JP2000183130A - ウェハ搬送方法とその装置 - Google Patents
ウェハ搬送方法とその装置Info
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- JP2000183130A JP2000183130A JP36172898A JP36172898A JP2000183130A JP 2000183130 A JP2000183130 A JP 2000183130A JP 36172898 A JP36172898 A JP 36172898A JP 36172898 A JP36172898 A JP 36172898A JP 2000183130 A JP2000183130 A JP 2000183130A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ウェハとトレーを分離する際に確実に分離で
きるウェハ搬送方法とその装置を提供する。 【解決手段】 アンロード部３にセットされたトレー２
から、このトレー２に載せたウェハ１を持ち上げて搬送
するに際し、アンロード部３からトレー２の底部を貫通
してウェハ突き上げピン５を挿入してウェハ１を押し上
げる前または同時に、トレー２とウェハ１の間に流体を
供給してウェハ１をトレー２から持ち上げる。
きるウェハ搬送方法とその装置を提供する。 【解決手段】 アンロード部３にセットされたトレー２
から、このトレー２に載せたウェハ１を持ち上げて搬送
するに際し、アンロード部３からトレー２の底部を貫通
してウェハ突き上げピン５を挿入してウェハ１を押し上
げる前または同時に、トレー２とウェハ１の間に流体を
供給してウェハ１をトレー２から持ち上げる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ウェハをトレー上
に載せて搬送するドライエッチング装置に関するもので
ある。
に載せて搬送するドライエッチング装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】ドライエッチング装置においては、エッ
チングなどの処理後、トレーに載せているウェハをウェ
ハカセットに収納し、トレーをトレーカセットに収納す
る。この際に、ウェハとトレーを確実に分離する方法が
求められている。
チングなどの処理後、トレーに載せているウェハをウェ
ハカセットに収納し、トレーをトレーカセットに収納す
る。この際に、ウェハとトレーを確実に分離する方法が
求められている。
【０００３】図３と図４は従来のドライエッチング装置
を示す。エッチングを受けるウェハ１は、図３（ａ）に
示すようにトレー２に載置して搬送されており、ドライ
エッチング装置内でエッチング処理、リンス処理などが
行われたウェハ１は、トレー２に載った状態でアンロー
ド部３に載置される。
を示す。エッチングを受けるウェハ１は、図３（ａ）に
示すようにトレー２に載置して搬送されており、ドライ
エッチング装置内でエッチング処理、リンス処理などが
行われたウェハ１は、トレー２に載った状態でアンロー
ド部３に載置される。
【０００４】このとき、アンロード部３に載置されたト
レー２は、アンロード部３のトレー吸着口４によりアン
ロード部３に吸着して保持されている。次に、アンロー
ド部３の側のウェハ突き上げピン５が図３（ｂ）に示す
ように上昇する。上昇したウェハ突き上げピン５は、ト
レー２のウェハ載置面６に形成されている孔７を通って
ウェハ１を突き上げる。図４の（ａ）（ｂ）はトレー２
の詳細を示している。
レー２は、アンロード部３のトレー吸着口４によりアン
ロード部３に吸着して保持されている。次に、アンロー
ド部３の側のウェハ突き上げピン５が図３（ｂ）に示す
ように上昇する。上昇したウェハ突き上げピン５は、ト
レー２のウェハ載置面６に形成されている孔７を通って
ウェハ１を突き上げる。図４の（ａ）（ｂ）はトレー２
の詳細を示している。
【０００５】次に、搬送アーム８が前進して、突き上げ
られたウェハ１をウェハカセット（図示せず）に収納す
る。
られたウェハ１をウェハカセット（図示せず）に収納す
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、装置内
部でリンス（洗浄）処理が行われると、トレー２とウェ
ハ１との間に洗浄液あるいは純水などが入り込むことが
ある。
部でリンス（洗浄）処理が行われると、トレー２とウェ
ハ１との間に洗浄液あるいは純水などが入り込むことが
ある。
【０００７】この場合、トレー２とウェハ１との間の液
体の吸着力により、ウェハ突き上げピン５による突き上
