JP2000174097A - パネル吸着装置 - Google Patents

パネル吸着装置

Info

Publication number
JP2000174097A
JP2000174097A JP34542298A JP34542298A JP2000174097A JP 2000174097 A JP2000174097 A JP 2000174097A JP 34542298 A JP34542298 A JP 34542298A JP 34542298 A JP34542298 A JP 34542298A JP 2000174097 A JP2000174097 A JP 2000174097A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
suction
panel
sucked
lcd panel
pad
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP34542298A
Other languages
English (en)
Inventor
Satoshi Ota
智 太田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP34542298A priority Critical patent/JP2000174097A/ja
Publication of JP2000174097A publication Critical patent/JP2000174097A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 吸着すべき被吸着物に多少の傾きが生じてい
ても、その被吸着物を確実に吸着できるようにする。 【解決手段】 板状の被吸着物に対応して平面状に形成
された吸着面1と、この吸着面1に設けられた吸引孔3
と、この吸引孔3とは別に前記吸着面1から被吸着物側
に突出するように設けられ、かつ、弾性を有した部材に
よって前記被吸着物側に開口2aを有する中空円錐形に
形成された吸着パッド2と、前記被吸着物の吸着に際し
前記吸着パッド2内の空間を減圧した後に前記吸引孔1
内の空間を減圧する吸引手段とを備えて、パネル吸着装
置を構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、板状の被吸着物を
吸着保持するためのパネル吸着装置に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】従来、板状の被吸着物を吸着保持するパ
ネル吸着装置としては、例えばLCD(Liquid Crystal
Display)パネルの製造工程において用いられるものが
ある。すなわち、LCDパネルの製造工程の自動化に対
応して生産効率の向上を図るべく、図3に示すように、
ハンドリングロボットの先端部等に支持される吸着ヘッ
ド11でLCDパネル12を吸着保持することにより、
そのLCDパネル12の収納トレイ13からの個別取り
出しおよび所望箇所への移動等を可能にしたものがあ
る。
【0003】このようなパネル吸着装置では、図4に示
すように、吸着ヘッド11の下面をLCDパネル12の
上面に当接させた状態で、その下面に設けられた吸引孔
11aに接続する吸引ポンプ等(ただし不図示)を動作
させることにより、吸引孔11a内の空間を減圧して、
吸着ヘッド11の下面にLCDパネル12を吸着保持さ
せるようになっている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来のパネル吸着装置では、以下に述べる理由によ
り、吸着ヘッド11がLCDパネル12を確実に吸着で
きない可能性がある。
【0005】例えば、吸着ヘッド11下面とLCDパネ
ル12上面との間が、そのLCDパネル12を収納して
いる収納トレイ13の傾きやその収納トレイ13内にお
けるLCDパネル12の収納状態等の影響によって、互
いに平行でない場合には、吸着ヘッド11下面をLCD
パネル12上面に当接させても、これらの間に隙間が生
じてしまうことになる。したがって、この状態で吸引ポ
ンプ等を動作させてもリークが発生するため、吸引孔1
1a内の空間が十分に減圧されず、LCDパネル12の
吸着ミスが発生する可能性がある。
【0006】また、このような現象の発生を防ぐべく、
吸着ヘッド11下面をLCDパネル12上面の傾きに合
わせ込むことも考えられるが、この場合には、トレイ1
3の傾きやLCDパネル12ごとの収納状態といったバ
ラツキに対応することができなくなってしまう。つま
り、LCDパネル12側の傾きにバラツキが生じていて
も、これを吸着ヘッド11側で吸収することができない
ため、結果としてLCDパネル12の吸着ミスを完全に
防ぐことはできない。
【0007】そこで、本発明は、吸着保持すべき被吸着
物に多少の傾きが生じていても、その被吸着物を確実に
吸着することのできるパネル吸着装置を提供することを
目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために案出されたパネル吸着装置で、板状の被吸
着物に対応して平面状に形成された吸着面と、前記吸着
面に設けられた吸引孔と、前記吸引孔とは別に前記吸着
