JP2000195667A

JP2000195667A - 表示パネル及びその製造方法

Info

Publication number: JP2000195667A
Application number: JP10374240A
Authority: JP
Inventors: Kyosuke Ohashi; 恭介大橋
Original assignee: Toyota Motor Corp
Current assignee: Toyota Motor Corp
Priority date: 1998-12-28
Filing date: 1998-12-28
Publication date: 2000-07-14

Abstract

(57)【要約】【課題】鮮明な画像を表示できる表示パネルを容易に
歩留まり良く製造する。【解決手段】一表面に線条溝１０など複数の線条溝が
並列され、線条溝１０は、視認方向に対して略直交する
底面１６と、底面１６の両側から立ち上がる側面１２、
１４とからなり、側面１２、１４が底面１６に対して傾
斜した傾斜側面を構成する基体を用意し、その底面１６
と傾斜側面１２、１４とに発光素子を形成する。また、
その発光素子を蒸着法によりその傾斜側面１２、１４
に、底面１６が影となる方向から、気相原料物質を蒸着
させて形成する。こうしてマスクを用いずに微細な発光
素子を形成でき、鮮明な画像を表示させることが可能と
なる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、画像の画素を発光
させる手段として発光素子を用いて、画像を表示する表
示パネルに関する。特に、ＥＬ（エレクトロルミネセン
ス）素子を用いた表示パネル及びその製造方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来より、ＥＬ素子やＬＥＤ、ＶＦＤ及
びＦＥＤなどの発光素子が画素の発光手段として用いら
れた表示パネルがある。例えば、ＥＬ素子は、基体の表
面上に形成された第１電極層と、その第１電極層上に形
成された発光層と、その発光層上に形成された第２電極
層とからなり、該第１電極層および該第２電極層の少な
くとも一方が透明である発光素子である。ＥＬ素子で
は、第１電極層と第２電極層とにより発光層に電流を流
して発光させることができ、その発光した光を透明な電
極層を透過させて放光することができる。

【０００３】多くのＥＬ表示パネルでは、基体として透
明基板が用いられるとともに、第１電極層としてＩＴＯ
などにより透明な電極層が形成されており、発光層で発
光した光を第１電極層及び透明基板を透過させることに
より光表示させている。また、ＥＬ素子には、有機材料
からなる発光層を有する、いわゆる有機ＥＬ素子が多く
採用されている。

【０００４】ところで、ＥＬ素子には、赤色、青色及び
緑色の光をそれぞれ発光することができるものがある。
これらのＥＬ素子を表示面に対して適切な部位にそれぞ
れ形成して発光させることにより、画像をフルカラーで
表示することが可能となり、文字や、数字、記号、模様
など、様々な画像を色彩豊かに表示させることができる
ようになる。

【０００５】このように画像をフルカラーで表示できる
ＥＬ表示パネルは、例えば特開平８−２２７２７６号公
報に開示されているように、次の製造方法によって製造
することができる。先ず、平坦な表面を有する透明基板
を用意して、その表面に第１電極層を一様に形成する。
次いで、図２１に示すように、所定の間隔で貫通孔が設
けられたマスクを用意し、マスクの遮蔽位置を変えなが
ら各発光層の気相原料物質を蒸着させることにより、各
画素の発光層を形成する。その発光層上に第２電極層を
表示面全体にわたって一様に形成する。

【０００６】このようにマスクを用いてＥＬ素子を形成
するＥＬ表示パネルでは、マスクの穴の形状及び大きさ
を選択することにより、任意の形状及び大きさの画素を
形成することができる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】画像を均質な輝度で表
示したい場合には、平坦な表面を有する基板を用い、そ
の表面上に同じ発光輝度の発光素子を複数形成すれば、
各画素の輝度を同じにして画像を表示することができ
る。しかし、画像によっては、各画素の輝度を同じにし
て画像を表示するよりも、各画素の輝度を変えて表示し
た方が鮮明に画像を表示できる場合がある。

【０００８】このような場合、従来では、発光輝度の異
なる複数種の発光素子を用いて、各画素の輝度を変えて
いた。しかし、発光輝度の異なる複数種の発光素子をそ
れぞれ形成することは、同じ発光輝度の発光素子を複数
形成する場合に比べて製造コストが大きくなる問題があ
る。また、各画素の発光素子として、例えばＥＬ素子を
用いるのであれば、各画素に流す電流の量を制御するこ
とのできる電流制御手段を用い、各画素に流す電流の量
を適切に調節することにより、各画素のＥＬ素子をそれ
ぞれ異なった発光輝度で発光させて、各画素の輝度を変
えることができる。

【０００９】しかし、ドット表示による表示パネルのよ
うに、画素の数量が多い場合には、各画素に流す電流の
制御が難しく、電流制御手段に高性能なものが要求され
る。電流制御手段が高性能になるにつれて、その重量
や、体積、形成コストなどが増大することは必至であ
る。従って、高性能な電流制御手段を用いることによ
り、表示パネルの重量や、体格、製造コストなどが大き
くなってしまう恐れがでてくる。

【００１０】他方、複数種の発光素子を用いて画素を発
光させるときに、発光素子の種類により輝度に違いがあ
ると、小さな輝度の画素が、大きな輝度の画素によって
視認されにくくなることがある。特に、赤色、青色及び
緑色の光をそれぞれ発色する３種類の画素によって画像
を表示する場合、それらの各画素の光の輝度にばらつき
があると、視認者はその画像を鮮明に視認することがで
きなくなる恐れがある。

【００１１】ここで、各画素の発光素子として、例えば
ＥＬ素子を用いるのであれば、各画素に流す電流の量を
適切に制御することのできる電流制御手段を用い、各画
素に流す電流の量を調節して、各画素のＥＬ素子を同じ
発光輝度で発光させて、各画素の光の輝度のばらつきを
防ぐことが考えられる。しかし、ドット表示による表示
パネルのように、画素の数量が多い場合には、先と同
様、各画素に流す電流の制御が難しく、電流制御手段に
高性能なものが要求される。

【００１２】さらに、フルカラーでドット表示する場
合、画素の数量が多い上に画素の種類も３種類となるた
め、各画素に流す電流の制御が極めて難しく、電流制御
手段に極めて高性能なものが要求される。その結果、表
示パネルの重量や、体格、製造コストなどが大きくなっ
てしまう恐れがでてくる。また、従来の表示パネルでの
画像の鮮明さは必ずしも完全とは言えず、さらに鮮明な
画像を表示できる表示パネルが求められている。

