JP2000180610A - 拡散反射板及びその製造方法と反射型表示装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 拡散効率が高く所望の指向性を備えた拡散反
射板の製造方法を提供する。 【解決手段】まず、基板２の上に感光性を有する樹脂膜
１１を形成する第一成膜工程を行なう。次に、離散的に
配された領域を規定するパタンＰ１に従って樹脂膜１１
を露光した後、個々の領域内で一定方向に偏った部分を
規定するパタンＰ２に従って樹脂膜１１を更に露光し異
方性を付与する露光工程を行なう。続いて、樹脂膜１１
を現像して異方性の付与された柱状体を個々の領域毎に
形成する現像工程を行なう。そして、加熱処理を施し、
個々の柱状体の異方性を残した状態でその形状をなだら
かに変形して凹凸層を形成するリフロー工程を行なう。
最後に、なだらかに変形した凹凸層の上に金属膜１３を
形成する第二成膜工程を行なう。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は反射型表示装置に用
いる拡散反射板の製造方法に関する。又、拡散反射板を
利用した反射型表示装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶などを電気光学層に用いた表示装置
はフラットパネル形状を有し軽量薄型で低消費電力に特
徴がある。この為、携帯用機器のディスプレイなどとし
て盛んに開発されている。液晶などの電気光学物質は自
発光型ではなく外光を選択的に透過遮断して画像を映し
出す。この様な受動型の表示装置は照明方式によって透
過型と反射型に分けられる。

【０００３】透過型の表示装置では、透明な一対の基板
間に電気光学層として例えば液晶を保持したパネルを作
成し、その背面に照明用の光源（バックライト）を配置
する一方、パネルの正面から画像を観察する。透過型の
場合、バックライトは必須であり例えば冷陰極管などが
光源として用いられる。この為、ディスプレイ全体とし
て見た場合バックライトが大部分の電力を消費する為、
携帯用機器のディスプレイには不向きである。これに対
し、反射型では、パネルの背面に反射板を配置する一
方、正面から自然光などの外光を入射し、その反射光を
利用して同じく正面から画像を観察する。透過型と異な
り背面照明用の光源を使わないので、反射型は比較的低
消費電力で済み、携帯用機器のディスプレイに向いてい
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】反射型表示装置では周
囲環境からの入射光を利用して表示を行なう為、入射光
を有効に活用して輝度の向上を目指す必要がある。又、
所謂ペーパーホワイトと呼ばれる白表示を実現する為、
基本的にパネル内で入射光を拡散反射させる必要があ
る。この為、従来の反射型表示装置はパネル内に拡散反
射層を内蔵しており、その製造方法を図６に示す。まず
（Ａ）に示す様に、例えばガラスなどからなる基板２を
用意する。次に（Ｂ）に示す様に、基板２の上に感光性
を有する樹脂膜１１を形成する。樹脂膜１１としてはた
とえばフォトレジストを用いることができる。次に
（Ｃ）に示す様に、フォトリソグラフィにより樹脂膜１
１をパタニングして離散的に配された円柱の集合を設け
る。続いて（Ｄ）に示す様に、加熱処理を施して、個々
の円柱をなだらかに変形する。このリフローは樹脂膜１
１の軟化点若しくは融点以上に加熱し、円柱形状の樹脂
膜１１を一旦融解し、これを表面張力の作用でなだらか
に変形させる処理である。特に、円柱の上端面がなだら
かになり、角が取れて所望の傾斜面が得られる。更に、
なだらかに変形した円柱の集合の上に別の樹脂１２を塗
工し、離散的に配された各円柱の間の平坦な隙間２ａを
埋めて湾曲化する。基板２の表面に平坦な部分がなくな
る為、鏡面反射が生じる恐れがなくなる。鏡面反射を抑
制することで正面方向から見た拡散反射板の反射輝度を
向上させることができる。最後に（Ｅ）に示す様に、な
だらかに変形した円柱の集合の上に金属膜１３を形成す
る。これにより、樹脂膜１１とその上に重ねられた金属
膜１３とからなる拡散反射層を１０が得られる。金属膜
１３は例えばアルミニウムや銀などの金属をスパッタあ
るいは真空蒸着により、基板２の上に堆積したものであ
る。

