JP2000162655A - Ｃｌｂｏ結晶による和周波光の発生方法 - Google Patents
Ｃｌｂｏ結晶による和周波光の発生方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ＣＬＢＯ結晶により１９３ｎｍの和周波光を
発生させるための実用上の条件を明らかにし、実用上実
現可能なＣＬＢＯ結晶による和周波光の発生方法を提供
すること。 【解決手段】 波長９５０ｎｍ〜１１００ｎｍの第１の
コヒーレント光と、波長２００ｎｍ〜２５０ｎｍの第２
のコヒーレント光から、ほぼ１９３ｎｍの和周波光を発
生させるに際し、ＣＬＢＯ結晶を冷却する。また、第１
のコヒーレント光をＮｄ：ＹＡＧレーザ光またはＮｄ：
ＹＶＯ4 レーザ光とする場合には、結晶の温度を−１８
０°Ｃ以下とするのが望ましい。さらに、ＣＬＢＯ結晶
の温度を、位相整合する角度がほぼ９０度となる温度に
することにより、ノン・クリティカル・フェーズ・マッ
チングとすることができる。
発生させるための実用上の条件を明らかにし、実用上実
現可能なＣＬＢＯ結晶による和周波光の発生方法を提供
すること。 【解決手段】 波長９５０ｎｍ〜１１００ｎｍの第１の
コヒーレント光と、波長２００ｎｍ〜２５０ｎｍの第２
のコヒーレント光から、ほぼ１９３ｎｍの和周波光を発
生させるに際し、ＣＬＢＯ結晶を冷却する。また、第１
のコヒーレント光をＮｄ：ＹＡＧレーザ光またはＮｄ：
ＹＶＯ4 レーザ光とする場合には、結晶の温度を−１８
０°Ｃ以下とするのが望ましい。さらに、ＣＬＢＯ結晶
の温度を、位相整合する角度がほぼ９０度となる温度に
することにより、ノン・クリティカル・フェーズ・マッ
チングとすることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、波長１９３ｎｍの
光を放出するＡｒＦエキシマレーザの代替光源として使
用される固体レーザ光源等に用いられるＣＬＢＯ結晶に
よる１９３ｎｍの和周波光の発生方法に関する。
光を放出するＡｒＦエキシマレーザの代替光源として使
用される固体レーザ光源等に用いられるＣＬＢＯ結晶に
よる１９３ｎｍの和周波光の発生方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体集積回路等の微細化に伴
い、露光光の波長が短波長化しており、次世代の半導体
リソグラフィー用光源として、波長１９３ｎｍのＡｒＦ
エキシマレーザが有力視されている。しかし、上記エキ
シマレーザは、レーザ媒質として腐食性ガスを使用する
ためメンテナスン上の問題があり、実用化する上で解決
しなければならない問題も多い。そこで、ＡｒＦエキシ
マレーザの代替光源として使用できる波長がほぼ１９３
ｎｍの光を放出する固体レーザの開発が検討されてい
る。
い、露光光の波長が短波長化しており、次世代の半導体
リソグラフィー用光源として、波長１９３ｎｍのＡｒＦ
エキシマレーザが有力視されている。しかし、上記エキ
シマレーザは、レーザ媒質として腐食性ガスを使用する
ためメンテナスン上の問題があり、実用化する上で解決
しなければならない問題も多い。そこで、ＡｒＦエキシ
マレーザの代替光源として使用できる波長がほぼ１９３
ｎｍの光を放出する固体レーザの開発が検討されてい
る。
【０００３】固体レーザを用いて上記ＡｒＦエキシマレ
ーザの代替光源を構成するには、Ｎｄ：ＹＡＧレーザ光
源等が放出するコヒーレント光と、波長可変レーザや光
パラメトリック発振器が放出するコヒーレント光あるい
はその高調波光を、ＣＬＢＯ結晶等の和周波結晶に入射
して、波長がほぼ１９３ｎｍの和周波光を得る方法が考
えられる。すなわち、波長が９５０ｎｍ〜１１００ｎｍ
の第１のコヒーレント光と、波長がほぼ２００ｎｍ〜２
