベルを発生する。

【００２９】信号印加器（ドライバ）５２は、入力電圧
基準器５０からの基準電圧レベルに応じた波形整形器４
８からのテスト波形を、同軸ケーブル１６を介して、プ
ローブカード３０に印加する。テスト波形は触針３２に
より被測定デバイス１００に印加される。

【００３０】被測定デバイス１００の出力信号は、触針
３２により同軸ケーブル１８を介して検出される。出力
信号の電圧値は、信号比較器（コンパレータ）５４によ
り、出力電圧基準器５６から発生した基準電圧と比較さ
れる。論理比較器５８は、信号比較器５４からの論理出
力と、テストパターン発生器４６からの期待値とを比較
して、その比較結果を出力する。不良解析器６０は、論
理比較器５８の比較結果を解析し、被測定デバイス１０
０が良品であるか不良品であるかを記憶する。その記憶
結果に基づいて、被測定デバイス１００の不良ＩＣを、
その後の組立行程においてリジェクトして、最終製品と
して製造しないようにする。

【００３１】テスタコントローラ６２は、デバイス試験
装置内の各測定器をバスラインを介して制御する。テス
タコントローラ６２はワークステーション６４に接続さ
れている。ワークステーション６４によりテストプログ
ラムが実行される。

【００３２】プローブカード３０は、図４に示すよう
に、プラスチック製の基板３１上に放射状の配線３３が
形成されている。配線３３の内側端部はそれぞれ触針３
２に接続されている。更に、基板３１上にはループ状の
アンテナ３４が形成されている。このアンテナ３４の端
部はそれぞれ触針３２に接続されている。

【００３３】次に、本実施形態のデバイス試験装置１０
を用いてウエーハ状態の被測定デバイスを測定する方法
について説明する。

【００３４】被測定デバイスであるウエーハ１００をＸ
Ｙテーブル（図示せず）に載置して固定する。ＸＹテー
ブルを制御して、プローブカード３０の触針３２が、測
定すべきＩＣチップの所定の測定パッドに接触する位置
になるようにウエーハ１００を移動する。

【００３５】通常の電気的動作試験の場合には、切換ス
イッチ３６、３８を、触針３２が同軸ケーブル１６、１
８に接続するように切り換える。波形整形器４８からの
テスト波形を信号印加器５２により同軸ケーブル１６、
触針３２を介してＩＣチップの所定の入力パッドに印加
する。ＩＣチップの所定の出力パッドからの出力信号
は、触針３２、同軸ケーブル１８を介して信号比較器５
４により基準電圧と比較され、論理比較器５８によりテ
ストパターン発生器４６からのテストパターンと比較さ
れ、その比較結果に基づいて不良解析器６０により良品
であるか否かを判断する。

【００３６】電波の送信特性や受信特性の測定試験の場
合には、切換スイッチ３６、３８を、触針３２がＩＣ用
アンテナ３４に接続するように切り換える。波形整形器
４８からのテスト波形に基づく電波を信号送信器２０に
より測定用アンテナ２６から出力する。測定用アンテナ
２６からの電波はＩＣ用アンテナ３４で受信され、触針
３２を介してＩＣチップの所定の入力パッドに印加され
る。

【００３７】ＩＣチップの所定の出力パッドからの出力
信号は、触針３２を介してＩＣ用アンテナ３４に印加さ
れ、ＩＣ用アンテナ３４から電波が出力される。ＩＣ用
アンテナ３４からの電波は測定用アンテナ２６で受信さ
れる。信号受信器２２による受信信号は、論理比較器５
８によりテストパターン発生器４６からのテストパター
ンと比較され、その比較結果に基づいて不良解析器６０
により良品であるか否かを判断する。

【００３８】このように本実施形態によれば、ウエーハ
状態のＩＣチップに対して電波の送信特性や受信特性を
測定することができる。

【００３９】上記実施形態では、プローブカード３０上
にＩＣ用アンテナ３４を直接形成したが、図５に示すよ
うに、ＩＣ用アンテナ３４による反射電波の影響を抑え
るため、基板３１上にフェライト等の電波吸収材層３５
を形成し、その電波吸収材層３５上にＩＣ用アンテナ３
４を形成するようにしてもよい。

【００４０】また、図６に示すように、測定用アンテナ
２６とＩＣ用アンテナ３４とをフェライト等の電波吸収
材のシールドボックス７０により取り囲むようにしても
よい。これにより測定用アンテナ２６とＩＣ用アンテナ
３４による反射電波の影響を抑えるようにしてもよい。

