JP2000186999A

JP2000186999A - 光学情報計測装置

Info

Publication number: JP2000186999A
Application number: JP11272571A
Authority: JP
Inventors: Hideo Kusuzawa; 英夫楠澤; Yasuyuki Imura; 泰之井邨; Hironori Kobayashi; 弘典小林; Masaki Ishizaka; 正樹石坂
Original assignee: Sysmex Corp
Current assignee: Sysmex Corp
Priority date: 1998-10-15
Filing date: 1999-09-27
Publication date: 2000-07-04

Abstract

(57)【要約】【課題】構成する各種光学素子の位置決めが容易で、
光学素子の配置密度が高く、小型で可搬性に富む光学情
報計測装置を提供すること。【解決手段】複数の光を出射可能な光源部と、光源部
からの複数の光を対象物へ導いて対象物に供する導光部
と、対物レンズと、対象物からの光を対物レンズを介し
てそれぞれ受光する複数の受光部と、前記光源部、導光
部、対物レンズ及び受光部を含む複数の光学素子を一体
的に搭載するフレーム部を備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は光学情報計測装置
に関し、例えば撮像機能付き粒子分析装置（イメージン
グフローサイトメータ）として好適に使用可能な装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の撮像機能付き粒子分析装置は、粒
子検出系および撮像系の各光学素子を２次元の光学定盤
上に設置し、各光学素子について位置決めを行う、つま
り、定盤に対する位置，光軸の向き，高さ，平行度など
を調整するように構成されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
このような装置においては、多くの光学素子が２次元光
学定盤上に分散して設置されるため装置全体が大型化
し、可搬性に欠け、また各光学素子の位置決めが容易で
ないという問題点があった。この発明はこのような事情
を考慮してなされたもので、小型化され可搬性に富む光
学情報計測装置を提供するものである。また、光学素子
の位置決めを容易にし高精度化するものである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】この発明は、複数の光を
出射可能な光源部と、光源部からの光を対象物へ導いて
対象物に供する導光部と、対物レンズと、対象物からの
光を対物レンズを介してそれぞれ受光する複数の受光部
と、前記光源部、導光部、対物レンズ及び受光部を含む
複数の光学素子を一体的に搭載するフレーム部を備える
光学情報計測装置を提供するものである。ここで一体的
にと言うのは、複数の光学素子が光学的に位置決めされ
た状態で光学情報計測装置が可搬性を有するように構成
されるということである。

【０００５】

【発明の実施の形態】この発明の光源部は、互いに波長
の異なる光を出射する複数の光源を備えてもよく、その
光源にはレーザダイオード、パルスレーザダイオード、
ＬＥＤなどを用いることができる。光源部は第１波長を
有する光を出射する第１光源および第２波長を有する光
を出射する第２光源を備え、受光部は対象物からの第１
波長の光を受光する第１受光素子と、対象物からの第２
波長の光を受光する第２受光素子を備えてもよい。この
とき、第１光源が連続発光レーザ光源、例えばレーザダ
イオードであり、第２光源がパルス発光レーザ光源、例
えばパルスレーザダイオードであってもよい。また、第
１受光素子は光の強度を検出する受光素子であってよ
く、第２受光素子は対象物の像を撮像する撮像素子であ
ってよい。第１および第２受光素子により対象物から２
種類の光学情報を得ることができる。なお、この発明に
おいて、受光部から得られる光学情報は、パーソナルコ
ンピュータのような情報処理装置によって処理され、計
測データに変換される。

【０００６】光源部から対象物に供する光は、波長が異
なる場合もあるし、光の照射形態が異なる場合もある。
対象物に供する光は、対物レンズの光軸と同軸の複数の
輪帯光を含むことができる。このようなタイプの照射に
することにより他のタイプの照明と比べてバックグラン
ド光等の不要な光を少なくすることができ、より小さな
対象物まで明瞭に検出あるいは撮像できる。具体的に
は、光源部は、光の入射部と出射部を備える導光素子
と、導光素子の光軸の回りに配置される複数の光源と、
各光源からの光を入射部に導く集光素子と、出射部から
の光を輪帯光に変換する変換素子により構成することが
できる。そして光源をレーザ光源とし、導光素子をレー
ザ光のコヒーレンスを低下させるコヒーレンス低下素
子、例えば光ファイバーとしてもよい。

【０００７】光源部から対象物に供する光は、対物レン
ズの光軸を中心とする光路を通ってもよい。また、例え
ば、光源部が、第１、第２および第３波長を有する光を
それぞれ出射する第１、第２および第３光源を備え、導
光部は第１および第２波長のレーザ光を輪帯光に変換し
て対物レンズの外側から対象物へ導く光学素子と、第３
波長の光を対物レンズを介して対象物へ導く光学素子と
を備え、受光部は対象物からの第１波長の光を受光する
第１受光素子と、対象物からの第２および第３波長をそ
れぞれ受光する第２および第３受光素子とを備えてもよ
い。この場合には対象物からさらに多くの光学情報を得
ることができる。第３受光素子は対象物の像を撮像する
撮像素子であってもよい。

【０００８】この発明の導光部は、レンズ、平面ミラ
ー、リング状平面ミラー、リング状凹面ミラー、円錐ミ
ラー、ダイクロイックミラー、およびそれらの組合せな
どを含む。導光部は、光源部からの光を対物レンズの外
側から対象物へ導く素子を備えてもよいし、光源部から
の光を対物レンズを介して対象物へ導く素子を備えても
よい。また、導光部は、光源部からの光を輪帯光に変換
し対物レンズの外側から対象物へ導く素子を備えてもよ
い。

【０００９】受光部は、例えばＣＣＤのような撮像素子
や、フォトダイオードやフォトマルチプライヤチューブ
のような光検出素子を含む。受光部は、対象物からの光
の強度を検出する光検出素子と、対象物の像を撮像する
撮像素子とを備えてもよい。

【００１０】フレーム部が、複数の光学素子を搭載する
ための複数のブロック部材と、ブロック部材が間隔を有
して配列するようにブロック部材を連結する連結部材を
備えることがより好ましい。位置決めの容易化、高精度
化の観点から、フレーム部が、複数のブロック部材と、
ブロック部材が所定間隔を有して配列するようにブロッ
ク部材に貫通してブロック部材を固定するシャフト部材
を備えることがより好ましい。

