JP2000185937A - Paste for forming ceramic capillary rib - Google Patents

Paste for forming ceramic capillary rib

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JP2000185937A
JP2000185937A JP36318498A JP36318498A JP2000185937A JP 2000185937 A JP2000185937 A JP 2000185937A JP 36318498 A JP36318498 A JP 36318498A JP 36318498 A JP36318498 A JP 36318498A JP 2000185937 A JP2000185937 A JP 2000185937A
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Japan
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ceramic
rib
paste
resins
resin
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JP36318498A
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Japanese (ja)
Inventor
Yoshio Kuromitsu
祥郎 黒光
Makoto Chokai
誠 鳥海
Hiroki Hirata
寛樹 平田
Seiji Toyoda
誠司 豊田
Yoshio Kanda
義雄 神田
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Mitsubishi Materials Corp
Original Assignee
Mitsubishi Materials Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To make ceramic capillary ribs simply and accurately formable through reduced process steps without wasteful use of raw materials. SOLUTION: A blade 12 having prescribed comb teeth 12b is thrust into the ceramic paste membrane 11 and the blade is allowed to move in a certain direction relatively to the paste membrane 11 to effect the plastic deformation of the membrane and the objective ceramic capillary ribs 13 is formed thereby. The ceramic paste for forming the paste membrane comprises 3095 wt.% of glass powder or glass and ceramic mixed powder, 0.3-15 wt.% of resin and 3-70 wt.% of a solvent.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、PDP(plasma d
isplay panel: プラズマディスプレイパネル)、PAL
C(plasma addressed liquid crystal display)等の
FPD(flat panel display)の製造工程におけるセラ
ミックキャピラリリブ(ceramic capillaryrib)を形成
するためのセラミックペースト及びこのキャピラリリブ
から作られたセラミックリブ並びにこのセラミックリブ
を有するFPDに関するものである。
[0001] The present invention relates to a PDP (plasma d
isplay panel: plasma display panel), PAL
A ceramic paste for forming a ceramic capillary rib in a manufacturing process of an FPD (flat panel display) such as a C (plasma addressed liquid crystal display), a ceramic rib made from the capillary rib, and the ceramic rib are provided. It is about FPD.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、セラミックリブは、図7に示すよ
うにガラス基板1の上にガラス粉末を含むリブ形成用ペ
ースト2を厚膜印刷法により所定のパターンで位置合わ
せをして多数回重ね塗りし、乾燥した後に焼成し、基板
1上に所定の間隔をあけて作られている。このリブ8の
高さHは通常100〜300μm、リブの幅Wは通常5
0〜100μm程度であって、リブとリブで挟まれるセ
ル9の広さSは通常100〜300μm程度である。
2. Description of the Related Art Conventionally, as shown in FIG. 7, a ceramic rib is laminated on a glass substrate 1 many times by positioning a rib forming paste 2 containing glass powder in a predetermined pattern by a thick film printing method. It is coated, dried and fired, and is formed on the substrate 1 at a predetermined interval. The height H of the rib 8 is usually 100 to 300 μm, and the width W of the rib is usually 5
The width S of the cell 9 sandwiched between the ribs is usually about 100 to 300 μm.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の厚
膜印刷法によるセラミックリブの形成方法では、リブの
幅Wが50〜100μm程度と比較的狭くかつ印刷後に
ペーストがだれ易いため、厚膜の一回塗りの厚さは焼成
上がりで10〜20μm程度に小さく抑えなければなら
ない。この結果、この方法では高さHが100〜300
μmのリブを作るために、厚膜を10〜20回もの多く
の回数重ね塗りする必要があり、その上重ね塗りした後
のリブの高さHをリブの幅Wで除したH/Wが1.5〜
4程度と大きいために、厚膜印刷時に十分に位置合わせ
をしても精度良くリブを形成しにくい欠点があった。本
発明の目的は、少ない工程で材料の無駄なく、簡便にか
つ精度良くセラミックキャピラリリブを形成できるセラ
ミックペーストを提供することにある。本発明の別の目
的は、このキャピラリリブから作られたセラミックリブ
並びにこのセラミックリブを有するFPDを提供するこ
とにある。
However, in the above-described conventional method of forming a ceramic rib by the thick film printing method, the width W of the rib is relatively narrow, about 50 to 100 μm, and the paste tends to drip after printing. The thickness of the single coating must be suppressed to about 10 to 20 μm after firing. As a result, in this method, the height H is 100 to 300.
In order to form a rib having a thickness of μm, it is necessary to repeatedly apply the thick film as many as 10 to 20 times, and H / W is obtained by dividing the height H of the rib after the upper coating by the width W of the rib. 1.5-
Since it is as large as about 4, there is a disadvantage that it is difficult to form ribs with high accuracy even when alignment is sufficiently performed during thick film printing. An object of the present invention is to provide a ceramic paste capable of forming a ceramic capillary rib simply and accurately with a small number of steps and no waste of material. It is another object of the present invention to provide a ceramic rib made from the capillary rib and an FPD having the ceramic rib.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】請求項1に係る発明は、
塑性変形によってセラミックキャピラリリブを形成可能
なセラミックペーストである。この請求項1に記載され
たセラミックペーストでは、所定の粘度を有するペース
トに所定の外力を加えると、ペーストが所望の形状のセ
ラミックキャピラリリブに変形し、上記外力を取り去っ
てもペーストは元に戻らずに、上記セラミックキャピラ
リリブは変形した後の形状に保たれる。
The invention according to claim 1 is
This is a ceramic paste capable of forming a ceramic capillary rib by plastic deformation. In the ceramic paste according to claim 1, when a predetermined external force is applied to a paste having a predetermined viscosity, the paste is deformed into a ceramic capillary rib having a desired shape, and the paste returns to its original state even when the external force is removed. Instead, the shape of the ceramic capillary rib is maintained after deformation.

【0005】請求項2に係る発明は、図1に示すよう
に、請求項1に係る発明であって、塑性変形がセラミッ
クペースト膜11に所定のくし歯12bを有するブレー
ド12をつき刺し、ブレード12をペースト膜11に対
して相対的に一定方向に移動することにより行われるセ
ラミックペーストである。この請求項2に記載されたセ
ラミックペーストでは、塑性変形がくし歯12bをペー
スト膜11につき刺した状態でブレード12をペースト
膜11に対して相対的に一定方向に移動することにより
行われる。即ち、ペースト膜11のうちブレード12の
くし歯12bに対応する箇所のペーストがくし歯12b
の隙間に移動するか若しくは掃き取られるので、ペース
ト膜11がくし歯12bの隙間の形状に変形し、かつく
し歯12bの隙間の形状に保たれる。この結果、基板1
0表面にセラミックキャピラリリブ13が形成される。
As shown in FIG. 1, the invention according to claim 2 is the invention according to claim 1, wherein plastic deformation is performed by piercing a ceramic paste film 11 with a blade 12 having predetermined comb teeth 12b. 12 is a ceramic paste that is performed by moving the paste film 12 in a fixed direction relative to the paste film 11. In the ceramic paste according to the second aspect, the plastic deformation is performed by moving the blade 12 in a fixed direction relative to the paste film 11 with the comb teeth 12b piercing the paste film 11. That is, the paste of the portion of the paste film 11 corresponding to the comb teeth 12b of the blade 12
Is moved or swept away, the paste film 11 is deformed into the shape of the gap between the comb teeth 12b, and is maintained in the shape of the gap between the comb teeth 12b. As a result, the substrate 1
A ceramic capillary rib 13 is formed on the zero surface.

