JP2000185938A - Ceramic paste for forming ceramic capillary rib - Google Patents

Ceramic paste for forming ceramic capillary rib

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JP2000185938A
JP2000185938A JP36318598A JP36318598A JP2000185938A JP 2000185938 A JP2000185938 A JP 2000185938A JP 36318598 A JP36318598 A JP 36318598A JP 36318598 A JP36318598 A JP 36318598A JP 2000185938 A JP2000185938 A JP 2000185938A
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JP
Japan
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ceramic
resin
paste
resins
rib
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JP36318598A
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Japanese (ja)
Inventor
Seiji Toyoda
誠司 豊田
Makoto Chokai
誠 鳥海
Yoshio Kanda
義雄 神田
Yoshio Kuromitsu
祥郎 黒光
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Mitsubishi Materials Corp
Original Assignee
Mitsubishi Materials Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To make ceramic capillary ribs simply and accurately formable through reduced process steps without wasteful use of raw materials. SOLUTION: The ceramic paste can form ceramic capillary ribs through the plastic deformation. The ceramic paste for forming the paste membrane comprises 30-95 wt.% of glass powder or glass and ceramic mixed powder, 0.3-15 wt.% of resin and 3-70 wt.% of a solvent. The solvent comprises a mixture of solvent, plasticizer, dispersing agent and defoaming agent. In a preferred embodiment, the resin is a self-curing resin, a thermosetting resin or a photo- setting resin. After the paste is coated, the foams are removed from the paste membrane by the defoaming agent, then the membrane is self-cured, thermally cured or photo-cured to a proper hardness. At this state, the blade 12 is thrust to the membrane and is allowed to move in a certain direction relatively to the paste membrane 11 to effect the plastic deformation of the membrane and the objective ceramic capillary ribs 13 are formed, thereby.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、PDP(plasma d
isplay panel: プラズマディスプレイパネル)、PAL
C(plasma addressed liquid crystal display)等の
FPD(flat panel display)の製造工程におけるセラ
ミックキャピラリリブ(ceramic capillaryrib)を形成
するためのセラミックペースト及びこのキャピラリリブ
から作られたセラミックリブ並びにこのセラミックリブ
を有するFPDに関するものである。
[0001] The present invention relates to a PDP (plasma d
isplay panel: plasma display panel), PAL
A ceramic paste for forming a ceramic capillary rib in a manufacturing process of an FPD (flat panel display) such as a C (plasma addressed liquid crystal display), a ceramic rib made from the capillary rib, and the ceramic rib are provided. It is about FPD.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、セラミックリブは、図7に示すよ
うにガラス基板1の上にガラス粉末を含むリブ形成用ペ
ースト2を厚膜印刷法により所定のパターンで位置合わ
せをして多数回重ね塗りし、乾燥した後に焼成し、基板
1上に所定の間隔をあけて作られている。このリブ8の
高さHは通常100〜300μm、リブの幅Wは通常5
0〜100μm程度であって、リブとリブで挟まれるセ
ル9の広さSは通常100〜300μm程度である。
2. Description of the Related Art Conventionally, as shown in FIG. 7, a ceramic rib is laminated on a glass substrate 1 many times by positioning a rib forming paste 2 containing glass powder in a predetermined pattern by a thick film printing method. It is coated, dried and fired, and is formed on the substrate 1 at a predetermined interval. The height H of the rib 8 is usually 100 to 300 μm, and the width W of the rib is usually 5
The width S of the cell 9 sandwiched between the ribs is usually about 100 to 300 μm.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の厚
膜印刷法によるセラミックリブの形成方法では、リブの
幅Wが50〜100μm程度と比較的狭くかつ印刷後に
ペーストがだれ易いため、厚膜の一回塗りの厚さは焼成
上がりで10〜20μm程度に小さく抑えなければなら
ない。この結果、この方法では高さHが100〜300
μmのリブを作るために、厚膜を10〜20回もの多く
の回数重ね塗りする必要があり、その上重ね塗りした後
のリブの高さHをリブの幅Wで除したH/Wが1.5〜
4程度と大きいために、厚膜印刷時に十分に位置合わせ
をしても精度良くリブを形成しにくい欠点があった。本
発明の目的は、少ない工程で材料の無駄なく、簡便にか
つ精度良くセラミックキャピラリリブを形成できるセラ
ミックペーストを提供することにある。本発明の別の目
的は、このキャピラリリブから作られたセラミックリブ
並びにこのセラミックリブを有するFPDを提供するこ
とにある。
However, in the above-described conventional method of forming a ceramic rib by the thick film printing method, the width W of the rib is relatively narrow, about 50 to 100 μm, and the paste tends to drip after printing. The thickness of the single coating must be suppressed to about 10 to 20 μm after firing. As a result, in this method, the height H is 100 to 300.
In order to form a rib having a thickness of μm, it is necessary to repeatedly apply the thick film as many as 10 to 20 times, and H / W is obtained by dividing the height H of the rib after the upper coating by the width W of the rib. 1.5-
Since it is as large as about 4, there is a disadvantage that it is difficult to form ribs with high accuracy even when alignment is sufficiently performed during thick film printing. An object of the present invention is to provide a ceramic paste capable of forming a ceramic capillary rib simply and accurately with a small number of steps and no waste of material. It is another object of the present invention to provide a ceramic rib made from the capillary rib and an FPD having the ceramic rib.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】請求項1に係る発明は、
塑性変形によってセラミックキャピラリリブを形成可能
なセラミックペーストであって、ガラス粉末又はガラス
・セラミック混合粉末が30〜95重量%と、樹脂が
0.3〜15重量%と、溶媒が3〜70重量%とを含
み、溶媒が溶剤と可塑剤と分散剤と脱泡剤の混合物であ
ることを特徴とするセラミックペーストである。この請
求項1に記載されたセラミックペーストでは、上記のよ
うにペーストを配合することにより粘度が1000〜5
00,000cpsのペーストを得ることができる。ペ
ースト中の樹脂が自己硬化型樹脂、熱硬化型樹脂又は光
硬化型樹脂であれば、ペーストを塗布した後のペースト
膜を自己硬化、熱硬化又は光硬化させることによって、
基板上に形成されたセラミックキャピラリリブのだれを
抑制してセラミックキャピラリリブを精度良く形成する
ことができる。なお、ペーストの粘度は5,000〜3
00,000cpsが好ましく、10,000〜10
0,000cpsが更に好ましい。脱泡剤を溶媒に含ま
せることにより、塑性変形させる前のペースト膜から泡
を除去でき、塑性変形した後の塑性物中の空孔や塑性物
表面の微細な凹みをなくす。
The invention according to claim 1 is
A ceramic paste capable of forming a ceramic capillary rib by plastic deformation, wherein 30 to 95% by weight of glass powder or glass / ceramic mixed powder, 0.3 to 15% by weight of resin, and 3 to 70% by weight of solvent. And a solvent is a mixture of a solvent, a plasticizer, a dispersant, and a defoaming agent. In the ceramic paste according to claim 1, the viscosity is 1000 to 5 by blending the paste as described above.
A paste of 000,000 cps can be obtained. If the resin in the paste is a self-curable resin, a thermosetting resin or a photocurable resin, by self-curing, thermosetting or photocuring the paste film after applying the paste,
The ceramic capillary rib formed on the substrate can be prevented from dripping and the ceramic capillary rib can be formed with high precision. The paste has a viscosity of 5,000 to 3
00,000 cps is preferred, and 10,000 to 10
000 cps is more preferred. By including the defoaming agent in the solvent, bubbles can be removed from the paste film before plastic deformation, and voids in the plastic material after plastic deformation and fine dents on the surface of the plastic material are eliminated.