【００１１】フレーム部が外周面と中空部とを有し、光
源部が前記外周面に、導光部と対物レンズと受光部とが
中空部内にそれぞれ搭載されてもよい。フレーム部が外
周面と細長い中空部とを有し、光源部と受光部とが前記
外周面に、導光部と対物レンズとが中空部内にそれぞれ
搭載されてもよい。フレーム部が、複数のブロック部材
と、それらを連結する連結部材からなり、光源部と、導
光部と、対物レンズと受光部などの光学素子が、それぞ
れ対応するブロック部材に搭載されてもよい。

【００１２】フレーム部に連結される補助フレーム部
と、対象物を設置するための設置部とをさらに備え、設
置部が補助フレーム部に搭載されてもよい。対象物に光
を供する第２光源部をさらに備え、第２光源部が、補助
フレーム部に搭載され、かつ、設置部を間にして対物レ
ンズと対向するよう配置されてもよい。補助フレーム部
を、前記フレーム部のブロック部材に貫通し固定するた
めに用いる複数本のシャフト部材で共通に構成すること
ができる。

【００１３】フレーム部に用いるブロック部材には、例
えば正方形又は矩形状の平板（プレート）が用いられる
が、円形やＬ字形やコの字形の平板を用いることもでき
る。また、平板に限らずさらに複雑な形状のものであっ
てもよい。ブロック部材の材料には軽量化の点から金属
ではアルミニウムを用いることが好ましい。硬質な樹脂
（例えばＡＢＳ）を用いることも可能である。また、シ
ャフト部材には例えば、市販のステンレス鋼製の丸棒を
用いることができる。

【００１４】各ブロック部材は複数本のシャフト部材を
平行に貫通させる貫通孔を有するが、この貫通孔は複数
枚のブロック部材を重ね合わせて各ブロック部材に同時
に穿孔（ドリル加工）されることが好ましい。それによ
って貫通孔の位置の精度が向上する。フレーム部の強度
確保の点からシャフト部材は３本以上設けることが好ま
しい。各ブロック部材をシャフト部材に固定するには、
例えば、ブロック部材の側面からシャフト部材を押圧す
るネジを用いて固定してもよいし、シャフト部材上でブ
ロック部材を両側から挟みつける部材をシャフト部材に
固定するようにしてもよい。

【００１５】１つのブロック部材が開口部を有し、対物
レンズは光軸がシャフト部材に平行になるようにその開
口部に装着されることが好ましい。それによって、光源
部や受光部をブロック部材に装着する場合にそれらの光
軸の方向付けや位置決めが容易になる。少なくとも１つ
のブロック部材がシャフト部材に平行な側面を有し、光
源部がその側面に設置され、受光部が他のブロック部材
に装着されてもよい。

【００１６】少なくとも１つのブロック部材がシャフト
部材に平行な側面を有し、受光部がその側面に設置され
てもよい。対物レンズからの光を受光部へ導くミラーを
さらに備え、そのミラーが１つのブロック部材に装着さ
れてもよい。光源部からの光を対物レンズへ導くミラー
をさらに備え、そのミラーが１つのブロック部材に装着
されてもよい。

【００１７】１つのブロック部材に装着されるリング状
ミラーをさらに備え、光源部が輪帯光を照射する光源か
らなり、リング状ミラーが光源部からの輪帯光を対物レ
ンズの外周に導いてもよい。対物レンズと受光部との間
の光路中に結像レンズをさらに備え、結像レンズが１つ
のブロック部材に装着されてもよい。対象物を設置する
ための設置部と、フレーム部へ前記シャフト部材に平行
に離脱可能に装着される補助シャフト部材をさらに備
え、その設置部が補助シャフト部材によりフレーム部に
連結されてもよい。

【００１８】第２光源部をさらに備え、第２光源部の光
が対象物を透過し対物レンズを介して受光部に受光され
るように第２光源部が補助シャフト部材により設置部に
連結されてもよい。ブロック部材がシャフト部材に平行
に穿孔された中央貫通孔を有し、対物レンズが中央貫通
孔の１つに設けられ、光源から対象物への光路と、対象
物から受光部への光路とが中央貫通孔の少なくとも１つ
を通るように、光源部と導光部と受光部とがフレーム部
に搭載されてもよい。

【００１９】実施例以下図面に示す実施例に基づいて発明を詳述する。これ
によってこの発明が限定されるものではない。図１はこ
の発明の光学情報計測装置の全体構成を示す斜視図であ
り、本体２１は第１ユニット（フレーム部）２４と第２
ユニット（光源部）２５と第３ユニット（受光部）２６
とを備える。さらに、本体２１には、対象物を設置する
ための第４ユニット（設置部）２２と、第５ユニット
（第２光源部）２３とが、４本の補助シャフトＳ１〜Ｓ
４（断面：直径６ｍｍの円形）によって離脱可能に連結
されている。補助シャフトＳ１〜Ｓ４は補助フレーム部
を構成する。

【００２０】第１ユニット（フレーム部）２４の構成図２はフレーム部２４の断面図であり、図３はフレーム
部２４が備えるフレーム２７の斜視図である。これらの
図に示すように、フレーム２７は、７枚の長方形の板状
のブロック部材（以下、プレートという）Ｐ１〜Ｐ７
（５８ｍｍ×５４ｍｍ）と４本の連結部材（以下、主シ
ャフトという）Ｌ１〜Ｌ４（断面：直径３ｍｍの円形）
を備える。主シャフトＬ１〜Ｌ４は、プレートＰ１〜Ｐ
７を実質的に垂直に貫通し、プレートＰ１〜Ｐ７は所定
の間隔を有して互いに平行に配列されシャフトＬ１〜Ｌ
４に固定される。なお、プレートＰ１〜Ｐ７にはそれら
が主シャフトＬ１〜Ｌ４によって固定される前に、必要
な光学素子がそれぞれ次のように装着される。

【００２１】まず、プレートＰ１は図４に示すように長
方形状の平坦な板であり、中央に円形状の開口Ｑ１を備
え、開口Ｑ１の周りに補助シャフトＳ１〜Ｓ４（図１）
をそれぞれ挿入するための穴Ｈ１〜Ｈ４と、主シャフト
Ｌ１〜Ｌ４（図３）をそれぞれ貫通させるための穴Ｊ１
〜Ｊ４とを有する。開口Ｑ１に第１光学素子部２８が固
定される。

【００２２】第１光学素子部２８は、図５に示すよう
に、外筒２９，内筒３０，内面反射円錐ミラー３１，対
物レンズ３２，透光性リング３３，対物レンズ固定用の
カラー３４，押えリング３５およびナット３６〜３８を
備える。

