JP2000193783A - 原子炉構造部品の表面の非均質性測定方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】原子炉構造部品の表面（特に表面層）の非均質
性を距離測定プローブを使用して測定するための方法及
び装置を改善する。 【解決手段】原子炉構造部品（１）の表面における酸化
膜或いは同様な層（３）を渦電流或いは超音波検出器で
調査するために、それに応じた距離測定プローブ（２
１）の特性（３１）が必要である。この発明によれば、
このために、プローブ（２１）が参照基準（１３）の表
面から持ち上げられ、プローブ信号（２２）がこの表面
からの距離（１７）の関数として記録される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、原子炉構造部品
の表面（特に表面層）の非均質性を距離測定プローブを
使用して測定するに当たり、第一の工程においてこの距
離測定プローブを較正するためにプローブ特性を求め、
第二の工程において非均質性の測定を行う方法に関す
る。この測定のために、距離測定プローブはある道程に
沿ってその表面上を一定距離で動かされ、非均質性の広
がりがこの道程とプローブ特性によって評価されるプロ
ーブ信号とから決定される。この発明は、さらに、導電
性の母材上の電気的に殆ど非導通の層の測定に上記の方
法を適用する方法並びに原子炉構造部品の表面の非均質
性測定装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】原子炉の運転の際に原子炉の個々の構造
部品は種々異なる磨耗現象を受ける。特に格納容器の内
部の構造部品は湿性環境において使用されるので腐食や
材料剥離により大きな消耗にさらされる。例えば原子炉
構造部品における亀裂による他の種類の非均質性の発生
もまたその一部である。特に、このような消耗は、水中
において高温でかつ著しく変化する温度及び圧力状況に
おいて行われる燃料要素の作動の際に生ずる。その上、
主としてジルコニウムからなるこの原子炉構造部品は、
磨耗現象に対して、高品質な鉄鋼よりも抵抗力が弱い。
燃料要素の作動はそれ故腐食により燃料要素の構成成分
上に酸化膜を成長させる。同様に、原子炉運転の際に燃
料要素の構成成分に材料剥離が発生することがある。こ
のような酸化膜の膜厚もしくは材料剥離の層厚は数１０
μｍ〜数１００μｍになる。

【０００３】原子炉構造部品や燃料要素における酸化膜
の膜厚を運転を伴いながら追求し、監視することはそれ
だけに重要である。このことは、特に燃料要素の構成部
品や燃料棒において燃料要素の適用並びに耐蝕性の燃料
要素材料や被覆管材料の開発にとって重要である。酸化
膜や材料剥離の厚さは設計に関係した重要な量である。
これらの磨耗現象を測定し、監視することは、それ故、
原子炉設計や原子炉の安全性の理由から重要である。

【０００４】冒頭に挙げた方法の適用は、特に、原子力
発電所に存在するような環境条件に対して考慮されてい
る。その場合、特に燃料要素或いは燃料棒の表面におけ
る空間的な非均質性を測定するために、第一の工程、即
ち、距離測定プローブの較正と、第二の工程、即ち、非
均質性の測定が、原子炉の容器内の水中において遠隔制
御により行われることが考慮されている。同様に、原子
炉構造部品における非均質性の測定は、通常、原子炉プ
ールにおいて水中でかつ著しい放射線の影響下で行われ
る。冒頭に挙げた方法に対する原子力発電所以外の使用
分野もしかしながら除外されるものではない。

【０００５】原子炉構造部品の表面における上述の非均
質性の測定のためには、小距離を、ミリメートル範囲の
絶対距離においてマイクロメートル範囲の精度で測定す
ることが必要である。これは特別な距離測定プローブで
もって達成される。このために通常位置検出センサが使
用される。これは、例えば渦電流センサ、超音波検出器
或いは誘導性変位センサ或いはまた容量性変位センサと
することができる。かくして非均質性の空間的な広がり
を測定することができる。このことは、即ち、その表面
に沿った面の広がり及び特に表面に対してほぼ垂直な広
がり、例えば層厚の決定に関する。

【０００６】表面における非均質性を空間的に測定する
際の、特に表面に対してほぼ垂直なその広がりを決定す
る際の物理的測定原理は、いわゆる離間効果に基づく。
大体において、例えば酸化膜によって或いは材料層の剥
離によって、通常金属製の母材と距離測定プローブとの
間に距離が生ずる。例えば母材が腐食すると、その表面
における母材の一部が酸化物に変換する。これにより酸
化膜が母材に代わって原子炉構造部品の表面に露出す
る。この表面は最早光沢がない。その時酸化していない
母材は酸化膜の下に来る。例えば、この酸化膜は、それ
が生じた本来の母材よりもずっと大きな体積をとる。発
生した酸化膜が例えば原子炉構造部品から剥がれ落ちる
と、材料剥離が生じ、これが腐食前の母材の本来の部分
に層や穴の形で入り込む。この場合、原子炉構造部品の
表面は最早平滑ではない。母材の本来の部分の中に亀裂
が入り込んだときも、同様に、原子炉構造部品の表面は
最早平滑ではない。このような状況の下では、距離測定
プローブは、即ち、母材の表面から離れ、母材の表面と
の距離が母材に対する非均質性の空間的な広がりによっ
て与えられ、一方距離測定プローブは原子炉構造部品の
平滑で光沢のある表面においては母材の上にある。これ
に応じて、距離測定プローブは、例えば酸化膜の膜厚或
いは材料剥離の厚さに相当する離間距離と共に変化する
プローブ信号を発する。このプローブ信号は、例えば超
音波検出器においては信号伝搬遅れ効果によって或いは
例えば渦電流センサ又は誘導性変位センサにおいてはイ
ンピーダンス或いはインダクタンスの変化によって発生
する。

【０００７】このようなプローブ信号は、通常、離間距
離が大きい場合にはこの離間距離に比例しない。距離測
定プローブはそれ故最初の工程において較正されねばな
らない。このために、プローブ信号の経過をプローブか
ら較正基準の表面までの定まった距離の関数として表す
プローブ特性が求められる。次に、第二の工程におい
て、原子炉構造部品の表面に垂直に一定距離を保ちなが
ら、距離測定センサを表面上のある道程に沿って移動さ
せることにより、非均質性の測定が行われる。この測定
される対象はしかし関係する範囲にわたって距離測定プ
ローブが通過される。非均質性の空間的な広がりは、そ
の場合、表面に沿った道程とプローブ特性により判断さ
れたプローブ信号とから決定される。この距離測定プロ
ーブの測定移動の結果として、通過した道程に関係し
た、酸化膜或いは材料剥離の厚さの量が得られる。特
に、この測定のための移動ごとの前後に距離測定プロー
ブの自動較正が行われ、外部のシステム的影響が測定結
果に作用せず、測定の完全性が確保されているようにさ
れる。後者は、主として、使用された較正方法の信頼性
及び精度によって決まる。

