JP2000194420A - サ―ボ制御システム - Google Patents
サ―ボ制御システムInfo
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- Feedback Control In General (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 高制御性の直接駆動型電油圧サーボバルブ、
並びに、制御性の優れた高信頼性、低コストのサーボ制
御システムを提供する。 【解決手段】 直接駆動型の電油圧サーボバルブ15と、
このバルブ15への入力指令信号とバルブ変位に対応する
フィードバック信号Ｖfcとの差を求める減算器44と、こ
の減算器44とバルブ15の間に設けられた積分器12及び一
次遅れ補償器13と、を備えている。
並びに、制御性の優れた高信頼性、低コストのサーボ制
御システムを提供する。 【解決手段】 直接駆動型の電油圧サーボバルブ15と、
このバルブ15への入力指令信号とバルブ変位に対応する
フィードバック信号Ｖfcとの差を求める減算器44と、こ
の減算器44とバルブ15の間に設けられた積分器12及び一
次遅れ補償器13と、を備えている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、直接駆動型電油圧
サーボバルブを用いるサーボ制御システム、特に定常偏
差の低減を図ったサーボ制御システムに関する。
サーボバルブを用いるサーボ制御システム、特に定常偏
差の低減を図ったサーボ制御システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、直接駆動型電油圧サーボバルブを
用いるサーボ制御システムは、例えば航空機のフライト
コントロールシステムに採用されている。このシステム
においては、舵面制御アクチュエータを電油圧サーボバ
ルブ（電気・油圧サーボバルブ）で制御するとともに、
そのサーボバルブのバルブ変位を作動変圧器等の位置検
出器により電気的に取り出してフィードバック制御を行
なっている。
用いるサーボ制御システムは、例えば航空機のフライト
コントロールシステムに採用されている。このシステム
においては、舵面制御アクチュエータを電油圧サーボバ
ルブ（電気・油圧サーボバルブ）で制御するとともに、
そのサーボバルブのバルブ変位を作動変圧器等の位置検
出器により電気的に取り出してフィードバック制御を行
なっている。
【０００３】この種のサーボ制御システムにおいては、
優れた応答性能に加えて高度な信頼性および制御安定性
が要求される。
優れた応答性能に加えて高度な信頼性および制御安定性
が要求される。
【０００４】そこで、例えばバルブスプールの移動速度
を速度検出器により検出しこれをフィードバックして、
定常偏差を抑制するとともに、応答性改善を図ってい
る。
を速度検出器により検出しこれをフィードバックして、
定常偏差を抑制するとともに、応答性改善を図ってい
る。
【０００５】また、直接駆動型電油圧サーボバルブの電
磁駆動部における渦電流損を増大させ、電油圧サーボバ
ルブの二次遅れ特性の減衰係数を増加させることによ
り、直接駆動型電油圧サーボバルブのループ・ゲインを
増大させ、これによって、直接駆動型電油圧サーボバル
ブの制御性（直線性、分解能等）並びに、システムの制
御性（分解能）の改善が図られている。
磁駆動部における渦電流損を増大させ、電油圧サーボバ
ルブの二次遅れ特性の減衰係数を増加させることによ
り、直接駆動型電油圧サーボバルブのループ・ゲインを
増大させ、これによって、直接駆動型電油圧サーボバル
ブの制御性（直線性、分解能等）並びに、システムの制
御性（分解能）の改善が図られている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のサーボ制御システムにあっては、バルブスプールの
速度を検出する場合には、そのための速度センサが必要
になり、コスト高を招くという問題があった。また、渦
電流損を増大させる場合には、十分な補償効果を得るこ
とができなかった。
来のサーボ制御システムにあっては、バルブスプールの
速度を検出する場合には、そのための速度センサが必要
