JP2000205855A - 材料径測定装置および材料曲がり検出装置 - Google Patents

材料径測定装置および材料曲がり検出装置

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JP2000205855A
JP2000205855A JP11005439A JP543999A JP2000205855A JP 2000205855 A JP2000205855 A JP 2000205855A JP 11005439 A JP11005439 A JP 11005439A JP 543999 A JP543999 A JP 543999A JP 2000205855 A JP2000205855 A JP 2000205855A
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diameter
transfer device
rotary transfer
measuring
rotation angle
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JP11005439A
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Shogo Kitazawa
正吾 北澤
Masatoshi Masumori
正敏 増森
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Toshiba Corp
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Toshiba Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】それほど高精度を要求されない設備に対して、
安価に材料径を測定し、材料曲がりを検出すること。 【解決手段】回転することで材料6を移載する回転型移
載装置1上における材料6の径の測定を行なう装置にお
いて、材料6が通過したことを検出する材料通過検出手
段7と、回転型移載装置1の回転角度を検出する回転角
検出手段3とを備え、材料端通過時の回転型移載装置1
の回転角度、または材料両端通過時の回転型移載装置1
の相対移動量から、材料6の径を測定する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、回転することで材
料を移載する回転型移載装置上における材料の径の測
定、材料の曲がりの検出を行なう装置に係り、特にそれ
ほど高精度を要求されない設備に対して、安価に材料径
を測定し、材料曲がりを検出できるようにした材料径測
定装置および材料曲がり検出装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来から、回転することで材料を移載す
る回転型移載装置を有し、それほど高精度を要求されな
いが材料径データを必要とするシステムにおいては、材
料の径の測定を行なう際に、上位計算機によるスケジュ
ール設定を材料と共にトラッキングすることで、材料径
を判断するようにしている。
【0003】また、X線等を用いた外径計等の専用の高
価な測定装置を用いることによって、材料の径を実測す
るようにしている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上位計
算機によるスケジュール設定を材料と共にトラッキング
することで、材料径を判断する方法では、トラッキング
がずれた場合や、上位計算機による設定が間違えている
場合、人間系で気が付かなければ、そのまま操業を続け
てしまい、重大事故につながる可能性がある。
【0005】また、専用の測定装置を用いて実測する方
法では、トラッキングによるずれや、設定間違いは起こ
らないが、設備が非常に高価であるため、それほど高精
度を要求されない設備に対して導入するのは不経済であ
る。
【0006】本発明の目的は、フィードバック制御に使
うようなそれほど厳密な実測径を必要としない設備に対
して、比較的安価なセンサを付け加えるだけで材料径を
実測し、材料曲がりを検出し、トラッキングのずれや設
定間違いによる重大事故の発生をなくすことと、安価な
システム構築とを両立することが可能な材料径測定装置
および材料曲がり検出装置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項1の発明では、回転することで材料を移載
する回転型移載装置上における材料の径の測定を行なう
装置において、材料が通過したことを検出する材料通過
検出手段と、回転型移載装置の回転角度を検出する回転
角検出手段とを備え、材料端通過時の回転型移載装置の
回転角度、または材料両端通過時の回転型移載装置の相
対移動量から、材料の径を測定するようにしている。
【0008】従って、請求項1の発明の材料径測定装置
においては、材料端通過時の回転型移載装置の回転角度