げだけではトレー２とウェハ１が分離せず、ウェハ１が
トレー２ごと持ち上がるか、あるいはトレー２を吸着す
る力に負けてウェハ突き上げピン５が折れ曲がることが
ある。
体の吸着力により、ウェハ突き上げピン５による突き上
げだけではトレー２とウェハ１が分離せず、ウェハ１が
トレー２ごと持ち上がるか、あるいはトレー２を吸着す
る力に負けてウェハ突き上げピン５が折れ曲がることが
ある。
【０００８】これらにより、装置の停止による歩留まり
の低下、あるいはウェハ自体やウェハ突き上げピン５が
破損するという問題点を有している。本発明は上記の問
題点を解決するもので、ウェハとトレーを分離する際に
確実に分離できるウェハ搬送方法とその装置を提供する
ことを目的とする。
の低下、あるいはウェハ自体やウェハ突き上げピン５が
破損するという問題点を有している。本発明は上記の問
題点を解決するもので、ウェハとトレーを分離する際に
確実に分離できるウェハ搬送方法とその装置を提供する
ことを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明のウェハ搬送方法
は、アンロード部にセットされたトレーからウェハを持
ち上げて搬送するに際し、トレーとウェハとの間の吸着
力を弱めてからウェハを持ち上げることを特徴とする。
は、アンロード部にセットされたトレーからウェハを持
ち上げて搬送するに際し、トレーとウェハとの間の吸着
力を弱めてからウェハを持ち上げることを特徴とする。
【００１０】この本発明によると、ウェハとトレーとの
分離不良による歩留まりの低下を防ぐとともに、ウェハ
や突き上げピンの破損を防止することができる。また、
本発明のウェハ搬送装置は、アンロード部とトレーの構
成を特殊にしたことを特徴とする。
分離不良による歩留まりの低下を防ぐとともに、ウェハ
や突き上げピンの破損を防止することができる。また、
本発明のウェハ搬送装置は、アンロード部とトレーの構
成を特殊にしたことを特徴とする。
【００１１】この本発明によると、上記のウェハ搬送方
法が容易に実現できる。
法が容易に実現できる。
【００１２】
【発明の実施の形態】請求項１記載のウェハ搬送方法
は、アンロード部にセットされたトレーから、このトレ
ーに載せたウェハを持ち上げて搬送するに際し、アンロ
ード部からトレーの底部を貫通してウェハ突き上げピン
を挿入してウェハを押し上げる前または同時に、トレー
とウェハの間に流体を供給してウェハをトレーから持ち
上げることを特徴とする。
は、アンロード部にセットされたトレーから、このトレ
ーに載せたウェハを持ち上げて搬送するに際し、アンロ
ード部からトレーの底部を貫通してウェハ突き上げピン
を挿入してウェハを押し上げる前または同時に、トレー
とウェハの間に流体を供給してウェハをトレーから持ち
上げることを特徴とする。
【００１３】請求項２記載のウェハ搬送方法は、請求項
１において、トレーのウェハ載置面にアンロード部から
流体を供給することを特徴とする。請求項３記載のウェ
ハ搬送装置は、昇降自在のウェハ突き上げピンを有する
アンロード部と、ウェハが載置されるウェハ載置面に前
記ウェハ突き上げピンが貫通する孔が形成されたトレー
とを備え、前記トレーには、一端がウェハ載置面で開口
し他端が底部で開口した流体導入路を形成し、前記アン
ロード部には、セットされたトレーの前記流体導入路へ
流体を供給する流体供給路を形成し、ウェハ突き上げピ
ンの上昇動作の度に前記流体供給路に流体を送り込む手
段とを有することを特徴とする。
１において、トレーのウェハ載置面にアンロード部から
流体を供給することを特徴とする。請求項３記載のウェ
ハ搬送装置は、昇降自在のウェハ突き上げピンを有する
アンロード部と、ウェハが載置されるウェハ載置面に前
記ウェハ突き上げピンが貫通する孔が形成されたトレー
とを備え、前記トレーには、一端がウェハ載置面で開口
し他端が底部で開口した流体導入路を形成し、前記アン
ロード部には、セットされたトレーの前記流体導入路へ
流体を供給する流体供給路を形成し、ウェハ突き上げピ
ンの上昇動作の度に前記流体供給路に流体を送り込む手
段とを有することを特徴とする。
【００１４】請求項４記載のウェハ搬送装置は、昇降自
在のウェハ突き上げピンを有するアンロード部と、ウェ
ハが載置されるウェハ載置面に前記ウェハ突き上げピン
が貫通する孔が形成されたトレーとを備え、前記トレー
には、一端がウェハ載置面で開口し他端が底部で開口し
た流体導入路を形成し、前記アンロード部には、セット
されたトレーの前記流体導入路へ流体を供給する流体供
給路を形成し、ウェハ突き上げピンの上昇を駆動する負
荷が大きくなったことを検出して前記流体供給路に流体