【０００８】公知の方法においては、例えば燃料棒にお
ける酸化膜や材料剥離の厚さを測定するために、渦電流
センサが特別に作成された参照基準で較正される。この
参照基準は較正装置よって測定装置に組み入れられてい
る。この基準はその材料特性及びその形状が、測定され
る原子炉構造部品にほぼ一致している。燃料棒を測定す
る場合には、これは、特に、被測定燃料棒と同じ被覆管
材料からなる特別に作られた被覆管とされる。被覆管の
ためのこのような較正基準は一定の厚さの箔が接着さ
れ、従って一定の高さの段によって相互に境されている
領域的に平滑で光沢のある表面を持っている。このよう
にして、一定の高さの段により互いに境されている、通
常３を越えない数の平滑で光沢のある範囲を備えた参照
基準が準備される。これに従って、通常、プローブ特性
を確定するために３を越えない数の較正点が生ずる。プ
ローブ特性の確定は少数の較正点の間の直線的な内挿に
より行われる。

【０００９】この方法は、例えば酸化膜の厚さ測定の際
に材料の導電性の変化ごとに、新たな、適合した参照基
準を作成することを必要とするので、それだけ複雑であ
り、コストがかかる。同様に、参照基準を、測定システ
ムに組み入れられた較正装置と共に用意することが、各
測定範囲ごとにまた各測定目的ごとに必要である。参照
基準を較正装置においてその都度の測定目的に応じて交
換することは時間的に浪費であり、煩雑である。

【００１０】さらに、距離測定プローブの較正に使用さ
れていた従来の方法は、比較的大きな不正確さをそれ自
体に持っている。参照基準の母材や測定される原子炉構
造部品における差は個々には回避することができないの
で、特定するのに困難な、測定結果のシステム的なエラ
ーに繋がる。例えば渦電流センサを使用した層厚測定の
際には母材の導電性が問題となる。

【００１１】距離測定プローブの較正のために特別に作
成された参照基準を使用することは、参照基準の作成プ
ロセスに基づいても、また参照基準自体における較正動
作に基づいても、さらなる、小さからざる不正確さを孕
んでいる。前記の参照基準において特定の段階高さを実
現することは、約３乃至５μｍの精度でしか行うことが
できない。同様に、基準自体における較正動作も３μｍ
までの不正確さを孕んでいる。さらに、測定される原子
炉構造部品と異なる、測定基準における距離測定プロー
ブの温度差及び相対位置の差がさらなる不正確を招く。
結局、少数の、通常３を越えない数の較正点のみを考慮
した、プローブ特性の直線的内挿は、特に信頼できる測
定プローブの較正を提供し得ない。

【００１２】全体として、上述の理由から従来使用され
ている較正方法を利用した原子炉構造部品の層厚測定の
絶対エラーは３０μｍにまでなり、従って２０％までの
相対エラーを引き起こすことになる。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】この発明の課題は、そ
れ故、原子炉構造部品の表面（特に表面層）の非均質性
を距離測定プローブを使用して測定するための改良され
た方法並びにこの方法を実施するための装置を提供する
ことにある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】このために、従来の技術
に従って、第一の工程において距離測定プローブを較正
するためにプローブ特性を求め、第二の工程において距
離測定プローブをある道程に沿って表面上をほぼ一定距
離で動かし、非均質性の広がりをこの道程とプローブ特
性によって評価されるプローブ信号とから決定すること
により、非均質性の測定を行う。プローブは、それ故、
ほぼ表面に対して平行で、原子炉構造部品の表面からほ
ぼ一定の垂直距離を持つ面において道程に沿って測定の
ために動かされる。この平行な面における道程は、ほぼ
表面における道程の投影面のように延びている。この道
程とこの道程の投影面とは互いに一定のほぼ垂直な距離
によって隔てられている。この面は、しかしその場合、
損傷を受けた表面の局所的な粗面（例えば、穴、亀裂、
酸化膜等）を模擬していない。その損傷が測定されるか
らである。この面はそれゆえ平滑で光沢のある状態を持
ち従って損傷を受けていないその元々の状態の表面に相
当する表面に対してほぼ平行に延びている。プローブ
は、この面における道程に沿って案内されることにより
保持される。

【００１５】この発明によれば、第一の工程において、
距離測定プローブが平滑で光沢のある表面とこの平滑で
光沢のある表面からの最大距離との間で動かされること
によって、プローブ特性が求められる。このプローブの
移動の際にほぼ常に、平滑で光沢のある表面からの実際
の距離と、プローブ信号とが記録される。即ち、プロー
ブ信号は平滑で光沢のある表面からの距離の関数として
測定され、確定される。

【００１６】原則的には、この方法は、極めて多種の距
離測定プローブで実施することができる。その場合、距
離測定プローブとしては、上述の位置検出センサ、特に
誘導性変位センサ或いは超音波検出器が有利に使用され
る。

【００１７】原子炉構造部品の表面における平滑で光沢
のある個所は、実際上較正基準として有利に利用するこ
とができる。しかしまた、プローブを第一の原子炉構造
部品の表面における平滑で光沢のある個所で第一の工程
において較正し、第二の原子炉構造部品の測定を第二の
工程において実施することも有利である。

【００１８】この表面は好ましくはまた基礎によっても
形成される。非均質性の測定は有利には非均質性の空間
的な広がりに関する。例えば先ず非均質性の厚さ、例え
ば層厚を上記の方法により測定することができる。プロ
ーブを、表面に対して平行な面に並置されている上記の
道程の異なる多数に沿って順次動かすことによって、第
二の工程で非均質性の空間的な広がり、即ちその深さ及
び幅のプロフィールを測定することができる。

【００１９】プローブ特性を求めるためには、距離測定
プローブを平滑で光沢のある表面に置き、平滑で光沢の
ある表面から最大の距離まで持ち上げることもできる。
即ち、最小距離から出発して、最大距離まで特性を求め
るためのプローブ信号が記録される。

【００２０】しかしまた、距離測定プローブは最大距離
から始まって最小距離まで表面に近づけ、場合によって
は最後に平滑で光沢のある表面に到達するようにするこ
ともできる。この場合、プローブ信号は、最大距離から
出発して、プローブの表面への到達をも意味する最小距
離までの特性を求めるために記録される。