【0005】請求項2に係る発明は、図1に示すよう
に、請求項1に係る発明であって、塑性変形がセラミッ
クペースト膜11に所定のくし歯12bを有するブレー
ド12をつき刺し、ブレード12をペースト膜11に対
して相対的に一定方向に移動することにより行われるセ
ラミックペーストである。この請求項2に記載されたセ
ラミックペーストでは、塑性変形がくし歯12bをペー
スト膜11につき刺した状態でブレード12をペースト
膜11に対して相対的に一定方向に移動することにより
行われる。即ち、ペースト膜11のうちブレード12の
くし歯12bに対応する箇所のセラミックペーストがく
し歯12bの隙間に移動するか若しくは掃き取られるの
で、ペースト膜11がくし歯12bの隙間の形状に変形
し、かつくし歯12bの隙間の形状に保たれる。この結
果、基板10表面にセラミックキャピラリリブ13が形
成される。
As shown in FIG. 1, the invention according to claim 2 is the invention according to claim 1, wherein plastic deformation is performed by piercing a ceramic paste film 11 with a blade 12 having predetermined comb teeth 12b. 12 is a ceramic paste that is performed by moving the paste film 12 in a fixed direction relative to the paste film 11. In the ceramic paste according to the second aspect, the plastic deformation is performed by moving the blade 12 in a fixed direction relative to the paste film 11 with the comb teeth 12b piercing the paste film 11. That is, since the ceramic paste in the portion of the paste film 11 corresponding to the comb teeth 12b of the blade 12 moves or is swept away into the gap between the comb teeth 12b, the paste film 11 is deformed into the shape of the gap between the comb teeth 12b. The shape of the gap between the comb teeth 12b is maintained. As a result, the ceramic capillary rib 13 is formed on the surface of the substrate 10.

【0006】請求項3に係る発明は、請求項1又は2に
係る発明であって、樹脂が溶剤と重合反応し、時間の経
過とともにペースト粘度を上昇させる自己硬化型樹脂で
あるか、又は自己硬化型樹脂を含むセラミックペースト
である。この自己硬化型樹脂を含ませることにより塗布
した後に放置するとペーストの粘度が上がるため、塗布
する前のペーストの粘度を低くして塗工性を向上でき、
かつ塗布した後の脱泡剤による脱泡が容易に行われる。
The invention according to claim 3 is the invention according to claim 1 or 2, wherein the resin is a self-curing resin that undergoes a polymerization reaction with a solvent and increases the viscosity of the paste with the passage of time. It is a ceramic paste containing a curable resin. Since the viscosity of the paste increases when left after application by including this self-curing resin, the viscosity of the paste before application can be reduced to improve coatability,
In addition, defoaming with a defoaming agent after application is easily performed.

【0007】請求項5に係る発明は、請求項1又は3に
係る発明であって、更に樹脂が熱硬化型樹脂又は光硬化
型樹脂であるか、又は熱硬化型樹脂又は光硬化型樹脂を
含むことを特徴とする。この請求項5に記載されたセラ
ミックペーストでは、請求項4に記載の自己硬化型樹脂
がなくとも、樹脂に熱硬化型樹脂を含めることにより、
塗布した後のセラミックキャピラリリブ形成前のペース
ト膜の乾燥時に、バインダとして機能する上記熱硬化型
樹脂が硬化してペーストの粘度を高めることができる。
同様に樹脂に光硬化型樹脂を含めることにより、ペース
ト膜に紫外線を所定時間照射することにより、バインダ
として機能する上記光硬化型樹脂が硬化してペーストの
粘度を高めることができる。これにより、塗布する前の
ペーストの粘度を低くして塗工性を向上でき、かつ塗布
した後の脱泡剤による脱泡が容易に行われる。
The invention according to claim 5 is the invention according to claim 1 or 3, wherein the resin is a thermosetting resin or a photocurable resin, or a thermosetting resin or a photocurable resin is used. It is characterized by including. In the ceramic paste according to the fifth aspect, even without the self-curable resin according to the fourth aspect, by including a thermosetting resin in the resin,
When the paste film before the formation of the ceramic capillary rib after application is dried, the thermosetting resin functioning as a binder is cured, and the viscosity of the paste can be increased.
Similarly, by including a photo-curable resin in the resin, the above-described photo-curable resin functioning as a binder is cured by irradiating the paste film with ultraviolet rays for a predetermined time, thereby increasing the viscosity of the paste. Thereby, the viscosity of the paste before application can be reduced to improve coatability, and defoaming by the defoaming agent after application can be easily performed.

【0008】また熱硬化型樹脂としてフェノール樹脂、
ユリア樹脂、メラミン樹脂、アルキッド樹脂、シリコー
ン樹脂、フラン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、エポキ
シ樹脂及びポリウレタン樹脂からなる群より選ばれた1
種又は2種以上の樹脂を用いることが好ましく、光硬化
型樹脂としてベンゾフェノン樹脂、ジベンジルケトン樹
脂、ジエチルチオキサントン樹脂、アントロン樹脂及び
ジベンゾスベロン樹脂からなる群より選ばれた1種又は
2種以上の樹脂を用いることが好ましい。なお、本明細
書で「セラミックキャピラリ」とは、本発明のガラス粉
末又はガラス・セラミック混合粉末と樹脂と溶剤と可塑
剤と分散剤を含むセラミックペーストを塗布した後の大
部分の樹脂と溶剤と可塑剤と分散剤が残存している状態
をいう。また「セラミックグリーン」とは、ガラス粉末
又はガラス・セラミック混合粉末と樹脂と可塑剤と分散
剤が残存している状態で、溶剤の大部分が残存していな
い状態をいう。
Further, a phenol resin is used as a thermosetting resin,
1 selected from the group consisting of urea resin, melamine resin, alkyd resin, silicone resin, furan resin, unsaturated polyester resin, epoxy resin and polyurethane resin
It is preferable to use one or more resins, and one or more resins selected from the group consisting of a benzophenone resin, a dibenzylketone resin, a diethylthioxanthone resin, an anthrone resin and a dibenzosuberone resin as the photocurable resin. Is preferred. In this specification, "ceramic capillary" means most of the resin and solvent after applying the ceramic paste containing the glass powder or the glass-ceramic mixed powder of the present invention, the resin, the solvent, the plasticizer and the dispersant. It means a state in which the plasticizer and the dispersant remain. "Ceramic green" refers to a state in which glass powder or glass-ceramic mixed powder, resin, plasticizer, and dispersant remain, and most of the solvent does not remain.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】次に本発明の第1の実施の形態を
図面に基づいて説明する。図1に示すように、セラミッ
クキャピラリリブ13は基板10の表面にセラミックペ
ーストを塗布して形成されたセラミックペースト膜11
に、ブレード12に形成されたくし歯12bをつき刺
し、ブレード12のエッジ12aを基板10表面に接触
させた状態でブレード12又は基板10を一定方向に移
動することにより基板10表面に形成される。セラミッ
クペーストは、ガラス粉末又はガラス・セラミック混合
粉末と有機バインダである樹脂と溶媒(溶剤と可塑剤と
分散剤と脱泡剤)とを含むペーストであり、ガラス粉末
はSiO2、ZnO、PbO等を主成分として、その軟
化点が300℃〜600℃であることが必要である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. As shown in FIG. 1, a ceramic paste rib 11 is formed by applying a ceramic paste on the surface of a substrate 10.
Is formed on the surface of the substrate 10 by piercing a comb tooth 12b formed on the blade 12 and moving the blade 12 or the substrate 10 in a certain direction while the edge 12a of the blade 12 is in contact with the surface of the substrate 10. The ceramic paste is a paste containing a glass powder or a glass-ceramic mixed powder, a resin as an organic binder, and a solvent (a solvent, a plasticizer, a dispersant, and a defoaming agent), and the glass powder is SiO 2 , ZnO, PbO, or the like. And its softening point must be 300 ° C. to 600 ° C.

【0010】ガラス・セラミック混合粉末とはSi
2、ZnO、PbO等を主成分とするガラス粉末と、
フィラーの役割を果すアルミナ、コージェライト、ムラ
イト、フォルステライト等のセラミック粉末とを含むも
のであり、このセラミック粉末は形成されるリブ13の
熱膨張係数をガラス基板10の熱膨張係数と均等にする
ため、及び焼成後のセラミックリブの強度を向上させる
ために混合される。セラミック粉末は60容積%以下が
好ましい。セラミック粉末が60容積%以上になるとリ
ブが多孔質になり好ましくない。なお、ガラス粉末及び
セラミック粉末の粒径はそれぞれ0.1〜30μmであ
ることが好ましい。ガラス粉末及びセラミック粉末の粒
径が0.1μm未満であると凝集し易くその取扱いが煩
わしくなる。また、30μmを越えると後述するブレー
ド12の移動時に所望のリブ13が形成できなくなる不
具合がある。
The glass / ceramic mixed powder is Si
A glass powder containing O 2 , ZnO, PbO or the like as a main component;
It contains a ceramic powder such as alumina, cordierite, mullite, forsterite or the like which serves as a filler, and this ceramic powder makes the thermal expansion coefficient of the rib 13 formed equal to the thermal expansion coefficient of the glass substrate 10. Therefore, it is mixed to improve the strength of the fired ceramic rib. The content of the ceramic powder is preferably 60% by volume or less. When the content of the ceramic powder exceeds 60% by volume, the ribs become porous, which is not preferable. In addition, it is preferable that the particle diameters of the glass powder and the ceramic powder are each 0.1 to 30 μm. When the particle diameter of the glass powder and the ceramic powder is less than 0.1 μm, the glass powder and the ceramic powder are apt to agglomerate and the handling thereof becomes complicated. On the other hand, if the thickness exceeds 30 μm, a desired rib 13 cannot be formed when the blade 12 described later moves.