【0006】請求項3に係る発明は、請求項1又は2に
係る発明であって、更にガラス粉末又はガラス・セラミ
ック混合粉末が30〜95重量%と、樹脂が0.3〜1
5重量%と、溶媒が3〜70重量%とを含むことを特徴
とする。この請求項3に記載されたセラミックペースト
では、上記のようにペーストを配合することにより粘度
が1000〜500,000cpsのペーストを得るこ
とができ、基板上に形成されたセラミックキャピラリリ
ブのだれを抑制してセラミックキャピラリリブを精度良
く形成する。なお、ペーストの粘度は5,000〜50
0,000cpsが好ましく、10,000〜300,
000cpsが更に好ましい。
The invention according to claim 3 is the invention according to claim 1 or 2, further comprising 30 to 95% by weight of glass powder or glass / ceramic mixed powder and 0.3 to 1% of resin.
It is characterized in that it contains 5% by weight and the solvent contains 3 to 70% by weight. In the ceramic paste according to the third aspect, a paste having a viscosity of 1000 to 500,000 cps can be obtained by blending the paste as described above, thereby suppressing dripping of the ceramic capillary rib formed on the substrate. To form a ceramic capillary rib with high precision. The paste has a viscosity of 5,000 to 50.
10,000 cps is preferred, and 10,000 to 300,
000 cps is more preferred.

【0007】請求項4に係る発明は、請求項3に係る発
明であって、更に樹脂が熱硬化型樹脂又は光硬化型樹脂
であるか、又は熱硬化型樹脂又は光硬化型樹脂を含むこ
とを特徴とする。この請求項4に記載されたセラミック
ペーストでは、樹脂に熱硬化型樹脂を含めば、セラミッ
クキャピラリリブの乾燥時に、バインダとして機能する
上記熱硬化型樹脂が硬化するので、乾燥後のセラミック
グリーンリブの変形を阻止できる。また樹脂に光硬化型
樹脂を含めば、セラミックキャピラリリブに紫外線を所
定時間照射することにより、バインダとして機能する上
記光硬化型樹脂が硬化するので、セラミックキャピラリ
リブの変形を阻止できる。
The invention according to claim 4 is the invention according to claim 3, wherein the resin is a thermosetting resin or a photocurable resin, or contains a thermosetting resin or a photocurable resin. It is characterized by. In the ceramic paste according to the fourth aspect, if a thermosetting resin is included in the resin, the thermosetting resin functioning as a binder is hardened when the ceramic capillary rib is dried. Deformation can be prevented. If the resin includes a photocurable resin, the photocurable resin functioning as a binder is cured by irradiating the ceramic capillary rib with ultraviolet light for a predetermined time, so that the deformation of the ceramic capillary rib can be prevented.

【0008】また熱硬化型樹脂としてフェノール樹脂、
ユリア樹脂、メラミン樹脂、アルキッド樹脂、シリコー
ン樹脂、フラン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、エポキ
シ樹脂及びポリウレタン樹脂からなる群より選ばれた1
種又は2種以上の樹脂を用いることが好ましく、光硬化
型樹脂としてベンゾフェノン樹脂、ジベンジルケトン樹
脂、ジエチルチオキサントン樹脂、アントロン樹脂及び
ジベンゾスベロン樹脂からなる群より選ばれた1種又は
2種以上の樹脂を用いることが好ましい。なお、本明細
書で「セラミックキャピラリ」とは、本発明のガラス粉
末又はガラス・セラミック混合粉末と樹脂と溶剤と可塑
剤と分散剤を含むセラミックペーストを塗布した後の大
部分の樹脂と溶剤と可塑剤と分散剤が残存している状態
をいう。また「セラミックグリーン」とは、ガラス粉末
又はガラス・セラミック混合粉末と樹脂と可塑剤と分散
剤が残存している状態で、溶剤の大部分が残存していな
い状態をいう。
Further, a phenol resin is used as a thermosetting resin,
1 selected from the group consisting of urea resin, melamine resin, alkyd resin, silicone resin, furan resin, unsaturated polyester resin, epoxy resin and polyurethane resin
It is preferable to use one or more resins, and one or more resins selected from the group consisting of a benzophenone resin, a dibenzylketone resin, a diethylthioxanthone resin, an anthrone resin and a dibenzosuberone resin as the photocurable resin. Is preferred. In this specification, "ceramic capillary" means most of the resin and solvent after applying the ceramic paste containing the glass powder or the glass-ceramic mixed powder of the present invention, the resin, the solvent, the plasticizer and the dispersant. It means a state in which the plasticizer and the dispersant remain. "Ceramic green" refers to a state in which glass powder or glass-ceramic mixed powder, resin, plasticizer, and dispersant remain, and most of the solvent does not remain.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】次に本発明の第1の実施の形態を
図面に基づいて説明する。図1に示すように、セラミッ
クキャピラリリブ13は基板10の表面にセラミックペ
ーストを塗布して形成されたセラミックペースト膜11
に、ブレード12に形成されたくし歯12bをつき刺
し、ブレード12のエッジ12aを基板10表面に接触
させた状態でブレード12又は基板10を一定方向に移
動することにより基板10表面に形成される。セラミッ
クペーストは、ガラス粉末又はガラス・セラミック混合
粉末と有機バインダである樹脂と溶媒(溶剤と可塑剤と
分散剤)とを含むペーストであり、ガラス粉末はSiO
2、ZnO、PbO等を主成分として、その軟化点が3
00℃〜600℃であることが必要である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. As shown in FIG. 1, a ceramic paste rib 11 is formed by applying a ceramic paste on the surface of a substrate 10.
Is formed on the surface of the substrate 10 by piercing a comb tooth 12b formed on the blade 12 and moving the blade 12 or the substrate 10 in a certain direction while the edge 12a of the blade 12 is in contact with the surface of the substrate 10. The ceramic paste is a paste containing a glass powder or a glass / ceramic mixed powder, a resin as an organic binder, and a solvent (solvent, plasticizer, and dispersant).
2 , with ZnO, PbO, etc. as main components and a softening point of 3
It is necessary that the temperature be between 00C and 600C.

【0010】ガラス・セラミック混合粉末とはSi
2、ZnO、PbO等を主成分とするガラス粉末と、
フィラーの役割を果すアルミナ、コージェライト、ムラ
イト、フォルステライト等のセラミック粉末とを含むも
のであり、このセラミック粉末は形成されたキャピラリ
リブ13を乾燥焼成するときのセラミックリブの熱膨張
係数をガラス基板10の熱膨張係数と均等にするため、
及び焼成後のセラミックリブの強度を向上させるために
混合される。セラミック粉末は60容積%以下が好まし
い。セラミック粉末が60容積%以上になるとリブが多
孔質になり好ましくない。なお、ガラス粉末及びセラミ
ック粉末の粒径はそれぞれ0.1〜30μmであること
が好ましい。ガラス粉末及びセラミック粉末の粒径が
0.1μm未満であると凝集し易くその取扱いが煩わし
くなる。また、30μmを越えると後述するブレード1
2の移動時に所望のリブ13が形成できなくなる不具合
がある。
The glass / ceramic mixed powder is Si
A glass powder containing O 2 , ZnO, PbO or the like as a main component;
And a ceramic powder such as alumina, cordierite, mullite, and forsterite, which serves as a filler. The ceramic powder has a coefficient of thermal expansion of the ceramic rib when the formed capillary rib 13 is dried and fired. In order to make it equal to the coefficient of thermal expansion of 10,
And in order to improve the strength of the ceramic rib after firing. The content of the ceramic powder is preferably 60% by volume or less. When the content of the ceramic powder exceeds 60% by volume, the ribs become porous, which is not preferable. In addition, it is preferable that the particle diameters of the glass powder and the ceramic powder are each 0.1 to 30 μm. When the particle diameter of the glass powder and the ceramic powder is less than 0.1 μm, the glass powder and the ceramic powder are apt to agglomerate and the handling thereof becomes complicated. When the thickness exceeds 30 μm, a blade 1 described later is used.
There is a problem that a desired rib 13 cannot be formed when the second member 2 is moved.