から、材料の径を測定することができる。また、材料両
端通過時の回転型移載装置の相対移動量から、材料の径
を測定することもできる。
【0009】また、請求項2の発明では、回転すること
で材料を移載する回転型移載装置上における材料の径の
測定、および材料の曲がりの検出を行なう装置におい
て、材料の長さ方向に複数設置され、材料が通過したこ
とを検出する材料通過検出手段と、回転型移載装置の回
転角度を検出する回転角検出手段とを備え、材料端通過
時の回転型移載装置の回転角度、または材料両端通過時
の回転型移載装置の相対移動量から、材料の径およびそ
の平均値を測定すると共に、測定された材料径のばらつ
き、または各材料通過検出手段のON/OFFのタイミ
ングのずれから、材料の曲がりを検出するようにしてい
る。
【0010】従って、請求項2の発明の材料径測定・曲
がり検出装置においては、材料端通過時の回転型移載装
置の回転角度から、材料の径を測定することができる。
この場合、複数の材料通過検出手段から得られる情報を
平均して、材料の径の平均値を得ることもできる。ま
た、材料両端通過時の回転型移載装置の相対移動量か
ら、材料の径を測定することもできる。この場合、複数
の材料通過検出手段から得られる情報を平均して、材料
の径の平均値を得ることもできる。さらに、複数の材料
通過検出手段から得られる実測径のばらつきや、複数の
材料通過検出手段のONもしくはOFFするタイミング
のずれから、材料の曲がりを検出することもできる。
【0011】さらに、請求項3の発明では、回転するこ
とで材料を移載する回転型移載装置上における材料の径
の測定を行なう装置において、材料を移載する時に当該
材料を載せる左右対称なV字型の材料受け部材と、材料
受け部材に材料が載せられることで押し込められるスト
ローク検出手段とを備え、材料受け部材のV字の角度と
ストローク検出手段の押し込み量とから、材料の径を測
定するようにしている。
【0012】従って、請求項3の発明の材料径測定装置
においては、材料受け部材のV字の角度とストローク検
出手段の押し込み量とから、材料の径を測定することが
できる。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。
【0014】(第1の実施の形態:請求項1に対応)図
1は、本実施の形態による材料径測定装置の構成例を示
す概要図である。
【0015】図1において、回転型移載装置1は、回転
軸に取り付けられたモータ2によって駆動する。
【0016】また、モータ2に取り付けられた回転角検
出装置3により、回転型移載装置1の回転角度(現在位
置)を検出する。
【0017】回転型移載装置1は、例えば時計廻りに回
転することで、コンベアローラ4からコンベアローラ5
に材料6を移載する。
【0018】材料通過検出手段である遮光センサ7は、
回転型移載装置1で材料6を移載する時に、材料6が通
過したことを検出する。
【0019】次に、以上のように構成した本実施の形態
の材料径測定装置の作用について、図2を用いて説明す
る。
【0020】図2に示すように、回転型移載装置1が時
計廻りに回転しながら、コンベアローラ4からコンベア
ローラ5に材料6を移載する際に、遮光センサ7がOF
F→ONした時の回転型移載装置1の回転角度から、材
料6の径を求める。
【0021】ここで、遮光センサ7がOFF→ONする
時の回転型移載装置1の回転角度と材料6の径との対応
は、実測値を元にあらかじめ対応表を作成しておく。
【0022】また、同様にして、遮光センサ7がON→
OFFした時の回転型移載装置1の回転角度から、材料
6の径を検出し、遮光センサ7がONしてからOFFす
るまでの回転型移載装置1の相対移動量(回転角度)か
ら、材料6の径を求めることもできる。
【0023】さらに、回転型移載装置1の回転速度が一
定であれば、コンベアローラ4からすくい上げてから遮
光センサ7がONするまでの時間、コンベアローラ4か
らすくい上げてから遮光センサ7がOFFするまでの時
間、遮光センサ7がONしてからOFFするまでの時間
から、材料6の径を検出することもできる。
【0024】上述したように、本実施の形態の材料径測
定装置では、従来のように外径計等の専用の高価な測定
装置を導入することなく、比較的安価な一つの遮光セン
サ7を用いて材料6の径を測定するようにしているた
め、フィードバック制御に使うようなそれほど厳密な実
測径を必要としない設備に対して、比較的安価なセンサ
を付け加えるだけで、材料端通過時の回転型移載装置1
の回転角度、または材料両端通過時の回転型移載装置1
の相対移動量から、材料6の径を測定することが可能と
なる。
【0025】これにより、上位計算機からの材料径の設
定、および材料と材料径データのトラッキングを不要と
しつつ、材料6を搬送することができる。
【0026】また、必要に応じて、上位計算機からの設
定データと、本材料径測定装置による材料6の径の実測
値とを比較することにより、異材混入を検出することが