【0011】セラミックペーストは、ガラス粉末又はガ
ラス・セラミック混合粉末を30〜95重量%、樹脂を
0.3〜15重量%、溶媒(溶剤と可塑剤と分散剤と脱
泡剤)を3〜70重量%それぞれ配合する。また、ガラ
ス粉末又はガラス・セラミック混合粉末を70〜90重
量%、樹脂を0.5〜3.5重量%、溶媒(溶剤と可塑
剤と分散剤と脱泡剤)を7〜20重量%それぞれ配合す
ることが好ましい。ガラス粉末又はガラス・セラミック
混合粉末を30〜95重量%の範囲に限定したのは、3
0重量%未満ではブレードを用いて所定の形状のセラミ
ックキャピラリリブを得るのが困難になり、95重量%
を越えると基板表面にペーストを均一に塗布することが
困難になるからである。また樹脂を0.3〜15重量%
の範囲に限定したのは、0.3重量%未満ではブレード
を用いて所定の形状のセラミックキャピラリリブを得る
のが困難になり、15重量%を越えると基板表面にペー
ストを均一に塗布することが困難になり、かつ焼成後の
セラミックリブ内に有機物が残存するという不具合があ
るからである。更に溶媒を3〜70重量%の範囲に限定
したのは、3重量%未満では基板表面にペーストを均一
に塗布することが困難になるからであり、70重量%を
越えるとブレードを用いて所定の形状のセラミックキャ
ピラリリブを得るのが困難になるからである。ペースト
を上記のように配合することにより粘度が1000〜5
00,000cpsのペーストを得ることができ、基板
上に形成されたセラミックキャピラリリブ13のだれを
抑制してセラミックキャピラリリブ13を精度良く形成
することができる。
The ceramic paste contains 30 to 95% by weight of glass powder or glass-ceramic mixed powder, 0.3 to 15% by weight of resin, and 3 to 70% of solvent (solvent, plasticizer, dispersant and defoamer). % By weight. Also, 70 to 90% by weight of glass powder or glass / ceramic mixed powder, 0.5 to 3.5% by weight of resin, and 7 to 20% by weight of solvent (solvent, plasticizer, dispersant and defoamer) It is preferable to mix them. The reason why the glass powder or the glass-ceramic mixed powder is limited to the range of 30 to 95% by weight is as follows.
If the amount is less than 0% by weight, it becomes difficult to obtain a ceramic capillary rib having a predetermined shape using a blade,
This is because it is difficult to uniformly apply the paste to the substrate surface if the ratio exceeds the above range. 0.3 to 15% by weight of resin
If the amount is less than 0.3% by weight, it becomes difficult to obtain a ceramic capillary rib having a predetermined shape using a blade. If the amount exceeds 15% by weight, the paste is uniformly applied to the substrate surface. Is difficult, and there is a problem that the organic matter remains in the fired ceramic rib. Further, the solvent is limited to the range of 3 to 70% by weight because if it is less than 3% by weight, it becomes difficult to uniformly apply the paste on the substrate surface. This is because it becomes difficult to obtain a ceramic capillary rib having the shape of. By mixing the paste as described above, the viscosity becomes 1000 to 5
A paste of 000,000 cps can be obtained, and the ceramic capillary ribs 13 formed on the substrate can be prevented from dripping and the ceramic capillary ribs 13 can be formed with high accuracy.

【0012】樹脂はバインダとしての機能を有し、熱分
解しやすく、溶剤に溶けて高粘度を有するポリマーであ
って、エチルセルロース、アクリル又はポリビニルブチ
ラールなどが挙げられる。また樹脂は溶剤と重合反応
し、時間の経過とともにペースト粘度を上昇させる自己
硬化型樹脂であるか、又は自己硬化型樹脂を含むことが
好ましい。また樹脂が熱硬化型樹脂又は光硬化型樹脂で
あるか、又は熱硬化型樹脂又は光硬化型樹脂を含むこと
が好ましい。自己硬化型樹脂と熱硬化型樹脂と光硬化型
樹脂を2種又は3種組合せてもよい。この自己硬化型樹
脂とこれに重合反応する溶剤の組合せとして、水溶性エ
ポキシ樹脂とトリエチレンテトラミン、PVAとホルム
アルデヒド又は非水溶性エポキシ樹脂とキシレンジアミ
ンが例示される。また熱硬化型樹脂としてはフェノール
樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂、アルキッド樹脂、シ
リコーン樹脂、フラン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、
エポキシ樹脂及びポリウレタン樹脂からなる群より選ば
れた1種又は2種以上の樹脂が用いられ、光硬化型樹脂
としてはベンゾフェノン樹脂、ジベンジルケトン樹脂、
ジエチルチオキサントン樹脂、アントロン樹脂及びジベ
ンゾスベロン樹脂からなる群より選ばれた1種又は2種
以上の樹脂が用いられることが好ましい。
The resin has a function as a binder, is easily decomposed by heat, and is a polymer having a high viscosity when dissolved in a solvent, and examples thereof include ethyl cellulose, acryl, and polyvinyl butyral. Further, the resin is preferably a self-curing resin that undergoes a polymerization reaction with a solvent and increases the viscosity of the paste over time, or contains a self-curing resin. Preferably, the resin is a thermosetting resin or a photocurable resin, or contains a thermosetting resin or a photocurable resin. The self-curing resin, the thermosetting resin, and the light-curing resin may be used alone or in combination of two or more. Examples of the combination of the self-curable resin and a solvent that undergoes a polymerization reaction therewith include a water-soluble epoxy resin and triethylenetetramine, PVA and formaldehyde, or a water-insoluble epoxy resin and xylenediamine. As the thermosetting resin, phenol resin, urea resin, melamine resin, alkyd resin, silicone resin, furan resin, unsaturated polyester resin,
One or more resins selected from the group consisting of an epoxy resin and a polyurethane resin are used, and a benzophenone resin, a dibenzyl ketone resin,
It is preferable to use one or more resins selected from the group consisting of a diethylthioxanthone resin, an anthrone resin and a dibenzosuberone resin.

【0013】溶剤としてはアルコール系、エーテル系、
芳香族系等の有機溶剤もしくは水が挙げられる。有機溶
剤はアルコール系及びエーテル系が好ましい。好ましい
アルコールにはトリエチレングリコール、αテレピネオ
ール等が挙げられる。また好ましいエーテルにはジエチ
ルエーテル等が挙げられる。可塑剤としてはグリセリ
ン、ジブチルフタレート等が挙げられ、分散剤としては
ベンゼンやスルフォン酸等が挙げられる。脱泡剤は消泡
剤とも呼ばれるが、この脱泡剤としてはシリコーン油、
ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシアルキレンアル
キルエーテル等が挙げられる。セラミックペーストをこ
のように構成することにより、塗布した後のペースト膜
から泡を除去できるとともに、所定の粘度を有するペー
ストを得ることができ、基板10上に形成されたセラミ
ックキャピラリリブ13のだれを抑制して焼成すること
によりセラミックリブを精度良く形成することができ
る。
As the solvent, alcohol-based, ether-based,
An organic solvent such as an aromatic solvent or water may be used. The organic solvent is preferably an alcohol or an ether. Preferred alcohols include triethylene glycol, α-terpineol, and the like. Preferred ethers include diethyl ether. Examples of the plasticizer include glycerin and dibutyl phthalate, and examples of the dispersant include benzene and sulfonic acid. The defoaming agent is also called an antifoaming agent. As the defoaming agent, silicone oil,
Sorbitan fatty acid esters, polyoxyalkylene alkyl ethers and the like can be mentioned. By configuring the ceramic paste in this manner, bubbles can be removed from the paste film after application, and a paste having a predetermined viscosity can be obtained, so that the ceramic capillary ribs 13 formed on the substrate 10 are dripped. By suppressing and firing, the ceramic ribs can be formed with high accuracy.