【００２３】内筒３０の先端には内面反射円錐ミラー３
１が接着され、内筒３０が外筒２９の先端から挿入さ
れ、内筒３０に形成された外ネジが外筒２９の先端に形
成された内ネジに係合する。そして、プレートＰ１の開
口Ｑ１に外筒２９の後端が挿入され、ナット３６を外筒
２９の後端外周に形成された外ネジに係合させて締め付
けることにより外筒２９がプレートＰ１に固定される。

【００２４】一方、カラー３４の内周面に形成された内
ネジに対物レンズ３２の後端の外ネジが係合された後、
カラー３４の外周に透光性リング３３がはめ込まれ、ナ
ット３７をカラー３４の外ネジに係合させて締め付ける
ことにより透光性リング３３がカラー３４に固定され
る。

【００２５】外筒２９の後端から対物レンズ３２が挿入
され、外筒２９の内面に突出する突出部２９ａに透光性
リング３３が当接した状態で押えリング３５が外筒２９
の後端に挿入され、ナット３８を外筒２９の後端の外ネ
ジに係合させて締め付けることにより透光性リング３３
が突出部２９ａに固定される。このようにして、対物レ
ンズ３２、透光性リング３３，内面反射円錐ミラー３１
を備える第１光学素子部２８が開口Ｑ１と同軸になるよ
うプレートＰ１に固定される。

【００２６】次に、プレートＰ２は図６に示すように長
方形状の平坦な板であり、中央に円形状の開口Ｑ２を備
え、開口Ｑ２の周りに補助シャフトＳ１〜Ｓ４（図１）
挿入用の穴Ｈ１〜Ｈ４と、主シャフトＬ１〜Ｌ４（図
３）貫通用の穴Ｊ１〜Ｊ４とを有する。そして、図７に
示す第２光学素子部４１が次のようにして組立てられ開
口Ｑ２に固定される。

【００２７】まず、軸心に対して４５度の切り口を先端
に有する円筒部材４２の先端にリング状ミラー４３が接
着される。次に、軸心に対して４５度の切り口を先端に
有する円筒部材４４に対して、その切り口にダイクロイ
ックミラー４５が接着される。円筒部材４４の内部には
集光レンズ４６が挿入され外ネジ付き円筒部材４７が円
筒部材４４の内ネジに係合されて締め付けられ、レンズ
４６が固定される。

【００２８】そして、円筒部材４４は円筒部材４２に予
め垂直に形成された貫通穴に挿入され図７に示す位置で
接着される。この時、円筒部材４２と４４は軸心が直角
に交差する。なお、円筒部材４４は円形の開口４８を備
え開口４８の中心は円筒部材４２の軸心に一致する。

【００２９】また、円筒部材４９が円筒部材４２に予め
垂直形成された貫通穴に挿入される。円筒部材４９は軸
心が円筒部材４２の軸心に交差するように円筒部材４２
を貫通する。円筒部材４９には円筒部材５０が挿入さ
れ、円筒部材５０の先端に４５度に形成された切り口に
ハーフミラー５１が接着される。

【００３０】さらに、円筒部材５０の内部にはレンズ５
２と撮像素子であるＣＣＤボードカメラ５３がリング５
４と外ネジ付きワッシャ５５により固定される。また、
円筒部材４９の下端にはビームエキスパンダ５６が設置
される。円筒部材４９と５０は円筒部材４２の軸心と同
軸となる円形開口５７，５８，５９を有する。

【００３１】円筒部材４２の後端内周に形成された内ネ
ジに対物レンズ６０の端部外周に形成された外ネジが係
合された後、円筒部材４２は後端がプレートＰ２の開口
Ｑ２に挿入され、ナット６１によりプレートＰ２に固着
される。この時、円筒部材４２，対物レンズ６０および
開口Ｑ２は互いに同軸となる。

【００３２】なお、第２光学素子部４１のダイクロイッ
クミラー４５には波長６３５ｎｍの光を反射し、波長７
８０ｎｍ，８８０ｎｍの光を透過させるものを用いてい
る。また、ＣＣＤボードカメラ５３には４分の１インチ
サイズのものを用いている。

【００３３】次に、第３光学素子部６２が図８と図９に
示すようにプレートＰ３とＰ４に設置される。プレート
Ｐ３は図８に示すように長方形状の平坦な板であり、中
央に方形状の開口Ｑ３を備え、開口Ｑ３の周りに補助シ
ャフトＳ１〜Ｓ４（図１）挿入用の穴Ｈ１〜Ｈ４と、主
シャフトＬ１〜Ｌ４（図３）貫通用の穴Ｊ１〜Ｊ４とを
有し、下辺に切欠き部Ｃを備える。なお、プレートＰ４
もプレートＰ３と同等の形状を有し、同等の開口と穴と
切り欠き部を備える。

【００３４】撮像素子である２分の１インチサイズのＣ
ＣＤボードカメラ６３が保持板６４に装着され、保持板
６４はプレートＰ３，Ｐ４の開口Ｑ３，Ｑ４の上部内壁
面に図示しないビスにより固定される。プレートＰ３，
Ｐ４の切り欠き部Ｃに保持板６５が設置され、図示しな
いビスによりプレートＰ３，Ｐ４の下部側面に固定され
る。

【００３５】保持板６５の上面に保持具６６が固定さ
れ、保持具６６の上に平面ミラー６７が接着される。ま
た、プレートＰ４のプレートＰ３に対向する面には、平
面ミラー６８を保持した保持具６９が図示しないビスに
より固定される。

【００３６】次に、第４光学素子部７０が図１０と図１
１に示すようにプレートＰ５に設置される。プレートＰ
５は図１０に示すように長方形状の平坦な板であり、中
央に円形状の開口Ｑ５を備え、開口Ｑ５の周りに補助シ
ャフトＳ１〜Ｓ４（図１）挿入用の穴Ｈ１〜Ｈ４と、主
シャフトＬ１〜Ｌ４（図３）貫通用の穴Ｊ１〜Ｊ４とを
備える。

【００３７】プレートＰ５の開口Ｑ５には円筒部材７１
がカラー７２を介して固定される。円筒部材７１の先端
は軸心に対して４５度の切り口を有し、その切り口にダ
イクロイックミラー７３が接着される。

【００３８】次に、第５光学素子部７４が図１２と図１
３に示すようにプレートＰ６に設置される。プレートＰ
６は図１２に示すように長方形状の平坦な板であり、中
央に方形状で上部がプレートＰ６の外周面に達する開口
部Ｑ６を備え、開口部Ｑ６の周りに補助シャフトＳ１〜
Ｓ４（図１）挿入用の穴Ｈ１〜Ｈ４と、主シャフトＬ１
〜Ｌ４（図３）貫通用の穴Ｊ１〜Ｊ４とを備える。