【0011】セラミックペーストは、ガラス粉末又はガ
ラス・セラミック混合粉末を30〜95重量%、樹脂を
0.3〜15重量%、溶媒(溶剤と可塑剤と分散剤)を
3〜70重量%それぞれ配合することが好ましい。ま
た、ガラス粉末又はガラス・セラミック混合粉末を70
〜90重量%、樹脂を0.5〜3.5重量%、溶媒(溶
剤と可塑剤と分散剤)を7〜20重量%それぞれ配合す
ることが更に好ましい。ガラス粉末又はガラス・セラミ
ック混合粉末を30〜95重量%の範囲に限定したの
は、30重量%未満ではブレードを用いて所定の形状の
セラミックキャピラリリブを得るのが困難になり、95
重量%を越えると基板表面にペーストを均一に塗布する
ことが困難になるからである。また樹脂を0.3〜15
重量%の範囲に限定したのは、0.3重量%未満ではブ
レードを用いて所定の形状のセラミックキャピラリリブ
を得るのが困難になり、15重量%を越えると基板表面
にペーストを均一に塗布することが困難になり、かつ焼
成後のセラミックリブ内に有機物が残存するという不具
合があるからである。更に溶媒を3〜70重量%の範囲
に限定したのは、3重量%未満では基板表面にペースト
を均一に塗布することが困難になるからであり、70重
量%を越えるとブレードを用いて所定の形状のセラミッ
クキャピラリリブを得るのが困難になるからである。ペ
ーストを上記のように配合することにより粘度が100
0〜500,000cpsのペーストを得ることがで
き、基板上に形成されたセラミックキャピラリリブ13
のだれを抑制してセラミックキャピラリリブ13を精度
良く形成することができる。
The ceramic paste contains 30 to 95% by weight of glass powder or glass / ceramic mixed powder, 0.3 to 15% by weight of resin, and 3 to 70% by weight of solvent (solvent, plasticizer and dispersant). Is preferred. In addition, glass powder or glass-ceramic mixed powder
It is more preferable to mix 90 to 90% by weight, 0.5 to 3.5% by weight of a resin, and 7 to 20% by weight of a solvent (solvent, plasticizer and dispersant). The reason that the glass powder or the glass-ceramic mixed powder is limited to the range of 30 to 95% by weight is that if it is less than 30% by weight, it becomes difficult to obtain a ceramic capillary rib having a predetermined shape using a blade.
If the content is more than the weight percentage, it becomes difficult to uniformly apply the paste to the substrate surface. 0.3 to 15 of resin
If the content is limited to the range of less than 0.3% by weight, it is difficult to obtain a ceramic capillary rib having a predetermined shape using a blade if the content is less than 0.3% by weight, and if it exceeds 15% by weight, the paste is uniformly applied to the substrate surface. This is because it is difficult to perform the heating, and there is a problem that the organic substance remains in the fired ceramic rib. Further, the solvent is limited to the range of 3 to 70% by weight because if it is less than 3% by weight, it becomes difficult to uniformly apply the paste on the substrate surface. This is because it becomes difficult to obtain a ceramic capillary rib having the shape of. By mixing the paste as described above, the viscosity becomes 100
A paste of 0 to 500,000 cps can be obtained, and the ceramic capillary rib 13 formed on the substrate can be obtained.
The sagging can be suppressed and the ceramic capillary rib 13 can be formed with high accuracy.

【0012】樹脂はバインダとしての機能を有し、熱分
解しやすく、溶剤に溶けて高粘度を有するポリマーであ
って、エチルセルロース、アクリル又はポリビニルブチ
ラールなどが挙げられる。また樹脂が熱硬化型樹脂又は
光硬化型樹脂であるか、又は熱硬化型樹脂又は光硬化型
樹脂を含むことが好ましい。熱硬化型樹脂としてはフェ
ノール樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂、アルキッド樹
脂、シリコーン樹脂、フラン樹脂、不飽和ポリエステル
樹脂、エポキシ樹脂及びポリウレタン樹脂からなる群よ
り選ばれた1種又は2種以上の樹脂が用いられ、光硬化
型樹脂としてはベンゾフェノン樹脂、ジベンジルケトン
樹脂、ジエチルチオキサントン樹脂、アントロン樹脂及
びジベンゾスベロン樹脂からなる群より選ばれた1種又
は2種以上の樹脂が用いられることが好ましい。
The resin has a function as a binder, is easily decomposed by heat, and is a polymer having a high viscosity when dissolved in a solvent, and examples thereof include ethyl cellulose, acryl, and polyvinyl butyral. Preferably, the resin is a thermosetting resin or a photocurable resin, or contains a thermosetting resin or a photocurable resin. As the thermosetting resin, one or more resins selected from the group consisting of phenolic resins, urea resins, melamine resins, alkyd resins, silicone resins, furan resins, unsaturated polyester resins, epoxy resins and polyurethane resins It is preferable that one or more resins selected from the group consisting of a benzophenone resin, a dibenzylketone resin, a diethylthioxanthone resin, an anthrone resin and a dibenzosuberone resin are used as the photocurable resin.

【0013】溶剤は常温での揮発性が比較的小さい有機
溶剤もしくは水である。有機溶剤としてはαテレピネオ
ール、ブチルカルビトールアセテート又はエーテル系等
が挙げられる。可塑剤としてはグリセリン、ジブチルフ
タレート等が挙げられ、分散剤としてはベンゼンやスル
フォン酸等が挙げられる。セラミックペーストをこのよ
うに構成することにより所定の粘度を有するペーストを
得ることができ、基板10上に形成されたセラミックキ
ャピラリリブ13のだれを抑制して焼成することにより
セラミックリブを精度良く形成することができる。
The solvent is an organic solvent having relatively low volatility at room temperature or water. Examples of the organic solvent include α-terpineol, butyl carbitol acetate, and ether solvents. Examples of the plasticizer include glycerin and dibutyl phthalate, and examples of the dispersant include benzene and sulfonic acid. By configuring the ceramic paste in this manner, a paste having a predetermined viscosity can be obtained, and the ceramic ribs 13 formed on the substrate 10 are suppressed and dripped to form ceramic ribs with high precision. be able to.

【0014】セラミックペーストの基板10表面への塗
布は、ローラコーティング法、スクリーン印刷法、ディ
ップ法又はドクタブレード法等の既存の手段により行わ
れる。なお、ペースト膜11を基板10上に形成した
後、3〜6時間放置してペースト膜を所定の粘度まで高
めることが望ましい。このペースト膜11の形成された
基板10表面に接触させるブレード12には複数のくし
歯12bが等間隔にかつ同一方向に形成される。このブ
レード12はセラミックペーストとの反応やセラミック
ペーストに溶解されることのない金属、セラミック又は
プラスチック等により作られ、特に、寸法精度、耐久性
の観点からセラミック若しくはFe,Ni,Co基の合
金が好ましい。それぞれのくし歯12bの隙間はこのブ
レード12により形成されるセラミックキャピラリリブ
13の断面形状に相応して形成される。図3及び図4に
示すように、本実施の形態におけるブレード12は厚さ
tが0.5mmのステンレス鋼により形成され、くし歯
12bのピッチPが500μmであって、くし歯12b
の隙間の深さhが500μmに形成される。
The application of the ceramic paste to the surface of the substrate 10 is performed by an existing means such as a roller coating method, a screen printing method, a dip method or a doctor blade method. After the paste film 11 is formed on the substrate 10, it is desirable to leave the paste film 3 to 6 hours to increase the viscosity of the paste film to a predetermined viscosity. A plurality of comb teeth 12b are formed at equal intervals and in the same direction on the blade 12 that comes into contact with the surface of the substrate 10 on which the paste film 11 is formed. The blade 12 is made of a metal, ceramic, plastic, or the like that does not react with the ceramic paste or is dissolved in the ceramic paste. In particular, from the viewpoint of dimensional accuracy and durability, ceramic or an alloy based on Fe, Ni, or Co is used. preferable. The gap between each comb tooth 12b is formed in accordance with the cross-sectional shape of the ceramic capillary rib 13 formed by the blade 12. As shown in FIGS. 3 and 4, the blade 12 in the present embodiment is formed of stainless steel having a thickness t of 0.5 mm, the pitch P of the comb teeth 12 b is 500 μm, and the comb teeth 12 b
Is formed to have a depth h of 500 μm.