【0014】セラミックペーストの基板10表面への塗
布は、ローラコーティング法、スクリーン印刷法、ディ
ップ法又はドクタブレード法等の既存の手段により行わ
れる。なお、ペースト膜11を基板10上に形成した
後、1時間程度で脱泡剤が作用してペースト膜11から
泡が脱離する。ペーストに自己硬化型樹脂、熱硬化型樹
脂又は光硬化型樹脂を含ませれば、ペースト膜11にブ
レード12をつき刺す前にペースト膜を放置するか、加
熱するか、或いは紫外線を照射することにより、ペース
トの粘度が上がるため、塗布する前のペーストの粘度を
低くして塗工性を向上でき、かつ塗布した後の脱泡剤に
よる脱泡が容易に行われる。
The application of the ceramic paste to the surface of the substrate 10 is performed by an existing means such as a roller coating method, a screen printing method, a dip method or a doctor blade method. After the paste film 11 is formed on the substrate 10, the defoaming agent acts in about one hour to release bubbles from the paste film 11. If the paste contains a self-curable resin, a thermosetting resin, or a photocurable resin, the paste film may be left standing, heated, or irradiated with ultraviolet rays before the blade 12 is stabbed with the paste film 11. In addition, since the viscosity of the paste increases, the viscosity of the paste before application can be reduced to improve coatability, and defoaming by the defoaming agent after application can be easily performed.

【0015】セラミックペーストに自己硬化型樹脂とこ
れと重合反応する溶剤を含ませた場合には、粘度10,
000〜100,000cpsのペーストを塗布してペ
ースト膜11を形成した後、このペースト膜11を大気
中室温下で10〜120分間放置する。自己硬化型樹脂
と溶剤が重合反応することにより、ペーストの比較的粘
度が低くてもペースト膜がキャピラリリブの形成に適す
る硬さになる。セラミックペーストに熱硬化型樹脂を含
ませた場合には、粘度10,000〜100,000c
psのペーストを塗布してペースト膜11を形成した
後、このペースト膜11を大気中50〜200℃で10
〜60分間乾燥する。これによりバインダとしての機能
を有する熱硬化型樹脂が硬化するので、ペーストの比較
的粘度が低くてもペースト膜がキャピラリリブの形成に
適する硬さになる。セラミックペーストに光硬化型樹脂
を含ませた場合には、粘度10,000〜100,00
0cpsのペーストを塗布してペースト膜11を形成し
た後、直ちに所定の波長(例えば、256nm)の紫外
線を0.5〜10分間照射する。このときバインダとし
ての機能を有する光硬化型樹脂が硬化するので、ペース
トの比較的粘度が低くてもペースト膜がキャピラリリブ
の形成に適する硬さになる。上記の自己硬化、熱硬化又
は光硬化の方法によりペースト膜11を所定の硬さにし
た後、このペースト膜11をブレード12により塑性変
形させてセラミックキャピラリリブ13を形成する。ペ
ースト膜中の泡が消去され、ペースト膜が所定の硬さに
なっているため、次に述べるブレード12により高精細
のセラミックキャピラリリブ13が形成される。
When the ceramic paste contains a self-curable resin and a solvent that undergoes a polymerization reaction with the self-curable resin, the viscosity of the resin becomes 10,
After applying a paste of 000 to 100,000 cps to form a paste film 11, the paste film 11 is left in the air at room temperature for 10 to 120 minutes. The polymerization reaction between the self-curing resin and the solvent allows the paste film to have a hardness suitable for forming the capillary rib even if the paste has a relatively low viscosity. When thermosetting resin is included in the ceramic paste, the viscosity is 10,000 to 100,000 c.
After applying a ps paste to form a paste film 11, this paste film 11
Dry for ~ 60 minutes. As a result, the thermosetting resin having a function as a binder is cured, so that the paste film has a hardness suitable for forming the capillary rib even if the paste has a relatively low viscosity. When the photo-curable resin is included in the ceramic paste, the viscosity is 10,000 to 100,000.
Immediately after the paste of 0 cps is applied to form the paste film 11, ultraviolet rays of a predetermined wavelength (for example, 256 nm) are irradiated for 0.5 to 10 minutes. At this time, since the photocurable resin having a function as a binder is cured, the paste film has a hardness suitable for forming the capillary rib even if the paste has a relatively low viscosity. After the paste film 11 has a predetermined hardness by the above-described self-curing, heat-curing or light-curing method, the paste film 11 is plastically deformed by a blade 12 to form a ceramic capillary rib 13. Since bubbles in the paste film are eliminated and the paste film has a predetermined hardness, a high-definition ceramic capillary rib 13 is formed by the blade 12 described below.

【0016】このペースト膜11の形成された基板10
表面に接触させるブレード12には複数のくし歯12b
が等間隔にかつ同一方向に形成される。このブレード1
2はペーストとの反応やペーストに溶解されることのな
い金属、セラミック又はプラスチック等により作られ、
特に、寸法精度、耐久性の観点からセラミック若しくは
Fe,Ni,Co基の合金が好ましい。それぞれのくし
歯12bの隙間はこのブレード12により形成されるセ
ラミックキャピラリリブ13の断面形状に相応して形成
される。図3及び図4に示すように、本実施の形態にお
けるブレード12は厚さtが0.1mmのステンレスス
チールにより形成され、くし歯12bのピッチPが30
0μmであって、くし歯12bの隙間の深さhが300
μmに形成される。
The substrate 10 on which the paste film 11 is formed
The blade 12 to be brought into contact with the surface has a plurality of comb teeth 12b.
Are formed at equal intervals and in the same direction. This blade 1
2 is made of metal, ceramic or plastic, etc. which does not react with the paste or be dissolved in the paste,
Particularly, from the viewpoints of dimensional accuracy and durability, ceramic or an alloy based on Fe, Ni, or Co is preferable. The gap between each comb tooth 12b is formed in accordance with the cross-sectional shape of the ceramic capillary rib 13 formed by the blade 12. As shown in FIGS. 3 and 4, the blade 12 in the present embodiment is formed of stainless steel having a thickness t of 0.1 mm, and the pitch P of the comb teeth 12b is 30.
0 μm, and the depth h of the gap between the comb teeth 12 b is 300
μm.

【0017】ここで、ブレード12は、厚さtが0.0
1mm以上3.0mm以下であって、くし歯12bのピ
ッチをPとし、くし歯12bの隙間をw、その隙間の深
さをhとするとき、0.03mm≦h≦1.0mmであ
りかつw/P≦0.9の関係にあって、くし歯12bの
ピッチPは50μm以上であることが好ましい。これら
の条件を満たすブレード12により形成されたセラミッ
クキャピラリリブ13は、その後の乾燥及び焼成により
引き締り、所望のリブの隙間を有する緻密なセラミック
リブを得ることができる。また、くし歯12bの隙間の
形状は図3に示すように方形状に形成する場合のみなら
ず、最終的に作られるFPDの用途によりくし歯12b
の隙間の形状を台形状又は逆台形に形成してもよい。く
し歯12bの隙間の形状を台形にすれば、開口部を広く
した用途に適したセラミックキャピラリリブ13を形成
することができ、くし歯12bの隙間の形状を逆台形に
すれば、リブの頂部が広い面積で平坦化したセラミック
キャピラリリブ13を形成することができる。
Here, the blade 12 has a thickness t of 0.0
When the pitch of the comb teeth 12b is P, the gap between the comb teeth 12b is w, and the depth of the gap is h, 0.03 mm ≦ h ≦ 1.0 mm and 1 mm or more and 3.0 mm or less. In a relationship of w / P ≦ 0.9, the pitch P of the comb teeth 12b is preferably 50 μm or more. The ceramic capillary rib 13 formed by the blade 12 satisfying these conditions is tightened by subsequent drying and firing, and a dense ceramic rib having a desired gap between the ribs can be obtained. Further, the shape of the gap between the comb teeth 12b is not limited to the case where the gap is formed as shown in FIG.
May be trapezoidal or inverted trapezoidal. If the shape of the gap between the comb teeth 12b is trapezoidal, it is possible to form the ceramic capillary rib 13 suitable for applications with a wide opening, and if the shape of the gap between the comb teeth 12b is inverted trapezoidal, the top of the rib can be formed. Can form the ceramic capillary rib 13 which is flattened in a wide area.

