JP2000197192A - エレクトレットコンデンサマイクロホン - Google Patents

エレクトレットコンデンサマイクロホン

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JP2000197192A JP10371675A JP37167598A JP2000197192A JP 2000197192 A JP2000197192 A JP 2000197192A JP 10371675 A JP10371675 A JP 10371675A JP 37167598 A JP37167598 A JP 37167598A JP 2000197192 A JP2000197192 A JP 2000197192A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】部品点数が少なく小型のエレクトレットコンデ
ンサマイクロホンを得る。 【解決手段】固定電極6と振動膜4とを一定間隔で配置
し、両者間の静電容量の変化によって振動膜4に与えら
れた音声信号を検出するようにしたエレクトレットコン
デンサマイクロホンにおいて、絶縁材からなる箱型ケー
ス9内に、上記固定電極6と振動膜4、半導体素子8を
収納してて構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、エレクトレットコ
ンデンサマイクロホンに関する。
【0002】
【従来の技術】従来のエレクトレットコンデンサマイク
ロホンの構造を図6に示す。中央部に音孔22aを有す
る筒状の金属ケース22の天面上に面布21を備え、天
面内側に膜リング23を介して、表面に蒸着等によって
金属層を形成したエレクトレット材からなる振動膜24
を備えている。振動膜24は、ギャップスペーサ25を
介して、コンデンサギャップ32を隔てて固定電極26
と対向配置し、さらに下方にFET28を収納した凹状
の絶縁体27とプリント基板29を配置し、上記金属ケ
ース22のカシメ部22bで固定されている。
【0003】上記FET28の入力リード28aは固定
電極26に接続され、出力リード28bは絶縁体7とプ
リント基板29を貫通し、底面のハンダ付部9aに接続
している。一方、振動膜24は膜リング23によって金
属ケース22に導通している。
【0004】いま、音孔22aから音声が入力すると振
動膜24が振動し、これによって振動膜24と固定電極
26間の静電容量が変化するため、これを検出すること
によって音声信号を得ることができる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のような
従来のエレクトレットコンデンサマイクロホンは、以下
のような問題があった。
【0006】(1)エレクトレットコンデンサマイクロ
ホンは小型軽量化が求められているが、従来のもので
は、部品点数が多く、またカシメ部22bやハンダ付部
29a等の厚みを小さくすることができず、また絶縁体
27やプリント基板29尚の存在のために、全体を小型
軽量化することができなかった。
【0007】(2)従来のエレクトレットコンデンサマ
イクロホンは、固定電極26からプリント基板29まで
をアンプブロックとして組み立てておき、上下を逆にし
た金属ケース22内に各部品を置いて、最後にかしめる
ため、量産が困難であり、生産性が低かった。
【0008】(3)金属ケース22のカシメで固定する
ため、各部品の固定が確実ではなく、故障発生、歩留り
低下の原因となっていた。
【0009】(4)表面実装する場合、端子の取り出し
部であるハンダ付部29aが中央にあるため、実装が困
難であり、ショートの恐れが大きかった。
【0010】(5)各部品を小型化した場合、最も小型
化の制約を受ける部品はFET28又はICであり、こ
れらは角形状をしている。ところが従来の金属ケース2
2は円筒状であるため、角形状のFET28を収納する
と無駄が大きかった。しかも、金属ケース22が円筒状
体であるため、実装時等の取り扱いが困難で、位置決め
が難しく、さらには音孔22aを複雑形状にしようとし
ても加工が困難であった。
【0011】(6)金属ケース22は周囲の振動を伝え
やすく、振動膜24に悪影響を及ぼし、特性低下の原因
となっていた。
【0012】(7)プリント基板29を貫通して出力リ
ード28bを備えているため、この部分の気密を保持す
るためにハンダ付部29bが必要であった。
【0013】
【課題を解決する為の手段】そこで本発明は、固定電極
と振動膜とを一定間隔で配置し、両者間の静電容量の変
化によって振動膜に与えられた音声信号を検出するよう
にしたエレクトレットコンデンサマイクロホンにおい
て、絶縁材からなる箱型ケース内に、上記固定電極と振
動膜、駆動用半導体素子を収納して構成したことを特徴
とする。
【0014】即ち、箱型ケース内に各部品を収納するこ
とによって、従来例のような絶縁体やプリント基板を省
略して部品点数を減らすことができる。しかも、箱型ケ