【0015】ここで、ブレード12は、厚さtが0.0
1mm以上3.0mm以下であって、くし歯12bのピ
ッチをPとし、くし歯12bの隙間をw、その隙間の深
さをhとするとき、0.03mm≦h≦1.0mmであ
りかつw/P≦0.9の関係にあって、くし歯12bの
ピッチPは50μm以上であることが好ましい。これら
の条件を満たすブレード12により形成されたセラミッ
クキャピラリリブ13は、その後の乾燥及び焼成により
引き締り、所望のリブの隙間を有する緻密なセラミック
リブを得ることができる。また、くし歯12bの隙間の
形状は図3に示すように方形状に形成する場合のみなら
ず、最終的に作られるFPDの用途によりくし歯12b
の隙間の形状を台形状又は逆台形に形成してもよい。く
し歯12bの隙間の形状を台形にすれば、開口部を広く
した用途に適したセラミックキャピラリリブ13を形成
することができ、くし歯12bの隙間の形状を逆台形に
すれば、リブの頂部が広い面積で平坦化したセラミック
キャピラリリブ13を形成することができる。
The blade 12 has a thickness t of 0.0
When the pitch of the comb teeth 12b is P, the gap between the comb teeth 12b is w, and the depth of the gap is h, 0.03 mm ≦ h ≦ 1.0 mm and 1 mm or more and 3.0 mm or less. In a relationship of w / P ≦ 0.9, the pitch P of the comb teeth 12b is preferably 50 μm or more. The ceramic capillary rib 13 formed by the blade 12 satisfying these conditions is tightened by subsequent drying and firing, and a dense ceramic rib having a desired gap between the ribs can be obtained. Further, the shape of the gap between the comb teeth 12b is not limited to the case where the gap is formed as shown in FIG.
May be trapezoidal or inverted trapezoidal. If the shape of the gap between the comb teeth 12b is trapezoidal, it is possible to form the ceramic capillary rib 13 suitable for applications with a wide opening, and if the shape of the gap between the comb teeth 12b is inverted trapezoidal, the top of the rib can be formed. Can form the ceramic capillary rib 13 which is flattened in a wide area.

【0016】図1に戻って、このように構成されたブレ
ード12によるセラミックキャピラリリブ13の形成
は、ブレード12のくし歯12bをペースト膜11につ
き刺し、エッジ12aを基板10表面に接触させた状態
で、基板10を固定して図1の実線矢印で示すようにブ
レード12を一定方向に移動するか、又はブレード12
を固定して図1の破線矢印で示すように基板10を一定
方向に移動させてペースト膜11を塑性変形させること
により行われる。即ち、上記移動により基板10表面に
塗布されたペーストのブレード12のくし歯12bに対
応する箇所は、くし歯12bの隙間に移動するか若しく
は掃き取られ、くし歯12bの隙間に位置するペースト
のみが基板10上に残存して基板10表面にセラミック
キャピラリリブ13が形成される。くし歯の溝の深さが
ペースト膜11の厚さより大きい場合にはブレード12
又はガラス基板10を移動するときに掃き取られたペー
ストが溝に入り込みペースト膜11の厚さ以上の高さを
有するセラミックキャピラリリブ13を形成できる。こ
のセラミックキャピラリリブを乾燥焼成することにより
セラミックリブが作られ、このセラミックリブを用いて
図示しないPDP、PALC等のFPDを作製すること
ができる。
Returning to FIG. 1, the ceramic capillary rib 13 is formed by the blade 12 having the above-described configuration, and the comb teeth 12b of the blade 12 are pierced into the paste film 11, and the edge 12a is brought into contact with the surface of the substrate 10. Then, the substrate 10 is fixed and the blade 12 is moved in a certain direction as shown by a solid arrow in FIG.
Is fixed, and the paste film 11 is plastically deformed by moving the substrate 10 in a certain direction as shown by a broken line arrow in FIG. That is, the portion of the paste applied to the surface of the substrate 10 corresponding to the comb teeth 12b of the blade 12 is moved or swept into the gap between the comb teeth 12b, and only the paste located in the gap between the comb teeth 12b is moved. Remain on the substrate 10 to form the ceramic capillary rib 13 on the surface of the substrate 10. If the depth of the grooves of the comb teeth is larger than the thickness of the paste film 11, the blade 12
Alternatively, the paste swept when moving the glass substrate 10 enters the groove, and the ceramic capillary rib 13 having a height equal to or greater than the thickness of the paste film 11 can be formed. The ceramic capillary rib is dried and fired to form a ceramic rib, and an FPD such as a PDP (not shown) or a PALC (not shown) can be manufactured using the ceramic rib.

【0017】次に上記セラミックキャピラリリブ13か
らセラミックリブを製造する方法を説明する。 熱硬化型樹脂を含むペースト膜11からセラミック
キャピラリリブ13を形成した場合 セラミックキャピラリリブ13は大気中100〜200
℃で10〜30分間乾燥することによりセラミックグリ
ーンリブ(図示せず)になる。このときバインダとして
の機能を有する熱硬化型樹脂が硬化するので、セラミッ
クグリーンリブの変形が阻止される。乾燥後、脱バイン
ダのため大気中300〜400℃で30分間〜3時間加
熱し、更に大気中520〜580℃で10〜30分間焼
成することにより、図2に示すセラミックリブ14にな
る。
Next, a method for manufacturing a ceramic rib from the ceramic capillary rib 13 will be described. When the ceramic capillary rib 13 is formed from the paste film 11 containing a thermosetting resin,
By drying at 10 ° C. for 10 to 30 minutes, a ceramic green rib (not shown) is obtained. At this time, since the thermosetting resin having a function as a binder is cured, the deformation of the ceramic green rib is prevented. After drying, the ceramic ribs 14 are heated in the air at 300 to 400 ° C. for 30 minutes to 3 hours to remove the binder, and then fired in the air at 520 to 580 ° C. for 10 to 30 minutes to form the ceramic ribs 14 shown in FIG.

【0018】 光硬化型樹脂を含むペースト膜11か
らセラミックキャピラリリブ13を形成した場合 基板10上にペーストを塗布してペースト膜11を形成
し、このペースト膜11をブレード12により塑性変形
させてセラミックキャピラリリブ13を形成するまでの
工程は紫外線を遮断した雰囲気で行われる。セラミック
キャピラリリブ13の形成後、所定の波長(例えば、2
56nm)の紫外線を1〜10分間照射する。このとき
バインダとしての機能を有する光硬化型樹脂が硬化する
ので、セラミックグリーンリブの変形が阻止される。そ
の後、上記と同様に乾燥してセラミックグリーンリブ
を形成し、脱バインダのため上記と同様に加熱し、更
に上記と同様に焼成することにより、図2に示すセラ
ミックリブ14になる。
When a ceramic capillary rib 13 is formed from a paste film 11 containing a photocurable resin, a paste is applied to a substrate 10 to form a paste film 11, and the paste film 11 is plastically deformed by a blade 12 to form a ceramic film. The steps up to the formation of the capillary rib 13 are performed in an atmosphere in which ultraviolet rays are blocked. After the formation of the ceramic capillary rib 13, a predetermined wavelength (for example, 2
(56 nm) for 1 to 10 minutes. At this time, the photocurable resin having a function as a binder is cured, so that the deformation of the ceramic green rib is prevented. Thereafter, the ceramic ribs are dried in the same manner as described above to form ceramic green ribs, heated in the same manner as described above to remove the binder, and further fired in the same manner as described above to obtain the ceramic ribs 14 shown in FIG.

【0019】上述のようにして基板10上に形成された
セラミックリブ14は、図2の拡大した円内に示すよう
に、リブ14の高さをHとし、高さ(1/2)Hのとこ
ろのリブ14の幅をWC、高さ(3/4)Hのところの
リブ14の幅をWM及び高さ(9/10)Hのところの
リブ14の幅をWTとするとき、H、WC、WM及びWT
それぞれの(最大値−平均値)/平均値で表されるばら
つきが5%以下であって、H/WCで表されるアスペク
ト比が2〜10であることが好ましい。アスペクト比が
2〜10であることにより、極めて高精細なセラミック
リブ14が得られる。
As shown in the enlarged circle of FIG. 2, the ceramic rib 14 formed on the substrate 10 as described above has a height H of the rib 14 and a height (1 /) H. width W C of the ribs 14 where, when the height (3/4) width W M and the height of the ribs 14 where the H (9/10) the width of the rib 14 where the H W T , H, W C , W M, and W T , the variation represented by (maximum value−average value) / average value is 5% or less, and the aspect ratio represented by H / W C is 2 to 2. It is preferably 10. When the aspect ratio is 2 to 10, an extremely fine ceramic rib 14 can be obtained.