できる。
【0027】以上により、トラッキングのずれや設定間
違いによる重大事故の発生をなくすことと、安価なシス
テム構築とを両立することができる。
【0028】(第2の実施の形態:請求項2に対応)図
3は、本実施の形態による材料径測定装置の構成例を示
す概要図であり、図1と同一要素には同一符号を付して
示している。
【0029】図3において、回転型移載装置1は、回転
軸に取り付けられたモータ2によって駆動する。
【0030】また、モータ2に取り付けられた回転角検
出装置3により、回転型移載装置1の回転角度(現在位
置)を検出する。
【0031】回転型移載装置1は、例えば時計廻りに回
転することで、コンベアローラ4からコンベアローラ5
に材料6を移載する。
【0032】さらに、材料6の長さ方向には、材料通過
検出手段である複数の遮光センサ7を設置し、回転型移
載装置1で材料6を移載する時に、材料6が通過したこ
とを検出する。
【0033】次に、以上のように構成した本実施の形態
の材料径測定装置の作用について説明する。
【0034】図3に示すように、回転型移載装置1が時
計廻りに回転しながら、コンベアローラ4からコンベア
ローラ5に材料6を移載する際に、複数の遮光センサ7
がOFF→ONした時の回転型移載装置1の回転角度か
ら、材料6の径を求める。
【0035】ここで、複数の遮光センサ7がOFF→O
Nする時の回転型移載装置1の回転角度と材料6の径と
の対応は、実測値を元にあらかじめ対応表を作成してお
く。
【0036】また、同様にして、複数の遮光センサ7が
ON→OFFした時の回転型移載装置1の回転角度か
ら、材料6の径を検出し、複数の遮光センサ7がONし
てからOFFするまでの回転型移載装置1の相対移動量
(回転角度)から、材料6の径を求めることもできる。
【0037】さらに、回転型移載装置1の回転速度が一
定であれば、コンベアローラ4からすくい上げてから複
数の遮光センサ7がONするまでの時間、コンベアロー
ラ4からすくい上げてから複数の遮光センサ7がOFF
するまでの時間、複数の遮光センサ7がONしてからO
FFするまでの時間から、材料6の径を検出することも
できる。
【0038】一方、本実施の形態では、遮光センサ7を
複数配置していることにより、材料6の径の平均値を求
めることもできる。
【0039】また、材料6の径の長さ方向のばらつきか
ら、材料6の曲がりを検出することもできる。
【0040】さらに、複数の遮光センサ7から得られる
実測径のばらつきや、複数の遮光センサ7のONもしく
はOFFするタイミングのずれから、材料の曲がりを検
出することもできる。
【0041】上述したように、本実施の形態の材料径測
定装置では、従来のように外径計等の専用の高価な測定
装置を導入することなく、比較的安価な複数の遮光セン
サ7を用いて材料6の径を測定し、材料6の曲がりを検
出するようにしているため、前記第1の実施の形態と同
様の効果が得られるのに加えて、材料6の径の平均値を
求めるようにしているため、ばらつきの少ない実測径を
得ることが可能となる。
【0042】また、材料6の径の長さ方向のばらつきを
求めることにより、製品にならない材料を検出すること
も可能となる。
【0043】さらに、複数の遮光センサ7のONまたは
OFFするタイミングのずれから、材料6の曲がりを検
出することも可能となる。
【0044】(第3の実施の形態:請求項3に対応)図
4は、本実施の形態による材料径測定装置の構成例を示
す概要図であり、図1および図3と同一要素には同一符
号を付して示している。
【0045】図4において、回転型移載装置1は、回転
軸に取り付けられた図示しないモータによって駆動す
る。
【0046】回転型移載装置1は、例えば時計廻りに回
転することで、材料6を移載する。
【0047】回転型移載装置1で材料6を移載する時に
材料6を載せるための材料受け部材であるV字型受皿8
は、左右対称であり、ストローク検出手段であるストロ
ークセンサ9との角度Θは固定である。
【0048】ストロークセンサ9は、V字型受皿8に材
料6が載せられることで下方に押し込められる。
【0049】次に、以上のように構成した本実施の形態
の材料径測定装置の作用について説明する。
【0050】図4に示すように、V字型受皿8とストロ
ークセンサ9との角度Θと、押し込められたストローク
センサ9の突出部の長さLとから、材料6の径を求める
ことができる。
【0051】すなわち、材料6の半径をXとすると、下
記のような式により、材料6の径が求まる。
【0052】 X/(X+L)−cosΘ X=LcosΘ/(1−cosΘ) 材料6の径:2X=2LcosΘ/(1−cosΘ) 上述したように、本実施の形態の材料径測定装置では、
従来のように外径計等の専用の高価な測定装置を導入す
ることなく、比較的安価なストロークセンサ9を用いて
材料6の径を測定するようにしているため、フィードバ
ック制御に使うようなそれほど厳密な実測径を必要とし
ない設備に対して、V字型受皿8のV字の角度とストロ