【００１３】画像を鮮明に表示するには、各画素の発光
素子を微細に形成することが考えられる。先に例示した
ＥＬ素子を用いた表示パネルの製造方法においても、微
小な線条貫通孔が形成されたマスクを用いるとともに、
そのマスクを正確に位置合わせすることにより、ＥＬ素
子を微細化して形成する試みがなされている。しかし、
マスクの貫通孔を微細に精度良く形成することは極めて
困難である。また、マスクの使用中にわずかであっても
温度変化が生じると、その温度変化により貫通孔の寸法
の精度に大きく影響を与えてしまうことがある。さら
に、マスクの貫通孔を微細に形成したとしても、そのマ
スクを精度良く位置合わせすることも極めて困難であ
る。それゆえ、マスクの貫通孔を微細化してＥＬ素子を
微細に形成する方法では、表示パネルを歩留まり良く製
造することが困難であった。

【００１４】本発明は上記実情に鑑みてなされたもので
あり、容易に画像を鮮明に表示することができる表示パ
ネルを提供することを課題とする。また、画像が鮮明に
表示される表示パネルを容易に歩留まり良く製造するこ
とができる表示パネルの製造方法を提供することも課題
とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明の請求項１に記載の表示パネルは、透明な基体の表面
上に形成された発光素子により画像を表示する表示パネ
ルにおいて、前記基体は、一表面に複数の線条溝が並列
された発光表面をもち、該線条溝は、表示パネルの視認
方向に対して略直交する底面と、該底面の両側から立ち
上がる一対の側面とからなり、少なくとも一方の該側面
が該底面に対して傾斜した断面略逆台形状の傾斜側面を
構成し、該底面と該傾斜側面とにそれぞれ発光素子が形
成されていることを特徴とする。

【００１６】また、上記課題を解決する本発明の請求項
２に記載の表示パネルは、請求項１に記載の表示パネル
において、前記発光素子は、発光輝度の異なる複数種の
発光素子よりなり、発光輝度の小さい発光素子が前記底
面に設けられ、発光輝度の大きい発光素子が前記傾斜側
面に設けられていることを特徴とする。さらに、上記課
題を解決する本発明の請求項３に記載の表示パネルは、
請求項１及び請求項２のいずれかに記載の表示パネルに
おいて、前記線条溝の一対の側面がともに前記傾斜側面
とされ、該傾斜側面の両方及び底面に、赤色光を発光す
る赤色ＥＬ素子と、青色光を発光する青色ＥＬ素子と、
緑色光を発光する緑色ＥＬ素子とがそれぞれ規則的に形
成されていることを特徴とする。

【００１７】一方、上記課題を解決する本発明の請求項
４に記載の表示パネルの製造方法は、基体の表面上に形
成された第１電極層と、該第１電極層上に形成された発
光層と、該発光層上に形成された第２電極層とから構成
され、該第１電極層および該第２電極層の少なくとも一
方が透明である複数のＥＬ素子により画像を表示する表
示パネルの製造方法であって、前記基体として、一表面
に複数の線条溝が隣接して並列された発光表面をもち、
該線条溝は、表示パネルの視認方向に対して略直交する
底面と、該底面の両側から立ち上がる一対の側面とから
なり、少なくとも一方の該側面が該底面に対して傾斜し
た断面略逆台形状の傾斜側面を構成し、かつ該傾斜側面
と該底面とが規則的に配列された基体を用い、前記第１
電極層、前記発光層及び前記第２電極層の少なくとも一
層を、蒸着法により、該傾斜側面に、該傾斜側面に対向
し、かつ該底面が該線条溝の隣接する前記線条溝の前記
傾斜側面の影となる方向から、気相原料物質を蒸着させ
ることにより形成して、前記ＥＬ素子を形成することを
特徴とする。

【００１８】また、上記課題を解決する本発明の請求項
５に記載の表示パネルの製造方法は、基体の表面上に形
成された第１電極層と、該第１電極層上に形成された発
光層と、該発光層上に形成された第２電極層とから構成
されるとともに、該第１電極層および該第２電極層の少
なくとも一方が透明であり、かつ赤色光を発光する赤色
ＥＬ素子と、青色光を発光する青色ＥＬ素子と、緑色光
を発光する緑色ＥＬ素子とにより画像を表示する表示パ
ネルの製造方法であって、前記基体として、一表面に複
数の線条溝が隣接して並列された発光表面をもち、該線
条溝は、表示パネルの視認方向に対して略直交する底面
と、該底面の両側から立ち上がる一対の側面とからな
り、両方の該側面が該底面に対して傾斜した断面略逆台
形状の傾斜側面を構成し、かつ該傾斜側面と該底面とが
規則的に配列された基体を用意し、該傾斜側面及び該底
面に第１電極層を形成する第１電極層形成工程と、前記
赤色ＥＬ素子の発光層を、蒸着法により、前記線条溝の
一方の側の前記傾斜側面に、該傾斜側面に対向し、かつ
該線条溝の他方の側の前記傾斜側面及び前記底面が、該
線条溝の隣接する前記線条溝の一方の側の前記傾斜側面
の影となる方向から気相原料物質を蒸着させて形成する
とともに、前記青色ＥＬ素子の発光層を、蒸着法によ
り、前記線条溝の他方の側の前記傾斜側面に、該傾斜側
面に対向し、かつ該線条溝の一方の側の前記傾斜側面及
び前記底面が、該線条溝の隣接する前記線条溝の他方の
側の前記傾斜側面の影となる方向から気相原料物質を蒸
着させて形成する第１発光層形成工程と、緑色ＥＬ素子
の発光層を前記底面に形成すると同時に、該緑色ＥＬ素
子の発光層と同じ成分をもち、かつ前記赤色ＥＬ素子及
び前記青色ＥＬ素子の電子輸送層となることが可能な層
を、該赤色ＥＬ素子及び該青色ＥＬ素子の各発光層上に
形成する第２発光層形成工程と、前記赤色ＥＬ素子、青
色ＥＬ素子及び緑色ＥＬ素子の第２電極層を形成する第
２電極層形成工程と、からなることを特徴とする。

【００１９】

【発明の実施の形態】（請求項１に記載の表示パネル）
発光素子で発光した光が透明な基体を透過する際、その
光の一部は基体に吸収される。このときの基体に吸収さ
れる光の量は大きな量ではないにせよ、その吸収によ
り、基体を透過したときの光の輝度（すなわち画素の輝
度）は、発光素子が発光したときの輝度に比べると弱い
ものとなる。このときの光吸収量は、基体の材質によっ
ても異なってくるが、基体における透過距離によって変
わってくる。すなわち、基体における光の透過距離が大
きくなるほど、その光の吸収量は多くなる。