【0020】図5及び図6は本発明の第2の実施の形態
を示す。図5及び図6において図1及び図2と同一符号
は同一部品を示す。この実施の形態では、基板10の表
面にセラミックペーストを塗布して形成されたセラミッ
クペースト膜11にブレード12周辺の少なくとも一部
に形成されたくし歯12bをペースト膜11につき刺
し、ブレード12のエッジ12aを基板10表面から所
定の高さ浮上した状態でブレード12又は基板10を一
定方向に移動してペースト膜11を塑性変形させること
により、基板10表面にセラミックキャピラリ層22と
このセラミックキャピラリ層22上にセラミックキャピ
ラリリブ23が形成される。ペーストの成分及びペース
トの塗布方法は上記第1の実施の形態と同一に構成され
る。
FIGS. 5 and 6 show a second embodiment of the present invention. 5 and 6, the same reference numerals as those in FIGS. 1 and 2 indicate the same parts. In this embodiment, a comb tooth 12b formed on at least a part of the periphery of the blade 12 is pierced into the ceramic paste film 11 formed by applying the ceramic paste on the surface of the substrate 10, and the edge 12a of the blade 12 is pierced. The blade 12 or the substrate 10 is moved in a predetermined direction while floating the paste film 11 from the surface of the substrate 10 at a predetermined height to plastically deform the paste film 11, so that the ceramic capillary layer 22 and the ceramic capillary layer 22 The ceramic capillary rib 23 is formed on the substrate. The components of the paste and the method of applying the paste are configured in the same manner as in the first embodiment.

【0021】ブレード12によるセラミックキャピラリ
リブ23の形成は、図5に示すように、ブレード12の
エッジ12aをペースト膜11を形成した基板10表面
から所定の高さ浮上した状態で基板10を固定して実線
矢印で示すようにブレード12を一定方向に移動する
か、又はブレード12を固定して破線矢印で示すように
基板10を一定方向に移動させることにより行われる。
この移動により基板10表面から所定の高さまでのペー
ストは基板表面上に残存してセラミックキャピラリ層2
2を形成し、このセラミックキャピラリ層22より上方
のペーストにおけるブレード12のくし歯12bに対応
する箇所はくし歯12bの隙間に移動するか若しくは掃
き取られ、くし歯12bの隙間に位置するペーストのみ
がセラミックキャピラリ層22上に残存してセラミック
キャピラリ層22上にセラミックキャピラリリブ23が
形成される。
As shown in FIG. 5, the ceramic capillary rib 23 is formed by the blade 12 by fixing the substrate 10 with the edge 12a of the blade 12 floating at a predetermined height from the surface of the substrate 10 on which the paste film 11 is formed. This is performed by moving the blade 12 in a certain direction as shown by a solid arrow, or by moving the substrate 10 in a certain direction as shown by a broken arrow with the blade 12 fixed.
By this movement, the paste from the surface of the substrate 10 to a predetermined height remains on the surface of the substrate and remains on the ceramic capillary layer 2.
2, and the portion of the paste above the ceramic capillary layer 22 corresponding to the comb teeth 12b of the blade 12 is moved or swept into the gap between the comb teeth 12b, and only the paste located in the gap between the comb teeth 12b is removed. Ceramic capillary ribs 23 are formed on the ceramic capillary layer 22 while remaining on the ceramic capillary layer 22.

【0022】次に上記セラミックキャピラリ層22及び
セラミックキャピラリリブ23からセラミックリブを製
造する方法を説明する。 熱硬化型樹脂を含むペースト膜11からセラミック
キャピラリ層22及びセラミックキャピラリリブ23を
形成した場合 セラミックキャピラリ層22及びセラミックキャピラリ
リブ23は大気中100〜200℃で10〜30分間乾
燥することによりセラミックグリーン層及びセラミック
グリーンリブ(図示せず)になる。このときバインダと
しての機能を有する熱硬化型樹脂が硬化するので、セラ
ミックグリーン層及びセラミックグリーンリブの変形が
阻止される。乾燥後、脱バインダのため大気中300〜
400℃で30分間〜3時間加熱し、更に大気中520
〜580℃で10〜30分間焼成することにより、図5
に示す基板10上に形成された絶縁層24と、この絶縁
層24上に形成されたセラミックリブ25になる。
Next, a method for manufacturing a ceramic rib from the ceramic capillary layer 22 and the ceramic capillary rib 23 will be described. When the ceramic capillary layer 22 and the ceramic capillary rib 23 are formed from the paste film 11 containing a thermosetting resin, the ceramic capillary layer 22 and the ceramic capillary rib 23 are dried in air at 100 to 200 ° C. for 10 to 30 minutes to form a ceramic green. Layers and ceramic green ribs (not shown). At this time, since the thermosetting resin having a function as a binder is cured, the deformation of the ceramic green layer and the ceramic green rib is prevented. After drying, 300 ~ in air to remove the binder
Heat at 400 ° C for 30 minutes to 3 hours.
By baking at 580 ° C. for 10-30 minutes, FIG.
Are formed on the insulating layer 24 and the ceramic rib 25 formed on the insulating layer 24.

【0023】 光硬化型樹脂を含むペースト膜11か
らセラミックキャピラリ層22及びセラミックキャピラ
リリブ23を形成した場合 基板10上にペーストを塗布してペースト膜11を形成
し、このペースト膜11をブレード12により塑性変形
させてセラミックキャピラリ層22及びセラミックキャ
ピラリリブ23を形成するまでの工程は紫外線を遮断し
た雰囲気で行われる。セラミックキャピラリ層22及び
セラミックキャピラリリブ23の形成後、所定の波長
(例えば、256nm)の紫外線を1〜10分間照射す
る。このときバインダとしての機能を有する光硬化型樹
脂が硬化するので、セラミックグリーン層及びセラミッ
クグリーンリブの変形が阻止される。その後、大気中上
記と同様に乾燥してセラミックグリーン層及びセラミ
ックグリーンリブを形成し、脱バインダのため大気中上
記と同様に加熱し、更に大気中上記と同様に焼成す
ることにより、図5に示す基板10上に形成された絶縁
層24と、この絶縁層24上に形成されたセラミックリ
ブ25になる。
When a ceramic capillary layer 22 and a ceramic capillary rib 23 are formed from a paste film 11 containing a photocurable resin, a paste is applied on a substrate 10 to form a paste film 11, and the paste film 11 is The steps from plastic deformation to the formation of the ceramic capillary layer 22 and the ceramic capillary rib 23 are performed in an atmosphere in which ultraviolet rays are blocked. After the formation of the ceramic capillary layer 22 and the ceramic capillary rib 23, ultraviolet rays having a predetermined wavelength (for example, 256 nm) are irradiated for 1 to 10 minutes. At this time, the photocurable resin having a function as a binder is cured, so that the deformation of the ceramic green layer and the ceramic green rib is prevented. Thereafter, drying is performed in the air in the same manner as above to form a ceramic green layer and a ceramic green rib, and heating is performed in the air to remove the binder in the same manner as described above, and further firing is performed in the air in the same manner as described above. The insulating layer 24 is formed on the substrate 10 shown in the figure, and the ceramic rib 25 is formed on the insulating layer 24.

【0024】絶縁層24上に形成されたセラミックリブ
25は、図6の拡大した円内に示すように、リブ25の
高さをHとし、高さ(1/2)Hのところのリブ25の
幅をWC、高さ(3/4)Hのところのリブ25の幅を
M及び高さ(9/10)Hのところのリブ25の幅を
Tとするとき、H、WC、WM及びWTのそれぞれの(最
大値−平均値)/平均値で表されるばらつきが5%以下
であって、H/WCで表されるアスペクト比が2〜10
であることが好ましい。アスペクト比が2〜10である
ことにより、極めて高精細なセラミックリブ25が得ら
れる。
As shown in the enlarged circle of FIG. 6, the height of the rib 25 is H, and the height of the rib 25 is (() H. width W C of, when the height (3/4) width W M and the height of the ribs 25 where the H (9/10) the width of the rib 25 where the H W T, H, W C, each of W M and W T (maximum value - average value) / variance represented by the average value is not more than 5%, the aspect ratio expressed by H / W C is 2-10
It is preferred that When the aspect ratio is 2 to 10, an extremely fine ceramic rib 25 can be obtained.

