JP2000206351A - Substrate waveguide optical device - Google Patents

Substrate waveguide optical device

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JP2000206351A
JP2000206351A JP4364999A JP4364999A JP2000206351A JP 2000206351 A JP2000206351 A JP 2000206351A JP 4364999 A JP4364999 A JP 4364999A JP 4364999 A JP4364999 A JP 4364999A JP 2000206351 A JP2000206351 A JP 2000206351A
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JP
Japan
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waveguide
substrate
array
optical fiber
input
Prior art date
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Application number
JP4364999A
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Japanese (ja)
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Kenichiro Asano
健一郎 浅野
Hideyuki Hosoya
英行 細谷
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Fujikura Ltd
Original Assignee
Fujikura Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce the material cost and manhour of an array by opening both an input waveguide and an output waveguide to the same one side of a polygonal substrate. SOLUTION: Both an inlet waveguide 22A and an output waveguide 22B are opened to the same one side of a substrate 10. That is, the input waveguide 22A which has opened to the left CD side in the drawing heretofore, is turned in a direction 180-degree arc to be opened to the EF side. As a matter of course, the waveguide of the direction turning part has such a radius of curvature not to cause radiation loss and inhibit the occurrence of unnecessary mode to the utmost. Accordingly, the output waveguide 22B and the input waveguide 22A are arranged side by side on the EF side. In connection to an external circuit, one optical fiber array 30 is aligned and fixed to the EF side by adhesion. In this case, opening means that the core end face of the input waveguide 22A, for example, appears on the CD side.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、基板導波路型光デ
バイスに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate waveguide type optical device.

【0002】[0002]

【従来の技術】図3(a)は、基板導波路型光スプリッ
タの例である。10は基板で、例えばシリコン、石英等
からなる。通常、四角形の薄板状で、この場合は、上面
に、1x8スプリッタの導波路回路20が形成されてい
る。導波路回路20の入力導波路22A(光ファイバの
コアに相当する)は、四角形の基板10のCD側面に開
口している。また、出力導波路22B(光ファイバのコ
アに相当する)は、EF側面に開口している。この基板
は、シリコン基板上に、光ファイバの原料を堆積し、焼
結するFDH(火炎加水分解堆積)法を用い反応性イオ
ンスパッタリング等を用いて、クラッド堆積層に埋め込
まれた導波路パターン(コアパターン)を製作したもの
である。このFDH法は、周知であるので詳細には説明
しない。通常、一枚の基板上に、複数個の回路を形成
し、それを複数個に切り分けている。
2. Description of the Related Art FIG. 3A shows an example of a substrate waveguide type optical splitter. Reference numeral 10 denotes a substrate made of, for example, silicon, quartz, or the like. Usually, it is a rectangular thin plate. In this case, a waveguide circuit 20 of a 1 × 8 splitter is formed on the upper surface. The input waveguide 22A (corresponding to the core of the optical fiber) of the waveguide circuit 20 is open on the CD side surface of the rectangular substrate 10. The output waveguide 22B (corresponding to the core of the optical fiber) is open on the EF side surface. This substrate is formed by depositing a raw material of an optical fiber on a silicon substrate and sintering the waveguide pattern by reactive ion sputtering or the like using a reactive ion sputtering (FDH) method. Core pattern). This FDH method is well known and will not be described in detail. Usually, a plurality of circuits are formed on a single substrate, and are divided into a plurality of circuits.

【0003】なお、図1において、左を入力側、右を出
力側としたが、その反対のこともある。しかし、以下の
説明は、すべて左を入力側として述べた。
In FIG. 1, the left side is the input side, and the right side is the output side. However, the following description has all referred to the left as the input side.

【0004】また、上記の「CD側面」というのは、図
1(a)で、左側側面の意味で、言い据えれば、基板1
0の上面の辺CDを含む側面ということである。EF側
面も、後記のDF側面も、同じ意味で用いている。
[0004] The above-mentioned "CD side surface" means the left side surface in Fig. 1 (a).
0 means the side surface including the side CD of the upper surface. The EF side and the DF side described later have the same meaning.

【0005】また、入力導波路22Aは、1本でなく
て、複数本のこともある。
[0005] Further, the number of input waveguides 22A may be plural instead of one.