【００２１】この特性は、表面とこの表面からの最大距
離との間の部分範囲のみで記録することもまたできる。
距離測定プローブは、特性を記録するために２つの方
向、即ち最大距離と表面との間を往復して動かされるこ
とも有利である。

【００２２】この発明は、この方法においては、一定の
層厚を較正基準の上に調達する際の、参照基準による従
来の方法におけるような、全ての不確実さがなくなると
いう認識から出発している。これに対して、較正基準の
平滑で光沢のある表面からの距離測定プローブの実際の
距離を求めることは、特定の層厚を持つ参照基準を作る
よりも遙に正確に行うことができる。

【００２３】結局のところ、この発明による方法は、ほ
ぼ任意の大きな数の較正点をプローブ特性のための内挿
点として使用することを可能にする。それ故、従来の方
法において僅かな内挿点（通常、たった３つ）しか考慮
してない不充分なプローブ特性の内挿によって生じた全
ての不確実さも解消する。しかしながら、この方法によ
って、プローブ特性の全ての種類の、そしてまた非直線
性の経過、例えばルート状の或いは対数状の経過も検出
することができる。運動動作のオフセットもまた正確に
決めることができる。このオフセットは、例えば移動装
置には機械的な遊びがあるので、運動動作の始まった後
にプローブが、先ずその意図する運動に追従しないこと
によって生ずる。オフセットもまた非直線性も、僅かな
内挿点しか持たない今までの通常の方法では、ほぼ直線
的なプローブ特性に限定されているので、検出すること
ができなかった。

【００２４】この発明においては、プローブ特性を求め
るために殆どこの較正点の内挿の必要性がない程に互い
に密接している任意の大きな数の較正点を測定すること
ができる。プローブ特性は、光沢のある表面からの距離
の関数として、直接プローブ特性の形で記録される。較
正基準の作成が大幅に省略できるので、この方法はコス
ト的なメリットをもたらし、従来の方法より容易に実施
することができる。

【００２５】光沢のある個所からの上記の実際の距離及
び上記のプローブ特性の測定は、この発明の別の実施態
様によればそれ自体を較正基準として使用することので
きる光沢のある表面からの距離をステップ状に変化さ
せ、この各ステップ毎に実際の距離と、その都度それに
対応するプローブ特性とを記録することによって有利に
行うことができる。このステップは互いに非常に密に行
われるので、殆ど常時、実際の距離とこれに対応するプ
ローブ特性とが記録される。

【００２６】このために、距離測定プローブはパルス発
信器を備えたリフト装置により表面から持ち上げられる
のがよい。このパルス発信器はその場合変位信号の確定
に役立ち、この理由から変位に比例したパルス、特に離
間距離のｍｍ当たり１００００より少なくないパルスを
発する。この方法は、距離測定プローブに対する較正範
囲が少なくとも１／１０μｍのピッチで０μｍと１００
０μｍとの間にカバーされるように設定されるのがよ
い。特に、プローブ特性を求めるために距離測定プロー
ブは１０ｍｍの最大距離まで、従来の技術に較べて、遙
に大きな範囲持ち上げられることができ、即ち、万一非
直線に走るプローブ特性であっても、この発明による方
法においては較正点の密接した列により正確に再現され
る。従来の方法の場合のような内挿の不正確は発生しな
い。

【００２７】プローブ特性は、エラー、特にシステム的
な不正確或いはシステム的なエラー或いは統計的な基礎
に基づいて修正されるのがよい。これらのエラーは、例
えばプローブの運動によって発生し得る。このエラーに
は例えばプローブを移動するための移動装置における回
転機械部分により発生する周期的な不正確さもある。修
正はエラー特性により良好に行われる。

【００２８】参照測定により及び／又はプローブ特性の
デジタル処理により参照特性を決定するのも有利であ
る。次いで、参照特性と移動装置により形成される実際
の距離との差が求められる。両者の違いから、例えば差
からエラー特性が得られる。

【００２９】特に、原子炉構造部品及び較正基準は、原
子炉構造部品の表面における空間的な広がりを測定する
際、原子炉の設置容器内の水中にある。この理由からこ
の方法を実施するための装置は水中で使用されることを
考慮して、水に対して保護されされている。また、この
方法で放射性の燃料要素を測定することもできる。その
ため、特にこの方法を実施するための装置はこのような
放射線源の近くで使用されることを考慮して放射線から
も保護されている。従って、この方法は特に遠隔操作及
び／又は自動制御可能な装置により実施される。

【００３０】さらに、この発明の別の実施態様によれ
ば、測定される原子炉構造部品における光沢ある表面を
備えた平滑な範囲をこの発明による方法における較正基
準として使用することができる。この範囲は、平滑で、
従って表面の荒れがなく、また光沢があり、従って表面
酸化膜或いは材料剥離層がない、即ち母材が露出してい
なければならない。この発明の別の実施態様によれば、
このために、経験上非均質性とは無関係な、原子炉構造
部品の範囲が利用される。例えば燃料棒における酸化膜
厚測定においては、このために、燃料棒の下位部分が利
用される。この部分は、経験上、測定精度の範囲で無視
することのできる程度の薄い酸化膜しか生ぜず、殆ど材
料剥離を示さないからである。このように測定される原
子炉構造部品自体に較正基準を選択する場合には、材料
の違い或いは環境の違いによる測定の不正確さが生ずる
ことがないという利点がある。例えば、測定対象から離
れた較正基準と測定対象自身との間に生ずることのある
温度或いは位置の差が回避される。或いはまた超音波パ
ルスの多重反射或いは特に薄壁の場合の渦電流の侵入深
さが影響することもあるが、必要なプローブ特性は測定
対象自体において較正されるので、このような影響は排
除されている。

【００３１】平滑な範囲における上記の光沢のある表面
は既に原子炉構造部品に存在しているか、或いは原子炉
構造部品を加工することによって露出させることができ
る。このために、選択された範囲及び／又は光沢のある
表面は研磨されるか或いは露出するように擦られる。

【００３２】場合によっては、これとは代わり、酸化膜
を被覆した範囲を、その酸化膜の厚さが知られていれ
ば、較正基準とすることもできる。

【００３３】それにもかかわらず、測定対象から離れた
較正基準が要望される場合には、好ましくは、光沢のあ
る表面を備え、原子炉構造部品と殆ど同一の材料特性を
持った平滑な構造部品を較正基準として利用することが
できる。