面から被吸着物側に突出するように設けられ、かつ、弾
性を有した部材によって前記被吸着物側に開口を有する
中空円錐形に形成された吸着パッドと、前記被吸着物の
吸着に際し前記吸着パッド内の空間を減圧した後に前記
吸引孔内の空間を減圧する吸引手段とを備えることを特
徴とするものである。
【0009】上記構成のパネル吸着装置によれば、被吸
着物を吸着する際には、吸着パッドが吸着面から突出し
ているため、先ず、吸着パッドが被吸着物に当接する。
このとき、吸着パッドは、弾性を有した部材によって形
成されているので、被吸着物に傾きが生じていても、こ
れに追従して被吸着物側の開口が封止される。吸着パッ
ドの開口が被吸着物に封止されると、ここで、吸引手段
は、吸着パッド内の空間を減圧する。このとき、吸着パ
ッドは、弾性を有した部材によって中空円錐形に形成さ
れているので、吸引手段の減圧によって、被吸着物を吸
着保持した状態のまま、吸着面からの突出部分が吸着面
側に収縮変形する。すなわち、吸引手段の減圧によっ
て、吸着パッドに吸着された被吸着物が、吸着面に当接
することとなる。したがって、その後に吸引手段が吸引
孔内の空間を減圧すれば、その被吸着物は、吸着面に吸
着保持されることになる。
【0010】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づき本発明に係わ
るパネル吸着装置について説明する。ただし、ここで
は、LCDパネルの製造工程において用いられるパネル
吸着装置に、本発明を適用した場合を例に挙げて説明す
る。
【0011】図1は、本実施の形態におけるパネル吸着
装置の要部を示す概略構成図であり、図2は、本実施の
形態におけるパネル吸着装置にてLCDパネルを吸着保
持する場合の状態の具体例を示す説明図である。
【0012】本実施の形態のパネル吸着装置は、従来の
もの(図3参照)と同様に、ハンドリングロボットの先
端部等に支持される吸着ヘッドでLCDパネルを吸着保
持することにより、そのLCDパネルの収納トレイから
の個別取り出しおよび所望箇所への移動等を可能にした
ものである。ただし、このパネル吸着装置では、吸着ヘ
ッドの構成が従来のものとは異なっている。
【0013】吸着ヘッドは、図1(a)および(b)に
示すように、その下面がLCDパネルの被吸着面である
上面に対応して平面状に形成されたものである。すなわ
ち、吸着ヘッドの下面には、LCDパネルを保持吸着す
るための吸着面1が設けられている。この吸着面1は、
金属または特定の樹脂等の機械的強度に優れた部材によ
って形成されているものとする。なお、吸着面1の外
形、すなわち吸着ヘッドの外形は、略方形状に形成され
ているが、これは例えば略円形状であってもよい。
【0014】また、吸着ヘッドの下面側の略中央近傍に
は、吸着パッド2が設けられている。吸着パッド2は、
シリコンゴム等の弾性を有した部材によって形成された
もので、下端に開口2aを有した中空円錐形で、かつ、
その開口2aが吸着面1よりもさらに下方に突出するよ
うに形成されたものである。なお、吸着パッド2の中空
円錐形の部分は、上方に向けて収縮変形し得るように、
薄肉に形成されているものとする。また、吸着パッド2
の吸着面1からの突出量は、例えば1mm程度であるもの
とする。
【0015】さらに、この吸着パッド2の中空円錐形部
分の内部は、吸着ヘッドの外部に通じる配管穴2bを介
して、吸引ポンプおよび切替えバルブ等からなる吸引手
段(ただし不図示)に接続されている。これにより、中
空円錐形部分の内部、すなわち吸着パッド2内の空間
は、減圧され得るようになっている。
【0016】また、吸着ヘッドの下面、すなわち吸着面
1には、吸着パッド2が設けられた部分以外の全域にわ
たって、所定深さの吸引孔3が設けられている。この吸
引孔3は、吸着ヘッドの外部に通じる配管穴3aを介し
て、吸引手段に接続されている。ただし、吸引手段で
は、詳細を後述するように、切替えバルブの切り替え等
によって、吸着パッド2内と吸引孔3内との減圧タイミ
ングを相違させている。これにより、吸引孔3内の空間
は、吸着パッド2の場合とは別に減圧され得るようにな
っている。なお、吸引孔3は、吸着パッド2とは別に吸
着面1に設けられていれば、例えば複数の孔からなるも
のであってもよい。
【0017】次に、図2(a)および(b)を参照しな
がら、以上のように構成された吸着ヘッドを備えるパネ
ル吸着装置を用いて、LCDパネル4の吸着保持を行う
場合の動作例について説明する。
【0018】このパネル吸着装置では、LCDパネル4
の吸着保持に際し、先ず、吸着ヘッドがハンドリングロ
ボット等によってLCDパネル4の吸着位置に移動され
る(図中S1、S1′参照)。
【0019】このとき、吸着ヘッドでは、吸着パッド2
が吸着面1よりも突出しているので、吸着すべきLCD
パネル4に傾きが生じていなければ、図2(a)に示す
ように、吸着位置への移動によって、吸着パッド2の下
端がLCDパネル4の上面に当接し、そのLCDパネル
4によって吸着パッド2の開口2aが封止されることと
なる(図中S2参照)。
【0020】また、図2(b)に示すように、LCDパ
ネル4に傾きが生じていても、吸着パッド2は、弾性を
有した部材によって形成されているので、吸着面1から