を送り込むように構成したことを特徴とする。
在のウェハ突き上げピンを有するアンロード部と、ウェ
ハが載置されるウェハ載置面に前記ウェハ突き上げピン
が貫通する孔が形成されたトレーとを備え、前記トレー
には、一端がウェハ載置面で開口し他端が底部で開口し
た流体導入路を形成し、前記アンロード部には、セット
されたトレーの前記流体導入路へ流体を供給する流体供
給路を形成し、ウェハ突き上げピンの上昇を駆動する負
荷が大きくなったことを検出して前記流体供給路に流体
を送り込むように構成したことを特徴とする。
【００１５】以下、本発明のウェハ搬送方法を具体的な
実施の形態を示す図１と図２を用いて説明する。なお、
上記従来例を示す図３と図４と同様をなすものには同一
の符号を付けて説明する。
実施の形態を示す図１と図２を用いて説明する。なお、
上記従来例を示す図３と図４と同様をなすものには同一
の符号を付けて説明する。
【００１６】（実施の形態）図１と図２は、ドライエッ
チング装置におけるウェハ搬送部分を示す。この（実施
の形態１）では、従来よりもトレー２とウェハ１との分
離性を良くするために、トレー２およびアンロード部３
の構成を特殊にした点で異なるが、それ以外の基本的な
構成は上記従来例を示す図３と図４とほぼ同様である。
チング装置におけるウェハ搬送部分を示す。この（実施
の形態１）では、従来よりもトレー２とウェハ１との分
離性を良くするために、トレー２およびアンロード部３
の構成を特殊にした点で異なるが、それ以外の基本的な
構成は上記従来例を示す図３と図４とほぼ同様である。
【００１７】図１（ａ）に示すように、トレー２および
アンロード部３には、ウェハ１とトレー２との吸着力を
弱める手段として、溝９とエアー吸入口１０とエアー導
入口１１が設けられている。
アンロード部３には、ウェハ１とトレー２との吸着力を
弱める手段として、溝９とエアー吸入口１０とエアー導
入口１１が設けられている。
【００１８】詳細には、図２（ａ）に示すように、トレ
ー２のウェハ載置面６には、アンロード部３の側に設け
られ昇降自在に構成されたウェハ突き上げピン５が通過
する孔７の内側に沿って環状の溝９が形成されている。
ー２のウェハ載置面６には、アンロード部３の側に設け
られ昇降自在に構成されたウェハ突き上げピン５が通過
する孔７の内側に沿って環状の溝９が形成されている。
【００１９】溝９の底部で一端が開口するエアー吸入口
１０は、図２（ｂ）に示すように他端はトレー２の底部
で開口している。このエアー吸入口１０のトレー２の底
部における開口部と連結するように、アンロード部３に
は、トレー吸着口４とは別に、このアンロード部３に載
置されたトレー２のエアー吸入口２の前記他端に対応す
る位置にエアー吸入口１０へエアーを送り込むためのエ
アー導入口１１が形成されている。
１０は、図２（ｂ）に示すように他端はトレー２の底部
で開口している。このエアー吸入口１０のトレー２の底
部における開口部と連結するように、アンロード部３に
は、トレー吸着口４とは別に、このアンロード部３に載
置されたトレー２のエアー吸入口２の前記他端に対応す
る位置にエアー吸入口１０へエアーを送り込むためのエ
アー導入口１１が形成されている。
【００２０】なお、制御部１２は、ウェハ突き上げピン
５の上昇動作の度にエアー導入口１１にエアーを送り込
むように構成されている。上記のように構成されたウェ
ハ搬送装置を用いたウェハ搬送方法を以下に述べる。
５の上昇動作の度にエアー導入口１１にエアーを送り込
むように構成されている。上記のように構成されたウェ
ハ搬送装置を用いたウェハ搬送方法を以下に述べる。
【００２１】図１（ａ）に示すように、装置内部で処理
されたウェハ１が載置されたトレー２がアンロード部３
に載置され、アンロード部３のトレー吸着口４によって
トレー２の本体が吸着され固定される。
されたウェハ１が載置されたトレー２がアンロード部３
に載置され、アンロード部３のトレー吸着口４によって
トレー２の本体が吸着され固定される。
【００２２】ウェハ１の取り出し時には、制御部１２に
よってエアー導入口１１からトレー２のエアー吸入口１
０へとＮ2ガスが供給され、ウェハ１とトレー２の間の
吸着力が弱められた状態においてウェハ突き上げピン５
が図１（ｂ）に示すように上昇するよう指示され、ウェ
ハ突き上げピン５が容易にウェハ１とトレー２を分離し
て、ウェハ１のみが持ち上げられる。
よってエアー導入口１１からトレー２のエアー吸入口１
０へとＮ2ガスが供給され、ウェハ１とトレー２の間の
吸着力が弱められた状態においてウェハ突き上げピン５
が図１（ｂ）に示すように上昇するよう指示され、ウェ