になり、コスト高を招くという問題があった。また、渦
電流損を増大させる場合には、十分な補償効果を得るこ
とができなかった。
【０００７】そこで本発明は、高い制御性の直接駆動型
電油圧サーボバルブ、並びに、制御性（分解能）の優れ
た高信頼性、低コストのサーボ制御システムを提供する
ものである。
電油圧サーボバルブ、並びに、制御性（分解能）の優れ
た高信頼性、低コストのサーボ制御システムを提供する
ものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は、直接駆動型の電油圧サーボバルブと、該
電油圧サーボバルブへの入力指令信号と該電油圧サーボ
バルブのバルブ変位に対応するフィードバック信号との
差を求める減算器と、該減算器と前記電油圧サーボバル
ブの間に設けられた低域の一次遅れ要素と、を備えたも
のである。
め、本発明は、直接駆動型の電油圧サーボバルブと、該
電油圧サーボバルブへの入力指令信号と該電油圧サーボ
バルブのバルブ変位に対応するフィードバック信号との
差を求める減算器と、該減算器と前記電油圧サーボバル
ブの間に設けられた低域の一次遅れ要素と、を備えたも
のである。
【０００９】この発明では、減算器と電油圧サーボバル
ブの間に低域の一次遅れ要素を介在させ、直接駆動型電
油圧サーボバルブのループ・ゲインを増大させることに
より、直接駆動型電油圧サーボバルブの制御性（直線
性、分解能）並びにシステムの制御性（分解能）が改善
される。
ブの間に低域の一次遅れ要素を介在させ、直接駆動型電
油圧サーボバルブのループ・ゲインを増大させることに
より、直接駆動型電油圧サーボバルブの制御性（直線
性、分解能）並びにシステムの制御性（分解能）が改善
される。
【００１０】また、直接駆動型サーボバルブの基本伝達
特性は、簡略化すると、略二次遅れで近似することがで
きるが、上記一次遅れ要素の代わりに、積分器を設けた
り、減算器出力を積分する積分器およびこれと前記電油
圧サーボバルブの間に直列に挿入される一次遅れ要素を
設けたりすることによって、安定性を増強することがで
き、それによっても、直接駆動型電油圧サーボバルブの
ループ・ゲインを増大させ、直接駆動型電油圧サーボバ
ルブの制御性（直線性、分解能等）を改善することがで
きる。
特性は、簡略化すると、略二次遅れで近似することがで
きるが、上記一次遅れ要素の代わりに、積分器を設けた
り、減算器出力を積分する積分器およびこれと前記電油
圧サーボバルブの間に直列に挿入される一次遅れ要素を
設けたりすることによって、安定性を増強することがで
き、それによっても、直接駆動型電油圧サーボバルブの
ループ・ゲインを増大させ、直接駆動型電油圧サーボバ
ルブの制御性（直線性、分解能等）を改善することがで
きる。
【００１１】さらに、前記減算器と前記電油圧サーボバ
ルブの間の前向き回路に設けられた積分器若しくは一次
遅れ要素と、該積分器又は一次遅れ要素を含む前向き回
路に低域の一次遅れ特性を生じさせるよう前記電油圧サ
ーボバルブのバルブ変位に対応する信号を所定の応答性
を持ってフィードバックするフィードバック回路と、を
併用することができ、例えば、積分器を組み込むととも
に、フィードバック回路中のフィルタの特性を最適化す
ることができる。
ルブの間の前向き回路に設けられた積分器若しくは一次
遅れ要素と、該積分器又は一次遅れ要素を含む前向き回
路に低域の一次遅れ特性を生じさせるよう前記電油圧サ
ーボバルブのバルブ変位に対応する信号を所定の応答性
を持ってフィードバックするフィードバック回路と、を
併用することができ、例えば、積分器を組み込むととも
に、フィードバック回路中のフィルタの特性を最適化す
ることができる。
【００１２】すなわち、前記低域の一次遅れ要素は、前
記減算器の出力を積分する積分器と、該積分器を含む前
向き回路に低域の一次遅れ特性を生じさせるよう前記電
油圧サーボバルブのバルブ変位に対応する信号を通す際
の応答性を所定値に設定したフィルタと、で構成された
もの、あるいは、前記減算器と前記電油圧サーボバルブ
の間に設けられた一次遅れ要素と、前記減算器および該
一次遅れ要素を含む前向き回路に低域の一次遅れ特性を
生じさせるよう前記電油圧サーボバルブのバルブ変位に