５０ｎｍの第２のコヒーレント光（例えば、ほぼ１０６
４ｎｍの波長の光を放出するＮｄ：ＹＡＧレーザ光と、
ほぼ２３６ｎｍの波長の光を放出する可変波長レーザ
光）をＣＬＢＯ結晶に入射し、和周波混合することによ
り、波長がほぼ１９３ｎｍの光を得る方法が考えられ
る。
ーザの代替光源を構成するには、Ｎｄ：ＹＡＧレーザ光
源等が放出するコヒーレント光と、波長可変レーザや光
パラメトリック発振器が放出するコヒーレント光あるい
はその高調波光を、ＣＬＢＯ結晶等の和周波結晶に入射
して、波長がほぼ１９３ｎｍの和周波光を得る方法が考
えられる。すなわち、波長が９５０ｎｍ〜１１００ｎｍ
の第１のコヒーレント光と、波長がほぼ２００ｎｍ〜２
５０ｎｍの第２のコヒーレント光（例えば、ほぼ１０６
４ｎｍの波長の光を放出するＮｄ：ＹＡＧレーザ光と、
ほぼ２３６ｎｍの波長の光を放出する可変波長レーザ
光）をＣＬＢＯ結晶に入射し、和周波混合することによ
り、波長がほぼ１９３ｎｍの光を得る方法が考えられ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記したように、波長
が９５０ｎｍ〜１１００ｎｍの第１のコヒーレント光
と、波長がほぼ２００ｎｍ〜２５０ｎｍの第２のコヒー
レント光をＣＬＢＯ結晶に入射し、和周波混合すること
により、ほぼ１９３ｎｍの光を得ることができるが、Ｃ
ＬＢＯ結晶により和周波光を得るには、位相整合がとら
れていなければならず、従来においては、上記２波長の
光の組み合わせで、１９３ｎｍの和周波光を発生させる
ための条件が必ずしも明らかにされていなかった。本発
明は、上記事情に鑑みなされたものであって、その目的
とするところは、ＣＬＢＯ結晶により１９３ｎｍの和周
波光を発生させるための実用上の条件を明らかにし、実
用上実現可能なＣＬＢＯ結晶による和周波光の発生方法
を提供することである。
が９５０ｎｍ〜１１００ｎｍの第１のコヒーレント光
と、波長がほぼ２００ｎｍ〜２５０ｎｍの第２のコヒー
レント光をＣＬＢＯ結晶に入射し、和周波混合すること
により、ほぼ１９３ｎｍの光を得ることができるが、Ｃ
ＬＢＯ結晶により和周波光を得るには、位相整合がとら
れていなければならず、従来においては、上記２波長の
光の組み合わせで、１９３ｎｍの和周波光を発生させる
ための条件が必ずしも明らかにされていなかった。本発
明は、上記事情に鑑みなされたものであって、その目的
とするところは、ＣＬＢＯ結晶により１９３ｎｍの和周
波光を発生させるための実用上の条件を明らかにし、実
用上実現可能なＣＬＢＯ結晶による和周波光の発生方法
を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明者等が種々実験を
行い検討したところ、１０６４ｎｍの波長の光と２３６
ｎｍの波長の光をＣＬＢＯ結晶に入射して波長がほぼ１
９３ｎｍの光を発生させるには、ＣＬＢＯ結晶を適切な
温度環境下におく必要があることが明らかになった。す
なわち、ＣＬＢＯ結晶に入射する一方の光の波長を固定
し、他方の光の波長とＣＬＢＯ結晶の温度を変えて位相
整合角を求める実験を行ったところ、ＣＬＢＯ結晶の温
度が室温（２３°Ｃ）とき、波長がほぼ１９５ｎｍの和
周波光を得ることができたが、波長をさらに１９３ｎｍ
に近づけるには、ＣＬＢＯ結晶の温度をさらに低下させ
ることが好ましいことが分かった。
行い検討したところ、１０６４ｎｍの波長の光と２３６
ｎｍの波長の光をＣＬＢＯ結晶に入射して波長がほぼ１
９３ｎｍの光を発生させるには、ＣＬＢＯ結晶を適切な
温度環境下におく必要があることが明らかになった。す
なわち、ＣＬＢＯ結晶に入射する一方の光の波長を固定
し、他方の光の波長とＣＬＢＯ結晶の温度を変えて位相
整合角を求める実験を行ったところ、ＣＬＢＯ結晶の温
度が室温（２３°Ｃ）とき、波長がほぼ１９５ｎｍの和