【００２０】本発明の表示パネルでは、発光表面の線条
溝の傾斜側面及び底面に、それぞれ発光素子が形成され
ているため、図２に例示されるように、各発光素子の基
体を透過して視認される光において、その底面に形成さ
れた発光素子の光は、傾斜側面に形成された発光素子の
光よりも基体の透過距離が小さくなる。その結果、線条
溝の底面に形成された発光素子の光の基体による光吸収
量は、その傾斜側面に形成された発光素子の光よりも少
なくなる。

【００２１】そこで、基体の材質を適切に選択するとと
もに、線条溝の底面の深さを適切に選択して、線条溝の
底面に形成された発光素子の光の基体における透過距離
を十分に小さくすれば、その発光素子の光の基体による
光吸収量を、その傾斜側面に形成された発光素子の光よ
りも十分に少なくすることができる。このように、線条
溝の底面及び傾斜側面にそれぞれ同じ発光輝度の発光素
子を形成しても、その底面に設けられた発光素子の光の
基体による光吸収量を、その傾斜側面に形成された発光
素子の光よりも十分に少なくすれば、その底面に形成さ
れた発光素子と、その傾斜側面に設けられた発光素子と
でそれぞれ視認される光の輝度の差を十分に大きくする
ことができる。すなわち、各画素の輝度の違いを十分に
大きくすることができる。

【００２２】他方、線条溝の底面に形成されている発光
素子は、その略法線方向から視認されるのに対し、その
傾斜側面に形成された発光素子は、その略法線方向に対
して斜め方向から視認される。平面状の発光素子をその
法線方向に対して斜め方向から視認したときの光の輝度
は、その発光素子を法線方向から視認したときの光の輝
度に比べると小さく視認される。従って、傾斜側面に設
けられた発光素子の光の輝度は、その発光素子の略法線
方向で視認される発光輝度よりも小さく視認される。そ
れゆえ、傾斜側面に形成された発光素子の発光輝度が、
その底面に形成された発光素子のものと同じであって
も、その前者の発光素子の方が後者の発光素子よりも大
きな輝度で視認される。

【００２３】このとき、線条溝の傾斜側面の傾き（図２
においてθで表した角度）が大きくなるにつれて、その
傾斜側面に形成された発光素子の光の輝度は、その発光
素子の略法線方向で視認される光の輝度に対して、小さ
く視認される。そこで、線条溝の傾斜側面の傾きを十分
に大きくすれば、線条溝の底面に設けられた発光素子
と、線条溝の傾斜側面に形成された発光素子とのそれぞ
れ視認される光の輝度の差を十分に大きくすることがで
きる。すなわち、各画素の輝度の違いを十分に大きくす
ることができる。

【００２４】以上のように、本発明の表示パネルによれ
ば、線条溝の底面と傾斜側面とに同じ発光輝度の発光素
子を形成しても、視認される各発光素子の光の輝度は異
なったものとなってくる。それゆえ、各画素の輝度を同
じにして画像を表示するよりも、各画素の輝度を変えて
表示した方が鮮明に画像を表示できる場合には、本発明
の表示パネルにより、容易に鮮明な画像を表示できるよ
うになる。

【００２５】次に、本発明の表示パネルの実施形態を以
下に説明する。なお、本発明の表示パネルは、ドット表
示によるものであってもよいし、セグメント表示による
もののいずれであってもよいが、ドット表示によるもの
の方が、以上に説明した本発明の効果を得やすい。基体
の材質は特に限定されるものではなく、透明ガラスや透
明樹脂など、公知の透明基板を用いることができる。ま
た、視認側の面形状は、必ずしも平坦であることに限定
されるものではないが、平坦であれば画像を視認しやす
くなるため、従来どおり平坦であることが好ましい。な
お、図１（ｃ）では、線条溝の一方の側の傾斜側面の角
度と他方の側の傾斜側面の角度が同じであるものを例示
したが、それらの角度は必ずしも同じである必要はな
い。

【００２６】基体の形成方法は特に限定されるものでは
ないが、例えば次の２方法が挙げられる。一つは、スロ
ットダウンドロー法と呼ばれる方法で、線条溝と同じ形
状の突出部を複数有した開口端部を有するオリフィスか
ら、溶融した基体材料を押し出して固化させることによ
り、本発明で用いる基体を形成することができる。

【００２７】もう一つの方法は、先ず発光表面側が平坦
になっている基体を用意し、図３に示すように、線条溝
の側面の上方をマスクで遮蔽してフッ酸などでエッチン
グ加工することにより、本発明で用いることができる基
体を形成することができる。発光素子の種類は特に限定
されるものではないが、線条溝の底面及び傾斜側面に形
成されるものであるため、平面状の発光素子を用いるこ
とが好ましい。こうした発光素子として、先述したよう
に、ＥＬ素子やＬＥＤ、ＶＦＤ及びＦＥＤなどを挙げる
ことができる。ここに挙げた各発光素子は、形成方法で
特に限定されるものではなく、公知の形成方法により形
成することができる。中でもＥＬ素子が最も平面状に形
成しやすいため、本発明の表示パネルでは、ＥＬ素子を
画素の発光手段として用いることが好ましい。

【００２８】ＥＬ素子を画素の発光手段として用いる場
合、第１電極層は透明な導電材料から形成する必要があ
る。この場合、第１電極層を陽極にして第２電極層を陰
極にしてもよいし、第１電極層を陰極にして第２電極層
を陽極にしてもよい。ただし、先述したように、ＥＬ素
子を用いたほとんどの表示パネルでは、仕事関数の理由
により、第１電極層を陽極にし、第２電極層を陰極にし
ており、本表示パネルでもこのような電極層の組み合わ
せを採用することが好ましい。

【００２９】ＥＬ素子は、その形成方法で特に限定され
るものではなく、公知の形成方法により形成することが
できる。例えば、次のようにして形成することができ
る。第１電極層は、ＩＴＯ、ＡＺＯ（Ａｌ添加Ｚｎ
Ｏ）、ＳｎＯ₂などの透明な導電材料から形成すること
ができる。ここに挙げたいずれの材料からなる電極層
も、スパッタリング法などの蒸着法によって形成するこ
とができる。

【００３０】一方、第２電極層は透明な導電材料で形成
してもよいし、不透明な導電材料で形成してもよい。不
透明な導電材料で形成する場合には、その材料としてＭ
ｇ−ＡｇやＡｌなどの導電性金属を挙げることができ
る。これらいずれの導電性金属からなる電極層も、スパ
ッタリング法などの蒸着法によって形成することができ
る。