【００４１】また、プローブカード３０上のＩＣ用アン
テナ３４のパターン形状としては、図７に示すような様
々なパターン形状が可能である。

【００４２】例えば、図７（ａ）に示すように四角形状
のループアンテナ３４でもよいし、図７（ｂ）に示すよ
うに渦巻き形状のループアンテナ３４でもよい。

【００４３】また、図７（ｃ）に示すように基板３１上
に左右に開いた２本の線状パターンのダイポールアンテ
ナ３４でもよい。また、図７（ｄ）に示すように基板３
１上に垂直に立っている垂直アンテナ３４でもよい。

【００４４】また、図７（ｅ）に示すように、磁性体等
のコア３４ａの周囲にコイルを巻回したバーアンテナ３
４でもよい。また、図７（ｆ）に示すように、コア３４
ｂにコイルを巻回したトランス型アンテナ３４でもよ
い。

【００４５】また、図７（ｇ）に示すように、図７
（ｃ）に示すダイポールアンテナ３４を部分的にコイル
形状としてアンテナ長を実質的に短くしてもよい。ま
た、図７（ｈ）に示すように、図７（ｄ）に示す垂直ア
ンテナ３４を部分的にコイル形状としてアンテナ長を実
質的に短くしてもよい。

【００４６】［第２実施形態］本発明の第２実施形態に
よるデバイス試験装置を図面を用いて説明する。図８は
本実施形態のデバイス試験装置を示すブロック図であ
り、図９は本実施形態のデバイス試験装置の他の例を示
す図であり、図１０は本実施形態のデバイス試験装置に
よる試験方法の説明図である。

【００４７】上述した第１実施形態のデバイス試験装置
では一度の測定でひとつのＩＣチップしか測定できな
い。ウエーハ状態のＩＣチップの配置を考慮して、プロ
ーブカード３０に触針３２を設けるようにすれば、一度
に複数個のＩＣチップを同時に試験することができる。

【００４８】図９に示すデバイス試験装置では、プロー
ブカード３０に２個のＩＣチップを同時に試験すること
ができるように触針３２を設けている。一方のＩＣチッ
プに対して、ＩＣ用アンテナ３４Ａ、測定用アンテナ２
６Ａが設けられている。これらＩＣ用アンテナ３４Ａと
測定用アンテナ２６Ａは、フェライト等の電波吸収材の
シールドボックス７０Ａにより取り囲まれている。測定
用アンテナ２６Ａにはコネクタ２４Ａを介して信号送信
器２０Ａと信号受信器２２Ａが設けられている。

【００４９】他方のＩＣチップに対して、ＩＣ用アンテ
ナ３４Ｂ（図示せず）、測定用アンテナ２６Ｂ（図示せ
ず）が設けられている。これらＩＣ用アンテナ３４Ｂと
測定用アンテナ２６Ｂは、フェライト等の電波吸収材の
シールドボックス７０Ｂにより取り囲まれている。測定
用アンテナ２６Ｂにはコネクタ２４Ｂを介して信号送信
器２０Ｂと信号受信器２２Ｂが設けられている。

【００５０】被測定デバイスを試験する際には、被測定
デバイスが載置されたＸＹテーブル（図示せず）を制御
して、プローブカード３０の触針３２が、測定すべき２
つのＩＣチップの所定の測定パッドに接触する位置にな
るようにウエーハ１００を移動する。電波の送信特性や
受信特性の測定試験の場合には、テスト波形に基づく電
波を各信号送信器２０Ａ、２０Ｂにより測定用アンテナ
２６Ａ、２６Ｂから出力する。測定用アンテナ２６Ａ、
２６Ｂからの電波はＩＣ用アンテナ３４Ａ、３４Ｂで受
信され、触針３２を介してＩＣチップの所定の入力パッ
ドに印加される。ＩＣチップの所定の出力パッドからの
出力信号は、触針３２を介してＩＣ用アンテナ３４Ａ、
３４Ｂに印加され、ＩＣ用アンテナ３４Ａ、３４Ｂから
電波が出力される。ＩＣ用アンテナ３４Ａ、３４Ｂから
の電波はそれぞれ測定用アンテナ２６Ａ、２６Ｂで受信
される。信号受信器２２Ａ、２２Ｂによる受信信号はテ
ストパターンと比較され、その比較結果に基づいて良品
であるか否かを判断する。