ークセンサ9の押し込み量とから、材料6の径を測定す
ることが可能となる。
【0053】これにより、上位計算機からの材料径の設
定、および材料と材料径データのトラッキングを不要と
しつつ、材料6を搬送することができる。
【0054】また、必要に応じて、上位計算機からの設
定データと、本材料径測定装置による材料6の径の実測
値とを比較することにより、異材混入を検出することが
できる。
【0055】以上により、トラッキングのずれや設定間
違いによる重大事故の発生をなくすことと、安価なシス
テム構築とを両立することができる。
【0056】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の材料径測
定装置および材料曲がり検出装置によれば、フィードバ
ック制御に使うようなそれほど厳密な実測径を必要とし
ない設備に対して、比較的安価なセンサを付け加えるだ
けで材料径を実測し、材料曲がりを検出し、トラッキン
グのずれや設定間違いによる重大事故の発生をなくすこ
とと、安価なシステム構築とを両立することが可能とな
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態による材料径測定装
置の構成例を示す概要図。
【図2】同第1の実施の形態の材料径測定装置における
作用を説明するための図。
【図3】本発明の第2の実施の形態による材料径測定・
曲がり検出装置の構成例を示す概要図。
【図4】本発明の第3の実施の形態による材料径測定装
置の構成例を示す概要図。
【符号の説明】
1…回転型移載装置、 2…モータ、 3…回転角検出装置、 4…コンベアローラ、 5…コンベアローラ、 6…材料、 7…遮光センサ、 8…V字型受皿、 9…ストロークセンサ。
フロントページの続き Fターム(参考) 2F065 AA26 AA46 BB08 BB24 FF02 MM04 PP13 PP22 UU04 2F069 AA39 AA52 BB36 CC02 GG04 GG07 GG62 GG65 HH13 HH15 JJ17 MM02 MM34 PP08

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 回転することで材料を移載する回転型移
    載装置上における前記材料の径の測定を行なう装置にお
    いて、 材料が通過したことを検出する材料通過検出手段と、 前記回転型移載装置の回転角度を検出する回転角検出手
    段とを備え、 前記材料端通過時の回転型移載装置の回転角度、または
    前記材料両端通過時の回転型移載装置の相対移動量か
    ら、前記材料の径を測定するようにしたことを特徴とす
    る材料径測定装置。
  2. 【請求項2】 回転することで材料を移載する回転型移
    載装置上における前記材料の径の測定、および材料の曲
    がりの検出を行なう装置において、 前記材料の長さ方向に複数設置され、前記材料が通過し
    たことを検出する材料通過検出手段と、 前記回転型移載装置の回転角度を検出する回転角検出手
    段とを備え、 前記材料端通過時の回転型移載装置の回転角度、または
    前記材料両端通過時の回転型移載装置の相対移動量か
    ら、前記材料の径およびその平均値を測定すると共に、 前記測定された材料径のばらつき、または前記各材料通
    過検出手段のON/OFFのタイミングのずれから、前
    記材料の曲がりを検出するようにしたことを特徴とする
    材料径測定・曲がり検出装置。
  3. 【請求項3】 回転することで材料を移載する回転型移
    載装置上における前記材料の径の測定を行なう装置にお
    いて、 前記材料を移載する時に当該材料を載せる左右対称なV
    字型の材料受け部材と、 前記材料受け部材に前記材料が載せられることで押し込
    められるストローク検出手段とを備え、 前記材料受け部材のV字の角度と前記ストローク検出手
    段の押し込み量とから、前記材料の径を測定するように
    したことを特徴とする材料径測定装置。
JP11005439A 1999-01-12 1999-01-12 材料径測定装置および材料曲がり検出装置 Pending JP2000205855A (ja)

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101964705B1 (ko) * 2018-07-06 2019-04-02 클래드코리아포항 주식회사 파이프의 치수측정유닛과 이것이 구비된 파이프의 디스펜서장치
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CN113001394A (zh) * 2019-12-20 2021-06-22 株式会社荏原制作所 基板处理装置、基板处理方法及基板研磨方法

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