【００３４】この発明による方法或いはこの発明の実施
態様による方法においては、その特性が簡単に作成され
或いは既に存在している構造部品において較正されるの
で、参照基準の煩雑な作成が省略される。

【００３５】上述の方法においては距離測定プローブと
して、特に渦電流センサ或いは超音波検出器或いはまた
誘導性変位センサのような位置検出センサが有利に使用
される。この方法は、さらに、非均質性として原子炉構
造部品の表面における母材上の層（特に酸化膜）を距離
測定プローブを使用して測定するときに、特に好ましい
ことが実証されている。例えば母材の表面における材料
剥離或いは亀裂もまた測定することができる。場合によ
っては、また例えば光学的な変位センサのような他の距
離測定プローブも同様な非均質性用として上述の方法に
適している。

【００３６】この発明による方法は、導電性の母材上の
電気的に非導通の層（例えば酸化膜、或いは剥離した材
料の層）の測定にも有利に適用することができる。

【００３７】この方法は、特に主としてジルコニウムか
らなるような金属面の場合に、金属面上の酸化膜の測定
に適用することが特に有利であることが実証されてい
る。特に、この方法を原子炉燃料要素の構成成分（特に
燃料棒）の非均質性の測定に適用する場合である。その
他に、この方法により、局部的な影響（例えば、摩擦）
により材料が剥離し、従って表面範囲に最外側の材料層
が欠けている（剥離した材料層）ような原子炉構造部品
も測定の対象とすることができる。その場合、穴や亀裂
も認識される。

【００３８】例えば、部分的に空間的に互いに狭く接し
て配置されている内部にある原子炉構造部品（例えば、
原子炉燃料要素において内部にある燃料棒）において、
この発明による方法に従ってプローブ特性を求めるため
に、必ずしも常に距離測定プローブの較正に充分なスペ
ースがあるわけではない。このような場合、距離測定プ
ローブの較正は、従来の技術の場合のように、一定の高
さの段によって相互に境されている、領域的に平滑で光
沢のある表面を備えた参照基準で行うことができる。こ
のような参照基準において、特定の高さを持つ段を作っ
て測定する際の上述の不正確さは、このような参照基準
の測定にこの発明による方法を適用することによって回
避することができる。この発明による或いはこの発明の
実施態様による方法は１／１０μｍに劣らない変位測定
精度を持っているので、この測定精度は従来の通常の方
法の精度を凌駕し、従って参照基準の正確な測定のため
に適している。

【００３９】原子炉構造部品の表面（特に表面層）の非
均質性測定装置は距離測定プローブを含む。この距離測
定プローブは、この表面に載置されるスペーサと送り装
置とにより、ある道程に沿って、その表面から一定の距
離で表面上を移動可能である。この場合、スペーサとは
案内シュー、或いはプローブを直接原子炉構造部品の表
面に置くことを可能としただ表面の局部的な粗面（例え
ば、穴）を補うような類似の構造部品と解される。この
装置はさらにコンピュータを含む。このコンピュータ
は、距離測定プローブの信号と、メモリから引き出すこ
とのできる特性とから、表面に対して垂直な、距離測定
プローブの位置における非均質性の広がりを形成する。
この発明によれば、上記の装置は、その上、距離測定プ
ローブを平滑で光沢のある表面とこの表面からの最大距
離との間で移動させる移動装置を含む。その他に、この
装置は記録装置を含み、この記録装置により、距離測定
プローブが平滑で光沢のある表面とこの表面からの最大
距離との間で移動した際に、距離測定プローブと表面と
の間の実際の距離とこの距離に対応した距離測定プロー
ブの信号とをプローブ特性としてメモリに記憶する。こ
れに続いた非均質性の測定の際に、この特性はメモリか
ら引き出し可能で、この特性を参考にしてプローブ信号
に、測定の際その表面上の距離に関する距離測定プロー
ブの位置における非均質性の垂直方向の広がりを割当て
ることができる。この記録装置は好ましくはコンピュー
タとメモリとを有する。

【００４０】

【発明の実施の形態】図面を参照してこの発明の好まし
い実施例を詳細に説明する。なお、各図において同一の
部分はそれぞれ同一の符号を有している。

【００４１】図１に、この方法の流れを、その主要な方
法要素をシンボル的に図示して概略的に示す。従来の技
術に従って、原子炉構造部品１の表面９における非均質
性３の空間的な広がりを距離測定プローブ２１を使用し
て測定するために第一の工程において先ず距離測定プロ
ーブ２１が較正され、次に非均質性３が測定される。

【００４２】しかしながら、較正のために、従来の方法
とは異なり、距離測定プローブ２１は表面９の平滑で光
沢のある個所１３と、表面９からの最大距離１９との間
を動かされる。その場合、殆ど常時、平滑で光沢のある
表面１５からの実際の距離１７とプローブ信号２２とが
記録される。図１に示されるように、原子炉構造部品自
体の表面９における光沢のある表面１５を持つ平滑な範
囲は較正基準１３とされる。好ましくは、原子炉構造部
品１の一部が、即ち原子炉構造部品１の母材５が原子炉
構造部品の表面９に露出している部分が較正基準１３と
されるのがよい。この部分は、好ましいことに、光沢の
ある面１５を持つ平滑な範囲である。

【００４３】プローブ２１は較正のために任意の方法で
最大距離１９と平滑で光沢のある個所１３との間で動か
される。例えばプローブ２１が任意の距離から個所１３
に近づけられ、場合によっては最終的に個所１３の上に
載置されと有利である。

【００４４】しかしながら、上記の方法は図１の概略図
に従って行われるのが特に好ましいことが実証されてい
る。

【００４５】距離測定プローブ２１は、このために較正
基準１３の表面に載置され、リフト装置３３によって方
向３５において原子炉構造部品１の表面９から離れるよ
うに持ち上げられる。その場合、殆ど常時、距離測定プ
ローブ２１と較正基準１３の平滑で光沢のある表面との
間の距離１７が距離測定手段３７により測定される。こ
の手段３７は図１においては象徴的に目盛板３６と指針
３８とで示されている。距離信号を作るために、パルス
発信器３９がその変位に比例したパルスを発信する。

【００４６】図１においてパルス発信器３９は象徴的
に、目盛板３６のピッチで作動される光電バリヤ装置と
して実現されている。プローブ２１が較正基準１３から
持ち上がると実際の距離１７に比例する距離信号が作ら
れ、距離信号伝送線２５を介して記録装置２７に送られ
る。同様に、距離測定プローブ２１は、同じくプローブ
２１の実際の距離１７と共に変化するプローブ信号を発
信する。このプローブ信号は同様にプローブ信号伝送線
２３を介して記録装置２７に導かれる。