の突出部分がLCDパネル4の傾きに追従して変形す
る。具体的には、吸着パッド2の突出量等との関係か
ら、LCDパネル4の傾きが4°程度であれば、吸着パ
ッド2の突出部分が追従して変形し、これによって吸着
パッド2の開口2aがLCDパネル4によって封止され
ることとなる(図中S2′参照)。
【0021】吸着パッド2の開口2aが封止されると、
ここで、吸引手段は、吸着パッド2内の空間のみを減圧
する。このとき、吸着パッド2は、弾性を有した部材に
よって中空円錐形に形成されており、しかもその中空円
錐形の部分が上方に向けて収縮変形し得るように薄肉に
形成されている。したがって、吸引手段の減圧によって
吸着パッド2内の空間が収縮すると、吸着パッド2は、
LCDパネル4を吸着保持した状態のまま、吸着面1か
らの突出部分が吸着面1側に収縮変形することとなる。
【0022】つまり、吸着パッド2に吸着保持されたL
CDパネル4は、図2(a)および(b)に示すよう
に、吸着面1との間が平行であるか否かに拘わらず、吸
引手段の減圧に伴う吸着パッド2の収縮変形によって、
その上面が吸着面1に当接するようになる(図中S3、
S3′参照)。
【0023】その後、吸引手段は、切替えバルブの切り
替え等によって、吸引孔3内の空間を減圧する。これに
より、そのLCDパネル4は、吸着ヘッドの吸着面1に
吸着保持される。なお、このとき、吸引手段では、少な
くとも吸引孔3内の空間のみを減圧すればLCDパネル
4の吸着保持が可能となるが、より強力な保持力を確保
する観点から、吸着パッド2内の空間と吸引孔3内の空
間との双方を減圧することが好ましい。
【0024】以上のように、本実施の形態のパネル吸着
装置では、吸着ヘッドが吸着面1から突出する吸着パッ
ド2を備えるとともに、吸引手段が吸着パッド2内の空
間を減圧した後に吸引孔3内の空間を減圧するようにな
っている。したがって、収納トレイやその収納トレイ内
での収納状態等の影響によって、吸着すべきLCDパネ
ル4に傾きが生じている場合であっても、吸着パッド2
自体の変形および減圧タイミングの差を利用して、その
LCDパネル4を吸着面1に吸着保持することができ
る。具体的には、例えば1°程度の傾きでリークが発生
し吸着ミスとなる可能性があった従来のものに対し、こ
のパネル吸着装置では、4°程度の傾きであっても、確
実にLCDパネル4を吸着保持できるようになる。
【0025】つまり、本実施の形態のパネル吸着装置を
用いてLCDパネル4の吸着保持を行えば、吸着すべき
LCDパネル4にある程度の傾きが生じていても、吸着
ミスが発生することなく、そのLCDパネル4を確実に
吸着保持することができる。
【0026】しかも、そのために、吸着面1側の傾きと
LCDパネル4側の傾きとを合わせ込む必要もない。す
なわち、LCDパネル4側の傾きにバラツキが生じてい
ても、これを吸着ヘッド側で吸収することができる。し
たがって、LCDパネル4側と吸着ヘッド側との間の位
置調整が簡易化でき、吸着ミスを防ぎつつ、迅速かつ確
実な処理が実現できる。
【0027】さらに、本実施の形態のパネル吸着装置で
は、吸着パッド2の変形および減圧タイミングの差を利
用することで、吸着面1にてLCDパネル4を吸着保持
するようになっている。すなわち、単に吸着パッド2に
て吸着保持するのではなく、機械的強度に優れた部材で
形成された吸着面1にてLCDパネル4を吸着保持する
ようになっている。したがって、このパネル吸着装置で
は、LCDパネル4の吸着ミスを防ぎつつも、吸着保持
時におけるLCDパネル4の姿勢の安定化を図れるの
で、LCDパネル4を吸着保持した後の吸着ヘッドの移
動制御が非常に容易となる。
【0028】なお、本実施の形態では、被吸着物がLC
Dパネルである場合を例に挙げて説明したが、本発明は
これに限定されるものではない。すなわち、他の被吸着
物であっても、板状のものであれば、本発明は同様に適
用可能である。
【0029】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明のパネル
吸着装置は、吸着面側に吸引孔と吸着パッドとが設けら
れているとともに、吸引手段がこれらに対する減圧タイ
ミングを相違させるようになっているので、吸着すべき
被吸着物にある程度の傾きが生じていても、吸着ミスが
発生することなく、その被吸着物を確実に吸着保持する
ことができる。しかも、そのために、吸着面側の傾きと
被吸着物側の傾きとを合わせ込む必要もないので、これ
らの間の位置調整の簡易化が図れるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るパネル吸着装置の実施の形態の一
例の要部を示す概略構成図であり、(a)はその断面
図、(b)はその下面図である。
【図2】本発明に係るパネル吸着装置の実施の形態の一
例にて被吸着物を吸着保持する場合の状態の具体例を示
す説明図であり、(a)は被吸着物に傾きがない場合を
示す図、(b)は被吸着物に傾きがある場合を示す図で
ある。
【図3】従来のパネル吸着装置の一例の概要を示す概略
構成図である。
【図4】従来のパネル吸着装置の一例の要部を示す概略
構成図である。
【符号の説明】
1…吸着面、2…吸着パッド、2a…開口、3…吸引
孔、4…LCDパネル(被吸着物)