【0018】図1に戻って、このように構成されたブレ
ード12によるセラミックキャピラリリブ13の形成
は、ブレード12のくし歯12bをペースト膜11につ
き刺し、エッジ12aを基板10表面に接触させた状態
で、基板10を固定して図1の実線矢印で示すようにブ
レード12を一定方向に移動するか、又はブレード12
を固定して図1の破線矢印で示すように基板10を一定
方向に移動させてペースト膜11を塑性変形させること
により行われる。即ち、上記移動により基板10表面に
塗布されたペーストのブレード12のくし歯12bに対
応する箇所は、くし歯12bの隙間に移動するか若しく
は掃き取られ、くし歯12bの隙間に位置するペースト
のみが基板10上に残存して基板10表面にセラミック
キャピラリリブ13が形成される。くし歯の溝の深さが
ペースト膜11の厚さより大きい場合にはブレード12
又はガラス基板10を移動するときに掃き取られたペー
ストが溝に入り込みペースト膜11の厚さ以上の高さを
有するセラミックキャピラリリブ13を形成できる。こ
のセラミックキャピラリリブ13を形成した後、大気中
100〜200℃で10〜30分間乾燥してセラミック
グリーンリブを形成し、脱バインダのため大気中300
〜400℃で30分間〜3時間加熱し、更に大気中52
0〜580℃で10〜30分間焼成することにより、図
2に示すセラミックリブ14になる。このセラミックキ
ャピラリリブを乾燥焼成することによりセラミックリブ
が作られ、このセラミックリブを用いて図示しないPD
P、PALC等のFPDを作製することができる。
Returning to FIG. 1, the formation of the ceramic capillary ribs 13 by the blade 12 having such a structure is performed by piercing the comb teeth 12b of the blade 12 with the paste film 11 and bringing the edge 12a into contact with the surface of the substrate 10. Then, the substrate 10 is fixed and the blade 12 is moved in a certain direction as shown by a solid arrow in FIG.
Is fixed, and the paste film 11 is plastically deformed by moving the substrate 10 in a certain direction as shown by a broken line arrow in FIG. That is, the portion of the paste applied to the surface of the substrate 10 corresponding to the comb teeth 12b of the blade 12 is moved or swept into the gap between the comb teeth 12b, and only the paste located in the gap between the comb teeth 12b is moved. Remain on the substrate 10 to form the ceramic capillary rib 13 on the surface of the substrate 10. If the depth of the grooves of the comb teeth is larger than the thickness of the paste film 11, the blade 12
Alternatively, the paste swept when moving the glass substrate 10 enters the groove, and the ceramic capillary rib 13 having a height equal to or greater than the thickness of the paste film 11 can be formed. After forming the ceramic capillary ribs 13, the ceramic green ribs are formed by drying at 100 to 200 ° C. for 10 to 30 minutes in the air to form a ceramic green rib.
Heat at ~ 400 ° C for 30 minutes to 3 hours, and further in air
By firing at 0 to 580 ° C. for 10 to 30 minutes, the ceramic rib 14 shown in FIG. 2 is obtained. A ceramic rib is formed by drying and firing the ceramic capillary rib, and a PD (not shown) is formed using the ceramic rib.
An FPD such as P or PALC can be manufactured.

【0019】上述のようにして基板10上に形成された
セラミックリブ14は、図2の拡大した円内に示すよう
に、リブ14の高さをHとし、高さ(1/2)Hのとこ
ろのリブ14の幅をWC、高さ(3/4)Hのところの
リブ14の幅をWM及び高さ(9/10)Hのところの
リブ14の幅をWTとするとき、H、WC、WM及びWT
それぞれの(最大値−平均値)/平均値で表されるばら
つきが5%以下であって、H/WCで表されるアスペク
ト比が1.5〜10であることが好ましい。アスペクト
比が1.5〜10であることにより、極めて高精細なセ
ラミックリブ14が得られる。
As shown in the enlarged circle of FIG. 2, the ceramic rib 14 formed on the substrate 10 as described above has a height H of the rib 14 and a height (1 /) H. width W C of the ribs 14 where, when the height (3/4) width W M and the height of the ribs 14 where the H (9/10) the width of the rib 14 where the H W T , H, W C , W M, and W T , the variation represented by (maximum value−average value) / average value is 5% or less, and the aspect ratio represented by H / W C is 1. It is preferably 5 to 10. When the aspect ratio is 1.5 to 10, an extremely fine ceramic rib 14 can be obtained.

【0020】図5及び図6は本発明の第2の実施の形態
を示す。図5及び図6において図1及び図2と同一符号
は同一部品を示す。この実施の形態では、上記第1の実
施の形態と同様に基板10の表面に形成されたペースト
膜11にブレード12のくし歯12bをつき刺し、ブレ
ード12のエッジ12aを基板10表面から所定の高さ
浮上した状態でブレード12又は基板10を一定方向に
移動してペースト膜11を塑性変形させることにより、
基板10表面にセラミックキャピラリ層22とこのセラ
ミックキャピラリ層22上にセラミックキャピラリリブ
23が形成される。ペーストの成分及びペーストの塗布
方法は上記第1の実施の形態と同一に構成される。
FIGS. 5 and 6 show a second embodiment of the present invention. 5 and 6, the same reference numerals as those in FIGS. 1 and 2 indicate the same parts. In this embodiment, the comb teeth 12b of the blade 12 are pierced into the paste film 11 formed on the surface of the substrate 10 in the same manner as in the first embodiment, and the edge 12a of the blade 12 is moved from the surface of the substrate 10 to a predetermined position. By moving the blade 12 or the substrate 10 in a certain direction while the height is levitated, the paste film 11 is plastically deformed,
A ceramic capillary layer 22 is formed on the surface of the substrate 10, and a ceramic capillary rib 23 is formed on the ceramic capillary layer 22. The components of the paste and the method of applying the paste are configured in the same manner as in the first embodiment.

【0021】ブレード12によるセラミックキャピラリ
リブ23の形成は、図5に示すように、ブレード12の
エッジ12aをペースト膜11を形成した基板10表面
から所定の高さ浮上した状態で基板10を固定して実線
矢印で示すようにブレード12を一定方向に移動する
か、又はブレード12を固定して破線矢印で示すように
基板10を一定方向に移動させることにより行われる。
この移動により基板10表面から所定の高さまでのペー
ストは基板表面上に残存してセラミックキャピラリ層2
2を形成し、このセラミックキャピラリ層22より上方
のペーストにおけるブレード12のくし歯12bに対応
する箇所はくし歯12bの隙間に移動するか若しくは掃
き取られ、くし歯12bの隙間に位置するペーストのみ
がセラミックキャピラリ層22上に残存してセラミック
キャピラリ層22上にセラミックキャピラリリブ23が
形成される。
As shown in FIG. 5, the ceramic capillary rib 23 is formed by the blade 12 by fixing the substrate 10 with the edge 12a of the blade 12 floating at a predetermined height from the surface of the substrate 10 on which the paste film 11 is formed. This is performed by moving the blade 12 in a certain direction as shown by a solid arrow, or by moving the substrate 10 in a certain direction as shown by a broken arrow with the blade 12 fixed.
By this movement, the paste from the surface of the substrate 10 to a predetermined height remains on the surface of the substrate and remains on the ceramic capillary layer 2.
2, and the portion of the paste above the ceramic capillary layer 22 corresponding to the comb teeth 12b of the blade 12 is moved or swept into the gap between the comb teeth 12b, and only the paste located in the gap between the comb teeth 12b is removed. Ceramic capillary ribs 23 are formed on the ceramic capillary layer 22 while remaining on the ceramic capillary layer 22.