【００５１】測定用アンテナ２６ＡとＩＣ用アンテナ３
４Ａ、測定用アンテナ２６ＢとＩＣ用アンテナ３４Ｂ
は、それぞれシールドボックス７０Ａ、７０Ｂによりシ
ールドされているので、同時にデバイス試験を行ったと
してクロストークを起こすことなく正しく試験をするこ
とができる。

【００５２】上記実施形態では、測定するＩＣチップ毎
に測定用アンテナとＩＣ用アンテナをそれぞれ設けた
が、図９に示すように、共通の測定用アンテナ２６を設
け、ＩＣ用アンテナ３４Ａ、３４Ｂを測定するＩＣチッ
プの数だけ設けるようにしてもよい。この場合には、シ
ールドボックスによりシールドすることができないの
で、同時に試験をしようとするとクロストークにより正
しい試験ができない。

【００５３】そこで、本実施形態では、２つのＩＣ用ア
ンテナ３４Ａ、３４Ｂによる送信時期をずらすことによ
り複数個のＩＣチップの測定を行う。図１０に示すよう
に、まず、デバイス試験装置からのデータを測定用アン
テナ２６を駆動して、ＩＣ用アンテナ３４Ａ、３４Ｂを
介して各ＩＣチップへ送信する。その後、一方のＩＣチ
ップからのデータをＩＣ用アンテナ３４Ａを駆動して、
測定用アンテナ２６を介してデバイス試験装置へ送信す
る。続いて、他方のＩＣチップからのデータをＩＣ用ア
ンテナ３４Ｂを駆動して、測定用アンテナ２６を介して
デバイス試験装置へ送信する。

【００５４】このように測定時間をずらすことにより、
アンテナ間のクロストークによる影響を排除することが
できる。

【００５５】［変形実施形態］本発明は上記実施形態に
限らず種々の変形が可能である。

【００５６】上記実施形態によるデバイス試験装置は、
従来の磁気カードに代わるＩＣカードに用いられるＩＣ
を試験することを説明したが、カード形でなくてもアン
テナを用いたあらゆるデバイス用のＩＣの試験にも適用
可能である。

【００５７】例えば、図１１に示すように、物流産業に
おいては、商品名や送り先等を記憶した荷物識別用タグ
１１０を作成する。荷物識別用タグ１１０にはアンテナ
１１２とＩＣ１１４が設けられている。この荷物識別用
タグ１１０を商品に貼付する。ベルトコンベヤ上を流れ
てきた商品に貼付してある荷物識別用タグ１１０から所
定のデータを読み出し、商品の仕分け等を行う。

【００５８】例えば、図１２に示すように、アパレル業
界においては、ハンガーラック１２０に多数の服を吊し
て、そのハンガーラック１２０を基本として管理するこ
とが可能となる。ハンガーラック１２０にハンガーラッ
クコントローラ１２２を設けると共に、各商品にタグ１
２４を設ける。これにより様々な処理が可能である。例
えば、定期的に交信するようにすれば、在庫管理や防犯
等のために用いることができる。

【００５９】

【発明の効果】以上の通り、本発明によれば、ウエーハ
状態のＩＣチップに対して電波の送信特性や受信特性を
測定することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態によるデバイス試験装置
によって試験されるＩＣカードの一例を示す図である。