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 板状の被吸着物に対応して平面状に形成
    された吸着面と、 前記吸着面に設けられた吸引孔と、 前記吸引孔とは別に前記吸着面から被吸着物側に突出す
    るように設けられ、かつ、弾性を有した部材によって前
    記被吸着物側に開口を有する中空円錐形に形成された吸
    着パッドと、 前記被吸着物の吸着に際し前記吸着パッド内の空間を減
    圧した後に前記吸引孔内の空間を減圧する吸引手段とを
    備えることを特徴とするパネル吸着装置。
JP34542298A 1998-12-04 1998-12-04 パネル吸着装置 Pending JP2000174097A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP34542298A JP2000174097A (ja) 1998-12-04 1998-12-04 パネル吸着装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP34542298A JP2000174097A (ja) 1998-12-04 1998-12-04 パネル吸着装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2000174097A true JP2000174097A (ja) 2000-06-23

Family

ID=18376500

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP34542298A Pending JP2000174097A (ja) 1998-12-04 1998-12-04 パネル吸着装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2000174097A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002184835A (ja) * 2000-12-13 2002-06-28 Ando Electric Co Ltd 吸着パッド

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002184835A (ja) * 2000-12-13 2002-06-28 Ando Electric Co Ltd 吸着パッド

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107706129B (zh) 接合装置和接合系统
CN100445049C (zh) 真空吸头、使用该真空吸头的真空吸附装置和工作台
US20120107081A1 (en) Board conveying hand and board conveying device provided with the same
US7637714B2 (en) Apparatus and method for removing semiconductor chip
JP2001179672A (ja) ロボットハンド
KR20150006377A (ko) 흡착 구조, 로봇 핸드 및 로봇
JPWO2003071599A1 (ja) 基板吸着装置
JP2015013358A (ja) 吸着構造、ロボットハンドおよびロボット
JP4519743B2 (ja) 基板吸着装置、基板支持体、基板搬送装置、およびガラス基板搬送用ロボット。
JP2000237983A (ja) 基板チャック装置
JP2016197623A (ja) 吸着保持用治具とこの治具を備えた吸着保持装置、吸着保持方法、基板の処理方法、及び基板の成膜方法
JPH03270048A (ja) 真空チャック
JP2000174097A (ja) パネル吸着装置
JP3122590B2 (ja) 吸着パッド
JP2013243203A (ja) 支持装置
JP2000243816A (ja) 基板チャック装置
JP2003191191A (ja) 真空吸着装置
JPH10279070A (ja) 基板搬送用フィンガ
JP4655272B2 (ja) 基板吸着装置とそれを用いた基板搬送装置
JPH08290382A (ja) 吸着装置及び搬送装置
JP2003245886A (ja) 吸着機構
JP2001105261A (ja) 基板保持装置
JPH07237765A (ja) フローティング型バキュームチャック
CN114454182B (zh) 工业用机器人的示教方法
CN218659140U (zh) 吸盘组件及移动部件