【0022】次に上記セラミックキャピラリ層22及び
セラミックキャピラリリブ23から上記第1の実施の形
態の方法と同様にして、図5に示す基板10上に絶縁層
24が形成され、この絶縁層24上にセラミックリブ2
5が形成される。絶縁層24上に形成されたセラミック
リブ25は、図6の拡大した円内に示すように、リブ2
5の高さをHとし、高さ(1/2)Hのところのリブ2
5の幅をWC、高さ(3/4)Hのところのリブ25の
幅をWM及び高さ(9/10)Hのところのリブ25の
幅をWTとするとき、H、WC、WM及びWTのそれぞれの
(最大値−平均値)/平均値で表されるばらつきが5%
以下であって、H/WCで表されるアスペクト比が1.
5〜10であることが好ましい。アスペクト比が1.5
〜10であることにより、極めて高精細なセラミックリ
ブ25が得られる。
Next, an insulating layer 24 is formed on the substrate 10 shown in FIG. 5 from the ceramic capillary layer 22 and the ceramic capillary ribs 23 in the same manner as in the first embodiment. Ceramic rib 2
5 are formed. As shown in the enlarged circle of FIG. 6, the ceramic rib 25 formed on the insulating layer 24
H is the height of 5 and the rib 2 at the height (1/2) H
5 width of W C, when the height (3/4) width W M and the height of the ribs 25 where the H (9/10) the width of the rib 25 where the H W T, H, 5% of variation represented by (maximum value−average value) / average value of W C , W M, and W T
In the following, the aspect ratio represented by H / W C is 1.
It is preferably 5 to 10. Aspect ratio 1.5
When the ratio is from 10 to 10, an extremely high-definition ceramic rib 25 can be obtained.

【0023】[0023]

【実施例】次に本発明の実施例を比較例とともに詳しく
説明する。 <実施例1>平均粒径1μmのPbO−SiO2−B2
3系ガラス粉末を80重量%と、セラミックフィラーと
して平均粒径0.5μmのアルミナ粉末を20重量%と
を用意し、両者を十分に混合した。この混合粉末と、自
己硬化型樹脂/溶剤としての水溶性エポキシ樹脂/トリ
エチレンテトラミンとエチルセルロースの混合樹脂と、
溶媒とを重量比で75/1/24の割合で配合し、十分
に混練してセラミックペーストを得た。溶媒は溶剤とし
てのαテレピネオールと可塑剤としてのグリセリンと分
散剤としてのスルフォン酸と脱泡剤としてのシリコーン
油を混合して調製した。対角寸法が40インチであっ
て、厚さが3mmのソーダライム系の長方形のガラス基
板10を固定した状態で、ガラス基板10上にこのペー
ストを図1に示すようにスクリーン印刷法により厚さ3
00μmで塗布してペースト膜11を形成した。
Next, examples of the present invention will be described in detail together with comparative examples. <Example 1> having an average particle diameter of 1μm PbO-SiO 2 -B 2 O
80% by weight of the 3 series glass powder and 20% by weight of alumina powder having an average particle size of 0.5 μm as a ceramic filler were prepared, and both were sufficiently mixed. This mixed powder, a self-curing resin / a water-soluble epoxy resin as a solvent / a mixed resin of triethylenetetramine and ethylcellulose,
A solvent and a solvent were blended at a weight ratio of 75/1/24 and sufficiently kneaded to obtain a ceramic paste. The solvent was prepared by mixing α-terpineol as a solvent, glycerin as a plasticizer, sulfonic acid as a dispersant, and silicone oil as a defoaming agent. In a state where a soda lime-based rectangular glass substrate 10 having a diagonal dimension of 40 inches and a thickness of 3 mm is fixed, the paste is applied to the glass substrate 10 by screen printing as shown in FIG. 3
A paste film 11 was formed by coating at a thickness of 00 μm.

【0024】一方、くし歯12bのピッチPが300μ
mであって、くし歯12bの隙間wが150μm、その
深さhが300μm、厚さtが0.1mmのステンレス
鋼により形成されたブレード12を用意した(図3及び
図4)。ペーストを塗布してから大気中室温下で1時間
放置した後、ガラス基板を固定したまま、このブレード
12のくし歯12bをペースト膜につき刺し、そのエッ
ジ12aをガラス基板10に接触させた状態で、図1の
実線矢印で示す方向にブレード12を一定方向に移動し
てペースト膜11を塑性変形させることにより、基板1
0表面にセラミックキャピラリリブ13を形成した。
On the other hand, the pitch P of the comb teeth 12b is 300 μm.
m, the gap w between the comb teeth 12b was 150 μm, the depth h was 300 μm, and the thickness t was 0.1 mm. The blade 12 made of stainless steel was prepared (FIGS. 3 and 4). After applying the paste and leaving it at room temperature for one hour in the air, the comb teeth 12b of the blade 12 are stabbed into the paste film with the glass substrate fixed, and the edge 12a is brought into contact with the glass substrate 10 By moving the blade 12 in a fixed direction in the direction indicated by the solid arrow in FIG.
A ceramic capillary rib 13 was formed on the zero surface.

【0025】<実施例2>平均粒径0.5μmのPbO
−SiO2−B23系ガラス粉末を80重量%と、セラ
ミックフィラーとして平均粒径0.5μmのアルミナ粉
末を20重量%とを用意し、両者を十分に混合して混合
粉末を作製した。一方、フェノール樹脂(熱硬化型樹
脂)を80重量%と、エチルセルロースを20重量%と
を用意し、両者を十分に混合して混合樹脂を作製した。
上記混合粉末と混合樹脂と溶媒とを重量比で80/3/
17の割合で配合し、十分に混練してセラミックペース
トを得た。溶媒は溶剤としてのトリエチレングリコール
と脱泡剤としてのソルビタン脂肪酸エステルを混合して
調製した。このペーストを実施例1と同様にして実施例
1と同じガラス基板上に塗布しペースト膜を形成した。
大気中80℃で1時間放置した後、このペースト膜にブ
レードをつき刺して移動し、ペースト膜を塑性変形させ
ることにより、基板表面にセラミックキャピラリリブを
形成した。
Example 2 PbO having an average particle size of 0.5 μm
80 wt% of —SiO 2 —B 2 O 3 -based glass powder and 20 wt% of alumina powder having an average particle diameter of 0.5 μm as a ceramic filler were prepared, and both were sufficiently mixed to prepare a mixed powder. . On the other hand, 80% by weight of a phenol resin (thermosetting resin) and 20% by weight of ethyl cellulose were prepared, and both were sufficiently mixed to prepare a mixed resin.
The mixed powder, the mixed resin and the solvent were mixed in a weight ratio of 80/3 /
The mixture was mixed at a ratio of 17 and sufficiently kneaded to obtain a ceramic paste. The solvent was prepared by mixing triethylene glycol as a solvent and sorbitan fatty acid ester as a defoaming agent. This paste was applied on the same glass substrate as in Example 1 in the same manner as in Example 1 to form a paste film.
After the paste film was left at 80 ° C. for 1 hour in the air, the paste film was stabbed and moved to plastically deform the paste film, thereby forming a ceramic capillary rib on the substrate surface.

【0026】<実施例3>平均粒径3μmのPbO−S
iO2−B23系ガラス粉末を80重量%と、セラミッ
クフィラーとして平均粒径1μmのアルミナ粉末を20
重量%とを用意し、両者を十分に混合した。この混合粉
末とベンゾフェノン樹脂(光硬化型樹脂)と溶媒とを重
量比で90/0.5/9.5の割合で配合し、十分に混
練してセラミックペーストを得た。溶媒は溶剤としての
αテレピネオールと脱泡剤としてのポリオキシアルキレ
ンアルキルエーテルを混合して調製した。このペースト
を実施例1と同様にして実施例1と同じガラス基板上に
塗布しペースト膜を形成した。波長256nmの紫外線
を1分間照射した後、このペースト膜にブレードをつき
刺して移動し、ペースト膜を塑性変形させることによ
り、基板表面にセラミックキャピラリリブを形成した。
なお、ペースト膜を形成するまでは、紫外線を遮断した
雰囲気で行った。
Example 3 PbO-S having an average particle size of 3 μm
80% by weight of iO 2 -B 2 O 3 -based glass powder and 20 particles of alumina powder having an average particle size of 1 μm as a ceramic filler.
% By weight, and both were sufficiently mixed. This mixed powder, a benzophenone resin (photocurable resin), and a solvent were mixed at a weight ratio of 90 / 0.5 / 9.5, and kneaded sufficiently to obtain a ceramic paste. The solvent was prepared by mixing α-terpineol as a solvent and polyoxyalkylene alkyl ether as a defoaming agent. This paste was applied on the same glass substrate as in Example 1 in the same manner as in Example 1 to form a paste film. After irradiating ultraviolet rays having a wavelength of 256 nm for one minute, the paste film was moved by sticking a blade, and the paste film was plastically deformed, thereby forming a ceramic capillary rib on the substrate surface.
Note that the process was performed in an atmosphere in which ultraviolet rays were blocked until a paste film was formed.

