JP2000201036A - High frequency amplifier circuit device - Google Patents

High frequency amplifier circuit device

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JP2000201036A
JP2000201036A JP11001239A JP123999A JP2000201036A JP 2000201036 A JP2000201036 A JP 2000201036A JP 11001239 A JP11001239 A JP 11001239A JP 123999 A JP123999 A JP 123999A JP 2000201036 A JP2000201036 A JP 2000201036A
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JP
Japan
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gate
transistor
control transistor
voltage
main body
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Application number
JP11001239A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takeshi Yasuda
武 安田
Akira Masuda
章 増田
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Hitachi Ltd
Renesas Eastern Japan Semiconductor Inc
Original Assignee
Hitachi Ltd
Hitachi Tohbu Semiconductor Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To decrease the gate voltage of a control transistor in proportion to an AGC potential, and to reduce a voltage by providing a prescribed circuit constitution by using dual FET for both a main transistor and the transistor for controlling a gain. SOLUTION: A common part 21 of transistors TC1 and TC2 of a control transistor Q2 in a dual gate structure is connected through a resistor R2 with a gate G1 of a main body transistor Q1, and a gate G2 of the main transistor Q1 is connected with a gate 1 of the control transistor Q2. When an AGC potential is impressed to the gate G2, the voltage of the gate G1 of the control transistor Q2 is decreased according as the AGC potential is decreased, and currents running through the control transistor Q2 are decreased, and a potential VC of the common part 21 is increased according to the decrease of a voltage. As a result, a voltage is supplied to the gate G1 of the main transistor Q1 so that the function of a forward AGC function can be obtained. Thus, the voltage of the gate 1 of the control transistor is decreased in proportion to the decrease of the AGC potential so that distortion characteristics at the time of attenuating a gain can be improved.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は高周波増幅回路装
置、特に可制御バイアス回路内蔵デュアルゲート電界効
果トランジスタに関し、たとえばTV・VTRチューナ
等のAGC(Auto Gain Control)機能を有する高周波
増幅回路装置に適用して有効な技術に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a high-frequency amplifier circuit device, and more particularly to a dual-gate field-effect transistor with a built-in controllable bias circuit, which is applied to a high-frequency amplifier circuit device having an AGC (Auto Gain Control) function such as a TV / VTR tuner. And effective technology.

【0002】[0002]

【従来の技術】AGC機能を有する高周波増幅回路装置
(高周波増幅回路)の一つとして、バイアス内蔵チュー
ナ用デュアルゲートMOSFETがある。バイアス内蔵
チューナ用デュアルゲートMOSFETについては、例
えば、特開平5-175761号公報に開示されている。前記公
報に開示される技術は、いずれもデュアルゲートFET
で構成される可制御バイアス回路(制御MOSFET)
と可制御増幅回路(本体MOSFET)とからなってい
て、本体MOSFETのゲート2の電圧を制御MOSF
ETのゲート2に入力し、制御MOSFETに流れる電
流を減少させ、電圧降下によって本体MOSFETのゲ
ート1へ電圧を供給する構成になっている。この技術
は、可制御増幅回路と、この可制御増幅回路を制御する
可制御バイアス回路とからなるモノリシック(オールイ
ンワン型)な高周波増幅回路であり、ゲート幅Wgの小
さなデュアルゲートFETを制御用トランジスタとして
利用し、ドレイン端子からの電圧を抵抗またはFET負
荷を通し、制御用FETのドレインに加える構造になっ
ている。また、制御用FETのゲート2に本体FETの
ゲート2を接続し、抵抗またはFET負荷を流れる電流
を変化させ、ゲート1の電位をゲート2の変化とは逆に
動かす回路構成になっている。この動作は単体FETで
構成した場合のゲートとソース間の電位を+方向に増加
させるのと同じ効果となる。また、ソースに抵抗を付け
ていないため低電圧動作が可能であり抵抗やコンデンサ
を省略することができるメリットがある。
2. Description of the Related Art As one of high-frequency amplifier circuits (high-frequency amplifier circuits) having an AGC function, there is a dual-gate MOSFET for a built-in bias tuner. A dual-gate MOSFET for a built-in bias tuner is disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-175761. The technologies disclosed in the above publications are all dual-gate FETs.
Controllable bias circuit (control MOSFET) composed of
And a controllable amplifier circuit (main body MOSFET), and controls the voltage of the gate 2 of the main body MOSFET by a control MOSF.
The configuration is such that the current input to the gate 2 of the ET, the current flowing through the control MOSFET is reduced, and a voltage is supplied to the gate 1 of the main body MOSFET by a voltage drop. This technology is a monolithic (all-in-one type) high-frequency amplifier circuit comprising a controllable amplifier circuit and a controllable bias circuit for controlling the controllable amplifier circuit, and uses a dual-gate FET having a small gate width Wg as a control transistor. Utilizing the structure, a voltage from the drain terminal is applied to the drain of the control FET through a resistor or an FET load. Further, the gate 2 of the main body FET is connected to the gate 2 of the control FET, the current flowing through the resistor or the FET load is changed, and the potential of the gate 1 is moved in the opposite direction to the change of the gate 2. This operation has the same effect as increasing the potential between the gate and the source in the + direction when a single FET is used. In addition, since the source is not provided with a resistor, low voltage operation is possible and there is an advantage that the resistor and the capacitor can be omitted.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】本発明者においても、
デュアルゲートFETで構成される本体トランジスタ
を、デュアルゲートFETで構成される制御トランジス
タでバイアス制御する高周波増幅回路の低電圧化を検討
してきた。本発明はこの検討の結果得られたものであ
る。本発明の目的は、低電圧動作が可能なバイアス回路
を内蔵した高周波増幅回路装置を提供することにある。
本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は、
本明細書の記述および添付図面からあきらかになるであ
ろう。
SUMMARY OF THE INVENTION In the present inventor,
It has been studied to lower the voltage of a high-frequency amplifier circuit in which a body transistor formed of a dual-gate FET is bias-controlled by a control transistor formed of a dual-gate FET. The present invention has been obtained as a result of this study. An object of the present invention is to provide a high-frequency amplifier circuit device having a built-in bias circuit capable of operating at a low voltage.
The above and other objects and novel features of the present invention are as follows.
It will become apparent from the description of the present specification and the accompanying drawings.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば、下
記のとおりである。 (1)デュアルゲート電界効果トランジスタで構成され
る本体トランジスタと、前記本体トランジスタのゲイン
を制御するデュアルゲート電界効果トランジスタで構成
される制御トランジスタとを有する高周波増幅回路装置
であって、前記本体トランジスタおよび制御トランジス
タのドレイン端子が第1基準電位に接続され、前記本体
トランジスタおよび制御トランジスタのソース端子が第
2基準電位に接続され、前記本体トランジスタのゲート
1がバックトウバックのダイオードを介して第2基準電
位に接続されるとともに抵抗を介して前記制御トランジ
スタにおけるトランジスタ1とトランジスタ2の共通部
分に接続され、前記本体トランジスタのゲート2がバッ
クトウバックのダイオードを介して第2基準電位に接続
されるとともに前記制御トランジスタのゲート1に接続
され、前記制御トランジスタのドレイン端子は制御トラ
ンジスタのゲート2に接続されるとともにダイオードを
介してソース端子に接続され、前記本体トランジスタの
ドレイン端子とソース端子間にはダイオードが接続され
ている。前記本体トランジスタのゲート1,ゲート2,
ドレインおよびソースがそれぞれ外部端子となってい
る。
The following is a brief description of an outline of typical inventions disclosed in the present application. (1) A high-frequency amplifier circuit device having a main transistor constituted by a dual-gate field-effect transistor and a control transistor constituted by a dual-gate field-effect transistor for controlling a gain of the main transistor, wherein The drain terminal of the control transistor is connected to a first reference potential, the source terminals of the body transistor and the control transistor are connected to a second reference potential, and the gate 1 of the body transistor is connected to a second reference potential via a back-to-back diode. Connected to a common portion of the control transistor 1 and the transistor 2 in the control transistor via a resistor, and the gate 2 of the main body transistor is connected to a second reference potential via a back-to-back diode. Previous The drain terminal of the control transistor is connected to the gate 2 of the control transistor and connected to the source terminal via a diode. A diode is connected between the drain terminal and the source terminal of the main transistor. It is connected. Gate 1, Gate 2,
The drain and the source are each an external terminal.