【０００５】この拡散反射層１０は完全拡散に近い特性
を有しており、可能な限りペーパーホワイトの外観を呈
するようにしている。ところで、室内で電気スタンドな
どの補助的な光源を用いて反射型表示装置を照明する場
合、光源からの入射光を有効に観察者に反射させること
ができれば、輝度向上に有効である。しかしながら、従
来の完全拡散性を備えた拡散反射層は所謂指向性がな
く、補助光源などと組み合わせた場合に入射光の有効活
用を図ることができない。

【０００６】図７は、図６に示した従来の拡散反射板の
平面図（Ａ）と使用状態説明図（Ｂ）である。（Ａ）に
示すように、従来の拡散反射板は基本的にリフローで半
球状になった凸部が格子状若しくはランダムに配列した
樹脂膜１１を基本構造としている。前述した様に、個々
の凸部は円柱状にパタニングした樹脂膜１１をリフロー
することにより得られる。半球状の凸部は上下左右方向
共にほぼ等しい傾斜面積を有している。即ち、従来の拡
散反射板では方位角と極角に対して反射面が均等に分布
している。この様な球面に完全拡散光が入射した場合正
面方向への反射光は強くなる。しかし、点光源下では拡
散反射板に入射する光は全方向に均等に反射され、反射
型表示装置の明るさに寄与する直接観察光は非常に少な
い。この様な拡散反射板は室内環境で使用する反射型表
示装置には適していない。（Ｂ）に示すように、拡散反
射層１０により反射した拡散反射光は、光源１２０に対
して正反射方向を中心に分布し、正反射方向からずれる
程光量が減少する。従って、実際に表示装置を観察する
観察者１１０に向かうパネル正面方向への反射光が弱
く、この結果パネルが暗く見えるという欠点がある。

【０００７】

【課題を解決する為の手段】本発明は、上述した従来の
技術の課題を解決し、反射型表示装置の輝度向上を図る
ことを目的とする。即ち、本発明によれば、拡散反射板
は以下の工程により製造される。まず、基板の上に感光
性を有する樹脂膜を形成する第一成膜工程を行なう。次
に、離散的に配された領域を規定するパタンに従って該
樹脂膜を露光した後、個々の領域内で一定方向に偏った
部分を規定するパタンに従って該樹脂膜を更に露光し異
方性を付与する露光工程を行なう。続いて、該樹脂膜を
現像して異方性の付与された柱状体を個々の領域毎に形
成する現像工程を行なう。そして、加熱処理を施し、個
々の柱状体の異方性を残した状態でその形状をなだらか
に変形して凹凸層を形成するリフロー工程を行なう。最
後に、なだらかに変形した凹凸層の上に金属膜を形成す
る第二成膜工程を行なう。好ましくは、なだらかに変形
した凹凸層の上に樹脂を塗工し、互いに隔てて配された
各柱状体の平坦な隙間を埋めて湾曲化する追加工程を含
む。又好ましくは、第一成膜工程は基板の上にポジ形の
感光性を有する樹脂膜を形成し、露光工程は該ポジ形の
樹脂膜に対して離散的に規定された領域を選択的に露光
した後更に個々の領域内で一定方向に偏った部分を選択
的に露光し、現像工程は該樹脂膜の未感光部分を除去し
て個々の領域毎に柱状体を形成する。

【０００８】本発明によれば、反射型表示装置に内蔵さ
れる拡散反射板を作成する際、基板の上に感光性の樹脂
膜を形成した後、露光範囲を変えたマスクを用いて複数
回露光を行ない、異方性を付与された柱状体を得てい
る。これをリフローすることにより完全拡散性ではな
く、ある程度指向性を備えた拡散反射板が得られる。こ
れにより、実使用環境において、正面方向に向って高効
率に光源光を反射させることが可能になる。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下図面を参照して本発明の実施
の形態を詳細に説明する。図１は本発明に係る拡散反射
板の製造方法を示す工程図である。まず（Ａ）に示す様
に、例えばガラスなどからなる基板２の上に感光性を有
する樹脂膜１１を形成する。ここでは樹脂膜１１として
例えばポジ型のフォトレジストを用いている。次に、離
散的に配された領域Ｐ１を規定するパタンに従って樹脂
膜１１を露光する。ここではマスクＭ１を用いてポジ型
の感光性樹脂膜１１に対し離散的に規定された領域Ｐ１
を選択的に露光する。

【００１０】続いて（Ｂ）に示すように、個々の領域Ｐ
１内で一定方向に偏った部分Ｐ２を規定するパタンに従
って樹脂膜１１を更に露光し、異方性を付与する。具体
的には、マスクＭ２を用いて、個々の領域Ｐ１内で一定
方向に偏った部分Ｐ２を選択的に露光する。