対応する信号を通す際の応答性を所定値に設定したフィ
ルタと、で構成されたものであってもよい。
記減算器の出力を積分する積分器と、該積分器を含む前
向き回路に低域の一次遅れ特性を生じさせるよう前記電
油圧サーボバルブのバルブ変位に対応する信号を通す際
の応答性を所定値に設定したフィルタと、で構成された
もの、あるいは、前記減算器と前記電油圧サーボバルブ
の間に設けられた一次遅れ要素と、前記減算器および該
一次遅れ要素を含む前向き回路に低域の一次遅れ特性を
生じさせるよう前記電油圧サーボバルブのバルブ変位に
対応する信号を通す際の応答性を所定値に設定したフィ
ルタと、で構成されたものであってもよい。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施形態
を図面に基づいて説明する。
を図面に基づいて説明する。
【００１４】図１および図２は一実施形態に係るサーボ
制御システムを示す図である。
制御システムを示す図である。
【００１５】同図において、１１は指令信号Ｖｃと後述
するピストンの変位を示すフィードバック信号Ｖfbとの
差を算出する減算器であり、減算器１１から出力される
偏差信号は減算器４４にてバルブ変位信号との偏差が算
出された後、積分器１２、一次遅れ補償器１３を介して
電流アンプ１４に与えられる。
するピストンの変位を示すフィードバック信号Ｖfbとの
差を算出する減算器であり、減算器１１から出力される
偏差信号は減算器４４にてバルブ変位信号との偏差が算
出された後、積分器１２、一次遅れ補償器１３を介して
電流アンプ１４に与えられる。
【００１６】電流アンプ１４は、一次遅れ補償器１３か
らの指令信号に基づき、サーボバルブ１５（直接駆動型
電油圧サーボバルブ）の電磁駆動コイルに供給する駆動
電流を調整する。このサーボバルブ１５は、図２に示す
ように、電磁駆動部１６とこれによって直接駆動される
バルブスプール１７とを有する直接駆動型のサーボバル
ブであり、バルブスプール１７によって油圧アクチュエ
ータ（例えば航空機の舵面制御用油圧シリンダ）１８の
一対の油室１８ａ，１８ｂに連通する２つの制御圧室１
５ａ，１５ｂが形成されている。これら制御圧室１５
ａ，１５ｂには、バルブスプール１７の変位に応じて図
外の油圧源からの圧油Ｐが導入され、又は図外のリザー
バが連通し、これによって油室１８ａ，１８ｂへの作動
油の給排が制御されるようになっている。そして、油圧
アクチュエータ１８はこの作動油の給排制御、すなわち
サーボバルブ１５の油室１８ａ，１８ｂへの流量制御に
よって油室１８ａ，１８ｂの間に差圧を生じさせ、ピス
トン１９（出力部材）を軸方向に変位させることができ
る。
らの指令信号に基づき、サーボバルブ１５（直接駆動型
電油圧サーボバルブ）の電磁駆動コイルに供給する駆動
電流を調整する。このサーボバルブ１５は、図２に示す
ように、電磁駆動部１６とこれによって直接駆動される
バルブスプール１７とを有する直接駆動型のサーボバル
ブであり、バルブスプール１７によって油圧アクチュエ
ータ（例えば航空機の舵面制御用油圧シリンダ）１８の
一対の油室１８ａ，１８ｂに連通する２つの制御圧室１
５ａ，１５ｂが形成されている。これら制御圧室１５
ａ，１５ｂには、バルブスプール１７の変位に応じて図
外の油圧源からの圧油Ｐが導入され、又は図外のリザー
バが連通し、これによって油室１８ａ，１８ｂへの作動
油の給排が制御されるようになっている。そして、油圧
アクチュエータ１８はこの作動油の給排制御、すなわち
サーボバルブ１５の油室１８ａ，１８ｂへの流量制御に
よって油室１８ａ，１８ｂの間に差圧を生じさせ、ピス
トン１９（出力部材）を軸方向に変位させることができ
る。
【００１７】ピストン１９の変位は、作動変圧器等の位
置検出器２１によって電気信号として検出され、その検
出信号が復調器２２により直流電圧に変換された後、フ
ィルタ２３によって交流成分を除去され、減算器１１に
フィードバックされる。
置検出器２１によって電気信号として検出され、その検
出信号が復調器２２により直流電圧に変換された後、フ
ィルタ２３によって交流成分を除去され、減算器１１に
フィードバックされる。
【００１８】一方、バルブスプール１７の変位は、作動