【0025】[0025]

【実施例】次に本発明の実施例を比較例とともに詳しく
説明する。 <実施例1>平均粒径2μmのPbO−SiO2−B2
3系ガラス粉末を80重量%と、セラミックフィラーと
して平均粒径0.5μmのアルミナ粉末を20重量%と
を用意し、両者を十分に混合した。この混合粉末とフェ
ノール樹脂(熱硬化性樹脂)とエチレングリコールジエ
チルエーテルとを重量比で80/0.8/19.2の割
合で配合し、十分に混練してセラミックペーストを得
た。対角寸法が40インチであって、厚さが3mmのソ
ーダライム系の長方形のガラス基板10を固定した状態
で、このガラス基板10上に、このペーストを図1に示
すように、ローラコーティング法により厚さ500μm
で塗布してペースト膜11を形成した。
Next, examples of the present invention will be described in detail together with comparative examples. <Example 1> having an average particle size of 2μm PbO-SiO 2 -B 2 O
80% by weight of the 3 series glass powder and 20% by weight of alumina powder having an average particle size of 0.5 μm as a ceramic filler were prepared, and both were sufficiently mixed. This mixed powder, a phenol resin (thermosetting resin), and ethylene glycol diethyl ether were blended at a weight ratio of 80 / 0.8 / 19.2, and sufficiently kneaded to obtain a ceramic paste. In a state where a soda lime-based rectangular glass substrate 10 having a diagonal dimension of 40 inches and a thickness of 3 mm is fixed, the paste is applied onto the glass substrate 10 by a roller coating method as shown in FIG. 500μm thick
To form a paste film 11.

【0026】一方、くし歯12bのピッチPが500μ
mであって、くし歯12bの隙間wが100μm、その
深さhが500μm、厚さtが0.5mmのステンレス
鋼により形成されたブレード12を用意した(図3及び
図4)。ガラス基板を固定したまま、このブレード12
のくし歯12bをペースト膜につき刺し、そのエッジ1
2aをガラス基板10に接触させた状態で、図1の実線
矢印で示す方向にブレード12を一定方向に移動してペ
ースト膜11を塑性変形させることにより、基板10表
面にセラミックキャピラリリブ13を形成した。
On the other hand, the pitch P of the comb teeth 12b is 500 μm.
m, the gap w between the comb teeth 12b was 100 μm, the depth h was 500 μm, and the thickness t was 0.5 mm. A blade 12 made of stainless steel was prepared (FIGS. 3 and 4). With the glass substrate fixed, this blade 12
The comb teeth 12b are pierced into the paste film, and the edge 1
The ceramic capillary rib 13 is formed on the surface of the substrate 10 by moving the blade 12 in a certain direction in the direction indicated by the solid line arrow in FIG. did.

【0027】<実施例2>平均粒径1μmのPbO−S
iO2−B23系ガラス粉末を80重量%と、セラミッ
クフィラーとして平均粒径1μmのアルミナ粉末を20
重量%とを用意し、両者を十分に混合して混合粉末を作
製した。一方、エチルセルロースを80重量%と、エポ
キシ樹脂(熱硬化型樹脂)を20重量%とを用意し、両
者を十分に混合して混合樹脂を作製した。上記混合粉末
と混合樹脂とαテレピネオール(溶媒)とを重量比で7
0/10/20の割合で配合し、十分に混練してセラミ
ックペーストを得た。このペーストを実施例1と同様に
して実施例1と同じガラス基板上に塗布しペースト膜を
形成し、このペースト膜にブレードをつき刺して移動
し、ペースト膜を塑性変形させることにより、基板表面
にセラミックキャピラリリブを形成した。
Example 2 PbO-S having an average particle size of 1 μm
80% by weight of iO 2 -B 2 O 3 -based glass powder and 20 particles of alumina powder having an average particle size of 1 μm as a ceramic filler.
% By weight, and both were sufficiently mixed to prepare a mixed powder. On the other hand, 80% by weight of ethyl cellulose and 20% by weight of an epoxy resin (thermosetting resin) were prepared, and both were sufficiently mixed to prepare a mixed resin. The above mixed powder, mixed resin and α-terpineol (solvent) are mixed in a weight ratio of 7
The mixture was mixed at a ratio of 0/10/20 and sufficiently kneaded to obtain a ceramic paste. This paste is applied on the same glass substrate as in Example 1 in the same manner as in Example 1 to form a paste film, and the paste film is moved by sticking with a blade, and the paste film is plastically deformed. Was formed with ceramic capillary ribs.

【0028】<実施例3>αテレピネオールの代りに、
水を同量用いた以外は、実施例2と同様にして基板表面
にセラミックキャピラリリブを形成した。
<Embodiment 3> Instead of α-terpineol,
A ceramic capillary rib was formed on the substrate surface in the same manner as in Example 2 except that the same amount of water was used.

【0029】<実施例4>平均粒径3μmのPbO−S
iO2−B23系ガラス粉末を80重量%と、セラミッ
クフィラーとして平均粒径1μmのアルミナ粉末を20
重量%とを用意し、両者を十分に混合した。この混合粉
末とベンゾフェノン樹脂(光硬化型樹脂)とエチレング
リコールジエチルエーテル(溶媒)とを重量比で90/
0.5/9.5の割合で配合し、十分に混練してセラミ
ックペーストを得た。このペーストを実施例1と同様に
して実施例1と同じガラス基板上に塗布しペースト膜を
形成し、このペースト膜にブレードをつき刺して移動
し、ペースト膜を塑性変形させることにより、基板表面
にセラミックキャピラリリブを形成した。なお、上記各
工程は紫外線を遮断した雰囲気で行った。
Example 4 PbO-S having an average particle size of 3 μm
80% by weight of iO 2 -B 2 O 3 -based glass powder and 20 particles of alumina powder having an average particle size of 1 μm as a ceramic filler.
% By weight, and both were sufficiently mixed. This mixed powder, a benzophenone resin (photocurable resin) and ethylene glycol diethyl ether (solvent) were mixed at a weight ratio of 90 /
It was blended at a ratio of 0.5 / 9.5 and kneaded well to obtain a ceramic paste. This paste is applied on the same glass substrate as in Example 1 in the same manner as in Example 1 to form a paste film, and the paste film is moved by sticking with a blade, and the paste film is plastically deformed. Was formed with ceramic capillary ribs. The above steps were performed in an atmosphere in which ultraviolet rays were blocked.

【0030】<比較例1>図7に示すように、ソーダラ
イム系ガラス基板1上にガラス粉末と有機バインダと溶
媒とを含む粘度が50,000psのリブ形成用ペース
ト2をスクリーン印刷法により所定のパターンで位置合
わせをして印刷し、150℃で10分間乾燥する工程を
12回繰返して重ね塗りした。この重ね塗りはセラミッ
クグリーンリブ2の高さHが200μmとなるように設
定した。上記リブ形成用ペーストとしてはSiO2、Z
nO及びPbOを主成分とするガラス粉末とAl23
末とを含む。また有機バインダとしてはエチルセルロー
スを用い、更に溶媒としてはα−テレピネオールを用い
た。これにより所定の間隔(セル9の広さS)をあけて
セラミックグリーンリブ2を形成した。次に基板1上に
セラミックグリーンリブ2が形成された構造体を大気中
で550℃で1時間熱処理することにより、基板1上に
高さHが約170μmのセラミックリブ8を形成した。
Comparative Example 1 As shown in FIG. 7, a rib forming paste 2 containing glass powder, an organic binder and a solvent and having a viscosity of 50,000 ps was screen-printed on a soda-lime glass substrate 1 by a screen printing method. And printing at 150 ° C. for 10 minutes was repeated 12 times to perform recoating. This overcoating was set so that the height H of the ceramic green rib 2 was 200 μm. As the rib forming paste, SiO 2 , Z
A glass powder mainly composed of nO and PbO and an Al 2 O 3 powder are included. Ethyl cellulose was used as the organic binder, and α-terpineol was used as the solvent. Thus, the ceramic green ribs 2 were formed at predetermined intervals (the width S of the cell 9). Next, the structure in which the ceramic green ribs 2 were formed on the substrate 1 was heat-treated at 550 ° C. for 1 hour in the air, thereby forming the ceramic ribs 8 having a height H of about 170 μm on the substrate 1.