周波光を得ることができたが、波長をさらに１９３ｎｍ
に近づけるには、ＣＬＢＯ結晶の温度をさらに低下させ
ることが好ましいことが分かった。
【０００６】本発明は上記知見に基づきなされたもので
あって、上記課題を次のようにして解決する。 （１）ＣＬＢＯ結晶を冷却し、波長９５０ｎｍ〜１１０
０ｎｍの第１のコヒーレント光と、波長２００ｎｍ〜２
５０ｎｍの第２のコヒーレント光から、ほぼ１９３ｎｍ
の和周波光を発生させる。 （２）上記（１）において、第１のコヒーレント光をＮ
ｄ：ＹＡＧレーザ光、または、Ｎｄ：ＹＶＯ4 レーザ光
とし、上記結晶の温度を−１８０°Ｃ以下とする。 （３）上記（１）において、ＣＬＢＯ結晶の温度を、位
相整合する角度（光が位相整合するときの結晶の光学軸
と光の入射方向のなす角度）がほぼ９０度となる温度に
する。 本発明は上記（１）〜（３）のように構成したので、Ｃ
ＬＢＯ結晶により波長がほぼ１９３ｎｍの和周波光を得
ることができる。また、位相整合する角度をほぼ９０度
となる温度にすることにより、角度許容幅を大きくする
こと（ノン・クリティカル・フェーズ・マッチング）が
できる。
あって、上記課題を次のようにして解決する。 （１）ＣＬＢＯ結晶を冷却し、波長９５０ｎｍ〜１１０
０ｎｍの第１のコヒーレント光と、波長２００ｎｍ〜２
５０ｎｍの第２のコヒーレント光から、ほぼ１９３ｎｍ
の和周波光を発生させる。 （２）上記（１）において、第１のコヒーレント光をＮ
ｄ：ＹＡＧレーザ光、または、Ｎｄ：ＹＶＯ4 レーザ光
とし、上記結晶の温度を−１８０°Ｃ以下とする。 （３）上記（１）において、ＣＬＢＯ結晶の温度を、位
相整合する角度（光が位相整合するときの結晶の光学軸
と光の入射方向のなす角度）がほぼ９０度となる温度に
する。 本発明は上記（１）〜（３）のように構成したので、Ｃ
ＬＢＯ結晶により波長がほぼ１９３ｎｍの和周波光を得
ることができる。また、位相整合する角度をほぼ９０度
となる温度にすることにより、角度許容幅を大きくする
こと（ノン・クリティカル・フェーズ・マッチング）が
できる。
【０００７】
【発明の実施の形態】図１は本発明の実施例の測定系に
おけるＣＬＢＯ結晶と入射光と出射光の関係を示す図で
ある。同図に示すように、光学軸を光の入射方向に対し
てθ度傾けたＣＬＢＯ結晶１に波長λ１（第１波長λ１
という）の第１のコヒーレント光と、波長λ２（第２波
長λ２という）の第２のコヒーレント光に入射し、プリ
ズム２により、波長λ３の和周波光を取り出した。な
お、同図では波長λ１，λ２，λ３の光を３本に分けて
記載しているが、実際は重なっている。本実施例では上
記第１のコヒーレント光として、Ｎｄ：ＹＡＧレーザの
基本波光である波長１０６４ｎｍの光を用い、第２のコ
ヒーレント光として、チタンサファイアレーザから構成
される可変波長レーザ光を用いた。また、ＣＬＢＯ結晶
を内部が真空に保たれた容器内に収納し、該容器に液体
窒素を用いた冷却機構を設けて、ＣＬＢＯ結晶の温度を
−２００°Ｃ近傍まで冷却できるようにした。そして、
第１波長λ１を上記１０６４ｎｍに固定し、第２のコヒ
ーレント光の第２波長λ２を変えて、各温度におけるＣ
ＬＢＯ結晶の位相整合角の温度依存特性を調べた。
おけるＣＬＢＯ結晶と入射光と出射光の関係を示す図で
ある。同図に示すように、光学軸を光の入射方向に対し
てθ度傾けたＣＬＢＯ結晶１に波長λ１（第１波長λ１
という）の第１のコヒーレント光と、波長λ２（第２波
長λ２という）の第２のコヒーレント光に入射し、プリ
ズム２により、波長λ３の和周波光を取り出した。な
お、同図では波長λ１，λ２，λ３の光を３本に分けて
記載しているが、実際は重なっている。本実施例では上
記第１のコヒーレント光として、Ｎｄ：ＹＡＧレーザの