【００３１】発光層は無機材料から形成してもよいし、
有機材料から形成してもよい（有機ＥＬ素子）。発光層
を有機材料から形成する場合には、陽極となる電極層と
発光層との間に正孔注入層や正孔輸送層を介装するとと
もに、陰極となる電極層と発光層との間に電子注入層や
電子輸送層などを介装することが好ましい。いずれの層
も公知の材料から形成することができる。

【００３２】例えば、有機材料からなる発光層は、トリ
スキノリノアルミニム錯体や、ＴＰＤ、ルブレン等のド
ーパント含有物などから形成することができる。正孔注
入層は、銅フタロシアニン（ＣｕＰｃ）や、ＶＯ_X、Ｍ
Ｏ_X、ＲｕＯ_Xなどから形成することができる。正孔輸送
層は、トリフェニルジアミン誘導体などの第３級アミン
誘導体や、ＭＴＤＡＴＡ、ヒドラゾンなどから形成する
ことができる。電子輸送層は、ポリシランやＢｅｂ
ｑ₂、オキサジアゾール誘導体などから形成することが
できる。電子注入層はＬｉＦなどから形成することがで
きる。

【００３３】これら各層は、真空蒸着法やラングミュア
ブロジェット蒸着法、ディップコーティング法、スピン
コーティング法、有機分子線エピタキシ法など、公知の
成膜方法を用いて形成することができる。また、各層の
厚さについても特に限定されるものではなく、所望の発
光特性が得られるように適切に選択する。なお、各画素
の第１電極層、発光層及び第２電極層を形成する際、そ
れらの少なくとも１層を画素と同じ形状で形成すること
により、各画素を所望の形状でそれぞれ発光させること
ができる。

【００３４】本発明の表示パネルでは、複数種の発光素
子として、赤色光を発光する赤色ＥＬ素子と、青色光を
発光する青色ＥＬ素子と、緑色光を発光する緑色ＥＬ素
子とを用いれば、フルカラー表示が可能となる。その結
果、画像を色彩豊かに光表示させることができるように
なる。この場合、赤色ＥＬ素子の発光層の材料には、Ｄ
ＣＭ１がドープされたＡｌｑ ₃や、ペリレン誘導体（ｔ
Ｂｕ−ＰＴＣ）などが挙げられる。また、青色ＥＬ素子
の発光層の材料には、ＤＳＡがドープされたジスチリル
アリーレン誘導体（ＤＰＶＢｉ）やピラゾキノリン誘導
体（ＰＺ１０）などが挙げられる。緑色ＥＬ素子の発光
層の材料には、トリスキノリノアルミニム錯体（Ａｌｑ
₃）や、メチルキナクリドンがドープされたＡｌｑ₃、ベ
ンゾキノリノールＢｅ錯体（Ｂｅｂｑ₂）などが挙げら
れる。（請求項２に記載の表示パネル）本発明の表示パネルで
は、複数種の発光素子のうち発光輝度の小さい発光素子
が線条溝の底面に形成され、発光輝度の大きい発光素子
が傾斜側面に設けられている。なお、ここでいう発光輝
度とは、平面状の発光素子をその略法線方向において視
認される発光輝度のことである。それゆえ、発光表面の
反対側で視認される各発光素子の光において、発光輝度
の小さい発光素子で発光した光は、発光輝度の大きい発
光素子で発光した光よりも基体の透過距離が小さくな
る。

【００３５】その結果、発光輝度の小さい発光素子で発
光した光の透明基板による光吸収量は、発光輝度の大き
い発光素子で発光した光よりも少なくなる。そこで、基
体の材質を適切に選択するとともに、線条溝の深さを適
切に選択して、発光輝度の小さい発光素子の光の基体に
おける透過距離を十分に小さくすれば、その発光素子の
光の基体による光吸収量を、発光輝度の大きい発光素子
の光よりも十分に少なくすることができる。

【００３６】このように、発光輝度の小さい発光素子の
光の基体による光吸収量を、発光輝度の大きい発光素子
の光よりも十分に少なくすれば、それらの発光素子の視
認される光の輝度の差を十分に少なくすることができ
る。すなわち、各画素の輝度のばらつきを十分に小さく
することができる。他方、線条溝の底面に形成されてい
る発光輝度の小さい発光素子は、その略法線方向から視
認されるのに対し、その傾斜側面に形成された発光輝度
の大きい発光素子は、その略法線方向に対して斜め方向
から視認される。それゆえ、発光輝度の小さい発光素子
と、発光輝度の大きい発光素子との視認される光の輝度
の違いは小さいものとなる。

【００３７】このとき、線条溝の傾斜側面の傾きを十分
に大きくすれば、線条溝の底面に形成された発光素子
と、線条溝の傾斜側面に設けられた発光素子との視認さ
れる光の輝度の違いを十分に少なくすることができる。
すなわち、各画素の輝度の違いを十分に小さくすること
ができる。以上のように、本発明の表示パネルによれ
ば、発光輝度の異なる複数種の発光素子を用いても、容
易に各画素の輝度のばらつきを十分に防ぐことができる
ため、容易に鮮明な画像を表示することができる。

【００３８】本発明の表示パネルでは、発光輝度の異な
る複数種の発光素子を用い、発光輝度の小さい発光素子
を、線条溝の底面に形成し、発光輝度の大きい発光素子
をその傾斜側面に形成する他は、請求項１に記載の表示
パネルと同様の形態とすることができる。本発明の表示
パネルでも、複数種の発光素子として、赤色光を発光す
る赤色ＥＬ素子と、青色光を発光する青色ＥＬ素子と、
緑色光を発光する緑色ＥＬ素子とを用いれば、フルカラ
ー表示が可能となる。この場合、これら３種類のＥＬ素
子のうち、発光輝度の小さいものを線条溝の底面に設け
るとともに、発光輝度の大きい残り２種類のＥＬ素子を
その傾斜側面にそれぞれ設ければよい。

【００３９】このとき、緑色ＥＬ素子の発光層の材料と
してＡｌｑ₃を用いれば、安価に緑色ＥＬ素子を形成で
きる。その上、Ａｌｑ₃よりなる層は、上述に挙げた発
光層を有する赤色ＥＬ素子及び青色ＥＬ素子の電子輸送
層としても機能できる。それゆえ、Ａｌｑ₃より、緑色
ＥＬ素子の発光層と、赤色ＥＬ素子及び青色ＥＬ素子の
電子輸送層とを同じ形成方法により同時に形成すれば、
表示パネルを安価に製造できるようになるとともに、そ
の製造時間を短縮することができる。