【００１１】更に（Ｃ）に示すように、露光処理を施さ
れた樹脂膜１１を現像して、異方性の付与された柱状体
を個々の領域Ｐ１毎に形成する。即ち、樹脂膜１１の未
感光部分を除去して個々の領域Ｐ１毎に柱状体を形成す
る。ここでは基本的に領域Ｐ１に対応して円柱が得られ
る。領域Ｐ１内で一定部分Ｐ２が二回露光処理を施され
ている。従ってこの部分は硬化が進んでおり現像処理の
後、他の部分よりも多く残される。図示の幾何学的な関
係から明らかな様に、部分Ｐ２は領域Ｐ１から偏ってお
り、これに応じて個々の柱状体の上面の形状は異方性を
有する。尚本実施形態では基本的に円柱を形成している
が、本発明はこれに限られるものではない。円柱に代え
て四角柱など多角柱を形成してもよい。但し、この場合
でも多角柱の上面には少なくとも二回の露光処理を施
し、異方性を付与する必要がある。一般に、マスクＭ２
に描かれたパタンの寸法、偏り量、露光量を調整するこ
とにより、異方性の制御が可能である。

【００１２】この後（Ｄ）に示す様に、加熱処理を施
し、個々の柱状体の異方性を残した状態でその形状をな
だらかに変形して凹凸層を形成する。加熱処理を施すこ
とにより柱状体の上面に形成された階段状の形状はなだ
らかに変化する。

【００１３】最後に（Ｅ）に示す様に、なだらかに変形
した凹凸層の上に金属膜１３を形成して、所定の方向に
指向性を有する拡散反射層１０が得られる。この拡散反
射層１０は、凹凸が形成された樹脂膜１１とその表面に
成膜された金属膜１３とからなる。凹凸は、予め互いに
隙間を残してパタニングされた柱状体の集合からなり、
且つ個々の柱状体の上部が一定方向に偏った異方形状に
加工された樹脂膜１１をリフローして、なだらかで且つ
一定方向に異方性を有する。

【００１４】図２は、本発明に係る拡散反射板の使用状
態を示す模式図である。尚、この例では、なだらかに変
形した凹凸層の上に樹脂１２を塗工し、互いに隔てて配
された各柱状体の平坦な隙間を埋めて湾曲化し、鏡面反
射を抑制する様にしている。図示する様に、個々の柱状
体に異方性を付与した結果、パネルの上下方向（図面
上、左右方向）に位置する傾斜面の内上方部分の面積が
下方部分の面積より大きい。即ち、樹脂膜１１に形成さ
れた個々の凸部は上下方向に沿って切断した場合対称に
ならず、図１の（Ｃ）に示した部分Ｐ２が下方に偏って
いる分、上方部分の傾斜面積が下方部分の傾斜面積より
大きい。係る拡散反射板を表示装置に組み込んだ場合、
室内環境では一般に画面の上方向に照明光源１２０が位
置し、下方向に観察者１１０が位置することになる。こ
の場合、上方向からの照明光は上下に散乱され、特に指
向性を伴って観察者１１０が位置するパネル正面方向の
反射光量が多くなる。

【００１５】図３は、本発明に従って製造された拡散反
射板の利用例を示す模式図である。この例では、拡散反
射板が反射型パネル０に組み込まれている。この反射型
パネル０は例えばノート型パーソナルコンピュータ１０
０のディスプレイとして用いられている。ノート型パー
ソナルコンピュータの使用時、ディスプレイとなる液晶
パネル０は例えば垂直方向に対して例えば３０°傾いた
姿勢で、観察者１１０に対面配置される。観察者１１０
の上方には、電気スタンドなどの補助光源１２０が配さ
れている。観察者１１０はパネル０の正面方向（法線方
向）に位置し、補助光源１２０は法線方向から例えば３
０°上に傾いた方向に位置している。この様な実使用環
境を考慮して、プロセスの最適化により、光源１２０か
らの照明光が丁度正面方向に位置する観察者１１０に向
って大量に反射する様に、拡散反射板の異方性（指向
性）を設計すればよい。