【0005】(2)前記手段(1)の構成において、前
記制御トランジスタのゲート2と制御トランジスタのソ
ース端子間にはブリーダ抵抗が接続されている。
(2) In the configuration of the means (1), a bleeder resistor is connected between the gate 2 of the control transistor and the source terminal of the control transistor.

【0006】(3)前記手段(1)の構成において、前
記制御トランジスタのゲート1と前記本体トランジスタ
のゲート2および制御トランジスタのゲート1と制御ト
ランジスタのソース端子間にはそれぞれ抵抗が設けられ
ている。
(3) In the configuration of the means (1), a resistor is provided between the gate 1 of the control transistor, the gate 2 of the body transistor, the gate 1 of the control transistor, and the source terminal of the control transistor. .

【0007】前記(1)の手段によれば、本体トランジ
スタのゲート1が制御トランジスタにおけるトランジス
タ1とトランジスタ2の共通部分(VC)に抵抗を介し
て接続されているとともに、本体トランジスタのゲート
2が制御トランジスタのゲート1に接続されていること
から、本体トランジスタのゲート2にAGC電位が印加
された場合、AGC電位の低下に伴って制御トランジス
タに流れる電流が減少するため、電圧降下によって共通
部分の電位(VC)が上昇し、その結果本体トランジス
タのゲート1に電圧を供給することになる。AGC電位
の低下に比例して制御トランジスタのゲート1の電圧が
低下することから、利得減衰時の歪み特性の改善が達成
できることになる。また、低電圧化も達成できる。
According to the means (1), the gate 1 of the main body transistor is connected to the common portion (VC) of the control transistor and the transistor 1 and the transistor 2 via the resistor, and the gate 2 of the main body transistor is connected. When the AGC potential is applied to the gate 2 of the main body transistor, the current flowing through the control transistor decreases with a decrease in the AGC potential because the gate is connected to the gate 1 of the control transistor. The potential (VC) increases, and as a result, a voltage is supplied to the gate 1 of the body transistor. Since the voltage at the gate 1 of the control transistor decreases in proportion to the decrease in the AGC potential, it is possible to achieve an improvement in distortion characteristics at the time of gain attenuation. Also, lower voltage can be achieved.

【0008】前記(2)の手段によれば、制御トランジ
スタのゲート2の電圧は抵抗を用いてブリーダ(分圧)
していることから、VCから出力される最大電圧を制限
することができる。
According to the means of (2), the voltage of the gate 2 of the control transistor is bleeder (divided) by using a resistor.
Therefore, the maximum voltage output from the VC can be limited.

【0009】前記(3)の手段によれば、制御トランジ
スタのゲート1の電圧は抵抗を用いてブリーダしている
ことから、VCから出力される最小電圧を制限すること
もできる。すなわち、制御トランジスタのゲート1の電
圧が高くなると、VC電圧が減少し本体トランジスタの
チャネル1を必要以上に閉じてしまうため不都合が生じ
る。このため、制御トランジスタのゲート1の電圧を抵
抗分割にて調整することも可能である。また、本体トラ
ンジスタのAGC供給電圧(ゲート2の電圧)を抵抗分
割することにより、VC電圧と制御トランジスタのゲー
ト1電圧による曲線を等価的になだらかにさせることも
可能である。
According to the means (3), since the voltage of the gate 1 of the control transistor is bleeding using a resistor, the minimum voltage output from the VC can be limited. That is, when the voltage of the gate 1 of the control transistor increases, the VC voltage decreases and the channel 1 of the main body transistor is closed more than necessary, which causes a problem. Therefore, the voltage of the gate 1 of the control transistor can be adjusted by resistance division. Also, by dividing the AGC supply voltage of the main body transistor (the voltage of the gate 2) by resistance, it is also possible to make the curve by the VC voltage and the gate 1 voltage of the control transistor equivalently gentle.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。なお、発明の実施の形態を
説明するための全図において、同一機能を有するものは
同一符号を付け、その繰り返しの説明は省略する。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. In all the drawings for describing the embodiments of the present invention, components having the same functions are denoted by the same reference numerals, and their repeated description will be omitted.

【0011】(実施形態1)図1乃至図10は本発明の
一実施形態(実施形態1)である高周波増幅回路装置に
係わる図である。図1は高周波増幅回路装置の回路図、
図2は高周波増幅回路装置の一部を切り欠いた平面図で
ある。
(Embodiment 1) FIGS. 1 to 10 relate to a high-frequency amplifier circuit device according to an embodiment (Embodiment 1) of the present invention. FIG. 1 is a circuit diagram of a high-frequency amplifier circuit device,
FIG. 2 is a plan view in which a part of the high-frequency amplifier circuit device is cut away.

【0012】本実施形態1では、本体トランジスタおよ
び制御トランジスタはデュアルゲート電界効果トランジ
スタとなるが、この電界効果トランジスタは、たとえば
MOS構造となっている。なお、GaAs系化合物半導
体によるデュアルゲート電界効果トランジスタ等でも同
様に適用できる。
In the first embodiment, the main body transistor and the control transistor are dual gate field effect transistors. The field effect transistor has, for example, a MOS structure. Note that the present invention can be similarly applied to a dual-gate field-effect transistor using a GaAs compound semiconductor.