変圧器等の位置検出器４１によって電気信号として検出
され、その検出信号が復調器４２により直流電圧に変換
された後、フィルタ４３によって交流成分を除去され、
減算器４４にフィードバックされる。
変圧器等の位置検出器４１によって電気信号として検出
され、その検出信号が復調器４２により直流電圧に変換
された後、フィルタ４３によって交流成分を除去され、
減算器４４にフィードバックされる。
【００１９】本実施形態においては、減算器１１の出力
（サーボアンプ内の指令信号）とバルブスプール１７の
位置フィードバック信号Ｖfｃとの差を求める減算器４
４の後段に、積分器１２（積分要素）を設けているの
で、減算器４４からの偏差信号がゼロでないときは、図
３に示すように、積分器１２により入力の時間積分に比
例する信号が出力される。したがって、定常偏差を無限
小に減少させることができる。
（サーボアンプ内の指令信号）とバルブスプール１７の
位置フィードバック信号Ｖfｃとの差を求める減算器４
４の後段に、積分器１２（積分要素）を設けているの
で、減算器４４からの偏差信号がゼロでないときは、図
３に示すように、積分器１２により入力の時間積分に比
例する信号が出力される。したがって、定常偏差を無限
小に減少させることができる。
【００２０】また、直接駆動型サーボバルブ１５の基本
伝達特性は、略二次遅れで近似することができ、図４の
ボード線図にように表わすことができる。したがって、
補償なしでループを組んだ場合には、所要のゲインマー
ジンおよびフェーズマージンを確保するために、図５に
示すようにループゲインを極端に低下させざるを得な
い。
伝達特性は、略二次遅れで近似することができ、図４の
ボード線図にように表わすことができる。したがって、
補償なしでループを組んだ場合には、所要のゲインマー
ジンおよびフェーズマージンを確保するために、図５に
示すようにループゲインを極端に低下させざるを得な
い。
【００２１】そこで、積分器１２と一次遅れ補償器１３
を組み込み、更に必要に応じてフィードバック回路中の
フィルタ２３の特性を最適化すれば、図６に示すよう
に、図５に示した無補償の場合に比べ、ループゲインを
十分に確保することができ、安定性を補償することがで
きる。
を組み込み、更に必要に応じてフィードバック回路中の
フィルタ２３の特性を最適化すれば、図６に示すよう
に、図５に示した無補償の場合に比べ、ループゲインを
十分に確保することができ、安定性を補償することがで
きる。
【００２２】すなわち、本実施形態では、電油圧サーボ
バルブ１５の入力指令信号と位置フィードバック信号Ｖ
fcの差を算出する減算器４４の後段に定常偏差をなくす
積分器１２を設け、更に、これと直列に接続する一次遅
れ補償器１３を組み込んでいるので、直接駆動型電油圧
サーボバルブにおけるループゲインの増大と、その直線
性、分解能といった制御性の改善を図ることができ、し
かも、サーボアクチュエータシステム全体の分解能を改
善することができる。
バルブ１５の入力指令信号と位置フィードバック信号Ｖ
fcの差を算出する減算器４４の後段に定常偏差をなくす
積分器１２を設け、更に、これと直列に接続する一次遅
れ補償器１３を組み込んでいるので、直接駆動型電油圧
サーボバルブにおけるループゲインの増大と、その直線
性、分解能といった制御性の改善を図ることができ、し
かも、サーボアクチュエータシステム全体の分解能を改
善することができる。
【００２３】なお、上述のように積分器１２と一次遅れ
１３による補償を行う場合、安定性については電油圧サ
ーボバルブ１５の位置検出情報のフィードバックポイン
ト、すなわち、減算器４４への帰還入力部を切ったポイ
ントにて評価する。また、安定性の観点からは、遅れ要
素を前向きに入れてもフィードバック系に入れても同じ
であり、さらに、一般的な直接駆動型電油圧サーボバル
ブの固有振動数は略１００〜２００（Ｈｚ）程度、その
補償に必要なフィルターは略５０〜１４０（Ｈｚ）程度
となることから、一般的に必要なフィルタ定数と補償定
数はほぼ同等であるということができる。したがって、
前向き回路に挿入する遅れ要素の機能の一部又は全部を
フィードバック用フィルタによって代用してもよい。