【0031】<比較試験及び評価>実施例1、2及び3
の基板10に形成されたセラミックキャピラリリブ13
を大気中150℃で20分間乾燥して溶媒を脱離させる
ことによりセラミックグリーンリブ(図示せず)にし、
更に脱バインダのために350℃で60分間加熱した後
に、大気中550℃で10分間焼成してセラミックリブ
14とした。実施例4におけるセラミックキャピラリリ
ブ13には波長が256nmの紫外線を1分間照射した
後、大気中150℃で20分乾燥して溶媒を脱離させる
ことによりセラミックグリーンリブにし、更に脱バイン
ダのために350℃で60分間加熱した後、大気中55
0℃で20分間焼成してセラミックリブを得た。このよ
うに焼成して得られた実施例1〜3のセラミックリブ1
4のそれぞれ任意の100本と、比較例1で得られたセ
ラミックリブ8の任意の100本について、その高さH
及び幅を以下のようにそれぞれ測定した。
<Comparative Test and Evaluation> Examples 1, 2 and 3
Ceramic capillary rib 13 formed on the substrate 10
Was dried in air at 150 ° C. for 20 minutes to remove the solvent, thereby forming a ceramic green rib (not shown).
After heating at 350 ° C. for 60 minutes to remove the binder, the ceramic ribs were fired at 550 ° C. for 10 minutes in the atmosphere. The ceramic capillary rib 13 in Example 4 was irradiated with ultraviolet light having a wavelength of 256 nm for 1 minute, and then dried in air at 150 ° C. for 20 minutes to remove the solvent, thereby forming a ceramic green rib. After heating at 350 ° C. for 60 minutes, 55
The resultant was fired at 0 ° C. for 20 minutes to obtain a ceramic rib. The ceramic ribs 1 of Examples 1 to 3 obtained by firing in this manner
4 and the arbitrary 100 ceramic ribs 8 obtained in Comparative Example 1, the height H
And the width were measured as follows.

【0032】図2に示すように、実施例1〜4及び比較
例1の基板上の任意の100本のセラミックリブの幅の
測定は、セラミックリブの高さをHとしたときの高さ
(1/2)Hのところのリブの幅WCと、高さ(3/
4)Hのところのリブの幅WMと、高さ(9/10)H
のところのリブの幅WTとをそれぞれ測定することによ
り行った。またこれらの測定値の平均値を算出した後、
H、WC、WM及びWTのそれぞれの(最大値又は最小値
−平均値)/平均値で表されるばらつきを算出した。表
1及び表2に実施例1〜4の結果を比較例1の結果と対
比させて示す。
As shown in FIG. 2, the width of 100 arbitrary ceramic ribs on the substrates of Examples 1 to 4 and Comparative Example 1 was measured by measuring the height (H) of the ceramic ribs. 1/2) rib width W C of at the H, the height (3 /
4) The width W M of the rib at H and the height (9/10) H
The measurement was carried out by measuring the width W T of the rib at the point (1). After calculating the average of these measurements,
H, W C, respectively (the maximum value or the minimum value - average value) of W M and W T were calculated variation represented by / average value. Tables 1 and 2 show the results of Examples 1 to 4 in comparison with the results of Comparative Example 1.

【0033】[0033]

【表1】 [Table 1]

【0034】[0034]

【表2】 [Table 2]

【0035】表1及び表2から明らかなように、実施例
1〜実施例4の結果により、本発明のセラミックペース
トにより有効にセラミックキャピラリリブを基板上に形
成できることが判った。また実施例1〜3では、セラミ
ックキャピラリリブを乾燥して、更に脱バインダのため
加熱し、引続いて焼成することによりセラミックリブを
得ることができ、実施例4では、紫外線をカットした雰
囲気でセラミックキャピラリリブを形成した後に、所定
時間だけ紫外線を照射し、更に乾燥及び焼成することに
よりセラミックリブを得ることができることが判明し、
比較例1に比較して少ない工程で材料の無駄なく、簡便
にセラミックリブを得ることが明らかになった。更に、
このセラミックキャピラリリブを乾燥、加熱及び焼成し
て、或いは紫外線照射、乾燥及び焼成して得られたセラ
ミックリブのアスペクト比は2〜10であることから本
発明により極めて精度の高いセラミックリブが得られる
ことも判明した。
As is clear from Tables 1 and 2, the results of Examples 1 to 4 indicate that ceramic capillary ribs can be effectively formed on a substrate by using the ceramic paste of the present invention. In Examples 1 to 3, the ceramic ribs can be obtained by drying the ceramic capillary ribs, heating them for binder removal, and subsequently firing them. After forming the ceramic capillary ribs, it was found that the ceramic ribs can be obtained by irradiating ultraviolet rays only for a predetermined time, and further drying and firing.
It has been found that ceramic ribs can be easily obtained with less steps and less waste than in Comparative Example 1. Furthermore,
Since the aspect ratio of the ceramic rib obtained by drying, heating and firing, or by irradiating, drying and firing the ceramic capillary rib is 2 to 10, an extremely accurate ceramic rib can be obtained by the present invention. It turned out that.

【0036】[0036]

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、セ
ラミックペーストを塑性変形させてセラミックキャピラ
リリブを形成したので、所定の粘度を有するセラミック
ペーストに所定の外力を加えると、セラミックペースト
が所望の形状のセラミックキャピラリリブに変形し、上
記外力を取り去ってもペーストは元に戻らずに、上記セ
ラミックキャピラリリブは変形した後の形状に保たれ
る。この結果、少ない工程で材料の無駄なく、簡便にか
つ精度良くセラミックキャピラリリブを形成することが
できる。また塑性変形をセラミックペースト膜にくし歯
をつき刺した状態でブレードをペースト膜に対して相対
的に一定方向に移動することにより行うと、ペースト膜
のうちブレードのくし歯に対応する箇所のペーストがく
し歯の隙間に移動するか若しくは掃き取られるので、ペ
ースト膜がくし歯の隙間の形状に変形し、かつくし歯の
隙間の形状に保たれる。この結果、上記と同様に少ない
工程で材料の無駄なく、簡便にかつ精度良くセラミック
キャピラリリブを形成することができる。
As described above, according to the present invention, the ceramic paste is plastically deformed to form the ceramic capillary rib. Therefore, when a predetermined external force is applied to the ceramic paste having a predetermined viscosity, the ceramic paste is formed. Even if the ceramic capillary rib is deformed into a desired shape and the external force is removed, the paste does not return to its original shape, and the ceramic capillary rib is maintained in the deformed shape. As a result, the ceramic capillary rib can be formed simply and accurately with a small number of steps without waste of material. Also, when plastic deformation is performed by moving the blade in a fixed direction relative to the paste film while the comb teeth are pierced in the ceramic paste film, the paste in the portion of the paste film corresponding to the comb teeth of the blade can be obtained. Since the paste film moves or is swept into the gap between the comb teeth, the paste film is deformed into the shape of the gap between the comb teeth, and is maintained in the shape of the gap between the comb teeth. As a result, the ceramic capillary rib can be formed simply and accurately with a small number of steps in the same manner as described above without waste of material.