【００４０】しかしながら、その緑色ＥＬ素子では、大
きな発光輝度を得にくいという欠点がある。本発明の表
示パネルにより、このようなＥＬ素子を線条溝の底面に
形成すれば、上述のように画像を確実に鮮明に視認させ
ることができるようになる上、安価にかつ生産性良く表
示パネルを製造することができるようになる。（請求項３に記載の表示パネル）本発明の表示パネルで
は、請求項１及び請求項２のいずれかに記載の表示パネ
ルにおいて、赤色ＥＬ素子、青色ＥＬ素子及び緑色ＥＬ
素子を用いるため、フルカラー表示が可能になることは
言うまでもないが、それらの３種類の発光素子が各線条
溝にそれぞれ形成され、かつそれらが規則的に配列され
て形成されているため、３色の各ＥＬ素子をそれぞれ緻
密にかつ均等な分布で配設させることができる。それゆ
え、各ＥＬ素子の発光を適切に制御してそれぞれ発光さ
せることにより、容易に多彩な色の画像を鮮明に表示さ
せることができる。

【００４１】従って、本発明の表示パネルによれば、鮮
明なカラー画像を容易に表示することができるようにな
る。本発明の表示パネルでは、基体として、線条溝の一
対の側面がともに傾斜側面とされているものを用い、傾
斜側面の両方及び底面に、赤色ＥＬ素子、青色ＥＬ素子
及び緑色ＥＬ素子をそれぞれ規則的に形成する他は、請
求項１及び請求項２のいずれかに記載の表示パネルと同
様の形態とすることができる。（請求項４に記載の表示パネルの製造方法）本発明で用
いる基体においては、発光表面の線条溝の傾斜側面に対
向する方向に、その底面が、その線条溝の隣接する線条
溝の傾斜側面の影となる方向がある。

【００４２】本発明では、図１に列挙した基体を用いる
ことができるが、例えば図１（ａ）に示した基体を用い
る場合、図４に示すように、例えば線条溝１の側面１ａ
を矢印の方向から見れば、線条溝１の底面１ｂが、線条
溝１の隣接する線条溝２の側面２ａの影となる。ところ
で、蒸着法によれば、気相原料物質は直進してその進行
方向にある面に蒸着する。本発明では、このことを利用
して、線条溝の線条溝の傾斜側面に、該傾斜側面に対向
し、かつ該線条溝の底面が、該線条溝の隣接する線条溝
の傾斜側面の影となる方向から気相原料物質を蒸着させ
る。ここで、蒸着法としては、真空蒸着法やスパッタリ
ング法などの方法が挙げられる。

【００４３】例えば、図４に示したように、線条溝１の
側面１ａに第１電極層５ａを形成する場合には、側面１
ａに対向し、かつ線条溝１の底面１ｂが、線条溝１の隣
接する線条溝２の傾斜側面２ａの影となる矢印Ｃの方向
から、第１電極層の気相原料物質を蒸着させる。このと
き、線条溝１の底面１ｂにはその気相蒸発物質が蒸着す
ることなく、線条溝１の傾斜側面１ｂに第１電極層５ａ
が形成される。この第１電極層５ａの形成と同時に、矢
印Ｃの方向から、第１電極層５ａと同じ気相原料物質を
線条溝２、３の傾斜側面２ａ、３ａに蒸着させれば、第
１電極層６ａ、７ａがそれぞれ形成される。

【００４４】次いで、発光表面の全体に発光層を形成
し、最後に、図５及び図６に示すように、第２電極層の
気相原料物質を、ストライプ状の貫通孔を有するマスク
を各線条溝１、２、３に直交するように設置し、矢印Ｄ
の方向から蒸着させれば、ストライプ状の第２電極層が
第１電極層に視認方向の投影面で見て直交するように形
成される。こうして、ドット状のＥＬ素子が発光表面に
マトリックス状に配列された表示パネルを製造すること
ができる。

【００４５】ここで、線条溝の底面の深さを十分に小さ
くするとともに、線条溝の傾斜側面の傾きを十分に大き
くすれば、視認方向に対する第１電極層の投影面積が小
さくなる。また、線条溝の底面の幅を小さくすれば、各
第１電極層の間隔が小さくなる。その結果、各ＥＬ素子
が微細に配列された表示パネルが製造される。もう一例
として、図７に示すように、発光表面の線条溝の一対の
側面がともに前記傾斜側面とされている基体を用い、各
線条溝の両方の傾斜側面に第１電極層を形成するとす
る。線条溝１０の一方の傾斜側面１２を矢印Ａの方向か
ら見れば、線条溝１０の他方の傾斜側面１４及び底面１
６が、線条溝１０の隣接する線条溝２０の側面２２の影
となる。

【００４６】この矢印Ａの方向から、第１電極層５０の
気相原料物質を蒸着させれば、線条溝１０の他方の側面
１４及び底面１６にはその気相蒸発物質が蒸着すること
なく、線条溝１０の傾斜側面１２に第１電極層５０ａが
形成される。このとき、同時に矢印Ａの方向から第１電
極層５０ａと同じ気相原料物質を線条溝２０、３０の傾
斜側面２２、３２に蒸着させれば、図８に示すように第
１電極層６０ａ、７０ａが第１電極層５０ａと同時にそ
れぞれ形成される。

【００４７】続いて、傾斜側面１４に対向し、かつ線条
溝１０の傾斜側面１２及び底面１６が、線条溝１０の隣
接する線条溝３０の傾斜側面３４の影となる矢印Ｂの方
向から、第１電極層５２ａの気相原料物質を蒸着させれ
ば、線条溝１０の傾斜側面１４に第１電極層５２ａが形
成される。このとき、同時に矢印Ｂの方向から第１電極
層５２ａと同じ気相原料物質を線条溝２０、３０の傾斜
側面２４、３４に蒸着させれば、図９に示すように第１
電極層６２ａ、７２ａが第１電極層５２ａと同時にそれ
ぞれ形成される。

【００４８】このとき、第１電極層５０ａと第１電極層
５２ａとは、線条溝１０の底面１４で隔離されてそれぞ
れ形成される。第１電極層５０ａ及び第１電極層５２ａ
が、それぞれ第１電極層６０ａ及び第１電極層７２ａと
結合せずに形成されれば、第１電極層５０ａ、５２ａ、
６０ａ、７２ａはそれぞれ隔離されて形成されることに
なる。すなわち、各線条溝の傾斜側面に、線条の第１電
極層がそれぞれ隔離されて形成される。

【００４９】次いで、発光表面の全面に発光層を形成
し、最後に、第２電極層の気相原料物質を、ストライプ
状の貫通孔を有するマスクを各線条溝１０、２０、３０
に直交するように設置して発光表面の上方より蒸着させ
れば、ストライプ状の第２電極層が第１電極層に視認方
向の投影面で見て直交するように形成される。こうし
て、ドット状のＥＬ素子が発光表面にマトリックス状に
配列された表示パネルを製造することができる。