１３による補償を行う場合、安定性については電油圧サ
ーボバルブ１５の位置検出情報のフィードバックポイン
ト、すなわち、減算器４４への帰還入力部を切ったポイ
ントにて評価する。また、安定性の観点からは、遅れ要
素を前向きに入れてもフィードバック系に入れても同じ
であり、さらに、一般的な直接駆動型電油圧サーボバル
ブの固有振動数は略１００〜２００（Ｈｚ）程度、その
補償に必要なフィルターは略５０〜１４０（Ｈｚ）程度
となることから、一般的に必要なフィルタ定数と補償定
数はほぼ同等であるということができる。したがって、
前向き回路に挿入する遅れ要素の機能の一部又は全部を
フィードバック用フィルタによって代用してもよい。
【００２４】前記一次遅れの挿入ポイントとしては、減
算器１１とする場合、その後段（減算器４４の前）に設
けた図示しないプリアンプとする場合、減算器４４とす
る場合、減算器４４から電流アンプ１４までを含む閉ル
ープ（以下、ループＡという）の全体とする場合、電流
アンプ１４とする場合が考えられる。ループＡを挿入ポ
イントとする場合には、そのループゲインと一次遅れ特
性によってこのループを一次遅れとする。また、電流ア
ンプ１４とする場合には、その電流アンプ１４に遅れを
持たせ、ループＡのループゲインを適宜設定する。
算器１１とする場合、その後段（減算器４４の前）に設
けた図示しないプリアンプとする場合、減算器４４とす
る場合、減算器４４から電流アンプ１４までを含む閉ル
ープ（以下、ループＡという）の全体とする場合、電流
アンプ１４とする場合が考えられる。ループＡを挿入ポ
イントとする場合には、そのループゲインと一次遅れ特
性によってこのループを一次遅れとする。また、電流ア
ンプ１４とする場合には、その電流アンプ１４に遅れを
持たせ、ループＡのループゲインを適宜設定する。
【００２５】図７は他の実施形態に係る直接駆動型サー
ボバルブを示す図である。
ボバルブを示す図である。
【００２６】なお、この実施形態は、上述の実施形態に
おける積分器及び一次遅れを、これらと同様な機能を有
する積分器又は一次遅れ要素に置き換えたものであり、
他の構成は上述とほぼ同様であるので、上述の実施形態
との相違点についてのみ詳述する。
おける積分器及び一次遅れを、これらと同様な機能を有
する積分器又は一次遅れ要素に置き換えたものであり、
他の構成は上述とほぼ同様であるので、上述の実施形態
との相違点についてのみ詳述する。
【００２７】図７において、減算器４４から出力される
偏差信号は、上述の積分器１２及び一遅れ補償器１３と
同程度の低域の一次遅れとして機能する積分器又は一次
遅れ回路３２に入力される。そして、この積分器又は一
次遅れ回路３２の出力が、電流アンプ１４に与えられ
る。
偏差信号は、上述の積分器１２及び一遅れ補償器１３と
同程度の低域の一次遅れとして機能する積分器又は一次
遅れ回路３２に入力される。そして、この積分器又は一
次遅れ回路３２の出力が、電流アンプ１４に与えられ
る。
【００２８】本実施形態においては、減算器１１からの
信号とバルブスプール１７の位置フィードバック信号Ｖ
fｃとの差を求める減算器４４の後段に、積分器又は一
次遅れ回路３２を設けているので、積分器１２及び一遅
れ補償器１３を設ける場合に比べると、定常偏差の抑制
効果は若干低下するが、従来と比べると、十分な定常偏
差抑制効果があるといえる。
信号とバルブスプール１７の位置フィードバック信号Ｖ
fｃとの差を求める減算器４４の後段に、積分器又は一
次遅れ回路３２を設けているので、積分器１２及び一遅
れ補償器１３を設ける場合に比べると、定常偏差の抑制
効果は若干低下するが、従来と比べると、十分な定常偏
差抑制効果があるといえる。
【００２９】なお、積分器と一次遅れ回路を代用できる
のは、図８に積分器の伝達特性を、図９に一次遅れの伝
達特性を示すように、一次遅れのカットオフ周波数を超
低域に設定すれば、高周波数域の周波数特性は一次遅れ
と積分器とでほぼ同等となるという理由による。一次遅
れ要素の方が若干定常偏差の抑制という点で不利である
が、積分に近い効果が得られる。
のは、図８に積分器の伝達特性を、図９に一次遅れの伝
達特性を示すように、一次遅れのカットオフ周波数を超
低域に設定すれば、高周波数域の周波数特性は一次遅れ