【0027】<比較例1>図7に示すように、ソーダラ
イム系ガラス基板1上にガラス粉末と有機バインダと溶
媒とを含む粘度が50,000cpsのリブ形成用ペー
スト2をスクリーン印刷法により所定のパターンで位置
合わせをして印刷し、150℃で10分間乾燥する工程
を12回繰返して重ね塗りした。この重ね塗りはセラミ
ックグリーンリブ2の高さHが200μmとなるように
設定した。上記リブ形成用ペーストとしてはSiO2
ZnO及びPbOを主成分とするガラス粉末とAl23
粉末とを含む。また有機バインダとしてはエチルセルロ
ースを用い、更に溶媒としてはα−テレピネオールを用
いた。これにより所定の間隔(セル9の広さS)をあけ
てセラミックグリーンリブ2を形成した。次に基板1上
にセラミックグリーンリブ2が形成された構造体を大気
中で550℃で1時間熱処理することにより、基板1上
に高さHが約170μmのセラミックリブ8を形成し
た。
Comparative Example 1 As shown in FIG. 7, a rib forming paste 2 containing glass powder, an organic binder and a solvent and having a viscosity of 50,000 cps was screen-printed on a soda-lime glass substrate 1 by a screen printing method. And printing at 150 ° C. for 10 minutes was repeated 12 times to perform recoating. This overcoating was set so that the height H of the ceramic green rib 2 was 200 μm. As the rib forming paste, SiO 2 ,
Glass powder mainly composed of ZnO and PbO and Al 2 O 3
And powder. Ethyl cellulose was used as the organic binder, and α-terpineol was used as the solvent. Thus, the ceramic green ribs 2 were formed at predetermined intervals (the width S of the cell 9). Next, the structure in which the ceramic green ribs 2 were formed on the substrate 1 was heat-treated at 550 ° C. for 1 hour in the air, thereby forming the ceramic ribs 8 having a height H of about 170 μm on the substrate 1.

【0028】<比較試験及び評価>実施例1、実施例2
及び実施例3の基板10に形成されたセラミックキャピ
ラリリブ13を大気中150℃で20分間乾燥して溶媒
を脱離させることによりセラミックグリーンリブ(図示
せず)にし、更に脱バインダのために350℃で60分
間加熱した後に、大気中550℃で10分間焼成してセ
ラミックリブ14とした。このように焼成して得られた
実施例1〜3のセラミックリブ14のそれぞれ任意の1
00本と、比較例1で得られたセラミックリブ8の任意
の100本について、その高さH及び幅を以下のように
それぞれ測定した。図2に示すように、実施例1〜3及
び比較例1の基板上の任意の100本のセラミックリブ
の幅の測定は、セラミックリブの高さをHとしたときの
高さ(1/2)Hのところのリブの幅WCと、高さ(3
/4)Hのところのリブの幅WMと、高さ(9/10)
Hのところのリブの幅WTとをそれぞれ測定することに
より行った。またこれらの測定値の平均値を算出した
後、H、WC、WM及びWTのそれぞれの(最大値又は最
小値−平均値)/平均値で表されるばらつきを算出し
た。表1に実施例1〜3の結果を比較例1の結果と対比
させて示す。
<Comparative Test and Evaluation> Examples 1 and 2
The ceramic capillary rib 13 formed on the substrate 10 of the third embodiment is dried at 150 ° C. for 20 minutes in the air to remove the solvent, thereby forming a ceramic green rib (not shown). After heating at 60 ° C. for 60 minutes, it was fired at 550 ° C. in the air for 10 minutes to form a ceramic rib 14. Any one of the ceramic ribs 14 of Examples 1 to 3 obtained by firing in this manner.
The height H and the width were measured for 00 pieces and 100 arbitrary pieces of the ceramic ribs 8 obtained in Comparative Example 1 as follows. As shown in FIG. 2, the measurement of the width of 100 arbitrary ceramic ribs on the substrates of Examples 1 to 3 and Comparative Example 1 was based on the height (1/2) when the height of the ceramic rib was H. ) and the width W C of the ribs of the place of H, height (3
/ 4) and the width W M of the ribs of the place of H, height (9/10)
The measurement was performed by measuring the width W T of the rib at H. Also after calculating the average value of these measured values, H, W C, respectively (the maximum value or the minimum value - average value) of W M and W T were calculated variation represented by / average value. Table 1 shows the results of Examples 1 to 3 in comparison with the results of Comparative Example 1.

【0029】[0029]

【表1】 [Table 1]

【0030】表1から明らかなように、比較例1と比べ
て、実施例1〜実施例3では、ペースト膜を形成した
後、脱泡させ、自己硬化、熱硬化及び光硬化の各作用に
よりペースト膜を適度な硬さにしたので、高さ及び幅の
ばらつきの小さいセラミックリブを基板上に形成できる
ことが判った。
As is clear from Table 1, in Examples 1 to 3, as compared with Comparative Example 1, after the paste film was formed, the paste film was defoamed, and each of the self-curing, heat-curing, and light-curing functions was performed. Since the paste film had an appropriate hardness, it was found that ceramic ribs with small variations in height and width could be formed on the substrate.

【0031】[0031]

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、セ
ラミックペーストを塑性変形させてセラミックキャピラ
リリブを形成したので、所定の粘度を有するペーストに
所定の外力を加えると、ペーストが所望の形状のセラミ
ックキャピラリリブに変形し、上記外力を取り去っても
セラミックペーストは元に戻らずに、上記セラミックキ
ャピラリリブは変形した後の形状に保たれる。またセラ
ミックペーストがガラス粉末又はガラス・セラミック混
合粉末が30〜95重量%と、樹脂が0.3〜15重量
%と、溶媒が3〜70重量%とを含むように構成すれ
ば、所定の粘度のペーストを得ることができ、セラミッ
クキャピラリリブのだれを抑制できる。この結果、少な
い工程で材料の無駄なく、簡便にかつ精度良くセラミッ
クキャピラリリブを形成することができる。またこの塑
性変形をペースト膜にくし歯をつき刺した状態でブレー
ドをペースト膜に対して相対的に一定方向に移動するこ
とにより行うと、ペースト膜のうちブレードのくし歯に
対応する箇所のペーストがくし歯の隙間に移動するか若
しくは掃き取られるので、ペースト膜がくし歯の隙間の
形状に変形し、かつくし歯の隙間の形状に保たれる。こ
の結果、上記と同様に少ない工程で材料の無駄なく、簡
便にかつ精度良くセラミックキャピラリリブを形成する
ことができる。
As described above, according to the present invention, a ceramic capillary rib is formed by plastically deforming a ceramic paste. Therefore, when a predetermined external force is applied to a paste having a predetermined viscosity, a desired paste can be obtained. Even when the ceramic capillary rib is deformed into a shape and the external force is removed, the ceramic paste does not return to its original shape, and the shape of the ceramic capillary rib is maintained after the deformation. Further, if the ceramic paste is configured to contain 30 to 95% by weight of glass powder or glass / ceramic mixed powder, 0.3 to 15% by weight of resin, and 3 to 70% by weight of solvent, a predetermined viscosity is obtained. Can be obtained, and dripping of the ceramic capillary rib can be suppressed. As a result, the ceramic capillary rib can be formed simply and accurately with a small number of steps without waste of material. In addition, when the plastic deformation is performed by moving the blade in a fixed direction relative to the paste film while the comb teeth are pierced in the paste film, the paste in the portion of the paste film corresponding to the comb teeth of the blade is formed. Since the paste film moves or is swept into the gap between the comb teeth, the paste film is deformed into the shape of the gap between the comb teeth, and is maintained in the shape of the gap between the comb teeth. As a result, the ceramic capillary rib can be formed simply and accurately with a small number of steps in the same manner as described above without waste of material.