【００３９】撮像素子である４分の１インチサイズのＣ
ＣＤボードカメラ７５が保持板７６に装着され保持板７
６はプレートＰ６の表面と裏面とに図示しないビスで固
定される。また、開口Ｑ６の下部内壁面には、保持具７
７が固定され、保持具７７の上に平面ミラー７８が装着
される。

【００４０】次に、第６光学素子部７９が図１４と図１
５に示すようにプレートＰ７に設置される。プレートＰ
７は図１４に示すように長方形状の平坦な板であり、中
央に円形状の開口Ｑ７を備え、開口Ｑ７の周りに補助シ
ャフトＳ１〜Ｓ４（図１）挿入用の穴Ｈ１〜Ｈ４と、主
シャフトＬ１〜Ｌ４（図３）貫通用の穴Ｊ１〜Ｊ４とを
備える。

【００４１】プレートＰ７の開口Ｑ７には円筒部材８０
がカラー８１を介して固定される。円筒部材８０の先端
は軸心に対して傾斜した切り口を有し、その切り口に平
面ミラー８２が接着されている。なお、カラー８１はナ
ット８３をカラー８１の外ネジに係合させることにより
プレートＰ７に固定される。

【００４２】なお、プレートＰ１〜Ｐ７の加工時には、
プレートＰ１〜Ｐ７に対応する厚さの７枚のアルミニウ
ム板が重ねられて各側面が同時に切削され、５８ｍｍ×
５４ｍｍの外形寸法を有するように仕上げられる。ま
た、穴Ｈ１〜Ｈ４とＪ１〜Ｊ４も、仕上げられたプレー
トＰ１〜Ｐ７を重ねた状態で、同時にドリル加工され、
プレートＰ１〜Ｐ７の側面に平行になるように穿孔され
る。円形状開口Ｑ１，Ｑ２，Ｑ５，Ｑ７はそれらの内壁
面がプレートの側面に平行になるようにそれぞれのプレ
ートの中心に形成され、方形状開口Ｑ３，Ｑ６も、それ
らの内壁面がプレートの側面に平行になるよう形成され
る。

【００４３】各光学素子部が組込まれたプレートＰ１〜
Ｐ７は、図３に示すように主シャフトＬ１〜Ｌ４を貫通
することによって、図２に示すように組立てられる。こ
れによってプレートＰ１〜Ｐ７は互いに平行になり、各
光学素子の光軸が主シャフトＬ１〜Ｌ４に平行になると
共に互いに一致する。また、光路長の調整はプレートＰ
１〜Ｐ７の間隔を適度に設定することにより可能とな
る。

【００４４】ここで、プレートＰ１〜Ｐ７をシャフトＬ
１〜Ｌ４の所望の位置に固定するための固定具を図１６
に示す。図１６において、固定具８４は主シャフトＬ１
〜Ｌ４の断面形状とサイズに対応する穴８５と切り割り
部８６とを有し、切り割り部８６を垂直に貫通するビス
穴に係合するビス８７を備える。そして、固定具８４は
図１７に示すように主シャフトＬにプレートＰを挟んで
挿入され、ビス８７を締めつけることによりプレートＰ
がシャフトＬに固定される。なお、複数のプレートＰ
７，Ｐ６，Ｐ５を１つのブロック部材として作製しても
よく、プレートＰ３，Ｐ４を１つのブロック部材として
作製してもよい。組立てられたフレーム部２４は、図２
のように側板８８〜９０によって覆われる。

【００４５】第２ユニット（光源部）２５の構成図１８は光源部２５の断面図であり、光を第１ユニット
２４へ供給するための窓９５ｂ，１０１を備える。窓９
５ｂから第１波長（６３５ｎｍ）の限外照明用の光と第
２波長（８８０ｎｍ）の限外照明用の光を出射し、窓１
０１から第３波長（７８０ｎｍ）の落射照明（明視野照
明）用の光を出射する。基準プレート８８の上にマルチ
光源ユニット８９が保持部材９０，９１により光軸が基
準プレート８８に平行になるように設置される。マルチ
光源ユニット８９の出射口に導光筒９２の基端が設けら
れ、導光筒９２の内部に保持具９３を介してダイクロイ
ックミラー９４が光軸に対して４５度の角度で設置され
る。導光筒９２の末端は保持具９５に接続される。

【００４６】保持具９５はマルチ光源ユニット８９の出
射光を直角方向に反射する平面ミラー９６を保持する。
保持具９５は円筒部材９５ａ内にガラス製円盤９７を介
して円錐状外面反射ミラー９８を保持すると共に円錐状
内面反射ミラー９９を保持する。また、導光筒９２およ
び基準プレート８８は、ダイクロイックミラー９４によ
って反射された光を通過させる開口１００，１０１をそ
れぞれ備える。

【００４７】ダイクロイックミラー９４は７８０ｎｍの
波長の光を反射し、６３５ｎｍと８８０ｎｍの波長の光
を透過させるミラーである。従って、マルチ光源ユニッ
ト８９から出射された光束のうち７８０ｎｍの波長の光
はダイクロイックミラー９４により反射され基準プレー
ト８８に対して鉛直に出射される。また、６３５ｎｍと
８８０ｎｍの波長の光はダイクロイックミラー９４を透
過し、ミラー９６，９８，９９により基準プレート８８
に対して鉛直に出射する輪帯光に変換される。光源部２
５はハウジング１０２によって覆われている。

【００４８】このような構成を有する光源部２５は、円
筒部材９５ａ（図１８）が側板８９の開口８９ａ（図
２）に嵌入されるように側板８９上に固定され、それに
よって光源部２５は位置決めされる。また、マルチ光源
ユニット８９からの光の光軸が主シャフトＬ１〜Ｌ４に
平行になる。従って、図２に示すようにダイクロイック
ミラー９４の反射光は、ビームエキスパンダ５６に精度
よく入射し、円錐状内面反射ミラー９９からの輪帯光は
リング状ミラー４３に精度よく入射する。