【0013】本実施形態1の高周波増幅回路装置30
は、矩形体の絶縁性樹脂からなるパッケージ31の両側
からそれぞれ2本ずつリード32を突出させた構造にな
っている。パッケージ31の一側面から突出するリード
32はゲート1(G1)とゲート2(G2)からなり、
他側面から突出するリード32はソース(S)とドレイ
ン(D)とからなっている。前記ソースリードは、その
内端がパッケージ31の中央に位置しかつ幅広形状のチ
ップ固定部33を構成している。このチップ固定部33
には半導体素子34が固定されている。そして、この半
導体素子34の上面に設けられたワイヤボンディングパ
ッド35(図3参照)と各リード32は、導電性のワイ
ヤ36を介して電気的に接続されている。
The high-frequency amplifier circuit device 30 of the first embodiment
Has a structure in which two leads 32 project from each side of a package 31 made of a rectangular insulating resin. A lead 32 protruding from one side of the package 31 includes a gate 1 (G1) and a gate 2 (G2),
The lead 32 protruding from the other side is composed of a source (S) and a drain (D). The source lead has an inner end located at the center of the package 31 and forms a wide chip fixing portion 33. This chip fixing part 33
Is fixed to the semiconductor element 34. The wire bonding pad 35 (see FIG. 3) provided on the upper surface of the semiconductor element 34 and each lead 32 are electrically connected via a conductive wire 36.

【0014】この半導体素子34には、図1に示す回路
が組み込まれている。この回路は、デュアルゲート電界
効果トランジスタで構成される本体トランジスタQ1
と、前記本体トランジスタQ1のゲインを制御するデュ
アルゲート電界効果トランジスタで構成される制御トラ
ンジスタQ2と、二つの抵抗R1,R2と、二つのバッ
クトウバック構造のダイオードD1,D2と、本体トラ
ンジスタQ1および制御トランジスタQ2のソースとド
レイン間にそれぞれ設けられるダイオードD3,D4で
構成されている。前記ドレイン(D)は第1基準電位
(電源電位Vcc)に接続され、前記ソース(S)は第
2基準電位(グランド)に接続される。
The circuit shown in FIG. 1 is incorporated in the semiconductor element 34. This circuit comprises a body transistor Q1 composed of a dual gate field effect transistor.
A control transistor Q2 composed of a dual-gate field-effect transistor for controlling the gain of the body transistor Q1, two resistors R1 and R2, two diodes D1 and D2 having a back-to-back structure, It is composed of diodes D3 and D4 provided between the source and the drain of the control transistor Q2, respectively. The drain (D) is connected to a first reference potential (power supply potential Vcc), and the source (S) is connected to a second reference potential (ground).

【0015】本体トランジスタQ1のドレイン(D),
ソース(S),ゲート1(G1),ゲート2(G2)
が、高周波増幅回路装置30の外部端子となる。ゲート
1(G1)とソース(S)との間にはバックトウバック
構造のダイオードD1が挿入接続され、ゲート2(G
2)とソース(S)との間にはバックトウバック構造の
ダイオードD2が挿入接続されている。また、本体トラ
ンジスタQ1のドレイン(D)とソース(S)間にはダ
イオードD4が挿入接続されている。
The drain (D) of the body transistor Q1,
Source (S), Gate 1 (G1), Gate 2 (G2)
Are external terminals of the high-frequency amplifier circuit device 30. A diode D1 having a back-to-back structure is inserted and connected between the gate 1 (G1) and the source (S).
A diode D2 having a back-to-back structure is inserted and connected between 2) and the source (S). A diode D4 is inserted and connected between the drain (D) and the source (S) of the main body transistor Q1.

【0016】制御トランジスタQ2のゲート1(G1)
は本体トランジスタQ1のゲート2(G2)に接続さ
れ、制御トランジスタQ2のゲート2(G2)は抵抗R
1を介して制御トランジスタQ2のドレイン(D)に接
続されている。また、制御トランジスタQ2のドレイン
(D)とソース(S)間にはダイオードD5が挿入接続
されている。
Gate 1 (G1) of control transistor Q2
Is connected to the gate 2 (G2) of the body transistor Q1, and the gate 2 (G2) of the control transistor Q2 is connected to the resistor R
1 is connected to the drain (D) of the control transistor Q2. A diode D5 is inserted and connected between the drain (D) and the source (S) of the control transistor Q2.

【0017】また、これが本発明の特徴の一つである
が、デュアルゲート構造の制御トランジスタQ2のトラ
ンジスタ1(Tc1)とトランジスタ2(Tc2)の共
通部分21(図4参照)は抵抗R2を介して本体トラン
ジスタQ1のゲート1(G1)に接続されている。この
共通部分21の電位はVCになる。
Also, this is one of the features of the present invention. The common portion 21 (see FIG. 4) of the transistor 1 (Tc1) and the transistor 2 (Tc2) of the control transistor Q2 having the dual gate structure is connected via the resistor R2. Connected to the gate 1 (G1) of the main body transistor Q1. The potential of the common portion 21 becomes VC.

【0018】このような高周波増幅回路装置30では、
ゲート1(G1)に高周波信号Rfが印加され、ゲート
2(G2)にAGC電圧が印加されて本体トランジスタ
Q1の出力の制御がなされる。
In such a high-frequency amplifier circuit device 30,
The high frequency signal Rf is applied to the gate 1 (G1), and the AGC voltage is applied to the gate 2 (G2) to control the output of the main body transistor Q1.

【0019】本体トランジスタQ1のゲート2(G2)
が制御トランジスタQ2のゲート1(G1)に接続さ
れ、制御トランジスタQ2の共通部分が本体トランジス
タQ1のゲート1(G1)に接続されていることから、
本体トランジスタQ1のゲート2(G2)に印加される
AGC電位が順次低下していくと、制御トランジスタQ
2のゲート1(G1)に印加される電圧が低くなるた
め、制御トランジスタQ2に流れる電流が減少し、電圧
降下によってVCの電位が上昇し、その結果本体トラン
ジスタQ1のゲート1に電圧を供給することになり、本
体トランジスタQ1はフォワードAGC機能を有するこ
とになり、歪み特性を改善できる。
Gate 2 (G2) of main body transistor Q1
Are connected to the gate 1 (G1) of the control transistor Q2, and the common portion of the control transistor Q2 is connected to the gate 1 (G1) of the main body transistor Q1.
When the AGC potential applied to the gate 2 (G2) of the main body transistor Q1 sequentially decreases, the control transistor Q
Since the voltage applied to the gate 1 (G1) of the second transistor G1 decreases, the current flowing through the control transistor Q2 decreases, and the potential of VC increases due to the voltage drop. As a result, a voltage is supplied to the gate 1 of the main body transistor Q1. That is, the main body transistor Q1 has the forward AGC function, and the distortion characteristics can be improved.