【0037】またセラミックペーストがガラス粉末又は
ガラス・セラミック混合粉末が30〜95重量%と、樹
脂が0.3〜15重量%と、溶媒が3〜70重量%とを
含むように構成すれば、所定の粘度のペーストを得るこ
とができ、セラミックキャピラリリブのだれを抑制して
セラミックキャピラリリブを精度良く形成することがで
きる。また上記樹脂に熱硬化型樹脂を含むように構成す
れば、セラミックキャピラリリブの乾燥時に、バインダ
として機能する上記熱硬化型樹脂が硬化するので、乾燥
後のセラミックグリーンリブの変形を阻止できる。更に
上記樹脂に光硬化型樹脂を含むように構成すれば、セラ
ミックキャピラリリブに紫外線を所定時間照射すること
により、バインダとして機能する上記光硬化型樹脂が硬
化するので、セラミックキャピラリリブの変形を阻止で
きる。本発明のセラミックキャピラリリブを乾燥焼成す
れば、高精細なセラミックリブを形成でき、かつこのセ
ラミックリブをFPDに利用すれば、高品質のFPDが
得られる。
Further, if the ceramic paste is constituted so as to contain 30 to 95% by weight of glass powder or glass / ceramic mixed powder, 0.3 to 15% by weight of resin and 3 to 70% by weight of solvent, A paste having a predetermined viscosity can be obtained, and the ceramic capillary rib can be formed with high precision by suppressing dripping of the ceramic capillary rib. Further, if the resin includes a thermosetting resin, the thermosetting resin functioning as a binder is cured when the ceramic capillary rib is dried, so that deformation of the dried ceramic green rib can be prevented. Further, if the resin is configured to include a photo-curable resin, the photo-curable resin functioning as a binder is cured by irradiating the ceramic capillary ribs with ultraviolet light for a predetermined time, thereby preventing deformation of the ceramic capillary rib. it can. If the ceramic capillary rib of the present invention is dried and fired, a high-definition ceramic rib can be formed, and if this ceramic rib is used for an FPD, a high-quality FPD can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明第1実施形態のセラミックキャピラリリ
ブの形成状態を示す斜視図。
FIG. 1 is a perspective view showing a state of forming a ceramic capillary rib according to a first embodiment of the present invention.

【図2】図1のA−A線断面におけるセラミックキャピ
ラリリブを乾燥、加熱及び焼成することにより得たセラ
ミックリブを示す断面図。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing a ceramic rib obtained by drying, heating, and firing the ceramic capillary rib in the cross section along the line AA in FIG. 1;

【図3】そのブレードの正面図。FIG. 3 is a front view of the blade.

【図4】図3のB−B線断面図。FIG. 4 is a sectional view taken along line BB of FIG. 3;

【図5】本発明第2実施形態のセラミックキャピラリ層
付リブの形成状態を示す図1に対応する斜視図。
FIG. 5 is a perspective view corresponding to FIG. 1 and showing a state of forming a rib with a ceramic capillary layer according to a second embodiment of the present invention.

【図6】図5のB−B線断面におけるセラミックキャピ
ラリ層付リブを乾燥、加熱及び焼成することにより得た
絶縁層付セラミックリブを示す図2に対応する断面図。
6 is a cross-sectional view corresponding to FIG. 2 showing a ceramic rib with an insulating layer obtained by drying, heating, and firing the rib with a ceramic capillary layer in a cross section taken along line BB of FIG. 5;

【図7】従来のセラミックリブの形成を工程順に示す断
面図。
FIG. 7 is a sectional view showing the formation of a conventional ceramic rib in the order of steps.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 ガラス基板 11 セラミックペースト膜 12 ブレード 12a エッジ 12b くし歯 13,23 セラミックキャピラリリブ 14,25 セラミックリブ 22 セラミックキャピラリ層 24 絶縁層 Reference Signs List 10 glass substrate 11 ceramic paste film 12 blade 12a edge 12b comb tooth 13,23 ceramic capillary rib 14,25 ceramic rib 22 ceramic capillary layer 24 insulating layer

フロントページの続き (72)発明者 平田 寛樹 埼玉県大宮市北袋町1丁目297番地 三菱 マテリアル株式会社総合研究所内 (72)発明者 豊田 誠司 埼玉県大宮市北袋町1丁目297番地 三菱 マテリアル株式会社総合研究所内 (72)発明者 神田 義雄 埼玉県大宮市北袋町1丁目297番地 三菱 マテリアル株式会社総合研究所内 Fターム(参考) 2H089 HA36 QA12 QA13 4G062 AA08 AA09 AA15 BB04 MM07 MM12 PP03 PP05 PP13 PP14 5C040 GF02 GF18 GF19 JA02 JA11 JA20 KA09 KA11 KA15 KA16 KB02 KB03 KB11 KB19 KB28 LA17 MA24 MA26 Continued on the front page (72) Inventor Hiroki Hirata 1-297 Kitabukurocho, Omiya City, Saitama Prefecture Inside Mitsubishi Materials Corporation Research Laboratory (72) Inventor Seiji Toyoda 1-297 Kitabukurocho, Omiya City, Saitama Prefecture Mitsubishi Materials Corporation In the laboratory (72) Inventor Yoshio Kanda 1-297 Kitabukuro-cho, Omiya-shi, Saitama Mitsubishi Materials Corporation Research Laboratory F-term (reference) 2H089 HA36 QA12 QA13 4G062 AA08 AA09 AA15 BB04 MM07 MM12 PP03 PP05 PP13 PP14 5C040 GF02 GF18GF19 JA02 JA11 JA20 KA09 KA11 KA15 KA16 KB02 KB03 KB11 KB19 KB28 LA17 MA24 MA26

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 塑性変形によってセラミックキャピラリ
リブを形成可能なセラミックペースト。
1. A ceramic paste capable of forming a ceramic capillary rib by plastic deformation.
【請求項2】 塑性変形がセラミックペースト膜(11)に
所定のくし歯(12b)を有するブレード(12)をつき刺し、
前記ブレード(12)を前記ペースト膜(11)に対して相対的
に一定方向に移動することにより行われる請求項1記載
のセラミックペースト。
2. A blade (12) having predetermined comb teeth (12b) is stabbed into the ceramic paste film (11) by plastic deformation,
The ceramic paste according to claim 1, wherein the ceramic paste is performed by moving the blade (12) in a fixed direction relative to the paste film (11).
【請求項3】 ガラス粉末又はガラス・セラミック混合
粉末が30〜95重量%と、樹脂が0.3〜15重量%
と、溶媒が3〜70重量%とを含む請求項1又は2記載
のセラミックペースト。
3. The glass powder or the glass-ceramic mixed powder is 30 to 95% by weight, and the resin is 0.3 to 15% by weight.
The ceramic paste according to claim 1, wherein the solvent contains 3 to 70% by weight.
【請求項4】 樹脂が熱硬化型樹脂又は光硬化型樹脂で
あるか、又は熱硬化型樹脂又は光硬化型樹脂を含む請求
項3記載のセラミックペースト。
4. The ceramic paste according to claim 3, wherein the resin is a thermosetting resin or a photocurable resin, or contains a thermosetting resin or a photocurable resin.
【請求項5】 熱硬化型樹脂がフェノール樹脂、ユリア
樹脂、メラミン樹脂、アルキッド樹脂、シリコーン樹
脂、フラン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、エポキシ樹
脂及びポリウレタン樹脂からなる群より選ばれた1種又
は2種以上の樹脂である請求項4記載のセラミックペー
スト。
5. The thermosetting resin is one or two selected from the group consisting of phenol resins, urea resins, melamine resins, alkyd resins, silicone resins, furan resins, unsaturated polyester resins, epoxy resins, and polyurethane resins. The ceramic paste according to claim 4, which is the above resin.
【請求項6】 光硬化型樹脂がベンゾフェノン樹脂、ジ
ベンジルケトン樹脂、ジエチルチオキサントン樹脂、ア
ントロン樹脂及びジベンゾスベロン樹脂からなる群より
選ばれた1種又は2種以上の樹脂である請求項4記載の
セラミックペースト。
6. The photocurable resin is one or more resins selected from the group consisting of benzophenone resins, dibenzylketone resins, diethylthioxanthone resins, anthrone resins and dibenzosuberone resins. Ceramic paste.
【請求項7】 請求項1ないし6いずれか記載のセラミ
ックペーストを用いて形成したセラミックキャピラリリ
ブを乾燥焼成してなるセラミックリブ。
7. A ceramic rib obtained by drying and firing a ceramic capillary rib formed using the ceramic paste according to claim 1.
【請求項8】 請求項7記載のセラミックリブを有する
FPD。
8. An FPD having the ceramic rib according to claim 7.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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EP1221431A1 (en) * 2001-01-09 2002-07-10 Mitsubishi Materials Corporation Paste for forming ceramic ribs, production method for the same and forming method of ribs using the same
US7734134B2 (en) 2002-08-28 2010-06-08 Fujikura Ltd. Fiber scope

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