【0006】図3(b)の30Aは、入力側の光ファイ
バアレイである。光ファイバ搭載用部材32上のV溝に
光ファイバ34を納め、押さえ板36とともに接着剤で
固定したものである。
Reference numeral 30A in FIG. 3B denotes an optical fiber array on the input side. The optical fiber 34 is housed in a V-groove on the optical fiber mounting member 32 and is fixed together with the holding plate 36 with an adhesive.

【0007】また、30Bは、出力側の光ファイバアレ
イ部品である。これも、光ファイバ搭載用部材32上の
複数のV溝(出力導波路22Bのコアの並びと同ピッ
チ)に光ファイバ34を納め、押さえ板36とともに接
着剤で固定したものである。光ファイバアレイは、外部
光ファイバのコアと光導波路とを位置決め接続するため
に必要な部品である。部材32の材質は、例えば石英、
ガラス、セラミックス、その他樹脂などを用いることが
できる。
Reference numeral 30B denotes an output side optical fiber array component. Also in this case, the optical fiber 34 is placed in a plurality of V-grooves (the same pitch as the arrangement of the cores of the output waveguide 22B) on the optical fiber mounting member 32, and is fixed together with the holding plate 36 with an adhesive. The optical fiber array is a component necessary for positioning and connecting the core of the external optical fiber and the optical waveguide. The material of the member 32 is, for example, quartz,
Glass, ceramics, other resins, and the like can be used.

【0008】基板10のCD側面とEF側面、及び入力
側アレイ30Aと出力側アレイ30Bの端面を斜め研削
する。それから、それぞれ光モニタしながらコア調心
し、接着剤等で接続固定する。通常、その後、パッケー
ジ内に実装される。
The CD side and the EF side of the substrate 10 and the end faces of the input side array 30A and the output side array 30B are obliquely ground. Then, the core is aligned while monitoring each light, and connected and fixed with an adhesive or the like. Usually, it is then implemented in a package.

【0009】図4(a)は、前述と同様に石英系の平面
基板型の導波路であるアレイ導波路回折格子(以下、A
WG)の例である。24はいわゆるレンズ作用を持ち、
入力導波路の出力光をアレイ導波路へ回折結合するスラ
ブ導波路、26は必要とする分解能だけ光路差を生ずる
ように長さが異なるアレイ導波路群、を示す。この場合
も、入力導波路22Aは、四角形基板10のCD側面に
開口している。また、図面を見易くするたため、出力導
波路22Bの本数とアレイ導波路26の本数は一致させ
ていない。入力導波路22Aが1本の場合を示したが、
複数本のこともある。また、出力導波路22Bは、EF
側面に開口している。
FIG. 4A shows an arrayed waveguide diffraction grating (hereinafter referred to as A) which is a quartz-based planar substrate type waveguide as described above.
WG). 24 has a so-called lens action,
A slab waveguide 26 diffractively couples the output light of the input waveguide to the array waveguide. Reference numeral 26 denotes a group of array waveguides having different lengths so as to generate an optical path difference by a required resolution. Also in this case, the input waveguide 22A is open on the CD side surface of the rectangular substrate 10. Also, in order to make the drawing easier to see, the number of output waveguides 22B and the number of array waveguides 26 are not matched. Although the case where there is one input waveguide 22A is shown,
There may be more than one. The output waveguide 22B is EF
Open to the side.