【0020】図10は本実施形態1による高周波増幅回
路装置30におけるVG1とVG2の相関を示すグラフ
である。デュアルゲート電界効果トランジスタ単体で構
成する高周波増幅回路装置では、同グラフで従来として
示す曲線のように、ゲート1の電圧VG1は、最初は高
いが、ゲート2の電圧VG2の増大によって急激に低下
し、その後は一定となる特性を示すが、本実施形態1の
高周波増幅回路装置30の場合は、ゲート1の電圧VG
1はゲート2の電圧VG2の増大に比例して低下する特
性を示す。すなわち、本実施形態1によるバイアス回路
によれば、利得減衰時の歪み特性の改善が達成できるこ
とになる。
FIG. 10 is a graph showing the correlation between VG1 and VG2 in the high-frequency amplifier circuit device 30 according to the first embodiment. In the high-frequency amplifier circuit device composed of a single dual-gate field-effect transistor, the voltage VG1 of the gate 1 is initially high, but sharply decreases due to the increase of the voltage VG2 of the gate 2, as indicated by a curve shown as a conventional graph in the same graph. After that, the characteristic is constant, but in the case of the high-frequency amplifier circuit device 30 of the first embodiment, the voltage VG of the gate 1 is
1 shows a characteristic that decreases in proportion to an increase in the voltage VG2 of the gate 2. That is, according to the bias circuit according to the first embodiment, it is possible to achieve an improvement in distortion characteristics at the time of gain attenuation.

【0021】つぎに、本実施形態1による半導体素子3
4の製造について説明する。図3は半導体素子の平面図
である。図4は半導体素子の模式的断面図であり、各素
子(トランジスタ,ダイオード,抵抗)を同一断面に表
した図である。また、図5は制御トランジスタの各電極
等を示す模式図である。
Next, the semiconductor device 3 according to the first embodiment will be described.
4 will be described. FIG. 3 is a plan view of the semiconductor device. FIG. 4 is a schematic cross-sectional view of a semiconductor device, in which each device (transistor, diode, resistor) is shown in the same cross section. FIG. 5 is a schematic diagram showing each electrode and the like of the control transistor.

【0022】半導体素子34には、図3に示すように各
素子やワイヤボンディングパッド35が配置されてい
る。矩形の各隅にはドレイン,ソース,ゲート1,ゲー
ト2の各ワイヤボンディングパッド35が配置されてい
る。ゲート1とソースとの間にはバックトウバック構造
のダイオードD1が配置され、ゲート1とゲート2との
間にはバックトウバック構造のダイオードD2が配置さ
れている。また、中央には矩形状に本体トランジスタQ
1が設けられている。制御トランジスタQ2はゲート2
とドレイン間のゲート2寄りに設けられている。また、
ゲート2とドレインとの間には抵抗R1,抵抗R2が設
けられている。抵抗R1はAl配線の下に平行にレイア
ウトされている。
Each element and wire bonding pad 35 are arranged on the semiconductor element 34 as shown in FIG. Drain, source, gate 1 and gate 2 wire bonding pads 35 are arranged at each corner of the rectangle. A diode D1 having a back-to-back structure is arranged between the gate 1 and the source, and a diode D2 having a back-to-back structure is arranged between the gate 1 and the gate 2. In the center, the main body transistor Q
1 is provided. The control transistor Q2 has a gate 2
Between the gate and the drain. Also,
A resistor R1 and a resistor R2 are provided between the gate 2 and the drain. The resistor R1 is laid out in parallel below the Al wiring.

【0023】図4は半導体素子34の模式的断面図であ
る。半導体素子34は、第1導電型のシリコン基板、た
とえばp+型のシリコン基板1を基にして形成されてい
る。すなわち、シリコン基板1の主面にはp型層2が設
けられ、このp型層2の表層部分に形成したn型層やp
型層の組み合わせによって、本体トランジスタQ1,制
御トランジスタQ2,抵抗R1,R2,ダイオードD
1,D2等が形成されている。
FIG. 4 is a schematic sectional view of the semiconductor element 34. The semiconductor element 34 is formed based on a first conductivity type silicon substrate, for example, a p + type silicon substrate 1. That is, a p-type layer 2 is provided on the main surface of the silicon substrate 1, and an n-type layer or a p-type layer formed on the surface of the p-type layer 2 is formed.
The body transistor Q1, the control transistor Q2, the resistors R1, R2, and the diode D
1, D2, etc. are formed.

【0024】そして、図4では、左側から右側に向かっ
て、バックトウバック構造のダイオードD1,本体トラ
ンジスタQ1,制御トランジスタQ2,抵抗R1が組み
込まれている。p型層2の表面には一部でゲート絶縁膜
として使用されるゲート絶縁膜6が設けられている。ま
た、このゲート絶縁膜6の上には、本体トランジスタQ
1や制御トランジスタQ2のゲート1(G1)電極8や
ゲート2(G2)電極7が形成されている。
In FIG. 4, a diode D1, a main body transistor Q1, a control transistor Q2, and a resistor R1 having a back-to-back structure are incorporated from left to right. A gate insulating film 6 partially used as a gate insulating film is provided on the surface of the p-type layer 2. On the gate insulating film 6, a main body transistor Q
1 and a gate 1 (G1) electrode 8 and a gate 2 (G2) electrode 7 of the control transistor Q2.

【0025】また、絶縁膜ゲート絶縁膜6やゲート2
(G2)電極7およびゲート1(G1)電極8を被うよ
うに層間絶縁膜10が設けられている。この層間絶縁膜
10やゲート絶縁膜6は、各素子の電極の引出しのため
に除去されてコンタクト部が形成されている。そして、
前記層間絶縁膜10上に形成されたAl等からなる配線
膜11は、前記コンタクト部に充填されて、その下方の
半導体領域やゲート2(G2)電極7やゲート1(G
1)電極8に電気的に接続されている。
The insulating film, the gate insulating film 6 and the gate 2
An interlayer insulating film 10 is provided so as to cover the (G2) electrode 7 and the gate 1 (G1) electrode 8. The interlayer insulating film 10 and the gate insulating film 6 are removed for leading out the electrodes of each element to form a contact portion. And
A wiring film 11 made of Al or the like formed on the interlayer insulating film 10 is filled in the contact portion, and a semiconductor region, a gate 2 (G2) electrode 7 and a gate 1 (G
1) It is electrically connected to the electrode 8.

【0026】半導体素子34の表面全体は、ワイヤボン
ディングパッド35となる部分を除いて絶縁膜からなる
パッシベーション膜12で被われている。ワイヤボンデ
ィングパッド35部分には配線膜11が露出している。
The entire surface of the semiconductor element 34 is covered with a passivation film 12 made of an insulating film except for a portion to be a wire bonding pad 35. The wiring film 11 is exposed at the wire bonding pad 35 portion.