ースに各部品を載置し蓋体で覆うだけで良いため、量産
が容易であり、各部品を強固に固定することができる。
【0015】また本発明は、上記箱型ケースの壁面及び
/又は内部に導電路を備え、底面に電極取り出し部を備
えたことによって、簡単な構造で底面の両側に電極取り
出し部を備えることができ、表面実装を容易に行えるよ
うにした。
【0016】さらに本発明は、上記箱型ケースの内壁に
段部を備え、該段部に振動膜又は固定電極を載置したこ
とによって、部品点数を減らすとともに、各部品を強固
に固定できるようにした。
【0017】また本発明は、上記箱型ケースを角型とす
ることによって、収納するFETやICの形状と一致さ
せるとともに、取り扱いや位置決めを容易にできるよう
にした。
【0018】さらに本発明は、上記固定電極を箱型ケー
スを覆う蓋体と兼用させることによって、さらに部品点
数を少なくした。
【0019】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図によ
って説明する。
【0020】図1(a)に示すエレクトレットコンデン
サマイクロホンは、セラミックス、ガラス、樹脂あるい
はこれらを複合した絶縁体からなる箱型ケース9の凹部
9aの内壁に段部9bを備え、この凹部9a内に各部品
を収納して板状の蓋体2で覆ったものである。
【0021】蓋体2は中央に音孔2aを備えた金属板で
あり、その下方に膜リング3を介して、金属層を形成し
たエレクトレット材からなる振動膜4を備え、さらにギ
ャップスペーサ5を介してコンデンサギャップを隔てて
固定電極6を備えている。この固定電極6が段部9b上
に載置され、段部9b上のメタライズ部とハンダ、ロ
ウ、導電性接着剤等で接合されており、さらに下方にF
ETやIC等の半導体素子8を収納してあり、この半導
体素子8には増幅回路等が形成されている。
【0022】また、箱型ケース9は、導電ペーストを表
面に印刷したり、スルーホールに充填したり、導電ペー
ストを備えたグリーンシートを積層することによって、
表面及び/又は内部に導電路を備えている。まず、蓋体
2に接続する導電路7aは箱型ケース9の外壁を通って
底面の電極取り出し部10aに接続している。また固定
電極6を載置した段部9bに備えた導電路7bは半導体
素子8の入力端子8aに接続し、さらに出力端子8bに
接続した導電路7cは箱型ケース9の外部に導出されて
もう一方の電極取り出し部10bに接続されている。
【0023】また、図1(b)に示すように箱型ケース
9の上端面9cはメタライズされ、ハンダ、ロウ、導電
性接着剤等で蓋体2と接着されている。そのため、振動
膜4は膜リング3、蓋体2、導電路7aを通じて電極取
り出し部10aに接続している。一方、固定電極6は、
導電路7b、半導体素子8、導電路7cを通じてもう一
方の電極取り出し部10bに接続している。
【0024】なお、上記導電路7a,7cはスルーホー
ルを介して内部に形成することもできる。また、上記電
極取り出し部10aは接地され、他方の電極取り出し部
10bは半導体素子8の電源と、出力端子を兼用してい
る。
【0025】いま、蓋体2の音孔2aから音声が入力す
ると振動膜4が振動し、これによって振動膜4と固定電
極6間の静電容量が変化することから、これを検出する
ことによって音声信号を得ることができる。
【0026】このような本発明のエレクトレットコンデ
ンサマイクロホンは、絶縁体の箱型ケース9を用いるこ
とによって、図6に示すような従来の構造に比べて、絶
縁体27やプリント基板29を無くすことができ、部品
点数を減らして小型化することができる。
【0027】さらに、本発明のエレクトレットコンデン
サマイクロホンは、箱型ケース9の凹部9a内に、底の
方から順番に各部品を収納、固定していき、最後に蓋体
2で覆うだけでよいため、製造工程が簡略化され、量産
を容易に行うことができる。しかも、箱型ケース9の内
側に段部9bを備え、この段部9bに固定電極6を接合
し、その他の部品もケースに確実に接合してあることに
より、強固に固定する事が可能となる。
【0028】また、本発明のエレクトレットコンデンサ
マイクロホンは、図1(c)に示すように箱型ケース9
の底面の両側に電極取り出し部10a,10bを備えて
いるため、表面実装による電極取り出し構造を容易にす
ることができる。
【0029】さらに、上記箱型ケース9は、平面視した
ときの形状が四角形となった角型である。そのため、同
様に角型をした半導体素子8を収納した場合に無駄がな
いことから、全体をより小型化することができる。しか
も、このマイクロホンを表面実装する際に、角型である
ことにより取り扱いが容易であり、位置決めも簡単であ
る。
【0030】また、箱型ケース9を成す絶縁体として、
特にアルミナ、ジルコニア、ムライト、炭化珪素、窒化
珪素、窒化アルミニウム等を主成分とするセラミックス
を用いれば、特に振動減衰特性を向上させることができ
る。即ち、これらのセラミックスは、金属材などに比べ
て振動を減衰させる効果が大きいため、特に携帯電話等