と積分器とでほぼ同等となるという理由による。一次遅
れ要素の方が若干定常偏差の抑制という点で不利である
が、積分に近い効果が得られる。
【００３０】また、電流アンプ１４の応答性を低下さ
せ、これに、上述した低域の一次遅れ要素の機能の一部
又は全部を持たせることも考えられる。
せ、これに、上述した低域の一次遅れ要素の機能の一部
又は全部を持たせることも考えられる。
【００３１】なお、本実施形態における補償は、アナロ
グ制御のみならずデジタル制御にも適用することができ
ることはいうまでもない。
グ制御のみならずデジタル制御にも適用することができ
ることはいうまでもない。
【００３２】
【発明の効果】第１の発明によれば、サーボアンプ内の
減算器と電油圧サーボバルブの間に低域の一次遅れ要素
を介在させているので、直接駆動型電油圧サーボバルブ
のループ・ゲインを増大させることができ、その制御性
改善を図ることができる。
減算器と電油圧サーボバルブの間に低域の一次遅れ要素
を介在させているので、直接駆動型電油圧サーボバルブ
のループ・ゲインを増大させることができ、その制御性
改善を図ることができる。
【００３３】また、上記一次遅れ要素に代わる積分器を
設けたり、前記減算器の出力を積分する積分器およびこ
れと直列接続する一次遅れ要素を設けたりすることによ
り、安定性を増強することができるとともに、速度セン
サ等を使用することなく定常偏差を抑えることができ、
サーボ制御システムのヒステリシスや分解能の改善を図
ることができる。
設けたり、前記減算器の出力を積分する積分器およびこ
れと直列接続する一次遅れ要素を設けたりすることによ
り、安定性を増強することができるとともに、速度セン
サ等を使用することなく定常偏差を抑えることができ、
サーボ制御システムのヒステリシスや分解能の改善を図
ることができる。
【図１】本発明の一実施形態に係るサーボ制御システム
の概略構成を示すブロック線図である。
の概略構成を示すブロック線図である。
【図２】一実施形態における直接駆動型電油圧サーボバ
ルブの概略構成図である。
ルブの概略構成図である。
【図３】一実施形態における積分器出力の時間的変化を
示すグラフである。
示すグラフである。
【図４】一般的な直接駆動型電油圧サーボバルブのオー
プンループ伝達特性を示すボード線図である。
プンループ伝達特性を示すボード線図である。
【図５】図４の特性を有する電油圧サーボバルブを用い
て補償をかけずにループを組んだ比較例の伝達特性を示
すボード線図である。
て補償をかけずにループを組んだ比較例の伝達特性を示
すボード線図である。
【図６】図４の特性を有する電油圧サーボバルブを用
い、積分器を挿入し補償をかけてループを組んだ比較例
の伝達特性を示すボード線図である。
い、積分器を挿入し補償をかけてループを組んだ比較例
の伝達特性を示すボード線図である。
【図７】本発明の他の実施形態に係る直接駆動型電油圧
サーボバルブの概略構成を示すブロック線図である。
サーボバルブの概略構成を示すブロック線図である。
【図８】他の実施形態における減算器後段の積分器の伝
達特性を示すボード線図である。
達特性を示すボード線図である。
【図９】他の実施形態における減算器後段の一次遅れの
伝達特性を示すボード線図である。
伝達特性を示すボード線図である。
１１ 減算器 １２ 積分器 １３ 一次遅れ補償器 １４ 電流アンプ １５ 直接駆動型サーボバルブ １５ａ，１５ｂ 制御圧室 １６ 電磁駆動部 １７ バルブスプール １８ 油圧アクチュエータ（液圧アクチュエータ） １８ａ，１８ｂ 油室 １９ ピストン（出力部材） ２１ 位置検出器 ２２ 復調器 ２３ フィルタ Ｖc 指令信号入力 Ｖfc フィードバック信号
フロントページの続き Ｆターム(参考） 3H001 AA01 AA03 AB04 AB06 AC03 AD04 AE23 5H004 GA04 GA08 GA34 GB13 GB20 HA07 HB02 HB07 JA03 JA07 JB01 JB09 JB15 JB29 KA01 KB02 KB06 KB22 LA02 LA13 MA12 5H303 AA30 BB01 BB06 BB11 CC01 CC10 DD07 EE03 EE08 FF04 GG07 HH01 JJ10 KK02 KK03 KK07 LL01 LL02 MM05