【0010】この場合もまた、基板10のCD側面とE
F側面、及び入力側アレイ30Aと出力側アレイ30B
の端面を斜め研削し、それぞれ光モニタしながら調心
し、接着剤等で接続固定する。
Also in this case, the CD side of the substrate 10 and E
F side, input side array 30A and output side array 30B
Is ground obliquely, aligned while monitoring each light, and connected and fixed with an adhesive or the like.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】入力・出力側に別々
の光ファイバアレイ(適用心数、すなわち、V溝の数が
異なる場合もある)を作製し、さらに、基板10との接
続時にも、別々に調心を行い、接着等で固定していた。
そのため、1個の基板導波路型光デバイスを製造するの
に、工数と材料費が多くかかり、低コスト化に限界があ
った。 現在数多く使用されている光スプリッタやAWG等の
光回路では、片側(入力側又は出力側)が単心のケース
が多い。この単心側の光ファイバアレイについては、幅
を最適化して材料費を削減させることも考えられるが、
アレイを小さくすると、今度は基板10との接着強度が
弱く、実用に耐えられなくなってしまう。そのため、大
きくしなければならないという問題もあった。 初めのアレイ調心時には、反対側のアレイがないため
に、光ファイバのコア位置を見付けるのに、基板の一側
面あるいは一点を基準として機械的に位置決めするた
め、位置決め精度の問題と、多大の時間を要するという
問題もあった。
On the input and output sides, separate optical fiber arrays (the number of applied cores, that is, the number of V-grooves may be different) are prepared. Alignment was performed separately and fixed by bonding or the like.
Therefore, manufacturing a single substrate waveguide type optical device requires a lot of man-hours and material costs, and there is a limit to cost reduction. In optical circuits such as optical splitters and AWGs that are currently used in many cases, one side (input side or output side) often has a single core. For this single fiber side optical fiber array, it is conceivable to optimize the width and reduce the material cost,
When the size of the array is reduced, the adhesive strength with the substrate 10 is weak, and the array cannot be put to practical use. Therefore, there was a problem that it had to be enlarged. At the time of initial array alignment, there is no array on the opposite side, so to locate the core of the optical fiber, it is mechanically positioned with reference to one side or one point of the substrate, so there is a problem of positioning accuracy and a great deal of There was also a problem that it took time.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、図
1,図2に例示するように、上記の基板導波路型光デバ
イスにおいて、入力導波路22Aと出力導波路22Bの
両方とも、基板10の同じ一つの側面に開口するように
してあることを特徴とする。
According to the first aspect of the present invention, as shown in FIGS. 1 and 2, in the above-mentioned substrate waveguide type optical device, both the input waveguide 22A and the output waveguide 22B are provided. The opening is formed on the same one side surface of the substrate 10.

【0013】上記の記載で、「一つの側面」というの
は、例えば基板10が四角形の場合は、左側面や右側面
等が、それぞれ「一つの側面」ということになる。
In the above description, "one side surface" means, for example, when the substrate 10 is rectangular, the left side surface, the right side surface, and the like are each "one side surface".

【0014】また、「開口する」とは、例えば入力導波
路22Aのコア端面が、CD側面に現れている、という
意味である。
"Open" means, for example, that the core end face of the input waveguide 22A appears on the CD side face.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態1】図1(a)に示す光スプリッタ
の場合である。従来、図で左側のCD側面に開口してい
た入力導波路22Aが、180度方向転換して、EF側
面に開口するようにする。なお、当然のことながら、方
向転換部分の導波路は、放射損失を起こさず、不要モー
ド発生を極力抑える曲率半径とする。以上により、EF
側面には、出力導波路22Bと入力導波路22Aとが並
ぶことになる。
Embodiment 1 This is a case of the optical splitter shown in FIG. Conventionally, the input waveguide 22A, which has been opened on the left side of the CD in the figure, is turned by 180 degrees to be opened on the side of the EF. Naturally, the radius of curvature of the waveguide in the direction change portion is set to a radius of curvature that does not cause radiation loss and minimizes generation of unnecessary modes. From the above, EF
The output waveguide 22B and the input waveguide 22A are arranged side by side.

【0016】外部回路との接続には、図1(b)のよう
に、EF側面に一つの光ファイバアレイ30を、上記の
とおり、調心し、接着固定するだけでよい。
As shown in FIG. 1 (b), connection to an external circuit requires only one optical fiber array 30 to be centered and adhered and fixed to the EF side as described above.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態2】図2(a)は、AWG型の光合
波器の場合である。入力導波路22A、出力導波路22
Bとも、真っ直ぐ、図で下方に下げ、先端をDF側面に
おいて開口させる。アレイ導波路26は、光路差を設け
るために従来のごとく扇型に湾曲している。DF側面に
は、出力導波路22Bと入力導波路22Aとが並ぶ。
[Embodiment 2] FIG. 2A shows the case of an AWG type optical multiplexer. Input waveguide 22A, Output waveguide 22
B is also lowered straight down in the figure, and the tip is opened on the DF side surface. The array waveguide 26 is curved in a fan shape as in the related art in order to provide an optical path difference. The output waveguide 22B and the input waveguide 22A are arranged on the DF side surface.

【0018】外部回路との接続には、図2(b)のよう
に、DF側面に一つの光ファイバアレイ30を、上記の
とおり、調心し、接着固定するだけでよい。
As shown in FIG. 2 (b), connection to an external circuit requires only one optical fiber array 30 to be aligned and adhered and fixed to the side surface of the DF as described above.