基本波光である波長１０６４ｎｍの光を用い、第２のコ
ヒーレント光として、チタンサファイアレーザから構成
される可変波長レーザ光を用いた。また、ＣＬＢＯ結晶
を内部が真空に保たれた容器内に収納し、該容器に液体
窒素を用いた冷却機構を設けて、ＣＬＢＯ結晶の温度を
−２００°Ｃ近傍まで冷却できるようにした。そして、
第１波長λ１を上記１０６４ｎｍに固定し、第２のコヒ
ーレント光の第２波長λ２を変えて、各温度におけるＣ
ＬＢＯ結晶の位相整合角の温度依存特性を調べた。
【０００８】具体的には、図２に示す測定系を用いて測
定を行った。図２に示すように、Ｎｄ：ＹＡＧレーザ光
源３から放射される光を３倍波発生用非線形結晶７に入
射し、３倍波を発生し、ダイクロイックミラーＤＭ１，
ＤＭ３を介して和周波発生用非線形光学結晶８（ＣＬＢ
Ｏ）に入射した。また、タイミング調整器５で上記Ｎ
ｄ：ＹＡＧレーザ光源３と同期が取られたＮｄ：ＹＡＧ
レーザ光源４に組み込まれたその２倍波（５３２ｎｍ）
のレーザ光により波長可変レーザ光源であるチタンサフ
ァイアレーザ光源６（Ｔｉ：ＳＡレーザ光源という）を
励起し、Ｔｉ：ＳＡレーザ光源６が放出するレーザ光を
ミラーＭ４、ハーフミラーＨｓ１、ミラーＭ２、ダイク
ロイックミラーＤＭ３を介して和周波発生用非線形光学
結晶８に入射した。和周波発生用非線形光学結晶８は、
上記３倍波とＴｉ：ＳＡレーザ光源が放出するレーザ光
の和周波光を発生する。この和周波光（波長λ２）をダ
イクロイックミラーＤＭ２を介して、被測定対象である
ＣＬＢＯ結晶１に入射した。
定を行った。図２に示すように、Ｎｄ：ＹＡＧレーザ光
源３から放射される光を３倍波発生用非線形結晶７に入
射し、３倍波を発生し、ダイクロイックミラーＤＭ１，
ＤＭ３を介して和周波発生用非線形光学結晶８（ＣＬＢ
Ｏ）に入射した。また、タイミング調整器５で上記Ｎ
ｄ：ＹＡＧレーザ光源３と同期が取られたＮｄ：ＹＡＧ
レーザ光源４に組み込まれたその２倍波（５３２ｎｍ）
のレーザ光により波長可変レーザ光源であるチタンサフ
ァイアレーザ光源６（Ｔｉ：ＳＡレーザ光源という）を
励起し、Ｔｉ：ＳＡレーザ光源６が放出するレーザ光を
ミラーＭ４、ハーフミラーＨｓ１、ミラーＭ２、ダイク
ロイックミラーＤＭ３を介して和周波発生用非線形光学
結晶８に入射した。和周波発生用非線形光学結晶８は、
上記３倍波とＴｉ：ＳＡレーザ光源が放出するレーザ光
の和周波光を発生する。この和周波光（波長λ２）をダ
イクロイックミラーＤＭ２を介して、被測定対象である
ＣＬＢＯ結晶１に入射した。
【０００９】一方、Ｎｄ：ＹＡＧレーザ光源３から放射
される基本波レーザ光（波長λ１）をダイクロイックミ
ラーＤＭ１、ミラーＭ１、ダイクロイックミラーＤＭ２
を介して被測定対象であるＣＬＢＯ結晶１に入射した。
また、上記Ｎｄ：ＹＡＧレーザ光源３とＮｄ：ＹＡＧレ
ーザ光源４の同期が正しくとられ、被測定対象ＣＬＢＯ
結晶１に同時にＴｉ：ＳＡレーザ光源６からのレーザ光
と、Ｎｄ：ＹＡＧレーザ光源３の基本波光が到達してい
るかを調べるため、ピンフォトダイオード１１，１２に
より上記波長λ１の光とλ２の光を検出し、オッシロス
コープ１３でモニタした。
される基本波レーザ光（波長λ１）をダイクロイックミ
ラーＤＭ１、ミラーＭ１、ダイクロイックミラーＤＭ２
を介して被測定対象であるＣＬＢＯ結晶１に入射した。
また、上記Ｎｄ：ＹＡＧレーザ光源３とＮｄ：ＹＡＧレ
ーザ光源４の同期が正しくとられ、被測定対象ＣＬＢＯ
結晶１に同時にＴｉ：ＳＡレーザ光源６からのレーザ光
と、Ｎｄ：ＹＡＧレーザ光源３の基本波光が到達してい
るかを調べるため、ピンフォトダイオード１１，１２に
より上記波長λ１の光とλ２の光を検出し、オッシロス
コープ１３でモニタした。
【００１０】波長λ２は、Ｔｉ：ＳＡレーザ光源６が放
出するレーザ光の波長を変えることにより、２３０〜２