【００４７】このようにしてに、プローブの持ち上がっ
ている間殆ど常に、プローブ信号２２及びこれに関連し
た距離信号２４が記録装置２７に送られる。従って、プ
ローブ信号２２の経過はプローブ２１と較正基準１３の
平滑で光沢のある表面との定まった、実際の距離１７の
関数としてプローブ特性３１として記録される。

【００４８】この記録装置２７はメモリを備えたコンピ
ュータ２９を有している。記録装置２７のメモリには上
記のプローブ特性３１がファイルされる。この特性３１
の記録は、プローブ２１が較正基準１３の表面から最大
距離１９に達し、プローブ２１の上昇が終ることで終了
する。

【００４９】較正が終了した後、距離測定プローブ２１
は、非均質性３を測定するために原子炉構造部品の表面
９の道程１１に沿って始発点Ｓから終点Ｅまで動かされ
る。その場合、このプローブ２１は原子炉構造部品１の
表面９から一定の距離にある。この例ではプローブ２１
の端面は平らな構造部品の表面に直接載置される。

【００５０】原子炉構造部品１の表面９における道程１
１に沿ってプローブが通過する間、この距離測定プロー
ブ２１は原子炉構造部品１の表面９における非均質性３
の空間的な広がりを、図１に示されるように、非均質性
３の変化する層厚７として感知する。非均質性３のこの
層厚７は、原子炉構造部品１の表面９に対して垂直に非
均質性３と母材５との間の限界面にまで延びている。

【００５１】非均質性３の層厚７の変化に応じて、プロ
ーブが道程１１に沿って通過する間、プローブ信号２２
も変化する。このプローブ信号２２は、常に、実際の層
厚７に対して、必要な測定精度の範囲で、プローブの較
正の際に層厚７と一致して得られた距離１７に対して作
られたプローブ信号と一致する。それ故、プローブ特性
３１により層厚７に対して作られたプローブ信号２２に
は、層厚を決定する距離１７が対応する。プローブ特性
３１によるプローブ信号２２の評価は、記録装置２７の
メモリの中のプローブ特性３１をアクセスするコンピュ
ータ２９において行われる。それ故、非均質性の空間的
な広がりは、図１に原子炉構造部品１の表面９に対して
垂直な方向の空間的な広がりとして示されているよう
に、プローブが通過した道程１１に関係して決定され
る。

【００５２】図２には代表的なプローブ特性４１が示さ
れている。このプローブ特性４１は較正によって求めら
れたプローブ信号Ｕ（ここではｍＶで表した電圧Ｕ）の
経過を定まった実際の離間距離Ｄ（ここでＤはμｍ）の
関数として示している。較正方法によりこのプローブ特
性は較正点５５の密接した連続からなり、この較正点は
非常に密に接しているので、殆どプローブ特性を決定す
る。この較正点５５の密接した連続をプローブ特性を内
挿するための内挿点として利用すれば、最初に記述した
従来の技術による方法に従ってたった３つの内挿点４９
で行われたプローブ特性５７より遙に正確なプローブ特
性が得られる。

【００５３】特に、図２は、この発明がプローブ２１の
較正を、従来の技術による方法に従って可能であったよ
りも、遙に大きな距離範囲Ｄにわたって可能とすること
を示している。この発明によれば、プローブ２１の正確
な較正がプローブ特性４１の直線範囲５１においても、
またプローブ特性４１の非直線範囲５３においても可能
である。従来の技術の方法による特性５７とこの発明に
よる方法の特性４１との比較が示すように、従来の技術
による方法はプローブ特性４１の非直線範囲において基
本的に誤った結果を出している。従来の技術による直線
特性５７は範囲５３においてプローブ特性４１の実際の
非直線の経過に追従していない。

【００５４】図３には燃料棒６５の表面９に起こり得る
非均質性３の形状を例示する。非均質性３のこの形状は
厚さ６７の変化する酸化膜６３である。酸化膜６３の膜
厚は、プローブを燃料棒の光沢のある表面６４の平滑な
範囲から持ち上げ、これにより較正し、次いで酸化膜６
３の測定のために表面から一定距離の道程６１に沿って
動かすことによって、円周角に関係して測定される。こ
れとは異なり、酸化膜の測定は、プローブ２１を燃料棒
６５の表面９から一定距離に保ち、燃料棒６５をプロー
ブの下で回転するようにして行うこともできる。

【００５５】図４に燃料棒における非均質性のその他の
可能な形状が示されている。この非均質性７０〜７３の
空間的な広がりの測定は、既に図３で説明したように行
うことができる。７３は表面に出た亀裂、７２は点状の
切り込み、７０は溝を示す。個所７１において（例え
ば、スペーサにおける摩擦によって）材料の一部が削り
取られている。これにより、元々のもしくは理想的な状
態、即ち一点鎖線で示された表面輪郭線７４に相当する
状態に、母材のその上を覆う層で覆われていた、下にあ
った母材が露出した。距離測定プローブはこの露出した
材料までの距離を検知し、その際、この実際に得られた
距離と元々のもしくは理想的な状態における距離との差
がこの剥離の層厚とされる。プローブは、図９において
なお説明するように、通常、理想的な表面に対してほぼ
一定距離で動かされるから、このプローブでこのような
材料の剥離が測定される。

【００５６】図３及び図４は燃料棒をその長軸に対して
垂直な断面で示したが、図５においては燃料棒６５をそ
の長軸に沿った平面で示す。非均質性７１、７９、６
３、７５の空間的な広がりの測定は、この発明の方法の
異なる実施例により、燃料棒６５の長軸に対して平行な
道程Ｈに沿って行われる。その場合、燃料棒における材
料の剥離７１或いは穴７９或いは酸化膜６３、或いはま
た亀裂８１が測定される。この発明による方法は酸化レ
ンズ７５或いは母材５の元々の体積を越えて突出する同
様な酸化膜の測定にも、例えば母材の酸化物が母材自体
よりも大きな体積をとるので適している。酸化は著しく
温度に関係するから、炉心の最低温度域にある燃料棒の
下端の蓋は通常平滑で光沢がある。従って、上記の方法
のこの実施例によれば、プローブ２１の較正は燃料棒の
脚部分８３を較正基準として行われる。プローブ２１
は、このために平滑で光沢のある表面８３、即ち較正基
準８３から離間道程８５に沿って持ち上げられ、プロー
ブ特性を記録される。