【００４９】図１８に示す光源部２５では、基準プレー
ト８８上に設けられた保持部材９０，９１によりマルチ
光源ユニット８９が設置されているが、図２９に示すよ
うに光源部２５もフレーム部２４と同様に平行プレート
とシャフトからなるフレーム構成とすることができる。
すなわち、保持部材９０，９１をそれぞれプレートＰ
９，Ｐ８とし、プレートＰ９，Ｐ８に複数のシャフトＬ
５，Ｌ６，Ｌ７を貫通させ各プレートを各シャフトで固
定する。プレートＰ９，Ｐ８は主シャフト貫通用の穴Ｊ
５，Ｊ６を有し、Ｊ５，Ｊ６にそれぞれフレーム部２４
の主シャフトＬ２，Ｌ３を貫通させ固定することにより
光源部２５をフレーム部２４に取付けることができる。
なお、プレートＰ９はプレートＰ７とＰ６の間、プレー
トＰ８はプレートＰ２とＰ３の間に配置される。

【００５０】マルチ光源ユニット８９の構成図１９はマルチ光源ユニット８９の構成を示す断面図，
図２０は図１９のＧ−Ｇ矢視断面図である。これらの図
において、円柱部材１の中心軸に同軸に設けられた貫通
穴２の中にコヒーレンス低下素子３ａが挿入されてい
る。コヒーレンス低下素子３ａの先端は貫通穴２の内壁
で固定され、後端は円柱部材１の中心軸に直交するよう
に形成されたネジ穴４ａ，４ｂにそれぞれ挿入されたネ
ジ５ａ，５ｂによって固定される。

【００５１】さらに、円柱部材１にはその軸心を中心と
する円周上に貫通穴２に平行な４つの貫通穴６ａ，６
ｂ，６ｃ，６ｄ（６ｂ，６ｄは図示しない）が設けら
れ、それらの端部にそれぞれ光源７ａ，７ｂ，７ｃ，７
ｄとコリメートレンズ８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄが設けら
れている（図２０参照）。また、貫通穴６ａ，６ｂ，６
ｃ，６ｄの内部にはそれぞれ、光源駆動用回路基板２０
ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ（２０ｂ，２０ｄは図示し
ない）が設けられている。

【００５２】また、貫通穴２には光入射口側に集光レン
ズ９が、光出射口側にコリメートレンズ１８がそれぞれ
設けられている。そして、図２１に示すような円錐状内
面反射ミラー部１０と円錐状外面反射ミラー部１１を備
えたミラー１２が図１９における円柱部材１の左端面に
設けられている。ミラー１２は、アルミニウム円板を図
１９，図２１に示す形状に切削加工し、ミラー面を鏡面
研磨したのちＡｕ膜を蒸着させたものである。

【００５３】コヒーレンス低下素子３ａは、図１９に示
すように１本のマルチモード光ファイバー１３と、その
両端に装着された保護用金属カラー１４，１５とから構
成され、マルチモード光ファイバー１３には大口径光フ
ァイバー（住友電工（株）製ＭＫＨ−０８型）を用いて
いる。

【００５４】光源７ａには波長７８０ｎｍのパルス半導
体レーザー（浜松ホトニクス（株）製Ｌ４３５６−０２
型）を使用し、光源７ｂ，７ｄには波長が８８０ｎｍの
パルス半導体レーザ（浜松ホトニクス（株）製Ｌ４３５
６−０２型）を使用し、光源７ｃには波長が６３５ｎｍ
の半導体レーザーを使用している。

【００５５】このような構成において、光源７ａ，７
ｂ，７ｃ，７ｄから出射した光はコリメートレンズ８
ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄによってそれぞれ平行光に変換さ
れ、ミラー１２の円錐状内面反射ミラー部１０により集
光レンズ９の光軸に直交するように反射され、さらに、
円錐状外面反射ミラー部１１によって集光レンズ９の方
向へ反射される。

【００５６】そして、これらの光は、集光レンズ９の光
軸から所定の同じ距離だけ離れた状態で集光レンズ９に
平行に入射し、さらに、集光レンズ９によって集光され
てコヒーレンス低下素子３ａの受光口にそれぞれ所定の
同じ入射角で入射する。ここで、光源７ａ，７ｂ，７
ｃ，７ｄから集光レンズ９までの各光路は互いに同じで
あるので、光はすべて同じスポット径で受光口に入射さ
れる。

【００５７】コヒーレンス低下素子３ａは入射した複数
の光を混合し、コヒーレンスを低下させると共に光強度
分布を平滑化して出射口からコリメートレンズ１８へ出
射する。コリメートレンズ１８はコヒーレンス低下素子
３ａからの光を一つの光軸を有する平行光に変換する。

【００５８】なお、集光レンズ９は、コヒーレンス低下
素子３ａの受光口へ入射する光の入射角が受光口の開口
数により制限される最大入射角よりも小さくなるように
設定され、光損失が防止される。また、集光レンズ９に
対するコヒーレンス低下素子３ａの受光口の位置関係
は、ネジ５ａ，５ｂを調整してコヒーレンス低下素子３
ａのカラー１４により保護された部分を本体１の中心軸
に直交する方向に移動させることにより調整できる。

【００５９】図３４はマルチ光源ユニットの他の実施例
を示す断面図である。この実施例は、上記実施例（図１
９）のミラー１２と集光レンズ９を凹面ミラー１２ａに
置換したものであり、その他の構成については図１９の
実施例と同等である。ここで、コヒーレンス低下素子３
ａは、その光軸が凹面ミラー１２ａの光軸に一致し、か
つ、その受光口が凹面ミラー１２ａの焦点に位置するよ
うに配置される。なお、凹面ミラー１２ａは、アルミニ
ウム円板を凹面形状に切削加工し、ミラー面を鏡面研磨
した後、Ａｕ膜を蒸着させたものである。

【００６０】このような構成において、光源７ａ，７
ｂ，７ｃ，７ｄから出射した複数の光束はコリメートレ
ンズ８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄによってそれぞれ凹面ミラ
ー１２ａの光軸に平行な平行光に変換され、凹面ミラー
１２ａによって集光されてコヒーレンス低下素子３ａの
受光口にそれぞれ所定の同じ入射角で入射する。ここ
で、光源７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄからコヒーレンス低下
素子３ａまでの各光路長は互いに同じであるので、光束
は全て同じスポット径で受光口に入射される。

【００６１】コヒーレンス低下素子３ａは入射した複数
の光束を混合し、コヒーレンスを低下させると共に光強
度分布を平滑化して出射口からコリメートレンズ１８へ
出射する。コリメートレンズ１８はコヒーレンス低下素
子３ａからの光束を一つの光軸を有する平行光に変換す
る。