【0032】上記樹脂として自己硬化型樹脂を用いれ
ば、ペーストを塗布した後の放置時に樹脂が溶剤と重合
反応して硬化するので、ブレードで接触する前にペース
ト膜を適度の硬さにすることができる。また上記樹脂に
熱硬化型樹脂を含むように構成すれば、ペーストを塗布
した後の加熱時に、バインダとして機能する上記熱硬化
型樹脂が硬化するので、ブレードで接触する前にペース
ト膜を適度の硬さにすることができる。更に上記樹脂に
光硬化型樹脂を含むように構成すれば、ペーストを塗布
した後のペースト膜に紫外線を所定時間照射することに
より、バインダとして機能する上記光硬化型樹脂が硬化
するので、ペースト膜を適度の硬さにすることができ
る。これによりブレードでペースト膜を掃き取ったとき
に、幅のばらつきの小さいセラミックキャピラリリブが
形成される。本発明のセラミックキャピラリリブを乾燥
焼成すれば、高精細なセラミックリブを形成でき、かつ
このセラミックリブをFPDに利用すれば、高品質のF
PDが得られる。
If a self-curing resin is used as the above resin, the resin will polymerize and react with a solvent when left after application of the paste, so that the resin hardens. Can be. If the resin is configured to include a thermosetting resin, the thermosetting resin functioning as a binder is cured at the time of heating after application of the paste, so that the paste film can be appropriately moderated before contacting with a blade. Can be hard. Further, if the resin is configured to include a photocurable resin, the photocurable resin functioning as a binder is cured by irradiating the paste film after applying the paste with ultraviolet light for a predetermined time, so that the paste film Can be moderately hardened. As a result, when the paste film is swept by the blade, a ceramic capillary rib having a small width variation is formed. When the ceramic capillary rib of the present invention is dried and fired, a high-definition ceramic rib can be formed.
PD is obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明第1実施形態のセラミックキャピラリリ
ブの形成状態を示す斜視図。
FIG. 1 is a perspective view showing a state of forming a ceramic capillary rib according to a first embodiment of the present invention.

【図2】図1のA−A線断面におけるセラミックキャピ
ラリリブを乾燥、加熱及び焼成することにより得たセラ
ミックリブを示す断面図。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing a ceramic rib obtained by drying, heating, and firing the ceramic capillary rib in the cross section along the line AA in FIG. 1;

【図3】そのブレードの正面図。FIG. 3 is a front view of the blade.

【図4】図3のB−B線断面図。FIG. 4 is a sectional view taken along line BB of FIG. 3;

【図5】本発明第2実施形態のセラミックキャピラリ層
付リブの形成状態を示す図1に対応する斜視図。
FIG. 5 is a perspective view corresponding to FIG. 1 and showing a state of forming a rib with a ceramic capillary layer according to a second embodiment of the present invention.

【図6】図5のB−B線断面におけるセラミックキャピ
ラリ層付リブを乾燥、加熱及び焼成することにより得た
絶縁層付セラミックリブを示す図2に対応する断面図。
6 is a cross-sectional view corresponding to FIG. 2 showing a ceramic rib with an insulating layer obtained by drying, heating, and firing the rib with a ceramic capillary layer in a cross section taken along line BB of FIG. 5;

【図7】従来のセラミックリブの形成を工程順に示す断
面図。
FIG. 7 is a sectional view showing the formation of a conventional ceramic rib in the order of steps.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 ガラス基板 11 セラミックペースト膜 12 ブレード 12a エッジ 12b くし歯 13,23 セラミックキャピラリリブ 14,25 セラミックリブ 22 セラミックキャピラリ層 24 絶縁層 Reference Signs List 10 glass substrate 11 ceramic paste film 12 blade 12a edge 12b comb tooth 13,23 ceramic capillary rib 14,25 ceramic rib 22 ceramic capillary layer 24 insulating layer

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 神田 義雄 埼玉県大宮市北袋町1丁目297番地 三菱 マテリアル株式会社総合研究所内 (72)発明者 黒光 祥郎 埼玉県大宮市北袋町1丁目297番地 三菱 マテリアル株式会社総合研究所内 Fターム(参考) 2H089 HA36 QA12 QA13 4G062 AA08 AA09 AA15 BB04 MM07 MM12 PP03 PP05 PP13 PP14 5C040 GF18 GF19 JA02 JA11 JA20 KA09 KA11 KA15 KA16 KB02 KB03 KB11 KB19 KB28 MA24 MA26  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing from the front page (72) Inventor Yoshio Kanda 1-297 Kitabukurocho, Omiya-shi, Saitama Mitsubishi Materials Research Institute (72) Inventor Yoshiro Kuromitsu 1-297 Kitabukurocho, Omiya-shi, Saitama Mitsubishi Materials F-term in the Research Institute, Inc. (reference)

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 塑性変形によってセラミックキャピラリ
リブを形成可能なセラミックペーストであって、 ガラス粉末又はガラス・セラミック混合粉末が30〜9
5重量%と、樹脂が0.3〜15重量%と、溶媒が3〜
70重量%とを含み、 前記溶媒が溶剤と可塑剤と分散剤と脱泡剤の混合物であ
ることを特徴とするセラミックキャピラリリブ形成用セ
ラミックペースト。
1. A ceramic paste capable of forming ceramic capillary ribs by plastic deformation, wherein glass powder or glass / ceramic mixed powder is 30 to 9%.
5% by weight, 0.3 to 15% by weight of resin and 3 to 5% by weight of solvent
70% by weight, wherein the solvent is a mixture of a solvent, a plasticizer, a dispersant, and a defoaming agent, wherein the ceramic paste for forming a ceramic capillary rib is provided.
【請求項2】 塑性変形がセラミックペースト膜(11)に
所定のくし歯(12b)を有するブレード(12)をつき刺し、
前記ブレード(12)を前記ペースト膜(11)に対して相対的
に一定方向に移動することにより行われる請求項1記載
のセラミックペースト。
2. A blade (12) having predetermined comb teeth (12b) is stabbed into the ceramic paste film (11) by plastic deformation,
The ceramic paste according to claim 1, wherein the ceramic paste is performed by moving the blade (12) in a fixed direction relative to the paste film (11).
【請求項3】 樹脂が溶剤と重合反応し、時間の経過と
ともにペースト粘度を上昇させる自己硬化型樹脂である
か、又は自己硬化型樹脂を含む請求項1又は2記載のセ
ラミックペースト。
3. The ceramic paste according to claim 1, wherein the resin is a self-curing resin that undergoes a polymerization reaction with a solvent to increase the viscosity of the paste over time, or contains a self-curing resin.
【請求項4】 樹脂と溶剤が水溶性エポキシ樹脂とトリ
エチレンテトラミン、PVAとホルムアルデヒド又は非
水溶性エポキシ樹脂とキシレンジアミンである請求項3
記載のセラミックペースト。
4. The resin and the solvent are a water-soluble epoxy resin and triethylenetetramine, PVA and formaldehyde, or a water-insoluble epoxy resin and xylenediamine.
The described ceramic paste.
【請求項5】 樹脂が熱硬化型樹脂又は光硬化型樹脂で
あるか、又は熱硬化型樹脂又は光硬化型樹脂を含む請求
項1又は3記載のセラミックペースト。
5. The ceramic paste according to claim 1, wherein the resin is a thermosetting resin or a photocurable resin, or contains a thermosetting resin or a photocurable resin.
【請求項6】 熱硬化型樹脂がフェノール樹脂、ユリア
樹脂、メラミン樹脂、アルキッド樹脂、シリコーン樹
脂、フラン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、エポキシ樹
脂及びポリウレタン樹脂からなる群より選ばれた1種又
は2種以上の樹脂である請求項5記載のセラミックペー
スト。
6. The thermosetting resin is one or two selected from the group consisting of phenolic resins, urea resins, melamine resins, alkyd resins, silicone resins, furan resins, unsaturated polyester resins, epoxy resins and polyurethane resins. The ceramic paste according to claim 5, which is the above resin.
【請求項7】 光硬化型樹脂がベンゾフェノン樹脂、ジ
ベンジルケトン樹脂、ジエチルチオキサントン樹脂、ア
ントロン樹脂及びジベンゾスベロン樹脂からなる群より
選ばれた1種又は2種以上の樹脂である請求項5記載の
セラミックペースト。
7. The photocurable resin is one or more resins selected from the group consisting of benzophenone resins, dibenzylketone resins, diethylthioxanthone resins, anthrone resins, and dibenzosuberone resins. Ceramic paste.
【請求項8】 請求項1ないし7いずれか記載のセラミ
ックペーストを用いて形成したセラミックキャピラリリ
ブを乾燥焼成してなるセラミックリブ。
8. A ceramic rib formed by drying and firing a ceramic capillary rib formed using the ceramic paste according to claim 1.
【請求項9】 請求項8記載のセラミックリブを有する
PDP。
9. A PDP having the ceramic rib according to claim 8.
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