の用途に用いる場合でも、外部の振動を内側に伝えにく
くすることができ、マイクロホンの性能を向上させるこ
とができる。
【0031】さらに、本発明では箱型ケース9を用いた
ため、蓋体2は平板状でよく、加工を容易にすることが
できる。そのため、例えば図1(d)に示すようにメッ
シュ状の音孔2aを備えた構造とすることもできる。通
常は音孔2aからの異物の侵入を防止するために面布
(不図示)等で覆う必要ががあるが、このようにメッシ
ュ状の音孔2aとすることによって、面布を省略するこ
とができる。
【0032】また、他の実施形態として、図1(e)に
示すように、箱型ケース9に二つの段部9bを形成し、
それぞれに振動膜4と固定電極6を載置することもでき
る。このようにすれば、さらに膜リング3やギャップス
ペーサ5をなくすことができる。
【0033】さらに、本発明の他の実施形態を説明す
る。
【0034】図2に示すエレクトレットコンデンサマイ
クロホンは、固定電極6と蓋体2を兼用させた例であ
る。即ち、箱型ケース9の上端面を覆う蓋体2の下方に
ギャップスペーサ5を介して振動膜4を備え、この振動
膜4を段部9bに固定する。そして、蓋体2は導電路7
aを通じて電極取り出し部10aに接続し、振動膜4は
導電路7b、半導体素子8、導電路7cを通じて電極取
り出し部10bに接続している。
【0035】この実施形態では、蓋体2が固定電極6を
兼用しており、蓋体2(固定電極6)と振動膜4間の静
電容量の変化を検出するようになっている。そのため、
図1のものに比べてさらに部品点数を減らして小型化す
ることができる。
【0036】次に、半導体素子8の取り付け構造につい
て説明する。図1、2の例では半導体素子8の入力リー
ド8aと出力リード8bをそれぞれ導電路7b,7c上
に載置し、ハンダ、ロウ、導電性接着剤等で接合してあ
る。
【0037】この他の実施形態として、図3(a)に示
すように、箱形ケース9の内側に二つの段部9a,9
a’を備えておいて、この段部9a’に半導体素子8の
入力リード8a、出力リード8bを載置し、導電路と接
合することもできる。あるいは、図3(b)(c)に示
すように、リードのない半導体素子8をもちいてワイヤ
ボンディング11により導電路と接続することもでき
る。
【0038】さらに、本発明では絶縁体の箱型ケース9
を用いていいることから、他の電子部品を搭載すること
も容易にできる。例えば、図4(a)に示すように半導
体素子8の下方に段部を形成し、この中に他の電子部品
12を備えたり、あるいは刃子方ケース9の底面側に凹
部を形成してこの中に他の電子部品12を備えることも
できる。
【0039】また、本発明のエレクトレットコンデンサ
マイクロホンを製造する際に、多数個取りの手法を用い
て、大量生産を行うことができる。例えば、図5に示す
ように、セラミックスやガラス等の絶縁体からなる基板
13上に、多数の凹部9aを形成したものを作製してお
き、分割線14に沿って分割することによって各箱型ケ
ース9を得ることができる。あるいは、分割前に各凹部
9aに各部品を収納してエレクトレットコンデンサマイ
クロホンを作製した後で分割線14に沿って分割するこ
ともできる。
【0040】上記分割線14に沿った分割は、予め基板
13上に形成した分割溝によって切断したり、あるいは
ダイヤモンドカッタやレーザ光線等を用いて切断する。
このような方法を用いれば、大量のエレクトレットコン
デンサマイクロホンを一括生産することができる。
【0041】
【発明の効果】本発明によれば、固定電極と振動膜とを
一定間隔で配置し、両者間の静電容量の変化によって振
動膜に与えられた音声信号を検出するようにしたエレク
トレットコンデンサマイクロホンにおいて、絶縁材から
なる箱型ケース内に、上記固定電極と振動膜、駆動用半
導体素子を収納して構成したことによって、部品点数を
減らして小型化することができるとともに、量産が容易
であり、各部品を強固に固定することができる。
【0042】また、上記箱型ケースの壁面及び/又は内
部に導電路を備え、底面に電極取り出し部を備えたこと
によって、簡単な構造で底面の両側に電極取り出し部を
備えることができ、表面実装を容易に行うことができ
る。
【0043】さらに、上記箱型ケースを角型とすること
によって、収納する半導体素子の形状と一致させるとと
もに、取り扱いや位置決めを容易にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のエレクトレットコンデンサマイクロホ
ンを示しており、(a)は縦断面図、(b)は平面図、
(c)は底面図、(d)は蓋体の他の実施形態を示す斜
視図、(e)は他の実施形態を示す断面図である。
【図2】本発明の他の実施形態を示す縦断面図である。
【図3】(a)〜(c)は本発明のエレクトレットコン
デンサマイクロホンにおける、半導体素子の取り付け構
造を示す断面図である。
【図4】(a)(b)は本発明のエレクトレットコンデ
ンサマイクロホンにおける、他の電子部品を搭載した例
を示す断面図である。