【００１６】図４は、本発明に係る反射型表示装置の実
施形態を示す模式的な部分断面図である。本実施形態で
はＴＮ−ＥＣＢ（Ｔｗｉｓｔ Ｎｅｍａｔｉｃ−Ｅｌｅ
ｃｔｒｉｃａｌｌｙ Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｄ Ｂｉｒｅ
ｆｒｉｎｇｅｎｃｅ）モードの液晶パネル０を用いてい
る。図示する様に、本反射型表示装置はパネル０の表面
に偏光板７０と四分の一波長板８０が配されている。パ
ネル０は外光の入射側に位置する例えば透明なガラス板
などからなる第１基板１に、所定の間隙を介して反射側
に位置する第２基板２を接合したものである。両基板
１，２の間隙には電気光学層として例えばネマティック
液晶層３が保持されている。その液晶分子４は上下の配
向膜（図示略）によってツイスト配向されている。各基
板１，２の内表面にはそれぞれ電極が形成されており、
画素毎にネマティック液晶層３に電圧を印加する。本実
施形態は所謂アクティブマトリクス型であり、第１基板
１側に対向電極７が形成される一方、第２基板２側には
画素電極（１３）が形成されている。画素電極は薄膜ト
ランジスタ５０からなるスイッチング素子により駆動さ
れる。対向電極７と画素電極（１３）は互いに対面して
おり、両者の間に画素が規定される。又、反射側に位置
する第２基板２の内表面には本発明に従って拡散反射層
１０が形成されている。拡散反射層１０は樹脂膜１１と
金属膜１３の積層からなる。なお、本実施形態では金属
膜１３が画素電極を兼ねている。係る構成を有する反射
型の液晶表示装置はＴＮ−ＥＣＢ方式でノーマリホワイ
トモードである。即ち、電圧を印加しない時ネマティッ
ク液晶層３はツイスト配向を維持して四分の一波長板と
して機能し、偏光板７０及び四分の一波長板８０と協働
して、外光を通過させて白表示を行なう。電圧を印加し
た時、ネマティック液晶層３は垂直配向に移行して四分
の一波長板としての機能を失い、偏光板７０及び四分の
一波長板８０と協働して外光を遮断し黒表示を行なう。

【００１７】引き続き図４を参照して各構成部品を詳細
に説明する。前述した様に、パネル０の第１基板１の表
面には偏光板７０が配されている。偏光板７０と第１基
板１との間に四分の一波長板８０が介在している。この
四分の一波長板８０は例えば一軸延伸された高分子フィ
ルムからなり、常光と異常光との間で四分の一波長分の
位相差を与える。四分の一波長板８０の光学軸（一軸異
方軸）は偏光板７０の偏光軸（透過軸）と４５°の角度
を成す様に配されている。外光は偏光板７０を透過する
と直線偏光になる。この直線偏光は四分の一波長板８０
を透過すると円偏光になる。更にもう一度、四分の一波
長板を通過すると直線偏光になる。この場合、偏光方向
は元の偏光方向から９０°回転する。以上の様に、四分
の一波長板は偏光板と組み合わせることで偏光方向を回
転させることができ、これを表示に利用している。

【００１８】パネル０は基本的に水平配向した誘電異方
性が正のネマティック液晶分子４からなるネマティック
液晶層３を電気光学層として用いている。このネマティ
ック液晶層３はその厚みを適当に設定することで四分の
一波長板として機能する。本実施形態ではネマティック
液晶層３の屈折率異方性Δｎは例えば０．７程度であ
り、ネマティック液晶層３の厚みは例えば３μｍ程度で
ある。従って、ネマティック液晶層３のリターデーショ
ンΔｎ・ｄは０．２ないし０．２５μｍとなる。図示す
る様に、ネマティック液晶分子４をツイスト配向するこ
とで、上述したリターデーションの値は実質的に０．１
５μｍ（１５０ｎｍ）程度となる。この値は外光の中心
波長（６００ｎｍ程度）のほぼ１／４となり、ネマティ
ック液晶層３が光学的に四分の一波長板として機能する
ことが可能になる。ネマティック液晶層３を上下の配向
膜で挟持することにより、所望のツイスト配向が得られ
る。第１基板１側では配向膜のラビング方向に沿って液
晶分子４が整列し、第２基板２側でも配向膜のラビング
方向に沿って液晶分子４が整列する。上下の配向膜のラ
ビング方向を例えば６０°ないし７０°ずらすことによ
り、所望のツイスト配向が得られる。