【００５０】ところで、第１電極層５０ａと第１電極層
７２ａとで、また第１電極層５２ａと第１電極層６０ａ
とで結合することがある。これらの結合した線条の結合
型第１電極層は、その間の線条溝の底面でそれぞれ隔離
されているため、結合型第１電極層群がストライプ状に
発光表面に形成されることになる。ここで結合型第１電
極層の結合部を適切な手段で切断すれば、前述と同様に
各傾斜側面の第１電極層がそれぞれ隔離され、さらに微
細なものとなる。

【００５１】以上の例では、第１電極層をストライプ状
に形成する例について説明したが、発光層及び第２電極
層についても同様にしてストライプ状のものを微細に形
成することができる。従って、本発明の表示パネルの製
造方法では、線条溝の深さ、その側面の傾き及びその底
面の幅が小さな基体を用いることにより、第１電極層、
発光層及び第２電極層の少なくとも一層を、マスクを用
いることなく容易に微細に形成することができる。線条
溝の深さ、その側面の傾き及びその底面の幅が小さな基
体を形成することは、マスクの貫通孔の精度及びそのマ
スクの位置合わせの精度を向上させるよりもはるかに容
易である。それゆえ、本発明の表示パネルの製造方法に
よれば、鮮明な画像が表示される表示パネルを容易に歩
留まり良く製造することができるようになる。

【００５２】また、第１電極層、発光層及び第２電極層
の少なくとも一層をマスクを用いて形成する際に発生す
る不良品は、第１電極層、発光層及び第２電極層の少な
くとも一層が基体に密着しているため、不良品の再利用
が難しいという問題もある。それに対し、本発明の表示
パネルの製造方法では、基体を製造する際に不良品が発
生したとしても、その不良品を容易に再利用することが
できるという利点もある。

【００５３】本発明の表示パネルの製造方法では、ドッ
ト表示による表示パネル及びセグメント表示による表示
パネルのいずれも製造することができるが、ドット表示
によるものの方が、以上に説明した本発明の効果を得や
すい。本発明の表示パネルの製造方法では、基体及び第
１電極層を透明な導電材料から形成して、発光層で発光
した光を基体及び第１電極層を透過させることにより画
像を表示させる表示パネル、並びに、第２電極層を透明
な導電材料から形成して、発光層で発光した光を第２電
極層を透過させることにより画像を表示させる表示パネ
ルのいずれも製造することができる。ただし、前者の表
示パネルの方が多く用いられているため、以下では、前
者の表示パネルの製造方法について説明することにす
る。

【００５４】基体としては、図１に示した基体を用いる
ことができることは先に述べた。なお、図１では、線条
溝の一方の側の傾斜側面の傾きと他方の側の傾斜側面の
傾きとが同じであるものを例示したが、それらの傾きは
必ずしも同じである必要はない。また、図１では、発光
表面の反対側の面形状が平坦である（底面に対して平行
になっている）基体を示したが、その面形状は必ずしも
平坦に限定されるものではない。

【００５５】また、ＥＬ素子としては、請求項１に記載
の表示パネルで説明したＥＬ素子と同様のものを形成す
ることができる。また、複数のＥＬ素子は、同じ種類の
ＥＬ素子が複数形成されたものであってもよいし、異な
る種類のＥＬ素子であってもよい。本発明の表示パネル
の製造方法では、第１電極層、発光層及び第２電極層の
少なくとも一層を、蒸着法により、前記線条溝の傾斜側
面に、該傾斜側面に対向し、かつ該線条溝の底面が、該
線条溝の隣接する前記線条溝の傾斜側面の影となる方向
から、気相原料物質を蒸着させて形成するが、この形成
方法の他の形成方法で形成する層については、公知の形
成方法で形成することができる。

【００５６】上記の例では、線条溝の底面にＥＬ素子を
形成しないようにして、傾斜側面に形成されるＥＬ素子
を隔離したが、本発明はこれに限定されるものではな
く、線条溝の底面にも、ＥＬ素子を形成してもよい。こ
のように底面に形成されるＥＬ素子は、傾斜側面に形成
されるＥＬ素子と重ならないように形成することが好ま
しい。そのＥＬ素子の形成方法は特に限定されるもので
はないが、例えば蒸着法により、適切なマスクを用いて
形成することができる。

【００５７】従って、発光輝度の大きいＥＬ素子を以上
で述べてきた形成方法で線条溝の傾斜側面に形成すると
ともに、ＥＬ素子のうち発光輝度の小さいＥＬ素子を線
条溝の底面に形成すれば、請求項２に記載の表示パネル
においてＥＬ素子を画素の発光手段として用いた表示パ
ネルを製造することができる。また、線条溝の側面及び
底面に、赤色光を発光する赤色ＥＬ素子と、青色光を発
光する青色ＥＬ素子と、緑色光を発光する緑色ＥＬ素子
とを適切に配置して形成すれば、フルカラー表示が可能
となる。その結果、画像を色彩豊かに光表示させること
ができるようになる。（請求項５に記載の表示パネルの製造方法）本発明の表
示パネルの製造方法では、赤色ＥＬ素子、青色ＥＬ素子
及び緑色ＥＬ素子を、マスクを用いることなく、各線条
溝にそれぞれ形成できるとともに、それらを規則的に配
列させて容易に形成することができる。特に、線条溝の
深さ、その傾斜側面の傾き及びその底面の幅が小さな基
体を用いることにより、各ＥＬ素子の発光層を容易に微
細に形成することができる。

【００５８】従って、本発明によれば、３色の各ＥＬ素
子がそれぞれ緻密にかつ均等な分布で配設された表示パ
ネルを容易に製造することができる。こうして製造され
た表示パネルでは、各ＥＬ素子の発光を適切に制御して
それぞれ発光させることにより、容易に多彩な色の画像
を鮮明に表示させることができる。他方、第１発光層形
成工程では、赤色ＥＬ素子及び青色ＥＬ素子の各発光層
を線条溝の底面上に形成しないようにその線条溝の各側
面にそれぞれ形成することができる。一方、Ａｌｑ₃か
らなる層のように、緑色ＥＬ素子の発光層と、赤色ＥＬ
素子及び青色ＥＬ素子の電子輸送層との両方の機能を発
揮することができる層があることは、先の請求項１に記
載の表示パネルの説明において述べた。第２発光層形成
工程においては、これらのことを利用して、緑色ＥＬ素
子と、赤色ＥＬ素子及び青色ＥＬ素子の電子輸送層とを
同じ形成方法でかつ同時に形成することができる。それ
ゆえ、表示パネルを安価に製造できるようになるととも
に、製造時間を短縮することができるようになる。