ハ突き上げピン５が容易にウェハ１とトレー２を分離し
て、ウェハ１のみが持ち上げられる。
【００２３】次に、搬送アーム８が前進して、突き上げ
られたウェハ１を受け取り、ウェハカセットに収納す
る。このようなウェハの搬送方法によると、ウェハ１と
トレー２の分離が確実に実現できるため、ウェハ１がト
レー２ごと持ち上がりることがなくなり、装置の停止に
よる歩留まりの低下を防止することができ、ウェハ１や
ウェハ突き上げピン５の破損を防止することができる。
られたウェハ１を受け取り、ウェハカセットに収納す
る。このようなウェハの搬送方法によると、ウェハ１と
トレー２の分離が確実に実現できるため、ウェハ１がト
レー２ごと持ち上がりることがなくなり、装置の停止に
よる歩留まりの低下を防止することができ、ウェハ１や
ウェハ突き上げピン５の破損を防止することができる。
【００２４】なお、上記の（実施の形態）では、エアー
導入口１１からＮ2ガスを送り込んでからウェハ突き上
げピン５を駆動するように制御部１２を構成したが、ウ
ェハ突き上げピン５の上昇動作と同時またはこの上昇動
作に遅れてＮ2ガスを送り込むように制御部１２を構成
しても同様の効果が得られる。
導入口１１からＮ2ガスを送り込んでからウェハ突き上
げピン５を駆動するように制御部１２を構成したが、ウ
ェハ突き上げピン５の上昇動作と同時またはこの上昇動
作に遅れてＮ2ガスを送り込むように制御部１２を構成
しても同様の効果が得られる。
【００２５】また、上記の（実施の形態）では、制御部
１２はウェハ突き上げピン５の上昇動作のたびにエアー
導入口１１からＮ2ガスを送り込んだが、ウェハ突き上
げピン５を駆動する負荷が上昇したことを検知した場合
に限って、エアー導入口１１からＮ2ガスを送り込むよ
うに制御部１２を構成しても同様の効果が得られる。
１２はウェハ突き上げピン５の上昇動作のたびにエアー
導入口１１からＮ2ガスを送り込んだが、ウェハ突き上
げピン５を駆動する負荷が上昇したことを検知した場合
に限って、エアー導入口１１からＮ2ガスを送り込むよ
うに制御部１２を構成しても同様の効果が得られる。
【００２６】また、上記（実施の形態）では、ウェハ１
を押し上げる流体としてＮ2ガスを用いた例を示した
が、本発明はこれに限定されるものではなく、例えばＡ
ｒガスなどの不活性ガスも使用できる。
を押し上げる流体としてＮ2ガスを用いた例を示した
が、本発明はこれに限定されるものではなく、例えばＡ
ｒガスなどの不活性ガスも使用できる。
【００２７】さらに、トレー２に形成した溝９およびエ
アー吸入口１０を孔７の内側に設けたが、本発明はこれ
に限定されるものではなく、外側に設けてもよい。
アー吸入口１０を孔７の内側に設けたが、本発明はこれ
に限定されるものではなく、外側に設けてもよい。
【００２８】
【発明の効果】以上のように本発明のウェハ搬送方法に
よると、トレーのウェハ載置面に溝を設けるとともにそ
の溝にエアーを導入する方法を採用することで、トレー
とウェハの間に入り込んだ液体の吸着力などの原因によ
るトレーとウェハの分離不良を抑え、その吸着力を弱め
ながらウェハを上方向へ持ち上げることができるため、
ウェハとトレーを確実に分離することができる。
よると、トレーのウェハ載置面に溝を設けるとともにそ
の溝にエアーを導入する方法を採用することで、トレー
とウェハの間に入り込んだ液体の吸着力などの原因によ
るトレーとウェハの分離不良を抑え、その吸着力を弱め
ながらウェハを上方向へ持ち上げることができるため、
ウェハとトレーを確実に分離することができる。
【００２９】従って、ウェハやウェハ突上げピンの破損
を防ぐとともに、装置の停止を未然に防止して歩留まり
の低下を解消することができる。
を防ぐとともに、装置の停止を未然に防止して歩留まり
の低下を解消することができる。
【図１】（実施の形態）におけるウェハ搬送装置の工程
図
図
【図２】（実施の形態）におけるトレーの断面図および
平面図
平面図
【図３】従来のウェハ搬送装置の工程図
【図４】従来のトレーの断面図および平面図
１ ウェハ ２ トレー ３ アンロード部 ４ トレー吸着口 ５ ウェハ突き上げピン ６ ウェハ載置面 ７ 孔 ８ 搬送アーム ９ 溝 １０ エアー吸入口 １１ エアー導入口 １２ 制御部
Claims (4)
- 【請求項１】アンロード部にセットされたトレーから、
このトレーに載せたウェハを持ち上げて搬送するに際
し、 アンロード部からトレーの底部を貫通してウェハ突き上
げピンを挿入してウェハを押し上げる前または同時に、
トレーとウェハの間に流体を供給してウェハをトレーか
ら持ち上げるウェハ搬送方法。 - 【請求項２】トレーのウェハ載置面にアンロード部から