４０ｎｍの範囲で変えた。Ｔｉ：ＳＡレーザ光源６が放
出するレーザ光の波長は波長計９により測定した。ま
た、位相整合角は、前記図１のθを変え、結晶表面から
の反射光の入射光軸からのズレを検出することにより測
定した。また、位相整合のピークを確認するため、発生
する和周波光のパワーをサーモパイル型パワーメータま
たは、蕉電型パワーメータ１０で測定した。上記のよう
に、波長λ１の光と波長λ２の光を測定対象となるＣＬ
ＢＯ結晶１に入射し、位相整合角を求めてグラフ上にプ
ロットし、各温度における温度依存特性を調べた。
出するレーザ光の波長を変えることにより、２３０〜２
４０ｎｍの範囲で変えた。Ｔｉ：ＳＡレーザ光源６が放
出するレーザ光の波長は波長計９により測定した。ま
た、位相整合角は、前記図１のθを変え、結晶表面から
の反射光の入射光軸からのズレを検出することにより測
定した。また、位相整合のピークを確認するため、発生
する和周波光のパワーをサーモパイル型パワーメータま
たは、蕉電型パワーメータ１０で測定した。上記のよう
に、波長λ１の光と波長λ２の光を測定対象となるＣＬ
ＢＯ結晶１に入射し、位相整合角を求めてグラフ上にプ
ロットし、各温度における温度依存特性を調べた。
【００１１】図３は上記のようにして測定した各温度に
おける位相整合角と第２波長λ２の関係を示す図であ
る。同図において、横軸は第２波長λ２、縦軸は位相整
合角であり、各曲線は、ＣＬＢＯ結晶を１８０°Ｃ、１
００°Ｃ、２３°Ｃ、−９０°Ｃ、−１６０°Ｃ、−１
８５°Ｃの温度にしたときの波長λ２と位相整合角の関
係を示しており、各曲線に付された１９６．４８ｎｍ、
１９５．６９ｎｍ、１９４．８２ｎｍ、１９３．９３ｎ
ｍ、１９３．３９ｎｍは、各温度において位相整合角が
９０°のときにＣＬＢＯ結晶から出射される和周波光の
波長を示している。なお、−１６０°Ｃのときの和周波
光の波長は−１８５°Ｃのときの和周波光の波長に近い
ので図示されていない。
おける位相整合角と第２波長λ２の関係を示す図であ
る。同図において、横軸は第２波長λ２、縦軸は位相整
合角であり、各曲線は、ＣＬＢＯ結晶を１８０°Ｃ、１
００°Ｃ、２３°Ｃ、−９０°Ｃ、−１６０°Ｃ、−１
８５°Ｃの温度にしたときの波長λ２と位相整合角の関
係を示しており、各曲線に付された１９６．４８ｎｍ、
１９５．６９ｎｍ、１９４．８２ｎｍ、１９３．９３ｎ
ｍ、１９３．３９ｎｍは、各温度において位相整合角が
９０°のときにＣＬＢＯ結晶から出射される和周波光の
波長を示している。なお、−１６０°Ｃのときの和周波
光の波長は−１８５°Ｃのときの和周波光の波長に近い
ので図示されていない。
【００１２】同図に示すように、ＣＬＢＯ結晶の温度を
低下させると、位相整合可能な第２波長λ２が低下し、
これに伴い和周波光の波長も１９３ｎｍに近づいてい
く。また、位相整合角が９０°のとき、第２波長λ２が
最も小さくなりこれに伴い和周波光の波長も小さくな
る。さらに図３から明らかなように、位相整合角が９０
°近傍であればＣＬＢＯ結晶の角度θ（位相整合角）の
変動に対する和周波光の波長の変動も小さくなる。すな
わち、位相整合角が９０°のとき、いわゆる、ノン・ク
リティカル・フェーズ・マッチングとすることができ
る。
低下させると、位相整合可能な第２波長λ２が低下し、
これに伴い和周波光の波長も１９３ｎｍに近づいてい
く。また、位相整合角が９０°のとき、第２波長λ２が
最も小さくなりこれに伴い和周波光の波長も小さくな
る。さらに図３から明らかなように、位相整合角が９０
°近傍であればＣＬＢＯ結晶の角度θ（位相整合角）の
変動に対する和周波光の波長の変動も小さくなる。すな
わち、位相整合角が９０°のとき、いわゆる、ノン・ク
リティカル・フェーズ・マッチングとすることができ