【００６２】また、光源部２５には、それに代わって図
３０に示す光源部１０２のような方式を採用することが
できる。以下、その方式を説明する。但し、この方式で
は輪帯光のみを生成するようになっている。図３０に示
すように、光源部２０２のほぼ中央に位置する基板２０
７上には図３１に示すように４つの発光素子２０６ａ〜
２０６ｄが、同一円周上に等間隔で設置される。基板２
０７は円筒部材２０８の内部の支持部材２０９に支持さ
れる。支持部材２０９はその中央に導光素子２１０を備
える。発光素子２０６ａ〜２０６ｄに対向する位置にコ
リメートレンズ２１１ａ〜２１１ｄ（２１１ｂ、２１１
ｄは図示しない）が支持部材２１２によって支持され
る。そして、支持部材２１２は支持部材２０９に固定さ
れる。

【００６３】レンズ付きミラー２１３は図３２に示すよ
うな断面形状を有する。つまり、アクリル樹脂製の円盤
状透光部材２１３ａの一方の面にアルミニウムを蒸着し
て反射膜２１３ｂを形成して反射ミラーとなし、他方の
面の中央部を凸状にしてレンズ２１３ｃを形成したもの
である。レンズ付きミラー２１３は円筒部材２０８の端
部に固定された支持部材２１４により支持される。レン
ズ付きミラー２１３は第１ミラー（円錐状内面反射ミラ
ー２１３ｄと円錐状外面反射ミラー２１３ｅ）と集光レ
ンズ２１３ｃとを備える。

【００６４】レンズ付きミラー２１５は図３３に示すよ
うな断面形状を有する。つまり、アクリル樹脂製の円盤
状透光部材２１５ａの一方の面にアルミニウムを蒸着し
て反射膜２１５ｂを形成し、他方の面の中央部を凸状に
してレンズ部２１５ｃを形成したものである。レンズ付
きミラー２１５は円筒部材２１６の端部に固定された支
持部材２１７により支持される。レンズ付きミラー２１
５は第２ミラー（円錐状内面反射ミラー２１５ｅと円錐
状外面反射ミラー２１５ｄ）とコリメータレンズ２１５
ｃとを備える。

【００６５】図３０に示すように、支持部材２０９と支
持部材２１４はそれぞれアクリル樹脂製の透光性支持部
材２１８，２１９を介して円筒部材２１６の内壁に固定
される。なお、ここでは発光素子２０６ａ〜２０６ｃに
は波長８８０ｎｍのパルス半導体レーザを、発光素子２
０６ｄには波長６３５ｎｍの赤色半導体レーザを使用し
ている。

【００６６】このように構成された光源部２０２におい
て、発光素子２０６ａ〜２０６ｄから出射した光はコリ
メートレンズ２１１ａから２１１ｄによってそれぞれ平
行光に変換され、平行光に変換された光はレンズ付きミ
ラー２１３の円錐状内面反射ミラー２１３ｄ、円錐状外
面反射ミラー２１３ｅにより反射された後、レンズ部２
１３ｃにより集光され導光素子２１０の受光口へ導かれ
る。受光口から入射した光は導光素子２１０によって混
合されコヒーレンスが低下されて導光素子２１０の出射
口から出射される。

【００６７】導光素子２１０から出射された光は、レン
ズ付きミラー２１５のレンズ部２１５ｃに入射して平行
光に変換され、平行光に変換された光は円錐状外面反射
ミラー２１５ｅ、円錐状内面反射ミラー２１５ｄによっ
て反射され、輪帯光Ｌに変換される。

【００６８】発光素子２０６ａ〜２０６ｄからの光は一
旦導光素子２１０に集められて混合されるので、少なく
とも１つの発光素子が点灯すれば、それによって光源部
２０２は輪帯光Ｌを出射することができる。なお、導光
素子２１０には光ファイバー（住友電工（株）製のカレ
イドスコープ）を用いている。

【００６９】第３ユニット（受光部）２６の構成図２２は光検出素子を含んでなる受光部２６の断面図で
あり、基準プレート１１１の上に光検出素子（フォトマ
ルチプライアチューブ）１１２が設置されている。保持
具１１３の内部には円筒部材１１４を介して平面ミラー
１１５が斜めに設置され、基準プレート１１１の開口１
１６から入射される光を光検出素子１１２の方向に直角
に反射するようになっている。導光筒１１７は保持具１
１３と光検出素子１１２とを接続し、内部にピンホール
プレート１１８，コリメートレンズ１１９およびバンド
パスフィルタ１２０を備える。

【００７０】つまり、開口１１６から入射した光は、ミ
ラー１１５，ピンホールプレート１１８，コリメートレ
ンズ１１９およびバンドパスフィルタ１２０を介して光
検出素子１１２に受光されるように構成されている。な
お、受光部２６はハウジング１２１によって覆われてい
る。

【００７１】このように構成された受光部２６は、開口
１１６（図２２）に円筒部材４７（図７）が嵌入される
ように側板８８（図２）上に固定され、それによって受
光部２６は位置決めされる。また、受光部２６を構成す
る光学素子の光軸が主シャフトＬ１〜Ｌ４に平行にな
る。従って、集光レンズ４６を透過した光は精度よく光
検出素子１１２へ入射する。

【００７２】第５ユニット（第２光源部）２３の構成図２３は第２光源部（透過照明用光源部）２３の断面図
であり、図２４は透過照明用光源部２３が備えるフレー
ム１３１の斜視図である。これらの図に示すように、フ
レーム１３１は４枚のプレートＰ８〜Ｐ１１と４本の主
シャフトＬ５〜Ｌ８を備える。主シャフトＬ５〜Ｌ８は
プレートＰ８〜Ｐ１１を垂直に貫通し、プレートＰ８〜
Ｐ１１は所定の間隔を有して互いに平行に配列されて主
シャフトＬ５〜Ｌ８に固定される。なお、プレートＰ８
〜Ｐ１１は前述のフレーム部２４のプレートＰ１〜Ｐ７
と同様に主シャフトＬ５〜Ｌ８に固定される前に、必要
な光学素子がそれぞれ装着される。

【００７３】プレートＰ８〜Ｐ１１は、図２５に示すよ
うに長方形状の平坦な板であり、中央に円形状の開口Ｑ
を備え、開口Ｑの周りに補助シャフトＳ１〜Ｓ４（図
１）をそれぞれ挿入するための穴Ｈ１〜Ｈ４と、主シャ
フトＬ５〜Ｌ８（図２４）をそれぞれ貫通させるための
穴Ｊ５〜Ｊ８とを備える。プレートＰ８〜Ｐ１１の加工
は、プレートＰ１〜Ｐ７と同様に行われる。