【００５９】従って、本発明の表示パネルの製造方法に
よれば、フルカラー表示が可能であり、かつ鮮明な画像
が表示される表示パネルを容易に歩留まり良く製造する
ことができるようになる。各工程の進め方については、
下記の実施例で具体的に説明することにする。（実施例１）本実施例では、画素の発光手段として、赤
色ＥＬ素子、青色ＥＬ素子及び緑色ＥＬ素子が用いら
れ、かつドット状の各ＥＬ素子が基体の発光表面にマト
リックス状に配列された表示パネルを以下のようにして
製造した。

【００６０】先ず、透明ガラスよりなり、かつ発光表面
及びその反対側の表面が平坦になっている板状の基体を
用意した。続いて、図３に示したように、発光表面にお
いて、線条溝の側面の上方をマスクで遮蔽してフッ酸で
エッチング加工することにより、図１０に示す基体（図
１（ｃ）で示したものと同様である）を形成した。［第１電極層形成工程］図１１に示すように、線条溝の
両傾斜側面及び底面に、それぞれ互いに隔離された線条
の第１電極層を次のようにして形成した。

【００６１】先ず、スパッタリング法により、透明基板
の発光表面の全面にＩＴＯ膜を一様に形成した。ＩＴＯ
膜の表面上にレジスト材（ノボラック樹脂）を一様に塗
布してレジスト層を形成した。第１電極層となるＩＴＯ
膜の部分をマスクを遮蔽して、レジスト層に露光した
後、現像処理を行って露光したレジスト層の部分を除い
た。

【００６２】続いて、ＩＴＯを溶解することのできるエ
ッチング処理液を用い、除かれたレジスト層の部分を通
じてＩＴＯ膜の表出した部分にエッチング処理を施し
た。このエッチング処理の後、適切な処理液でレジスト
層を溶解して除いた。こうして、図１１に示したよう
に、各線条溝の底面及び傾斜側面に第１電極層が形成さ
れた。なお、ＩＴＯ膜のエッチング処理液としては、Ｈ
Ｃｌ及びＨ₂Ｏが１：１の割合で混合された混合液にＨ
ＮＯ₃が少量添加された処理液や、ＦｅＣｌ₃及びＨＣｌ
が２：１の割合で混合された処理液などを用いることが
できる。

【００６３】次いで、第１電極層及び基体の表出面上に
レジスト材を一様に塗布し、適切なマスクを用いて露光
及び現像処理を行い、図１２及び図１３に示すように絶
縁層を形成した。［第１発光層形成工程］発光表面の全面に、ＶＯ_Xより
なる正孔注入層と、トリフェニルジアミン誘導体よりな
る正孔輸送層を順に形成した。

【００６４】続いて、図１４に示す真空蒸着装置を用い
て、正孔輸送層上に各ＥＬ素子の発光層をそれぞれ形成
した。この真空蒸着装置は、任意の真空度が得られ、か
つ高真空を保持することのできる真空チャンバーを備
え、そのチャンバーの底面に、赤色ＥＬ素子の発光層の
気相原料物質としてＤＣＭ１がドープされたＡｌｑ₃を
蒸発することができる蒸発源Ｒと、青色ＥＬ素子の発光
層の気相原料物質としてＤＳＡがドープされたＤＰＶＢ
ｉを蒸発することができる蒸発源Ｂと、緑色ＥＬ素子の
発光層の気相原料物質としてＡｌｑ₃を蒸発することが
できる蒸発源Ｇとを備える装置である。これら蒸発源
Ｒ、蒸発源Ｂ及び蒸発源Ｇは、それぞれ配設位置を任意
に変えることができる。

【００６５】図１４に示したように、この真空蒸着装置
のチャンバー内の天井の中央の位置に基体を設置した。
また、図１４に示したように、基体の線条溝の一方の側
の傾斜側面に対向し、かつ線条溝の他方の側の傾斜側面
及び底面が、各線条溝のそれぞれ隣接する線条溝の一方
の側の傾斜側面の影となる方向（矢印Ａ１）に位置する
ように、蒸発源Ｒを配設した。また、基体の線条溝の他
方の側の傾斜側面に対向し、かつ線条溝の一方の側の傾
斜側面及び底面が、各線条溝のそれぞれ隣接する線条溝
の一方の側の傾斜側面の影となる方向（矢印Ｂ１）に位
置するように、蒸発源Ｂを配設した。

【００６６】先ず、図１５に示すように、蒸発源Ｒの気
相原料物質を蒸着させて赤色ＥＬ素子の発光層を形成し
た。次いで、図１６に示すように、蒸発源Ｂの気相原料
物質を蒸着させて青色ＥＬ素子の発光層を形成した。な
お、本工程では、赤色ＥＬ素子の発色層を青色ＥＬ素子
の発光層よりも先に形成したが、この順序に限定される
ものではなく、青色ＥＬ素子の発光層を先に形成しても
よい。［緑発色層形成工程］蒸着源Ｇの気相原料物質を表示面
の全体に蒸着させて、図１７に示すように、各線条溝の
底面に緑色ＥＬ素子の発光層と、赤色ＥＬ素子及び青色
ＥＬ素子の電子輸送層とを同時に形成した。［第２電極層形成工程］ストライプ状の貫通孔を有する
マスクを各線条溝に直交するように所定の位置に設置
し、Ｍｇ−Ａｇを共蒸着させて、図１８及び図１９に示
すように、視認方向の投影面で見て各第１電極層に直交
するストライプ状の第２電極層を形成した。

【００６７】以上の工程を経て、図２０に示すように、
ドット状の各ＥＬ素子が発光表面にマトリックス状に配
列された表示パネルを完成した。なお、本実施例の表示
パネルの製造方法では、各ＥＬ素子の発光層が互いに結
合して形成される。しかし、それらの発光層の第１電極
層がそれぞれ隔離して形成されているため、各発光層に
別々に電流を流すことができる。従って、それらの発光
層を別々に発光させることができる。

【００６８】本実施例の表示パネルの製造方法では、透
明基板の線条溝の深さ、その傾斜側面の傾き及びその底
面の幅が小さな基体を用いれば、赤色ＥＬ素子、青色Ｅ
Ｌ素子及び緑色ＥＬ素子をそれぞれ微細に形成すること
ができる。こうして、鮮明な画像が表示される表示パネ
ルを容易に歩留まり良く製造することができた。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の表示パネルで用いることのできる各
基体をそれぞれ概略的に示す断面図である。