【００１９】透明な第１基板１側にはカラーフィルタ９
が形成されている。一方反射側に位置する第２基板２側
には拡散反射層１０が形成されている。拡散反射層１０
は表面に凹凸を有し光散乱性を備えている。従って、ペ
ーパーホワイトの外観を呈し表示背景として好ましいば
かりでなく、入射光を比較的広い角度範囲で反射する
為、視野角が拡大し表示が見やすくなるとともに広い視
角範囲で表示の明るさが増す。図示する様に、拡散反射
層１０は凹凸が形成された樹脂膜１１とその表面に成膜
された金属膜１３とからなる。前述した様に、金属膜１
３は画素電極を兼ねている。拡散反射層１０は本発明に
従って作成されており、予め隙間を残して離散的にパタ
ニングされた柱状体の樹脂膜１１をリフローして、なだ
らかな起伏を有する凹凸を形成している。柱状体の頂面
は予め異方形状にパタニングされている。異方形状を有
する柱状体をリフローした後残された隙間を他の樹脂膜
１２で埋めなだらかな起伏を有する凹凸を得ている。

【００２０】最後に、第２基板２の表面には画素電極駆
動用の薄膜トランジスタ５０が集積形成されている。薄
膜トランジスタ５０は例えばボトムゲート構造を有して
おり、下から順にゲート電極５１、二層のゲート絶縁膜
５２，５３、多結晶シリコンなどからなる半導体薄膜５
４を重ねた積層構造である。薄膜トランジスタは二本の
ゲート電極５１を含む例えばダブルゲート構造となって
いる。各ゲート電極５１の直上に位置する半導体薄膜５
４の領域にチャネル領域が設けられている。各チャネル
領域はストッパー５５により保護されている。この薄膜
トランジスタ５０と同一の層構造で補助容量６０も形成
されている。係る構成を有する薄膜トランジスタ５０及
び補助容量６０は層間絶縁膜５９により被覆されてい
る。層間絶縁膜５９には薄膜トランジスタのソース領域
及びドレイン領域に連通するコンタクトホールが開口し
ている。層間絶縁膜５９の上には配線５７が形成されて
おり、コンタクトホールを介して薄膜トランジスタ５０
のソース領域及びドレイン領域に接続している。配線５
７は他の層間絶縁膜５８により被覆されている。その上
に、前述した画素電極（１３）がパタニング形成されて
いる。画素電極（１３）は配線５７を介して薄膜トラン
ジスタ５０のドレイン領域に電気接続している。

【００２１】図５を参照して、図４に示した反射型表示
装置の動作を詳細に説明する。図中、（ＯＦＦ）は電圧
無印加状態を示し、（ＯＮ）は電圧印加状態を示してい
る。（ＯＦＦ）に示す様に、本反射型表示装置は観察者
側から見て順に偏光板７０、四分の一波長板８０、ネマ
ティック液晶層３、拡散反射層１０を重ねたものであ
る。偏光板７０の偏光軸（透過軸）は７０Ｐで表わされ
ている。四分の一波長板８０の光学軸８０Ｓは透過軸７
０Ｐと４５°の角度を成す。又、第１基板側の液晶分子
４の配向方向３Ｒは偏光板７０の偏光軸（透過軸）７０
Ｐと平行である。

【００２２】入射光２０１は偏光板７０を通過すると直
線偏光２０２になる。その偏光方向は透過軸７０Ｐと平
行であり、以下平行直線偏光と呼ぶことにする。平行直
線偏光２０２は四分の一波長板８０を通過すると円偏光
２０３に変換される。円偏光２０３は四分の一波長板と
して機能するネマティック液晶層３を通過すると直線偏
光になる。ただし、直線偏光の偏光方向は９０°回転し
平行直線偏光２０２と直交する。以下、これを直交直線
偏光と呼ぶことにする。直交直線偏光２０３は拡散反射
層１０で反射した後、再び四分の一波長板として機能す
るネマティック液晶層３を通過する為、円偏光２０４に
なる。円偏光２０４は更に四分の一波長板８０を通過す
る為元の平行直線偏光２０５になる。この平行直線偏光
２０５は偏光板７０を通過して出射光２０６となり、観
察者に至る為白表示が得られる。

【００２３】（ＯＮ）に示す電圧印加状態では、液晶分
子４はツイスト配向から垂直配向に移行し、四分の一波
長板としての機能が失われる。偏光板７０を通過した外
光２０１は平行直線偏光２０２となる。平行直線偏光２
０２は四分の一波長板８０を通過すると円偏光２０３に
なる。円偏光２０３はネマティック液晶層３をそのまま
通過した後、拡散反射層１０で反射され、円偏光２０４
ａのまま、四分の一波長板８０に至る。ここで円偏光２
０４ａは直交直線偏光２０５ａに変換される。直交直線
偏光２０５ａは偏光板７０を通過できないので黒表示に
なる。