Claims (3)
- 【請求項１】直接駆動型の電油圧サーボバルブにて作動
する電油圧サーボアクチュエータシステムにおいて、 該電油圧サーボバルブへの入力指令信号と該電油圧サー
ボバルブのバルブ変位に対応するフィードバック信号と
の差を求める減算器と、 該減算器と前記電油圧サーボバルブの間に設けられた低
域の一次遅れ要素と、を備えたことを特徴とするサーボ
制御システム。 - 【請求項２】前記低域の一次遅れ要素が、前記減算器と
前記電油圧サーボバルブの間の前向き回路に設けられた
積分器若しくは一次遅れ、又は、前記減算器の出力を積
分する積分器および該積分器と前記電油圧サーボバルブ
の間に設けられた一次遅れ要素で構成された請求項１に
記載のサーボ制御システム。 - 【請求項３】前記低域の一次遅れ要素が、前記減算器と
前記電油圧サーボバルブの間の前向き回路に設けられた
積分器若しくは一次遅れ要素と、該積分器又は一次遅れ
要素を含む前向き回路に低域の一次遅れ特性を生じさせ
るよう前記電油圧サーボバルブのバルブ変位に対応する
信号を所定の応答性を持ってフィードバックするフィー
ドバック回路と、で構成された請求項１に記載のサーボ
制御システム。
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|---|---|---|---|
| JP37255398A JP3640823B2 (ja) | 1998-12-28 | 1998-12-28 | サーボ制御システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP37255398A JP3640823B2 (ja) | 1998-12-28 | 1998-12-28 | サーボ制御システム |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000194420A true JP2000194420A (ja) | 2000-07-14 |
| JP3640823B2 JP3640823B2 (ja) | 2005-04-20 |
Family
ID=18500640
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP37255398A Expired - Fee Related JP3640823B2 (ja) | 1998-12-28 | 1998-12-28 | サーボ制御システム |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3640823B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007213443A (ja) * | 2006-02-10 | 2007-08-23 | Toshiba Mach Co Ltd | 移動装置 |
| JP2012151925A (ja) * | 2011-01-17 | 2012-08-09 | Panasonic Corp | モータ駆動装置の位置制御方法 |
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| CN106289693B (zh) * | 2016-08-17 | 2018-08-14 | 西安交通大学 | 一种液压振动系统的低频拓展控制方法 |
-
1998
- 1998-12-28 JP JP37255398A patent/JP3640823B2/ja not_active Expired - Fee Related
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|---|---|---|---|---|
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| JP3640823B2 (ja) | 2005-04-20 |
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