【００７４】図２３に示すようにプレートＰ８とＰ９の
開口Ｑには、マルチ光源ユニット８９（図１９参照）が
外ネジ付きカラー１３２，１３３を介して挿入され、ナ
ット１３４，１３５をカラー１３２，１３３に係合する
ことにより固定される。また、プレートＰ１０にはビー
ムエキスパンダ１３６がナット１３７により固定され、
プレートＰ１１には集光レンズ１３８がナット１３９に
より固定される。

【００７５】このようにして各光学素子が組込まれたプ
レートＰ８〜Ｐ１１は図２４に示すように主シャフトＬ
５〜Ｌ８を貫通することにより図２３に示すように組立
てられる。これによってプレートＰ８〜Ｐ１１は互いに
平行になると共に各光学素子は位置決めされ、光軸が互
いに一致する。

【００７６】また、光路長の調整はプレートＰ８〜Ｐ１
１の間隔を適度に設定することにより可能となる。な
お、プレートＰ８〜Ｐ１１の主シャフトＬ５〜Ｌ８に対
する固定には、図１６に示す固定具８４が用いられる。
図２３に示すように組立てられた透過照明用光源２３
は、側板１５１〜１５３により覆われる。

【００７７】第４ユニット（設置部）２２の構成図２６は設置部２２の正面図、図２７は図２６のＨ−Ｈ
矢視断面図である。設置部２２はプレートＰ１２からな
り、プレートＰ１２は長方形状の平坦な板であり、中央
に円形状の開口Ｑ１２を備え、補助シャフトＳ１〜Ｓ４
（図１）をそれぞれ挿入するための穴Ｈ１〜Ｈ４を有す
る。この実施例では設置部２２には対象物としてシース
フローセル１４０が設置され、支持具１４１、１４２に
よりプレートＰ１２に固定される。例えばシースフロー
セル１４０中に粒子含有試料液を流して粒子からの散乱
光信号を検出したり、画像を撮像することができる。な
お、対象物はこれに限定されるものではない。

【００７８】装置全体の動作上記のような構成を有する本体２１と設置部２２と第２
光源部２３は各プレートの穴Ｈ１〜Ｈ４にそれぞれ補助
シャフトＳ１〜Ｓ４を挿入することにより、図１および
図２７に示すように直列に連結される。この時、本体２
１の対物レンズ３２と第２光源部２３とは光軸が互いに
一致する。

【００７９】この装置によれば、次のような各種の光学
情報の計測を行うことができる。１．限外照明による散乱光強度の計測図２８は、装置全体の構成説明図である。同図におい
て、マルチ光源ユニット８９から波長６３５ｎｍのレー
ザ光が出射されると、そのレーザ光はダイクロイックミ
ラー９４を透過し、ミラー９６に反射されて、円錐状外
面反射ミラー９８と円錐状内面反射ミラー９９により輪
帯光に変換される。この輪帯光はリング状ミラー４３に
より円錐状内面反射ミラー３１に導かれ設置部２２に設
置された対象物上に収斂される。

【００８０】照明された対象物からの散乱光（波長６３
５ｎｍ）は、対物レンズ３２を介してダイクロイックミ
ラー４５により反射され、ミラー１１５、ピンホールプ
レート１１８、コリメートレンズ１１９およびバンドパ
スフィルタ１２０を介して光検出素子（フォトマルチプ
ライアチューブ）１１２へ入射する。これによって光検
出素子１１２は対象物（例えばシースフローセル中の粒
子成分）からの散乱光の強度を測定する。光検出素子１
１２の信号検出に基づき後記各レーザ光をパルス発光さ
せてもよい。

【００８１】２．限外照明による撮像図２８において、マルチ光源ユニット８９から波長が８
８０ｎｍのパルスレーザ光が出射されると、そのレーザ
光は、ダイクロイックミラー９４を透過して前述の６３
５ｎｍの波長を有するレーザ光と同様に対象物の限外照
明を行う。

【００８２】限外照明された対象物からの画像光（波長
８８０ｎｍ）は対物レンズ３２を経てダイクロイックミ
ラー４５を透過し、さらにハーフミラー５１、結像レン
ズ６０を経てダイクロイックミラー７３を透過しミラー
８２、７８を介してＣＣＤボードカメラ７５に達する。
これにより、ＣＣＤボードカメラ７５は、波長８８０
ｎｍのパルスレーザ光による対象物の画像を撮像するこ
とができる。

【００８３】３．落射照明（明視野照明）による撮像図２８において、マルチ光源ユニット８９から波長７８
０ｎｍのパルスレーザ光が出射されると、そのレーザ光
は、ダイクロイックミラー９４により反射され、ビーム
エキスパンダ５６によりビーム径が拡大され、半分の光
量がハーフミラー５１を透過し、残り半分の光量がハー
フミラー５１により反射される。ハーフミラー５１によ
り反射されたレーザ光はダイクロイックミラー４５を透
過し、レンズ３２により対象物上に収斂される。つま
り、対象物に対する同軸落射照明が行われる。

【００８４】照明された対象物からの画像光は、対物レ
ンズ３２、ダイクロイックミラー４５、ハーフミラー５
１、結像レンズ６０を経てダイクロイックミラー７３に
より反射されミラー６７、６８を介してＣＣＤボードカ
メラ６３に入射する。これにより、ＣＣＤボードカメラ
６３は波長７８０ｎｍのパルスレーザ光の落射照明によ
る対象物の画像を撮像することができる。

【００８５】なお、ハーフミラー５１を透過したレーザ
光はレンズ５２を介してＣＣＤボードカメラ５３によっ
て撮像される。これによってＣＣＤボードカメラ５３は
マルチ光源ユニット８９から出射された７８０ｎｍの波
長を有するパルスレーザ光の強度を検出し、ＣＣＤボー
ドカメラ６３により得られた画像の照明ムラを補正す
る。

【００８６】４．透過照明による透過光強度の測定図２８において、第２光源２３から６３５ｎｍの波長の
レーザ光が出射されると、そのレーザ光は対象物を透過
し、その透過光は対物レンズ３２を通ってダイクロイッ
クミラー４５で反射され、ミラー１１５、ピンホールプ
レート１１８、コリメートレンズ１１９およびバンドパ
スフィルタ１２０を経て光検出素子１１２へ入射する。
これによって光検出素子１１２は対象物の透過光強度を
測定する。