【0019】なお、本発明は、石英系に限られず、他系
統の平面基板型導波路にも適用できる。他系統とは、例
えば化合物半導体系あるいはポリマー系である。
The present invention is not limited to quartz-based waveguides, but can be applied to other types of planar substrate waveguides. The other system is, for example, a compound semiconductor system or a polymer system.

【0020】[0020]

【発明の効果】光ファイバアレイが1個で済むことか
ら、アレイの材料費、工数が、約1/2にまで低減可能
となる。 単心側の大きさの問題も同時に解決される。 1回の調心と接着で、入力側・出力側同時に行うこと
が可能となり、この工程においても1/2の工数で可能
となる。 接着箇所が信頼性上のネックとなっているが、接着箇
所が1箇所であるため、信頼性も向上し、バラツキも低
減できる。 一方向しかアレイが接続されていないため、モジュー
ル全体(パッケージサイズ)の小型化が達成できる。 特にAWGにおいては、導波路そのものが小さくな
り、基板10のコストダウンにつながる。
According to the present invention, since only one optical fiber array is required, the material cost and man-hour of the array can be reduced to about 1/2. The single core size problem is also solved at the same time. With one alignment and bonding, the input side and the output side can be performed at the same time, and this process can be performed with half the man-hour. Although the bonded portion is a bottleneck in reliability, since only one bonded portion is provided, the reliability is improved and the variation can be reduced. Since the array is connected in only one direction, the size of the entire module (package size) can be reduced. In particular, in the case of AWG, the waveguide itself becomes smaller, which leads to cost reduction of the substrate 10.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】実施例1に係る本発明の説明図で、(a)は基
板10の平面図、(b)は光ファイバアレイ30を接続
した状態を示す。
1A and 1B are explanatory diagrams of the present invention according to a first embodiment, wherein FIG. 1A is a plan view of a substrate 10, and FIG. 1B shows a state where an optical fiber array 30 is connected.

【図2】実施例2に係る本発明の説明図で、(a)は基
板10の平面図、(b)は光ファイバアレイ30を接続
した状態を示す。
FIGS. 2A and 2B are explanatory views of the present invention according to a second embodiment, in which FIG. 2A is a plan view of a substrate 10, and FIG. 2B shows a state where an optical fiber array 30 is connected.

【図3】光スプリッタを例とする従来技術の説明図で、
(a)は基板10の平面図、(b)は光ファイバアレイ
30を接続した状態を示す。
FIG. 3 is an explanatory diagram of a conventional technique using an optical splitter as an example.
(A) is a plan view of the substrate 10 and (b) shows a state where the optical fiber array 30 is connected.

【図4】AWGを例とする従来技術の説明図で、(a)
は基板10の平面図、(b)は光ファイバアレイ30を
接続した状態を示す。
FIGS. 4A and 4B are explanatory diagrams of a conventional technique using AWG as an example.
2 is a plan view of the substrate 10, and FIG. 2B shows a state where the optical fiber array 30 is connected.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 基板 20 導波路回路 22A 入力導波路 22B 出力導波路 24 スラブ導波路 26 アレイ導波路群 30 光ファイバアレイ 30A 入力側アレイ 30B 出力側アレイ 32 光ファイバ搭載部材 34 光ファイバ 36 押さえ板 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Substrate 20 Waveguide circuit 22A Input waveguide 22B Output waveguide 24 Slab waveguide 26 Array waveguide group 30 Optical fiber array 30A Input side array 30B Output side array 32 Optical fiber mounting member 34 Optical fiber 36 Press plate

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 多角形の基板10の上に、入力導波路2
2Aと出力導波路22Bとを有する導波路回路20が形
成されており、前記入力導波路22Aと出力導波路22
Bにおいて、外部の光回路と接続するようにしてある、
基板導波路型光デバイスにおいて、前記入力導波路22
Aと出力導波路22Bの両方とも、前記多角形基板10
の同じ一つの側面に開口するようにしてあることを特徴
とする、基板導波路型光デバイス。
An input waveguide (2) is provided on a polygonal substrate (10).
2A and an output waveguide 22B are formed, and the input waveguide 22A and the output waveguide 22 are formed.
At B, it is connected to an external optical circuit.
In the substrate waveguide type optical device, the input waveguide 22
A and the output waveguide 22B are both
A substrate waveguide type optical device, characterized in that it is opened on the same one side face of the substrate waveguide.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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