【0027】バックトウバック構造のダイオードD1
は、図4の左端部分に示すように、p型層2の表層部分
に設けたn型層3と、このn型層3の中央およびn型層
3とp型層2との接合部分に亘って形成したp+拡散領
域4とによって形成されている。このダイオードD1は
pnp構造のバックトウバック型ダイオードになってい
る。
Back-to-back diode D1
As shown in the left end of FIG. 4, the n-type layer 3 provided on the surface of the p-type layer 2 and the center of the n-type layer 3 and the junction between the n-type layer 3 and the p-type layer 2 It is formed by the p + diffusion region 4 formed over the entire surface. This diode D1 is a back-to-back type diode having a pnp structure.

【0028】本体トランジスタQ1は、p型層2の表層
部分にそれぞれ離して形成した3つのn型領域9と、各
n型領域9間上にゲート絶縁膜6を介して形成されたゲ
ート2(G2)電極7およびゲート1(G1)電極8と
によって形成されている。また、前記3つのn型領域9
のうちの両端のn型領域9にはn+型領域5が設けられ
ている。一方のn+型領域5にはソース電極が接続さ
れ、他方のn+型領域5にはドレイン電極が接続されて
いる。このソース電極およびドレイン電極は配線膜11
によって形成されている。これによりトランジスタ1
(T1)とトランジスタ2(T2)からなるデュアルゲ
ート電界効果トランジスタが構成される。
The main body transistor Q1 has three n-type regions 9 formed separately in the surface layer portion of the p-type layer 2 and a gate 2 () formed between the n-type regions 9 with a gate insulating film 6 interposed therebetween. G2) electrode 7 and gate 1 (G1) electrode 8. Further, the three n-type regions 9
In the n-type regions 9 at both ends, n + -type regions 5 are provided. One n + -type region 5 is connected to a source electrode, and the other n + -type region 5 is connected to a drain electrode. The source electrode and the drain electrode are connected to the wiring film 11.
Is formed by Thereby, transistor 1
A dual gate field effect transistor including (T1) and transistor 2 (T2) is configured.

【0029】制御トランジスタQ2は前記本体トランジ
スタQ1と同じ構成になっている。すなわち、制御トラ
ンジスタQ2は、p型層2の表層部分にそれぞれ離して
形成した3つのn型領域9と、各n型領域9間上にゲー
ト絶縁膜6を介して形成されたゲート2(G2)電極7
およびゲート1(G1)電極8とによって形成されてい
る。また、前記3つのn型領域9のうちの両端のn型領
域9にはn+型領域5が設けられている。一方のn+型領
域5にはソース電極が接続され、他方のn+型領域5に
はドレイン電極が接続されている。このソース電極およ
びドレイン電極は配線膜11によって形成されている。
これによりトランジスタ1(Tc1)とトランジスタ2
(Tc2)からなるデュアルゲート電界効果トランジス
タが構成される。トランジスタ1(Tc1)とトランジ
スタ2(Tc2)の間のn+型領域5が共通部分21
(電位:VC)になる。図5は制御トランジスタQ2の
共通部分21の引出しパターンを示す模式図である。
The control transistor Q2 has the same configuration as the main body transistor Q1. That is, the control transistor Q2 includes three n-type regions 9 formed separately in the surface layer of the p-type layer 2 and a gate 2 (G2) formed between the n-type regions 9 with the gate insulating film 6 interposed therebetween. ) Electrode 7
And the gate 1 (G1) electrode 8. Further, n + -type regions 5 are provided in the n-type regions 9 at both ends of the three n-type regions 9. One n + -type region 5 is connected to a source electrode, and the other n + -type region 5 is connected to a drain electrode. The source electrode and the drain electrode are formed by the wiring film 11.
Thereby, transistor 1 (Tc1) and transistor 2
A dual gate field effect transistor made of (Tc2) is formed. The n + type region 5 between the transistor 1 (Tc1) and the transistor 2 (Tc2)
(Potential: VC). FIG. 5 is a schematic diagram showing a drawing pattern of the common portion 21 of the control transistor Q2.

【0030】抵抗R1はp型層2の表層部分に細長く形
成したn型領域9と、このn型領域9の両端部分に形成
されたn+型領域5とによって形成されている。n+型領
域5上には配線膜11が接続されている。抵抗はn+
領域5を細長く形成して構成するようにしてもよい。な
お、抵抗R1でのn型領域9は黒く塗り潰して表示して
ある(以下同様)。
The resistor R1 is formed by an n-type region 9 elongated in the surface layer of the p-type layer 2 and n + -type regions 5 formed at both ends of the n-type region 9. The wiring film 11 is connected on the n + type region 5. The resistor may be formed by forming the n + type region 5 to be elongated. Note that the n-type region 9 in the resistor R1 is displayed in black (the same applies hereinafter).

【0031】つぎに、半導体素子34の製造方法につい
て説明する。図6に示すように、p+型のシリコン基板
1を用意した後、シリコン基板1の主面にp型層2を形
成する。その後、p型層2の表面全域に厚さ100nm
のSiO2からなる絶縁膜20を形成する。その後、ホ
トレジスト法およびイオン注入法によってn型層3およ
びp+拡散領域4を形成する。図6およびこれ以降の図
では、シリコン基板1の一部の断面のみを示すことにす
る。すなわち、一つの半導体素子34を形成する部分だ
けを示すものとする。
Next, a method for manufacturing the semiconductor element 34 will be described. As shown in FIG. 6, after preparing ap + -type silicon substrate 1, a p-type layer 2 is formed on the main surface of the silicon substrate 1. Thereafter, the entire surface of the p-type layer 2 has a thickness of 100 nm.
An insulating film 20 made of SiO 2 is formed. Thereafter, n-type layer 3 and p + diffusion region 4 are formed by a photoresist method and an ion implantation method. 6 and subsequent figures, only a part of the cross section of the silicon substrate 1 is shown. That is, only a portion where one semiconductor element 34 is formed is shown.