【図２】本発明の第１実施形態によるデバイス試験装置
の概要を示すブロック図である。

【図３】本発明の第１実施形態によるデバイス試験装置
の詳細を示すブロック図である。

【図４】本発明の第１実施形態によるデバイス試験装置
のプローブカードを示す図である。

【図５】本発明の第１実施形態によるデバイス試験装置
のプローブカードの他の例を示す図である。

【図６】本発明の第１実施形態によるデバイス試験装置
の遮蔽手段を示す図である。

【図７】本発明の第１実施形態によるデバイス試験装置
に設けられるアンテナの具体例を示す図である。

【図８】本発明の第２実施形態によるデバイス試験装置
を示すブロック図である。

【図９】本発明の第２実施形態によるデバイス試験装置
の他の例を示す図である。

【図１０】本発明の第２実施形態によるデバイス試験装
置の他の例による試験方法の説明図である。

【図１１】本発明によるデバイス試験装置の被測定デバ
イスの他の具体例を示す図である。

【図１２】本発明によるデバイス試験装置の被測定デバ
イスの更に他の具体例を示す図である。

【符号の説明】

１０…デバイス試験装置 １２…アナログ信号発生器 １４…アナログ信号解析器 １６、１８…同軸ケーブル ２０…送信器 ２２…受信器 ２４…コネクタ ２６…測定用アンテナ ３０…プローブカード ３１…基板 ３２…触針 ３３…配線 ３４…ＩＣ用アンテナ ３５…電波吸収材 ３６，３８…切換スイッチ ４０…デバイス用電源 ４２…直流測定器 ４４…タイミング発生器 ４６…テストパターン発生器 ４８…波形整形器 ５０…入力電圧基準器 ５２…信号印加器（ドライバ） ５４…信号比較器（コンパレータ） ５６…出力電圧基準器 ５８…論理比較器 ６０…不良解析器 ６２…テスタコントローラ ６４…ワークステーション ７０…シールドボックス １００…ウエーハ １１０…荷物識別用タグ １１２…アンテナ １１４…ＩＣ １２０…ハンガーラック １２２…ハンガーラックコントローラ １２４…タグ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G011 AA17 AE03 2G032 AA00 AB01 AF02 AF07 AK01 4M106 AA01 AA02 AB20 BA09 BA14 CA70 DD03 DD10 DD23 DJ01 DJ18 DJ38

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被測定デバイスを試験するデバイス試験
   装置であって、 前記被測定デバイスに接続される第１のアンテナを有
   し、 前記被測定デバイスに前記第１のアンテナを接続した状
   態で試験することを特徴とするデバイス試験装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載のデバイス試験装置におい
   て、 前記第１のアンテナとの間で電波を送受信する第２のア
   ンテナを更に有することを特徴とするデバイス試験装
   置。
3. 【請求項３】 請求項１又は２記載のデバイス試験装置
   において、 前記被測定デバイスの電極に接続する触針が配置された
   測定用カードを有し、 前記第１のアンテナは、前記測定用カードに搭載されて
   いることを特徴とするデバイス試験装置。
4. 【請求項４】 請求項３記載のデバイス試験装置におい
   て、 前記測定用カードの前記第１のアンテナ近傍に、電波吸
   収材を設けたことを特徴とするデバイス試験装置。
5. 【請求項５】 請求項１乃至４のいずれか１項に記載の
   デバイス試験装置において、 前記第１のアンテナ及び／又は前記第２のアンテナ近傍
   に電波吸収材を設けたことを特徴とするデバイス試験装
   置。
6. 【請求項６】 請求項１乃至５のいずれか１項に記載の
   デバイス試験装置において、 複数の測定回路と、 前記測定回路毎に設けられた、複数組の前記第１のアン
   テナと前記第２のアンテナと、 前記第１のアンテナと前記第２のアンテナを組毎に遮蔽
   する遮蔽手段とを有することを特徴とするデバイス試験
   装置。
7. 【請求項７】 請求項１乃至５のいずれか１項に記載の
   デバイス試験装置において、 複数の被測定デバイスに接続される複数の第１のアンテ
   ナと、 前記複数の第１のアンテナとの間で電波を送受信する第
   ２のアンテナと、 前記第２のアンテナに設けられた測定回路とを有し、 前記複数の第１のアンテナによる送信時期をずらすこと
   により前記複数の被測定デバイスを試験することを特徴
   とするデバイス試験装置。
8. 【請求項８】 請求項１乃至７のいずれか１項に記載の
   デバイス試験装置において、 前記被測定デバイスに接続される前記第１のアンテナ
   と、前記第２のアンテナとの間の電波の送受信の試験を
   行う第１の試験回路と、 前記被測定デバイスの電気的試験を行う第２の試験回路
   と、 前記測定用デバイスの電極に接続する触針を、前記第１
   の試験回路と前記第２の試験回路に切り換えて接続する
   切換接続手段とを有することを特徴とするデバイス試験
   装置。
9. 【請求項９】 被測定デバイスの電極に接続するための
   複数の触針と、 前記触針に接続されたアンテナとを有する測定用カー
   ド。
10. 【請求項１０】 請求項９記載の測定用カードにおい
    て、 前記アンテナ近傍に設けられた電波吸収材を更に有する
    ことを特徴とする測定用カード。
11. 【請求項１１】 被測定デバイスを試験するデバイス試
    験方法であって、 前記被測定デバイスに第１のアンテナを接続した状態で
    試験することを特徴とするデバイス試験方法。
12. 【請求項１２】 請求項１１記載のデバイス試験方法に
    おいて、 第２のアンテナにより前記第１のアンテナとの間で電波
    を送受信して試験することを特徴とするデバイス試験方
    法。