る。
【００１３】図４は上記図３に基づきＣＬＢＯ結晶の温
度と、第２波長λ２および得られる和周波光の波長をプ
ロットした図である。同図において、横軸はＣＬＢＯ結
晶の温度、縦軸は、混合する第２波長λ２である。同図
から明らかなように、温度を低下させるに従って、位相
整合可能な第２波長λ２が小さくなり、これに伴い和周
波光の波長も短くなる。以上の実験から、ＣＬＢＯ結晶
の温度を低下させていくことにより波長が１９３ｎｍに
近い和周波光を得ることができることがわかった。ま
た、ＣＬＢＯ結晶の温度を−１８０°Ｃ以下にすること
により、１９３ｎｍに近い１９３．３９ｎｍの和周波光
を得ることができた。また、位相整合角が９０°であれ
ば、ＣＬＢＯ結晶の温度が同じとき和周波光の波長は最
も短くなり、さらに前記したように、いわゆる、ノン・
クリティカル・フェーズ・マッチングとすることができ
る。
度と、第２波長λ２および得られる和周波光の波長をプ
ロットした図である。同図において、横軸はＣＬＢＯ結
晶の温度、縦軸は、混合する第２波長λ２である。同図
から明らかなように、温度を低下させるに従って、位相
整合可能な第２波長λ２が小さくなり、これに伴い和周
波光の波長も短くなる。以上の実験から、ＣＬＢＯ結晶
の温度を低下させていくことにより波長が１９３ｎｍに
近い和周波光を得ることができることがわかった。ま
た、ＣＬＢＯ結晶の温度を−１８０°Ｃ以下にすること
により、１９３ｎｍに近い１９３．３９ｎｍの和周波光
を得ることができた。また、位相整合角が９０°であれ
ば、ＣＬＢＯ結晶の温度が同じとき和周波光の波長は最
も短くなり、さらに前記したように、いわゆる、ノン・
クリティカル・フェーズ・マッチングとすることができ
る。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したように本発明においては、
ＣＬＢＯを冷却したので、波長９５０ｎｍ〜１１００ｎ
ｍの第１のコヒーレント光と、波長２００ｎｍ〜２５０
ｎｍの第２のコヒーレント光からほぼ１９３ｎｍの和周
波光を発生させることができる。特に、第１のコヒーレ
ント光をＮｄ：ＹＡＧレーザ光、または、Ｎｄ：ＹＶＯ
4 レーザ光とし、上記結晶の温度を−１８０°Ｃ以下と
することにより、１９３ｎｍに近い１９３．３９ｎｍの
和周波光を得ることができる。さらに、ＣＬＢＯ結晶の
温度を、位相整合する角度がほぼ９０度となる温度にす
ることにより、ノン・クリティカル・フェーズ・マッチ
ングとすることができる。
ＣＬＢＯを冷却したので、波長９５０ｎｍ〜１１００ｎ
ｍの第１のコヒーレント光と、波長２００ｎｍ〜２５０
ｎｍの第２のコヒーレント光からほぼ１９３ｎｍの和周
波光を発生させることができる。特に、第１のコヒーレ
ント光をＮｄ：ＹＡＧレーザ光、または、Ｎｄ：ＹＶＯ
4 レーザ光とし、上記結晶の温度を−１８０°Ｃ以下と
することにより、１９３ｎｍに近い１９３．３９ｎｍの
和周波光を得ることができる。さらに、ＣＬＢＯ結晶の
温度を、位相整合する角度がほぼ９０度となる温度にす
ることにより、ノン・クリティカル・フェーズ・マッチ
ングとすることができる。
【図１】本発明の実施例の測定系におけるＣＬＢＯ結晶
の入射光と出射光の関係を示す図である。
の入射光と出射光の関係を示す図である。
【図２】本発明で使用した測定系の構成例を示す図であ
る。
る。
【図３】各温度における位相整合角と第２波長λ２の関
係を示す図である。
係を示す図である。
【図４】ＣＬＢＯ結晶の温度と第２波長λ２および和周
波光の波長の関係を示す図である。
波光の波長の関係を示す図である。
１ 被測定ＣＬＢＯ結晶 ２ プリズム ３，４ Ｎｄ：ＹＡＧレーザ光源 ５ タイミング調整器 ６ チタンサファイアレーザ光源 ７ ３倍波発生用非線形光学結晶 ８ 和周波発生用非線形光学結晶 ９ 波長計 １０ パワーメータ １１，１２ ピンフォトダイオード １３ オッシロスコープ