【００５７】図６は、燃料棒の表面における酸化膜を、
測定されたプローブ信号とその前に取られた特性とによ
り測定した結果を示す。酸化膜Ｄはμｍの単位で燃料棒
における軸方向位置Ｈの関数として示されている。燃料
要素においてスペーサが座っている範囲９４は測定から
除かれている。特に図６は、燃料棒の脚部分には酸化膜
が存在していないことを示している。この脚部分８３は
それ故較正基準として利用できる。

【００５８】図７は、従来の技術による方法のために利
用され、原理的にはこの実施例においても較正基準とし
て使用することができそうな参照基準１０１を概略的に
示している。このような参照基準が測定される。既に説
明したように、このような参照基準１０１は、材料特性
が測定される燃料棒にほぼ一致している被覆管部分１０
３からなる。較正基準（即ち、被覆管部分１０３）に
は、薄い厚さ１１１（４μｍ）の箔１０５、中程度の厚
さ１１３（４０μｍ）の箔１０７、大きい厚さ１１５
（８０μｍ）の箔１０９が接着され、それら自体は領域
的に平滑で光沢のある表面１１７を形成している。図７
においてこれらの表示は尺度に忠実ではない。参照基準
の測定は、例えば、距離測定プローブをこの発明により
被覆管部分１０３の表面で較正し、この較正基準から一
定の距離にある道程６１に沿って動かされることにより
行われる。

【００５９】参照基準１０１の測定（図７）の結果１２
１が図８に示されている。プローブ信号（ｍＶ単位の電
圧Ｕ）は円周角の関数として、即ち図７における道程６
１に沿って距離測定プローブが通過する結果の関数とし
て取られている。測定曲線１２７に見られる平坦部１２
９は平坦で光沢のある範囲１０５、１０７、１０９に対
応している。この範囲の求められた厚さは、参照基準と
して挙げられた薄い厚さ（４μｍ）及び大きい厚さ（８
０μｍ）のそれに一致する。しかしながら、中程度の厚
さを持つ箔１０７の求められた中程度の厚さ１１３は、
参照基準で挙げられた４０μｍに代わって、３７μｍし
かない。それ故、この方法は従来の技術による方法によ
って可能であったよりも層厚を著しく正確に決める。

【００６０】図９は、燃料棒の表面における非均質性の
空間的な広がりを測定するために構成される有利な装置
を示す。燃料棒６５は材料の剥離７１を示し、燃料棒の
長軸に対して垂直な断面で示されている。材料の剥離７
１を測定するために、この装置１３１が燃料棒に載置さ
れる。この装置１３１は、孔と精密雌ねじ１３９とを備
えた台に載置されている距離測定プローブ２１を有して
いる。この雌ねじ１３９に係合している回転可能な精密
スピンドル１４３を介して、渦電流センサ２１が燃料棒
６５の表面に載置され、精密スピンドル１４３を回転す
ることにより燃料棒６５の表面から一定の距離に離され
る。

【００６１】精密スピンドル１４３は電動機１５３を介
して駆動され、この電動機の回転数はギア装置１５１に
よって変換され、例えばゴム被覆を介して連結輪１５５
に力結合している駆動輪１４９に伝達される。この連結
輪１５５の軸に沿って中心にスピンドル１４３が固定さ
れ、連結輪と共にスピンドル１４３は精密軸受け１５７
に支持されている。それ故、電動機の一定回転において
精密スピンドル１４３及び精密雌ねじ１３９を介して定
まったストロークがねじピッチに応じて渦電流センサ２
１に与えられ、従って渦電流センサは一定の距離で燃料
棒６５から離れる。

【００６２】このストロークを調整可能である最大振幅
は、この装置においては２つのここには示されていない
リミットスイッチにより規定される。これらは最大振幅
の間隔でスピンドル１４３に沿って取付けられている。
スピンドルによって連行される接点要素により第一のリ
ミットスイッチは、それがスピンドルによって第一のリ
ミットスイッチの高さに導かれたときに作動可能であ
る。これを介してスピンドルの回転が停止される。この
状態はスピンドル１４３の最大に移動可能な位置を、従
って燃料棒６５の表面からの距離測定プローブ２１の最
近距離を規定する。スピンドル１４３の逆回転方向に最
大振幅を通過した後第二のリミットスイッチが接点要素
によって作動可能となる。この状態はスピンドル１４３
の最大に近づく位置、従って燃料棒６５の表面から最も
遠くに離れている距離測定プローブ２１の位置を規定す
る。このようにして距離の制限された発信器が実現され
る。しかし、発信器はここに記載されたものと異なるよ
うにも形成することができる。

【００６３】この装置１３１の機械部分は場合によって
は周期的な、システム的な不正確の原因にもなる。これ
らの不正確さは、例えば精密スピンドル１４３を回転す
る際に、また精密雌ねじ１３９の回転部分により発生
し、スピンドル１４３の回転当たり１〜５周期を持って
いる。プローブ特性は、この不正確さを検知する参照測
定が行われることにより、このような小さなシステム的
不正確さを取除かれる。このために、プローブ２１が精
密スピンドル１４３により移動した際の実際の距離１７
が一方では装置１３１における距離測定手段３７の距離
信号２４を介して、他方では正確に検定された変位セン
サ（例えば、光学的変位センサ）を介して記録される。
２５０ｎｍ以下の測定誤差を持つ正確に検定された変位
センサは市販されている。参考測定において距離信号２
４は基準道程を検出するが、正確に検定された変位セン
サは、精密スピンドル１４３からプローブ２１の運動に
伝達される全ての不正確さをも検知する。この不正確さ
は凡そμｍ範囲にあり、従って実際の距離１７に対する
比で１０^-３或いはそれ以下にある。このようにして得
られた参照特性と装置１３１の距離測定手段３７によっ
て求められた距離信号２４との差からエラー特性が得ら
れる。この特性は例えば参照特性を距離信号２４から減
算することにより形成される。

【００６４】場合によっては、上記のエラー特性はデジ
タルに記憶され及び／又は付加的に処理され或いはフー
リエ変換される。プローブ特性３１を修正するために、
その場合、エラー特性は例えばコンピュータ２９のメモ
リから引き出され、プローブ特性３１から差し引かれ
る。場合によっては、プローブ特性３１はまたフーリエ
変換され、次いで修正がフーリエ空間においてフーリエ
変換されたエラー特性を介して行われる。プローブ特性
３１はそれ故フーリエ空間においても修正することがで
きる。