【図5】本発明のエレクトレットコンデンサマイクロホ
ンを多数個取りの手法で製造する方法を説明するための
図である。
【図6】従来のエレクトレットコンデンサマイクロホン
を示す縦断面図である。
【符号の説明】
2:蓋体 2a:音孔 3:膜リング 4:振動膜 5:ギャップスペーサ 6:固定電極 7a,7b,7c:導電路 8:半導体素子 9:箱型ケース 9a:凹部 9b:段部 9c:上端面 10a,10b:電極取り出し部

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】固定電極と振動膜とを一定間隔で配置し、
    両者間の静電容量の変化によって振動膜に与えられた音
    声信号を検出するようにしたエレクトレットコンデンサ
    マイクロホンにおいて、 絶縁材からなる箱型ケース内に、上記固定電極、振動
    膜、半導体素子を収納してなるエレクトレットコンデン
    サマイクロホン。
  2. 【請求項2】上記箱型ケースの壁面及び/又は内部に導
    電路を備え、底面に電極取り出し部を備えたことを特徴
    とする請求項1記載のエレクトレットコンデンサマイク
    ロホン。
  3. 【請求項3】上記箱型ケースの内壁に段部を備え、該段
    部に振動膜又は固定電極を載置したことを特徴とする請
    求項1乃至2記載のエレクトレットコンデンサマイクロ
    ホン。
  4. 【請求項4】上記箱型ケースが角型であることを特徴と
    する請求項1乃至3記載のエレクトレットコンデンサマ
    イクロホン。
  5. 【請求項5】上記固定電極が箱型ケースを覆う蓋体を兼
    用することを特徴とする請求項1記載のエレクトレット
    コンデンサマイクロホン。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002345063A (ja) * 2001-05-17 2002-11-29 Citizen Electronics Co Ltd マイクロホンとその製造方法
KR100484999B1 (ko) * 2001-05-16 2005-04-25 가부시키가이샤 시티즌 덴시 일렉트릿 마이크로폰
KR100518134B1 (ko) * 2001-05-15 2005-10-04 가부시키가이샤 시티즌 덴시 콘덴서 마이크로폰 및 그 콘덴서 마이크로폰의 제조 방법
WO2005104616A1 (ja) * 2004-04-27 2005-11-03 Hosiden Corporation エレクトレットコンデンサマイクロホン
JP2006165998A (ja) * 2004-12-07 2006-06-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd 音響センサ
JP2009296630A (ja) * 2000-11-28 2009-12-17 Knowles Electronics Llc 小型シリコンコンデンサマイクロフォンおよびその製造方法

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009296630A (ja) * 2000-11-28 2009-12-17 Knowles Electronics Llc 小型シリコンコンデンサマイクロフォンおよびその製造方法
KR100518134B1 (ko) * 2001-05-15 2005-10-04 가부시키가이샤 시티즌 덴시 콘덴서 마이크로폰 및 그 콘덴서 마이크로폰의 제조 방법
KR100484999B1 (ko) * 2001-05-16 2005-04-25 가부시키가이샤 시티즌 덴시 일렉트릿 마이크로폰
US6898292B2 (en) 2001-05-16 2005-05-24 Citizen Electronics Co., Ltd. Electret microphone
JP2002345063A (ja) * 2001-05-17 2002-11-29 Citizen Electronics Co Ltd マイクロホンとその製造方法
WO2005104616A1 (ja) * 2004-04-27 2005-11-03 Hosiden Corporation エレクトレットコンデンサマイクロホン
US7352873B2 (en) 2004-04-27 2008-04-01 Hosiden Corporation Electret-condenser microphone
JP2006165998A (ja) * 2004-12-07 2006-06-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd 音響センサ
JP4531543B2 (ja) * 2004-12-07 2010-08-25 パナソニック株式会社 音響センサ

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