【図２】本発明の表示パネルの一例を概略的に示す断
面図である。

【図３】本発明の表示パネルで用いることのできる基
体を形成する方法を模式的に示した断面図である。

【図４】本発明の表示パネルの製造方法により、表示
パネルを製造している一過程を模式的に示す断面図であ
る。

【図５】本発明の表示パネルの製造方法により、表示
パネルを製造している一過程を模式的に示す斜視図であ
る。

【図６】本発明の表示パネルの製造方法により、表示
パネルを製造している一過程を模式的に示す断面図であ
る。

【図７】本発明の表示パネルの製造方法で用いる基体
を概略的に示す断面図である。

【図８】本発明の表示パネルの製造方法により、表示
パネルを製造している一過程を模式的に示す断面図であ
る。

【図９】本発明の表示パネルの製造方法により、表示
パネルを製造している一過程を模式的に示す断面図であ
る。

【図１０】実施例１で用いる基体を概略的に示す斜視
図である。

【図１１】実施例１において、表示パネルを製造して
いる一過程を模式的に示す斜視図である。

【図１２】実施例１において、表示パネルを製造して
いる一過程を模式的に示す斜視図である。

【図１３】実施例１において、表示パネルを製造して
いる一過程を模式的に示す断面図である。

【図１４】実施例１において表示パネルを製造するの
に使用した装置を概略的に示す断面図である。

【図１５】実施例１において、表示パネルを製造して
いる一過程を模式的に示す断面図である。

【図１６】実施例１において、表示パネルを製造して
いる一過程を模式的に示す断面図である。

【図１７】実施例１において、表示パネルを製造して
いる一過程を模式的に示す断面図である。

【図１８】実施例１において製造された表示パネルを
概略的に示す断面図である。

【図１９】図１８のＡ−Ａ’における断面図である。

【図２０】実施例１において製造された表示パネルを
模式的に示す断面図である。

【図２１】従来の表示パネルの製造方法により、表示
パネルを製造している様子を示す平面図である。

【符号の説明】

１０、２０、３０：線条溝１２、２２、３２：線条溝の一方の側の傾斜側面１４：線条溝の他方の側の傾斜側面１６：線条溝の底
面５０ａ、６０ａ、７０ａ：第１電極層

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Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】透明な基体の表面上に形成された発光素
子により画像を表示する表示パネルにおいて、前記基体は、一表面に複数の線条溝が並列された発光表
面をもち、該線条溝は、表示パネルの視認方向に対して
略直交する底面と、該底面の両側から立ち上がる一対の
側面とからなり、少なくとも一方の該側面が該底面に対
して傾斜した断面略逆台形状の傾斜側面を構成し、該底
面と該傾斜側面とにそれぞれ発光素子が形成されている
ことを特徴とする表示パネル。
【請求項２】前記発光素子は、発光輝度の異なる複数
種の発光素子よりなり、発光輝度の小さい発光素子が前
記底面に設けられ、発光輝度の大きい発光素子が前記傾
斜側面に設けられている請求項１に記載の表示パネル。
【請求項３】前記線条溝の一対の側面がともに前記傾
斜側面とされ、該傾斜側面の両方及び底面に、赤色光を
発光する赤色ＥＬ素子と、青色光を発光する青色ＥＬ素
子と、緑色光を発光する緑色ＥＬ素子とがそれぞれ規則
的に形成されている請求項１及び請求項２のいずれかに
記載の表示パネル。
【請求項４】基体の表面上に形成された第１電極層
と、該第１電極層上に形成された発光層と、該発光層上
に形成された第２電極層とから構成され、該第１電極層
および該第２電極層の少なくとも一方が透明である複数
のＥＬ素子により画像を表示する表示パネルの製造方法
であって、前記基体として、一表面に複数の線条溝が隣接して並列
された発光表面をもち、該線条溝は、表示パネルの視認
方向に対して略直交する底面と、該底面の両側から立ち
上がる一対の側面とからなり、少なくとも一方の該側面
が該底面に対して傾斜した断面略逆台形状の傾斜側面を
構成し、かつ該傾斜側面と該底面とが規則的に配列され
た基体を用い、前記第１電極層、前記発光層及び前記第
２電極層の少なくとも一層を、蒸着法により、該傾斜側
面に、該傾斜側面に対向し、かつ該底面が該線条溝の隣
接する前記線条溝の前記傾斜側面の影となる方向から、
気相原料物質を蒸着させることにより形成して、前記Ｅ
Ｌ素子を形成することを特徴とする表示パネルの製造方
法。
【請求項５】基体の表面上に形成された第１電極層
と、該第１電極層上に形成された発光層と、該発光層上
に形成された第２電極層とから構成されるとともに、該
第１電極層および該第２電極層の少なくとも一方が透明
であり、かつ赤色光を発光する赤色ＥＬ素子と、青色光
を発光する青色ＥＬ素子と、緑色光を発光する緑色ＥＬ
素子とにより画像を表示する表示パネルの製造方法であ
って、前記基体として、一表面に複数の線条溝が隣接して並列
された発光表面をもち、該線条溝は、表示パネルの視認
方向に対して略直交する底面と、該底面の両側から立ち
上がる一対の側面とからなり、両方の該側面が該底面に
対して傾斜した断面略逆台形状の傾斜側面を構成し、か
つ該傾斜側面と該底面とが規則的に配列された基体を用
意し、該傾斜側面及び該底面に第１電極層を形成する第
１電極層形成工程と、前記赤色ＥＬ素子の発光層を、蒸着法により、前記線条
溝の一方の側の前記傾斜側面に、該傾斜側面に対向し、
かつ該線条溝の他方の側の前記傾斜側面及び前記底面
が、該線条溝の隣接する前記線条溝の一方の側の前記傾
斜側面の影となる方向から気相原料物質を蒸着させて形
成するとともに、前記青色ＥＬ素子の発光層を、蒸着法
により、前記線条溝の他方の側の前記傾斜側面に、該傾
斜側面に対向し、かつ該線条溝の一方の側の前記傾斜側
面及び前記底面が、該線条溝の隣接する前記線条溝の他
方の側の前記傾斜側面の影となる方向から気相原料物質
を蒸着させて形成する第１発光層形成工程と、緑色ＥＬ素子の発光層を前記底面に形成すると同時に、
該緑色ＥＬ素子の発光層と同じ成分をもち、かつ前記赤
色ＥＬ素子及び前記青色ＥＬ素子の電子輸送層となるこ
とが可能な層を、該赤色ＥＬ素子及び該青色ＥＬ素子の
各発光層上に形成する第２発光層形成工程と、前記赤色ＥＬ素子、青色ＥＬ素子及び緑色ＥＬ素子の第
２電極層を形成する第２電極層形成工程と、からなることを特徴とする表示パネルの製造方法。