Claims (3)
- 【請求項１】 波長９５０ｎｍ〜１１００ｎｍの第１の
コヒーレント光と、波長２００ｎｍ〜２５０ｎｍの第２
のコヒーレント光とをＣＬＢＯ結晶に入射し和周波光を
発生させる方法であって、 波長がほぼ１９３ｎｍの和周波光を発生するように上記
ＣＬＢＯ結晶を冷却することを特徴とするＣＬＢＯ結晶
による和周波光の発生方法。 - 【請求項２】 第１のコヒーレント光がＮｄ：ＹＡＧレ
ーザ光、または、Ｎｄ：ＹＶＯ4 レーザ光であり、上記
結晶の温度が−１８０°Ｃ以下であることを特徴とする
請求項１のＣＬＢＯ結晶による和周波光の発生方法。 - 【請求項３】 前記結晶の温度は、位相整合する角度が
ほぼ９０度となる温度であることを特徴とする請求項１
のＣＬＢＯ結晶による和周波光の発生方法。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33917298A JP4300608B2 (ja) | 1998-11-30 | 1998-11-30 | Ｃｌｂｏ結晶による和周波光の発生方法 |
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| JP33917298A JP4300608B2 (ja) | 1998-11-30 | 1998-11-30 | Ｃｌｂｏ結晶による和周波光の発生方法 |
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|---|---|
| JP2000162655A true JP2000162655A (ja) | 2000-06-16 |
| JP4300608B2 JP4300608B2 (ja) | 2009-07-22 |
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| JP33917298A Expired - Fee Related JP4300608B2 (ja) | 1998-11-30 | 1998-11-30 | Ｃｌｂｏ結晶による和周波光の発生方法 |
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|---|---|
| JP (1) | JP4300608B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2372449A2 (en) | 2010-04-01 | 2011-10-05 | Lasertec Corporation | Radiation source apparatus and DUV beam generation method |
-
1998
- 1998-11-30 JP JP33917298A patent/JP4300608B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2372449A2 (en) | 2010-04-01 | 2011-10-05 | Lasertec Corporation | Radiation source apparatus and DUV beam generation method |
| US8503068B2 (en) | 2010-04-01 | 2013-08-06 | Lasertec Corporation | Radiation source apparatus and DUV beam generation method |
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