【００６５】特に、エラー特性は、プローブ特性３１に
おいてエラー特性により修正される、プローブ２１の移
動の際のシステム的なエラーを表示する。

【００６６】これとは異なり、プローブ特性３１はデジ
タル処理により修正し、これにより参照測定を回避する
こともできる。このために、プローブ特性３１は先ず較
正のために記録される。上記のエラーは実際の距離１７
に比して最高でも１０^-３の相対振幅成分しか持ってい
ないから、このプローブ特性３１は例えば隣接の較正点
５５を知ることにより或いは他の方法で平坦化すること
ができる。例えば、フーリエフィルターをプローブ特性
３１の平坦化に利用することもできる。この平坦化され
たプローブ特性３１は、その場合、較正のために非均質
性のその後の測定に役立ち、しかしまた参照特性として
も利用できる。

【００６７】距離信号２４を作るためにはパルス発信器
３９が使われる。この発信器は例えば電動機軸に連結さ
れた孔明き円板１５９の回転を評価し、かくしてスピン
ドルの回転、従って渦電流センサ２１のストロークもし
くは離間距離に比例するパルス列を生ずる。プローブ信
号２２は線路２３を介して、距離信号２４は線路２５を
介して記録装置２７に伝達される。この記録装置２７は
プローブ信号及びセンサ信号をプローブ特性３１を考慮
して評価するためのコンピュータ並びにプローブ特性３
１を記憶するためのメモリ及びプローブ特性３１を表示
する或いは例えば非均質性の空間的な広がりを表示する
ための出力装置を有している。

【００６８】例えば、スピンドル１４３は５００μｍの
ストロークを持ち、精密雌ねじ１３９は１：５００の伝
達比を持つように設定される。１６の間隔で各１回転を
走査する際に、場合によっては、それに続く内挿によっ
て１０〜２０ｎｍの範囲の理論的精度がもたらされる。
このような装置１３１における統計的測定精度はその場
合数１００ｎｍの範囲に、特に約５００ｎｍにある。

【００６９】距離測定プローブ２１を持ち上げるため
に、距離測定プローブ２１はリフトガイド１４５によっ
て装置の案内シュー１３３に支持され、ばね１４１によ
り精密雌ねじ１３９は精密スピンドル１４３に付勢され
て保持されている。上記の案内シュー１３３は測定され
る原子炉構造部品に適合している形状を持つのがよい。
図９によればこの案内シュー１３３は距離測定プローブ
２１のための開口を備えた凹面円筒状の湾曲部を、さら
に距離測定プローブ２１を燃料棒に案内するためのスペ
ーサ１３７、例えばサファイアを持っている。この湾曲
部とサファイアとは、スペーサが燃料棒の表面と測定プ
ローブとの間を殆ど一定にするように配置されている。
装置全体は案内シュー１３３を介してばね１３５によ
り、詳しく示されていない位置マニプレータの取付け部
１４７にカルダン式に支持されている。

【００７０】図１０はこの装置の異なる有利な実施例を
示す。その重要な部分は図９に説明された部分と一致す
るが、この実施例においては異なって配置されている。
この装置においては、距離測定プローブとして超音波検
出器１６９が使われ、これは持ち上げ動作を行うための
軸受け１６５で案内シューに支持されている。ギアと精
密雌ねじを備えた回転可能な円形部との間の力結合は、
この場合、Ｖベルト１６７により行われている。さら
に、この装置は、案内シューに特にその高さを調節可能
に支持されている案内輪１６１により、特に平坦な原子
炉構造部品の表面の道程１１に沿って動かされる。燃料
棒を測定するために、案内輪１６１は例えば燃料棒直径
に適合した円形の溝をその運動面に持つことができる。
この装置を送るために、図１０に示された有利な実施例
においては、駆動輪１６３を備えた駆動電動機が使用さ
れている。

【図面の簡単な説明】

【図１】非均質性を距離測定プローブを使用して測定
し、プローブ特性を求めるための方法の概略図。

【図２】この発明による方法により求めることのできる
プローブ特性図。

【図３】この発明による方法により表面における非均質
性の空間的な広がりを測定する燃料棒の表面における可
能な形状を示す概略断面図。

【図４】図３におけると同様に、燃料棒における非均質
性の異なる可能な形状を示す概略断面図。

【図５】図３及び４におけると同様に、燃料棒における
非均質性の異なる可能な形状を示す概略断面図。

【図６】燃料棒をその軸に沿って測定した結果を示す特
性図。

【図７】参照基準について説明するための概略図。

【図８】図７による参照基準の測定の結果を示す特性
図。

【図９】燃料棒の表面における非均質性の空間的な広が
りを測定するための装置の１つの実施例を示す概略図。

【図１０】燃料棒の表面における非均質性の空間的な広
がりを測定するための装置の異なる実施例を示す概略
図。

【符号の説明】

１ 原子炉構造部品 ３ 原子炉構造部品の表面における非
均質性、特に酸化膜或いは材料剥離 ５ 母材 ６ 母材の表面 ７ 原子炉構造部品に対して垂直方向
の非均質性の空間的な広がり、特に層厚 ９ 原子炉構造部品の表面 １１ 表面に沿った道程 Ｓ 表面に沿った測定始点 Ｅ 表面に沿った測定終点 １３ 較正基準 １５ 光沢のある面を備えた平滑な範囲 １７ 平滑で光沢のある表面面に対する
定義された実際の距離 １９ 最大距離 ２１ 距離測定プローブ、特に渦電流セ
ンサ ２２ プローブ信号 ２３ プローブ信号の伝送線 ２４ 距離信号 ２５ 距離信号の伝送線 ２７ 記録装置 ２９ メモリを備えたコンピュータ ３１ プローブ特性或いは非均質性の空
間的な広がり ３３ リフト装置 ３５ リフト方向 ３６ 目盛板 ３７ 距離測定手段 ３８ 指針 ３９ パルス発信器 ４１ プローブ特性 ４３ 定義された距離の関数としてのプ
ローブ信号 Ｄ 定義された距離 Ｕ プローブ信号 ４９ プローブ特性の内挿のための内挿
点としての較正点 ５１ 直線範囲 ５３ 非直線範囲 ５５ プローブ特性の内挿点として較正
点の連続点 ５７ 従来の技術による特性 ６１ 原子炉構造部品、特に燃料棒の表
面から一定間隔の平面的道程 ６３ 燃料棒の外側の表面における酸化
膜 ６４ 光沢のある面を備えた平滑な範囲 ６５ 燃料棒 ６７ 酸化膜の膜厚 ６９ 材料剥離の層厚 ７０ 溝 ７１ 材料剥離 ７２ 切り込み ７３ 亀裂 ７４ 理想的な表面の仮想線 ７５ 本来の母材を越えて出ている酸化
膜 Ｈ 燃料棒の長軸に沿った道程 ７９ 穴 ８１ 燃料棒の亀裂 ８３ 較正基準 ８５ 離間距離 Ｄ 酸化膜の膜厚 １０１ 参照基準 １０３ 較正基準、被覆管部片 １０５ 厚さの薄い薄膜 １０７ 厚さの中程度の薄膜 １０９ 厚さの厚い薄膜 １１１ 薄い厚さ、例えば４μｍ １１３ 中程度の厚さ、例えば４０μｍ １１５ 厚い厚さ、例えば８０μｍ １１７ 領域的に平滑で光沢のある範囲 １２１ 図７による参照基準の測定結果 １２３ 較正基準の円周成分に相当する水
平面の道程 １２７ 図５による参照基準に対する測定
曲線 １２９ この発明の方法による正確な特性
に応じて求められた参照基準における厚さ １３１ 非均質性の空間的に測定する装置 １３３ カルダン式に支持された案内シュ
ー １３５ ばね １３７ スペーサ、燃料棒上を案内するた
めのサファイア １３９ 精密雌ねじ １４１ ばね １４３ 精密スピンドル １４５ 持ち上げガイド １４７ 位置マニプレータとの接続 １４９ 駆動輪 １５１ ギア １５３ 電動機 １５５ 連結輪 １５７ 精密軸受け １５９ 孔明き円板 １６１ 案内輪 １６３ 駆動輪 １６５ 軸受け １６７ Ｖベルト １６９ 超音波検出器 １７１ 高さ調整