【0032】つぎに、前記絶縁膜20を除去する。つい
で、図7に示すように、常用のホトリソグラフィおよび
イオン注入技術によってn+型領域5を形成して、本体
トランジスタQ1のソース領域およびドレイン領域のコ
ンタクト領域と、制御トランジスタQ2のソース領域お
よびドレイン領域のコンタクト領域ならびに共通部分2
1と、抵抗R1の電極コンタクト領域等を形成する。つ
ぎに、シリコン基板1の主面側にゲート絶縁膜6を形成
するとともに、このゲート絶縁膜6上にゲート金属膜を
形成する。このゲート金属を常用の技術(ドライエッチ
ング)でパターニングして、本体トランジスタQ1およ
び制御トランジスタQ2のゲート1(G1)電極8,ゲ
ート2(G2)電極7を形成する。つぎに、図示しない
ホトレジスト膜や前記ゲート1(G1)電極8およびゲ
ート2(G2)電極7をマスクとして、n型領域9を形
成する。
Next, the insulating film 20 is removed. Next, as shown in FIG. 7, an n + -type region 5 is formed by conventional photolithography and ion implantation techniques, and a contact region of a source region and a drain region of the main body transistor Q1 and a source region and a drain region of the control transistor Q2 are formed. Area contact area and common part 2
1 and an electrode contact region of the resistor R1 and the like. Next, a gate insulating film 6 is formed on the main surface side of the silicon substrate 1 and a gate metal film is formed on the gate insulating film 6. The gate metal is patterned by a conventional technique (dry etching) to form the gate 1 (G1) electrode 8 and the gate 2 (G2) electrode 7 of the main body transistor Q1 and the control transistor Q2. Next, an n-type region 9 is formed using a photoresist film (not shown) and the gate 1 (G1) electrode 8 and the gate 2 (G2) electrode 7 as a mask.

【0033】つぎに、図8に示すように、ゲート2(G
2)電極7およびゲート1(G1)電極8を被うように
ゲート絶縁膜6上に層間絶縁膜10を形成する。その
後、前記層間絶縁膜10およびゲート絶縁膜6を選択的
にエッチング除去してコンタクト部(コンタクト領域)
25を形成する。
Next, as shown in FIG. 8, the gate 2 (G
2) An interlayer insulating film 10 is formed on the gate insulating film 6 so as to cover the electrode 7 and the gate 1 (G1) electrode 8. Thereafter, the interlayer insulating film 10 and the gate insulating film 6 are selectively removed by etching to form a contact portion (contact region).
25 are formed.

【0034】つぎに、図9に示すように、選択的にAl
からなる配線膜11をシリコン基板1の主面側に形成す
る。各配線膜11は各素子でのコンタクト部で電極や半
導体領域に電気的に接触する。つぎに、図9に示すよう
に、シリコン基板1の主面側に絶縁膜からなるパッシベ
ーション膜12を選択的に設ける。この際、図示はしな
いがワイヤボンディングパッド35はパッシベーション
膜12から露出する(図3参照)。つぎに、シリコン基
板1を分断することによって図9に示す半導体素子34
を製造する。
Next, as shown in FIG.
Is formed on the main surface side of the silicon substrate 1. Each wiring film 11 is in electrical contact with an electrode or a semiconductor region at a contact portion of each element. Next, as shown in FIG. 9, a passivation film 12 made of an insulating film is selectively provided on the main surface side of the silicon substrate 1. At this time, although not shown, the wire bonding pad 35 is exposed from the passivation film 12 (see FIG. 3). Next, by dividing the silicon substrate 1, the semiconductor element 34 shown in FIG.
To manufacture.

【0035】本実施形態1によれば以下の効果を有す
る。 (1)本体トランジスタQ1のゲート1が制御トランジ
スタQ2におけるトランジスタ1(Tc1)とトランジ
スタ2(Tc2)の共通部分(VC)に抵抗2を介して
接続されているとともに、本体トランジスタQ1のゲー
ト2が制御トランジスタQ2のゲート1に接続されてい
ることから、本体トランジスタQ1のゲート2にAGC
電位が印加された場合、AGC電位の低下に伴って制御
トランジスタQ2に流れる電流が減少するため、電圧降
下によって共通部分21の電位VCが上昇し、その結
果、本体トランジスタQ1のゲート1に電圧を供給する
ことになる。たとえば、AGC制御時、VG2を4Vか
ら0Vへ変化させると、VG1電位は自動で初期電圧か
ら電源電圧まで増える。
According to the first embodiment, the following effects are obtained. (1) The gate 1 of the main body transistor Q1 is connected to the common part (VC) of the transistor 1 (Tc1) and the transistor 2 (Tc2) in the control transistor Q2 via the resistor 2, and the gate 2 of the main body transistor Q1 is Since it is connected to the gate 1 of the control transistor Q2, the AGC is connected to the gate 2 of the main body transistor Q1.
When the potential is applied, the current flowing through the control transistor Q2 decreases with the decrease in the AGC potential, so that the potential VC of the common portion 21 increases due to the voltage drop, and as a result, the voltage is applied to the gate 1 of the main body transistor Q1. Will be supplied. For example, during AGC control, when VG2 is changed from 4V to 0V, the VG1 potential automatically increases from the initial voltage to the power supply voltage.

【0036】このように本実施形態1によれば、AGC
電位の低下に比例して制御トランジスタQ2のゲート1
の電圧が低下することから、利得減衰時の歪み特性の改
善が達成できることになる。また、低電圧化も達成でき
る。本実施形態1の高周波増幅回路装置30は、TV,
VTR等のチューナ用のAGC機能を有する高周波増幅
回路として使用して有効である。
As described above, according to the first embodiment, the AGC
The gate 1 of the control transistor Q2 is proportional to the decrease in the potential.
, The distortion characteristics at the time of gain attenuation can be improved. Also, lower voltage can be achieved. The high-frequency amplifier circuit device 30 according to the first embodiment includes a TV,
This is effective when used as a high-frequency amplifier circuit having an AGC function for a tuner such as a VTR.

【0037】(実施形態2)図11は本発明の他の実施
形態(実施形態2)である高周波増幅回路装置の回路図
である。本実施形態2の高周波増幅回路装置30では、
図11に示すように、制御トランジスタQ2のゲート2
は抵抗R3を介してブリーダ(分圧)して用いているこ
とから、共通部分21から出力される電位VCの最大電
圧を制限することができる。また、制御トランジスタQ
2のゲート2に印加される電圧に比例した最大電圧を設
定することも可能となる。これにより、最適VCを設定
することで歪み特性の改善が図れるようになる。
(Embodiment 2) FIG. 11 is a circuit diagram of a high-frequency amplifier circuit device according to another embodiment (Embodiment 2) of the present invention. In the high-frequency amplifier circuit device 30 according to the second embodiment,
As shown in FIG. 11, the gate 2 of the control transistor Q2
Is used as a bleeder (voltage division) via the resistor R3, so that the maximum voltage of the potential VC output from the common portion 21 can be limited. Also, the control transistor Q
It is also possible to set a maximum voltage proportional to the voltage applied to the second gate 2. As a result, the distortion characteristics can be improved by setting the optimum VC.