【００２４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
凹凸が形成された樹脂膜とその表面に成膜された金属膜
とからなる拡散反射板において、予め互いに隙間を残し
てパタニングされた柱状体の集合からなり且つ個々の柱
状体の上部が一定方向に偏った異方形状に加工された樹
脂膜をリフローして、なだらかで且つ一定方向に異方性
を有する凹凸を形成している。係る構成を有する拡散反
射板を表示装置に組み込むことにより、実使用環境にお
けるパネル正面方向への反射率が向上し、従来に比し明
るい画面が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る拡散反射板の製造方法を示す工程
図である。

【図２】本発明に係る拡散反射板の機能説明図である。

【図３】本発明に係る拡散反射板の使用例を示す模式図
である。

【図４】本発明に係る拡散反射板を組み込んだ表示装置
の一例を示す断面図である。

【図５】図４に示した表示装置の動作説明図である。

【図６】従来の拡散反射板の製造方法を示す工程図であ
る。

【図７】従来の拡散反射板の課題を示す模式図である。

【符号の説明】

２・・・基板、１０・・・拡散反射層、１１・・・感光
性樹脂膜、１３・・・金属膜

フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H042 BA04 BA12 BA15 BA20 2H091 FA08X FA08Z FA11X FA11Z FA16Z FB02 FB08 FC10 FC22 GA02 KA02 LA13 LA16 5G435 AA03 BB12 BB16 CC09 EE33 EE37 FF03 FF05 FF06 GG12 HH02 HH12 KK07 LL07

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板の上に感光性を有する樹脂膜を形成
   する第一成膜工程と、 離散的に配された領域を規定するパタンに従って該樹脂
   膜を露光した後、個々の領域内で一定方向に偏った部分
   を規定するパタンに従って該樹脂膜を更に露光し異方性
   を付与する露光工程と、 該樹脂膜を現像して異方性の付与された柱状体を個々の
   領域毎に形成する現像工程と、 加熱処理を施し、個々の柱状体の異方性を残した状態で
   その形状をなだらかに変形して凹凸層を形成するリフロ
   ー工程と、 なだらかに変形した凹凸層の上に金属膜を形成する第二
   成膜工程とを行なう拡散反射板の製造方法。
2. 【請求項２】 なだらかに変形した凹凸層の上に樹脂を
   塗工し、互いに隔てて配された各柱状体の平坦な隙間を
   埋めて湾曲化する追加工程を含む請求項１記載の拡散反
   射板の製造方法。
3. 【請求項３】 第一成膜工程は基板の上にポジ形の感光
   性を有する樹脂膜を形成し、露光工程は該ポジ形の樹脂
   膜に対して離散的に規定された領域を選択的に露光した
   後更に個々の領域内で一定方向に偏った部分を選択的に
   露光し、現像工程は該樹脂膜の未感光部分を除去して個
   々の領域毎に柱状体を形成する請求項１記載の拡散反射
   板の製造方法。
4. 【請求項４】 凹凸が形成された樹脂膜とその表面に成
   膜された金属膜とからなる拡散反射板において、 予め互いに隙間を残してパタニングされた柱状体の集合
   からなり且つ個々の柱状体の上部が一定方向に偏った異
   方形状に加工された樹脂膜をリフローして、なだらかで
   且つ一定方向に異方性を有する凹凸を形成したことを特
   徴とする拡散反射板。
5. 【請求項５】 入射側に配置する透明な第１基板と、所
   定の間隙を介して該第１基板に接合し反射側に配置され
   る第２基板と、該間隙内で第１基板側に位置する電気光
   学層と、該間隙内で第２基板側に位置する拡散反射層
   と、該第１基板及び第２基板の少くとも一方に形成され
   該電気光学層に電圧を印加する電極とを備えた反射型表
   示装置であって、 前記拡散反射層は凹凸が形成された樹脂膜とその表面に
   成膜された金属膜とからなり、 前記凹凸は、予め互いに隙間を残してパタニングされた
   柱状体の集合からなり且つ個々の柱状体の上部が一定方
   向に偏った異方形状に加工された樹脂膜をリフローし
   て、なだらかで且つ一定方向に異方性を有することを特
   徴とする反射型表示装置。