Claims (16)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】原子炉構造部品（１）の表面（９）の非均
   質性（３）を距離測定プローブ（２１）を使用して測定
   するに当たり、第一の工程においてこの距離測定プロー
   ブの較正のためにプローブ特性（３１）を求め、第二の
   工程において距離測定プローブ（２１）をある道程（１
   １）に沿って表面（９）上を一定距離で動かし、非均質
   性の広がりをこの道程（１１）とプローブ特性（３１）
   によって評価されるプローブ信号とから決定することに
   より、非均質性の測定を行う方法において、距離測定プ
   ローブ（２１）がプローブ特性（３１）を求めるために
   平滑で光沢のある表面（１５）と、その面からの最大距
   離（１９）との間で動かされ、その間殆ど常時、平滑で
   光沢のある表面（１５）からの実際の距離（１７）及び
   プローブ信号（２２）が記録されることを特徴とする原
   子炉構造部品の表面の非均質性測定方法。
2. 【請求項２】原子炉構造部品（１）及び平滑で光沢のあ
   る表面（１５）が原子炉の容器の水中にあることを特徴
   とする請求項１に記載の方法。
3. 【請求項３】距離測定プローブ（２１）と平滑で光沢の
   ある表面（１５）との間の距離（１７）がステップ状に
   変えられ、この各ステップ毎に実際の距離（１７）と、
   その都度それに対応するプローブ信号（２２）とが記録
   されることを特徴とする請求項１又は２に記載の方法。
4. 【請求項４】プローブ特性（３１）がシステム的なエラ
   ーに関してエラー特性により修正されることを特徴とす
   る請求項１乃至３の１つに記載の方法。
5. 【請求項５】参照測定及び／又はプローブ特性（３１）
   のデジタル処理により参照特性が、次いでこの参照特性
   と実際の距離（１７）との差が求められ、これによりエ
   ラー特性が求められることを特徴とする請求項４に記載
   の方法。
6. 【請求項６】原子炉構造部品（１）における光沢のある
   表面（１５）を備えた平滑な範囲そのものが較正基準と
   して使用されることを特徴とする請求項１乃至５の１つ
   に記載の方法。
7. 【請求項７】平滑で光沢のある表面（１５）が光沢のあ
   る表面と原子炉構造部品と実際上同一の材料特性とを持
   つ平滑な構造部品の一部分であり、較正基準として使用
   されることを特徴とする請求項１乃至６の１つに記載の
   方法。
8. 【請求項８】距離測定プローブ（２１）として位置検出
   センサが使用されることを特徴とする請求項１乃至７の
   １つに記載の方法。
9. 【請求項９】非均質性（３）として、母材上の酸化膜
   （６３）或いは母材の表面における材料の剥離（７１）
   或いは原子炉構造部品の表面から出ている亀裂（７３）
   が測定されることを特徴とする請求項１乃至８の１つに
   記載の方法。
10. 【請求項１０】距離測定プローブ（２１）がパルス発信
    器（３９）を含むリフト装置（３３）により平滑で光沢
    のある表面（１５）から持ち上げられ、その際このパル
    ス発信器が変位に比例したパルス（２４）を発信するこ
    とを特徴とする請求項１乃至９の１つに記載の方法。
11. 【請求項１１】最大距離（１９）が１０ｍｍまでである
    ことを特徴とする請求項１乃至１０の１つに記載の方
    法。
12. 【請求項１２】導電性の母材（５）上の電気的に殆ど非
    導通の層（３）を測定するために適用される請求項１乃
    至１１の１つに記載の方法。
13. 【請求項１３】原子炉燃料要素の構成部品に適用される
    請求項１２に記載の方法。
14. 【請求項１４】一定の高さの段によって互いに境されて
    いる、領域的に平滑で光沢のある表面を持つ参照基準
    （１０１）を測定するために適用される請求項１乃至１
    １の１つに記載の方法。
15. 【請求項１５】原子炉構造部品の表面に載置可能なスペ
    ーサ（１３７）及び送り装置（１６３）によりその表面
    上の一定の距離で１つの道程に沿って運動可能な距離測
    定プローブ（２１）と、この距離測定プローブ（２１）
    の信号とメモリから取り出すことのできる特性（３１）
    とから、この距離測定プローブの位置における非均質性
    の、前記表面に対してほぼ垂直な広がり（７）を決定す
    ることのできるコンピュータ（２９）と、距離測定プロ
    ーブを平滑で光沢のある表面とその表面からの最大距離
    との間で移動させるための移動装置（３３）と、この移
    動に際して前記表面からの実際の距離と距離測定プロー
    ブの信号（２２）とをプローブ特性としてメモリに記憶
    することのできる記録装置（２７）とを備えていること
    を特徴とする原子炉構造部品の表面の非均質性測定装
    置。
16. 【請求項１６】記録装置（２７）がメモリを備えたコン
    ピュータ（２９）を含むことを特徴とする請求項１５に
    記載の装置。