【0038】(実施形態3)図12は本発明の他の実施
形態(実施形態3)である高周波増幅回路装置の回路
図、図13は共通部分の電位VCとVG2との相関を示
すグラフである。本実施形態3の高周波増幅回路装置3
0では、図12に示すように、制御トランジスタQ2の
ゲート1は抵抗R4,R5を用いてブリーダして用いら
れていることから、共通部分21から出力される電位
(VC)の最小電圧領域を最小にすることができる。ゲ
ート1電圧が高くなると、VC電圧が減少し本体FET
のチャネル1を必要以上に閉じてしまうため不都合が生
じる。このため、制御トランジスタQ2のゲート1電圧
を抵抗分割にて調整することも可能である。また、本体
トランジスタQ1のAGC供給電圧を抵抗分割すること
により、図13に示すように等価的にその変化をなだら
かにさせることも可能である。図13において三角形マ
ークがプロットされた曲線は単一のデュアルゲート電界
効果トランジスタによる高周波増幅回路装置の特性であ
る。
(Embodiment 3) FIG. 12 is a circuit diagram of a high-frequency amplifier circuit device according to another embodiment (Embodiment 3) of the present invention, and FIG. 13 is a graph showing a correlation between potentials VC and VG2 of a common portion. is there. High-frequency amplifier circuit device 3 of the third embodiment
At 0, as shown in FIG. 12, since the gate 1 of the control transistor Q2 is used as a bleeder using the resistors R4 and R5, the minimum voltage region of the potential (VC) output from the common portion 21 is Can be minimized. When the gate 1 voltage increases, the VC voltage decreases and the body FET
Inconvenience occurs because channel 1 is closed more than necessary. Therefore, it is also possible to adjust the gate 1 voltage of the control transistor Q2 by resistance division. Further, by dividing the AGC supply voltage of the main body transistor Q1 by resistance, it is possible to make the change equivalently gentle as shown in FIG. In FIG. 13, a curve in which a triangle mark is plotted is a characteristic of a high-frequency amplifier circuit device using a single dual-gate field-effect transistor.

【0039】以上本発明者によってなされた発明を実施
形態に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施形
態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範
囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
Although the invention made by the present inventor has been specifically described based on the embodiments, the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made without departing from the gist of the invention. Needless to say.

【0040】[0040]

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記のとおりである。 (1)デュアルゲート電界効果トランジスタで構成され
る本体トランジスタをデュアルゲート電界効果トランジ
スタで構成される制御トランジスタでゲインを制御する
高周波増幅回路装置において、本体トランジスタのゲー
ト1が制御トランジスタのトランジスタ1とトランジス
タ2の共通部分に抵抗を介して接続してあるとともに、
本体トランジスタのゲート2が制御トランジスタのゲー
ト1に接続されていることから、本体トランジスタのゲ
ート2にAGC電位が印加された場合、AGC電位の低
下に伴って制御トランジスタに流れる電流が減少するた
め、電圧降下によって共通部分の電位(VC)が上昇
し、その結果本体トランジスタのゲート1に電圧を供給
することになる。AGC電位の低下に比例して制御トラ
ンジスタのゲート1の電圧が低下することから、利得減
衰時の歪み特性の改善が達成できることになり、また、
低電圧化も達成できる。
The effects obtained by the representative ones of the inventions disclosed in the present application will be briefly described as follows. (1) In a high-frequency amplifier circuit device in which gain is controlled by a control transistor composed of a dual-gate field-effect transistor for a main transistor composed of a dual-gate field-effect transistor, the gate 1 of the main transistor is composed of a control transistor and a transistor. Connected to the common part of the two via a resistor,
Since the gate 2 of the main body transistor is connected to the gate 1 of the control transistor, when the AGC potential is applied to the gate 2 of the main body transistor, the current flowing through the control transistor decreases as the AGC potential decreases. Due to the voltage drop, the potential (VC) of the common portion rises, and as a result, a voltage is supplied to the gate 1 of the body transistor. Since the voltage of the gate 1 of the control transistor decreases in proportion to the decrease of the AGC potential, it is possible to achieve an improvement in the distortion characteristic at the time of gain attenuation.
Low voltage can also be achieved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施形態(実施形態1)である高周
波増幅回路装置の回路図である。
FIG. 1 is a circuit diagram of a high-frequency amplifier circuit device according to an embodiment (Embodiment 1) of the present invention.

【図2】本実施形態1の高周波増幅回路装置の一部を切
り欠いた平面図である。
FIG. 2 is a plan view in which a part of the high-frequency amplifier circuit device according to the first embodiment is cut away.

【図3】本実施形態1の高周波増幅回路装置における半
導体素子の平面図である。
FIG. 3 is a plan view of a semiconductor element in the high-frequency amplifier circuit device according to the first embodiment.

【図4】前記半導体素子の模式的断面図である。FIG. 4 is a schematic sectional view of the semiconductor element.

【図5】前記半導体素子における制御トランジスタの各
電極等を示す模式図である。
FIG. 5 is a schematic diagram showing electrodes and the like of a control transistor in the semiconductor element.

【図6】前記半導体素子の製造において、シリコン基板
の主面に設けたp型層の一部にn型層やp+拡散領域を
設けた状態を示す模式的断面図である。
FIG. 6 is a schematic cross-sectional view showing a state in which an n-type layer or ap + diffusion region is provided in a part of a p-type layer provided on a main surface of a silicon substrate in manufacturing the semiconductor element.

【図7】前記半導体素子の製造において、n+型領域,
ゲート絶縁膜,n型領域,ゲート1(G1)電極,ゲー
ト2(G2)電極を設けた状態を示す模式的断面図であ
る。
FIG. 7 is a cross-sectional view showing an n + type region,
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing a state where a gate insulating film, an n-type region, a gate 1 (G1) electrode, and a gate 2 (G2) electrode are provided.

【図8】前記半導体素子の製造において、シリコン基板
の主面側にゲート絶縁膜,層間絶縁膜を設け、かつコン
タクト部25を形成した状態を示す模式的断面図であ
る。
FIG. 8 is a schematic cross-sectional view showing a state in which a gate insulating film and an interlayer insulating film are provided on the main surface side of the silicon substrate and a contact portion 25 is formed in the manufacture of the semiconductor element.

【図9】前記半導体素子の製造において、配線膜を設
け、パッシベーション膜を形成した状態を示す模式的断
面図である。
FIG. 9 is a schematic cross-sectional view showing a state in which a wiring film is provided and a passivation film is formed in the manufacture of the semiconductor element.

【図10】本実施形態1による高周波増幅回路装置のV
G1とVG2の相関を示すグラフである。
FIG. 10 shows V of the high-frequency amplifier circuit device according to the first embodiment.
It is a graph which shows the correlation of G1 and VG2.

【図11】本発明の他の実施形態(実施形態2)である
高周波増幅回路装置の回路図である。
FIG. 11 is a circuit diagram of a high-frequency amplifier circuit device according to another embodiment (Embodiment 2) of the present invention.

【図12】本発明の他の実施形態(実施形態3)である
高周波増幅回路装置の回路図である。
FIG. 12 is a circuit diagram of a high-frequency amplifier circuit device according to another embodiment (Embodiment 3) of the present invention.