流体を供給する請求項１記載のウェハ搬送方法。 - 【請求項３】昇降自在のウェハ突き上げピンを有するア
ンロード部と、 ウェハが載置されるウェハ載置面に前記ウェハ突き上げ
ピンが貫通する孔が形成されたトレーとを備え、 前記トレーには、 一端がウェハ載置面で開口し他端が底部で開口した流体
導入路を形成し、 前記アンロード部には、 セットされたトレーの前記流体導入路へ流体を供給する
流体供給路を形成し、 ウェハ突き上げピンの上昇動作の度に前記流体供給路に
流体を送り込む手段とを有するウェハ搬送装置。 - 【請求項４】昇降自在のウェハ突き上げピンを有するア
ンロード部と、 ウェハが載置されるウェハ載置面に前記ウェハ突き上げ
ピンが貫通する孔が形成されたトレーとを備え、 前記トレーには、 一端がウェハ載置面で開口し他端が底部で開口した流体
導入路を形成し、 前記アンロード部には、 セットされたトレーの前記流体導入路へ流体を供給する
流体供給路を形成し、 ウェハ突き上げピンの上昇を駆動する負荷が大きくなっ
たことを検出して前記流体供給路に流体を送り込むよう
に構成したウェハ搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36172898A JP2000183130A (ja) | 1998-12-21 | 1998-12-21 | ウェハ搬送方法とその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36172898A JP2000183130A (ja) | 1998-12-21 | 1998-12-21 | ウェハ搬送方法とその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000183130A true JP2000183130A (ja) | 2000-06-30 |
Family
ID=18474682
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP36172898A Pending JP2000183130A (ja) | 1998-12-21 | 1998-12-21 | ウェハ搬送方法とその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000183130A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100720419B1 (ko) * | 2002-03-22 | 2007-05-22 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 합착 장치 |
| KR100769812B1 (ko) | 2006-12-29 | 2007-10-23 | 주식회사 실트론 | 웨이퍼 트레이에 설치되는 로보트 핀의 구조 |
| KR100856152B1 (ko) | 2005-11-21 | 2008-09-03 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 피처리체의 반출 방법 및 프로그램 기억 매체 및 탑재기구 |
| CN112236852A (zh) * | 2018-06-19 | 2021-01-15 | 科磊股份有限公司 | 开槽静电吸盘 |
-
1998
- 1998-12-21 JP JP36172898A patent/JP2000183130A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100720419B1 (ko) * | 2002-03-22 | 2007-05-22 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 합착 장치 |
| KR100856152B1 (ko) | 2005-11-21 | 2008-09-03 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 피처리체의 반출 방법 및 프로그램 기억 매체 및 탑재기구 |
| KR100769812B1 (ko) | 2006-12-29 | 2007-10-23 | 주식회사 실트론 | 웨이퍼 트레이에 설치되는 로보트 핀의 구조 |
| CN112236852A (zh) * | 2018-06-19 | 2021-01-15 | 科磊股份有限公司 | 开槽静电吸盘 |
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