【００８７】５．透過照明による撮像図２８において、透過照明用光源２３から波長７８０ｎ
ｍ又は８８０ｎｍのパルスレーザ光が出射されると、そ
のレーザ光は対象物を透過し、得られた透過画像光は対
物レンズ３２、ダイクロイックミラー４５、ハーフミラ
ー５１、結像レンズ６０を通過する。

【００８８】そして、波長が７８０ｎｍの画像光であれ
ばダイクロイックミラー７３で反射され、ミラー６７、
６８を介してＣＣＤボードカメラ６３に入射し、波長が
８８０ｎｍの画像光であればダイクロイックミラー７３
を透過しミラー８２、７８を介してＣＣＤボードカメラ
７５に入射する。このようにして、透過照明による撮像
が行われる。

【００８９】この発明の光学情報計測装置は、高性能で
あると共に、小型で可搬性に富むので、次のような用途
に適用できる。・プランクトンの培養状態の観察・エンジンの排気ガス中の粒子成分の計測・工業用プラントにおける粒子状材料の計測・各種飲料品の成分の計測・車輌用レールの傷の検査・紡績工業における紡ぎ糸の検査・写真フィルム工業における感光板の表面傷の観察・半導体高集積ＩＣチップの微小部分の観察・撮像・エンジン用噴霧燃料の液滴の測定・粉体・粒体の製造工程における粒子計測

【００９０】

【発明の効果】この発明によれば、フレーム部に、各種
光学素子が一体的に設置されるので、光学素子の位置決
めが容易になると共に配置密度が高くなる。このため高
性能化されると共に、装置全体が小型化されて可搬性に
優れたものとなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施例による装置の全体構成を示す
斜視図である。

【図２】この発明の実施例による装置のフレーム部を示
す断面図である。

【図３】この発明の実施例によるフレーム部に用いるフ
レームを示す斜視図である。

【図４】この発明の実施例による第１光学素子部を示す
正面図である。

【図５】図４のＡ−Ａ矢視断面図である。

【図６】この発明の実施例による第２光学素子部を示す
正面図である。

【図７】図６のＢ−Ｂ矢視断面図である。

【図８】この発明の実施例による第３光学素子部を示す
正面図である。

【図９】図８のＣ−Ｃ矢視断面図である。

【図１０】この発明の実施例による第４光学素子部を示
す正面図である。

【図１１】図１０のＤ−Ｄ矢視断面図である。

【図１２】この発明の実施例による第５光学素子部を示
す正面図である。

【図１３】図１２のＥ−Ｅ矢視断面図である。

【図１４】この発明の実施例による第６光学素子部を示
す正面図である。

【図１５】図１２のＦ−Ｆ矢視断面図である。

【図１６】この発明の実施例に用いる固定具の正面図で
ある。

【図１７】この発明の実施例に用いる固定具の使用方法
を示す側面図である。

【図１８】この発明の実施例による光源部を示す断面図
である。

【図１９】この発明の実施例によるマルチ光源ユニット
を示す断面図である。

【図２０】この発明の実施例によるマルチ光源ユニット
の要部を示す正面図である。

【図２１】図１９のＧ−Ｇ矢視断面図である。

【図２２】この発明の実施例による受光部を示す断面図
である。

【図２３】この発明の実施例による第２光源部を示す断
面図である。

【図２４】この発明の実施例による第２光源部に用いる
フレームの斜視図である。

【図２５】図２４に示すフレームに用いるプレートの正
面図である。

【図２６】この発明の実施例による設置部を示す正面図
である。

【図２７】図２６のＨ−Ｈ矢視断面図である。

【図２８】この発明の実施例の動作を説明するための構
成図である。

【図２９】図１８に示す光源部の構成の変形例を示す斜
視図である。

【図３０】光源部の変形例を示す断面図である。

【図３１】図３０に示す光源部の発光素子の配置説明図
である。

【図３２】図３０に示す光源部のレンズ付きミラーの断
面図である。

【図３３】図３０に示す光源部の他のレンズ付きミラー
の断面図である。

【図３４】図１９に示すマルチ光源ユニットの変形例を
示す断面図である。

【符号の説明】

２１本体２２設置部２３第２光源部２４フレーム部２５光源部２６受光部Ｐ１プレートＰ２プレートＰ３プレートＰ４プレートＰ５プレートＰ６プレートＰ７プレートＬ１主シャフトＬ２主シャフトＬ３主シャフトＬ４主シャフトＳ１補助シャフトＳ２補助シャフトＳ３補助シャフトＳ４補助シャフト

フロントページの続き (72)発明者小林弘典神戸市中央区脇浜海岸通１丁目５番１号シスメックス株式会社内 (72)発明者石坂正樹神戸市中央区脇浜海岸通１丁目５番１号シスメックス株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数の光を出射可能な光源部と、光源部
からの複数の光を対象物へ導いて対象物に供する導光部
と、対物レンズと、対象物からの光を対物レンズを介し
てそれぞれ受光する複数の受光部と、前記光源部、導光
部、対物レンズ及び受光部を含む複数の光学素子を一体
的に搭載するフレーム部を備える光学情報計測装置。
【請求項２】対象物に供する光が、対物レンズの光軸
と同軸の複数の輪帯光を含む請求項１記載の光学情報計
測装置。
【請求項３】光源部が、光の入射部と出射部を備える
導光素子と、導光素子の光軸の回りに配置される複数の
光源と、各光源からの光を導光素子の入射部に導く集光
素子と、導光素子の出射部からの光を輪帯光に変換する
変換素子を備えた請求項２記載の光学情報計測装置。
【請求項４】対象物に供する光が、対物レンズの光軸
を中心とする光路を通る請求項１記載の光学情報計測装
置。
【請求項５】受光部が、対象物からの光の強度を検出
する光検出素子と、対象物の像を撮像する撮像素子とを
備える請求項１記載の光学情報計測装置。
【請求項６】フレーム部が、光学素子を搭載するため
の複数のブロック部材と、各ブロック部材が所定位置に
配列するようにブロック部材を連結する連結部材を備え
る請求項１記載の光学情報計測装置。
【請求項７】連結部材が、複数のブロック部材に貫通
して各ブロック部材を固定する複数のシャフト部材から
なる請求項６記載の光学情報計測装置。
【請求項８】フレーム部に連結される補助フレーム部
と、対象物を設置するための設置部とをさらに備え、設
置部が補助フレーム部に搭載される請求項１記載の光学
情報計測装置。
【請求項９】対象物に光を供する第２光源部をさらに
備え、第２光源部が、補助フレーム部に搭載され、か
つ、設置部を間にして対物レンズと対向するよう配置さ
れる請求項８記載の光学情報計測装置。