【図13】本実施形態3の高周波増幅回路装置の共通部
分の電位VCとVG2との相関を示すグラフである。
FIG. 13 is a graph showing a correlation between potentials VC and VG2 of a common portion of the high-frequency amplifier circuit device according to the third embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…シリコン基板、2…p型層、3…n型層、4…p+
拡散領域、5…n+型領域、6…ゲート絶縁膜、7…ゲ
ート2(G2)電極、8…ゲート1(G1)電極、9…
n型領域、10…層間絶縁膜、11…配線膜、12…パ
ッシベーション膜、20…絶縁膜、21…共通部分、2
5…コンタクト部、30…高周波増幅回路装置、31…
パッケージ、32…リード、33…チップ固定部、34
…半導体素子、35…ワイヤボンディングパッド、36
…ワイヤ、D1,D2,D4,D5…ダイオード、Q1
…本体トランジスタ、Q2…制御トランジスタ、R1〜
R5…抵抗。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Silicon substrate, 2 ... p-type layer, 3 ... n-type layer, 4 ... p +
Diffusion region, 5 ... n + type region, 6 ... Gate insulating film, 7 ... Gate 2 (G2) electrode, 8 ... Gate 1 (G1) electrode, 9 ...
n-type region, 10 interlayer insulating film, 11 wiring film, 12 passivation film, 20 insulating film, 21 common part, 2
5 ... contact part, 30 ... high frequency amplifier circuit device, 31 ...
Package, 32: Lead, 33: Chip fixing part, 34
... Semiconductor element, 35 ... Wire bonding pad, 36
... wires, D1, D2, D4, D5 ... diodes, Q1
... body transistor, Q2 ... control transistor, R1
R5: resistance.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H03F 3/195 (72)発明者 増田 章 東京都小平市上水本町五丁目20番1号 株 式会社日立製作所半導体事業本部内 Fターム(参考) 5F048 AB10 AC01 AC10 BA02 BA06 BA15 BB02 BF02 5F102 FA00 GA14 GA17 GB01 GC05 GD10 GJ03 GJ05 GL03 GL05 5J092 AA04 AA35 CA21 CA37 FA01 HA10 HA19 HA25 MA01 MA02 QA02 QA03 SA13 TA01 TA02 VL08 5J100 AA14 AA19 BA02 BB03 BB04 BB07 CA02 CA03 CA05 CA20 FA01 JA01 QA04 SA01 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) H03F 3/195 (72) Inventor Akira Masuda 5-2-1, Josuihoncho, Kodaira-shi, Tokyo Co., Ltd. F-term in Hitachi Semiconductor Business Unit (reference) AA19 BA02 BB03 BB04 BB07 CA02 CA03 CA05 CA20 FA01 JA01 QA04 SA01

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 デュアルゲート電界効果トランジスタで
構成される本体トランジスタと、前記本体トランジスタ
のゲインを制御するデュアルゲート電界効果トランジス
タで構成される制御トランジスタとを有する高周波増幅
回路装置であって、前記本体トランジスタのゲート2と
前記制御トランジスタのゲート1が接続され、前記制御
トランジスタにおけるトランジスタ1とトランジスタ2
の共通部分が前記本体トランジスタのゲート1に抵抗を
介して接続される構成になっていることを特徴とする高
周波増幅回路装置。
1. A high-frequency amplifier circuit device comprising: a main body transistor constituted by a dual gate field effect transistor; and a control transistor constituted by a dual gate field effect transistor for controlling a gain of the body transistor. The gate 2 of the transistor is connected to the gate 1 of the control transistor, and the transistor 1 and the transistor 2 in the control transistor are connected.
Characterized in that the common part is connected to the gate 1 of the main body transistor via a resistor.
【請求項2】 デュアルゲート電界効果トランジスタで
構成される本体トランジスタと、前記本体トランジスタ
のゲインを制御するデュアルゲート電界効果トランジス
タで構成される制御トランジスタとを有する高周波増幅
回路装置であって、前記本体トランジスタおよび制御ト
ランジスタのドレイン端子が第1基準電位に接続され、
前記本体トランジスタおよび制御トランジスタのソース
端子が第2基準電位に接続され、前記本体トランジスタ
のゲート1がバックトウバックのダイオードを介して第
2基準電位に接続されるとともに抵抗を介して前記本体
トランジスタにおけるトランジスタ1とトランジスタ2
の共通部分に接続され、前記本体トランジスタのゲート
2がバックトウバックのダイオードを介して第2基準電
位に接続されるとともに前記制御トランジスタのゲート
1に接続され、前記制御トランジスタのドレイン端子は
制御トランジスタのゲート2に接続されるとともにダイ
オードを介してソース端子に接続され、前記本体トラン
ジスタのドレイン端子とソース端子間にはダイオードが
接続されていることを特徴とする高周波増幅回路装置。
2. A high-frequency amplifier circuit device comprising: a main body transistor constituted by a dual-gate field-effect transistor; and a control transistor constituted by a dual-gate field-effect transistor for controlling a gain of the body transistor. The drain terminals of the transistor and the control transistor are connected to a first reference potential,
The source terminals of the main body transistor and the control transistor are connected to a second reference potential, and the gate 1 of the main body transistor is connected to the second reference potential via a back-to-back diode and the resistance of the main body transistor is connected via a resistor. Transistor 1 and transistor 2
And a gate 2 of the main body transistor is connected to a second reference potential via a back-to-back diode and connected to a gate 1 of the control transistor, and a drain terminal of the control transistor is connected to a control transistor. A high-frequency amplifier circuit device, wherein the diode is connected between the drain terminal and the source terminal of the main body transistor.
【請求項3】 前記本体トランジスタのゲート1,ゲー
ト2,ドレインおよびソースがそれぞれ外部端子となっ
ていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載
の高周波増幅回路装置。
3. The high-frequency amplifier circuit device according to claim 1, wherein the gate, the gate, the drain, and the source of the main body transistor are external terminals, respectively.
【請求項4】 前記制御トランジスタのゲート2と制御
トランジスタのソース端子間にはブリーダ抵抗が接続さ
れていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいず
れか1項に記載の高周波増幅回路装置。
4. The high-frequency amplifier circuit according to claim 1, wherein a bleeder resistor is connected between the gate 2 of the control transistor and the source terminal of the control transistor. apparatus.
【請求項5】 前記制御トランジスタのゲート1と前記
本体トランジスタのゲート2および制御トランジスタの
ゲート1と制御トランジスタのソース端子間にはそれぞ
れ抵抗が設けられていることを特徴とする請求項1乃至
請求項3のいずれか1項に記載の高周波増幅回路装置。
5. A resistor is provided between the gate 1 of the control transistor and the gate 2 of the body transistor and between the gate 1 of the control transistor and the source terminal of the control transistor. Item 4. The high-frequency amplifier circuit device according to any one of items 3.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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